KR20000008923U - Tester of memory semiconductor chip - Google Patents

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tester
semiconductor chip
memory
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KR2019980020796U
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정철
김성무
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

본 고안은 메모리 반도체 칩의 읽기와 쓰기 동작을 테스트 하기 위한 테스터와 테스트 보오드의 와이어에 의한 신호지연에 무관하게 시스템의 최대 주파수 이상의 효율을 낼 수 있는 메모리 반도체 칩 테스터를 개시한다. 이 테스터는, 메모리 반도체 칩의 읽기 및 쓰기 동작을 테스트하기 위하여 상기 메모리 반도체가 장착되는 테스터 보오드와 읽기 및 쓰기 신호를 상기 메모리 칩의 입출력단자로 전송하는 반도체 칩의 테스터로서, 상기 메모리 반도체의 입출력 단자에 읽기 및 쓰기 신호를 전송하기 위한 별도의 채널과, 상기 테스터 보오드상에 형성되어 반도체 칩의 입출력 단자에 연결되는 별도의 두 와이어를 구비한다.The present invention discloses a tester for testing read and write operations of a memory semiconductor chip and a memory semiconductor chip tester capable of achieving efficiency above the maximum frequency of the system regardless of signal delay caused by the wire of the test board. The tester is a tester board on which the memory semiconductor is mounted and a tester of a semiconductor chip which transmits read and write signals to the input / output terminals of the memory chip in order to test read and write operations of the memory semiconductor chip. A separate channel for transmitting read and write signals to the terminal and two separate wires formed on the tester board and connected to the input / output terminals of the semiconductor chip.

Description

메모리 반도체 칩의 테스터Tester of memory semiconductor chip

본 고안은 메모리 반도체의 읽기 및 쓰기 테스트를 위한 테스터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시스템이나 테스트 보오드의 와이어에 의한 신호지연과 무관하게 최대 주파수를 구현할 수 있는 테스트 시스템용 패키지 보오드에 관한 것이다.The present invention relates to a tester for reading and writing tests of a memory semiconductor, and more particularly, to a package board for a test system capable of realizing a maximum frequency irrespective of signal delay caused by a wire of a system or test board.

반도체를 위한 공정중에서 최종 공정에 해당하는 공정에 테스트 공정이 있으며, 이에 대응하여 사용되어지는 장비를 테스터라고 한다. 웨이퍼 상태에서 어셈블리 공정으로 이동하기 전, 웨이퍼 상에서 칩의 양불 판정 및 리페어를 할 수 있다. 여기에 사용되는 테스트 장비를 팹 라인(Fab Line)용 테스터라 하고, 패키지 상에서 제품의 출하전 양불 및 등급을 구분하여 테스트하는 테스트 장비를 어셈블리용 테스터라 한다. 이와 같은 테스터를 다바이스별로 재분류하면, 메모리 테스터, 혼합 신호 테스터(Mixed Signal Tester), 선형 테스터(Linear Tester), 및 불연속 테스터(Discrete Tester)로 나뉜다.In the process for semiconductor, there is a test process in the final process, and the equipment used in response to this is called a tester. Prior to moving from the wafer state to the assembly process, chip failure and repair can be performed on the wafer. The test equipment used for this is called a fab line tester, and the test equipment for classifying pre-shipment and grade of a product on a package is called an assembly tester. If the tester is reclassified by device, it is divided into a memory tester, a mixed signal tester, a linear tester, and a discrete tester.

이러한 테스터들중, 메모리 디바이스의 테스팅 항목은 크게 디씨(DC)-테스트와 기능 테스트로 나눌 수 있다. 기능을 체크하는 패턴을 여러 가지 전압 조건, 타이밍 조건으로 테스트 하는 기능 테스트는, 에이씨(AC)-테스트를 겸하고 있다.Among these testers, the testing items of memory devices can be largely divided into DC-test and functional test. The functional test, which tests the function checking pattern under various voltage and timing conditions, doubles as an AC test.

DC-테스트는 메모리의 직류특성을 측정하는 것으로서, 피측정단자에 DC-측정 장치를 접속하고 규정의 전압(전류)를 DC-측정 장치로 측정한다. 측정항목에는, 오픈/쇼트(Open/short), 입력전류, 출력전압, 전원전류등이 있다.The DC-test measures the direct current characteristics of the memory. It connects the DC-measuring device to the terminal under test and measures the specified voltage (current) with the DC-measuring device. Measurement items include open / short, input current, output voltage, power supply current, and the like.

AC-테스트는, 입력단자에 펄스 신호를 인가하여 입출력 운반 지연시간, 출력신호의 스타트, 엔드 시간등의 동작특성을 측정한다.In the AC test, a pulse signal is applied to an input terminal to measure operating characteristics such as input / output carrying delay time, start of output signal, and end time.

기능 테스트는, 집적회로 메모리의 실동작속도에 있어서, 각 메모리 셀의 읽기/쓰기 기능이나 상호간섭등을 시험하는 것으로, 패턴 발생기에서 발생한 시험 패턴을 규정의 레벨로 변환한 펄스를 테스트를 위한 디바이스(DUT:Device Under Test, 이하 "DUT"로 명명)에 인가하여 상기 DUT의 출력신호를 규정의 레벨과 비교한다. 그 비교결과를 패턴 발생기에서 발생한 출력 기대 패턴과 비교하여 동작의 양부를 테스트한다.The functional test is a test of the read / write function and the mutual interference of each memory cell at the actual operating speed of the integrated circuit memory. A device for testing a pulse obtained by converting a test pattern generated from a pattern generator to a prescribed level (DUT: Device Under Test, hereinafter referred to as "DUT") to compare the output signal of the DUT with a specified level. The result of the comparison is compared with the expected output pattern generated by the pattern generator to test the success of the operation.

도 1은 종래의 실시예에 따른 메모리 반도체 칩의 테스터의 개략도로서, 테스터 패키지 보오드(16)에 테스트 중인 디바이스(18)가 단채널(20)에 의하여 연결되어 있다. 테스터의 드라이버(Driver:12)에서는 이 단채널을 통하여 읽기 및 쓰기 데이터를 전송하고, 테스트 중인 디바이스의 입출력단자(18a)를 통하여 상기 테스트 중인 디바이스로 읽기 및 쓰기 동작("RMW")을 테스트한다.1 is a schematic diagram of a tester of a memory semiconductor chip according to a conventional embodiment, in which a device 18 under test is connected to a tester package board 16 by a short channel 20. The driver 12 of the tester transmits read and write data through this short channel, and tests read and write operations (“RMW”) to the device under test through the input / output terminal 18a of the device under test. .

입출력이 멀티플렉스된 메모리 소자의 RMW 모드에서, 읽기동작후 쓰기 동작수행시 테스터의 와이어 지연과 테스터 보오드의 와이어 지연의 합의 두 배에 해당하는 데드 존이 발생하며, 이러한 데드 존은 테스트 결과의 정확도에 영향을 미친다.In the RMW mode of a memory device with multiple inputs and outputs, a dead zone equals twice the sum of the wire delay of the tester and the wire delay of the tester board when performing a write operation after a read operation. Affects.

이러한 사실을 도 2의 신호 타이밍도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.This fact will be described with reference to the signal timing diagram of FIG. 2.

테스트중인 디바이스(Dut)로부터 읽기(read) 데이터가 채널(20)에 실린후, 쓰기(write) 동작을 수행하기 위해 테스터의 드라이버가 채널에 쓰기 데이터를 실으면, 테스트 와이어 지연 + 보오드 와이어 지연 시간동안에 데이터가 충돌하는 현상이 발생된다. 이러한 테스터 환경의 영향으로 인한 오차를 방지하기 위해서는, 도 3의 타이밍도에 도시한 것처럼, 데이터의 읽기 동작후 테스터 와이어 지연+보오드 와이어 지연시간("tpd")의 2배에 해당되는 타이밍후에 쓰기 동작을 수행하여야 한다.After the read data from the device under test (Dut) is loaded on the channel 20, the tester's driver loads the write data on the channel to perform a write operation, the test wire delay + board wire delay time Data collisions occur during the process. In order to prevent the error due to the influence of the tester environment, as shown in the timing diagram of FIG. 3, after the data read operation, write after a timing corresponding to twice the tester wire delay + board wire delay time ("tpd"). The action must be performed.

이와같이, 종래의 테스터는 단채널을 통하여 읽기 및 쓰기 동작모드를 테스트하기 때문에, 테스터의 오차를 포함하게 된다.As described above, the conventional tester tests the read and write operation modes through the short channel, and thus includes the error of the tester.

또한, 데이터 충돌로 인하여, 테스터 와이어 지연+보오드 와이어 지연의 2배에 해당하는 시간동안 시스템의 효율이 저하되므로, 고속 디바이스 테스트시, 시스템의 최대 주파수 구현이 힘들게 된다.In addition, due to data collision, the efficiency of the system is degraded for two times the tester wire delay + board wire delay, making it difficult to realize the maximum frequency of the system when testing a high-speed device.

따라서, 본 고안은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 와이어에 의한 신호지연에 무관하게 시스템의 최대 주파수 이상의 효율을 낼 수 있는 테스트용 패키지를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a test package capable of achieving efficiency above a maximum frequency of a system regardless of signal delay caused by wires.

도 1은 종래의 실시예에 따른 메모리 반도체 칩의 테스터의 개략적인 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a tester of a memory semiconductor chip according to a conventional embodiment.

도 2는 도 1의 테스터에서 데이터 충돌현상을 설명하기 위한 각 신호의 파형도.2 is a waveform diagram of each signal for explaining a data collision phenomenon in the tester of FIG.

도 3은 도 1의 테스터의 타이밍도.3 is a timing diagram of the tester of FIG.

도 4는 본 고안의 실시예에 따른 메모리 반도체 칩의 테스터의 개략적인 구성도.4 is a schematic configuration diagram of a tester of a memory semiconductor chip according to an embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 테스터에서 두 채널에서 테스트중인 디바이스의 입출력과 테스터의 입출력을 보여주는 각 신호의 파형도.5 is a waveform diagram of each signal showing the input and output of the device under test and the tester in two channels in the tester of FIG.

도 6은 도 4의 테스터의 타이밍도.6 is a timing diagram of the tester of FIG.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

42 : 테스터의 드라이버 44 : 테스터의 리시버42: Tester's Driver 44: Tester's Receiver

46 : 테스터 보오드 48 : 테스터를 위한 디바이스46: tester board 48: device for the tester

48a : I/O단자 50, 51 : 와이어48a: I / O terminal 50, 51: wire

50a, 51a : 저항체50a, 51a: resistor

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 고안의 반도체 칩의 테스터는, 메모리 반도체 칩의 읽기 및 쓰기 동작을 테스트하기 위하여 상기 메모리 반도체가 장착되는 테스터 보오드와 읽기 및 쓰기 신호를 상기 메모리 칩의 입출력단자로 전송하는 반도체 칩의 테스터로서, 상기 메모리 반도체의 입출력 단자에 읽기 및 쓰기 신호를 전송하기 위한 별도의 채널과, 상기 테스터 보오드상에 형성되어 반도체 칩의 입출력 단자에 연결되는 별도의 두 와이어를 구비한다.In order to achieve the above object, the tester of the semiconductor chip of the present invention, the tester board on which the memory semiconductor is mounted and the read and write signals to the input and output terminals of the memory chip to test the read and write operation of the memory semiconductor chip A tester for transmitting semiconductor chips, comprising: a separate channel for transmitting read and write signals to input and output terminals of the memory semiconductor, and two separate wires formed on the tester board and connected to input and output terminals of the semiconductor chip. .

본 발명의 테스터 시스템용 패키지 보오드는, 멀티플렉스된 디바이스의 테스트시 읽기 데이터와 쓰기 데이터 사이의 와이어 지연으로 인한 데이터 충돌 때문에 발생되는 데드존을 없앤다.The package board for the tester system of the present invention eliminates dead zones caused by data collisions due to wire delays between read and write data when testing multiplexed devices.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 고안의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 고안의 실시예에 따른 메모리 반도체 칩의 읽기 및 쓰기 동작을 테스트 하기 위한 테스터의 개략적 구성도로서, 테스트중인 반도체 칩(48)의 입출력단자(I/O Pin:48a)에 두 개의 와이어가 연결되어 있고, 각 와이어는 별도의 채널, 즉 채널 1(54)과 채널 2(46)을 통하여 테스터의 드라이버(42)와 리시버(44)에 연결되어 있다. 채널 1(54)을 통해서는 입력신호만이 전송되고, 채널 2(56)를 통해서는 출력신호만이 전송된다.FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a tester for testing read and write operations of a memory semiconductor chip according to an embodiment of the present invention, and includes two input / output terminals (I / O Pin: 48a) of the semiconductor chip 48 under test. Wires are connected, and each wire is connected to the driver 42 and the receiver 44 of the tester through separate channels, that is, channel 1 54 and channel 2 46. Only an input signal is transmitted through channel 1 54, and only an output signal is transmitted through channel 2 56.

도 5를 참조하면, 채널 1(54)을 통해서는, 읽기 모드의 구동으로 테스트 중인 반도체 칩(DUT)에서 읽어들인 출력신호가 전송되고, 이 신호는 테스터의 드라이버(42)에 전송되기 까지 TPD만큼의 지연이 발생한다. 한편, 채널 2(56)를 통해서는, 쓰기 모드의 구동으로, 테스트 중인 반도체 칩(48)으로 쓰기 신호가 전송되고, 이 신호는 채널 2(56)와 테스터 보오드(52)상의 와이어(50, 51)를 통하면서 신호지연이 발생되어, 데스트중인 반도체 칩(48)로 입력되기 까지 시간지연이 발생하게 된다. 그러므로, 데드존(Dead Zone)이 도 5와 같이 생긴다. 그러나, 본 고안의 테스터는 채널 1(54)과 채널 2(56)가 별도로 분리되어 있고, 또한, 테스트중인 반도체 칩(48)의 입출력단자(48a)까지 연결되는 별도의 두 와이어(50, 51)가 보오드상에 존재하므로, 데이터 충돌 현상이 방지된다.Referring to FIG. 5, through the channel 1 54, an output signal read from the semiconductor chip under test (DUT) is transmitted by driving the read mode, and the TPD is transmitted to the driver 42 of the tester. As much delay occurs. On the other hand, through the channel 2 56, a write signal is transmitted to the semiconductor chip 48 under test by driving in the write mode, and the signal 50 is connected to the wire 50, on the channel 2 56 and the tester board 52. A signal delay occurs while passing through 51, and a time delay occurs until input to the semiconductor chip 48 being tested. Therefore, a dead zone occurs as shown in FIG. 5. However, in the tester of the present invention, the channel 1 54 and the channel 2 56 are separated separately, and two separate wires 50 and 51 are connected to the input / output terminal 48a of the semiconductor chip 48 under test. ) Is on the board, thus preventing data collisions.

도 6을 참조하면, 서로 다른 채널에 입력(Din)과 출력(Dout)이 들어가기 때문에 채널 1에서의 Pd와 채널 2에서의 Pd로 인한 데이터 충돌 현상이 방지된다. 그러므로, 시스템의 와이어 지연과 패키지 보오드상의 지연에 상관없이, 시스텝 최대 주파수 이상의 성능을 얻을 수 있어서, SDRAM, SLDRAM, RDRAM, DDR과 같은 고속의 메모리 반도체 소자의 테스터에 효과적이다.Referring to FIG. 6, since an input Din and an output Dout enter different channels, data collision due to Pd in channel 1 and Pd in channel 2 is prevented. Therefore, regardless of the wire delay of the system and the delay on the package board, performance over the system maximum frequency can be obtained, which is effective for testers of high-speed memory semiconductor devices such as SDRAM, SLDRAM, RDRAM, and DDR.

한편, 다시 도 4를 참조하면, 테스트중인 반도체 칩(48)의 하나의 입출력단자(48a)에 두 개의 전송라인(50, 51)이 연결되므로, 임피던스 미스매칭(Impedance Mismatching)이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 패키지 보오드(52) 상에서 두 와이어(50, 51)가 연결되는 노드부터 테스트중인 디바이스의 입출력단자의 사이에 저항(R2)을 설치하는 것이 바람직하다. 이 저항(R2)의 저항치는, 예를 들어, 두 와이어(50, 51)에 연결된 저항(50a, 51a) 각각의 저항치가 50Ω일 때, 25Ω을 가지도록 구성한다.Meanwhile, referring back to FIG. 4, since two transmission lines 50 and 51 are connected to one input / output terminal 48a of the semiconductor chip 48 under test, impedance mismatching may occur. In order to prevent this, it is preferable to install a resistor R2 between the node where the two wires 50 and 51 are connected on the package board 52 and the input / output terminal of the device under test. The resistance of the resistor R2 is configured to have 25Ω, for example, when the resistance of each of the resistors 50a, 51a connected to the two wires 50, 51 is 50Ω.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 반도체 칩의 테스터는, 읽기와 쓰기 데이터를 전송하기 위한 채널을 별도로 설치하므로써, 데이터 충돌현상을 제거한다. 이렇게 하므로써, 테스트 오차를 없앨 수 있으며, 최대 주파수 이상의 성능을 얻을 수 있어서, 고속 반도체 칩의 테스트의 정확하고, 효과적으로 할 수 있도록 한다.As described above, the tester of the semiconductor chip according to the present invention eliminates data collision by providing channels for transmitting read and write data separately. In this way, the test error can be eliminated and the performance above the maximum frequency can be obtained, so that the test of the high speed semiconductor chip can be performed accurately and effectively.

한편, 여기에서는 본 고안의 특정실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 실용신안등록청구의 범위는 본 고안의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.Meanwhile, although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated, modifications and variations can be made by those skilled in the art. Therefore, hereinafter, the scope of the utility model registration request can be understood to include all modifications and variations as long as they fall within the true spirit and scope of the present invention.

Claims (3)

메모리 반도체 칩의 읽기 및 쓰기 동작을 테스트하기 위하여 상기 메모리 반도체가 장착되는 테스터 보오드와 읽기 및 쓰기 신호를 상기 메모리 칩의 입출력단자로 전송하는 반도체 칩의 테스터에 있어서, 상기 메모리 반도체의 입출력 단자에 읽기 및 쓰기 신호를 전송하기 위한 별도의 채널과, 상기 테스터 보오드상에 형성되어 반도체 칩의 입출력 단자에 연결되는 별도의 두 와이어를 구비한 것을 특징으로 하는 메모리 반도체 칩의 테스터.A tester board on which the memory semiconductor is mounted and a tester of a semiconductor chip which transmits a read and write signal to an input / output terminal of the memory chip to test read and write operations of the memory semiconductor chip, wherein the readout is written to an input / output terminal of the memory semiconductor. And a separate channel for transmitting a write signal and two separate wires formed on the tester board and connected to input / output terminals of the semiconductor chip. 제 1 항에 있어서, 상기 패키지 보오드의 두 와이어는 하나의 노드에서 서로 연결되어, 상기 반도체 칩의 입출력 단자와 연결되고, 상기 와이어가 연결되는 노드부터 상기 반도체 칩의 입출력단자의 사이에 설치된 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 반도체 칩의 테스터.2. The resistor of claim 1, wherein the two wires of the package board are connected to each other at one node, and are connected to an input / output terminal of the semiconductor chip, and a resistor provided between the node connected to the wire and the input / output terminal of the semiconductor chip. The tester of the memory semiconductor chip comprising a. 제 2 항에 있어서, 상기 두 와이어 각각의 저항치가 50Ω일 때, 상기 저항은, 25Ω의 저항치를 가지는 것을 특징으로 하는 메모리 반도체 칩의 테스터.The tester of claim 2, wherein when the resistance of each of the two wires is 50 Ω, the resistance has a resistance of 25 Ω.
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