KR20000008535A - Power supply system for semiconductor device fabrication - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 장치 제조용 전력공급 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조설비에 공급되는 전력을 둘 이상의 전력공급장치에서 나누어서 공급하여 전력공급이 안정적으로 이루어지도록 하는 반도체 장치 제조용 전력공급 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a power supply system for manufacturing a semiconductor device, and more particularly, to a power supply system for manufacturing a semiconductor device so that the power supply is stable by dividing and supplying the power supplied to the manufacturing facility from two or more power supply devices. .
통상, 작업장이나 공장 등과 같이 다양한 형태의 기계장치를 구동하기 위해서는 대전력의 전원이 공급되는데, 이 전원은 공급되는 시간에 관계없이 항상 일정한 크기의 값을 유지해야 한다.Typically, a large amount of power is supplied to drive various types of machinery, such as a workshop or a factory, and this power must always maintain a constant value regardless of the supply time.
특히, 반도체 장치를 제조하는 라인은 초기의 공장을 시공하였을 때보다 많은 설비들이 설치되어 있고, 설비들의 사용전력이 대전력을 요구하고 있어서 대용량의 전력이 공급되어야 한다.In particular, the line for manufacturing a semiconductor device is installed more equipment than when the factory was built in the early days, the power consumption of the equipment requires a large amount of power must be supplied.
전술하듯이 대전력을 요구하는 설비들에 공급되는 종래의 전력공급체계는, 설비를 구성하며, 상기 설비에 전력을 공급하기 위한 전력공급부에는 하나의 전력공급장치가 연결되어서 전력이 공급되도록 이루어졌다. 전력공급장치는 외부 전력선으로부터 공급되는 전력을 소정 전압의 형태로 분배하여 공급하는 배전반 등의 형태로 이루어진다.As described above, the conventional power supply system supplied to facilities requiring large power, constitutes a facility, and a power supply unit for supplying power to the facility is connected so that power is supplied. . The power supply device is configured in the form of a distribution board for distributing and supplying electric power supplied from an external power line in the form of a predetermined voltage.
이러한 설비들 마다 통상 200 암페어(Ampere) 이상의 대용량의 전력이 공급되었는데, 하나의 전력선에 다수의 설비들이 직렬로 연결되어 사용되다 보면 전력소모량이 공급량을 초과하게 되는 경우가 발생된다. 이는 전력공급장치에 심각한 손상을 초래하게 되고, 설비가 구동되지 않아서 공정이 이루어지지 않는 등의 결과를 초래하게 된다.Each of these facilities is typically supplied with a large amount of power of more than 200 ampere (Ampere), when a number of facilities are connected in series on one power line, the power consumption exceeds the amount supplied. This will cause serious damage to the power supply, and the equipment will not run and the process will not be performed.
따라서, 종래에는 전술한 바와 같이 설비들이 소모하는 전력량을 전력공급장치가 공급하지 못하여 설비가 정지하거나, 전력공급장치에 손상이 가해지는 등의 문제점이 있었다.Therefore, in the related art, as described above, the power supply device does not supply the amount of power consumed by the facilities, so that the facilities are stopped or the power supply is damaged.
본 발명의 목적은, 설비들이 요구하는 전력량을 공급할 수 있도록 각각의 설비에 전력공급장치를 설치하는 반도체 장치 제조용 전력공급 시스템을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a power supply system for manufacturing a semiconductor device in which a power supply device is installed in each facility so as to supply the amount of power required by the facilities.
도1은 본 발명에 따른 반도체 장치 제조용 전력공급 시스템의 실시예를 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing an embodiment of a power supply system for manufacturing a semiconductor device according to the present invention.
도2는 도1의 변형예를 나타내는 블록도이다.FIG. 2 is a block diagram illustrating a modification of FIG. 1.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
10, 12 : 전력공급부 14, 16, 18, 20 : 구동유니트10, 12: power supply unit 14, 16, 18, 20: drive unit
22, 24, 26, 28, 30 : 제어유니트 100, 200 : 전력공급장치22, 24, 26, 28, 30: control unit 100, 200: power supply device
300 : 제조설비300: manufacturing equipment
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 장치 제조용 전력공급 시스템은, 교류전력을 공급하는 둘 이상의 전력공급부가 반도체 장치 제조설비에 구비되는 전력공급 시스템에 있어서, 상기 둘 이상의 전력공급부에 각각 연결되고, 소정 크기의 전류량을 상기 전력공급부에 둘 이상의 공급하는 전력공급장치를 구비하여 이루어진다.In the power supply system for manufacturing a semiconductor device according to the present invention for achieving the above object, in the power supply system having at least two power supply unit for supplying AC power in the semiconductor device manufacturing equipment, each of the two or more power supply unit And a power supply device supplying two or more current amounts of a predetermined size to the power supply unit.
그리고, 상기 제조설비는 건식식각설비, 습식식각설비 등이 포함될 수 있다.The manufacturing facility may include a dry etching facility, a wet etching facility, and the like.
그리고, 상기 전력공급부는 상기 설비의 제어부분에 전원을 공급하는 제어유니트들에 전원을 공급하는 제 1 전력공급부 및 상기 설비의 구동부분에 전원을 공급하는 구동유니트들에 전원을 공급하는 제 2 전력공급부로 이루어질 수 있고, 배전반 형태로 이루어질 수 있다.The power supply unit supplies a first power supply unit for supplying power to control units for supplying power to the control unit of the facility, and second power for supplying power to drive units for supplying power to the drive unit of the facility. It may be made of a supply unit, it may be made in the form of switchboard.
그리고, 상기 전력공급장치는 200V 내지 230V의 교류전압이 공급될 수 있고, 200 암페어 내지 500 암페어 크기의 전류용량이 공급될 수 있으며, 상기 전력공급장치와 상기 둘 이상의 전력공급부는 공통으로 연결되어 상호보충되도록 전력이 공급될 수 있다.In addition, the power supply device may be supplied with an AC voltage of 200V to 230V, a current capacity of 200 amps to 500 amps may be supplied, and the power supply and the two or more power supply units are commonly connected to each other. Power may be supplied to supplement.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 실시예는 도1에 도시하고, 그 변형예는 도2에 나타낸다.먼저 도1을 참조하면, 서로 다른 전력공급장치(100, 200)가 제조설비(300)를 이루는 두 개의 전력공급부(10, 12)에 각각 연결되어 있다. 전력공급부(10)에는 각종 장치들을 구동하는 구동유니트들(14, 16, 18, 20)이 연결되어 있고, 전력공급부(12)에는 각종 제어유니트들(22, 24, 26, 28, 30)이 연결되어 있다.An embodiment according to the present invention is shown in FIG. 1, and a variation thereof is shown in FIG. 2. First, referring to FIG. 1, two powers of which different power supply devices 100 and 200 make up the manufacturing facility 300 are shown. It is connected to the supply parts 10 and 12, respectively. The power supply unit 10 is connected with driving units 14, 16, 18, and 20 for driving various devices, and the power supply unit 12 includes various control units 22, 24, 26, 28, and 30. It is connected.
전력공급장치(100, 200)는 전력을 분배하여 서로 다른 장치들이 연결되는 배전반 형태로 이루어질 수 있다.The power supply devices 100 and 200 may distribute power to form a switchboard to which different devices are connected.
제조설비(300)는 각종 반도체 제조설비들이 포함될 수 있는데, 건식식각설비, 습식식각설비, 증착설비, 이온주입설비, 성형설비 등과 같은 전력을 사용하는 각종 설비들이다.Manufacturing equipment 300 may include a variety of semiconductor manufacturing equipment, such as a dry etching equipment, wet etching equipment, deposition equipment, ion implantation equipment, molding equipment and the like using a variety of equipment.
건식식각설비의 예를 든다면, 구동유니트들(14 ∼ 20)은 진공펌프 등과 같은 펌프류, 공정이 이루어지는 공정챔버, 상기 공정챔버의 온도를 유지시키는 기능을 수행하는 칠러(Chiller) 등의 구동부분들이 포함될 수 있다.As an example of a dry etching facility, the driving units 14 to 20 may include pumps such as vacuum pumps, process chambers in which a process is performed, and driving parts such as chillers for maintaining a temperature of the process chamber. This may be included.
그리고, 제어유니트들(22 ∼ 30)은 구체적으로 도시하지는 않았지만 제너레이터제어부, 드라이버제어부, 챔버제어부, 펌프제어부, 각종 트랜스포머부 등이 포함될 수 있다.Although not specifically illustrated, the control units 22 to 30 may include a generator controller, a driver controller, a chamber controller, a pump controller, and various transformer units.
또한, 구동유니트들(14 ∼ 20)과 제어유니트들(22 ∼ 30)은 필요에 따라 구동유니트 또는 제어유니트를 따지지 않고 전력공급부(10, 12)들에 교차되게 연결되어 전력공급이 이루어지도록 설계할 수 있다.In addition, the driving units 14 to 20 and the control units 22 to 30 are designed to be connected to the power supply units 10 and 12 so as to supply power without discriminating the driving unit or the control unit as necessary. can do.
구체적인 전력공급장치(100, 200)의 동작을 설명하면, 통상의 전력선에 연결되어서 전력을 공급받는 전력공급장치(100, 200)는 소정 크기의 전류량을 공급할 수 있도록 이루어지는데, 예를 들면 300 암페어 내지 400 암페어 정도의 용량을 제조설비(300)에 공급한다.Referring to the operation of the specific power supply (100, 200), the power supply (100, 200) is connected to a conventional power line and is supplied with power to be able to supply a predetermined amount of current, for example 300 amps A capacity of about 400 amps is supplied to the manufacturing facility 300.
제조설비(300) 전체에서 소모하는 전력은 600 암페어 내지 800 암페어 정도의 대용량의 전류량이 요구되는데, 설비의 안정적인 동작과 전력공급에 부담을 줄이고, 전력공급설비를 시공하기 위한 비용부담을 감쇄시키기 위해 둘 이상의 전력공급부(10, 12)를 형성하여 제조설비(300)에 전력을 제공한다.The electric power consumed in the manufacturing facility 300 is required a large amount of current of 600 amps to 800 amps, to reduce the burden on the stable operation and power supply of the equipment, and to reduce the cost burden for the construction of the power supply equipment Two or more power supply units 10 and 12 are formed to provide power to the manufacturing facility 300.
즉, 제조설비(300)에서 요구하는 전류량이 600 암페어라고 가정하면, 전력공급장치(100)에서는 300 암페어를 초과하는 전류를 전력공급부(10)에 공급하고, 전력공급장치(200)에서도 역시 300 암페어를 초과하는 전류를 전력공급부(12)에 공급한다. 이로써 전력공급에 있어서 각 구성부분에서 사용하는 전력부담을 분배하여 안정적인 전력공급이 이루어질 수 있다.That is, assuming that the amount of current required by the manufacturing facility 300 is 600 amperes, the power supply device 100 supplies a current exceeding 300 amps to the power supply unit 10, and also 300 in the power supply device 200. A current exceeding amperage is supplied to the power supply 12. In this way, a stable power supply can be achieved by distributing the power load used by each component in the power supply.
또한, 전력공급부들(10, 12) 중 어느 하나에 추가로 전력을 소비하는 유니트를 연결하였을 경우 상기 유니트에 전력을 공급하여야 하는데, 전력공급장치(100, 200) 또는 전력공급부(10, 20)의 부담을 덜어주기 위해 전력공급장치(100)와 전력공급장치(200)를 서로 병렬로 연결하여 제조설비(300)에 전력을 공급하여 줌으로써 부족되는 전력을 서로 보충하도록 구성할 수 있다. 즉, 도2에 도시된 바와 같이 전력공급체계를 구비하여 설계할 수 있다.In addition, when a unit that additionally consumes power is connected to any one of the power supply units 10 and 12, the power should be supplied to the unit. The power supply apparatus 100 or 200 or the power supply units 10 and 20 may be used. In order to relieve the burden of the power supply device 100 and the power supply 200 is connected in parallel to each other by supplying power to the manufacturing facility 300 can be configured to supplement each other the insufficient power. That is, it can be designed with a power supply system as shown in FIG.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면, 전력공급체계가 서로 분할방식에 의해 이루어져 전력공급이 제조설비(300)에 무리없이 이루어지는 이점이 있다.According to the embodiment according to the present invention as described above, there is an advantage that the power supply system is divided by each other and the power supply is made to the manufacturing facility 300 without difficulty.
따라서, 본 발명에 의하면 제조설비에 공급되는 전력이 서로 다른 전력공급장치에서 이원적으로 공급됨으로써 능동적이고 안정적인 전력공급이 이루어지고, 전력공급장치를 설치하기 위한 비용이 절감되는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, since the power supplied to the manufacturing facility is supplied in two different power supply devices, the active and stable power supply is achieved, and the cost for installing the power supply device is reduced.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (7)
Priority Applications (1)
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| KR1019980028403A KR20000008535A (en) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | Power supply system for semiconductor device fabrication |
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| KR1019980028403A KR20000008535A (en) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | Power supply system for semiconductor device fabrication |
Publications (1)
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|---|---|
| KR20000008535A true KR20000008535A (en) | 2000-02-07 |
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| KR1019980028403A KR20000008535A (en) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | Power supply system for semiconductor device fabrication |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR20000008535A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030054587A (en) * | 2001-12-26 | 2003-07-02 | 동부전자 주식회사 | System for supplying power source |
| KR100689240B1 (en) * | 2006-02-14 | 2007-03-02 | 이미자 | A portable apparatus for suppling cutting oil |
-
1998
- 1998-07-14 KR KR1019980028403A patent/KR20000008535A/en not_active Application Discontinuation
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