KR20000012006U - Charge pump circuit of semiconductor memory device - Google Patents

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KR20000012006U KR2019980024834U KR19980024834U KR20000012006U KR 20000012006 U KR20000012006 U KR 20000012006U KR 2019980024834 U KR2019980024834 U KR 2019980024834U KR 19980024834 U KR19980024834 U KR 19980024834U KR 20000012006 U KR20000012006 U KR 20000012006U
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Abstract

본 고안은 반도체 메모리 장치의 차아지 펌프회로에 관한 것으로, 전극의 일단을 통해 소정 주파수를 갖는 제 1 클럭신호를 입력받고 타단은 제 1 노드와 연결되는 제 1 캐패시터와, 전극의 일단을 통해 제 1 클럭신호와 반대의 위상을 갖는 제 2 클럭신호를 입력받고 타단은 제 2 노드와 연결되는 제 2 캐패시터와,The present invention relates to a charge pump circuit of a semiconductor memory device, and receives a first clock signal having a predetermined frequency through one end of the electrode and the other end of the first capacitor connected to the first node, and through one end of the electrode. A second capacitor having a second clock signal having a phase opposite to that of the one clock signal, and having the other end connected to the second node;

소스가 제 1 노드와 연결되고 드레인과 게이트가 동작전압단자와 공통 접속되는 엔모스 트랜지스터와, 엔모스 트랜지스터의 게이트와 제 1 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 1 노드와 연결되며, 기판단자가 제 2 노드와 연결되는 제 1 피모스 트랜지스터와, 제 1 노드와 제 2 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 2 노드와 연결되며 기판단자가 제 3 노드와 연결되는 제 2 피모스 트랜지스터와, 제 2 노드와 제 3 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 3 노드와 연결되며 기판단자가 제 3 노드와 연결되거나 플로팅 상태에 있는 제 3 피모스 트랜지스터를 포함하여 이루어짐으로써, 트랜지스터의 임계전압으로 인한 전압강하를 최소화시킬 수 있으며, 저전압 회로에 적용할 수 있을 뿐만 아니라 칩 사이즈 및 전력소모도 줄일 수 있다.An NMOS transistor having a source connected to the first node, a drain and a gate commonly connected to an operating voltage terminal, a channel connected between the gate and the first node of the NMOS transistor, and a gate connected to the first node, and a substrate terminal A first PMOS transistor having a first PMOS transistor connected to a second node, a second PMOS transistor having a channel connected between the first node and the second node, a gate connected to the second node, and a substrate terminal connected to the third node; And a third PMOS transistor having a channel connected between the second node and the third node, a gate connected to the third node, and a substrate terminal connected to the third node or in a floating state. The voltage drop due to the circuit can be minimized, and can be applied to low voltage circuits, as well as reducing chip size and power consumption.

Description

반도체 메모리 장치의 차아지 펌프회로Charge pump circuit of semiconductor memory device

본 고안은 반도체 메모리 장치에 내장되는 회로에 관한 것으로, 특히 동작전압보다 높은 전위의 승압전압을 출력하는 차아지 펌프회로에 관한 것이다.The present invention relates to a circuit embedded in a semiconductor memory device, and more particularly to a charge pump circuit for outputting a boosted voltage of a potential higher than the operating voltage.

일반적으로 다이나믹램(Dinamic RAM) 등의 메모리 장치에서는 셀 트랜지스터의 임계전압에 의한 손실을 보충하기 위해 동작전압(VDD)보다 높은 승압된 전압(VPP)를 많이 사용한다. 이러한 승압전압을 발생시키는 펌핑회로의 전체 시스템 블록도가 도 1에 도시되어 있다.In general, a memory device such as a dynamic RAM uses a boosted voltage VPP higher than the operating voltage VDD to compensate for the loss caused by the threshold voltage of the cell transistor. The overall system block diagram of the pumping circuit for generating such boosted voltage is shown in FIG.

도 1을 참조하면, 펌핑회로는 발진기 1과, 이 발진기 1의 신호를 입력 받아 소정 레벨의 펌핑클럭을 출력하는 드라이버 2와, 드라이버 2로부터 출력되는 펌핑클럭에 응답하여 소정 레벨의 승압전압 VPP를 출력하는 차아지 펌프회로 3으로 이루어진다.Referring to FIG. 1, the pumping circuit includes an oscillator 1, a driver 2 that receives a signal of the oscillator 1 and outputs a pumping clock of a predetermined level, and a boosting voltage VPP of a predetermined level in response to the pumping clock output from the driver 2. It consists of a charge pump circuit 3 to output.

실질적으로 동작전압을 소정의 레벨로 승압하는 종래의 차아지 펌프회로가 도 2에 도시되어 있다. 도 2의 구성을 간략히 설명하면 다음과 같다.A conventional charge pump circuit that substantially boosts the operating voltage to a predetermined level is shown in FIG. The configuration of FIG. 2 is briefly described as follows.

동작전압단 VDD와 승압노드 61 사이에 4개의 엔모스 트랜지스터 30, 40, 50, 60이 직렬로 연결되고, 각 트랜지스터는 드레인과 게이트가 공통으로 접속된다. 엔모스 트랜지스터 30은 펌핑동작 이전에 노드 31의 전압레벨을 선충전(precharge)하기 위한 것이고, 엔모스 트랜지스터 40과 50은 펌핑클럭에 응답하여 각각의 펌핑전압을 출력하며, 마지막 엔모스 트랜지스터 60은 펌핑전압을 승압노드 61로 전송하는 역할을 한다.Four NMOS transistors 30, 40, 50, and 60 are connected in series between the operating voltage terminal VDD and the boosting node 61, and a drain and a gate are commonly connected to each transistor. The NMOS transistor 30 is for precharging the voltage level of the node 31 before the pumping operation. The NMOS transistors 40 and 50 output respective pumping voltages in response to the pumping clock, and the last NMOS transistor 60 It transmits the pumping voltage to the boosting node 61.

엔모스 트랜지스터 30의 소스와 엔모스 트랜지스터 40의 드레인이 접속되는 노드 31과 펌핑클럭 CLKX을 입력받는 입력노드 10 사이에 커패시터 20이 연결된다. 그리고 엔모스 트랜지스터 40의 소스와 엔모스 트랜지스터 50의 드레인이 접속되는 노드 41과 펌핑클럭 CLKY을 입력받는 입력노드 11 사이에 커패시터 21이 연결된다.The capacitor 20 is connected between the node 31 to which the source of the NMOS transistor 30 and the drain of the NMOS transistor 40 are connected and the input node 10 which receives the pumping clock CLKX. The capacitor 21 is connected between the node 41, to which the source of the NMOS transistor 40 and the drain of the NMOS transistor 50 are connected, and the input node 11 receiving the pumping clock CLKY.

도 2의 구성에 따른 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation according to the configuration of Figure 2 as follows.

펌핑동작이전 즉, 펌핑클럭 CLKX가 0볼트일 때, 노드 31은 엔모스 트랜지스터 30에 의해 VDD-Vtn으로 선충전되어 있다. 펌핑클럭 CLKX가 0볼트에서 VDD로 증가하면 노드 31의 전위는 캐패시터 20에 의해 2VDD-Vtn까지 증가한다.Before the pumping operation, that is, when the pumping clock CLKX is 0 volts, the node 31 is precharged to VDD-Vtn by the NMOS transistor 30. When pumping clock CLKX increases from 0 volts to VDD, the potential at node 31 is increased by capacitor 20 to 2VDD-Vtn.

노드 31에서의 펌핑전압 2VDD-Vtn은 엔모스 트랜지스터 40에 의해 2VDD-2Vtn으로 전압강하 되어 노드 41에 출력된다. 이때 펌핑클럭 CLKY가 0볼트에서 VDD로 상승하면 노드 41의 전위는 캐패시터 21에 의해 VDD만큼 상승하여 3VDD-2Vtn이 된다.The pumping voltage 2VDD-Vtn at node 31 is dropped to 2VDD-2Vtn by the NMOS transistor 40 and output to node 41. At this time, when the pumping clock CLKY rises from 0 volts to VDD, the potential of the node 41 rises by VDD by the capacitor 21 to be 3VDD-2Vtn.

노드 41에서의 펌핑전압 3VDD-2Vtn은 엔모스 트랜지스터 50에 의해 3VDD-3Vtn으로 전압강하 되어 노드 51에 출력된다. 노드 51에서의 펌핑전압 3VDD-3Vtn은 엔모스 트랜지스터 60에 의해 전압강하 되어 3VDD-4Vtn의 전압이 승압노드 61에 출력된다.The pumping voltage 3VDD-2Vtn at the node 41 is dropped to 3VDD-3Vtn by the NMOS transistor 50 and outputted to the node 51. The pumping voltage 3VDD-3Vtn at the node 51 is dropped by the NMOS transistor 60 so that the voltage of 3VDD-4Vtn is output to the boosting node 61.

따라서, 최종 승압전압은 다음의 수식으로 표현될 수 있다.Therefore, the final boosted voltage can be expressed by the following equation.

VPP = { VDD + n(VCLK-Vt) } - VtVPP = {VDD + n (VCLK-Vt)}-Vt

여기서, n; 펌핑전압을 출력하는 스테이지 수, VCLK-Vt; 펌핑동작시 각 스테이지에서의 전압레벨, -Vt; 펌핑전압의 전송수단에 의한 전압강하Where n; The number of stages outputting the pumping voltage, VCLK-Vt; Voltage level at each stage during the pumping operation, -Vt; Voltage drop by means of transfer of pumping voltage

위의 수식에서 알 수 있듯이, 종래의 차아지 펌프회로는 각 스테이지에서 모스 트랜지스터의 임계전압만큼 전압강하가 일어나고 이에 따라 최종 출력되는 승압전압 VPP의 전압레벨이 낮아진다. 또한 전송수단에 의한 전압강하도 발생되어 승압전압 레벨이 더 낮아진다. 더욱이 스테이지 수가 증가할수록 모스 트랜지스터의 몸체 효과(body effect)에 의한 영향도 받게되어 승압전압은 더욱 낮아지고 결국 저전압을 사용하는 회로에는 적용할 수 없는 문제점이 있다.As can be seen from the above equation, in the conventional charge pump circuit, the voltage drop occurs by the threshold voltage of the MOS transistor in each stage, thereby lowering the voltage level of the boosted voltage VPP output. In addition, a voltage drop by the transmission means is also generated, resulting in a lowered voltage level. In addition, as the number of stages increases, the voltage is also affected by the body effect of the MOS transistor, so that the boost voltage is lowered, and thus there is a problem that it cannot be applied to a circuit using a low voltage.

따라서 본 고안의 목적은 펌핑전압을 출력하는 각 스테이지에서 모스 트랜지스터의 임계전압에 의한 전압강하를 최소화시키고 몸체 효과에 의한 영향을 제거한 차아지 펌프회로를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a charge pump circuit which minimizes the voltage drop caused by the threshold voltage of the MOS transistor in each stage of outputting the pumping voltage and removes the effect of the body effect.

본 고안의 다른 목적은 펌핑전압 전송수단의 임계전압에 의한 전압강하를 제거한 차아지 펌프회로를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a charge pump circuit that eliminates the voltage drop caused by the threshold voltage of the pumping voltage transmission means.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안의 차아지 펌프회로는 서로 반대의 위상을 갖는 제 1 및 제 2 펌핑클럭을 각각 입력받아 제 1 및 제 2 노드로 출력하는 제 1 및 제 2 펌핑 캐패시터와, 제 1 노드와 동작전압단자 사이에 채널이 접속되고 게이트가 드레인과 공통 접점을 이루어 상기 제 1 노드를 소정의 레벨로 선충전시키는 제 1 트랜지스터와, 제 1 트랜지스터의 게이트와 제 1 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 1 노드와 연결되며, 기판단자가 제 2 노드와 연결되는 제 2 트랜지스터와, 제 1 노드와 제 2 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 2 노드와 연결되며 기판단자가 제 3 노드와 연결되는 제 3 트랜지스터와, 제 2 노드와 제 3 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 3 노드와 연결되며 기판단자가 제 3 노드와 연결되어 제 2 노드의 전압을 제 3 노드로 전송하는 제 4 트랜지스터를 포함하여 이루어진다.The charge pump circuit of the present invention for achieving the above object is the first and second pumping capacitors for receiving the first and second pumping clocks having a phase opposite to each other and outputting to the first and second nodes, respectively; A channel connected between the first node and the operating voltage terminal and a gate having a common contact with the drain to precharge the first node to a predetermined level, and a channel between the gate and the first node of the first transistor A second transistor having a connection and a gate connected to a first node, a substrate terminal connected to a second node, a channel connected between the first node and a second node, a gate connected to a second node, and a substrate terminal connected to the second node. A third transistor connected to the third node, a channel is connected between the second node and the third node, a gate is connected to the third node, and a substrate terminal is connected to the third node so that the voltage of the second node The comprise a fourth transistor for transferring to the third node.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 차아지 펌프회로의 다른 구성은 전극의 일단을 통해 소정 주파수를 갖는 제 1 클럭신호를 입력받고 타단은 제 1 노드와 연결되는 제 1 캐패시터와, 전극의 일단을 통해 제 1 클럭신호와 반대의 위상을 갖는 제 2 클럭신호를 입력받고 타단은 제 2 노드와 연결되는 제 2 캐패시터와,Another configuration of the charge pump circuit according to the present invention for achieving the above object is a first capacitor which has a predetermined frequency through the first end of the electrode and the other end is connected to the first node, and one end of the electrode A second capacitor having a second clock signal having a phase opposite to that of the first clock signal through the second capacitor connected to the second node;

소스가 제 1 노드와 연결되고 드레인과 게이트가 동작전압단자와 공통 접속되는 엔모스 트랜지스터와, 엔모스 트랜지스터의 게이트와 제 1 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 1 노드와 연결되며, 기판단자가 제 2 노드와 연결되는 제 1 피모스 트랜지스터와, 제 1 노드와 제 2 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 2 노드와 연결되며 기판단자가 제 3 노드와 연결되는 제 2 피모스 트랜지스터와, 제 2 노드와 제 3 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 제 3 노드와 연결되며 플로팅 상태의 기판단자를 갖는 제 3 피모스 트랜지스터를 포함하여 이루어진다.An NMOS transistor having a source connected to the first node, a drain and a gate commonly connected to an operating voltage terminal, a channel connected between the gate and the first node of the NMOS transistor, and a gate connected to the first node, and a substrate terminal A first PMOS transistor having a first PMOS transistor connected to a second node, a second PMOS transistor having a channel connected between the first node and the second node, a gate connected to the second node, and a substrate terminal connected to the third node; And a third PMOS transistor having a channel connected between the second node and the third node, a gate connected to the third node, and having a substrate terminal in a floating state.

도 1은 승압전압 생성회로의 전체 시스템 블록도이다.1 is an overall system block diagram of a boosted voltage generation circuit.

도 2는 종래의 차아지 펌프회로도이다.2 is a conventional charge pump circuit diagram.

도 3은 본 고안에 따른 차아지 펌프회로도이다.3 is a charge pump circuit diagram according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10, 11, 100, 110: 입력노드 20, 21, 200, 210: 펌핑 캐패시터10, 11, 100, 110: input node 20, 21, 200, 210: pumping capacitor

30-60, 150: 엔모스 트랜지스터 31-51, 310, 410: 펌핑노드30-60, 150: NMOS transistors 31-51, 310, 410: pumping node

61, 510: 승압노드 300-500: 피모스 트랜지스터61, 510: boosting node 300-500: PMOS transistor

도 3을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to Figure 3 describes a preferred embodiment of the present invention in detail as follows.

도 3은 본 고안에 따른 차아지 펌프회로를 도시한 것으로 2단계의 펌핑동작을 거쳐 최종 승압전압을 출력하는 경우를 예로 들었다. 도 3를 참조하면, 엔모스 트랜지스터 150은 드레인과 게이트가 공통으로 동작전압단 VDD에 접속되고 소스는 제 1 펌핑노드 310과 접속되어 펌핑동작 이전에 제 1 펌핑노드 310의 전압레벨을 소정의 레벨로 선충전시키는 역할을 한다.3 illustrates a charge pump circuit according to the present invention, which is an example of outputting a final boosted voltage through a two-step pumping operation. Referring to FIG. 3, the NMOS transistor 150 has a drain and a gate connected to the operating voltage terminal VDD in common, and a source connected to the first pumping node 310 to set a voltage level of the first pumping node 310 before the pumping operation. Precharges the role.

엔모스 트랜지스터 150의 게이트에는 3개의 피모스 트랜지스터 300, 400, 500이 직렬로 연결되는데 이들 피모스 트랜지스터 각각은 게이트와 드레인이 공통으로 접속되어 다이오드 커넥션을 이룬다. 두 개의 피모스 트랜지스터 300과 400은 2단계 거쳐 펌핑전압을 출력해내고, 마지막 피모스 트랜지스터 500은 펌핑전압을 승압노드 510으로 전송해 주는 역할을 한다. 제 1 펌핑전압을 출력하는 피모스 트랜지스터 300의 기판단자는 다음 단의 피모스 트랜지스터 400의 드레인으로 접속된다. 펌핑전압을 전송하는 피모스 트랜지스터 500의 기판단자는 플로팅 상태에 있거나 승압노드 510과 연결된다.Three PMOS transistors 300, 400, and 500 are connected in series to the gate of the NMOS transistor 150. Each of these PMOS transistors has a gate and a drain connected in common to form a diode connection. Two PMOS transistors 300 and 400 output the pumping voltage through two stages, and the last PMOS transistor 500 transmits the pumping voltage to the boosting node 510. The substrate terminal of the PMOS transistor 300 that outputs the first pumping voltage is connected to the drain of the PMOS transistor 400 of the next stage. The substrate terminal of the PMOS transistor 500 that transmits the pumping voltage is in a floating state or connected to the boosting node 510.

펌핑 캐패시터 200은 펌핑클럭 C1을 입력받는 입력노드 100과 제 1 펌핑노드 310 사이에 연결되고, 펌핑 캐패시터 210은 발진기의 펌핑클럭 C2를 입력받는 입력노드 110과 제 2 펌핑노드 410 사이에 연결된다.The pumping capacitor 200 is connected between the input node 100 receiving the pumping clock C1 and the first pumping node 310, and the pumping capacitor 210 is connected between the input node 110 receiving the pumping clock C2 of the oscillator and the second pumping node 410.

상기와 같이 구성되는 본 고안의 차아지 펌프회로는 다음과 같이 동작한다.The charge pump circuit of the present invention configured as described above operates as follows.

펌핑동작 이전, 제 1 펌핑노드 310은 엔모스 트랜지스터 150에 의해 VDD-Vbi로 선충전된다. 여기서 Vbi는 엔모스 트랜지스터 150의 빌트-인(built-in) 전압이다. 펌핑클럭 C1이 0볼트에서 VDD 레벨로 상승하면 제 1 펌핑노드 310의 전압레벨은 제 1 펌핑캐패시터 200에 의해 2VDD-Vbi로 증가한다.Prior to the pumping operation, the first pumping node 310 is precharged to VDD-Vbi by the NMOS transistor 150. Where Vbi is the built-in voltage of the NMOS transistor 150. When the pumping clock C1 rises from 0 volts to the VDD level, the voltage level of the first pumping node 310 is increased to 2VDD-Vbi by the first pumping capacitor 200.

제 1 펌핑노드 310에서의 펌핑전압 2VDD-Vbi는 피모스 트랜지스터 400에 의해 2VDD-2Vbi로 전압강하되어 제 2 펌핑노드 410에 출력된다. 이때 펌핑클럭 C2가 0볼트에서 VDD로 상승하면 제 2 펌핑노드 410의 전압레벨은 제 2 펌핑캐패시터 210에 의해 VDD만큼 상승하여 3VDD-2Vbi 레벨까지 상승한다.The pumping voltage 2VDD-Vbi at the first pumping node 310 is dropped to 2VDD-2Vbi by the PMOS transistor 400 and output to the second pumping node 410. At this time, when the pumping clock C2 rises from 0 volts to VDD, the voltage level of the second pumping node 410 is increased by VDD by the second pumping capacitor 210 to the level of 3VDD-2Vbi.

제 2 펌핑노드 410에서의 펌핑전압 3VDD-2Vbi는 피모스 트랜지스터 500에 의해 3VDD-3Vbi로 전압강하되어 승압노드 510에 출력된다.The pumping voltage 3VDD-2Vbi at the second pumping node 410 is dropped to 3VDD-3Vbi by the PMOS transistor 500 and output to the boosting node 510.

따라서, 최종 승압전압은 다음의 수식으로 표현될 수 있다.Therefore, the final boosted voltage can be expressed by the following equation.

VPP' = { VDD + m(VDD-Vbi) } - VbiVPP '= {VDD + m (VDD-Vbi)}-Vbi

여기서, m; 펌핑전압을 출력하는 스테이지 수, VDD-Vbi; 펌핑동작시 각 스테이지에서의 전압레벨, -Vbi; 펌핑전압의 전송수단에 의한 전압강하Where m; The number of stages outputting the pumping voltage, VDD-Vbi; Voltage level at each stage during the pumping operation, -Vbi; Voltage drop by means of transfer of pumping voltage

상술한 바와같이, 본 고안의 차아지 펌프회로는 펌핑동작을 수행하는 모스 트랜지스터의 임계전압으로 인한 전압강하를 최소화시킬 수 있으며, 펌핑전압을 승압노드로 전송하는 전송트랜지스터의 임계전압에 의한 전압강하를 제거할 수 있다. 또한 각 스테이지에서 모스 트랜지스터의 몸체 효과의 영향을 제거함으로써 낮은 동작전압을 사용하는 회로에도 적용할 수 있으며, 보다 더 적은 스테이지만으로도 회로 구현이 가능하므로 차지하는 면적이 적고 소모전력도 줄일 수 있다.As described above, the charge pump circuit of the present invention can minimize the voltage drop due to the threshold voltage of the MOS transistor performing the pumping operation, and the voltage drop due to the threshold voltage of the transmission transistor transferring the pumping voltage to the boosting node. Can be removed. In addition, by eliminating the effect of the body effect of the MOS transistor in each stage, it can be applied to a circuit using a low operating voltage, and the implementation of the circuit in fewer stages can take up less space and reduce power consumption.

Claims (3)

반도체 메모리 장치의 차아지 펌프회로에 있어서,In the charge pump circuit of a semiconductor memory device, 서로 반대의 위상을 갖는 제 1 및 제 2 펌핑클럭을 각각 입력받아 제 1 및 제 2 노드로 출력하는 제 1 및 제 2 펌핑 캐패시터와,First and second pumping capacitors receiving first and second pumping clocks having opposite phases and outputting to the first and second nodes, respectively; 상기 제 1 노드와 동작전압단자 사이에 채널이 접속되고 게이트가 드레인과 공통 접점을 이루어 상기 제 1 노드를 소정의 레벨로 선충전시키는 제 1 트랜지스터와,A first transistor having a channel connected between the first node and an operating voltage terminal and a gate having a common contact with a drain to precharge the first node to a predetermined level; 상기 제 1 트랜지스터의 게이트와 상기 제 1 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 상기 제 1 노드와 연결되며, 기판단자가 상기 제 2 노드와 연결되는 제 2 트랜지스터와,A second transistor having a channel connected between the gate of the first transistor and the first node, a gate connected to the first node, and a substrate terminal connected to the second node; 상기 제 1 노드와 상기 제 2 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 상기 제 2 노드와 연결되며 기판단자가 제 3 노드와 연결되는 제 3 트랜지스터와,A third transistor having a channel connected between the first node and the second node, a gate connected to the second node, and a substrate terminal connected to a third node; 상기 제 2 노드와 상기 제 3 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 상기 제 3 노드와 연결되며 기판단자가 상기 제 3 노드와 연결되어 상기 제 2 노드의 전압을 상기 제 3 노드로 전송하는 제 4 트랜지스터로 구성되는 차아지 펌프회로.A fourth channel connected between the second node and the third node, a gate connected to the third node, and a substrate terminal connected to the third node to transmit a voltage of the second node to the third node; A charge pump circuit composed of transistors. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제 1 트랜지스터는 엔모스 트랜지스터이고, 상기 제 2 내지 제 4 트랜지스터는 피모스 트랜지스터인 것이 특징인 차아지 펌프회로.Wherein the first transistor is an NMOS transistor, and the second to fourth transistors are PMOS transistors. 반도체 메모리 장치의 차아지 펌프회로에 있어서,In the charge pump circuit of a semiconductor memory device, 전극의 일단을 통해 소정 주파수를 갖는 제 1 클럭신호를 입력받고 타단은 제 1 노드와 연결되는 제 1 캐패시터와,A first capacitor receiving a first clock signal having a predetermined frequency through one end of the electrode and the other end connected to the first node; 전극의 일단을 통해 상기 제 1 클럭신호와 반대의 위상을 갖는 제 2 클럭신호를 입력받고 타단은 제 2 노드와 연결되는 제 2 캐패시터와,A second capacitor receiving a second clock signal having a phase opposite to that of the first clock signal through one end of the electrode, and the other end thereof connected to a second node; 소스가 상기 제 1 노드와 연결되고 드레인과 게이트가 동작전압단자와 공통 접속되는 엔모스 트랜지스터와,An NMOS transistor having a source connected to the first node, a drain and a gate commonly connected to an operating voltage terminal; 상기 엔모스 트랜지스터의 게이트와 상기 제 1 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 상기 제 1 노드와 연결되며, 기판단자가 상기 제 2 노드와 연결되는 제 1 피모스 트랜지스터와,A first PMOS transistor having a channel connected between the gate of the NMOS transistor and the first node, a gate connected to the first node, and a substrate terminal connected to the second node; 상기 제 1 노드와 상기 제 2 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 상기 제 2 노드와 연결되며 기판단자가 제 3 노드와 연결되는 제 2 피모스 트랜지스터와,A second PMOS transistor having a channel connected between the first node and the second node, a gate connected to the second node, and a substrate terminal connected to a third node; 상기 제 2 노드와 상기 제 3 노드 사이에 채널이 접속되고 게이트가 상기 제 3 노드와 연결되며 플로팅 상태의 기판단자를 갖는 제 3 피모스 트랜지스터로 구성되는 차아지 펌프회로.A charge pump circuit comprising a third PMOS transistor having a channel connected between the second node and the third node, a gate connected to the third node, and having a substrate terminal in a floating state.
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