KR20000026880A - Discontinuous exposure lens using grating and method for fabricating thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 회절격자를 이용한 불연속 노광렌즈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더상세하게는 칼라 브라운관 제조 공정 중 스크린 공정에 사용되는 불연속 렌즈에 관한 것이다.The present invention relates to a discontinuous exposure lens using a diffraction grating and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a discontinuous lens used in the screen process of the color CRT manufacturing process.
칼라 브라운관의 제조 공정 중 스크린 공정에서 사용되는 보상용 노광 렌즈에는 형상에 따라 일반적으로 연속 렌즈와 불연속 렌즈 두 종류로 분류할 수 있다. 본 발명은 불연속 렌즈에 관한 것으로써, 종래의 불연속 렌즈의 제작 과정은 일정한 면적으로 분할하여 블록화하고 계산된 렌즈의 기울기에 따라 금형을 제작하고, 이렇게 제작된 금형으로 각 단위 블록의 렌즈를 성형하고 조합하여 렌즈면을 성형하거나, 블록으로 구성된 금형을 조합하여 성형을 한다. 이 과정에서 이미 형성된 금형의 크기나 모양에 의하여 불연속 렌즈와 한 블록의 크기나 모양이 결정되므로 변경이 불가하며, 그 금형을 이용하여 불연속 렌즈를 제작시 금형의 이물에 의하여 성형되는 면의 균일성이 저조하므로 금형에 대한 고도의 관리가 이루어져야 하고, 상기에 의해 제작된 불연속 렌즈는 블록마다의 단차를 가지고 있으므로 노광시의 이물에 의한 빛의 산란을 막기 위해서는 성형된 렌즈에 대해서도 고도의 관리가 이루어져야 한다. 또한 상기의 금형 제작시 고비용의 단점과, 이에 의해 제작되는 불연속 렌즈는 소재 면에 있어서도 금형으로 성형이 가능한 소재의 제한성이 따르며, 이러한 제한에 의해 렌즈의 광투과율에도 문제가 동반된다.Compensation exposure lenses used in the screen process of the color CRT manufacturing process can be generally classified into two types according to the shape of the continuous lens and discontinuous lens. The present invention relates to a discontinuous lens, and the manufacturing process of a conventional discontinuous lens is divided into a predetermined area and blocked, and a mold is manufactured according to the calculated slope of the lens, and the lens of each unit block is formed by using the manufactured mold. In combination, the lens surface is formed, or a mold composed of blocks is combined to form. Since the size or shape of the discontinuous lens and a block is determined by the size or shape of the mold already formed in this process, it is impossible to change the uniformity of the surface formed by the foreign material of the mold when producing the discontinuous lens using the mold. Due to this low level, a high level of care must be taken for the mold, and since the discontinuous lenses produced above have a step-by-block level, a high level of care must be taken for the molded lens to prevent light scattering by foreign objects during exposure. do. In addition, the disadvantages of high cost in the production of the mold, and the resulting discontinuous lens is also limited in terms of the material that can be molded into the mold, this problem is accompanied by a problem in the light transmittance of the lens.
종래의 블록형 불연속 렌즈는 금형에 의한 렌즈의 성형 때문에 광투과율에 관련되는 렌즈의 소재 선정의 제한성, 렌즈를 제작하기 위한 금형 관리의 곤란성, 금형 제작시 소요되는 고비용, 성형된 렌즈 관리의 용이성 등의 문제점이 발생된다.The conventional block-type discontinuous lens has limited material selection of the lens related to the light transmittance due to the molding of the lens by a mold, difficulty in managing the mold for manufacturing the lens, high cost required for mold manufacturing, ease of managing the molded lens, and the like. Problem occurs.
따라서, 본 발명에서는 상기에 열거된 종래의 블록형 불연속 렌즈의 문제점인 소재 선정의 제한성, 금형 및 렌즈 관리의 용이성, 금형 제작을 위한 고비용 문제를 해결하기 위해 평면이고 재질에 구애되지 않는 방법으로 해결하고자 한다.Accordingly, the present invention solves the planar and material-independent methods to solve the problems of the above-described conventional block-type discontinuous lens, the limitation of material selection, the ease of mold and lens management, and the high cost problem for mold making. I would like to.
본 발명에서는 광학적인 방법을 이용하며 이에 의해 제작된 불연속 렌즈는 그 표면이 평면이므로 렌즈의 관리가 용이하고, 두께의 제한을 받지 않으며, 종래의 블록형 불연속 렌즈와 같이 제작을 위한 금형이 불필요하므로 저비용으로 구현이 가능할 뿐만 아니라 블록의 크기와 모양의 제한성없이 렌즈 제작이 가능하며, 렌즈의 소재 또한 다양하게 하여 광투과율을 높일 수 있다.In the present invention, an optical method is used, and the discontinuous lens manufactured by the method is easy to manage the lens because its surface is flat, and is not limited in thickness, and thus, a mold for manufacturing is unnecessary, as in the conventional block type discontinuous lens. Not only can it be implemented at low cost, but the lens can be manufactured without limitation of block size and shape, and the material of the lens can be varied to increase light transmittance.
도 1은 본 발명에서 불연속 렌즈를 제작할 때 사용되는 장치도,1 is an apparatus used when manufacturing a discrete lens in the present invention,
도 2a는 불연속 렌즈를 제작시 두 빛의 방향을 나타낸 개략도,Figure 2a is a schematic diagram showing the direction of the two lights when manufacturing a discrete lens,
도 2b는 제작된 불연속 렌즈에 제작시와 동일한 방향의 빛을 하나만 주었을 때 렌즈에 의한 빛의 회절현상에 대한 개략도,Figure 2b is a schematic diagram of the diffraction phenomenon of the light by the lens when given only one light in the same direction as the manufacturing discontinuous lens,
도 3은 제작할 불연속 렌즈의 블록 모양과 크기 그리고 조리개의 예를 보여주는 개략도,3 is a schematic diagram showing an example of a block shape and size of a discontinuous lens to be manufactured and an aperture;
도 4는 도 1에 의해 제작된 불연속 렌즈의 단면도,4 is a cross-sectional view of the discontinuous lens manufactured by FIG. 1;
도 5는 일반적인 금형을 사용하여 성형된 불연속 렌즈의 단면도.5 is a cross-sectional view of a discontinuous lens molded using a general mold.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
1: 광원 2: 블록1: light source 2: block
3: 거울 4: 공간여과기3: mirror 4: space filter
5: 집속 렌즈 6: 조리개5: focusing lens 6: aperture
7: 기판 11: 불연속 렌즈7: Substrate 11: Discrete Lens
12: 블록 13: 조리개12: block 13: aperture
14: 개구부분 71: 고분자물질층14: opening portion 71: polymer layer
상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명에서는 광학적인 방법으로 제작되는 회절격자의 빛의 회절현상을 이용하여 제작함으로서 렌즈면에 단차가 없는 평면으로 제작되며, 금형이 아닌 광학계를 이용하여 제작하므로 렌즈의 단위 블록의 크기나 모양에 제한성을 배제할 수 있다.In order to achieve the above object, in the present invention, the light is produced by using a diffraction phenomenon of light of a diffraction grating manufactured by an optical method. Restrictions can be excluded in the size or shape of the unit block.
본 발명의 일실시예에 따른 회절격자를 이용한 불연속 노광렌즈는, 칼라브라운관 제조 공정중 스크린 공정에서 사용되는 노광렌즈에 있어서, 두 빛의 간섭에 의해서 단차가 없는 렌즈면에 회절격자가 생성되고, 렌즈를 통과한 빛이 회절격자에 의해서 회절하는 현상에 의해 불연속 렌즈를 형성하여 렌즈의 단면이 단차가 없는 평면인 구조를 갖는 것을 특징으로 한다. 그 불연속 렌즈는 유리 혹은 다른 투명한 물질로 된 바닥기판위에 광에 의한 반응을 할 수 있는 고분자물질층이 수십㎛에서 수 ㎛의 두께로 형성되며, 그 제조방법은, 두 빛의 간섭에 의해서 단차가 없는 렌즈면에 하나의 회절격자의 블록씩 이동하면서 노광함으로써 단차가 없는 불연속 렌즈가 제조되는 것을 특징으로 한다.In the discontinuous exposure lens using the diffraction grating according to the embodiment of the present invention, in the exposure lens used in the screening process of the color CRT manufacturing process, the diffraction grating is generated on the lens surface without the step by the interference of the two lights, The discontinuous lens is formed by the diffraction of light passing through the lens by the diffraction grating, so that the cross section of the lens has a flat structure without a step. The discontinuous lens has a layer of polymer material capable of reacting with light on a bottom substrate made of glass or other transparent material with a thickness of several tens of micrometers to several micrometers. Discontinuous lenses without steps are manufactured by exposing and moving blocks of one diffraction grating on a lens surface that is absent.
따라서, 조리개의 모양과 크기에 따라 불연속 렌즈의 블록의 크기와 모양이 자유로이 조절될 수 있게 된다.Therefore, the size and shape of the block of the discontinuous lens can be freely adjusted according to the shape and size of the aperture.
이와 같이 회절격자를 이용한 광학적인 불연속 렌즈는, 빛에 반응하는 고분자물질이 수㎛ 내지 수십 ㎛의 두께로 고르게 코팅된 평면의 광투과율이 높은 기판을 표적으로 사용하고, 광 경로의 제어가 가능한 간섭 무늬 형성 장치에 의해 형성되는 간섭 무늬에 의하여 표적의 특정 부위의 코팅된 고분자물질의 결합상태를 변화시켜 물질내부의 굴절률이 변하게 함으로써 일종의 경계면을 형성하게되고, 그 경계면에 의해서 빛이 굴절되는 현상을 이용하여 보정 렌즈의 역할을 가능토록 하는 것이다.As described above, the optical discontinuous lens using a diffraction grating uses an optically high substrate having a high light transmittance on which a polymer material reacting to light is evenly coated to a thickness of several to several tens of micrometers, and can control the optical path. The interference pattern formed by the pattern forming device changes the bonding state of the coated polymer material at a specific part of the target, thereby changing the refractive index inside the material, thereby forming a kind of interface, and the light is refracted by the interface. To enable the role of the correction lens.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 설명과 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a specific description and embodiments of the present invention.
본 발명에서 제안한 새로운 블록 렌즈는 광학적인 방법에 의해 제작된다. 여기서 사용되는 광학적인 방법은 빛을 특정한 방향으로 회절시키는 회절격자의 광학적 특성을 이용한 것으로써, 이 회절격자를 제작하는 실험 장치도를 도1에 표시하였다.The new block lens proposed in the present invention is manufactured by an optical method. The optical method used here utilizes the optical characteristics of the diffraction grating for diffracting light in a specific direction, and a diagram of an experimental device for producing the diffraction grating is shown in FIG.
도 1에서 광원(1)은 칼라 브라운관 제조 공정 중 스크린 공정의 노광장치에 사용되는 것으로서 그 광원(1)의 파장은 레지스트의 광감도에 적합한 파장을 사용하므로 도 1의 광원(1)의 파장도 레지스트의 광감도에 적합한 파장을 사용하며, 이에 적합한 광원(1)은 도 1의 기판(7)의 부분에서 두 개의 빛이 간섭무늬를 형성하여 하는데 있어서 간섭성이 가장 좋은 레이저이다.In FIG. 1, the light source 1 is used for an exposure apparatus of a screen process during a color CRT manufacturing process. Since the wavelength of the light source 1 uses a wavelength suitable for the light sensitivity of the resist, the wavelength of the light source 1 of FIG. The light source 1 suitable for the light sensitivity of the light source 1 is the laser having the best coherence in forming two interference patterns of two lights in the part of the substrate 7 of FIG.
도 1에서 광분할기(2)는 광원에서 나온 빛을 두 개의 경로로 나누어 주는 역활을 한다. 여기서 다른 실시예로, 이 부분에서 광분할기(2)로 나누어진 두 빛의 세기를 같게 하기 위하여 가변감쇠기(VARIABLE ATTENUATOR)를 사용한다.In FIG. 1, the splitter 2 serves to divide the light from the light source into two paths. In another embodiment, a variable attenuator is used to equalize the intensity of the light divided by the splitter 2 in this section.
도 1에서 3은 거울이며, 다른 실시예로, 도 1에는 표시가 되어 있지 않지만 간섭무늬의 간격이 상당히 작으므로 외부 또는 도 1의 광학계들의 진동에 의해서 간섭무늬가 기록되지 못하는 경우가 있는데, 이런 경우 거울에 초소형내장제어전동기(SUBMTCRON-MOTOR)를 장착하고, 기판(7)을 지난 두 빛의 위상을 검출해서 위상을 비교하고 위상의 차이 만큼을 보상해 줄 수 있다.1 to 3 are mirrors, and in another embodiment, the interference fringes may not be recorded due to the vibration of the optical system of FIG. In this case, a small built-in control motor (SUBMTCRON-MOTOR) may be mounted on the mirror, and the phases of the two lights passing through the substrate 7 may be detected to compare phases and compensate for the difference in phases.
그리고 도 1에서 기호 4는 볼록 렌즈와 핀홀(PINHOLE: 바늘구멍)로 이루어진 공간여과기(spatial filter)이다. 공간여과기(4)의 기능은 광원으로부터 나온 광의 세기를 균일하게 만들어 주는 것이다. 만약 노광시 두 빛의 세기를 일정하게 만들어 주지 않으면 기록되는 간섭무늬에 영향을 줄 수 있으므로 가능한 균일한 광원으로 노광을 해야 한다.The symbol 4 in FIG. 1 is a spatial filter composed of a convex lens and a pinhole. The function of the space filter 4 is to make the intensity of light emitted from the light source uniform. If you do not make the intensity of the two lights constant at the time of exposure, the interference pattern recorded may be affected.
도 1에서 5는 공간 여과기를 지난 빛을 평행광으로 만들어 주기 위한 집속 렌즈이다.1 to 5 is a focusing lens for making the light passing through the space filter into parallel light.
도 1에서 6은 블록 렌즈의 제작시 블록의 크기와 모양을 결정하는 조리개이다. 본 발명에서는 원하는 크기의 보상렌즈를 제작하기 위해서 일정한 크기와 모양으로 만들어진 조리개를 이용하여 기호 7의 기판을 이동시키면서 노광하는 것을 특징으로 한다. 도 3a에서 11은 불연속 렌즈를 나타내며, 12는 불연속 렌즈의 한 블록을 나타낸다. 이와같이 여러 블록으로 나누어 노광을 한다. 그리고 이 블록(12)의 크기와 모양을 결정하는 것이 조리개인데, 도 3b에 13이 조리개를 나타내고, 14는 조리개의 개구부분을 나타낸다. 그리고 도 1의 8은 하나의 광원으로부터 나온 두 빛의 각도를 나타내며, 이 각도(8)는 각 블록(12)마다 미리 계산한 각도로 장치를 조정하여 노광을 주어야만 한다. 이 각도에 의해서 각 블록의 빛의 편향각이 결정이 된다.1 to 6 are apertures for determining the size and shape of a block in the manufacture of a block lens. The present invention is characterized in that the exposure while moving the substrate of the symbol 7 using an aperture made of a constant size and shape in order to produce a compensation lens of the desired size. In FIG. 3A, 11 represents a discontinuous lens, and 12 represents one block of the discrete lens. In this way, the exposure is divided into several blocks. The size and shape of the block 12 is determined by the aperture. In Fig. 3B, 13 represents the aperture, and 14 represents the aperture portion of the aperture. And 8 in FIG. 1 represents the angles of the two lights from one light source, which should be exposed by adjusting the device to a pre-calculated angle for each block 12. This angle determines the deflection angle of light in each block.
기판(7)은 두 빛의 간섭무늬를 기록하는 것으로, 도 4에 다시 표시하였다. 도 4에서 기판(7)에는 빛에 반응하는 고분자물질층(71)이 수 ㎛에서 수십 ㎛ 정도의 두께로 형성된다. 여기서 사용할 수 있는 고분자 물질의 실시예로는 홀로그램의 사진건판으로 사용되는 겔라틴(gelatine)에 수용성 크롬을 첨가한 물질이나 셀룰로스 혹은 광고분자(photo-polymer) 등을 사용한다. 그리고 고분자를 코팅할 바닥기판(72)은 대개 유리를 사용한다. 여기서 그 고분자물질층(71)은 그 표면이 상당히 평탄하고, 바닥기판(72)은 원하는 광투과율을 가질 수 있는 물질을 사용할 수 있는 것을 특징으로 한다.The substrate 7 records the interference fringes of two lights, which are again shown in FIG. In FIG. 4, a polymer material layer 71 reacting to light is formed on the substrate 7 to a thickness of several μm to several tens of μm. Examples of the polymer material that can be used herein include a material in which water-soluble chromium is added to gelatin (gelatine) used as a photographic plate of a hologram, cellulose or an photo-polymer. And the bottom substrate 72 to be coated with the polymer is usually glass. Here, the polymer material layer 71 is characterized in that the surface is fairly flat, the bottom substrate 72 is characterized in that it can use a material having a desired light transmittance.
이와 같은 도 1의 실험 장치도를 이용하여 도 4와 같이 준비된 시료에 회절격자를 제작하게 되는데, 제작과정은 사진의 제작과정과 같다. 다시 말해서 도 1의 노광장치를 이용하여 노광을 주고 시료를 현상액에서 현상후 정착시키면 모든 과정이 끝나게 된다. 여기서 사용되는 현상액 및 정착액은 도 4에 코팅된 고분자물질층(71)의 물질에 따라 달라진다.The diffraction grating is manufactured on the sample prepared as shown in FIG. 4 using the experimental apparatus diagram of FIG. 1, and the manufacturing process is the same as the manufacturing process of the photograph. In other words, when the exposure is performed using the exposure apparatus of FIG. 1 and the sample is fixed after developing in a developing solution, all processes are completed. The developer and fixer used herein depend on the material of the polymeric material layer 71 coated in FIG. 4.
도 2a 및 도 2b는 두 빛에 의한 회절격자의 제작 및 제작된 회절격자에 의한 빛의 회절 모양을 보여준 것이다. 도 2a는 회 절격자의 제작을 나타내며, 여기서 빛L1과 빛L2가 물질(S) 내부에서 간섭을 일으키고 그 간섭무늬가 물질(S)에 기록된다. 이렇게 만들어진 물질(S) 내부의 회절격자에 의해서 회절격자의 제작시와 같은 빛L3를 비추면 물질(S)의 제작시 사용되었던 빛과 같은 방향으로 빛L4이 휘어져 나가게 된다(도 2b). 이때 만들어진 회절격자의 주기는 다음과 같은 식으로 정의된다.2a and 2b show the diffraction pattern of the light produced by the diffraction grating and the diffraction grating produced by the two lights. FIG. 2A shows the fabrication of a graduated lattice, where light L1 and light L2 cause interference within the material S and the interference fringe is recorded in the material S. FIG. When the light L3 is illuminated by the diffraction grating inside the material S, the light L4 is bent in the same direction as the light used when the material S is manufactured (FIG. 2B). The period of the diffraction grating produced at this time is defined by the following equation.
Λ=λ/(2sinθ)Λ = λ / (2sinθ)
여기서 Λ는 회절격자의 주기이고, λ는 회절격자를 제작할 때 사용한 광원의 파장이다. 그리고 각도 θ는 두 빛의 간섭각의 반(도 1에서 기호 8의 각도의 반)이다.Where Λ is the period of the diffraction grating and λ is the wavelength of the light source used when manufacturing the diffraction grating. And the angle θ is half of the interference angle of the two lights (half of the angle of the symbol 8 in FIG. 1).
이와 같이 회절격자를 이용한 불연속 렌즈 제작시, 회절격자는 표면의 모양이 바뀌는 것이 아니라 코팅된 물질의 굴절률이 두 빛의 간섭무늬의 방향과 각도에 따라 변화함으로써 일종의 경계면을 형성하고 그 경계면에 의해서 빛이 굴절되는 현상을 이용하므로 회절격자의 단면은 도 4와 같고 이는 기존의 불연속 렌즈의 단면인 도 5와 같은 단차가 전혀 없게 된다.In the case of discontinuous lens manufacturing using the diffraction grating, the diffraction grating does not change the shape of the surface but rather the refractive index of the coated material is changed according to the direction and angle of the interference pattern of the two lights to form a kind of boundary surface and the light by the boundary surface. Since the refraction phenomenon is used, the cross section of the diffraction grating is as shown in FIG. 4, which has no step as shown in FIG. 5, which is a cross section of a conventional discontinuous lens.
이상에 설명한 본 발명의 실시예에 따른 회절격자를 이용한 불연속 노광렌즈 및 그 제조방법의 구성과 작용에 의하면, 광학적으로 구성된 노광장치를 이용하여 회절격자를 제작함으로써 스크린공정에 사용되는 불연속 렌즈와 같이 각 블록마다 빛의 방향을 편향시키면서 기존의 불연속 렌즈의 문제점이 개선된다.According to the configuration and operation of the discontinuous exposure lens using the diffraction grating according to the embodiment of the present invention described above and the manufacturing method thereof, as in the case of the discontinuous lens used in the screen process by producing a diffraction grating using an optically configured exposure apparatus The problem of the conventional discontinuous lens is improved by deflecting the light in each block.
즉, 첫 번째로 종래의 블록형 불연속 렌즈는 각 블록에 해당하는 금형을 만들어 렌즈를 성형으로 인한 금형 제작의 고비용 문제 뿐만 아니라 금형을 이용하여 제작시 이물 등에 의해 성형이 원하는 데로 이루어지지 않는 문제점이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 금형을 사용하지 않고 광학적인 방법으로 제작된 회절격자의 회절현상을 이용함으로써 금형에 소요되는 비용이 없어 렌즈 제작시 저비용으로 구현이 가능하다. 그리고 금형에 의한 렌즈의 성형이 아니므로 이물에 의한 문제는 없다.In other words, the conventional block-type discontinuous lens has a problem in that the molding is not made as desired by the foreign material during the production using the mold as well as the high cost problem of the mold manufacturing by forming the mold corresponding to each block. have. In order to solve this problem, in the present invention, there is no cost required for the mold by using the diffraction phenomenon of the diffraction grating manufactured by the optical method without using the mold, so that the lens can be implemented at low cost. Since there is no molding of the lens by the mold, there is no problem caused by foreign matter.
두 번째로 종래의 블록형 불연속 렌즈는 표면에 단차를 가지고 있어 렌즈의 표면을 관리하는 것이 문제이지만 본 발명에서 제안한 불연속 렌즈의 표면이 평면이므로 단차가 생기는 문제가 없다.Second, the conventional block-type discontinuous lens has a step on the surface to manage the surface of the lens is a problem, but the surface of the discontinuous lens proposed in the present invention is flat, there is no problem that the step is generated.
셋째로 종래의 블록형 불연속 렌즈는 단위 블록의 크기가 금형에 의해 결정되어 금형이 한번 제작되면 블록의 크기가 제한을 받지만 본 발명에서 제안한 제작 방법에서는 조리개의 크기를 조절함으로써 블록의 크기와 모양을 마음대로 변화시킬 수 있다.Third, in the conventional block type discontinuous lens, the size of the unit block is determined by the mold, and once the mold is manufactured, the size of the block is limited, but in the manufacturing method proposed by the present invention, the size and shape of the block is controlled by adjusting the size of the aperture. You can change it at will.
넷째로 본 발명에서 제안한 광학적인 불연속 렌즈의 제작방법은 금형을 사용하지 않기 때문에 성형성에 의존하는 종래의 블록형 불연속 렌즈보다 렌즈의 소재에 대한 제한성이 작으므로 광투과율이 높은 소재를 사용할 수 있다.Fourth, the manufacturing method of the optical discontinuous lens proposed in the present invention does not use a mold, and thus the material having a high light transmittance can be used because the restriction on the material of the lens is smaller than that of the conventional block-type discontinuous lens depending on the moldability.
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4440839A (en) * | 1981-03-18 | 1984-04-03 | United Technologies Corporation | Method of forming laser diffraction grating for beam sampling device |
| KR890010590A (en) * | 1987-12-28 | 1989-08-09 | 다니이 아끼오 | Diffraction gratings, manufacturing method thereof and manufacturing system thereof |
| US4859548A (en) * | 1985-11-04 | 1989-08-22 | Gerhard Heise | Method for generating a lattice structure with a phase shift on the surface of a substrate |
| JPH1039125A (en) * | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Ricoh Co Ltd | Diffraction grating forming method, and two luminous flux interference exposure device |
-
1998
- 1998-10-23 KR KR1019980044611A patent/KR20000026880A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4440839A (en) * | 1981-03-18 | 1984-04-03 | United Technologies Corporation | Method of forming laser diffraction grating for beam sampling device |
| US4859548A (en) * | 1985-11-04 | 1989-08-22 | Gerhard Heise | Method for generating a lattice structure with a phase shift on the surface of a substrate |
| KR890010590A (en) * | 1987-12-28 | 1989-08-09 | 다니이 아끼오 | Diffraction gratings, manufacturing method thereof and manufacturing system thereof |
| JPH1039125A (en) * | 1996-07-26 | 1998-02-13 | Ricoh Co Ltd | Diffraction grating forming method, and two luminous flux interference exposure device |
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