KR20000004712A - Semiconductor memory device with address pad being reduced - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로 특히, 웨이퍼 테스트시 동시측정 디바이스의 수가 증가할수록 프로브 카드 상의 니들(NEEDLE)이 증가하여 프로브 카드 디자인 및 제작에 따르는 애로사항을 줄이기 위한 어드레스 패드 감소를 위한 반도체 메모리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device. In particular, as the number of simultaneous measurement devices increases during wafer testing, the needle on the probe card increases, so that the semiconductor memory for address pad reduction to reduce the difficulties associated with the design and manufacture of the probe card. Relates to a device.
일반적으로, 전자기술의 발전과 더불어 반도체 분야는 고집적, 고효율, 고성능화에 따른 추세에 맞추에 급속하게 발전하고 있는데, 이러한 반도체 소자중 메모리소자의 웨이퍼 테스트는 테스트 시스템과 웨이퍼 사이에 전기적인 신호를 전달하는 프로브 카드가 필수적이지만, 동시측정하고자 하는 메모리 디바이스 개수 및 메모리 사이즈의 증가에 따라 프로브 카드상의 니들수는 증가하게 된다.In general, with the development of electronic technology, the semiconductor field is rapidly developing to meet the trend of high integration, high efficiency, and high performance. Among these semiconductor devices, wafer testing of memory devices transfers electrical signals between the test system and the wafer. Although the probe card is essential, the number of needles on the probe card increases as the number of memory devices and the memory size to be measured simultaneously increase.
상술한 프로브 카드상의 니들 수의 증가에 대하여 부연설명하면, 예를 들어 DRAM이나 SRAM 등의 경우 디바이스 테스트시 필요한 패드중에는 어드레스 패드가 가장 많은 부분을 차지하고 있는데 16메가 SDRAM의 경우 예컨데, 4×4인 경우에 어드레스 핀이 10개이고 클럭핀이 4개이며 DQ핀이 4개로서 웨이퍼 테스트시 프로브 카드 상에 필요한 니들 개수에 어드레스 핀이 메이저(Major)하게 작용하고 있고 동시측정 디바이스가 8개라면 어드레스 패드를 위해 80개의 니들이 프로브 카드에 심어져야한다.In detail, the increase in the number of needles on the probe card described above, for example, in the case of DRAM or SRAM, the address pad occupies the largest portion of the pads required for device testing. For 16-mega SDRAM, for example, 4 × 4 In this case, if there are 10 address pins, 4 clock pins, 4 DQ pins, and the address pins are major in the number of needles required on the probe card during wafer test, and the 8 simultaneous measurement devices are address pads 80 needles must be planted in the probe card.
따라서, 상술한 바와같이 동시측정 디바이스들의 개수가 증가하거나 메모리 사이즈의 증가에 따라 프로브 카드에 니들을 심는 디자인이 어려워지는 문제점과, 동시에 측정가능한 소자의 감소에 따른 단위시간당 생산량의 감소가 문제점으로 제시되었다.Therefore, as described above, it is difficult to design a needle on a probe card as the number of simultaneous measurement devices increases or memory size increases, and at the same time, a decrease in output per unit time due to a decrease in measurable elements is presented as a problem. It became.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 본 발명의 목적은 웨이퍼 테스트시 동시측정 디바이스의 수가 증가할수록 프로브 카드 상의 니들(NEEDLE)이 증가하여 프로브 카드 디자인 및 제작에 따르는 애로사항을 줄이기 위한 어드레스 패드 감소를 위한 반도체 메모리 장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention to solve the above problems is to increase the number of simultaneous measurement devices during wafer testing, the needle (NEEDLE) on the probe card increases to reduce the address pad to reduce the difficulties associated with the design and manufacture of the probe card It is to provide a semiconductor memory device.
도1은 본 발명에 따른 어드레스 패드 감소를 위한 반도체 메모리 장치의 개략적인 회로 구성도.1 is a schematic circuit diagram of a semiconductor memory device for address pad reduction according to the present invention;
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10 : 메모리 어레이 11 : 로우 디코더10: memory array 11: row decoder
12 : 센스 앰프 13 : 칼럼 디코더12: sense amplifier 13: column decoder
30 : 쉬프팅 레지스터부 20 : 스위칭부30: shifting register section 20: switching section
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 반도체 메모리의 메모리 셀이 매트릭스 형태로 배열되어 있는 메모리 어레이와, 상기 메모리 어레이의 워드라인을 액티브시켜 주기 위한 로우 디코더와, 상기 로우 디코더의 구동에 따라 액티브로 된 워드라인에 의해 억세스되어진 비트라인에 실려있는 데이터를 증폭하기 위한 센스 앰프와, 상기 센스 앰프를 통해 비트라인중 특정의 비트라인을 액티브시키기 위한 칼럼 디코더를 구비하는 반도체 메모리 장치에 있어서, 어드레스를 입력받아 일시 저장하는 어드레스 버퍼와, 상기 반도체 디바이스의 로우 어드레스와 칼럼 어드레스의 선택을 위한 쉬프팅 레지스터부와, 외부로부터 특정 어드레스를 선택하기 위한 단자에 걸리는 전압의 상태에 따라 어드레스 패드 입력과 상기 쉬프팅 레지스터부의 출력을 선택하는 스위칭부를 포함하는 데 있다.According to an aspect of the present invention, a memory array in which memory cells of a semiconductor memory are arranged in a matrix form, a row decoder for activating a word line of the memory array, and a row decoder A semiconductor memory device comprising a sense amplifier for amplifying data contained in a bit line accessed by an active word line, and a column decoder for activating a specific bit line among bit lines through the sense amplifier. The address pad input and the address buffer according to a state of an address buffer for receiving and temporarily storing an address, a shift register unit for selecting row addresses and column addresses of the semiconductor device, and a voltage applied to a terminal for selecting a specific address from the outside; Shifting register section output It is to include a selection switch to.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 어드레스 패드 감소를 위한 반도체 메모리 장치의 개략적인 회로 구성도로서, 반도체 메모리의 메모리 셀이 매트릭스 형태로 배열되어 있는 메모리 어레이(10)와, 상기 메모리 어레이(10)의 워드라인을 액티브시켜 주기 위한 로우(ROW) 디코더(11)와, 상기 로우(ROW) 디코더(11)의 구동에 따라 액티브로 된 워드라인에 걸려있는 비트라인중 억세스되어진 비트라인에 실려있는 데이터를 증폭하기 위한 센스 앰프(12)와, 상기 센스 앰프(12)를 통해 비트라인중 특정의 비트라인을 액티브시키기 위한 칼럼(Column) 디코더(13)로 구성되어 있는 반도체 디바이스와, 상기 반도체 디바이스의 로우 어드레스와 칼럼 어드레스를 선택을 위한 쉬프팅 레지스터부(30)와, 반도체 디바이스 검사장치에서 제공하는 어드레스 신호를 입력받아 일시 저장하는 어드레스 버퍼(40)와, 외부로부터 특정 어드레스를 선택하기 위한 단자(SA)에 걸리는 전압의 상태에 따라 상기 어드레스 버퍼(40)에서 출력되는 어드레스 패드 신호와 상기 쉬프팅 레지스터부(30)의 출력을 선택하는 스위칭부(20)으로 구성된다.1 is a schematic circuit diagram of a semiconductor memory device for reducing an address pad according to an embodiment of the present invention, in which memory cells of a semiconductor memory are arranged in a matrix form, and words of the memory array 10 are shown. ROW decoder 11 for activating the line and amplifying data contained in the accessed bit line among the bit lines hung on the active word line by driving the ROW decoder 11 A semiconductor device comprising a sense amplifier 12 for performing the operation, a column decoder 13 for activating a specific bit line among the bit lines through the sense amplifier 12, and a row address of the semiconductor device. And a shifting register section 30 for selecting a column address and an address signal received from a semiconductor device inspection apparatus and temporarily stored therein. The address pad signal output from the address buffer 40 and the output of the shifting register unit 30 are selected according to the state of the voltage applied to the response buffer 40 and the terminal SA for selecting a specific address from the outside. It consists of a switching unit 20.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 어드레스 패드 감소를 위한 어드레스 스위칭 구성을 가지는 반도체 메모리 장치의 바람직한 동작을 살펴보면 다음과 같다.The preferred operation of the semiconductor memory device having the address switching configuration for address pad reduction according to the present invention configured as described above is as follows.
우선, 본 발명에 따른 어드레스 패드 감소를 위한 스위칭 동작을 정리하여 보면 아래의 표 1과 같이 정리될 수 있다.First, the switching operation for reducing the address pad according to the present invention can be summarized as shown in Table 1 below.
상기 표 1에 표현되어진 바와같이 특정 어드레스를 선택하기 위한 단자(SA)에 걸리는 신호가 로우상태인 경우에는 스위칭부(20)의 제1 NMOS 트랜지스터(N1)의 오프상태가 유지되기 때문에 스위칭부(20)내부의 제1 PMOS(P1)와 제2 PMOS(P2)는 온상태를 유지하고 반면에 제2 NMOS(N2)와 제3 NMOS(N3)은 오프상태를 유지하기 때문에 어드레스 버퍼에서 출력되는 어드레스가 칼럼 디코더(13)와 로우 디코더(11)에 제공되어 통상의 정상 동작 모드가 되어진다.As shown in Table 1, when the signal applied to the terminal SA for selecting a specific address is in a low state, the off state of the first NMOS transistor N1 of the switching unit 20 is maintained. 20, since the first PMOS P1 and the second PMOS P2 inside are kept in the on state, while the second NMOS N2 and the third NMOS N3 are in the off state, they are output from the address buffer. An address is provided to the column decoder 13 and the row decoder 11 to enter the normal normal operation mode.
반면에, 특정 어드레스를 선택하기 위한 단자(SA)에 걸리는 신호가 하이상태인 경우 상기 스위칭부(20)의 제1 NMOS(N1)가 온상태가 유지되기 때문에 스위칭부(20)내부의 제1 PMOS(P1)와 제2 PMOS(P2)는 오프상태를 유지하고 반면에 제2 NMOS(N2)와 제3 NMOS(N3)은 온상태를 유지하기 때문에 쉬프팅 레지스터부(30)에서 출력되는 신호가 칼럼 디코더(13)와 로우 디코더(11)에 제공되어 본 발명에 따른 동작 모드가 되어진다.On the other hand, when the signal applied to the terminal SA for selecting a specific address is in a high state, since the first NMOS N1 of the switching unit 20 remains on, the first inside of the switching unit 20 is maintained. Since the PMOS P1 and the second PMOS P2 remain in the off state, while the second NMOS N2 and the third NMOS N3 remain in the on state, the signal output from the shifting register unit 30 is reduced. It is provided to the column decoder 13 and the row decoder 11 to enter the operation mode according to the present invention.
이때, 상기 쉬프팅 레지스터부(30)는 칼럼 디코더(13)와 로우 디코더(11)의 각각에 대응하는 어드레스만을 구비하고 있어 선택적으로 칼럼 디코더(13)와 로우 디코더(11)를 선택하여 해당 부분의 동작을 검사할 수 있게 된다.In this case, the shifting register unit 30 includes only addresses corresponding to each of the column decoder 13 and the row decoder 11, so that the column decoder 13 and the row decoder 11 may be selectively selected. You can check the behavior.
따라서, 메모리 테스터에서는 10개의 단자가 출력되어지지만 프로브 카드상에 디바이스를 안착시킨 후 니들을 연결할 때 10개의 단자를 연결시킬 필요가 없이 참조번호 SA의 단자와 연결을 위한 1개의 니들과, 쉬프팅 레지스터부(30)와의 연결을 위한 2개의 니들 및 어드레스 버퍼(4)의 칼럼 출력단과 로우 출력단을 연결하기 위한 2개의 니들만 구비하면 된다.Therefore, 10 terminals are output from the memory tester, but there is no need to connect 10 terminals when connecting the needle after seating the device on the probe card. Only two needles for connecting to the unit 30 and two needles for connecting the column output terminal and the row output terminal of the address buffer 4 need be provided.
상기와 같이 동작하는 본 발명에 따른 어드레스 패드 감소를 위한 반도체 메모리 장치를 제공하면, 프로브 카드 상의 니들(NEEDLE)의 수를 감소시킴에 의해 프로브 카드 디자인 및 제작에 따르는 애로사항을 줄이는 효과가 있다.Providing the semiconductor memory device for address pad reduction according to the present invention operating as described above, by reducing the number of needle (NEEDLE) on the probe card has the effect of reducing the trouble caused by the design and manufacture of the probe card.
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