KR20000013946A

KR20000013946A - Filament fixing device

Info

Publication number: KR20000013946A
Application number: KR1019980033089A
Authority: KR
Inventors: 윤춘식; 김대중
Original assignee: 김덕중; 페어차일드코리아반도체 주식회사
Priority date: 1998-08-14
Filing date: 1998-08-14
Publication date: 2000-03-06

Abstract

PURPOSE: This device fixes filament that emits heat electron. The method to fix the filament by driving a screw into the hole in the post when opened. But the heat from the filament makes the screw melt and stick and the filament becomes hard to replace. This device improves this defect and prevents the screw from melting. CONSTITUTION: The post(40) is cut and the filament injection groove(42) and the screw hole(43) are formed on both sides of the cut section. The filament injection groove and the screw hole(43) should be separated and the screw(44) will not melt and stick to the hole.

Description

Filament fixture

본 발명은 필라멘트 고정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 열 전자를 방출하는 필라멘트를 고정 및 분리가 용이하도록 된 필라멘트 고정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a filament fixing device, and more particularly, to a filament fixing device to facilitate the fixing and separation of the filament that emits hot electrons.

일반적으로 반도체 제조 공정에서 이온화된 도펀트(Dopant)를 고속으로 가속하여 웨이퍼 내에 이온을 주입시키는 이온 주입 시스템은 웨이퍼 내로 주입되는 이온을 생성하는 소스부와, 진공 상태에서 이온을 이동시키는 빔 라인부 그리고 웨이퍼를 장입 및 인출하고 웨이퍼 내에 이온 주입이 진행되는 엔드 스테이션부(End Station Part) 등을 포함한다.In general, an ion implantation system for implanting ions into a wafer by accelerating ionized dopants at high speed in a semiconductor manufacturing process includes a source portion for generating ions injected into the wafer, a beam line portion for moving ions in a vacuum state, and And an end station part in which a wafer is charged and withdrawn and ion implantation proceeds in the wafer.

이와 같은 이온 주입 시스템에서 이온을 생성하는 소스부의 이온 소스 헤드는 고온 필라멘트(Hot Filament) 또는 냉 음극(Cold Cathode)으로부터 이온을 생성하게 되는데, 상기 고온 필라멘트는 전류로 가열되는 텅스텐 또는 탄탈륨 선으로서 인가되는 고전류에 의해 어떤 특정의 온도에서 전자가 방출되며, 상기 냉 음극은 음극과 양극판의 사이에 고전압을 걸어 자유 전자를 형성시키게 된다.In the ion implantation system, the ion source head of the ion generating source generates ions from a hot filament or a cold cathode, which is applied as a tungsten or tantalum wire heated by a current. The electrons are emitted at a specific temperature by the high current, and the cold cathode forms a free electron by applying a high voltage between the cathode and the anode plate.

종래에 고전류가 인가됨에 따라 특정의 고온에서 열 전자를 방출하는 필라멘트를 고정하기 위한 구조는 도 1 에 도시한 바와 같이 포스트(10)의 상측에 필라멘트(11)가 삽입되는 통공(10a)이 형성되어 있고, 그 상측에는 통공(10a) 내로 삽입된 필라멘트(11)를 고정하기 위한 스크류(12)가 체결되는 구성으로 이루어져 있으나, 이는 필라멘트(11)에서 발생되는 열에 의해 스크류(12)가 포스트(10)에 융착됨으로써 필라멘트(11)의 교체시 작업이 매우 어렵다고 하는 문제점이 있었다.Conventionally, a structure for fixing a filament that emits heat electrons at a specific high temperature as a high current is applied has a through hole 10a into which the filament 11 is inserted, as shown in FIG. 1. The upper side is composed of a structure in which a screw 12 for fastening the filament 11 inserted into the through hole (10a) is fastened, but this is due to the heat generated in the filament (11) 10) there was a problem that the work is very difficult when the filament 11 is replaced by fusion.

그리고, 도 2 에 도시한 바와 같이 포스트(20)의 일측에 필라멘트(21)를 개재하여 고정판(22)을 위치시킨 후 복수 개의 스크류(23)와 너트(24)로써 체결토록 하고 있으나, 이 또한 필라멘트(21)에서 발생되는 열에 의해 스크류(23)와 너트(24)가 융착되어 필라멘트(21)의 교체가 어렵고 교체 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.As shown in FIG. 2, the fixing plate 22 is positioned on one side of the post 20 via the filament 21, and then fastened with a plurality of screws 23 and nuts 24. The screw 23 and the nut 24 are fused by the heat generated from the filament 21, so that the replacement of the filament 21 is difficult and takes a long time.

또한, 도 3 에 도시한 바와 같이 포스트(30)의 상측에 필라멘트(31)가 삽입되도록 한 쌍의 요홈(32a)을 갖는 절개부(32)가 형성된 구성도 제안되어 있으나, 이는 장시간 사용 후에는 절개부(32)의 간격이 커져서 필라멘트(31)를 완전하게 고정하지 못하고, 이에 인하여 필라멘트(31)와 포스트(30)와의 사이에 접촉 저항이 발생하여 심각한 열 손실을 발생시킴은 물론 열전자의 감소로 이온 주입 기능이 저하되는 등의 문제점들이 있었다.In addition, as shown in FIG. 3, a configuration in which a cutout portion 32 having a pair of grooves 32a is formed so that the filament 31 is inserted above the post 30 is proposed. The spacing of the cutouts 32 increases, which prevents the filament 31 from being completely secured, resulting in contact resistance between the filament 31 and the post 30, resulting in severe heat loss as well as reduction of hot electrons. There are problems such as deterioration of ion implantation function.

따라서, 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 고정 및 분해가 용이하고 견고하게 고정 상태를 유지하며 긴 수명을 갖는 필라멘트 고정 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been invented to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a filament fixing device that is easy to fix and dismantle, maintains a fixed state and has a long service life.

도 1 내지 도 3 은 종래의 필라멘트 고정 장치를 도시한 도면이다.1 to 3 is a view showing a conventional filament fixing device.

도 4 는 본 발명에 의한 필라멘트 고정 장치의 일실시예를 나타내는 일부 분해 사시도이다.4 is a partially exploded perspective view showing an embodiment of the filament fixing device according to the present invention.

도 도 5 는 도 4 의 결합 단면도이다.5 is a cross-sectional view of the combination of FIG.

도 6 은 본 발명에 의한 필라멘트 고정 장치의 다른 실시예를 도시한 일부 분해 사시도이다.6 is a partially exploded perspective view showing another embodiment of the filament fixing device according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

40,60: 포스트 41,61: 절개부40, 60: Post 41, 61: Incision

42,62: 요홈 43,63: 체결 구멍42, 62: groove 43, 63: fastening hole

43a: 나사부 44,64: 스크류43a: thread 44, 64: screw

50: 필라멘트50: filament

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 필라멘트 고정 장치는, 소정의 간격을 두고 형성된 절개부에 필라멘트가 삽입되도록 서로 대향하는 요홈을 갖는 포스트와, 상기 요홈 내에 삽입된 필라멘트를 고정 또는 분리할 수 있도록 포스트의 일측에 형성된 체결 구멍 내에 분리 가능케 체결되는 스크류를 포함한다.The filament fixing device according to the present invention for achieving the above object is a post having grooves opposed to each other so that the filament is inserted into the cut portion formed at a predetermined interval, and can be fixed or separated from the filament inserted in the groove And a screw detachably fastened to a fastening hole formed at one side of the post.

따라서, 본 발명에서는 포스트의 절개부 내에 삽입된 필라멘트가 그 일측에 체결된 스크류에 의해 고정 또는 분리 가능케 됨으로써 필라멘트의 교체가 용이하고, 필라멘트와 포스트가 긴밀하게 밀착됨에 따라 접촉 저항에 의한 빔 전류 저하나 빔 전류의 불안정을 미연에 방지할 수 있으며, 이에 따라 이온 주입 성능이 증대되는 것이다.Therefore, in the present invention, the filament inserted into the cutout of the post is fixed or detachable by a screw fastened to one side thereof, thereby facilitating replacement of the filament, and as the filament and the post closely adhere to each other, the beam current is reduced by the contact resistance. However, the instability of the beam current can be prevented in advance, thereby increasing the ion implantation performance.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 4 및 도 5 는 본 발명에 의한 필라멘트 고정 장치의 일실시예를 도시한 도면으로서, 부호 (40)은 필라멘트(50)를 고정 지지하는 포스트를 나타내고 있다.4 and 5 show an embodiment of the filament fixing device according to the present invention, wherein reference numeral 40 denotes a post for fixing and supporting the filament 50.

상기 포스트(40)는 상측에 절개부(41)가 소정의 간격을 두고 형성되어 있고, 상기 절개부(41)에는 필라멘트(50)가 삽입되도록 서로 대향하는 요홈(42)이 형성되어 있다.The post 40 has an incision 41 formed on the upper side at a predetermined interval, and the incision 41 has grooves 42 facing each other so that the filament 50 is inserted therein.

그리고, 상기 포스트(40)의 일측에는 체결 구멍(43)이 형성되어 있으며, 상기 체결 구멍(43)에는 스크류(44)가 분리 가능케 체결된다.In addition, a fastening hole 43 is formed at one side of the post 40, and the screw 44 is detachably fastened to the fastening hole 43.

상기 체결 구멍(43)은 스크류(44)가 체결됨에 따라 절개부(41)의 간격이 작아지면서 요홈(42) 내에 삽입된 필라멘트(50)를 고정하도록 일측에 나사부(43a)가 형성됨이 바람직하다.Preferably, the fastening hole 43 has a screw portion 43a formed at one side to fix the filament 50 inserted into the groove 42 while the gap between the cut portions 41 decreases as the screw 44 is fastened. .

이와 같이 구성된 본 실시예에 의한 필라멘트 고정 장치는 필라멘트(50)의 선단을 포스트(40)에 형성된 요홈(42) 내에 삽입하고, 스크류(44)를 체결 구멍(43) 내에 체결하면 절개부(41)의 간격이 좁혀지면서 필라멘트(50)가 포스트(40)에 견고하게 고정되는 것이다.The filament fixing device according to the present embodiment configured as described above inserts the tip of the filament 50 into the groove 42 formed in the post 40, and when the screw 44 is fastened into the fastening hole 43, the cutout 41 As the spacing of) narrows, the filament 50 is firmly fixed to the post 40.

이때, 상기 체결 구멍(43)내에는 일측에 나사부(43a)가 형성됨에 따라 스크류(44)의 나사 이동에 따라 절개부(41)의 간격이 좁혀지면서 필라멘트(50)가 고정되는 것이다.At this time, as the threaded portion 43a is formed at one side in the fastening hole 43, the filament 50 is fixed while the interval of the cutout portion 41 is narrowed according to the movement of the screw 44.

그리고, 필라멘트(50)를 교체하는 경우에는 필라멘트(50)로부터 일정 간격을 두고 체결된 스크류(44)를 체결 구멍(43)으로부터 분리하면 필라멘트(50)를 요홈(42)으로부터 분리됨으로써 필라멘트(50)의 교체가 가능케 되는 것이다.In the case of replacing the filament 50, the filament 50 is separated from the groove 42 by separating the fastened screw 44 from the fastening hole 43 at a predetermined interval from the filament 50. ) Can be replaced.

또한, 상기 스크류(44)는 필라멘트(50)의 고정 위치로부터 소정의 간격을 두고 위치됨에 따라 열에 의해 포스트(40)에 융착되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, the screw 44 can be prevented from being fused to the post 40 by heat as it is positioned at a predetermined interval from the fixed position of the filament 50.

한편, 도 6 은 본 발명에 의한 필라멘트 고정 장치의 다른 실시예를 도시한 도면으로서, 선단이 절곡된 포스트(60)의 중앙부에 소정의 간격을 두고 절개부(61)가 형성되고, 상기 절개부(61) 내에는 필라멘트(50)를 삽입 고정하기 위한 복수 개의 요홈(62)이 형성되며, 상기 포스트(60)의 일측에는 체결 구멍(63)이 형성되고, 상기 체결 구멍(63)에는 요홈(62) 내에 삽입된 필라멘트(50)를 고정하기 위한 스크류(64)가 체결되는 구조로 이루어져 있다.On the other hand, Figure 6 is a view showing another embodiment of the filament fixing device according to the present invention, the incision 61 is formed at a predetermined interval in the center of the post 60, the tip is bent, the incision A plurality of recesses 62 for inserting and fixing the filament 50 are formed in the 61. A fastening hole 63 is formed at one side of the post 60, and the recesses 63 are formed in the fastening hole 63. The screw 64 for fixing the filament 50 inserted into the 62 is fastened to the structure.

이와 같이 구성된 본 실시예에서의 필라멘트 고정 장치는 요홈(62) 내에 필라멘트(50)의 선단을 삽입하고 스크류(64)를 체결 구멍(63)에 체결하면 절개부(61)의 간격이 좁혀지면서 필라멘트(50)가 고정되는 것이다.The filament fixing device according to the present embodiment configured as described above includes inserting the tip of the filament 50 into the recess 62 and fastening the screw 64 to the fastening hole 63 so that the gap between the cut portions 61 is narrowed. 50 is fixed.

그리고, 상기 체결 구멍(63) 내에 체결된 스크류(64)를 분리하면 절개부(61)의 간격이 커지면서 요홈(62) 내에 삽입된 필라멘트(50)가 분리됨으로써 필라멘트(50)의 교체가 가능케 되며, 이때 요홈(62) 내에 고정된 필라멘트(50)와 스크류(64)가 소정의 간격을 두고 위치됨에 따라 필라멘트(50)에서 발생하는 열에 의해 스크류(64)가 포스트(60)에 융착되는 것을 방지할 수 있게 되는 것이다.When the screw 64 fastened in the fastening hole 63 is removed, the filament 50 inserted into the groove 62 is separated while the distance between the incisions 61 increases, so that the filament 50 can be replaced. In this case, as the filament 50 and the screw 64 fixed in the groove 62 are positioned at predetermined intervals, the screw 64 is prevented from being fused to the post 60 by the heat generated from the filament 50. You can do it.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 포스트의 절개부 내에 삽입된 필라멘트가 그 일측에 체결된 스크류에 의해 고정 또는 분리 가능케 됨으로써 필라멘트의 교체가 용이하고, 필라멘트와 포스트가 긴밀하게 밀착됨에 따라 접촉 저항에 의한 빔 전류 저하나 빔 전류의 불안정을 미연에 방지할 수 있으며, 이에 따라 이온 주입 성능이 증대되는 등의 여러 가지 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the filament inserted into the cutout of the post can be fixed or detached by a screw fastened to one side thereof, so that the filament can be easily replaced, and the filament and the post closely adhere to the contact resistance. It is possible to prevent the beam current deterioration and the instability of the beam current in advance, thereby increasing the ion implantation performance.

Claims

Posts having grooves opposed to each other so that the filament is inserted into the cut portion formed at a predetermined interval, and a screw detachably fastened in the fastening hole formed on one side of the post to fix or separate the filament inserted in the groove Filament fixture.

The method of claim 1,

In the fastening hole, the filament fixing device, characterized in that the threaded portion is formed on one side to narrow or widen the interval of the incision by the fastening of the screw.

The method of claim 1,

The post is a filament fixing device, characterized in that the tip is bent.