KR19990079644A

KR19990079644A - Monitoring device

Info

Publication number: KR19990079644A
Application number: KR1019980012340A
Authority: KR
Inventors: 신유식
Original assignee: 김영환; 현대반도체 주식회사
Priority date: 1998-04-08
Filing date: 1998-04-08
Publication date: 1999-11-05

Abstract

본 발명은 모니터링 장치에 관한 것으로, 종래의 인터폰을 이용한 모니터링 장치에 있어서는 장비의 동작 지시 및 모니터 결과가 운용자와 보수자 사이에 확실하게 전달되지 않기 때문에 장비의 유지 보수에 많은 시간이 소요되고, 또한 서비스 지역에 별도의 모니터링 및 제어전용 컴퓨터를 이용하는 모니터링 장치는 별도의 컴퓨터를 구매해야 되고, 통신 카드 및 데이터 전송용 중계기 등을 함께 구비해야 하기 때문에 비용이 많이 소비되고, 컴퓨터간에 통신장해가 발생할 경우는 제어 자체가 불가능하게 되는 문제점이 있었다. 따라서, 본 발명은 주변 장치부 및 분배부에 전원을 공급하는 전원부와; 장비에서 장비 운영 컴퓨터에 입.출력되는 신호를 분배하는 분배부와; 상기 분배부를 통하여 장비에서 출력되는 신호를 출력하거나 사용자의 제어신호를 장비에 입력시키는 주변 장치부로 구성하여 별도의 모니터링 및 제어 전용 컴퓨터 및 통신장비를 부착하지 않아도 되므로 많은 비용이 소요되지 않고, 장비의 상태를 모니터하기 위해 공정 지역과 서비스 지역을 자주 왕래하지 않아도 되므로, FAB내부의 먼지 발생률이 저하되어 이에 따라 웨이퍼의 수율 또한 향상시키는 효과가 있다.The present invention relates to a monitoring device, and in the monitoring device using a conventional interphone, a lot of time is required for maintenance of the equipment because the operation instruction and the monitoring result of the equipment are not transmitted reliably between the operator and the operator. A monitoring device that uses a separate computer dedicated to monitoring and control in the service area requires a separate computer and must be equipped with a communication card and a repeater for data transmission. There was a problem that the control itself is impossible. Therefore, the present invention provides a power supply unit for supplying power to the peripheral device portion and the distribution unit; A distribution unit for distributing signals input and output from the equipment to the equipment operating computer; It does not require much cost because it does not need to attach a separate monitoring and control computer and communication equipment by outputting the signal output from the equipment through the distribution unit or inputting the user's control signal to the equipment. Since the process area and service area need not be frequently visited to monitor the condition, the dust generation rate inside the FAB is lowered, thereby improving the yield of the wafer.

Description

Monitoring device

본 발명은 모니터링 장치에 관한 것으로, 특히 공정 지역(PROCESS AREA)과 서비스 지역(SERVICE AREA)으로 나뉘어 격리된 반도체 팹(FAB : Fabrication) 내부에서 두 지역 모두에서 모니터링 및 제어가 가능하도록 하는 모니터링 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a monitoring device, and more particularly, to a monitoring device that is divided into a process area and a service area to enable monitoring and control in both areas within an isolated semiconductor fab. It is about.

종래의 장비는 공정 지역에서 모니터링 및 제어를 위해 한 대의 컴퓨터로 운영해왔다. 즉, 반도체 제조 장비의 하드웨어를 직접 구동하는 프로세서는 장비 운영 컴퓨터와 통신라인으로 연결되어 있어서 실제로 사람과 장비간의 인터페이스(INTERFACE)는 하나의 컴퓨터로만 모니터링 및 제어가 가능하였다.Conventional equipment has been operated with a single computer for monitoring and control in the process area. In other words, the processor directly driving the hardware of the semiconductor manufacturing equipment is connected to the equipment operating computer and the communication line, so that the interface between the human and the equipment (INTERFACE) can be monitored and controlled by only one computer.

또한 장비의 대부분이 모니터 및 제어용 주변 장치들이 웨이퍼를 생산하는 공정 지역쪽으로만 나와 있어서, 장비를 제어하기 위해서는 공정 지역에서만 가능하였다. 하지만, 장비의 유지보수를 위해서는 서비스 지역에서 장비의 제어가 필요하기 때문에 이를 보완하기 위하여 장비에 인터폰을 부착하여 사용해 왔다.In addition, most of the equipment is directed only to the process area where the monitor and control peripherals produce wafers, which was only possible in the process area to control the equipment. However, maintenance of the equipment requires control of the equipment in the service area, so interphones have been attached to the equipment to compensate for this.

도1은 종래 인터폰을 이용한 모니터링 장치를 보인 블록 구성도로서, 이에 도시된 바와 같이 공정 지역에서 장비를 제어하는 운용자와 서비스 지역에서 장비를 유지 보수하는 보수자가 동시에 대기하고 있으면서 인터폰(2)을 통해 서비스 지역의 보수자가 공정 지역의 운용자에게 장비의 동작을 지시하면, 운용자는 장비를 동작시키고, 모니터(미도시)에 표시되는 결과를 보수자에게 전달하면 보수자는 그 모니터링 되는 상태를 듣고, 그에 따라 장비의 고장 부분을 판단하여 수리하고, 장비가 정상 동작을 할 때까지 상기 동작을 반복 수행하였다.FIG. 1 is a block diagram showing a monitoring apparatus using a conventional interphone. As shown in FIG. 1, an operator who controls equipment in a process area and a maintainer who maintains equipment in a service area are waiting at the same time through an interphone 2. When the service area's maintainer instructs the operator of the process area to operate the equipment, the operator operates the equipment and delivers the results displayed on the monitor (not shown) to the servicer, who listens to the monitored state and accordingly The failure part of the equipment was determined and repaired, and the above operation was repeated until the equipment operated normally.

도2는 종래의 서비스 지역에 설치된 별도의 컴퓨터에 의한 모니터링 장치를 보인 블록 구성도로서, 이에 도시된 바와 같이 서비스 지역에 별도의 모니터링 및 제어전용 컴퓨터(5,6)를 설치하고, 장비의 하드웨어를 직접 구동하는 프로세서(미도시)와 장비 운영 컴퓨터(1)간의 통신라인외에 또다른 통신 라인을 이용하여 장비 운영 컴퓨터(1)에 통신 카드(3a,3b) 및 데이터 전송용 중계기(4) 등을 부가적으로 장비에 부착하고, 서비스 지역에 있는 별도의 모니터링 및 제어전용 컴퓨터(5,6)에도 통신 카드(3b)를 부착하여 장비 운영 컴퓨터(1)와 서비스 지역의 모니터링 및 제어전용 컴퓨터(5,6)가 쌍방향 통신이 가능하도록 하여 장비를 제어했다.Figure 2 is a block diagram showing a monitoring device by a separate computer installed in a conventional service area, as shown in this separate installation of separate monitoring and control computer (5, 6) in the service area, the hardware of the equipment In addition to the communication line between the processor (not shown) and the equipment operating computer (1) for directly driving the communication card (3a, 3b) and the data transmission repeater (4) to the equipment operating computer (1) using another communication line Is additionally attached to the equipment, and the communication card (3b) is attached to the separate monitoring and control computers (5, 6) in the service area, and the equipment operating computer (1) and the computer for monitoring and control of the service area ( 5,6) controlled the equipment by enabling two-way communication.

그러나, 상기 종래의 인터폰을 이용한 모니터링 장치에 있어서는 장비의 동작 지시 및 모니터 결과가 운용자와 보수자 사이에 확실하게 전달되지 않기 때문에 장비의 유지 보수에 많은 시간이 소요되고, 또한 서비스 지역에 별도의 모니터링 및 제어 전용 컴퓨터를 이용하는 모니터링 장치는 별도의 컴퓨터를 구매해야 되고, 통신 카드 및 데이터 전송용 중계기 등을 함께 구비해야 하기 때문에 비용이 많이 소비되고, 컴퓨터간에 통신장해가 발생할 경우는 제어 자체가 불가능하게 되는 문제점이 있었다.However, in the monitoring apparatus using the conventional interphone, since the operation instruction and the monitoring result of the equipment are not transmitted reliably between the operator and the maintenance worker, it takes a lot of time for the maintenance of the equipment and also separate monitoring in the service area. And a monitoring device using a control-only computer, a separate computer must be purchased, and a communication card and a data transmission repeater must be provided together, and thus a high cost is consumed. There was a problem.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출한 것으로, 많은 비용이 소요되지 않으면서 공정 지역과 서비스 지역 모두에서 모니터링 및 제어가 가능하도록 하는 모니터링 장치를 제공 하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a monitoring apparatus capable of monitoring and controlling both a process area and a service area without incurring a high cost.

도1은 종래 인터폰을 이용한 모니터링 장치를 보인 블록 구성도.1 is a block diagram showing a monitoring device using a conventional interphone.

도2는 종래 별도의 컴퓨터에 의한 모니터링 장치를 보인 블록 구성도.Figure 2 is a block diagram showing a conventional monitoring device by a separate computer.

도3은 본 발명 모니터링 장치의 블록 구성도.Figure 3 is a block diagram of a monitoring device of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 전원부 20 : 분배부10: power supply unit 20: distribution unit

30 : 주변 장치부30: peripheral device

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 모니터링 장치는, 주변 장치부 및 분배부에 전원을 공급하는 전원부와; 장비에서 장비 운영 컴퓨터에 입.출력되는 신호를 분배하는 분배부와; 상기 분배부를 통하여 장비에서 출력되는 신호를 출력하거나 사용자의 제어신호를 장비에 입력시키는 주변 장치부로 구성함으로써 달성되는 것으로, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The monitoring device of the present invention for achieving the above object, the power supply unit for supplying power to the peripheral device portion and the distribution unit; A distribution unit for distributing signals input and output from the equipment to the equipment operating computer; It is achieved by outputting a signal output from the equipment through the distribution unit or by configuring a peripheral device for inputting the user's control signal to the equipment, an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도3은 본 발명 모니터링 장치의 블록 구성도로서, 이에 도시한 바와 같이 주변 장치부 및 분배부에 전원을 공급하는 전원부(10)와; 장비에서 장비 운영 컴퓨터에 입.출력되는 신호를 분배하는 분배부(20)와; 상기 분배부(20)를 통하여 장비에서 출력되는 신호를 출력하거나 사용자의 제어신호를 장비에 입력시키는 주변 장치부(30)로 구성한 것으로, 이와 같이 구성한 본 발명의 동작 및 작용을 설명한다.3 is a block diagram of the monitoring apparatus of the present invention, and the power supply unit 10 for supplying power to the peripheral device portion and the distribution unit as shown therein; A distribution unit 20 for distributing signals input and output from the equipment to the equipment operating computer; The peripheral unit 30 outputs a signal output from the equipment through the distribution unit 20 or inputs a user's control signal to the equipment. The operation and operation of the present invention configured as described above will be described.

먼저, 전원부(10)는 장비의 전원이 내려지면 본 발명 모니터링 장치도 같이 다운되어야 하기 때문에 장비의 전원부로 부터 전원을 분기 시켜 분배부(20) 및 주변 장치부(30)에 공급시킨다.First, the power supply unit 10 is supplied to the distribution unit 20 and the peripheral unit 30 by branching the power from the power supply of the equipment because the monitoring device of the present invention should also be down when the power of the equipment is lowered.

분배부(20)는 장비 운영 컴퓨터의 모니터 및 키보드 등으로 입.출력되는 신호가 병렬 연결되도록 구성하고, 모니터링할 주변 장치가 많을 경우에는 메인 분배부(20a) 및 복수개의 서브 분배부(20b,20c)를 두어 분배하고, 주변 장치부(30)는 장비에서 발생되는 모든 정보를 사용자에게 보여주는 모니터와, 사용자가 장비를 제어할 수 있도록 하는 키보드 등으로 구성된 것으로 운용자가 공정 지역에 설치된 장비 운영 컴퓨터를 제어하면 장비 운영 컴퓨터에 모니터되는 상황이 그대로 주변 장치부(30)의 모니터에 출력되고, 또한 보수자 혼자서 서비스 지역에 설치된 주변 장치부(30)의 키보드 등을 통하여 장비의 동작을 직접 제어하면 그에 따라 장비가 제어되고, 주변 장치부(30)의 모니터 등에 출력되어 장비의 동작 상황을 바로 모니터링 하면서 장비의 유지 보수를 수행하게 된다.The distribution unit 20 is configured such that signals input and output to the monitor and keyboard of the equipment operating computer are connected in parallel, and when there are many peripheral devices to be monitored, the main distribution unit 20a and the plurality of sub distribution units 20b, 20c), and the peripheral device unit 30 is composed of a monitor that shows all information generated from the equipment to the user, and a keyboard for allowing the user to control the equipment. If control is performed, the situation monitored by the computer operating computer is output to the monitor of the peripheral unit 30 as it is, and the operator directly controls the operation of the equipment through the keyboard of the peripheral unit 30 installed in the service area alone. As a result, the equipment is controlled and output to the monitor of the peripheral device unit 30 to monitor the operation status of the equipment while maintaining the equipment. To be carried out.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 모니터링 장치는 별도의 컴퓨터 및 통신장비를 부착하지 않아도 되므로 많은 비용이 소요되지 않고, 장비의 상태를 모니터하기 위해 공정 지역과 서비스 지역을 자주 왕래하지 않아도 되므로, FAB내부의 먼지 발생률이 저하되어 이에 따라 웨이퍼의 수율 또한 향상시키는 효과가 있다.As described above, the monitoring device of the present invention does not need to attach a separate computer and communication equipment, and thus does not require much cost, and does not need to frequently travel between the process area and the service area to monitor the state of the equipment. The dust generation rate is lowered, thereby improving the yield of the wafer.

Claims

A power supply unit supplying power to the peripheral device unit and the distribution unit; A distribution unit for distributing signals input and output from the equipment to the equipment operating computer; And a peripheral device configured to output a signal output from the equipment through the distribution unit or input a user's control signal to the equipment.

According to claim 1, wherein the distribution unit is configured so that signals input and output to the monitor, keyboard, etc. of the equipment operating computer is connected in parallel, and if there are a lot of peripheral devices to be monitored so as to distribute the main distribution unit and a plurality of sub distribution unit. A monitoring device, characterized in that configured.