KR20000003308A - 반도체 설비 데이터 관리 방법 - Google Patents

Abstract

설비 데이터가 상이한 복수개의 반도체 설비를 구비한 단위 공정 설비 그룹에 의하여 반도체 제조 공정이 진행될 때 임의의 반도체 설비가 결정되면 자동적으로 해당 설비 데이터의 스펙 데이터가 로딩되어 해당 데이터를 조회, 분석할 수 있도록 한 반도체 설비 데이터 관리 방법이 개시되고 있다.

본 발명에 의하면 공정 개시를 준비하는 단계와, 복수개의 반도체 설비중 해당 공정을 진행할 반도체 설비를 결정하는 단계와, 결정된 반도체 설비에 해당하는 스펙 데이터 목록을 로딩하는 단계와, 스펙 데이터 목록에 의하여 데이터 관리 작업을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 설비 데이터 관리 방법

본 발명은 반도체 설비 데이터 관리 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 설비 데이터가 상이한 복수개의 반도체 설비를 구비한 단위 공정 설비 그룹에 의하여 반도체 제조 공정이 진행될 때 임의의 반도체 설비가 결정되면 자동적으로 해당 설비 데이터의 스펙 데이터가 로딩되어 해당 데이터를 조회, 분석할 수 있도록 한 반도체 설비 데이터 관리 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 생산 공정중 발생하는 데이터는 크게 트랙킹 데이터와, 공정이 진행된 후 발생한 측정 데이터와 공정 데이터로 구성된 엔지니어 데이터로 구분된다. 이와 같은 트랙킹 데이터와 엔지니어 데이터는 프로세스 계획(process plan)에 의하여 연관된다.

이 프로세스 플랜은 제작 회사가 다른 복수개의 반도체 설비에 의하여 발생한 엔지니어 데이터를 모두 모아서 하나의 스펙 데이터 목록을 만들고 이 스펙 데이터 목록을 관리하게 된다.

그러나, 이와 같이 제작 회사가 다른 복수개의 반도체 설비의 엔지니어 데이터를 모두 모아서 만들어진 스펙 데이터 목록은 데이터 규모가 방대해지는 이유로 인하여 작업자가 수집된 데이터를 조회하거나 분석할 때 방대한 스펙 데이터 목록에 의하여 조회, 분석에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 단위 반도체 설비에 단위 스펙 데이터 목록을 할당하여 해당 반도체 설비가 공정을 개시할 때 자동으로 해당 스펙 데이터 목록이 로딩되도록 하여 스펙 데이터 목록의 조회, 분석에 소요되는 시간을 단축시킴에 있다.

도 1은 본 발명에 의한 반도체 설비 데이터 관리 시스템을 도시한 블록도.

도 2는 본 발명에 의한 반도체 설비 데이터 관리 방법을 도시한 순서도.

이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 반도체 설비 데이터 관리 방법은 공정 개시를 준비하는 단계와, 복수개의 반도체 설비중 해당 공정을 진행할 반도체 설비를 결정하는 단계와, 결정된 반도체 설비에 해당하는 스펙 데이터 목록을 로딩하는 단계와, 상기 스펙 데이터 목록에 의하여 데이터 관리 작업을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명 반도체 설비 데이터 관리 방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1에는 본 발명에 의한 반도체 설비 데이터 관리 시스템이 개략적으로 도시되고 있다.

첨부된 도면을 참조하면, 단위 공정 장비 그룹(1)에는 제작 회사가 다른 복수개의 반도체 설비(2), 예를 들어 동일 공정을 수행하는 반도체 설비 A 로부터 반도체 설비 n이 속해 있다.

각각의 반도체 설비 A(2a) 로부터 반도체 설비 n(2n)에는 각각 이에 해당하는 스펙 데이터 목록 A(3a)로부터 스펙 데이터 목록 n(3n)이 형성되어 있다.

이와 같은 본 발명에 의한 반도체 설비 데이터 관리 시스템에 의한 반도체 설비 데이터 관리 방법을 첨부된 순서도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 여러개의 반도체 제조 공정중 임의의 단위 공정을 개시하기 위하여 사전 준비를 수행하는 단계와(단계 10), 준비 단계에서 복수개의 반도체 설비(2)중 공정이 진행될 반도체 설비(2)가 결정되었는가를 판단하는 단계와(단계 20), 반도체 제조 공정이 진행될 반도체 설비(2)가 결정되면 복수개의 스펙 데이터 목록(3)중 결정된 반도체 설비(2)에 해당하는 스펙 데이터 목록(3)이 결정된다(단계 30).

이후, 작업자는 결정된 해당 스펙 데이터 목록(3)에 의하여 데이터를 분석 또는 조회 작업을 수행한다(단계 40).

이상에서 설명한 바와 같이 제조 회사가 다른 이유로 상이한 스펙 데이터 목록을 방대한 하나의 스펙 데이터 목록으로 만들어 사용하지 않고 반도체 제조 공정이 진행될 해당 반도체 설비가 선택되면 해당 반도체 설비에 해당하는 스펙 데이터 목록만이 로딩되어 작업자의 데이터 분석, 조회를 용이하게 하는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 공정 개시를 준비하는 단계와;

   복수개의 반도체 설비중 해당 공정을 진행할 반도체 설비를 결정하는 단계와;

   결정된 반도체 설비에 해당하는 스펙 데이터 목록을 로딩하는 단계와,

   상기 스펙 데이터 목록에 의하여 데이터 관리 작업을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 데이터 관리 방법.