KR19990079892A - 건식 식각기 또는 애셔용 전극 - Google Patents

Abstract

건식 식각기 또는 애셔에 사용되는 전극에 있어서, 전극 정면의 중앙과 주변에 냉각관을 두 개 내장하고, 이들 각각의 냉각관 양단에 연결되는 냉매 유출입구를 전극 본체의 측면에 따로 설치한다. 이렇게 하면, 주변부 냉각관에 흘리는 냉매와 중앙부 냉각관에 흘리는 냉매가 서로 다른 온도를 가지게 할 수 있음은 물론 냉매의 유속도 달리할 수 있어서, 전극의 중앙부와 주변부의 온도가 다양한 차이를 가지도록 조절할 수 있다.

Description

건식 식각기 또는 애셔용 전극

이 발명은 건식 식각기나 애셔(asher)에 사용되는 전극에 관한 것으로서, 더 자세하게는 전극의 온도 분포를 전극의 중심과 주변부에서 달리할 수 있는 전극에 관한 것이다.

이제, 도면을 참고하여 종래의 기술에 따른 건식 식각기 또는 애셔의 전극에 대하여 설명한다.

도 1은 종래의 기술에 따른 건식 식각기 또는 애셔 전극의 평면도이다.

전극은 사각형의 본체(1), 세라믹재(2), 냉각관(3) 및 두 개의 냉매 유출입구(41, 42)로 이루어져 있다. 세라믹재(2)가 전극 본체(1)의 테두리를 감싸고 있어서 전극 본체(1)는 중앙부만 외부로 노출되어 있고, 냉각관(3)은 타원형을 이루고 있으며 전극 본체(1)의 외부로 노출되어 있는 중앙부의 아래에 내장되어 있다. 두 냉매 유출입구(41, 42)는 전극 본체(1)의 한 측면에 형성되어 있으며 전극 본체(1)에 내장되어 있는 냉각관(3)의 양단에 연결되어 있다.

이러한 건식 식각기 또는 애셔의 전극은 냉각관을 통해 냉매를 흘려주고 이를 통해 전극이 받는 열을 식힘으로써 전극의 온도를 조절한다. 그런데 종래와 같이 하나의 냉각관만을 내장하고 있는 전극에서는 전극 전체에 걸쳐 온도 분포를 일정하게만 할 수 있어서 기판이 대형화함에 따라 식각이나 애싱(ashing)이 기판 전체에 걸쳐 균일하게 이루어지도록 하는데 한계가 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 건식 식각이나 애싱 공정의 균일성을 향상시키는 것이다.

도 1은 종래의 기술에 따른 건식 식각기 또는 애셔용 전극의 평면도이고,

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 건식 식각기 또는 애셔용 전극의 평면도이고,

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 건식 식각기 또는 애셔용 전극의 평면도이다.

위와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 건식 식각기 또는 애셔용 전극에 2개 이상의 냉각관을 설치한다.

이 때, 전극 본체의 정면 중앙에 제1 냉각관을 내장하고, 전극 본체의 제1 냉각관 둘레에 제2 냉각관을 내장하며, 전극 본체의 측면에 제1 냉각관의 양단과 연결되는 제1 및 제2 냉매 유출입구 및 제2 냉각관의 양단과 연결되는 제3 및 제4 냉매 유출입구를 설치한다. 이렇게 하면, 제1 및 제2 냉각관으로 흘려 보내는 냉매의 온도와 유속을 다르게 할 수 있다.

여기에, 전극 본체를 둘러싸는 세라믹재가 더 포함될 수도 있고, 제1 냉각관은 다수의 굴곡을 가지도록 형성하고 제2 냉각관은 타원형을 이루도로 형성할 수도 있다. 또한, 전극 본체에는 제2 냉각관의 둘레로 하나 이상의 냉각관이 더 내장될 수도 있다.

이제 첨부한 도면을 참고로 하여, 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 건식 식각기 또는 애셔의 전극의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 건식 식각기 또는 애셔의 전극의 평면도이다.

먼저, 도 2를 보면, 전극은 본체(10), 주변부 냉각관(31), 중앙부 냉각관(32) 및 네 개의 냉매 유출입구(41, 42, 43, 44)로 이루어져 있다. 주변부 냉각관(31)은 전극 본체(10) 정면의 주변부에 내장되어 타원형을 이루고 있고, 중앙부 냉각관(32)은 전극 본체(10) 정면의 중앙부에 내장되어 꽃잎 모양을 이루고 있으며 주변부 냉각관(31)에 의해 둘러싸여 있는 형태를 하고 있다. 여기서, 두 냉각관(31, 32)의 모양을 타원형과 꽃잎 모양으로 한 것은 전극 온도 분포를 고르게 하기 위한 것으로 반드시 타원형과 꽃잎 모양에 한정되지 않고 사각형이나 별 모양 등 다양한 형태를 가질 수 있다. 또, 냉각관(31, 32)은 전극 본체(10) 내부를 음각하여 형성할 수도 있고 관을 전극 본체(10) 내에 설치할 수도 있다. 네 개의 냉매 유출입구(41, 42, 43, 44)는 전극 본체(10)의 한 측면에 형성되어 있는데, 이들 중 중앙의 두 냉매 유출입구(43, 44)는 중앙부 냉각관(32)과 연결되어 있고, 주변의 두 냉매 유출입구(41, 42)는 주변부 냉각관(31)과 연결되어 있다.

이러한 구조에서는 서로 분리되어 있는 냉매 유출입구를 통해 주변부 냉각관(31)과 중앙부 냉각관(32)에 서로 다른 온도의 냉매를 흘려 보낼 수 있음은 물론 냉매의 유속도 달리할 수 있어서, 전극의 중앙부와 주변부의 온도가 다양한 차이를 가지도록 조절할 수 있다.

다음, 도 3에 나타낸 전극에는 도 2에 나타낸 전극의 본체(10)를 둘러싸는 세라믹재(20)가 더 포함되어 있어서 전극 본체(10)는 중앙부만 외부로 노출되어 있다. 전극 본체의 나머지 구조는 제1 실시예와 유사하다. 건식 식각 또는 애싱(ashing) 공정이 진행되는 동안 기판(50)은 전극 본체의 외부로 노출되어 있는 부분에 놓이게 된다.

본 발명의 실시예에서는 냉각관이 두 개인 경우만을 설명하였으나 필요에 따라서는 세 개 이상의 냉각관과 그에 딸린 냉매 유출입구를 따로 설치하는 것도 가능하다.

본 발명의 실시예에서와 같이 냉각관을 전극의 중앙부과 주변부에 두 개 또는 그 이상 설치하면 전극의 중앙부와 주변부의 온도를 일정하게 할 수 있음은 물론 다양한 온도 차이를 가지도록 할 수도 있어서, 건식 식각 또는 애싱이 기판 전체적으로 균일하게 이루어지도록 할 수 있다.

Claims (4)

1. 전극 본체,

   상기 전극 본체의 정면 중앙부에 내장되어 있는 제1 냉각관,

   상기 전극 본체의 정면 주변부의 제1 냉각관 둘레에 내장되어 있는 제2 냉각관,

   상기 전극 본체의 측면에 형성되어 있고, 상기 제1 냉각관의 양단과 연결되어 있는 제1 및 제2 냉매 유출입구,

   상기 전극 본체의 측면에 형성되어 있고, 상기 제2 냉각관의 양단과 연결되어 있는 제3 및 제4 냉매 유출입구를

   포함하는 건식 식각기 또는 애셔용 전극.
2. 제1항에서,

   상기 전극 본체를 둘러싸고 있는 세라믹재를 더 포함하는 건식 식각기 또는 애셔용 전극.
3. 제1항 또는 제2항에서,

   상기 제1 냉각관은 다수의 굴곡을 가지고 있으며, 상기 제2 냉각관은 타원형을 이루고 있는 건식 식각기 또는 애셔용 전극.
4. 제1항 또는 제2항에서,

   상기 전극 본체의 제2 냉각관의 둘레에 내장되어 있는 하나 이상의 제3 냉각관 및 이와 연결되어 있는 제5 및 제6 냉매 유출입구를 더 포함하는 건식 식각기 또는 애셔용 전극.