KR20000050309A - Flash memory device having improved program and read operation speed - Google Patents

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KR20000050309A KR1019990000065A KR19990000065A KR20000050309A KR 20000050309 A KR20000050309 A KR 20000050309A KR 1019990000065 A KR1019990000065 A KR 1019990000065A KR 19990000065 A KR19990000065 A KR 19990000065A KR 20000050309 A KR20000050309 A KR 20000050309A
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Abstract

PURPOSE: A flash memory device having improved program and reading operation speed is provided to improve a program and a reading operation speed by reducing a parasitic capacitance generated between a high voltage generator and a line decoder. CONSTITUTION: A line decoder(400) includes a plurality of odd line decoders and a plurality of even line decoders connected each selector of a memory cell array. A high voltage generator(800) has a program voltage generator(810), a switch(820) and a reading voltage generator(830). The program voltage generator(810) generates a program voltage(Vpp1) for programming memory cells of a memory cell array during a program operation. The reading voltage generator(830) generates a reading voltage(Vpp2) for reading data stored in memory cells of the memory cell array during a reading operation. The switch(820) transmits the program voltage(Vpp1) from the program voltage generator(810) to a word line driving circuit(900) during the program operation and prevents that the reading voltage(Vpp2) from the reading voltage generator(830) is short with the program voltage(Vpp1) from the program voltage generator(810) during the reading operation. The word line driving circuit (900) has a plurality of word line drivers connected to each line decoders.

Description

향상된 프로그램 및 독출 동작 속도를 가지는 플래시 메모리 장치{FLASH MEMORY DEVICE HAVING IMPROVED PROGRAM AND READ OPERATION SPEED}FLASH MEMORY DEVICE HAVING IMPROVED PROGRAM AND READ OPERATION SPEED}

본 발명은 플래시 메모리 장치(flash memory device)에 관한 것으로서, 구체적으로는 프로그램 및 소거 동작시 발생되는 오동작을 방지하는 플래시 메모리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a flash memory device, and more particularly, to a flash memory device which prevents malfunctions occurring during program and erase operations.

도 1을 참조하면, 플래시 메모리 셀은 반도체 기판(2)위에 소오스(3)-드레인(4) 사이에 형성되는 전류 경로(current path) 및 상기 반도체 기판(2)위에 절연막들(5, 7)을 사이에 두고 연결되는 플로팅 게이트(floating gate)(6)와 제어 게이트(control gate)(8)로 구성된다. 상기 메모리 셀의 프로그램(program) 동작은 아래의 [ 표 ]와 같이 상기 소오스 영역(3)과 상기 반도체 기판 즉, 벌크 영역(2)을 접지시키고, 상기 제어 게이트(8)에 양의 고전압(예를 들어, 10V)을 인가하고 그리고 상기 드레인(4)에 프로그램하기 위한 전압(예를 들어, 5 ∼ 6V)을 인가하여 핫 캐리어(hot carrier)들을 발생시킴으로써 수행된다. 상기 핫 캐리어들은 상기 제어 게이트(8)에 인가되는 상기 고전압(10V)의 전계(electric field)에 의해 상기 벌크 영역(2)의 전자들이 상기 플로팅 게이트(6)에 축적됨으로써, 상기 메모리 셀들이 약 '6V'에서 '8V'까지의 드레솔드 전압 분포를 가지게 한다.Referring to FIG. 1, a flash memory cell includes a current path formed between a source 3 and a drain 4 on a semiconductor substrate 2, and insulating layers 5 and 7 on the semiconductor substrate 2. And a floating gate 6 and a control gate 8 connected therebetween. The program operation of the memory cell grounds the source region 3 and the semiconductor substrate, that is, the bulk region 2, as shown in the following table, and positive high voltage (eg, to the control gate 8). For example, by applying 10V and applying a voltage (for example, 5 to 6V) for programming to the drain 4, it is performed by generating hot carriers. The hot carriers accumulate electrons in the bulk region 2 in the floating gate 6 by an electric field of the high voltage 10V applied to the control gate 8, thereby causing the memory cells to weaken. It has a threshold voltage distribution from '6V' to '8V'.

상기 플래시 메모리 셀의 소거(erase) 동작은 아래의 [ 표 ]와 같이 상기 제어 게이트(8)에 음의 고전압(-10V)을 인가하고, 상기 벌크 영역(2)에 소정의 전압(예를 들어, 6V)을 인가하여 F-N 터널링(Fowler-Nordheim tunneling)을 발생시킴으로써, 상기 벌크 영역(2)을 공유하는 섹터(sector) 단위로 동시에 수행된다. 상기 F-N 터널링은 통상적으로 6 ∼ 7 MV/cm의 전계가 절연막 사이에 형성되어 상기 플로팅 게이트(6)에 축적된 전자들을 상기 벌크 영역(2)으로 방출시킴으로써, 상기 메모리 셀들이 약 '1V'에서 '3V'까지의 소거 드레솔드 전압(erase threshold voltage) 분포를 가지게 한다. 상기 프로그램 동작에 의해 상기 드레솔드 전압이 높아진 셀은 독출 동작시 상기 드레인 영역(4)으로부터 상기 소오스 영역(3)으로 전류가 주입되는 것이 방지되어 오프(off)된 것처럼 보인다. 그리고 상기 소거 동작에 의해 상기 드레솔드 전압이 낮아진 셀은 독출 동작시, 상기 드레인 영역(4)으로부터 상기 소오스 영역(3)으로 전류가 주입되어 온(on)된 것처럼 보인다.In the erase operation of the flash memory cell, a negative high voltage (-10V) is applied to the control gate 8 as shown in the following table, and a predetermined voltage (for example, the bulk region 2 is applied). , 6V) is applied to generate FN tunneling (Fowler-Nordheim tunneling), it is performed simultaneously in the sector (sector) unit sharing the bulk region (2). The FN tunneling is typically performed by discharging electrons accumulated in the floating gate 6 into the bulk region 2 by forming an electric field of 6 to 7 MV / cm between the insulating layers, thereby preventing the memory cells from about '1V'. It has a distribution of erase threshold voltages up to 3V. The cell in which the threshold voltage is increased by the program operation appears to be off because a current is prevented from being injected from the drain region 4 to the source region 3 during a read operation. The cell in which the threshold voltage is lowered by the erase operation appears to be turned on by a current injected from the drain region 4 to the source region 3 during a read operation.

[ 표 ]Table

동 작 모 드Operation mode VgVg VdVd VsVs VbVb 프 로 그 램Program +10V+ 10V +5V∼+6V+ 5V to + 6V 0V0 V 0V0 V 소 거Cattle -10V-10V FloatingFloating FloatingFloating +6V+ 6V 소 거 정 정Sojeong Chung +3V+ 3V +5V∼+6V+ 5V to + 6V 0V0 V 0V0 V 독 출Reading +4.5V+ 4.5V +1V+ 1V 0V0 V 0V0 V

상기 메모리 셀들은 플래시 메모리 어레이의 구성에 있어서 고집적화를 위해 상기 벌크 영역(2)을 공유하도록 구성되므로, 하나의 상기 섹터(sector)에 포함되는 상기 메모리 셀들은 동시에 소거된다. 이때, 상기 섹터의 상기 메모리 셀들을 동시에 소거시키면, 상기 메모리 셀들 각각은 상기 드레솔드 전압에 대한 균일성(uniformity)으로 인해 메모리 셀들 중 일부가 상기 소거 드레솔드 전압 범위(1 ∼ 3V)를 벗어나게 된다. 상기 소거 드레솔드 전압 범위를 벗어난 셀들 중에서 '0V' 이하의 드레솔드 전압을 갖는 메모리 셀들을 과소거 메모리 셀(over erase memory cell)이라 하며, 이들을 위해 드레솔드 전압을 상기 소거 드레솔드 전압 범위 내로 분포시키는 일련의 수정 동작(over erase repair : 과소거 정정)이 수행되어야 한다.Since the memory cells are configured to share the bulk area 2 for high integration in the configuration of a flash memory array, the memory cells included in one sector are erased simultaneously. In this case, when the memory cells of the sector are simultaneously erased, each of the memory cells may leave some of the memory cells out of the erase threshold voltage range (1 to 3V) due to uniformity with respect to the threshold voltage. . Among the cells outside the erase threshold voltage range, memory cells having a threshold voltage of '0 V' or less are called over erase memory cells, and a threshold voltage is distributed within the erase threshold voltage range for them. A series of over erase repairs must be performed.

상기 메모리 셀들의 독출 동작은 위의 [ 표 ]와 같이 상기 소오스 영역(3)과 상기 벌크 영역(2)을 접지시키고, 상기 제어 게이트(8)에 소정의 전압(예를 들어, 4.5V)을 인가하고, 상기 드레인 단자(4)에 소정의 전압(예를 들어, 1V)을 인가함으로써 수행된다. 상기 과소거된 메모리 셀들의 과소거 복구 동작은 위의 [ 표 ]와 같이 상기 소오스 영역(3)과 상기 벌크 영역(2)을 접지시키고, 상기 제어 게이트(8)에 소정의 전압(3V)을 인가하고, 상기 드레인 단자(4)에 소정의 전압(예를 들어, 5V∼6V)을 인가함으로써 수행된다.The read operation of the memory cells may ground the source region 3 and the bulk region 2, and apply a predetermined voltage (for example, 4.5V) to the control gate 8 as shown in the above table. And a predetermined voltage (for example, 1V) is applied to the drain terminal 4. The over erase recovery operation of the over erased memory cells grounds the source region 3 and the bulk region 2 and supplies a predetermined voltage (3V) to the control gate 8 as shown in the above table. And a predetermined voltage (for example, 5V to 6V) is applied to the drain terminal 4.

도 2를 참조하면, 일반적인 플래시 메모리 장치 특히, 노어형 플래시 메모리 장치(NOR type flash memory device)는 행 어드레스 버퍼(10), 열 어드레스 버퍼(15), 제어 로직 및 명령 레지스터(20), 메모리 셀 어레이(30), 행 디코더(40), 열 디코더(50), 센스 앰프 및 기입 구동 회로(60), 입/출력 버퍼(70), 고전압 발생 회로(80) 및 워드 라인 구동 회로(90)로 구성된다. 상기 행 어드레스 버퍼(10)는 상기 제어 로직 및 명령 레지스터(20)로부터의 제어 신호의 제어에 의해 외부로부터의 어드레스들(예를 들어, 8Mbit의 플래시 메모리 장치의 경우, A0, A1, ..., A17, A18) 중 대응되는 어드레스들을 받아들인다. 상기 열 어드레스 버퍼(15)는 상기 제어 로직 및 명령 레지스터(20)로부터의 제어 신호의 제어에 의해 외부로부터의 어드레스들(A0, A1, ..., A17, A18) 중 대응되는 어드레스들을 받아들인다.Referring to FIG. 2, a general flash memory device, in particular, a NOR type flash memory device, includes a row address buffer 10, a column address buffer 15, a control logic and command register 20, and a memory cell array. 30, a row decoder 40, a column decoder 50, a sense amplifier and write driver circuit 60, an input / output buffer 70, a high voltage generator circuit 80, and a word line driver circuit 90 do. The row address buffer 10 is provided with external addresses (for example, in the case of an 8 Mbit flash memory device, A0, A1, ...) by control of the control signal from the control logic and command register 20. , Corresponding to the addresses A17 and A18 are accepted. The column address buffer 15 receives corresponding ones of the addresses A0, A1, ..., A17, A18 from the outside by controlling the control signal from the control logic and command register 20. .

상기 제어 로직 및 명령 레지스터(20)는 외부로부터의 신호들(CEB, OEB, BYTEB, WEB, RB)을 받아들여서 상기 회로들(10, 15, 60, 70)을 제어하는 제어 신호를 출력한다. 상기 신호(CEB)는 칩의 활성화를 알리는 신호이고, 상기 신호(OEB)는 데이터의 출력을 알리는 신호이고, 상기 신호(BYTEB)는 데이터의 독출 단위를 결정하는 신호이고, 상기 신호(WEB)는 프로그램 동작시 기입 동작을 알리는 신호이고 그리고 상기 신호(RB)는 독출 동작을 알리는 신호이다. 상기 메모리 셀 어레이(30)는 도 1과 같은 구조를 가지는 섹터 단위의 메모리 셀들과 상기 메모리 셀들을 행의 방향으로 신장하는 복수 개의 워드 라인들 및 상기 워드 라인(W/L)들과 교차되도록 열의 방향을 따라 신장하는 복수 개의 비트 라인(BL)들을 구비한다.The control logic and command register 20 receives signals CEB, OEB, BYTEB, WEB, and RB from the outside and outputs a control signal for controlling the circuits 10, 15, 60, and 70. The signal CEB is a signal for notifying activation of the chip, the signal OBE is a signal for notifying the output of data, the signal BYTEB is a signal for determining a reading unit of data, and the signal WEB is In the program operation, the signal notifies the write operation and the signal RB is the signal informing the read operation. The memory cell array 30 is arranged so that the memory cells in a sector unit having the structure as shown in FIG. 1 and the plurality of word lines extending the memory cells in a row direction and the word lines W / L intersect each other. A plurality of bit lines BL extending along the direction are provided.

상기 행 디코더(40)는 상기 행 어드레스 버퍼(10)에 의해서 버퍼링된 어드레스(A)들을 디코딩하여 상기 메모리 셀 어레이(30)의 대응되는 섹터의 워드 라인(W/L)을 선택한다. 상기 열 디코더(50)는 상기 열 어드레스 버퍼(15)에 의해서 버퍼링된 어드레스(A)들을 디코딩하여 상기 메모리 셀 어레이(30)의 대응되는 섹터의 비트 라인(BL)을 선택한다. 상기 센스 앰프 및 기입 구동 회로(60)는 독출 동작 동안에, 상기 제어 로직 및 명령 레지스터(20)로부터의 제어 신호의 제어에 의해 상기 메모리 셀 어레이(30)로부터 상기 열 디코더(50)를 통해 전달되는 데이터를 센싱하고 그리고 프로그램 동작 동안에, 상기 메모리 셀 어레이에 프로그램되는 데이터를 상기 열 디코더(50)를 통해 상기 메모리 셀 어레이(30)로 공급한다.The row decoder 40 decodes the addresses A buffered by the row address buffer 10 to select word lines W / L of corresponding sectors of the memory cell array 30. The column decoder 50 decodes the addresses A buffered by the column address buffer 15 to select a bit line BL of a corresponding sector of the memory cell array 30. The sense amplifier and write driver circuit 60 are transferred from the memory cell array 30 through the column decoder 50 by the control of the control signal from the control logic and command register 20 during a read operation. During sensing and during a program operation, data programmed into the memory cell array is supplied to the memory cell array 30 through the column decoder 50.

상기 입/출력 버퍼(70)는 외부로부터의 상기 어드레스들(A0, A1, ..., A17, A18) 및 데이터를 받아들이고 그리고 독출 동작시에는 상기 센스 앰프 및 기입 구동 회로(60)로부터 출력되는 독출 데이터를 외부로 출력한다. 상기 고전압 발생 회로(80)는 일반적으로 프로그램 전압 발생 회로, 소거 전압 발생 회로 및 독출 전압 발생 회로 등을 구비하며, 프로그램, 소거 및 독출 동작 동안에 상기 메모리 셀 어레이(30)의 메모리 셀들로 전달되는 전압들을 발생한다. 상기 워드 라인 구동 회로(90)는 상기 고전압 발생 회로(80)로부터의 상기 프로그램 전압, 소거 전압 및 독출 전압 중 하나의 전압을 상기 행 디코더(40)로 선택적으로 전달한다.The input / output buffer 70 receives the addresses A0, A1, ..., A17, A18 and data from the outside and is output from the sense amplifier and the write driver circuit 60 during a read operation. Output the read data to the outside. The high voltage generator circuit 80 generally includes a program voltage generator circuit, an erase voltage generator circuit, a read voltage generator circuit, and the like, and is a voltage transferred to memory cells of the memory cell array 30 during program, erase, and read operations. Occurs. The word line driver circuit 90 selectively transfers one of the program voltage, the erase voltage, and the read voltage from the high voltage generator circuit 80 to the row decoder 40.

도 3을 참조하면, 종래의 기술에 따른 섹터 단위의 노어형 플래시 메모리 장치는 고전압 발생 회로(80), 워드 라인 구동 회로(90) 및 메모리 셀 어레이(30)를 구비한다. 상기 고전압 발생 회로(80)는 프로그램 동작시, 프로그램 전압(Vpp1)을 발생하는 프로그램 전압 발생 회로(81), 독출 동작 동안에, 독출 전압(Vpp2)을 발생하는 독출 전압 발생 회로(83), 그리고 상기 프로그램 전압(Vpp1)과 상기 독출 전압(Vpp2)을 상기 워드 라인 구동 회로(90)로 선택적으로 전달하는 스위치(82)를 구비한다. 상기 워드 라인 구동 회로(90)는 상기 고전압 발생기(80)의 출력 단자와 상기 메모리 셀 어레이(30)의 각 섹터들(S0, S1, ..., Si-1, Si)에 연결된 각 행 디코더들(RD0, RD1, ..., RDi-1. RDi)의 사이에 연결된 복수 개의 워드 라인 구동기들(WD0, WD1, ..., WDi-1, WDi)을 구비한다.Referring to FIG. 3, a NOR flash memory device in a sector unit according to the related art includes a high voltage generation circuit 80, a word line driving circuit 90, and a memory cell array 30. The high voltage generation circuit 80 may include a program voltage generation circuit 81 that generates a program voltage Vpp1 during a program operation, a read voltage generation circuit 83 that generates a read voltage Vpp2 during a read operation, and the And a switch 82 for selectively transferring a program voltage Vpp1 and the read voltage Vpp2 to the word line driver circuit 90. The word line driver circuit 90 is a row decoder connected to the output terminal of the high voltage generator 80 and the sectors S0, S1,..., Si-1, Si of the memory cell array 30. And a plurality of word line drivers WD0, WD1, ..., WDi-1, WDi connected between the fields RD0, RD1, ..., RDi-1, RDi.

도 4를 참조하면, 상기 메모리 셀 어레이(30)의 각 섹터들(S0, S1, Si-1, Si)에 연결된 각 행 디코더들(RD0, RD1, ..., RDi-1. RDi)은 홀수 행 디코더(RDe) 및 짝수 행 디코더(RDo)로 구분된다. 그리고, 상기 각 워드 라인 구동기들(WD0, WD1, ..., WDi-1, WDi)은 상기 고전압 발생기(80)로부터의 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2) 중 하나의 전압을 상기 홀수 및 짝수 행 디코더들(RDe, RDo)로 동시에 전달한다.Referring to FIG. 4, each of the row decoders RD0, RD1,..., RDi-1, RDi connected to the sectors S0, S1, Si-1, and Si of the memory cell array 30 may be described. It is divided into an odd row decoder RDe and an even row decoder RDo. Each of the word line drivers WD0, WD1,..., WDi-1, and WDi may select one of the program voltage Vpp1 and the read voltage Vpp2 from the high voltage generator 80. The odd and even row decoders RDe and RDo are simultaneously transmitted.

도 5를 참조하면, 상기 고전압 발생 회로(80)의 상기 독출 전압 발생 회로(83)는 레벨 쉬프터(83a) 및 펌핑 회로(83b)를 구비한다. 상기 레벨 쉬프터(83a)는 외부로부터의 독출 전압의 발생을 알리는 논리 하이 레벨의 신호(nPMP)의 제어에 의해 상기 펌핑 회로(83b)의 펌핑 동작을 알리는 로우 레벨의 전압을 상기 펌핑 회로(83b)로 출력한다. 상기 레벨 쉬프터(83a)는 상기 신호(nPMP)가 입력되면, NMOS 트랜지스터(NM1)의 전류 통로는 차단되고, NMOS 트랜지스터(NM2)의 전류 통로는 도통되어 노드(N1)는 하이 레벨로 챠지되고 그리고 노드(N2)는 로우 레벨로 디스챠지된다.Referring to FIG. 5, the read voltage generator circuit 83 of the high voltage generator circuit 80 includes a level shifter 83a and a pumping circuit 83b. The level shifter 83a receives a low level voltage indicating the pumping operation of the pumping circuit 83b by controlling a logic high level signal nPMP indicating the generation of a read voltage from the outside. Will output When the level shifter 83a receives the signal nPMP, the current path of the NMOS transistor NM1 is blocked, the current path of the NMOS transistor NM2 is conducted so that the node N1 is charged to a high level. Node N2 is discharged to the low level.

상기 펌핑 회로(83b)는 MOS 트랜지스터들(PM3, PM4, PM5, NM3)과 커패시터(C1)를 구비한다. 상기 MOS 트랜지스터들(PM3, NM3)은 외부로부터의 신호(ΦBn)의 제어에 의해 스위칭되고, 상기 MOS 트랜지스터(PM5)는 상기 레벨 쉬프터(83a)로부터의 출력 신호에 의해 제어되고 그리고 상기 PMOS 트랜지스터(PM4)는 외부로부터의 신호(Φpre)에 의해 제어된다. 상기 독출 전압 발생 회로(83)는 독출 동작 동안, 상기 메모리 셀 어레이(30)의 대응되는 섹터내의 메모리 셀의 데이터를 독출하기 위한 상기 독출 전압(Vpp2)을 발생한다.The pumping circuit 83b includes MOS transistors PM3, PM4, PM5, and NM3 and a capacitor C1. The MOS transistors PM3 and NM3 are switched by control of the signal Φ Bn from the outside, and the MOS transistor PM5 is controlled by the output signal from the level shifter 83a and the PMOS transistor ( PM4) is controlled by the signal? Pre from the outside. The read voltage generation circuit 83 generates the read voltage Vpp2 for reading data of a memory cell in a corresponding sector of the memory cell array 30 during a read operation.

상기 독출 전압(Vpp2)은 상기 펌핑 회로(83b)의 MOS 트랜지스터(PM5)의 전류 통로가 상기 레벨 쉬프터(83a)로부터의 로우 레벨의 출력 신호의 제어에 의해 도통되고 그리고 소정의 주기를 가지는 상기 신호(Φpre)의 제어에 의해 MOS 트랜지스터(PM4)의 전류 통로가 도통되어 상기 펌핑 회로(83b)의 출력 단자가 전원 전압(Vcc) 레벨로 챠지되었을 때, 소정의 주기를 가지는 상기 신호(ΦBn)가 MOS 트랜지스터들(PM3, NM3)의 스위칭 동작을 제어하여 상기 커패시터(C1)의 일 단자에 챠지된 전원 전압을 펌핑함으로써 발생된다. 상기 펌핑 회로(83b)의 커패시터(C2)는 출력 단자와 각 섹터의 행 디코더들(RD0, RD1, ..., RDi-1. RDi)의 사이에 존재하는 기생 커패시턴스(parasitic capacitance)를 나타낸 것이다.The read voltage Vpp2 is a signal in which a current path of the MOS transistor PM5 of the pumping circuit 83b is conducted by control of a low level output signal from the level shifter 83a and has a predetermined period. When the current path of the MOS transistor PM4 is turned on under the control of? Pre, and the output terminal of the pumping circuit 83b is charged to the power supply voltage Vcc level, the signal? Bn having a predetermined period is It is generated by controlling the switching operation of the MOS transistors PM3 and NM3 to pump the power supply voltage charged to one terminal of the capacitor C1. The capacitor C2 of the pumping circuit 83b shows parasitic capacitance existing between the output terminal and the row decoders RD0, RD1, ..., RDi-1, RDi of each sector. .

도 6을 참조하면, 상기 각 워드 라인 구동 회로들(WD0, WD1, ..., WDi-1, WDi)은 인버터들(I1, I2, I3, I4, I5), 낸드 게이트(ND1) 및 노어 게이트들(NOR1, NOR2, NOR3)을 가지는 조합 회로와 MOS 트랜지스터들(PM1, PM2, NM1, NM2)을 가지는 레벨 쉬프트 회로 및 MOS 트랜지스터들(PM4, PM5, PM6, PM7)을 가지는 스위칭 회로를 구비한다. 스위칭 회로의 상기 MOS 트랜지스터들(PM3, PM5)은 레벨 쉬프트 회로의 양 출력 단자의 전압 레벨에 의해 제어되고 그리고 MOS 트랜지스터들(PM4, NM3)은 조합 회로의 인버터들(I4, I5)의 출력 신호에 의해 제어된다. 독출 동작 동안에, 상기 각 워드 라인 구동 회로들(WD0, WD1, ..., WDi-1, WDi)은 논리 로우 레벨의 신호들(Vexen, LVppen)과 논리 하이 레벨의 신호(SA)의 제어에 의해 MOS 트랜지스터(PM3)의 전류 통로가 도통되어 상기 독출 전압 발생 회로(83)로부터의 상기 독출 전압(Vpp2)을 각 섹터에 연결된 홀수 및 짝수 행 디코더들(RD0, RD1, ..., RDi-1. RDi)로 전달한다.Referring to FIG. 6, each of the word line driving circuits WD0, WD1,..., WDi-1, WDi may include inverters I1, I2, I3, I4, I5, NAND gate ND1, and NOR. A combination circuit having gates NOR1, NOR2, NOR3, a level shift circuit having MOS transistors PM1, PM2, NM1, NM2 and a switching circuit having MOS transistors PM4, PM5, PM6, PM7. do. The MOS transistors PM3 and PM5 of the switching circuit are controlled by the voltage levels of both output terminals of the level shift circuit and the MOS transistors PM4 and NM3 are output signals of the inverters I4 and I5 of the combination circuit. Controlled by During the read operation, each of the word line driving circuits WD0, WD1, ..., WDi-1, WDi is in control of logic low level signals Vexen and LVppen and logic high level signal SA. The current path of the MOS transistor PM3 is conducted so that the odd and even row decoders RD0, RD1, ..., RDi- connected the read voltage Vpp2 from the read voltage generation circuit 83 to each sector. 1. RDi).

근래에 들어, 모든 시스템들이 고속화됨에 따라 플래시 메모리 장치의 프로그램 및 독출 동작 또한 고속화가 요구되는 추세이다. 그런데, 종래의 기술에 따른 플래시 메모리 장치는 프로그램 및 독출 동작을 수행함에 있어서, 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 독출 전압(Vpp2)을 상기 메모리 셀 어레이(30)의 각 섹터들(S0, S1, ..., Si-1, Si)의 행 디코더들(RD0, RD1, ..., RDi-1. RDi)로 전달하는 동작으로 인해서 시간 지연이 발생되는 문제점이 있다. 상기 시간 지연은 상기 독출 전압 발생 회로(83)의 출력 단자와 상기 각 섹터들(S0, S1, ..., Si-1, Si)의 행 디코더들(RD0, RD1, ..., RDi-1. RDi)의 사이에 존재하는 기생 커패시턴스(C2)에 의한 영향이 가장 크다.In recent years, as all the systems become faster, the program and read operations of the flash memory device are also required to be faster. However, in the flash memory device according to the related art, the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 is applied to each of the sectors S0, S1,. There is a problem that a time delay occurs due to the operation of transferring to the row decoders RD0, RD1, ..., RDi-1, RDi of ... Si-1, Si. The time delay is the output terminal of the read voltage generator circuit 83 and the row decoders RD0, RD1, ..., RDi- of the sectors S0, S1, ..., Si-1, Si. 1. The influence by parasitic capacitance C2 existing between RDi) is the largest.

따라서 본 발명의 목적은 빠른 프로그램 및 독출 동작 속도를 가지는 플래시 메모리 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a flash memory device having a fast program and read operation speed.

도 1은 일반적인 플래시 메모리 셀의 단면도;1 is a cross-sectional view of a typical flash memory cell;

도 2는 일반적인 플래시 메모리 장치를 보여주는 블록도;2 is a block diagram showing a typical flash memory device;

도 3은 종래의 기술에 따른 고전압 발생 회로, 워드 라인 구동 회로 및 행 디코더를 보여주는 블록도;3 is a block diagram showing a high voltage generation circuit, a word line driving circuit and a row decoder according to the prior art;

도 4는 도 3의 워드 라인 구동 회로를 보여주는 블록도;4 is a block diagram showing the word line driving circuit of FIG. 3;

도 5는 도 3의 고전압 발생 회로를 보여주는 회로도;5 is a circuit diagram illustrating the high voltage generating circuit of FIG. 3;

도 6은 도 3의 워드 라인 구동 회로를 보여주는 회로도;FIG. 6 is a circuit diagram illustrating the word line driving circuit of FIG. 3; FIG.

도 7은 본 발명에 따른 고전압 발생 회로, 워드 라인 구동 회로 및 행 디코더를 보여주는 블록도;7 is a block diagram showing a high voltage generating circuit, a word line driving circuit and a row decoder according to the present invention;

도 8은 도 7의 워드 라인 구동 회로를 보여주는 블록도;8 is a block diagram illustrating the word line driver circuit of FIG. 7;

도 9는 도 7의 워드 라인 구동 회로를 보여주는 상세 회로도 및;9 is a detailed circuit diagram showing the word line driver circuit of FIG. 7;

도 10은 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 동작 특성을 보여주는 파형도이다.10 is a waveform diagram illustrating an operating characteristic of a flash memory device according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

400 : 행 디코더800 : 고전압 발생 회로400: row decoder 800: high voltage generation circuit

900 : 워드 라인 구동 회로900 word line driving circuit

(구성)(Configuration)

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일특징에 의하면, 플로팅 게이트 타입의 복수 개의 메모리 셀들을 가지는 복수 개의 섹터들을 포함하는 메모리 셀 어레이와, 상기 메모리 셀 어레이의 각 섹터들의 대응되는 워드 라인들 중 하나를 선택하는 제 1 그룹의 행 디코더들과, 상기 각 섹터들의 대응되는 워드 라인들 중 하나를 선택하는 제 2 그룹의 행 디코더들을 구비하는 플래시 메모리 장치는 프로그램 동작 동안, 소정의 전압 레벨을 가지는 프로그램 전압을 발생하고 그리고 독출 동작 동안, 상기 프로그램 전압보다 낮은 소정의 전압 레벨을 가지는 독출 전압을 발생하는 고전압 발생 회로 및; 섹터 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 그룹들의 행 디코더들 중에서 하나의 그룹을 선택하는 어드레스, 제 1 및 제 2 제어 신호들에 응답해서 상기 고전압 발생 회로로부터의 상기 프로그램 전압이나 상기 독출 전압을 상기 제 1 및 제 2 그룹들의 행 디코더들 중에서 대응되는 하나의 행 디코더로 전달하는 워드 라인 구동 회로를 포함한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, a memory cell array including a plurality of sectors having a plurality of memory cells of the floating gate type, and a corresponding word line of each sector of the memory cell array A flash memory device having a first group of row decoders for selecting one of the two groups and a second group of row decoders for selecting one of the corresponding word lines of the respective sectors may have a predetermined voltage level during a program operation. A high voltage generation circuit for generating a program voltage having a read voltage and generating a read voltage having a predetermined voltage level lower than the program voltage during a read operation; The program voltage or the read voltage from the high voltage generation circuit in response to a sector address, an address for selecting one of the first and second groups of row decoders, and the first and second control signals; And a word line driving circuit which transfers to a corresponding one of the first and second groups of row decoders.

이 실시예에 있어서, 상기 워드 라인 구동 회로는 상기 섹터 어드레스, 상기 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합하여 제 1, 제 2, 제 3 제어 신호들 및 상기 제 1 제어 신호의 반전 신호들 출력하는 조합 회로와; 상기 제 1 제어 신호 및 상기 반전 신호에 응답해서 제 1 및 제 2 스위치 제어 신호들을 출력하는 스위치 제어 회로 및; 상기 제 1 및 제 2 스위치 제어 신호들과 상기 제 2 및 제 3 조합 신호들에 응답해서 전원 전압, 상기 프로그램 전압, 상기 독출 전압 및 접지 전압 중 하나의 전압을 선택적으로 대응되는 행 디코더로 전달하는 스위치 회로를 포함한다.In this embodiment, the word line driving circuit combines the sector address, the address, the first and second control signals, and inverts the first, second, third control signals, and the first control signal. A combination circuit for outputting; A switch control circuit outputting first and second switch control signals in response to the first control signal and the inverted signal; Selectively transmitting one of a power supply voltage, the program voltage, the read voltage, and the ground voltage to a corresponding row decoder in response to the first and second switch control signals and the second and third combination signals. It includes a switch circuit.

이 실시예에 있어서, 상기 조합 회로는 상기 섹터 어드레스, 상기 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합한 상기 제 1 조합 신호를 출력하는 제 1 조합 회로와; 상기 제 1 조합 신호를 반전시킨 상기 반전 신호를 출력하는 인버터와; 상기 섹터 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합한 상기 제 2 조합 신호를 출력하는 제 2 조합 회로 및; 상기 반전 신호, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합한 상기 제 3 조합 신호를 출력하는 제 3 조합 회로를 포함한다.In this embodiment, the combination circuit comprises: a first combination circuit for outputting the first combination signal combining the sector address, the address, and the first and second control signals; An inverter for outputting the inverted signal inverting the first combination signal; A second combining circuit for outputting the second combined signal combining the sector address, the first and second control signals; And a third combining circuit for outputting the third combined signal combining the inverted signal and the first and second control signals.

(작용)(Action)

이와 같은 장치에 의해서, 프로그램이나 독출 동작시, 프로그램 전압이나 독출 전압을 각 섹터에 연결된 홀수 행 디코더들이나 짝수 행 디코더들로 선택적으로 전달하여 기생 커패시턴스를 줄임으로써, 프로그램 및 독출 동작 속도를 향상시킬 수 있다.By such a device, in the program or read operation, the program and read voltages can be selectively transmitted to odd row decoders or even row decoders connected to each sector to reduce parasitic capacitance, thereby improving the program and read operation speed. have.

(실시예)(Example)

이하 본 발명의 실시예에 따른 참조도면 도 7 내지 도 10에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, reference will be made in detail with reference to FIGS. 7 to 10 according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명의 신규한 플래시 메모리 장치는 행 디코더(400), 고전압 발생 회로(800) 및 워드 라인 구동 회로(900)를 포함한다. 상기 행 디코더(400)는 메모리 셀 어레이의 각 섹터에 연결되는 복수 개의 홀수 행 디코더들(RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie) 및 복수 개의 짝수 행 디코더들(RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio)을 포함한다. 상기 고전압 발생 회로(800)는 프로그램 전압 발생 회로(810), 스위치(820) 및 독출 전압 발생 회로(830)를 포함한다. 상기 워드 라인 구동 회로(900)는 대응되는 상기 각 행 디코더들(RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio)에 연결된 복수 개의 워드 라인 구동기들(WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio)을 포함한다. 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치는 프로그램이나 독출 동작 동안에, 상기 각 워드 라인 구동기들(WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio)이 외부로부터의 섹터 어드레스(SAi), 어드레스(Ai) 및 신호들(Vexen, LVppen)의 제어에 의해 상기 고전압 발생 회로(800)로부터의 프로그램 전압(Vpp1)이나 독출 전압(Vpp2)을 대응되는 섹터(SAi)의 홀수 및 짝수 행 디코더들(RDie, RDio) 중 하나의 행 디코더(RDi)로 전달하여 상기 고전압 발생 회로(800)와 상기 행 디코더(400)의 사이에 발생되는 기생 커패시턴스를 줄임으로써, 프로그램 및 독출 동작 속도를 향상시킬 수 있다.Referring to FIG. 7, the novel flash memory device of the present invention includes a row decoder 400, a high voltage generator circuit 800, and a word line driver circuit 900. The row decoder 400 includes a plurality of odd row decoders RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie) and a plurality of even row decoders RD0o, RD1o, which are connected to each sector of the memory cell array. .., RDi-1o, RDio). The high voltage generator circuit 800 includes a program voltage generator circuit 810, a switch 820, and a read voltage generator circuit 830. The word line driver circuit 900 includes a plurality of words connected to the corresponding row decoders RD0e, RD1e, RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, RDi-1o, and RDio. Line drivers WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio. In the flash memory device according to the present invention, each of the word line drivers WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio may be a sector from the outside during a program or read operation. The odd number of sectors SAi corresponding to the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 from the high voltage generation circuit 800 is controlled by the control of the address SAi, the address Ai, and the signals Vexen and LVppen. And a parasitic capacitance generated between the high voltage generating circuit 800 and the row decoder 400 by transferring the data to one of the even row decoders RDie and RDio, to reduce the parasitic capacitance. Can improve speed.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치, 특히 노어형 플래시 메모리 장치는 고전압 발생 회로(800) 및 워드 라인 구동 회로(900)를 제외한 도 2의 플래시 메모리 장치와 동일한 구성 요소를 가진다. 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 고전압 발생 회로(800)는 프로그램 전압 발생 회로(810), 스위치(820) 및 독출 전압 발생 회로(830)를 포함한다. 도시되지는 않았지만, 상기 프로그램 전압 발생 회로(810)는 프로그램 동작 동안에, 메모리 셀 어레이의 메모리 셀들을 프로그램하기 위한 프로그램 전압(Vpp1)을 발생한다. 상기 독출 전압 발생 회로(830)는 독출 동작 동안에, 상기 메모리 셀 어레이의 메모리 셀에 저장된 데이터를 독출하기 위한 독출 전압(Vpp2)을 발생한다. 상기 스위치(820)는 외부로부터의 신호(nPMP)의 제어에 의해 상기 프로그램 동작 동안에, 상기 프로그램 전압 발생 회로(810)로부터의 상기 프로그램 전압(Vpp1)을 상기 워드 라인 구동 회로(900)로 전달하고 그리고 상기 독출 동작 동안에, 상기 독출 전압 발생 회로(830)로부터의 상기 독출 전압(Vpp2)이 상기 프로그램 전압 발생 회로(810)로부터의 상기 프로그램 전압(Vpp1)과 쇼트(short)되는 것을 방지한다.Referring to FIG. 7, the flash memory device according to the present invention, in particular the NOR-type flash memory device, has the same components as the flash memory device of FIG. 2 except for the high voltage generation circuit 800 and the word line driving circuit 900. The high voltage generator circuit 800 of the flash memory device according to the present invention includes a program voltage generator circuit 810, a switch 820, and a read voltage generator circuit 830. Although not shown, the program voltage generation circuit 810 generates a program voltage Vpp1 for programming the memory cells of the memory cell array during a program operation. The read voltage generation circuit 830 generates a read voltage Vpp2 for reading data stored in a memory cell of the memory cell array during a read operation. The switch 820 transfers the program voltage Vpp1 from the program voltage generation circuit 810 to the word line driving circuit 900 during the program operation by controlling the signal nPMP from the outside. During the read operation, the read voltage Vpp2 from the read voltage generator 830 is prevented from being shorted with the program voltage Vpp1 from the program voltage generator 810.

상기 워드 라인 구동 회로(900)는 메모리 셀 어레이의 대응되는 각 섹터들(S0, S1, ..., Si-1, Si)에 연결된 행 디코더들(RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio)에 연결된 복수 개의 워드 라인 구동기들(WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio)을 포함하며, 상기 고전압 발생 회로(800)로부터의 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)을 상기 행 디코더들(RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio) 중 대응되는 행 디코더로 전달한다. 상기 행 디코더(400)는 메모리 셀 어레이의 대응되는 각 섹터들(S0, S1, ..., Si-1, Si)에 연결된 행 디코더들(RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio)을 포함하며, 도 2의 행 어드레스 버퍼(10)로부터의 어드레스들(A)을 디코딩하여 디코딩된 어드레스(DRA)에 대응되는 메모리 셀들의 게이트들로 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 독출 전압(Vpp2)을 공급한다.The word line driver circuit 900 may include row decoders RD0e, RD1e, ..., RDi-1e connected to corresponding sectors S0, S1, ..., Si-1, Si of the memory cell array. Multiple word line drivers (WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio) connected to RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio The program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 from the high voltage generation circuit 800 may include the row decoders RD0e, RD1e, RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio) to the corresponding row decoder. The row decoder 400 includes row decoders RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie connected to corresponding sectors S0, S1, ..., Si-1, Si of the memory cell array. , RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio, each of the memory cells corresponding to the decoded address DRA by decoding the addresses A from the row address buffer 10 of FIG. The program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 is supplied to gates.

도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 워드 라인 구동 회로(900)는 각 섹터들(S0, S1, ..., Si-1, Si)에 연결된 행 디코더들(RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio)에 연결된 복수 개의 워드 라인 구동기들(WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio)을 포함한다. 메모리 셀의 섹터(Si)를 예를 들면, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 각 행 디코더들(RDie, RDio)은 섹터(Si)의 홀수 번째의 워드 라인들(W/L1, W/L3, ... , W/Ln-3, W/Ln-1)과 짝수 번째의 워드 라인들(W/L0, W/L2, ... , W/Ln-2, W/Ln)에 각각 연결된다. 그리고 상기 워드 라인 구동 회로(900)의 상기 섹터(Si)에 대응되는 워드 라인 구동기들(WDie, W/Lio)은 대응되는 상기 행 디코더들(RDie, RDio)에 연결된다. 상기 각 워드 라인 구동기들(WDie, W/Lio)은 상기 고전압 발생 회로(800)로부터의 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 독출 전압(Vpp2)을 각각 대응되는 상기 행 디코더들(RDie, RDio)로 선택적으로 전달한다.Referring to FIG. 8, the word line driving circuit 900 of the flash memory device according to the present invention may include row decoders RD0e, RD1e, connected to respective sectors S0, S1,. Multiple word line drivers (WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi) connected to ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio -1o, WDie, WDio). For example, as shown in FIG. 8, each of the row decoders RDie and RDio has odd-numbered word lines W / L1 and W / L3 of the sector Si. , ..., W / Ln-3, W / Ln-1) and even word lines (W / L0, W / L2, ..., W / Ln-2, W / Ln), respectively do. The word line drivers WDie and W / Lio corresponding to the sector Si of the word line driver circuit 900 are connected to the corresponding row decoders RDie and RDio. Each of the word line drivers WDie and W / Lio selectively selects the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 from the high voltage generation circuit 800 as corresponding row decoders RDie and RDio, respectively. To pass.

도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 워드 라인 구동 회로(900)의 각 워드 라인 구동기들(WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio)은 조합 회로부(COMB), 레벨 쉬프트 회로(LS) 및 스위치 회로(SW)를 포함한다. 상기 조합 회로부(COMB)는 인버터(I1), 제 1, 제 2 및 제 3 조합 회로들(COMB1, CONB2, COMB3)을 포함한다. 상기 제 1 조합 회로부(COMB1)는 노어 게이트들(NOR1, NOR2) 및 낸드 게이트(ND1)를 포함하며, 섹터 어드레스(SA), 어드레스(A) 및 신호들(Vexen, LVppen)을 조합하여 제 1 조합 신호(COM1)를 출력한다. 상기 인버터(I1)는 상기 제 1 조합 신호(COM1)를 반전시킨다. 상기 제 2 조합 회로(COMB2)는 인버터들(I2, I3) 및 노어 게이트들(NOR3, NOR4)을 포함하며, 상기 섹터 어드레스(SA) 및 상기 신호들(Vexen; 소거 동작시 논리 하이 레벨로 인에이블되는 신호, LVppen; Vpp가 Vcc보다 낮을 때 논리 하이 레벨로 인에이블되는 신호)을 조합한 제 2 조합 신호(COM2)를 출력한다. 상기 제 3 조합 회로(COMB3)는 노어 게이트(NOR5) 및 인버터(I4)를 포함하며, 상기 인버터(I1)로부터의 조합 신호(COM1B) 및 상기 신호들(Vexen, LVppen)을 조합한 제 3 조합 신호(COM3)를 출력한다.9, the word line drivers WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio of the word line driver circuit 900 according to the present invention are combined. The circuit unit COMB, the level shift circuit LS, and the switch circuit SW are included. The combination circuit unit COMB includes an inverter I1, first, second and third combination circuits COMB1, CONB2, and COMB3. The first combination circuit unit COMB1 includes NOR gates NOR1 and NOR2 and a NAND gate ND1, and combines a sector address SA, an address A, and signals Vexen and LVppen. The combined signal COM1 is output. The inverter I1 inverts the first combination signal COM1. The second combination circuit COMB2 includes inverters I2 and I3 and NOR gates NOR3 and NOR4, and the sector address SA and the signals Vexen are brought into a logic high level during an erase operation. A second combination signal COM2 that combines the signal being enabled, LVppen; which is enabled at a logic high level when Vpp is lower than Vcc) is output. The third combination circuit COMB3 includes a NOR gate NOR5 and an inverter I4, and a third combination combining the combination signal COM1B and the signals Vexen and LVppen from the inverter I1. Output the signal COM3.

상기 레벨 쉬프트 회로(LS)는 MOS 트랜지스터들(PM1, PM2, NM1,NM2)을 포함하며, 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)을 받아들이고, 상기 조합 회로(COMB)로부터의 조합 신호들(COM1, COM1B)에 응답해서 상기 스위치 회로(SW)를 제어한다. 상기 스위치 회로(SW)는 MOS 트랜지스터들(PM3, PM4, PM5, NM3)을 포함하며, 상기 레벨 쉬프트 회로(LS)로부터의 출력 신호들 및 상기 조합 회로(COMB)로부터의 제 2 및 제 3 조합 신호들(COM2, COM3)의 제어에 의해 전원 전압(Vcc), 프로그램 전압(Vpp1) 및 독출 전압(Vpp2) 중 하나를 상기 행 디코더(400)로 전달한다.The level shift circuit LS includes MOS transistors PM1, PM2, NM1, NM2, and receives the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2, and a combined signal from the combination circuit COMB. The switch circuit SW is controlled in response to the signals COM1 and COM1B. The switch circuit SW includes MOS transistors PM3, PM4, PM5, NM3, and output signals from the level shift circuit LS and second and third combinations from the combination circuit COMB. One of the power supply voltage Vcc, the program voltage Vpp1, and the read voltage Vpp2 is transmitted to the row decoder 400 by controlling the signals COM2 and COM3.

이하, 도 7 내지 도 10을 참조하여 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 동작이 설명된다.Hereinafter, the operation of the flash memory device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 10.

도 7 내지 도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치는 프로그램 및 독출 동작시, 워드 라인 구동기들(WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio)이 외부로부터의 섹터 어드레스(SAi), 어드레스(Ai) 및 신호들(Vexen, LVppen)의 제어에 의해 상기 고전압 발생 회로(800)로부터의 프로그램 전압(Vpp1)이나 독출 전압(Vpp2)을 대응되는 섹터(SAi)의 홀수 및 짝수 행 디코더들(RDie, RDio) 중 하나의 행 디코더(RDi)로 전달하여 상기 고전압 발생 회로(800)와 상기 행 디코더(400)의 사이에 발생되는 기생 커패시턴스를 줄임으로써, 프로그램 및 독출 동작 속도를 향상시키는 것을 특징으로 한다.7 to 10, in the flash memory device according to the present invention, word line drivers WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio corresponds to the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 from the high voltage generation circuit 800 by controlling the sector address SAi, the address Ai, and the signals Vexen and LVppen from the outside. The parasitic capacitance generated between the high voltage generator circuit 800 and the row decoder 400 may be transferred to one of the row decoders RDi among the odd and even row decoders RDie and RDio of the sector SAi. By reducing, the program and read operation speed are improved.

본 발명에 따른 플래시 메모리 장치는 도 7에 도시된 바와 같이, 메모리 셀 어레이의 각 섹터들에 연결된 복수 개의 행 디코더들(RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, ..., RDi-1o, RDio)에 연결된 복수 개의 워드 라인 구동기들(WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio)을 가지는 워드 라인 구동 회로(900)를 포함한다. 상기 워드 라인 구동기들(예를 들어, WDie, WDio)은 도 8에 도시된 바와 같이 하나의 섹터(예를 들어, SAi)에 연결된 행 디코더들(RDie, RDio) 중 대응되는 행 디코더(RDi)에 각각 연결된다.As shown in FIG. 7, the flash memory device according to the present invention includes a plurality of row decoders RD0e, RD1e, ..., RDi-1e, RDie, RD0o, RD1o, which are connected to respective sectors of the memory cell array. Word line driver circuit 900 having a plurality of word line drivers WD0e, WD0o, WD1e, WD1o, ..., WDi-1e, WDi-1o, WDie, WDio connected to RDi-1o, RDio) ). The word line drivers (eg, WDie, WDio) may have a corresponding row decoder (RDi) among the row decoders (RDie, RDio) connected to one sector (eg, SAi) as shown in FIG. 8. Are each connected to.

프로그램 동작이 시작되면, 상기 고전압 발생 회로(800)의 상기 프로그램 전압 발생 회로(810)가 소정의 전압 레벨(예를 들어, 10V)을 가지는 상기 프로그램 전압(Vpp1)을 발생한다. 이때, 상기 스위치(820)는 논리 로우 레벨을 가지는 신호(nPMP)의 제어에 의해 상기 프로그램 전압(Vpp1)을 상기 워드 라인 구동 회로(900)로 전달한다. 또한 독출 동작이 시작되면, 상기 고전압 발생 회로(800)의 상기 독출 전압 발생 회로(830)가 소정의 전압 레벨(예를 들어, 4V)을 가지는 상기 독출 전압(Vpp2)을 발생한다. 이때, 상기 스위치(820)는 논리 하이 레벨을 가지는 신호(nPMP)의 제어에 의해 상기 프로그램 전압(Vpp1)의 출력 경로를 차단한다.When the program operation starts, the program voltage generation circuit 810 of the high voltage generation circuit 800 generates the program voltage Vpp1 having a predetermined voltage level (eg, 10V). In this case, the switch 820 transfers the program voltage Vpp1 to the word line driving circuit 900 under the control of the signal nPMP having a logic low level. In addition, when a read operation is started, the read voltage generator 830 of the high voltage generator 800 generates the read voltage Vpp2 having a predetermined voltage level (for example, 4V). In this case, the switch 820 blocks the output path of the program voltage Vpp1 under the control of the signal nPMP having a logic high level.

상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)이 상기 워드 라인 구동 회로(900)로 공급되면, 도 9의 상기 각 워드 라인 구동기들(WDe, WDo)은 상기 전압들(Vpp1, Vpp2)이나 전원 전압(Vcc) 중 하나를 선택적으로 상기 행 디코더(RDe, RDo)로 전달한다. 상기 조합 회로(COMB)의 제 1 조합 회로(COMB1)는 상기 프로그램이나 독출 동작시, 논리 하이 레벨의 섹터 어드레스(SA) 및 어드레스(A)와 논리 로우 레벨의 신호들(Vexen, LVppen)을 조합한 논리 로우 레벨의 상기 제 1 조합 신호(COM1)를 출력한다. 이때, 상기 섹터 어드레스(SA)는 섹터를 선택하는 어드레스이며, 상기 어드레스(A)는 홀수 및 짝수의 상기 행 디코더들 중 하나를 선택하는 신호이다. 상기 인버터(I1)는 상기 제 1 조합 신호(COM1)의 전압 레벨을 반전시킨다. 상기 제 2 조합 회로(COMB2)는 논리 하이 레벨의 상기 섹터 어드레스(SA) 및 논리 로우 레벨의 상기 신호들(Vexen, LVppen)을 조합한 논리 로우 레벨의 상기 제 2 조합 신호(COM2)를 출력한다. 그리고 상기 제 3 조합 회로(COMB3)는 상기 인버터(I1)로부터의 조합 신호(COM1B) 및 논리 로우 레벨의 상기 신호들(Vexen, LVppen)을 조합한 논리 하이 레벨의 상기 제 3 조합 신호(COM3)를 출력한다.When the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 is supplied to the word line driver circuit 900, each of the word line drivers WDe and WDo of FIG. 9 is connected to the voltages Vpp1 and Vpp2. One of the power supply voltages Vcc is selectively transferred to the row decoders RDe and RDo. The first combination circuit COMB1 of the combination circuit COMB combines a logic high level sector address SA and an address A with logic low level signals Vexen and LVppen during the program or read operation. The first combination signal COM1 of one logic low level is output. In this case, the sector address SA is an address for selecting a sector, and the address A is a signal for selecting one of odd and even row decoders. The inverter I1 inverts the voltage level of the first combined signal COM1. The second combination circuit COMB2 outputs the second combination signal COM2 having the logic low level combining the sector address SA of the logic high level and the signals Vexen and LVppen of the logic low level. . The third combination circuit COMB3 is configured to combine the combination signal COM1B from the inverter I1 and the signals Vexen and LVppen of a logic low level with the third combination signal COM3 having a logic high level. Outputs

상기 프로그램이나 상기 독출 동작 동안에, 상기 레벨 쉬프트 회로(LS)는 상기 조합 회로(800)로부터의 상기 제 1 조합 신호(COM1) 및 반전된 상기 제 1 조합 신호(COM1B)의 제어에 의해 상기 스위치 회로(SW)의 MOS 트랜지스터들(PM3, PM5)을 제어한다. 상기 조합 회로(COMB)로부터 논리 로우 레벨의 상기 제 1 조합 신호(COM1)와 논리 하이 레벨의 반전된 상기 제 1 조합 신호(COM1B)가 상기 레벨 쉬프트 회로(LS)로 입력되면, 상기 레벨 쉬프트 회로(LS)의 MOS 트랜지스터(NM1)의 전류 통로는 차단되고 그리고 MOS 트랜지스터(NM2)의 전류 통로는 도통된다. 이로인해, 상기 MOS 트랜지스터(NM1)의 드레인에 형성된 노드(ND1)는 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)으로 챠지되고 그리고 상기 MOS 트랜지스터(NM2)의 드레인에 형성된 노드(ND2)는 접지 전압(Vss) 레벨로 디스챠지된다.During the program or the read operation, the level shift circuit LS is controlled by the first combination signal COM1 from the combination circuit 800 and the inverted first combination signal COM1B. The MOS transistors PM3 and PM5 of (SW) are controlled. When the first combination signal COM1 having a logic low level and the inverted first combination signal COM1B having a logic high level are input from the combination circuit COMB to the level shift circuit LS, the level shift circuit The current path of the MOS transistor NM1 of the LS is blocked and the current path of the MOS transistor NM2 is conducted. Accordingly, the node ND1 formed at the drain of the MOS transistor NM1 is charged with the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 and the node ND2 formed at the drain of the MOS transistor NM2 is It is discharged to the ground voltage (Vss) level.

상기 스위치 회로(SW)의 상기 MOS 트랜지스터(PM3)의 전류 통로는 상기 레벨 쉬프트 회로(LS)의 상기 노드(ND2)의 로우 레벨의 전압에 의해서 도통되어 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)을 대응되는 행 디코더(RD)로 공급한다. 그리고 상기 MOS 트랜지스터(PM5)의 전류 통로는 상기 레벨 쉬프트 회로(LS)의 상기 노드(ND1)에 챠지된 하이 레벨의 전압에 의해서 따라 차단되어 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)이 전원 전압(Vcc)으로 누설되는 것을 방지한다. 또한, MOS 트랜지스터들(PM4, NM3)의 각 전류 통로들은 상기 조합 회로(COMB)로부터의 상기 제 2 및 제 3 조합 신호들(COM2, COM3)의 제어에 의해 차단되어 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)이 전원 전압(Vcc)이나 접지 전압(Vss)으로 누설되는 것을 방지한다.The current path of the MOS transistor PM3 of the switch circuit SW is conducted by the low level voltage of the node ND2 of the level shift circuit LS, so that the program voltage Vpp1 or the read voltage ( Vpp2) is supplied to the corresponding row decoder RD. The current path of the MOS transistor PM5 is blocked by a high level voltage charged at the node ND1 of the level shift circuit LS, so that the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 is reduced. Prevent leakage to power supply voltage (Vcc). In addition, each of the current paths of the MOS transistors PM4 and NM3 is blocked by the control of the second and third combination signals COM2 and COM3 from the combination circuit COMB, thereby reducing the program voltage Vpp1. The read voltage Vpp2 is prevented from leaking to the power supply voltage Vcc or the ground voltage Vss.

그리고 프로그램이나 독출 동작이 수행되지 않는 섹터에 연결된 워드 라인 구동기들의 스위치 회로(SW)는 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2) 대신에 전원 전압(Vcc)을 대응되는 행 디코더들(RD)로 전달한다. 이로써, 상기 워드 라인 구동 회로(900)는 상기 고전압 발생 회로(800)로부터의 상기 프로그램 전압(Vpp1)이나 상기 독출 전압(Vpp2)을 상기 섹터 어드레스(SA) 및 어드레스(A)에 의해서 선택된 섹터(SA)의 홀수 행 디코더(RDe)나 짝수 행 디코더(RDo)로 선택적으로 공급함으로써, 상기 고전압 발생 회로(800)와 메모리 셀 어레이내의 상기 행 디코더(400)의 사이에 발생되는 기생 커패시턴스(도 2의 C2)를 크게 줄일 수 있다.In addition, the switch circuits SW of the word line drivers connected to the sectors in which the program or the read operation is not performed may use the row decoders RD corresponding to the power supply voltage Vcc instead of the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2. To pass). As a result, the word line driving circuit 900 selects the program voltage Vpp1 or the read voltage Vpp2 from the high voltage generation circuit 800 by the sector address SA and the address A. By selectively supplying to the odd row decoder RDe or the even row decoder RDo of SA, parasitic capacitances generated between the high voltage generator circuit 800 and the row decoder 400 in the memory cell array (FIG. 2). C2) can be greatly reduced.

도 10을 참조하면, 전원 전압(Vcc)이 2.5V이고 100ns(nano second)에서 독출 동작이 수행되는 경우에, 종래의 기술에 따른 플래시 메모리 장치의 독출 전압 발생 회로(83)에서 발생되는 독출 전압(Vpp2)과 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 독출 전압 발생 회로(830)에서 발생되는 독출 전압(Vpp2)을 비교하면(①), 종래의 기술에 따른 플래시 메모리 장치의 독출 전압 발생 회로(83)에서 발생된 독출 전압(Vpp2 old)은 4.2V의 전압 레벨을 가지는데 비해, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 독출 전압 발생 회로(830)에서 발생되는 독출 전압(Vpp2 new)은 동일한 시간대에서 4.5V의 전압 레벨을 가진다. 이것은, 독출 전압 발생 회로(83, 830)의 커패시터(C1)와 기생 커패시터(C2)의 커플링 비율(coupling ratio)에 의한 차이이다.Referring to FIG. 10, when the power supply voltage Vcc is 2.5 V and a read operation is performed at 100 ns (nano second), a read voltage generated by the read voltage generation circuit 83 of the flash memory device according to the related art is described. (Vpp2) and the read voltage Vpp2 generated by the read voltage generation circuit 830 of the flash memory device according to the present invention (1), the read voltage generation circuit 83 of the flash memory device according to the prior art is compared. The read voltage Vpp2 old generated at has a voltage level of 4.2 V, whereas the read voltage Vpp2 new generated at the read voltage generator 830 of the flash memory device according to the present invention is 4.5 V at the same time. Has a voltage level of. This is a difference due to the coupling ratio between the capacitor C1 of the read voltage generator circuits 83 and 830 and the parasitic capacitor C2.

그리고, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 행 디코더(RDi)에 전달되는 전압 레벨(Vpxi new)과 워드 라인(W/L)에 전달되는 전압 레벨(W/L new)과 종래의 기술에 따른 플래시 메모리 장치의 행 디코더(RDi)에 전달되는 전압 레벨(Vpxi old)과 워드 라인(W/L)에 전달되는 전압 레벨(W/L old)을 비교하여(②,③) 최종적으로 워드 라인(W/L)이 4.2V가 되는 점으로 보면, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 워드 라인(W/L new)이 4.2V로 차지되는 점이 종래의 기술에 따른 플래시 메모리 장치의 워드 라인(W/L old)이 4.2V로 차지되는 점보다 약 10ns 정도 빠르다. 이때, 워드 라인(W/L)의 전압이 4.2V가 되는 점을 비교한 이유는 '4.2V'의 워드 라인(W/L) 전압이 독출 동작시 정상적으로 소거되지 않은(worse하게 소거된) 메모리 셀의 데이터를 독출하는데 필요한 최소한의 전압이기 때문이다. 이와 같이, 일반적인 플래시 메모리 장치의 독출 동작 속도가 2.5v의 외부 전원 전압 상태에서 100ns라고 볼 때, 10ns의 속도 단축은 매우 큰 것이다.Then, the voltage level Vpxi new delivered to the row decoder RDi of the flash memory device according to the present invention, the voltage level W / L new delivered to the word line W / L, and the flash according to the related art. The voltage level Vpxi old transmitted to the row decoder RDi of the memory device is compared with the voltage level W / L old transmitted to the word line W / L (2, 3) and finally the word line W / L) is 4.2V, the word line (W / L new) of the flash memory device according to the present invention occupies 4.2V is the word line (W / L) of the flash memory device according to the prior art It is about 10ns faster than the point where old) is charged with 4.2V. At this time, the reason why the voltage of the word line (W / L) is 4.2V is compared because the memory of the word line (W / L) of '4.2V' is not erased (worse erased) during the read operation This is because the minimum voltage required to read the data of the cell. As described above, when the read operation speed of a general flash memory device is 100ns at an external power supply voltage of 2.5v, the speed reduction of 10ns is very large.

참고로, 도 2의 기생 커패시턴스 값은 16M급 플래시 메모리 장치의 경우, 종래에는 약 61pF 정도이며, 그 중에서 행 디코더가 차지하는 로딩(loading)은 약 27.8pF 정도이다. 그러나, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치에서는 전체 기생 커패시턴스가 약 47.1pF 정도로 줄어들게 된다. 이 값은 종래에 비해서 약 22.8%가 줄어든 것을 의미하며, 동일 조건하에서 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치가 종래의 기술에 따른 플래시 메모리 장치보다 빠른 프로그램 및 독출 동작 속도를 가지는 것을 의미한다.For reference, the parasitic capacitance value of FIG. 2 is about 61 pF in the case of a 16M-class flash memory device, and the loading of the row decoder is about 27.8 pF. However, in the flash memory device according to the present invention, the overall parasitic capacitance is reduced to about 47.1 pF. This value means a reduction of about 22.8% compared to the prior art, and means that the flash memory device according to the present invention has a faster program and read operation speed than the flash memory device according to the prior art under the same conditions.

이상에서, 본 발명에 따른 회로의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the circuit according to the present invention are shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely described, for example, and various changes and modifications are possible without departing from the spirit of the present invention. .

상기한 바와 같이, 프로그램이나 독출 동작시, 프로그램 전압이나 독출 전압을 각 섹터에 연결된 홀수 행 디코더들이나 짝수 행 디코더들로 선택적으로 전달하여 기생 커패시턴스를 줄임으로써, 프로그램 및 독출 동작 속도를 향상시킬 수 있다.As described above, during the program or read operation, the program and read operation speed may be improved by selectively transferring the program voltage or the read voltage to odd row decoders or even row decoders connected to each sector, thereby reducing parasitic capacitance. .

Claims (3)

플로팅 게이트 타입의 복수 개의 메모리 셀들을 가지는 복수 개의 섹터들을 포함하는 메모리 셀 어레이와, 상기 메모리 셀 어레이의 각 섹터들의 대응되는 워드 라인들 중 하나를 선택하는 제 1 그룹의 행 디코더들과, 상기 각 섹터들의 대응되는 워드 라인들 중 하나를 선택하는 제 2 그룹의 행 디코더들을 구비하는 플래시 메모리 장치에 있어서:A memory cell array including a plurality of sectors having a plurality of floating gate type memory cells, a first group of row decoders for selecting one of corresponding word lines of each sector of the memory cell array, A flash memory device having a second group of row decoders for selecting one of corresponding word lines of sectors: 프로그램 동작 동안, 소정의 전압 레벨을 가지는 프로그램 전압을 발생하고 그리고 독출 동작 동안, 상기 프로그램 전압보다 낮은 소정의 전압 레벨을 가지는 독출 전압을 발생하는 고전압 발생 회로 및;A high voltage generation circuit for generating a program voltage having a predetermined voltage level during a program operation and generating a read voltage having a predetermined voltage level lower than the program voltage during a read operation; 섹터 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 그룹들의 행 디코더들 중에서 하나의 그룹을 선택하는 어드레스, 그리고 제 1 및 제 2 제어 신호들에 응답해서 상기 고전압 발생 회로로부터의 상기 프로그램 전압이나 상기 독출 전압을 상기 제 1 및 제 2 그룹들의 행 디코더들 중에서 대응되는 하나의 행 디코더로 전달하는 워드 라인 구동 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.The program voltage or the read voltage from the high voltage generation circuit in response to a sector address, an address for selecting one of the first and second groups of row decoders, and first and second control signals; And a word line driver circuit for transferring one of the first and second groups of row decoders to a corresponding one of the row decoders. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 워드 라인 구동 회로는,The word line driver circuit, 상기 섹터 어드레스, 상기 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합하여 제 1, 제 2, 제 3 제어 신호들 및 상기 제 1 제어 신호의 반전 신호들 출력하는 조합 회로와,A combination circuit for combining the sector address, the address, the first and second control signals, and outputting first, second and third control signals and inverted signals of the first control signal; 상기 제 1 제어 신호 및 상기 반전 신호에 응답해서 제 1 및 제 2 스위치 제어 신호들을 출력하는 스위치 제어 회로 및,A switch control circuit for outputting first and second switch control signals in response to the first control signal and the inversion signal; 상기 제 1 및 제 2 스위치 제어 신호들과 상기 제 2 및 제 3 조합 신호들에 응답해서 전원 전압, 상기 프로그램 전압, 상기 독출 전압 및 접지 전압 중 하나의 전압을 선택적으로 대응되는 행 디코더로 전달하는 스위치 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.Selectively transmitting one of a power supply voltage, the program voltage, the read voltage, and the ground voltage to a corresponding row decoder in response to the first and second switch control signals and the second and third combination signals. Flash memory device comprising a switch circuit. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 조합 회로는,The combination circuit, 상기 섹터 어드레스, 상기 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합한 상기 제 1 조합 신호를 출력하는 제 1 조합 회로와,A first combining circuit for outputting the first combined signal combining the sector address, the address, and the first and second control signals; 상기 제 1 조합 신호를 반전시킨 상기 반전 신호를 출력하는 인버터와,An inverter for outputting the inverted signal inverting the first combination signal; 상기 섹터 어드레스, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합한 상기 제 2 조합 신호를 출력하는 제 2 조합 회로 및,A second combining circuit for outputting the second combined signal combining the sector address, the first and second control signals, and 상기 반전 신호, 상기 제 1 및 제 2 제어 신호들을 조합한 상기 제 3 조합 신호를 출력하는 제 3 조합 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And a third combining circuit for outputting the third combined signal combining the inverted signal and the first and second control signals.
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