KR19990080846A - Glass substrate transport loader / unloader and its control method - Google Patents
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Abstract
유리 기판을 스캐닝하여 얼라인 상태를 검출하고, 검출한 얼라인 상태에 따라 유리 기판을 얼라인하면서 프로세스 모듈로 이송하며, 래디얼 모션 로봇을 이동시키는 Y축 이동 유니트의 속도를 빠르게 하여 전체적인 시스템의 효율을 향상시키며, 빠른 택트 타임에 효율적으로 대응하고, 시스템 전체의 처리 속도를 향상시킬 수 있도록 하는 것이다.Scan the glass substrate to detect alignment, transfer the glass substrate to the process module while aligning the glass substrate according to the detected alignment state, and increase the speed of the Y-axis moving unit that moves the radial motion robot to improve the overall system efficiency. It is designed to improve the performance of the system, to efficiently respond to fast tact times, and to improve the processing speed of the entire system.
공급용 카세트 랙이 입고될 경우에 유리 기판의 종류가 인식되는 지를 판단하고, NCC 제어기로 랙 입고신호를 출력하여 비접촉 센서를 구비한 얼라이너가 공급용 카세트 랙에 적층된 유리 기판의 얼라인 상태를 검출하게 하며, 프로세스 모듈 제어기로부터 로딩 또는 언로딩 신호가 입력되는 지를 판단하여 로딩 신호가 입력될 경우에 NCC 제어기로 로딩 명령을 출력 및 검출한 얼라인 상태에 따라 유리 기판을 얼라인하여 프로세스 모듈로 반송하게 하고, 언로딩 신호가 입력될 경우에 언로딩 명령을 출력하여 프로세스 모듈에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판을 회수용 카세트 랙에 반송하게 하며, 작업 영역 내에 장애물이 있을 경우에 이를 판단하고 동작 정지 명령을 출력하여 동작을 정지 및 안전 사고의 발생을 방지한다.It is determined whether the type of glass substrate is recognized when the supply cassette rack is received, and the rack receipt signal is outputted to the NCC controller so that the aligner with the non-contact sensor checks the alignment state of the glass substrate laminated to the supply cassette rack. Determining whether a loading or unloading signal is input from the process module controller, and when the loading signal is input, outputs a loading command to the NCC controller and aligns the glass substrate according to the detected alignment state and returns it to the process module. When the unloading signal is input, the unloading command is output so that the process module returns the glass substrate having a predetermined process to the collecting cassette rack. It outputs a command to stop the operation and prevent the occurrence of a safety accident.
Description
본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 칼라 필터 등의 각종 표시소자를 제조하는 생산 자동화 라인 등에서 유리 기판을 프로세스 모듈로 이송하고, 프로세스 모듈에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판을 인출하는 유리 기판 반송용 로더/언로더 및 그의 제어방법과 제어회로에 관한 것이다.The present invention transfers a glass substrate to a process module in a production automation line that manufactures various display devices such as an LCD (Liquid Crystal Display), a plasma display panel (PDP), and a color filter, and a glass substrate having a predetermined process completed in the process module. The present invention relates to a loader / unloader for transporting a glass substrate, and a control method and a control circuit thereof.
일반적으로 유리 기판에 소정의 표시소자를 제조할 경우에 공급용 카세트 랙에 적층된 복수의 유리 기판을 약 ±0.5mm의 오차 범위 이내로 얼라인(align)하면서 프로세스 모듈로 이송하고, 프로세스 모듈에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판은 인출하여 회수용 카세트 랙에 적층하게 된다.In general, in the case of manufacturing a predetermined display element on a glass substrate, a plurality of glass substrates stacked on a cassette rack for supply are transferred to a process module while being aligned within an error range of about ± 0.5 mm, The glass substrate of which the process of is completed is taken out and laminated | stacked on the cassette rack for collection | recovery.
유리 기판을 얼라인하기 위하여 종래에는 유리 기판이 적층되어 있는 공급용 카세트 랙을 센터링(centering)하고, 이를 들어올린 후 회전시켜 유리 기판을 얼라인하거나 또는 별도의 스테이지를 두고, 이 별도의 스테이지에서 기계적으로 유리 기판을 얼라인한 후 프로세스 모듈로 투입하였다.In order to align the glass substrate, a cassette rack for supplying a glass substrate is conventionally centered, lifted and rotated to align the glass substrate, or to have a separate stage, The glass substrates were mechanically aligned and then introduced into the process module.
그러나 상기한 종래의 기술은 유리 기판을 별도로 센터링함으로써 유리 기판에 손상을 가져오게 되고, 넓은 면적의 스테이지를 필요로 하여 건설비가 비싼 클린 룸(clean room)의 넓은 공간을 차지함은 물론 유리 기판을 프로세스 모듈로 투입할 경우에 유리 기판이 주변의 고정 구조물에 부딪히면서 파손되는 경우가 빈번히 발생하였다.However, the above-described conventional technique causes damage to the glass substrate by separately centering the glass substrate, requires a large area stage, takes up a large space in a clean room, which is expensive to construct, and processes the glass substrate. In the case of input into the module, the glass substrate frequently breaks while hitting the surrounding fixed structure.
그리고 유리 기판을 프로세스 모듈로 이송시키는 로봇을, 볼 스크류(ball screw) 및 교류 서보 모터에 의한 구동방식을 이용하여 Y축 방향으로 이동시키므로 로봇의 Y축 이동 속도가 느려 점차 요구되는 빠른 택트 타임(tact time)에 효율적으로 대응하지 못하고, 이로 인하여 제품의 생산성이 저하되었다.In addition, the robot that transfers the glass substrate to the process module is moved in the Y-axis direction by using a ball screw and an AC servo motor. tact time) is not effectively responded, resulting in a decrease in the productivity of the product.
또한 종래에는 로봇의 제어기를 래디얼 모션(radial motion) 로봇 및 Y축 방향의 1축 구동장치를 제어하는 서보 제어기를 별도로 구비하고 이를 상위의 컴퓨터에 모션 제어용 보드를 두어 제어하는 방식을 사용하였다.In addition, in the related art, a controller of a robot is provided with a radial motion robot and a servo controller for controlling a 1-axis drive device in the Y-axis direction, and a method of controlling the robot by placing a motion control board in a higher computer.
그러므로 상위 컴퓨터의 동작 기능이 매우 복잡하게 되고 이로 인하여 시스템 전체의 처리 속도가 느릴 뿐만 아니라 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다.Therefore, the operation function of the upper computer becomes very complicated, which causes a problem that the overall processing speed of the system is slow and reliability is lowered.
따라서 본 발명의 목적은 비접촉 센서를 구비한 얼라이너(aligner)의 Z축부가 공급용 카세트 랙에 적층된 유리 기판을 스캐닝하여 얼라인 상태를 검출하고, 검출한 얼라인 상태에 따라 래디얼 모션 로봇을 제어하여 얼라인하는 유리 기판 반송용 로더/언로더 및 그의 제어방법과 제어회로를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to detect the alignment state by scanning the glass substrate stacked on the cassette rack for supplying the Z-axis portion of the aligner having a non-contact sensor, the radial motion robot according to the detected alignment state The present invention provides a loader / unloader for controlling and aligning a glass substrate, and a control method and a control circuit thereof.
본 발명의 다른 목적은 Y축 이동 유니트의 이동속도를 빠르게 하여 전체적인 시스템의 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 유리 기판 반송용 로더/언로더 및 그의 제어방법과 제어회로를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a loader / unloader for transporting a glass substrate, a control method thereof, and a control circuit for improving the efficiency of the overall system by increasing the moving speed of the Y-axis moving unit.
본 발명의 또 다른 목적은 빠른 택트 타임에 효율적으로 대응하고, 시스템 전체의 처리 속도를 향상시킬 수 있도록 하는 유리 기판 반송용 로더/언로더 및 그의 제어방법과 제어회로를 제공하는 데 있다.It is still another object of the present invention to provide a glass substrate transfer loader / unloader, a control method thereof, and a control circuit for efficiently responding to a quick tact time and improving the processing speed of the entire system.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유리 기판 반송용 로더/언로더 및 그의 제어방법과 제어회로에 따르면, 공급용 카세트 랙이 입고될 경우에 적층되어 있는 유리 기판의 종류가 인식되는 지를 판단하고, NCC 제어기로 랙 입고신호를 출력하여 공급용 카세트 랙에 적층된 유리 기판의 얼라인 상태를 검출하게 하며, 프로세스 모듈 제어기로부터 로딩 또는 언로딩 신호가 입력되는 지를 판단하여 로딩 신호가 입력될 경우에 NCC 제어기로 로딩 명령을 출력 및 유리 기판을 프로세스 모듈로 반송하게 하고, 언로딩 신호가 입력될 경우에 언로딩 명령을 출력하여 프로세스 모듈에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판을 회수용 카세트 랙에 반송하게 하며, 작업 영역 내에 장애물이 있을 경우에 동작 정지 명령을 출력하여 동작을 정지 및 안전 사고의 발생을 방지한다.According to the glass substrate transport loader / unloader of the present invention and its control method and control circuit for achieving the above object, it is judged whether the kind of laminated glass substrate is recognized when the supply cassette rack is received, It outputs the rack receiving signal to the NCC controller to detect the alignment state of the glass substrate laminated to the supply cassette rack, and determines whether the loading or unloading signal is input from the process module controller. Output the loading command to the controller and return the glass substrate to the process module, and when the unloading signal is input, output the unloading command to return the glass substrate, which has been completed in the process module, to the cassette rack for recovery. When there is an obstacle in the work area, the operation stop command is output to stop the operation and cause the safety accident. prevent.
도 1은 본 발명의 글라스 반송용 로더/언로더의 구성을 보인 평면도,1 is a plan view showing the configuration of the glass transport loader / unloader of the present invention,
도 2는 본 발명의 글라스 반송용 로더/언로더의 구성을 보인 정면도,Figure 2 is a front view showing the configuration of the glass transport loader / unloader of the present invention,
도 3은 본 발명의 글라스 반송용 로더/언로더의 구성을 보인 측면도,Figure 3 is a side view showing the configuration of the glass transport loader / unloader of the present invention,
도 4는 본 발명의 글라스 반송용 로더/언로더의 제어회로를 보인 블록도,4 is a block diagram showing a control circuit of the glass transport loader / unloader of the present invention,
도 5는 본 발명의 제어방법에서 로더/언로더 제어용 컴퓨터의 동작을 보인 신호 흐름도,5 is a signal flow diagram showing the operation of the loader / unloader control computer in the control method of the present invention,
도 6은 본 발명의 제어방법에서 NCC 제어기의 동작을 보인 신호 흐름도이다.6 is a signal flowchart showing the operation of the NCC controller in the control method of the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10 : 프로세스 모듈 20 : 로더/언로더의 본체10: process module 20: main body of loader / unloader
21 : 프레임 22 : 유리 기판21 frame 22 glass substrate
23 : 공급용 카세트 랙 24 : 회수용 카세트 랙23: cassette rack for supply 24: cassette rack for recovery
25 : 센터링 장치 26 : 얼라이너25 centering device 26 aligner
27 : 이오나이저 28 : 바코드 리더기27: ionizer 28: barcode reader
29 : 영역 검출 센서 30 : 래디얼 모션 로봇29: area detection sensor 30: radial motion robot
31 : 암 32 : 진공 흡착부31: arm 32: vacuum adsorption unit
33 : Y축 이동 유니트 100 : 프로세스 모듈 제어기33: Y axis moving unit 100: process module controller
200 : 로더/언로더 제어부 210 : Y축 이동 유니트 구동부200: loader / unloader control unit 210: Y-axis moving unit drive unit
220 : 래디얼 모션 로봇 제어부 230 : 얼라이너 구동부220: radial motion robot control unit 230: aligner drive unit
240 : NCC 제어기 250 : FA 컴퓨터240: NCC controller 250: FA computer
260 : 센서신호 인터페이스부 270 : 바코드 출력부260: sensor signal interface unit 270: barcode output unit
이하, 본 발명의 유리 기판 반송용 로더/언로더 및 그의 제어방법과 제어회로의 바람직한 실시예를 보인 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings showing a preferred embodiment of the glass substrate transfer loader / unloader and its control method and control circuit of the present invention will be described in detail.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 글라스 반송용 로더/언로더의 구성을 보인 평면도, 정면도 및 측면도이다.1 to 3 are a plan view, a front view and a side view showing the configuration of the glass transport loader / unloader of the present invention.
여기서, 부호 10은 표시소자를 유리 기판에 소정의 공정을 수행하는 프로세스 모듈이고, 부호 20은 유리 기판(21)을 상기 프로세스 모듈(10)에 장착하고 프로세스 모듈(10)에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판을 인출하는 로더/언로더의 본체이다.Here, reference numeral 10 denotes a process module for performing a predetermined process on the glass substrate, and reference numeral 20 denotes that the glass substrate 21 is mounted on the process module 10 and the predetermined process is completed in the process module 10. It is the main body of the loader / unloader which takes out a glass substrate.
상기 본체(20)의 중간 부위에는 프레임(22)이 설치되어 상기 본체(21)를 두 구역으로 분할한다.The frame 22 is installed in the middle portion of the main body 20 to divide the main body 21 into two zones.
상기 프레임(22)에 의해 구획된 일측 부위에는 소정의 공정을 수행할 유리 기판(21)이 적층되고 AGV 또는 MGV 등에 의해 운반된 공급용 카세트 랙(23)이 위치됨과 아울러 소정의 공정이 수행된 유리 기판(21)이 적층되는 회수용 카세트 랙(24)이 설치된다.On one side partitioned by the frame 22, a glass substrate 21 to perform a predetermined process is stacked and a cassette rack 23 for supply carried by AGV or MGV is placed and a predetermined process is performed. The cassette rack 24 for collection | recovery in which the glass substrate 21 is laminated | stacked is provided.
부호 25는 에어 실린더(도면에 도시되지 않았음)에 의해 구동되면서 상기 AGV 또는 MGV 등에 의해 운반된 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)의 위치를 정렬하는 센터링 장치이다.Reference numeral 25 denotes a centering device for aligning the positions of the supply cassette rack 23 and the recovery cassette rack 24 carried by the AGV or MGV and the like while being driven by an air cylinder (not shown in the figure).
부호 26은 상기 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)의 사이에 설치되어 적층된 유리 기판의 얼라인 상태를 비접촉식으로 검출하고 검출한 값을 출력하는 얼라이너(본 출원인이 선출원한 1997년 특허 출원 제76848호 참조)이다.Reference numeral 26 denotes an aligner which is provided between the supply cassette rack 23 and the recovery cassette rack 24 to detect the alignment state of the laminated glass substrates in a non-contact manner and outputs the detected value. (1997 Patent Application No. 76848).
부호 27은 상기 유리 기판(21)에 부착되어 있는 먼지 등의 이물질을 제거하는 이오나이저이고, 부호 28은 상기 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)에 표시되어 있는 바 코드(bar code)를 인식하여 출력하는 바코드 리더기이다.Reference numeral 27 denotes an ionizer for removing foreign substances such as dust attached to the glass substrate 21, and reference numeral 28 denotes a bar code indicated on the supply cassette rack 23 and the recovery cassette rack 24 ( Bar code reader that recognizes and prints bar codes.
즉, 상기 유리 기판(21)은 제조할 표시 소자의 종류에 따라 크기가 모두 상이하고, 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)에는 적층되는 유리 기판(21)의 종류에 따라 상이한 바 코드가 표시되어 있는 것으로서 바코드 리더기(28)는 상기 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)에 표시되어 있는 바 코드를 인식 및 출력하여 유리 기판(21)의 종류를 인식할 수 있게 한다.That is, the glass substrate 21 is different in size depending on the type of display element to be manufactured, and according to the type of the glass substrate 21 laminated on the supply cassette rack 23 and the recovery cassette rack 24. As different bar codes are displayed, the barcode reader 28 recognizes and outputs the bar codes displayed on the supply cassette rack 23 and the collection cassette rack 24 to recognize the type of the glass substrate 21. To do it.
부호 29는 본 발명의 로더/언로더의 작업 영역 내에 인체 및 기타 장애물의 근접을 검출하여 출력하는 영역 검출 센서이다.Reference numeral 29 is an area detection sensor that detects and outputs proximity of a human body and other obstacles within the working area of the loader / unloader of the present invention.
부호 30은 상기 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 유리 기판(21)을 하나씩 프로세스 모듈(10)로 이동시키고 프로세스 모듈(10)에서 소정의 공정이 수행된 유리 기판(21)을 인출하여 회수용 카세트 랙(24)에 적층하는 래디얼 모션 로봇이다.Reference numeral 30 denotes that the glass substrates 21 stacked on the supply cassette rack 23 are moved to the process module 10 one by one, and the glass substrate 21 on which the predetermined process is performed is removed from the process module 10. It is a radial motion robot laminated | stacked on the storage cassette rack 24. As shown in FIG.
상기 래디얼 모션 로봇(30)은 암(31)을 구비하고, 암(31)의 선단부에는 진공 흡착부(32)가 구비되어 상기 유리 기판(21)을 흡착할 수 있게 구성된다.The radial motion robot 30 is provided with an arm 31, the front end portion of the arm 31 is provided with a vacuum suction unit 32 is configured to adsorb the glass substrate 21.
부호 33은 상기 래디얼 모션 로봇(30)을 Y축으로 이동시키는 Y축 이동 유니트이다.Reference numeral 33 is a Y-axis moving unit that moves the radial motion robot 30 to the Y-axis.
상기 Y축 이동 유니트(33)는 선형 브러쉬리스 서보 모터(도면에 도시되지 않았음)의 구동에 따라 상기 래디얼 모션 로봇(30)을 Y축으로 이동시킨다.The Y-axis moving unit 33 moves the radial motion robot 30 to the Y-axis according to the drive of the linear brushless servo motor (not shown).
부호 34는 로더/언로더의 본체(20)를 청정 상태로 유지하기 위한 HEPA 필터 유니트이다.Reference numeral 34 denotes a HEPA filter unit for keeping the main body 20 of the loader / unloader clean.
이와 같이 구성된 본 발명은 AGV 또는 MGV에 의해 운반되는 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)은 에어 실린더에 의해 구동되는 센터링 장치(25)에 의해 양 모서리 부분이 척킹(chucking)되어 위치가 정렬된다.In the present invention configured as described above, the feed cassette rack 23 and the recovery cassette rack 24 carried by AGV or MGV are chucked at both edges by a centering device 25 driven by an air cylinder. Position is aligned.
이와 같은 상태에서 래디얼 모션 로봇(30) 및 Y축 이동 유니트(33)가 구동되어 유리 기판(21)을 프로세스 모듈(10)로 반송하게 된다.In this state, the radial motion robot 30 and the Y-axis moving unit 33 are driven to convey the glass substrate 21 to the process module 10.
유리 기판(21)을 반송할 경우에 래디얼 모션 로봇(30)의 암(31)의 선단부에 구비되어 있는 진공 흡착부(32)로 흡착하여 반송한다.When conveying the glass substrate 21, it adsorb | sucks and conveys by the vacuum adsorption part 32 with which the front end part of the arm 31 of the radial motion robot 30 is equipped.
이 때, AGV 또는 MGV에 의해 운반되는 공급용 카세트 랙(23) 내의 유리 기판(21)을 반송할 경우에 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)과 충돌하게 되면, 유리 기판(21)이 파손된다.At this time, when conveying the glass substrate 21 in the cassette rack 23 for supply conveyed by AGV or MGV, when it collides with the cassette rack 23 for supply and the cassette rack 24 for collection | recovery, a glass substrate 21 is broken.
그러므로 본 발명에서는 공급용 카세트 랙(23) 및 회수용 카세트 랙(24)의 사이에 얼라이너(26)를 구비하여 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 유리 기판(21)의 얼라인 상태를 검출하고, 검출한 얼라인 상태에 따라 래디얼 모션 로봇(30) 및 Y축 이동 유니트(33)의 구동을 제어하여 공급용 카세트 랙(23)에서 유리 기판(21)을 프로세스 모듈(10)로 반송할 경우에 유리 기판(21)이 공급용 카세트 랙(23)에 부딪치지 않도록 한다.Therefore, in the present invention, the alignment state of the glass substrate 21 laminated on the supply cassette rack 23 is provided by providing the aligner 26 between the supply cassette rack 23 and the recovery cassette rack 24. It detects and controls the drive of the radial motion robot 30 and the Y-axis movement unit 33 according to the detected alignment state, and conveys the glass substrate 21 to the process module 10 from the supply cassette rack 23. In this case, the glass substrate 21 does not collide with the supply cassette rack 23.
프로세스 모듈(10)에서 소정의 공정이 수행된 유리 기판(21)은 얼라이너(25), 래디얼 모션 로봇(30) 및 Y축 이동 유니트(33)의 동작에 따라 회수용 카세트 랙(24)에 부딪힘이 없이 적층한다.The glass substrate 21, which has been subjected to a predetermined process in the process module 10, is disposed in the cassette rack 24 for recovery according to the operations of the aligner 25, the radial motion robot 30, and the Y-axis moving unit 33. Laminate without bumps.
그리고 본체(20)의 상부에는 이오나이저(27)가 구비되어 유리 기판(21)에 부착되어 있는 먼지 등을 제거하고, 또한 HEPA 필터 유니트(34)를 구비하여 청정 상태를 유지한다.The ionizer 27 is provided on the upper portion of the main body 20 to remove dust and the like attached to the glass substrate 21, and the HEPA filter unit 34 is provided to maintain a clean state.
한편, 도 4는 본 발명의 글라스 반송용 로더/언로더의 제어회로를 보인 블록도이다.4 is a block diagram showing a control circuit of the glass transport loader / unloader of the present invention.
여기서, 부호 100은 상기 공급되는 유리 기판(21)에 소정의 작업 공정을 수행하는 프로세스 모듈 제어기이고, 부호 200은 상기 로더/언로더의 전체 동작을 제어하면서 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 유리 기판(21)을 하나씩 상기 프로세스 모듈(10)로 이송하고 프로세스 모듈(10)에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판(21)을 회수용 카세트 랙(24)에 적층하는 것을 제어하는 로더/언로더 제어부이다.Here, reference numeral 100 denotes a process module controller for performing a predetermined working process on the glass substrate 21 to be supplied, and reference numeral 200 denotes a stacked cassette rack 23 for controlling the overall operation of the loader / unloader. A loader / unloader which transfers the glass substrates 21 to the process module 10 one by one and controls the stacking of the glass substrate 21 on which the predetermined process is completed in the process module 10 on the cassette rack 24 for recovery. It is a control unit.
상기 로더/언로더 제어부(200)는, 상기 Y축 이동 유니트(33)를 구동시켜 상기 래디얼 모션 로봇(30)을 Y축으로 이동시키는 Y축 이동 유니트 구동부(210)와, 상기 래디얼 모션 로봇(30)을 제어하여 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 유리 기판(21)을 하나씩 상기 프로세스 모듈(10)로 이송하고 프로세스 모듈(10)에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판(21)을 회수용 카세트 랙(24)에 적층하게 제어하는 래디얼 모션 로봇 구동부(220)와, 상기 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 유리 기판(21)의 정렬 상태를 검출하여 출력하게 제어하는 얼라이너 구동부(230)와, 로딩 및 언로딩 명령에 따라 상기 Y축 이동 유니트 구동부(210), 래디얼 모션 로봇 구동부(220) 및 얼라이너 구동부(230)를 제어하여 상기 프로세스 모듈(10)에 상기 유리 기판(21)을 로딩 및 언로딩하는 NCC 제어부(240)와, 상기 NCC 제어기(240)를 제어함과 아울러 상기 프로세스 모듈 제어기(100)의 출력신호에 따라 상기 NCC 제어기(240)로 로딩 및 언로딩 명령을 출력하는 로더/언로더 제어기(250)와, 상기 영역 검출 센서(29)를 비롯한 각종 센서의 신호를 상기 로더/언로더 제어기(250)로 입력시키는 센서신호 인터페이스부(260)와, 상기 바코드 리더기(270)가 리드한 바코드를 인식하여 상기 로더/언로더 제어기(250)로 입력시키는 바코드 출력부(270)로 구성된다.The loader / unloader control unit 200 drives the Y axis moving unit 33 to move the radial motion robot 30 to the Y axis, and the radial motion robot ( 30 to transfer the glass substrates 21 stacked on the cassette rack 23 for supply to the process module 10 one by one, and recover the glass substrates 21 for which a predetermined process is completed in the process module 10. A radial motion robot driver 220 for controlling the stacking on the cassette rack 24 and an aligner driver 230 for controlling the detection and outputting of the alignment state of the glass substrate 21 laminated on the cassette rack 23 for supply. And the Y-axis moving unit driver 210, the radial motion robot driver 220, and the aligner driver 230 according to a loading and unloading command to control the glass substrate 21 to the process module 10. NCC control unit 240 for loading and unloading the, and the NCC A loader / unloader controller 250 for controlling a controller 240 and outputting a loading and unloading command to the NCC controller 240 according to an output signal of the process module controller 100 and the area detecting sensor. A sensor signal interface unit 260 for inputting signals of various sensors including the sensor 29 to the loader / unloader controller 250 and a barcode read by the barcode reader 270 to recognize the loader / unloader controller. It consists of a barcode output unit 270 to be input to (250).
이와 같이 구성된 본 발명의 제어회로는 로더/언로더 제어부(200)의 로더/언로더 제어기(210)가 단계(S101)에서 초기화 동작을 수행하고, 단계(S102)에서 공급용 카세트 랙(23)이 본체(20)내로 입고되는 지를 판단한다.In the control circuit of the present invention configured as described above, the loader / unloader controller 210 of the loader / unloader control unit 200 performs an initialization operation in step S101, and in step S102, a cassette rack 23 for supply. It is determined whether it is put into the main body 20.
공급용 카세트 랙(23)이 본체(20)내로 입고되었을 경우에 단계(S103)에서 바코드 리더기(28)가 검출하여 바코드 출력부(270)가 출력하는 바코드를 입력하고, 단계(S104)에서 입력한 바코드로 공급용 카세트 랙(23)에 적층되어 있는 유리 기판(21)의 종류가 인식되는 지를 판단한다.When the cassette rack 23 for supply is received into the main body 20, the barcode reader 28 is detected in step S103 and the barcode output by the barcode output unit 270 is input. In step S104, the barcode is input. It is determined whether the kind of the glass substrate 21 laminated | stacked on the supply cassette rack 23 with one barcode is recognized.
즉, 공급용 카세트 랙(23)에는 적층된 유리 기판(21)의 종류에 따라 바코드가 기록되어 있는 것으로서 검출된 바코드를 입력하여 미리 저장되어 있는 바코드와 일치되는 지를 판단한다.That is, the bar code is recorded in the cassette rack 23 for supply according to the kind of the laminated glass substrate 21, and the detected bar code is input, and it judges whether it matches with the bar code previously stored.
상기 단계(S104)에서 유리 기판(21)의 종류가 인식되지 않을 경우에 단계(S105)에서 경보를 발생한다.If the type of the glass substrate 21 is not recognized in step S104, an alarm is generated in step S105.
그리고 상기 단계(S104)에서 유리 기판(21)의 종류가 인식될 경우에 단계(S106)에서 NCC 제어기(240)로 랙 입고신호를 출력하여 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 유리 기판(21)의 얼라인 상태를 검출하게 한다.When the type of the glass substrate 21 is recognized in the step S104, the rack receiving signal is output to the NCC controller 240 in the step S106, and the glass substrate 21 stacked on the cassette rack 23 for supplying. ) Is detected.
다음 단계(S107)(S108)에서는 프로세스 모듈 제어기(100)로부터 로딩 또는 언로딩 신호가 입력되는 지를 판단하고, 단계(S109)에서는 영역 검출 센서(29)가 장애물을 검출하여 센서신호 인터페이스부(260)가 영역 검출 센서의 신호를 출력하는 지를 판단한다.In a next step (S107) (S108) it is determined whether a loading or unloading signal is input from the process module controller 100, in step S109 the area detection sensor 29 detects an obstacle to the sensor signal interface unit 260 ) Outputs a signal of the area detection sensor.
상기 단계(S107)에서 프로세스 모듈 제어기(100)로부터 로딩 신호가 입력될 경우에 단계(S110)에서 NCC 제어기(240)로 로딩 명령을 출력하여 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 하나의 유리 기판(21)을 프로세스 모듈(10)로 반송하게 하고, 단계(S108)에서 프로세스 모듈 제어기(100)로부터 언로딩 신호가 입력될 경우에 단계(S111)에서 NCC 제어기(240)로 언로딩 명령을 출력하여 프로세스 모듈(10)에서 소정의 공정이 완료된 유리 기판(21)을 회수용 카세트 랙(23)에 유리 기판(21)을 반송하게 한다.When the loading signal is input from the process module controller 100 in the step S107, the loading command is output to the NCC controller 240 in the step S110, and one glass substrate laminated on the supply cassette rack 23 is provided. (21) to the process module 10, and outputs an unloading command to the NCC controller 240 in step S111 when an unloading signal is input from the process module controller 100 in step S108. In this way, the glass substrate 21 in which the predetermined process is completed in the process module 10 is conveyed to the cassette rack 23 for collection | recovery.
그리고 상기 단계(S109)에서 영역 검출 센서(29)의 신호가 입력될 경우에 단계(S112)에서 NCC 제어기(240)로 동작 정지 명령을 출력하여 동작을 정지 및 안전 사고의 발생을 방지하게 하고, 단계(S113)에서 영역 검출 센서(29)의 신호가 해제될 경우에 동작 정지 해제 명령을 출력하여 다시 동작하게 한다.When the signal of the area detection sensor 29 is input in step S109, an operation stop command is output to the NCC controller 240 in step S112 to stop the operation and prevent the occurrence of a safety accident. When the signal of the area detection sensor 29 is released in step S113, the operation stop release command is outputted to operate again.
상기 NCC 제어기(240)는 도 6에 도시된 바와 같이 단계(S201)에서 초기화 동작을 수행하고, 단계(S202)에서 로더/언로더 제어기(250)로부터 공급용 카세트 랙(23)의 입고를 알리는 신호가 입력되는 지를 판단한다.The NCC controller 240 performs an initialization operation in step S201 as shown in FIG. 6, and informs the receipt of the cassette rack 23 for supply from the loader / unloader controller 250 in step S202. Determine whether a signal is input.
상기 단계(S202)에서 공급용 카세트 랙(23)의 입고를 알리는 신호가 입력될 경우에 단계(S203)에서 얼라이너 제어부(230)를 통해 얼라이너(26)를 제어하여 공급용 카세트 랙(23)에 적층되어 있는 유리 기판(21)의 얼라인 상태를 판단 및 저장한다.When a signal informing the receipt of the cassette rack 23 for supply is input in step S202, the aligner 26 is controlled through the aligner control unit 230 in step S203 to supply the cassette rack 23. The alignment state of the glass substrate 21 laminated | stacked on ()) is judged and stored.
다음 단계(S205)(S206)에서는 로더/언로더 제어기(250)로부터 로딩 또는 언로딩 명령이 입력되는 지를 판단하고, 단계(S207)에서 동작 정지 명령이 입력되는 지를 판단한다.In the next step (S205) (S206), it is determined whether a loading or unloading command is input from the loader / unloader controller 250, and in step S207 it is determined whether an operation stop command is input.
상기 단계(S205)에서 로딩 명령이 입력될 경우에 단계(S208)에서 공급용 카세트 랙(23)에 적층된 유리 기판(21)의 얼라인 상태에 따라 Y축 이동 유니트 구동부(210) 및 래디얼 모션 로봇 구동부(220)를 통해 Y축 이동 유니트(33) 및 래디얼 모션 로봇(30)을 제어하고, 단계(S209)에서 암(31)의 선단부에 구비된 진공 흡착기(32)로 유리 기판(21)을 흡착한 후 단계(S210)에서 로딩하여 프로세스 모듈(10)로 반송한다.When the loading command is input in step S205, the Y-axis moving unit driving unit 210 and the radial motion according to the alignment state of the glass substrate 21 stacked on the cassette rack 23 for supplying in step S208. The Y-axis moving unit 33 and the radial motion robot 30 are controlled through the robot driving unit 220, and in step S209, the glass substrate 21 is provided with the vacuum adsorber 32 provided at the front end of the arm 31. After adsorption, it is loaded in step S210 and returned to the process module 10.
즉, 검출된 유리 기판(21)의 얼라인 상태에 따라 Y축 이동 유니트(33)를 이동시키고, 래디얼 모션 로봇(30)을 기울인 상태로 유리 기판(21)을 흡착하여 얼라인시키면서 프로세스 모듈(10)로 반송한다.That is, the Y-axis moving unit 33 is moved in accordance with the detected alignment state of the glass substrate 21, and the process module (while absorbing and aligning the glass substrate 21 with the radial motion robot 30 tilted) is used. Return to 10).
상기 단계(S206)에서 언로딩 명령이 입력될 경우에 단계(S211)에서 Y축 이동 유니트 구동부(210) 및 래디얼 모션 로봇 구동부(220)를 통해 Y축 이동 유니트(33) 및 래디얼 모션 로봇(30)을 제어하고, 단계(S212)에서 진공 흡착기(32)로 유리 기판(21)을 흡착한 후 단계(S213)에서 언로딩하여 회수용 카세트 랙(24)에 적층한다.When the unloading command is input in step S206, the Y-axis moving unit 33 and the radial motion robot 30 are moved through the Y-axis moving unit driver 210 and the radial motion robot driver 220 in step S211. ), The glass substrate 21 is adsorbed by the vacuum adsorber 32 in step S212, and then unloaded in step S213, and stacked in the cassette rack 24 for recovery.
상기 단계(S207)에서 동작 정지 명령이 입력될 경우에 단계(S214)에서 Y축 이동 유니트 구동부(210) 및 래디얼 모션 로봇 구동부(220)를 제어하여 Y축 이동 유니트(33) 및 래디얼 모션 로봇(30)의 동작을 정지시키고, 안전 사고의 발생을 방지한다.When the operation stop command is input in step S207, the Y-axis moving unit driver 210 and the radial motion robot driver 220 are controlled in step S214 to control the Y-axis moving unit 33 and the radial motion robot ( Stop operation of 30) and prevent the occurrence of a safety accident.
다음 단계(S215)에서는 로더/언로더 제어기(250)로부터 다시 동작 명령이 입력될 경우에 단계(S216)에서 계속 동작을 수행하여 유리 기판(21)을 로딩 및 언로딩한다.In operation S215, when an operation command is input again from the loader / unloader controller 250, the operation is continued in operation S216 to load and unload the glass substrate 21.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 공급용 카세트 랙에 적층된 유리 기판을 스캐닝하여 얼라인 상태를 검출하고, 검출한 얼라인 상태에 따라 래디얼 모션 로봇을 제어 및 유리 기판을 얼라인하여 프로세스 모듈로 이송하고, Y축 이동 유니트의 이동속도가 빨라 전체적인 시스템의 효율이 향상되며, 빠른 택트 타임에 효율적으로 대응하고, 시스템 전체의 처리 속도를 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the alignment state is detected by scanning the glass substrate stacked on the cassette rack for supply, the radial motion robot is controlled and the glass substrate is aligned and transferred to the process module according to the detected alignment state. In addition, the movement speed of the Y-axis mobile unit is increased, so that the overall system efficiency can be improved, it can efficiently cope with a quick tact time, and improve the processing speed of the entire system.
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004109632A2 (en) * | 2003-06-05 | 2004-12-16 | Charm Engineering Co., Ltd. | Working stage system for flat panel display and flat panel display working method using same |
| US7139640B2 (en) | 2002-12-31 | 2006-11-21 | Lg.Philips Lcd. Co., Ltd. | Substrate transfer system |
| KR100652054B1 (en) * | 2003-12-16 | 2006-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Guiding system for transferring cassatte between automatic guided vehicle and equipment and guiding method for transferring the cassatte |
| KR100718705B1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-05-16 | 강삼태 | Transfer robot for display of flat board |
| KR100741893B1 (en) * | 2001-07-05 | 2007-07-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for transporting TFT-LCD panel |
| KR100831285B1 (en) * | 2002-07-08 | 2008-05-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | Stocker system with self-reading bar code in which cassette information |
| KR100923383B1 (en) * | 2006-12-18 | 2009-10-23 | 캐논 가부시끼가이샤 | Processing apparatus |
| CN114474059A (en) * | 2022-02-16 | 2022-05-13 | 郑州旭飞光电科技有限公司 | Loading robot control method, loading robot control device, storage medium, and loading robot |
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- 1998-04-22 KR KR1019980014381A patent/KR100349235B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100741893B1 (en) * | 2001-07-05 | 2007-07-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for transporting TFT-LCD panel |
| KR100831285B1 (en) * | 2002-07-08 | 2008-05-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | Stocker system with self-reading bar code in which cassette information |
| US7139640B2 (en) | 2002-12-31 | 2006-11-21 | Lg.Philips Lcd. Co., Ltd. | Substrate transfer system |
| US7363107B2 (en) | 2002-12-31 | 2008-04-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate transfer system |
| WO2004109632A2 (en) * | 2003-06-05 | 2004-12-16 | Charm Engineering Co., Ltd. | Working stage system for flat panel display and flat panel display working method using same |
| WO2004109632A3 (en) * | 2003-06-05 | 2005-02-17 | Charm Engineering Co Ltd | Working stage system for flat panel display and flat panel display working method using same |
| KR100652054B1 (en) * | 2003-12-16 | 2006-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Guiding system for transferring cassatte between automatic guided vehicle and equipment and guiding method for transferring the cassatte |
| KR100718705B1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-05-16 | 강삼태 | Transfer robot for display of flat board |
| KR100923383B1 (en) * | 2006-12-18 | 2009-10-23 | 캐논 가부시끼가이샤 | Processing apparatus |
| CN114474059A (en) * | 2022-02-16 | 2022-05-13 | 郑州旭飞光电科技有限公司 | Loading robot control method, loading robot control device, storage medium, and loading robot |
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| Publication number | Publication date |
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