KR20000000417A - The cylinder rod installed a flux displacement perceptible sensor - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A cylinder rod having a flow-changing sensor is provided to equally grind a roller and to exactly manufacture the industrial machines by exactly controlling the flow variation of the cylinder rod to a minute range. CONSTITUTION: The cylinder rod having a flow-changing sensor comprises:plural recessed-groove units having a certain width in a rod(16); a magnetic substance(17a) provided with a certain thickness in the recessed-groove units; a flow-changing sensor(17) having a magnetic film(17a) with a certain thickness on the top surface of the magnetic substance(17a); a coil(18) for delivering an alternating current signal in a specific space of a cylinder(13); and the cylinder rod having a flow-changing sensor for exactly controlling the on-off transition of the rod(16) by detecting the phase wave through the interaction between the coil(18) and the flow-changing sensor(17).

Description

유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드{The cylinder rod installed a flux displacement perceptible sensor}The cylinder rod installed a flux displacement perceptible sensor

본 발명은 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유압으로 동작되는 실린더의 로드에 등간격으로 다수의 유동변위 감지센서를 설치하여 로드의 행정(行程) 거리를 유동변위 감지센서에 의해 미세한 제어가 가능토록 함으로써 산업로보트와 같은 산업용기계를 정밀하게 제조할 수 있는 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드에 관한 것이다.The present invention relates to a cylinder rod in which a flow displacement sensor is installed, and more particularly, a plurality of flow displacement sensors are installed at equal intervals on a rod of a hydraulically operated cylinder to detect a flow displacement of the rod. The present invention relates to a cylinder rod equipped with a flow displacement sensor capable of precisely manufacturing an industrial machine such as an industrial robot by enabling fine control by a sensor.

일반적으로 실린더는 내연기관 외의 각종 산업용 기계에 설치되어 유압에 의해 특정 장치를 전.후.좌.우로 이동 및 상.하로 승하강시키는 장치로서 그 적용범위는 매우 다양하며, 그 일례로서 제철 압연 설비중에서 압연 로울러의 표면을 연마하는 연마장치에 설치된 실린더는 공백없이 압연 로울러를 연마하기 위해서는 로드의 이동 변위는 매우 정밀하여야 한다.In general, the cylinder is installed in various industrial machines other than the internal combustion engine to move a specific device forward, backward, left, right, and up and down by hydraulic pressure, and its range of application is very diverse. For example, steel rolling equipment In the case of the cylinder installed in the polishing apparatus for polishing the surface of the rolling roller, the movement displacement of the rod must be very precise in order to polish the rolling roller without space.

즉, 도 1은 일반적인 철판 압연장치의 구조도이고, 도 2는 일반적인 철판 압연장치에 있어 연마기 어셈블리의 확대 정면도이며, 도 3은 일반적인 철판 압연장치에 있어 연마장치 이송실린더의 정면도로서, 그에 따른 구성 및 작용관계를 설명하면 다음과 같다.That is, FIG. 1 is a structural diagram of a general iron plate rolling apparatus, FIG. 2 is an enlarged front view of a polishing machine assembly in a general iron plate rolling apparatus, and FIG. 3 is a front view of a grinding apparatus transfer cylinder in a general iron plate rolling apparatus, The following describes the working relationship.

고온의 가공되지 않은 철판 소재(5a)를 상.하 가압로울러(3)(4)에 의해 가압되는 상.하 압연로울러(1)(2) 사이를 통과하게 되면 일정한 두께의 가공된 철판(5b)이 압연 형성되도록 되어 있으며, 이때 상.하 압연로울러(1)(2)를 일정시간 사용하여 철판을 압연할 경우 표면이 마모되는 현상과 이물질이 부착되는 발생하게 되며, 이 마모된 편차와 이물질에 의해 균일한 두께의 철판을 얻을 수 없게되는 것이다.When the high-temperature unprocessed iron plate material 5a passes between the upper and lower rolling rollers 1 and 2 pressed by the upper and lower pressure rollers 3 and 4, the machined iron plate 5b having a constant thickness ) Is to be formed by rolling, when the upper and lower rolling rollers (1) and (2) is used for a certain time to roll the iron plate is a phenomenon that the surface is worn and the foreign matter is attached, this wear deviation and foreign matter By this, the iron plate of uniform thickness cannot be obtained.

따라서 일정한 두께의 철판을 얻기위해서는 상.하 압연로울러(1)(2)를 주기적으로 연마하여 균일한 면의 유지는 물론, 이물질을 제거할 수 있는 장치가 필요하며, 이러한 장치가 도 2에 도시된 상.하 압연로울러(1)(2)에 근접 설치된 연마기 어셈블리(10a)(10b)이다.Therefore, in order to obtain a steel plate of a constant thickness, the upper and lower rolling rollers (1) and (2) are periodically polished to maintain a uniform surface, as well as a device capable of removing foreign matter, such a device is shown in Figure 2 And the grinding machine assemblies 10a and 10b provided in close proximity to the upper and lower rolling rollers 1 and 2.

즉, 연마기 어셈블리(10a)(10b)는 도 2에 도시된 바와 같이 프레임(14)에 연마장치(12)가 설치되며, 상기 연마장치(12)의 일측면에는 내부에 설치된 실린더에 의해 전.후방으로 출몰되어 상.하 압연로울러(1)(2)를 연마하는 다수개의 연마석(11)이 설치되고, 상기 프레임(14)과 연마장치(12) 사이에는 연마장치(12)를 좌.우로 미세하게 이동시키는 도 3에 도시된 바와 같은 실린더(13)가 설치되며, 플레임(14)의 일측에는 상기 프레임(14) 전체를 전.후.좌.우로 이동하는 프레임 이송실린더(15)가 설치되어 구성된다.That is, the polishing machine assembly (10a) (10b) is a polishing device 12 is installed in the frame 14, as shown in Figure 2, one side of the polishing device 12 by the cylinder installed inside. A plurality of abrasive stones 11 are mounted to the rear and polish the upper and lower rolling rollers 1 and 2, and the polishing device 12 is disposed left and right between the frame 14 and the polishing device 12. A cylinder 13 as shown in FIG. 3 for fine movement is installed, and one side of the flame 14 is provided with a frame transfer cylinder 15 for moving the entire frame 14 forward, backward, left, and right. It is configured.

이와 같은 연마기 어셈블리(10a)(10b)는 철판을 압연중에, 또는 일정 주기마다 상.하 압연로울러(1)(2)를 연마하기 위해서는 미도시된 제어시스템으로부터 출력되는 제어신호에 의해 프레임 이송실린더(15)가 동작되어 프레임(14)을 전.후.좌.우로 이동하여 상.하 압연로울러(1)(2)를 연마할 수 있는 최적의 위치에 놓이게 한 다음 연마장치(12) 내부에 설치되어 미도시된 실린더를 동작시켜 연마석(11)을 출몰시켜 상.하 압연로울러(1)(2)의 표면을 제어시스템에서 지정된 수치 만큼 연마하는 한편, 상기 상.하 압연로울러(1)(2)의 전 표면을 고르게 연마하기 위해 도 3에 도시된 실린더(13)를 구동하여 로드(16)의 변위를 조절하여 연마장치(12)를 좌측 또는 우측방향으로 일정거리 만큼 주기적으로 이동시키게 된다.Such a grinder assembly (10a) (10b) is a frame transfer cylinder by a control signal output from the control system not shown in order to polish the upper and lower rolling roller (1) (2) during rolling of the steel sheet or at regular intervals (15) is operated to move the frame 14 to the front, rear, left and right so that the upper and lower rolling rollers (1) and (2) are in an optimal position for polishing and then inside the polishing apparatus (12). Installed and operating a cylinder (not shown) to blast the abrasive stone (11) to polish the surface of the upper and lower rolling rollers (1) and (2) by a specified value in the control system, and the upper and lower rolling rollers (1) ( In order to evenly polish the entire surface of 2), the cylinder 13 shown in FIG. 3 is driven to adjust the displacement of the rod 16 so as to periodically move the polishing apparatus 12 by a predetermined distance in the left or right direction. .

이때 상.하 압연로울러(1)(2)의 전 표면을 고르게 연마하기 위해 연마장치(12)를 일정거리 만큼 좌.우측으로 이동시키는 실린더(13)는 상.하 압연로울러(1)(2)의 연마시 특정 부분의 과다한 연마와 중복 연마를 피하기 위해 연마장치(12)를 매우 정밀하게 제어하여야 하며, 통상적으로 사용되는 실린더(13)는 유압 으로 제어됨으로써 정밀제어가 어려워 상.하 압연로울러(1)(2)의 균일한 연마를 할 수 없는 문제점이 발생되는 것이다.At this time, in order to evenly polish the entire surface of the upper and lower rolling rollers (1) and (2), the cylinder (13) which moves the grinding device (12) to the left and right by a predetermined distance is the upper and lower rolling rollers (1) and (2). In order to avoid excessive and overlapping polishing of a certain part, the polishing device 12 must be controlled very precisely, and the commonly used cylinder 13 is hydraulically controlled so that it is difficult to precisely control the upper and lower rolling rollers. The problem that the uniform grinding | polishing of (1) (2) cannot be performed arises.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 유압으로 동작되는 실린더의 로드에 등간격으로 다수의 요홈부를 형성하고, 이 요홈부에 구리(Cu)와 같은 자성체 및 크롬(Cr)과 같은 자성막을 차례로 코팅처리한 유동변위 감지센서를 설치하고, 실린더의 특정 부분에 교류전원이 인가되는 코일을 배치시켜 이 코일과 유동변위 감지센서의 상호작용으로 인한 유기전압 및 위상차를 검출함으로써 실린더 로드의 유동변위를 미세하게 정밀제어가 가능하게 되어 철판 압연장치의 연마장치에 적용할 경우 압연로울러의 균일한 연마는 물론, 각종 산업로보트와 같은 산업용기계를 정밀하게 제조할 수 있도록 한 것을 기술적 과제로 한다.The present invention forms a plurality of grooves at equal intervals in the rod of the hydraulically operated cylinder in order to solve the above problems, and coating the magnetic film such as copper (Cu) and magnetic film such as chromium (Cr) in this groove portion By installing the processed flow displacement sensor and arranging a coil to which AC power is applied to a specific part of the cylinder, it detects the induced voltage and the phase difference caused by the interaction between the coil and the flow displacement sensor. It is possible to precisely control, so that when applied to the grinding apparatus of the rolling mill, as well as the uniform grinding of the rolling roller, as well as to enable the precise manufacturing of industrial machinery such as various industrial robots as a technical problem.

본 발명은 유압으로 동작되는 실린더에 의해 로드가 행정거리 내에서 외부 및 내부로 출몰되는 것에 있어서, 상기 로드에 등간격으로 일정폭을 갖는 다수의 요홈부를 형성하고, 상기 요홈부에 전도성의 자성체를 소정 두께로 증착하고, 상기 자성체의 상부 표면에 도전성이며 상기 자성체의 보호 기능을 갖는 자성막을 소정 두께로 증착된 유동변위 감지센서를 형성하고, 상기 실린더의 일측 소정 부분에는 교류신호가 인가되며 되는 코일이 설치되고, 상기 코일과 유동변위 감지센서의 상호작용에 의한 위상파를 검출하여 상기 로드의 출몰변위를 미세하게 제어할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.According to the present invention, when the rod is mounted to the outside and inside within the stroke distance by a hydraulically operated cylinder, a plurality of grooves having a constant width are formed in the rods at equal intervals, and the conductive magnetic material is formed in the grooves. A coil having a predetermined thickness and having a conductive film on the upper surface of the magnetic material, the conductive film having a conductive thickness and having a protective function of the magnetic material deposited thereon, and having an alternating current signal applied to one side of the cylinder. It is installed, it is characterized in that it is possible to finely control the displacement of the rod by detecting the phase wave by the interaction of the coil and the flow displacement sensor.

도 1은 일반적인 철판 압연장치의 구조도.1 is a structural diagram of a typical iron plate rolling apparatus.

도 2는 일반적인 철판 압연장치에 있어 연마기 어셈블리의 확대 정면도.Figure 2 is an enlarged front view of the grinder assembly in a typical iron plate rolling apparatus.

도 3은 본 발명에 따른 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드의 단면도.Figure 3 is a cross-sectional view of the cylinder rod is installed with a flow displacement sensor according to the present invention.

도 4는 도 4의 "A"확대단면도.4 is an enlarged sectional view "A" in FIG.

도 5는 본 발명에 따른 유동변위 감지센서에 의한 로드 변위검출장치의5 is a rod displacement detection apparatus of the flow displacement sensor according to the present invention

블록도.Block diagram.

도 6은 본 발명에 따른 유동변위 감지센서에 의한 로드 변위검출장치의6 is a rod displacement detection apparatus of the flow displacement sensor according to the present invention

입출력 신호파형도.I / O signal waveform diagram.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

13 : 실린더 16 : 로드13: cylinder 16: rod

17 : 유동변위 감지센서 17a : 자성막17: flow displacement sensor 17a: magnetic film

17b : 자성체 18 : 코일17b: magnetic material 18: coil

19 : 변위검출장치 20 : 제어부19: displacement detection device 20: control unit

21 : 실린더구동부21: cylinder drive part

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 도 3 내지 도 6을 참고하여 설명하면 다음과 같다.The present invention for achieving the above object is described with reference to FIGS. 3 to 6 as follows.

도 3은 본 발명에 따른 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드의 단면도이고, 도 4는 도 3의 "A"확대단면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 유동변위 감지센서에 의한 로드 변위검출장치의 블록도이고, 도 6은 본 발명에 따른 유동변위 감지센서에 의한 로드 변위검출장치의 입출력 신호파형도를 나타낸 것이다.3 is a cross-sectional view of a cylinder rod with a flow displacement sensor according to the present invention, Figure 4 is an enlarged cross-sectional view "A" of Figure 3, Figure 5 is a rod displacement detection device by the flow displacement sensor according to the present invention 6 is a block diagram illustrating an input / output signal waveform diagram of a rod displacement detection apparatus using a flow displacement sensor according to the present invention.

즉, 도 3 및 도 4에서와 같이 실린더(13)의 로드(16)에는 등간격으로 다수의 요홈부를 형성하고, 이 요홈부에 구리(Cu)와 같은 자성체(17b)를 전기도금방법으로 약 0.25mm 두께로 증착하고, 상기 자성체(17b)의 상면에 상기 자성체(17b)를 보호하기 위해 크롬(Cr)과 같은 자성막(17a)을 전기도금방법으로 약 0.25mm 두께로 증착함으로써 자성체(17b)를 보호하도록 되어 있으며, 실린더(13)의 일측 소정 부분에는 교류신호의 사인파가 인가되는 코일(18)이 설치되고, 이 코일(18)에는 도 6에서와 같이 변위검출장치(19)가 연결되어 구성된다.That is, as shown in FIGS. 3 and 4, a plurality of grooves are formed in the rod 16 of the cylinder 13 at equal intervals, and the magnetic body 17b such as copper (Cu) is weakly formed by the electroplating method. By depositing a thickness of 0.25 mm and depositing a magnetic film 17a such as chromium (Cr) to a thickness of about 0.25 mm by electroplating to protect the magnetic material 17b on the upper surface of the magnetic material 17b. ), And a coil 18 to which a sine wave of an alternating signal is applied is provided at one side of the cylinder 13, and the displacement detection device 19 is connected to the coil 18 as shown in FIG. 6. It is configured.

상기와 같이 구성된 본 발명의 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드의 작용 관계를 도 3 내지 도 6을 참고하여 설명하면 다음과 같다Referring to Figure 3 to 6 will be described the operation relationship of the cylinder rod is installed flow displacement sensor of the present invention configured as described above is as follows.

먼저 도 3 내지 도 5에서와 같이 실린더(13)의 소정 위치에 설치된 코일(18)에 사인파의 교류신호를 전송한 상태에서 도 5에서와 같이 제어부(20)에서 실린더구동부(21)를 콘트롤하여 실린더(13)를 구동함으로써 상기 실린더(13)의 동작에 의해 로드(16)를 출몰시키게 되며, 이때 로드(16)에 자성체(17b) 및 자성막(17a)으로 형성된 유동변위 감지센서(17)와 사인파의 교류신호가 인가되는 코일(18)의 상호작용에 의한 신호를 변위검출장치(19)로 전송하고, 이 변위검출장치(19)의 출력신호를 제어부(20)에서 읽어 들여 로드(16)의 출몰변위 정보를 파악한 후, 이 정보에 의해 실린더(13)를 정밀 제어함으로써 로드(16)의 출몰 변위를 미세하게 조절할 수 있게 되는 것이다.First, as shown in FIG. 3 to FIG. 5, the control unit 20 controls the cylinder driving unit 21 as shown in FIG. 5 in a state in which an AC signal of a sine wave is transmitted to the coil 18 installed at a predetermined position of the cylinder 13. The rod 16 is driven by the operation of the cylinder 13 by driving the cylinder 13, and at this time, the flow displacement sensor 17 formed of the magnetic body 17b and the magnetic film 17a on the rod 16. And a signal from the interaction of the coil 18 to which the AC signal of the sine wave is applied are transmitted to the displacement detection device 19, and the output signal of the displacement detection device 19 is read from the control unit 20 to load 16 After determining the haunting displacement information of), by precisely controlling the cylinder 13 by this information, the hauling displacement of the rod 16 can be finely adjusted.

이를 더욱 상세히 설명하면 먼저, 제어부(20)에서 실린더구동부(21)를 콘트롤하여 실린더(13)를 구동하게 되면 상기 상기 실린더(13)의 동작에 의해 로드(16)를 실린더 외부로 유출하거나 또는 내부로 유입하게 된다. 이러한 과정에서 로드(16)에 자성체(17b) 및 자성막(17a)으로 형성된 유동변위 감지센서(17)와, 유동변위 감지센서(17)가 형성되지 않은 부분을 코일(18)이 각각 교호로 거치게 됨으로써 코일(18)의 출력이 변화하게 된다.In more detail, first, when the cylinder 20 is driven by controlling the cylinder driving unit 21 from the control unit 20, the rod 16 is discharged to the outside of the cylinder by the operation of the cylinder 13, or internally. Will flow into. In this process, the flow displacement sensor 17 formed of the magnetic material 17b and the magnetic film 17a on the rod 16 and the portion where the flow displacement sensor 17 is not formed are alternately formed by the coil 18. By going through the output of the coil 18 is changed.

즉, 로드(16)에 유동변위 감지센서(17)가 위치하지 않은 부분에는 코일(18)의 출력이 도 6의 "A"파형과 같이 변위검출장치(19)로부터 공급되는 정상적인 사인파를 출력하게 되나, 유동변위 감지센서(17)와 코일(18)이 접합할 경우 구리(Cu)인 자성체(17b)에 의해 자장변화를 일으켜 상기 코일(18)의 출력은 도 6의 "B"와 같이 위상이 90°지연된 사인파를 출력하게 되며, 이러한 정상적인 사인파(A)와, 위상이 90°지연된 사인파(B)는 변위검출장치(19)에 인가되어 증폭 및 정류하여 펄스형태로 변환하고, 이 변환된 신호를 제어부(20)에 전송하게 된다.In other words, the output of the coil 18 outputs the normal sine wave supplied from the displacement detection device 19 as shown by the "A" waveform of FIG. However, when the flow displacement sensor 17 and the coil 18 are bonded to each other, the magnetic field is changed by the magnetic material 17b made of copper (Cu) so that the output of the coil 18 is phased as shown in "B" of FIG. 6. This 90 ° delayed sine wave is output, and this normal sine wave A and 90 ° delayed sine wave B are applied to the displacement detection device 19 to be amplified and rectified, converted into pulse forms, and converted into The signal is transmitted to the control unit 20.

따라서 상기 제어부(20)는 변위검출장치(19)로부터 출력되는 위상이 90°지연된 펄스를 읽어들여 계수하고, 이 계수값과 유동변위 감지센서(17) 간의 피치거리 등을 기초로 하여 설정된 프로그램의 연산에 의해 실린더(13) 로드(16)의 유입 또는 유출되는 변위를 정확히 인지하게 되며, 이에 따라 제어부(20)에서 실린더(13)의 구동을 정밀 제어함으로써 로드(16)의 출몰 변위를 미세하게 조절할 수 있는 것이다.Therefore, the control unit 20 reads and counts a pulse having a phase delayed by 90 ° output from the displacement detection device 19, and sets the program based on the count value and the pitch distance between the flow displacement sensor 17 and the like. By calculation, the inflow or outflow of the cylinder 13 and the rod 16 is accurately recognized. Accordingly, the control unit 20 precisely controls the driving of the cylinder 13 to finely adjust the appearance and displacement of the rod 16. It is adjustable.

그러므로 본 발명의 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드를 철판 압연장치의 연마기 어셈블리에 적용할 경우 압연 로울러의 전표면에 걸쳐 균일하게 연마할 수 있을 뿐만 아니라 실린더 로드의 출몰변위를 미세하게 제어가 가능하여 정밀하고 부가가치의 각종 산업용 로봇, 산업용기계를 제조할 수 있는 것이다.Therefore, when the cylinder rod equipped with the flow displacement sensor of the present invention is applied to the grinding machine assembly of the steel sheet rolling apparatus, not only can be uniformly polished over the entire surface of the rolling roller, but also the fine displacement of the cylinder rod can be controlled. It is possible to manufacture various industrial robots and industrial machines with precision and value added.

상기와 같이 본 발명의 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드는 유압으로 동작되는 실린더의 로드에 등간격으로 다수의 요홈부를 형성하고, 이 요홈부에 자성체와 자성막을 차례로 코팅 처리한 유동변위 감지센서를 설치하고, 실린더의 특정 부분에 교류전원이 인가되는 코일을 배치시켜 이 코일과 유동변위 감지센서의 상호작용으로 인한 유기전압 및 위상차를 검출함으로써 실린더 로드의 유동변위를 미세한 범위까지 정밀제어가 가능하게 되어 철판 압연장치의 연마장치에 적용할 경우 압연로울러의 균일한 연마는 물론, 각종 산업로보트와 같은 산업용기계를 정밀하게 제조하는 효과가 있는 것이다.As described above, the cylinder rod in which the flow displacement sensor of the present invention is installed has a plurality of grooves formed at equal intervals on the rod of a hydraulically operated cylinder, and the flow displacement sensor sensor coated with a magnetic material and a magnetic film in this groove portion in turn. By arranging a coil to which AC power is applied to a specific part of the cylinder, it detects the induced voltage and phase difference caused by the interaction between the coil and the flow displacement sensor, enabling precise control of the flow displacement of the cylinder rod to a minute range. When applied to the polishing apparatus of the iron plate rolling apparatus, as well as the uniform grinding of the rolling roller, there is an effect of precisely manufacturing industrial machines such as various industrial robots.

Claims (2)

유압으로 동작되는 실린더(13)에 의해 로드(16)가 행정거리 내에서 외부 및 내부로 출몰되는 것에 있어서,In the rod 16 is projected to the outside and inside within the stroke distance by the hydraulically operated cylinder 13, 상기 로드(16)에 등간격으로 일정폭을 갖는 다수의 요홈부를 형성하고,Forming a plurality of grooves having a predetermined width at equal intervals on the rod 16, 상기 요홈부에 전도성의 자성체(17b)를 소정 두께로 증착하고,Depositing a conductive magnetic body 17b with a predetermined thickness in the recess, 상기 자성체(17b)의 상부 표면에 상기 자성체(17b)의 보호 기능을 갖는 자성막(17a)을 소정 두께로 증착하여 구성된 유동변위 감지센서(17)를 형성하고,Forming a flow displacement sensor 17 formed by depositing a magnetic film 17a having a protective function on the magnetic body 17b to a predetermined thickness on an upper surface of the magnetic body 17b, 상기 실린더(13)의 일측 소정 부분에는 교류신호가 인가되며 되는 코일(18)을 설치하고,A predetermined portion of one side of the cylinder 13 is provided with a coil 18 to which an AC signal is applied. 상기 코일(18)과 유동변위 감지센서(17)의 상호작용에 의한 위상파를 검출하여 상기 로드(16)의 출몰변위를 미세하게 제어할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드.A cylinder in which the flow displacement sensor is installed can be finely controlled by detecting the phase wave caused by the interaction between the coil 18 and the flow displacement sensor 17. road. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 자성체(17b)는 구리(Cu)이며, 상기 자성막(17a)은 크롬(Cr)인 것을 특징으로 하는 유동변위 감지센서가 설치된 실린더 로드.The magnetic body (17b) is copper (Cu), the magnetic film (17a) is a cylinder rod with a flow displacement sensor, characterized in that the chromium (Cr).
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