KR20000012893A - Repair circuit of dynamic random access memory - Google Patents

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KR20000012893A
KR20000012893A KR1019980026204A KR19980026204A KR20000012893A KR 20000012893 A KR20000012893 A KR 20000012893A KR 1019980026204 A KR1019980026204 A KR 1019980026204A KR 19980026204 A KR19980026204 A KR 19980026204A KR 20000012893 A KR20000012893 A KR 20000012893A
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배상섭
김현래
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A repair circuit of a DRAM(Dynamic Random Access Memory) is provided to repair a defect cell and change the repaired state in a packaging process by using a non-volatile flash memory. CONSTITUTION: The repair circuit comprises: a fuse box(20) composed of MOS(Metal Oxide Semiconductor) transistors(24) instead of repair fuses; a flash memory cell array(60) storing information for controlling the MOS transistors of the fuse box(20); a decoding element(70) for writing or erasing data in the flash memory cell array(60) corresponding to an input address from an address input buffer(80) of the DRAM; a reading element(50) for reading information written in the flash memory cell array(60); a latching element(40) for latching information read by the reading element(50); and a sensing element(30) for operating the MOS transistors of the fuse box(20) by sensing an output of the latching element(40).

Description

DRAM의 리페어 회로DRMA repair circuit

본 발명은 DRAM의 리페어 회로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 DRAM의 생산시 결함이 발생할 경우 리던던시 회로로 대체시키는 리페어시 퓨즈를 대신하여 비휘발성인 플래쉬 메모리를 이용함으로써 패키지 단계에서 리페어를 수행할 수 있도록 한 DRAM의 리페어 회로에 관한 것이다.The present invention relates to a repair circuit of a DRAM, and more particularly, a repair can be performed at a package stage by using a nonvolatile flash memory instead of a repair fuse that replaces a redundancy circuit when a defect occurs during DRAM production. To one of the DRAM repair circuits.

DRAM(Dynamic Random Access Memory)을 포함하는 반도체 메모리 장치에서는 리던던시 회로를 구비하여 소량의 메모리 셀(memory cell)에 결함이 있을 경우 리던던시 메모리 셀(Memory Cell)로 불량 메모리 셀을 대체시킴으로써 수율을 향상시키는 방식을 채용한다.In a semiconductor memory device including a dynamic random access memory (DRAM), a redundancy circuit is provided to improve a yield by replacing a defective memory cell with a redundant memory cell when a small amount of the memory cell is defective. Adopt the method.

이와 같이 리던던시 회로를 설치함에 따라 칩의 면적이 증가하고 결함구제에 필요한 테스트의 증가등이 문제로 대두되지만 DRAM에서는 칩의 면적증가가 그다지 많지 않아 64K∼256K DRAM에서부터 본격적으로 채용되고 있다.As the redundancy circuit is installed, the area of the chip increases and the test required for defect repair is a problem. However, since the area of the chip does not increase much in DRAM, it has been adopted from 64K to 256K DRAM in earnest.

메모리 셀의 리던던시 회로는 서브 어레이 블록별로 설치하는데 스페어 ROW와 COLUMN을 미리 설치해두어 결함이 발생하여 불량으로 된 메모리 셀을 ROW/COLUMN 단위씩 리던던시 메모리 셀로 치환하는 방식이 주로 사용된다.Redundancy circuits of memory cells are installed for each sub-array block, and spare ROW and COLUMN are installed in advance, and defects are generated so that defective memory cells are replaced with redundancy memory cells by ROW / COLUMN units.

도 1은 종래의 실시예에 따른 DRAM의 리페어 회로를 나타낸 블록구성도이다.1 is a block diagram illustrating a repair circuit of a DRAM according to a conventional embodiment.

여기에 도시된 바와 같이 DRAM의 셀 어레이(10) 블록 주변에 리페어 퓨즈가 배치되고 있으며, 셀 어레이(10) 블록 내에는 여분의 리던던시 셀(12)이 있다.As shown here, a repair fuse is disposed around the block of the cell array 10 of the DRAM, and there is an extra redundancy cell 12 within the block of the cell array 10.

웨이퍼 프로세서가 종료되면 테스트를 통해서 불량 메모리 셀을 골라내고 그에 해당하는 불량 어드레스를 테스트 장비에 기억시킨다. 그런다음 테스트가 종료되면 레이져 리페어 장비를 이용하여 불량 어드레스에 해당하는 리페어 퓨즈(22)를 끊는다. 이렇게 되면 외부에서 불량이 발생한 셀에 접근하려고 해도 내부에서는 리던던시 셀(12)로 접근하게 되어 불량이 발생된 어드레스는 비트는 정상적으로 작동되게 된다.When the wafer processor is terminated, the test selects a bad memory cell and stores the corresponding bad address in the test equipment. Then, when the test is finished, the repair fuse 22 corresponding to the bad address is blown using the laser repair equipment. In this case, even if an attempt is made to access a defective cell from the outside, the redundant cell 12 is accessed from the inside, so that the address of the defective bit is normally operated.

위와 같은 프로그래밍 방식에는 과전류로 퓨즈를 녹여 끊어버리는 전기 퓨즈방식, 레이저빔으로 퓨즈를 태어 끊어 버리는 방식, 레이저빔으로 접합부를 단락시키는 방식등이 있다. 이 방법들 중에 레이져로 절단하는 방법이 단순하면서도 확실하고 레이아웃도 용이하여 널리 이용되고 있다.Such programming methods include an electric fuse method that melts and blows a fuse due to overcurrent, a method of generating a fuse with a laser beam, and a method of shorting a junction with a laser beam. Among these methods, the laser cutting method is widely used because of its simple, reliable and easy layout.

이와 같은 프로그램 방식을 취하는 DRAM의 리페어 회로는 다음과 같은 문제점이 있다. 첫째, 웨이퍼의 상태에서만 리페어가 가능하기 때문에 패키지 단계에서는 리페어가 불가능하다는 점이다. 현재의 문제만이 아니라 DRAM이 갈수록 고집적화, 고속화됨에 따라 패키지 상태에서의 테스트 비율이 증가하고 있다.The repair circuit of a DRAM which takes such a program method has the following problems. First, repairing is only possible at the wafer level, so repair is not possible at the package stage. In addition to the current problem, as DRAM becomes more integrated and faster, the test rate in a packaged state is increasing.

둘째, 리페어를 잘못하였을 경우 다시 복구가 안된다는 점이다. 레이져의 에너지를 통해 리페어 퓨즈를 녹여 끊어 버리기 때문에 다시 접합이 안된다.Second, if a repair is wrong, it cannot be recovered again. The repair fuse melts through the energy of the laser and can not be rejoined.

셋째, 테스트와 동시에 리페어가 되지 않는다는 점이다. 테스트가 끊난후 리페어장비를 이용하기 때문에 리페어를 위한 공정이 추가되며, 리페어를 위한 레이져장비가 고가라는 점이다.Third, it will not be repaired at the same time as the test. After the test is finished, the repair equipment is used, which adds a process for repair, and the laser equipment for repair is expensive.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 DRAM의 테스트시 불량 셀이 발생하면 리던던시 셀로 대체하는 리페어 회로를 비휘발성인 플래쉬 메모리를 이용하여 불량이 발생된 어드레스에 따라 프로그래밍함으로써 패키지 단계에서 리페어할 수 있으며, 리페어 상태를 수정할 수 있도록 한 DRAM의 리페어 회로를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to use a nonvolatile flash memory to replace a repair circuit that replaces a redundant cell when a defective cell occurs during a test of a DRAM. It can be repaired at the package level by programming accordingly, and it provides a repair circuit of DRAM that can modify the repair state.

도 1은 종래의 실시예에 따른 DRAM의 리페어 회로를 나타낸 블록구성도이다.1 is a block diagram illustrating a repair circuit of a DRAM according to a conventional embodiment.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 DRAM의 리페어 회로를 나타낸 블록구성도이다.2 is a block diagram illustrating a repair circuit of a DRAM according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 도2의 리페어 회로에서 한 개의 셀 상태만을 나타낸 회로도이다.FIG. 3 is a circuit diagram illustrating only one cell state in the repair circuit of FIG. 2.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawings-

20,20' : 퓨즈박스20,20 ': Fuse box

24 : 리페어 퓨즈24: repair fuse

30 : 감지부30: detector

40 : 래치부40: latch portion

50 : 독출부50: reading part

60 : 플레쉬 메모리 셀 어레이60: flash memory cell array

70 : 디코딩부70: decoding unit

상기와 같은 목적을 이루기 위한 본 발명은 리페어 퓨즈로 이루어진 퓨즈박스에 리페어 퓨즈를 절단함으로서 결함회로를 리던던시 회로로 치환하는 DRAM의 리페어 회로에 있어서, 리페어 퓨즈 대신에 MOS트랜지스터로 이루어진 퓨즈박스와, 퓨즈박스의 MOS트랜지스터를 단속하기 위한 정보가 기억되는 플레쉬 메모리 셀 어레이와, DRAM의 어드레스 입력버퍼에서 입력되는 어드레스에 해당되는 플레쉬 메모리 셀 어레이에 데이터를 기록하거나 지우기 위한 디코딩부와, 플레쉬 메모리 셀 어레이에 기록된 정보를 읽어 내는 독출부와, 독출부에 의해 독출된 데이터를 계속 유지시키는 래치부와, 래치부의 출력값을 감지하여 이 값에 따라 퓨즈박스의 MOS트랜지스터를 작동시키는 감지부를 더 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, the present invention relates to a repair circuit of a DRAM in which a defective circuit is replaced with a redundancy circuit by cutting a repair fuse in a fuse box made of a repair fuse, a fuse box made of a MOS transistor instead of a repair fuse, and a fuse. A flash memory cell array in which information for interrupting a box MOS transistor is stored, a decoding unit for writing or erasing data into a flash memory cell array corresponding to an address input from an address input buffer of a DRAM, and a flash memory cell array. A readout unit for reading the recorded information, a latch unit for continuously holding the data read by the reader unit, and a sensing unit for sensing the output value of the latch unit and operating the MOS transistor of the fuse box according to the value.

위와 같이 이루어진 DRAM의 리페어 회로의 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the repair circuit of the DRAM made as described above is as follows.

웨이퍼 프로세스가 종료된 후 테스트를 통해 결함이 발생되면, 디코딩부에서 결함이 발생된 어드레스에 따라 플레쉬 메모리 셀 어레이에 기록하거나 소거하여 정보를 저장한다. 이렇게 저장된 값은 독출부에서 플레쉬 메모리 셀 어레이에 저장된 값을 읽어 내면 래치부에서 이 값을 계속 유지시키게 된다. 이와 같이 유진된 값을 감지부에서 감지하여 퓨즈박스내의 MOS트랜지스터를 작동시켜 결함이 발생된 메모리셀을 리던던시 셀로 리페어하게 된다.If a defect occurs through a test after the wafer process is terminated, the decoding unit writes or erases the flash memory cell array and stores the information according to the address where the defect occurs. The stored value keeps this value in the latch part when the read part reads the value stored in the flash memory cell array. In this way, the detected value is detected by the detector to operate the MOS transistor in the fuse box to repair the defective memory cell to the redundancy cell.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, the present embodiment is not intended to limit the scope of the present invention, but is presented by way of example only and the same parts as in the conventional configuration using the same reference numerals and names.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 DRAM의 리페어 회로를 나타낸 블록구성되이다.2 is a block diagram illustrating a repair circuit of a DRAM according to an exemplary embodiment of the present invention.

여기에 도시된 바와 같이 DRAM의 리페어 회로의 리페어 퓨즈(도1의 22) 대신에 MOS트랜지스터(24)로 이루어진 퓨즈박스(20)와, 퓨즈박스(20)의 MOS트랜지스터(24)를 단속하기 위한 정보가 기억되는 플레쉬 메모리 셀 어레이(60)와, DRAM의 어드레스 입력버퍼(80)에서 입력되는 어드레스에 해당되는 플레쉬 메모리 셀 어레이(60)에 데이터를 기록하거나 지우기 위한 디코딩부(70)와, 플레쉬 메모리 셀 어레이(60)에 기록된 정보를 읽어 내는 독출부(50)와, 독출부(50)에 의해 독출된 데이터를 계속 유지시키는 래치부(40)와, 래치부(40)의 출력값을 감지하여 이 값에 따라 퓨즈박스(20)의 MOS트랜지스터(24)를 작동시키는 감지부(30)를 더 포함하여 이루어진다.As shown here, instead of the repair fuse (22 in FIG. 1) of the repair circuit of the DRAM, the fuse box 20 made up of the MOS transistor 24 and the MOS transistor 24 of the fuse box 20 may be intermittent. A flash memory cell array 60 in which information is stored, a decoding unit 70 for writing or erasing data to and from a flash memory cell array 60 corresponding to an address input from an address input buffer 80 of a DRAM, and a flash. A read unit 50 for reading information written in the memory cell array 60, a latch unit 40 for continuously holding data read by the read unit 50, and an output value of the latch unit 40 are sensed. It further comprises a sensing unit 30 for operating the MOS transistor 24 of the fuse box 20 according to this value.

위의 퓨즈박스(20)의 MOS트랜지스터(24)는 NMOS트랜지스터(24)들로써 레이져의 에너지에 의해 끊어지는 리페어 퓨즈(22)가 삽입되던 위치에 연결되어 게이트에 인가되는 감지부(30)의 신호에 따라 온/오프되어, 온된 경우에는 리페어 퓨즈(22)가 절단되지 않은 상태와 동일한 작동이 이루어지고, 오프된 경우에는 리페어 퓨즈(22)가 절단된 상태와 동일한 작동을 행하게 된다.The MOS transistor 24 of the fuse box 20 is connected to the position where the repair fuse 22 inserted by the energy of the laser is inserted into the NMOS transistors 24 and the signal of the sensing unit 30 applied to the gate. In accordance with the on / off state, when the repair fuse 22 is turned off, the same operation is performed. When the switch is turned off, the repair fuse 22 performs the same operation as the cut state.

도 3은 도 2에서 한 개의 셀에 대한 작동을 설명하기 위해 나타낸 회로도이다.FIG. 3 is a circuit diagram illustrating the operation of one cell in FIG. 2.

여기에 도시된 바와 같이 플레쉬 메모리 셀(62)의 플로팅 게이트(G)에 전하를 저장시키기 위한 디코딩부(70)는 드레인 스위치(72)와, 소오스 스위치(74)와, 게이트 스위치(76)로 이루어진다.As shown here, the decoding unit 70 for storing charge in the floating gate G of the flash memory cell 62 includes a drain switch 72, a source switch 74, and a gate switch 76. Is done.

위의 디코딩부(70)의 드레인 스위치(72)와, 소오스 스위치(74)와, 게이트 스위치(76)의 출력값을 표 1에 나타내었다.Table 1 shows the output values of the drain switch 72, the source switch 74, and the gate switch 76 of the decoding unit 70.

게이트gate 드레인drain 소오스Source 기록상태Record state 9V9 V 5V5 V 0V0 V 소거상태Erased state -9V-9V floatingfloating 5V5 V 정상상태Steady state floatingfloating floatingfloating 5V5 V

표 1의 값들은 플레쉬 메모리 셀(62)에 데이터를 기록하거나 소거시킬 때 인가되는 전압들이며, 정상상태에서, 즉 읽기모드에서 게이트(G)에 전원전압이 인가될 때 드렌인(D)에서 출력되는 값을 읽음으로써 플레쉬 메모리 셀(62)에 저장된 데이터를 독출할 수 있도록 한다.The values in Table 1 are the voltages applied when data is written or erased to the flash memory cell 62, and are output from the drain in D when the power supply voltage is applied to the gate G in the normal state, that is, in the read mode. By reading the value, the data stored in the flash memory cell 62 can be read.

독출부(50)는 플레쉬 메모리 셀(62)에 저장된 데이터를 읽어낸 뒤 입력과 출력이 차단되도록 작동되는 것으로써, 게이트(G)로 인가되는 독출신호(R)를 단속하기 위한 제1NMOS(52)와, 드렌인(D)의 출력을 단속하는 제2NMOS(54)와, 독출신호(R)를 일정시간 지연시키는 지연회로(56)와, 지연회로(56)에서 출력되는 값을 반전시켜 제1NMOS(52)와 제2NMOS(54)의 게이트(G)에 인가시키는 인버터(58)로 이루어진다.The read unit 50 is operated to cut an input and an output after reading data stored in the flash memory cell 62, so that the readout unit 50 intercepts the read signal R applied to the gate G. 52, the second NMOS 54 for intermittent the output of the drain-in D, the delay circuit 56 for delaying the read signal R for a predetermined time, and the value output from the delay circuit 56 are inverted. And an inverter 58 which is applied to the gate G of the first NMOS 52 and the second NMOS 54.

위와 같이 이루어진 본 실시예의 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present embodiment made as described above are as follows.

DRAM을 테스트한 결과 결함이 발생하지 않았을 경우에는 리페어 모드로 설정되지 않아 절환트랜지스터(82)가 오프되어 정상적인 DRAM의 디코터로 입력버퍼에 저장된 어드레스가 입력된다.If a defect has not occurred as a result of testing the DRAM, it is not set to the repair mode, and the switching transistor 82 is turned off to input an address stored in the input buffer to the decoder of the normal DRAM.

그러나, DRAM을 테스트한 결과 결함이 발생할 경우에는 리페어를 행하도록 하기 위해 어드레스 입력버퍼(80)의 값을 받아들일 수 있도록 절환트랜지스터(82)가 턴온되어 DRAM의 어드레스 핀으로 입력되는 어드레스에 따라 플레쉬 메모리 셀(62)에 데이터를 저장할 수 있게된다.However, in the event that a defect occurs as a result of testing the DRAM, the switching transistor 82 is turned on to accept the value of the address input buffer 80 so that the repair can be performed according to the address inputted to the address pin of the DRAM. Data can be stored in the memory cell 62.

위와 같이 입력된 어드레스에 따라 디코딩부(70)에서 기록상태일 경우에는 표 1에 나타난 바와 같이 드레인 스위치(72)와 소오스 스위치(74)와 게이트 스위치(76)를 작동시켜 플레쉬 메모리 셀(62)의 플로팅 게이트(G)에 전하가 저장되도록 하여 문턱전압을 상승시키게 된다. 또한 소거상태일 경우에도 표 1에 나타난 소거상태의 값에 따라 플레쉬 메모리 셀(62)에 전압을 인가시켜 문턱전압을 낮도록 설정한다.When the decoding unit 70 is in the write state according to the input address as described above, the flash memory cell 62 is operated by operating the drain switch 72, the source switch 74, and the gate switch 76 as shown in Table 1. The charge is stored in the floating gate (G) of the to increase the threshold voltage. In addition, even in the erased state, a voltage is applied to the flash memory cell 62 according to the erased state shown in Table 1 to set the threshold voltage to be low.

위와 같이 플레쉬 메모리 셀 어레이(60)에 결함이 발생된 메모리셀을 리던던시 셀로 대체하기 위한 어드레스를 저장시키게 된다.As described above, the flash memory cell array 60 stores an address for replacing a defective memory cell with a redundancy cell.

이렇게 플레쉬 메모리 셀(62)에 저장된 값은 독출부(50)의 값이 저전압에서 고전압으로 상승하게 되면 저전압의 상태에서 독출부(50)의 제1NMOS(52)와 제2NMOS(54)가 턴온된다. 그러면 플레쉬 메모리 셀(62)의 게이트(G)에 전원전압이 인가된다. 이때 플레쉬 메모리 셀(62)에 데이터가 기록되었을 경우에는 문턱전압이 높아 전원전압으로는 턴온이 되질 않아 정상상태에서 소오스(S)에 인가되는 전압이 드렌인(D)으로 흐르지 않게 된다.When the value of the reading unit 50 rises from the low voltage to the high voltage, the first NMOS 52 and the second NMOS 54 of the reading unit 50 are turned on in the low voltage state. . Then, a power supply voltage is applied to the gate G of the flash memory cell 62. At this time, when data is written to the flash memory cell 62, the threshold voltage is high, and thus the power supply voltage does not turn on, so that the voltage applied to the source S does not flow to the drenin D in the normal state.

따라서, 드렌인(D)의 출력값은 저전위가 된다. 이 값은 래치부(40)에 의해 계속 유지되고 독출부(50)의 독출신호(R)를 지연회로(56)에 의해 지연되어 인버터(58)를 경유하여 고전위가 저전위로 변환되면서 제1,2NMOS(52)(54)를 오프시켜 드레인 값이 출력되지 않도록 한다.Therefore, the output value of the drenin D becomes low potential. This value is maintained by the latch unit 40 and the read signal R of the read unit 50 is delayed by the delay circuit 56 so that the high potential is converted to the low potential via the inverter 58. The 1,2NMOS 52 and 54 are turned off so that the drain value is not output.

래치부(40)의 출력값은 감지부(30)에서 감지한 저전위 값은 퓨즈박스(20)내의 NMOS트랜지스터(24)의 게이트(G)에 인가되어 NMOS트랜지스터(24)를 오프시켜 리페어 퓨즈(22)의 절단상태를 유지한다.The output value of the latch unit 40 is applied to the gate G of the NMOS transistor 24 in the fuse box 20 by the low potential value sensed by the detector 30 to turn off the NMOS transistor 24 to repair the fuse. Keep the cutting state of 22).

반면에, 플레쉬 메모리 셀(62)이 소거되었을 경우에는 독출신호(R)가 인가될 때 턴온되어 소오스(S)에 인가되는 고전위가 드렌인(D)에 걸리게 된다. 이 고전위 값은 래치부(40)에 의해 유지되고 이 값을 감지한 감지부(30)에서 NMOS트랜지스터(24)를 작동시켜 턴온시키게 됨으로서 리페어 퓨즈(22)가 절단되지 않은 상태를 유지하게 된다.On the other hand, when the flash memory cell 62 is erased, the high potential applied to the source S is turned on when the read signal R is applied to the drone in D. The high potential value is maintained by the latch unit 40 and the sensing unit 30 which senses this value is turned on by operating the NMOS transistor 24 so that the repair fuse 22 remains uncut. .

상기한 바와 같이 본 발명은 리페어퓨즈로 이루어진 퓨즈박스를 MOS트랜지스터로 이루어진 퓨즈박스로 바꾸고 MOS트랜지스터를 작동시키기 위한 데이터를 플레쉬 메모리에 기억시킴으로써, 패키지 단계에서 플레쉬 메모리에 기록된 데이터의 변경으로 리페어를 수행할 수 있다는 이점이 있다.As described above, the present invention replaces the fuse box of the repair fuse with the fuse box of the MOS transistor and stores the data for operating the MOS transistor in the flash memory, thereby repairing the repair by changing the data written to the flash memory in the package step. There is an advantage that it can be done.

또한, 플레쉬 메모리에 기록된 데이터에 의해 MOS트랜지스터의 온/오프를 제어함으로써 리페어가 잘못이루어졌다고 하더라도 쉽게 변경이 가능하다는 이점이 있다.In addition, by controlling the on / off of the MOS transistor by the data written in the flash memory, there is an advantage that it can be easily changed even if the repair is made wrong.

그리고, MOS트랜지스터와 플레쉬 메모리를 사용하여 리페어를 수행하기 때문에 리페어퓨즈를 레이져의 에너지로 절단할 때 사용되는 고가의 리페어장비를 사용하지 않아도 되어 비용절감을 할 수 있다는 이점이 있다.In addition, since the repair is performed using the MOS transistor and the flash memory, there is an advantage that the cost can be reduced without using expensive repair equipment used when cutting the repair fuse with the energy of the laser.

Claims (3)

리페어 퓨즈로 이루어진 퓨즈박스에 리페어 퓨즈를 절단함으로서 결함회로를 리던던시 회로로 치환하는 DRAM의 리페어 회로에 있어서,In a repair circuit of a DRAM in which a defective circuit is replaced with a redundancy circuit by cutting a repair fuse into a fuse box formed of a repair fuse, 리페어 퓨즈 대신에 MOS트랜지스터로 이루어진 퓨즈박스와,Fuse box made of MOS transistor instead of repair fuse, 퓨즈박스의 MOS트랜지스터를 단속하기 위한 정보가 기억되는 플레쉬 메모리 셀 어레이와,A flash memory cell array in which information for interrupting a MOS transistor of a fuse box is stored; DRAM의 어드레스 입력버퍼에서 입력되는 어드레스에 해당되는 플레쉬 메모리 셀 어레이에 데이터를 기록하거나 지우기 위한 디코딩부와,A decoding unit for writing or erasing data in a flash memory cell array corresponding to an address input from an address input buffer of a DRAM; 플레쉬 메모리 셀 어레이에 기록된 정보를 읽어 내는 독출부와,A readout unit for reading information written in the flash memory cell array; 독출부에 의해 독출된 데이터를 계속 유지시키는 래치부와,A latch unit for continuously holding data read by the reading unit; 래치부의 출력값을 감지하여 이 값에 따라 퓨즈박스의 MOS트랜지스터를 작동시키는 감지부Sensing part that senses the output value of the latch part and operates the MOS transistor of the fuse box according to this value. 를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 DRAM의 리페어 회로.Repair circuit of a DRAM, characterized in that further comprises. 제1항에 있어서, 상기 디코딩부는The method of claim 1, wherein the decoding unit 플레쉬 메모리 셀의 드레인에 전압을 인가하는 드레인 스위치와,A drain switch for applying a voltage to the drain of the flash memory cell; 플레쉬 메모리 셀의 게이트에 전압을 인가하는 게이트 스위치와,A gate switch for applying a voltage to the gate of the flash memory cell; 플레쉬 메모리 셀의 소오스에 전압을 인가하는 소오스 스위치Source switch applying voltage to the source of the flash memory cell 로 이루어진 것을 특징으로 하는 DRAM의 리페어 회로.Repair circuit of a DRAM, characterized in that consisting of. 제1항에 있어서, 상기 독출부는The method of claim 1, wherein the reading unit 독출신호를 단속하기 위한 제1NMOS와,A first NMOS for intermittent read signals; 플레쉬 메모리의 출력을 단속하기 위한 제2NMOS와,A second NMOS for controlling an output of the flash memory, 독출신호를 일정시간 지연시키는 지연회로와,A delay circuit for delaying the read signal for a predetermined time; 지연회로를 반전시키고 제1NMOS와 제2NMOS를 작동시키는 인버터Inverter that inverts delay circuit and operates first NMOS and second NMOS 로 이루어진 것을 특징으로 하는 DRAM의 리페어 회로.Repair circuit of a DRAM, characterized in that consisting of.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100380346B1 (en) * 2000-10-16 2003-04-11 삼성전자주식회사 Semiconductor memory device with redundancy logic cell and repairable method

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