KR20000009715A - 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 새도우 마스크가 필요없으며 동시에 2개층의 유기막이 증착되지 않는 풀컬러 디스플레이 패널을 만들기 위한 것이다.

본 발명에 의한 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법은 투명 기판위에 제 1 전극을 형성하는 제 1 단계, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층을 복수개 형성하는 제 2 단계, 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 전기절연층을 형성하는 제 3 단계, 상기 제 1 버퍼층 , 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽을 형성하는 제 4 단계, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽을 형성하는 제 5 단계, 상기 버퍼층으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시키는 제 6 단계 및 상기 유기막 위에 제 2 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 구성함을 특징으로 하며, 또한 본 발명은 상기 제조방법에 의하여 구성되는 유기전계발광 디스플레이 패널을 제공한다.

Description

유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법

본 발명은 디스플레이 소자에 관한 것으로, 특히 유기전계발광(electroluminescent: EL) 디스플레이 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.

최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있는 데, 이러한 평면표시소자중 하나로서 전계발광소자가 주목되고 있다.

이 전계발광소자는 사용하는 재료에 따라 무기 EL소자와 유기 EL 소자로 크게 나뉘어지는 데, 이중 유기 EL소자는 전자 주입 전극(음극)과 정공 주입 전극(양극)사이에 형성된 유기전계발광층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)이나 무기 EL 디스플레이에 비해 낮은 전압(예컨대, 10V이하)으로 구동할 수 있다는 장점이 있어 연구가 활발하게 진행되고 있다.

또한, 상기 유기 EL 소자는 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트(contrast) 등의 뛰어난 특징을 갖고 있으므로 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면광원(surface light source)의 픽셀로서 사용될 수 있으며, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이에 적합한 소자이다. 그리고, 플라스틱과 같이 휠 수 있는 (flexible) 투명 기판 위에도 소자를 형성할 수 있다.

도 1은 이러한 용도를 갖는 단순 매트릭스 방식의 유기 EL 소자의 구조로서, 투명 기판(1) 상에 띠(stripe) 형태로 형성되는 제 1 전극(2)과, 제 1 전극(2) 상에 형성되는 유기전계발광층(4)과, 유기전계발광층(40) 상에 띠 형태로 형성된 제 1 전극과 수직으로 교차하는 방향으로 띠 형태로 형성되는 제 2 전극(3)으로 이루어진다.

상기 유기전계발광층(4)은 제 1 전극(2)상에 형성되는 정공 주입층(hole injecting layer ; HIL) 또는 정공 수송층(hole transporting layer ; HTL)과, 상기 정공 주입층 또는 정공 수송층 위에 형성되는 유기 발광층과, 상기 유기 발광층 위에 형성되는 전자 수송층(electron transporting layer ; ETL) 또는 전자 주입층(electron injecting layer ; EIL)으로 이루어진다.

상기 제 1 전극(2) 상에 형성되는 정공 주입층 또는 정공 수송층은 제 1 전극(2) 상에 정공 주입층과 정공수송층을 연속적으로 형성한 층일 수 있으며, 상기 유기 발광층위에 형성되는 전자 수송층 또는 전자주입층은 유기 발광층 위에 전자 수송층과 전자 주입층을 연속적으로 형성한 층일 수 있다.

이와 같이 형성되는 유기 EL 소자의 제 2 전극(3)은 유기전계발광층(4) 의 전자 주입층 및/또는 전자 수송층을 통해 유기 발광층에 전자를 주입시켜 주는 기능을 하고, 제 1 전극(2)은 정공 주입층 및/또는 정공 수송층을 통해 유기 발광층에 정공을 주입시켜 주는 기능을 한다.

그러나, 이와 같은 유기 EL 소자는 제작시에 많은 어려움이 있는 데, 그 중에 가장 어려운 공정중의 하나가 픽셀레이션(pixellation) 또는 패터닝(patterning) 공정이다.

즉, 제 1 전극(2) 띠로 흔히 쓰이는 ITO(Indium Tin Oxide)는 반도체 제조 공정에서 일반적으로 쓰이는 포토리소그라피(photolithography) 공정을 이용하여 쉽게 정교한 패터닝을 할 수 있다. 그러나, 제 2 전극의 패터닝은 그리 간단하지 않다. 제 2 전극(3) 밑에 이미 형성되어 있는 유기전계발광층(40)이 포토리소그라피 공정 중 물이나 솔벤트(solvent)에 노출될 경우 그 특성이 열화하기 때문에 일반적인 포토리소그라피 공정을 사용하기 어려우며, 미세 픽셀을 만드는 데에도 한계를 드러낸다.

따라서, 도 2 및 도 3은 이를 해결하기 위한 유기 EL 소자들의 구조 단면도로서, 도 2에서와 같이 새도우마스크(shadow mask)(50)를 이용하여 패턴을 형성하든가 아니면, 도 3에서와 같이 포토레지스트(photoresist ; PR)로 격벽, 즉 전기절연층(6)를 형성하여 유기전계발광층 및 제 2 전극을 패턴 분리하는 방법을 사용할 수 있다.

먼저 도 2에 도시된 바와 같이 새도우 마스크를 이용한 제조방법은 제 1 전극을 형성하고, 그 위에 유기전계발광층을 형성하고 그 위에 새도우 마스크를 형성한다. 그 후 제 2 전극을 형성하게 함으로써 픽셀간 절연이 된다.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이 격벽을 이용한 제조방법은 먼저, 제 1 전극을 형성하고, 이 제 1 전극에 수직한 방향으로 격벽을 형성한다. 그리고 전면에 유기 전계발광층을 형성한 다음, 전면에 제 2전극을 입히면 제 2 전극은 격벽에 의해 자연스럽게 분리되어 픽셀간에 절연이 된다.

그러나, 이러한 방법들을 이용하여 단색 유기 EL 디스플레이를 제작하는 것은 가능하지만 멀티컬러 또는 풀컬러 유기 EL 디스플레이를 제작하기 위해서는 좀더 정교한 제조공정 및 다른 기술들이 추가로 필요하다.

즉, 백색광 및 컬러 필터를 쓰는 방법과, 청색광 및 컬러 변환 물질(color changing medium ; CCM)을 쓰는 방법, 격벽 및 새도우 마스크를 동시에 사용하는 방법 등을 고려할 수도 있다. 그러나 상기 컬러 필터와 컬러 변환 물질을 이용하는 방법은 효율이 좋은 청색 물질(blue material)이 필요하다는 점과, 색을 변경시키는 지역을 통과하면서 발광 효율이 급격히 감소하는 단점이 발생한다.

풀컬러 유기 EL 소자를 만드는 방법중에서 효율이 가장 좋은 방법은 적, 녹, 청색의 빛을 발하는 물질을 각각 따로따로 증착시키는 방법이다.

이렇게 적, 녹, 청색의 유기막을 따로 증착시키는 방법은 다음과 같은 방법이 있을 수 있다.

즉, 그 하나가 도 4와 같이 새도우 마스크를 사용하여 적, 청, 녹색의 유기막을 각각 증착시키는 방법이며, 다른 하나는 도 5과 같이 높은 격벽을 이용하여 새도우 마스크 없이 유기물 증착시 기울여서 적, 청, 녹색 픽셀을 차례로 만드는 방법이다.

상기 새도우 마스크를 사용한 증착방법을 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 제 1 전극을 형성하는 데 이때는 주로 ITO띠가 사용된다. 그리고 그 위에 제 1 전극에 수직한 방향으로 격벽을 형성한다. 다음으로, 새도우 마스크를 이용하여 격벽 두 개 건너뛰어서 적색 발광을 하는 유기막층(4a)을 형성하고, 상기 적색 발광을 하는 유기막층(4a)을 형성하는 공정과 유사한 방법으로 옆으로 한칸씩 이동하며 녹색 발광을 하는 유기막층(4b) 및 청색 발광을 하는 유기막층(4c)을 형성한다. 마지막으로 제 2 전극(3)을 형성함으로써 픽셀간 절연이 되게 한다.

위에서 상술한 컬러 픽셀 형성방법은 다음과 같은 단점이 있다.

즉, 도 4에서 볼 수 있듯이 한 개의 픽셀에 적, 녹, 청색 세 개의 서브-픽셀(sub-pixels)을 직사각형 형태로 형성해야 하므로 패턴의 사이즈가 작아져서이에 적합한 새도우 마스크(메탈 마스크)를 제조하는 공정이 어려워지고, 또한 상기 격벽 위에 새도우 마스크를 소정의 위치에 정열(align)시키는 데에도 어려움이 따르게 되는 등 공정이 복잡해진다는 단점을 가지게 된다.

또한, 도 5를 참조하여 높은 격벽을 이용하여 새도우 마스크 없이 유기물 증착시 기울여서 증착하여 적, 녹, 청색의 픽셀을 차례로 만드는 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, ITO 띠가 주로 사용되는 제 1 전극(2)을 형성하고, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 격벽을 미리 형성한다. 그리고 전면에 적색발광을 하는 유기막(4a)을 왼쪽으로 기울여서 증착시키고, 녹색발광을 하는 유기막(4b)은 오른쪽으로 기울여서, 청색발광을 하는 유기막(4c)은 바로 위에서 증착한다. 형성된 유기전계발광층 위에 금속층을 오른쪽으로 기울여 증착하여 제 2 전극(3)을 형성하면 제 2 전극은 미리 만들어진 격벽에 의해 자연스럽게 분리되어 픽셀간에 절연이 된다.

그러나, 위에서 상술한 도 5의 컬러 픽셀 형성 방법은 다음과 같은 단점이 있다.

즉, 적색과 녹색 발광을 하는 유기막을 증착시킨 다음 청색 발광을 하는 유기막을 증착할 때 바로 위에서 증착하므로, 청색물질은 적색물질과 녹색물질 부분에도 증착되게 된다. 이 상태에서 금속 전극을 입히게 되면 청색물질 부분은 발광을 잘하나 적색물질과 녹색물질 부분은 서로 다른 유기막 2개층이 입혀진 결과(적색발광물질층 + 청색발광물질층, 녹색발광물질층 + 청색발광물질층)로 발광을 잘 하지 않게 된다. 또한 금속 전극이 기울여 증착된다고 하나, 이러한 공정으로서는 절연이 확실하게 되지 않는 단점이 발생한다.

본 발명은, 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 정밀한 새도우 마스크가 필요없고, 새도우 마스크를 기판과 정확하게 정열할 필요가 없게 하는 데에 있으며, 본 발명의 다른 목적은 마스크 없이 소자를 만들 때 대기중에 노출된다거나 솔벤트, 수용액에 노출됨이 없이 진공에서 유기전계발광소자를 제조할 수 있는 방법을 개발하는 데 있으며, 본 발명의 또다른 목적은 또다른 종래기술의 문제점인 서로 다른 유기막 2개층의 증착이 되지 않는 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는 데에 있다.

도 1은 종래 기술의 단순 매트릭스 방식에 따른 유기전계발광소자의 평면도이며,

도 2 내지 도 5는 종래 기술의 여러 실시예에 따른 유기전계발광소자의 구조 단면도이며,

도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 전기절연층, 격벽 및 버퍼층이 나타난 유기전계발광 디스플레이 패널의 구조도 및 단면도이며,

도 7 및 도 8의 a 내지 d는 본 발명에 따른 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서 적, 청, 녹색의 유기막의 증착 방향과 그 각도를 나타낸 개략도이며,

도 9는 본 발명에 따른 전기절연층, 격벽 및 버퍼층이 나타난 유기전계발광 디스플레이 패널의 입체도이며,

도 10은 본 발명에 따른 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서 적용가능한 전기절연층의 형태도이며,

도 11 및 도 12는 본 발명에 적용되는 전기절연층이 복수개 형성될 수 있음을 나타낸 구조 단면도 이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 투명 기판

2 : 제 1 전극

3 : 제 2 전극

4 : 유기전계발광층

4a : 적색 발광을 하는 유기막층

4b : 녹색 발광을 하는 유기막층

4c : 청색 발광을 하는 유기막층

5 : 새도우 마스크

6 : 전기절연층

7a : 각각의 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막을 선택적으로 증착시키기 위한 제 1 격벽

7b : 각각의 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막을 선택적으로 증착시키기 위한 제 2 격벽

8 : 버퍼층

본 발명에 의한 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법은 투명 기판위에 제 1 전극을 형성하는 제 1 단계, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층을 복수개 형성하는 제 2 단계, 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 전기절연층을 형성하는 제 3 단계, 상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽을 형성하는 제 4 단계, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽을 형성하는 제 5 단계, 상기 버퍼층으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시키는 제 6 단계 및 상기 유기막 위에 제 2 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 구성함을 특징으로 한다.

이때, 상기 제 6 단계는, 상기 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 제 1 유기막이 일방향으로 기울여서 증착될 때, 다른 하나인 제 2 유기막은 제 1 유기막의 증착방향과 반대방향인 타방향으로 기울여서 증착되며, 또다른 하나인 제 3 유기막은 상기 제 1 및 제 2 유기막이 증착된 방향과 수직되는 방향중 어느 하나의 방향으로 기울여서 증착됨을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 제 1 전극, 유기전계발광층, 제 2 전극으로 이루어진 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서, 상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성되는 복수개의 제 1 내지 제 4 버퍼층, 상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 전기절연층, 상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 제 1 격벽, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 형성되는 제 2 격벽을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널을 제공한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 6 내지 도 12는 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 제조과정 및 공정도를 나타낸 개략도 혹은 그 단면도로서, 먼저 도 6에 도시된 바와 같이 투명 기판(1) 위에 제 1 전극(재질은 대개 Indium Tin Oxide ; ITO)띠(2)를 형성한다. 이때, 일반적인 포토리소그라피 공정을 써서 ITO박막을 띠(stripe) 모양으로 패터닝한다.

그리고 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제 1 전극을 포함한 전면에 제 1 전극과 수직이 되게 버퍼층(buffer layer)(8)을 형성한다. 이 버퍼층은 제 1 전극과 제 2 전극 간의 절연을 위해 필요하다.

또한, 상기 버퍼층으로서 레이져(laser)에 견딜 수 있도록 절연성이 좋은 고분자 또는 옥시드(oxide), 니트리드(nitride) 등의 무기물을 사용할 수 있다.

본 명세서에서는 발명의 명확한 설명을 위하여, 순차적으로 형성된 4개의 버퍼층을 한단위로 하여 이들을 제 1 내지 제 4 버퍼층으로 설정하기로 하며, 상기 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층이 연속적으로 형성되게 한다.

다음으로, 상기 버퍼층(8)위에 전기절연층(6)을 형성시킨다. 상기 전기절연층을 만드는 공정은 대부분 포토리소그래피 공정으로 만들 수 있으며, 또한 상기 전기절연층(6)은 1층이상으로 만들어질 수 있다.

상기 전기절연층(6)에 쓰이는 물질로써 무기물 또는 고분자가 있을 수 있다. 이때 상기 전기절연층의 형태는 오버행(over-hang)을 함유한 것이면 어떤 것이든 상관 없는 데, 오버행을 함유한 전기절연층의 대표적인 형태를 도 10을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

즉, 도 10의 (a)와 같은 전체적으로 하협상광(下狹上廣) 형태의 전기절연층으로서는 네가티브 포토레지스트(negative photoresist)가 사용될 수 있으며, 도 10의 (b)와 같은 하광상협 형태의 하부와 평편판의 상부가 연결되어 있는 전기절연층로서는 포지티브 포토레지스트(positive photoresist)가 사용될 수 있으며, 도 11의 (c)과 같이 하광상협 형태의 아래층과 평편판의 위층이 연결되어 있는, 즉 2층(layer)으로 이루어진 전기절연층이 가능하다.

또한, 상기 전기절연층은 2개 이상으로 나뉘어져 하나의 버퍼층 위에 결과적으로 2개이상의 전기절연층이 형성될 수 있는 데, 이와 관련하여 도 11과 도 12을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

즉, 도 11의 (a)나 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이 전기절연층이 2개로 나뉘어 질 수 있으며, 도 12의 (b)나 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이 전기절연층이 3개로 나뉘어 질 수도 있다. 따라서, 나뉘어진 전기절연층의 개수를 n이라 하면 n≥1이며, 2개 이상으로 나뉘어진 전기절연층은 제 2 전극 띠간의 절연 효과를 극대화시킬 수 있게 한다.

도 11에 도시된 전기절연층의 형태는 앞서 설명한 도 10의 (a)형태인 전체적으로 하협상광의 형태를 가진 전기절연층이며, 도 12에 도시된 전기절연층의 형태는 도 10의 (b)형태, 즉 하광상협 형태의 하부와 평편판의 상부가 연결되어 구성된 전기절연층이다.

다음으로, 상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽(7a)을 형성시킨다. 또한, 상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽(7b)을 형성한다. 상기 제 1 격벽(7a)과 제 2 격벽(7b)의 구조는, 앞서 언급한 바와 같이 제 1 내지 제 4 버퍼층이 연속되어 형성됨에 따라 유기전계발광 디스플레이 패널에서 연속되게 형성되어진다.

상기 격벽은 적, 청, 녹색의 유기막을 선택적으로 증착하기 위한 것으로서, 높이는 1μm - 100,000μm사이에서 결정되는 것이 바람직하며 폭은 0.1μm - 10,000μm사이에서 결정되는 것이 바람직하다.

도 6은 유기전계발광층(4)이 증착되기 전에 기판(1)위에 제 1 전극(2)과 버퍼층(8), 전기절연층(6)와 격벽(7a 및 7b)이 형성되어 있는 유기전계발광 디스플레이 패널의 구조도(a) 및 상기 구조도의 단면도들( (b) 및 (c) )이다. 전기절연층와 수직으로 세워진 격벽의 끝쪽(확대한 부분)은 전기절연층과 붙으면 안되고, 버퍼층위로 올라가야 하는 데, 이를 나타낸 확대도가 도 6a의 오른편 상단부에 나타나 있다. 즉, 전기절연층로부터 격벽까지의 수직거리를 A, 전기절연층 한쪽편의 버퍼층의 전체 폭을 B라 한다면, 제 2 전극간의 절연 효과를 확실히 하기 위하여 상기 격벽의 끝이 전기절연층과 붙지 않도록 해야 하므로 A는 0보다 커야 하며, 또한 제 1 전극과 제 2 전극이 직접 접촉하여 쇼트(short)되는 것을 방지하기 위하여 상기 격벽이 버퍼층위로 올라가야 하므로 A는 B보다 작거나 같아야 한다. (0<A≤B)

상기 격벽을 형성시킨 후의 기판의 입체도가 도 9에 나타나 있다.

다음으로, 상기 버퍼층(8)으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극(2) 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시킨다.

이와 관련한 도 7과 도 8을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 7 및 도 8은 상기 유기막들의 증착방향과 증착각도를 도식화하여 설명한 공정도이다.

즉, 적색 발광을 하는 유기막(4a)을 도 7의 화살표 a 방향에서와 같이 소자의 일방향(왼쪽 또는 오른쪽)으로 기울여서, 도 8에 도시된 바와 같은 θ의 각을 주며 증착시킨다. 이때 각도 θ는 상기 격벽의 높이와 폭, 그리고 발광 픽셀의 폭에 따라 1°에서 89°의 범위내에서 변할 수 있다.

다음으로, 녹색 발광을 하는 유기막(4b)을 도 7의 화살표 b 방향에서와 같이, 전술한 과정으로 증착된 적색 발광을 하는 유기막과 같은 셀안에 겹쳐지지 않도록 하는 소자의 타방향(오른쪽 또는 왼쪽)으로 기울여서, 도 8에 도시된 바와 같은 θ`의 각을 주며 증착한다. 이때 각도 θ`는 상기 격벽의 높이와 폭, 그리고 발광 픽셀의 폭에 따라 1°에서 89°의 범위내에서 변할 수 있다.

이때 도 7의 화살표 b 방향, 즉 녹색 발광을 하는 유기막의 증착방향은 적색 발광을 하는 유기막의 증착 방향(도 7의 화살표 a 방향)과는 반대의 방향이 된다. 예를 들어, 적색 발광을 하는 유기막의 증착방향 화살표 a가 왼쪽으로 기울어진 증착방향이었다면, 녹색 발광을 하는 유기막의 증착방향 화살표 b는 오른쪽으로 기울어진 증착방향이 된다.

그 다음, 같은 방식으로 청색 발광을 하는 유기막(4c)을 도 7의 화살표 c 또는 c`방향에서와 같이, 상기 적색 및 녹색 발광을 하는 유기막이 증착된 셀안에 청색 발광을 하는 유기막이 함께 겹쳐지지 않도록 하는 또다른 방향(전방 또는 후방 모두 가능)으로 기울여서, 도 8에 도시된 바와 같은 θ``의 각을 주며 증착한다. 상기 적색 및 녹색 발광을 하는 유기막이 증착된 셀안에 함께 겹쳐지지 않도록 하는 또다른 방향이란, 앞서 적색과 녹색 유기막이 증착된 방향과는 수직되는 방향중 어느 하나의 방향이 되어 유기전계발광 디스플레이 패널의 전방 또는 후방이 모두 될 수 있다. 이때 각도 θ``는 1°에서 89°까지의 범위내에서 변할 수 있다. (1°≤θ``≤ 89°)

상술한 적색, 녹색 및 청색의 유기막을 증착하는 순서와 위치는 서로 바꾸어도 상관이 없다.

그 다음, 상기 증착된 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막(4) 위에 제 2 전극(3)을 증착한다. 이때 미리 만든 전기절연층(6)이 제 2 전극(3) 띠간을 절연시킨다.

마지막으로 상기 제 2 전극 위에 복수의 보호막을 형성시켜 유기전계발광 디스플레이 패널을 완성한다. 상기 보호막층은 흡습층, 방습층, 쉴드 글래스(shield glass) 등을 포함한다.

이상 설명한 것과 같이, 본 발명에 의하면, 정밀한 새도우 마스크가 필요없고, 새도우 마스크를 기판과 정확하게 정열(align)할 필요가 없으며, 또한 새도우 마스크 없이 소자를 만들 때 대기중에 노출된다거나 솔벤트, 수용액에 노출됨이 없이 진공에서 유기전계발광소자를 제조할 수 있으며, 또다른 종래기술의 문제점인 서로 다른 유기막 2개층의 증착이 되지 않는 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.

Claims (20)

1. 투명 기판위에 제 1 전극을 형성하는 제 1 단계;

   상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성된 제 1 내지 제 4 버퍼층을 복수개 형성하는 제 2 단계;

   상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 전기절연층을 형성하는 제 3 단계;

   상기 제 1 버퍼층 , 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 제 1 격벽을 형성하는 제 4 단계;

   상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 제 2 격벽을 형성하는 제 5 단계;

   상기 버퍼층으로 나뉘어지는 각각의 제 1 전극 상에 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막만이 적층되게 하기 위하여 방향과 각도를 달리하여 상기 유기막들을 순차적으로 증착시키는 제 6 단계; 및

   상기 유기막 위에 제 2 전극을 형성하는 제 7 단계를 포함하여 구성함을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 제 6 단계가

   상기 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 제 1 유기막이 일방향으로 기울여서 증착될 때, 다른 하나인 제 2 유기막은 제 1 유기막의 증착방향과 반대방향인 타방향으로 기울여서 증착되며, 또다른 하나인 제 3 유기막은 상기 제 1 및 제 2 유기막이 증착된 방향과 수직되는 방향중 어느 하나의 방향으로 기울여서 증착됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
3. 제 1항에 있어서, 상기 적, 청, 녹색 발광을 하는 유기막중 어느 하나의 유기막의 증착 각도가 각각 1°~89°의 범위내에 있음을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
4. 제 1항에 있어서, 상기 제 2 전극을 포함한 전면에 복수의 보호막을 형성하는 단계가 더욱 포함됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
5. 제 1항에 있어서, 상기 전기절연층은 단층 또는 복수층인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
6. 제 1항에 있어서, 상기 전기절연층은 오버행(over-hang)을 함유함을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
7. 제 1항에 있어서, 상기 전기절연층은 하나의 버퍼층 위에 1개이상 형성됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
8. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 상기 전기절연층보다 높게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
9. 제 1항에 있어서. 상기 제 2 격벽은 상기 제 2 버퍼층에 의해 분리되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
10. 제 8항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 높이가 1μm - 100,000μm이며, 폭은 0.1μm - 10,000μm임을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
11. 제 9항에 있어서, 상기 제 2 버퍼층 위에 형성된 전기절연층은 제 2 격벽에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널의 제조방법.
12. 제 1 전극, 유기전계발광층, 제 2 전극으로 이루어진 유기전계발광 디스플레이 패널에 있어서,

    상기 제 1 전극에 수직한 방향으로 순차적으로 형성되는 복수개의 제 1 내지 제 4 버퍼층;

    상기 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 전기절연층;

    상기 제 1 버퍼층, 제 3 버퍼층 및 제 4 버퍼층 위에 동일한 방향으로 형성되는 제 1 격벽;

    상기 제 1 버퍼층으로부터 제 3 버퍼층에 걸친 제 1 전극의 일측에 상기 제 1 격벽에 수직한 방향으로 형성되는 제 2 격벽을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
13. 제 12항에 있어서, 복수의 보호막을 더욱 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
14. 제 12항에 있어서, 상기 전기절연층은 단층 또는 복수층인 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
15. 제 12항에 있어서, 상기 전기절연층은 오버행(over-hang)을 함유함을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
16. 제 12항에 있어서, 상기 전기절연층은 하나의 버퍼층에 1개이상 형성됨을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
17. 제 12항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 상기 전기절연층보다 높게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
18. 제 12항에 있어서, 상기 제 2 격벽은 상기 제 2 버퍼층에 의해 분리되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
19. 제 17항에 있어서, 상기 제 1 격벽 및 제 2 격벽은 높이가 1μm - 100,000μm이며, 폭은 0.1μm - 10,000μm임을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.
20. 제 18항에 있어서, 상기 제 2 버퍼층 위에 형성된 전기절연층은 제 2 격벽에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널.