KR19990076218A - Semiconductor manufacturing facility monitoring system - Google Patents
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Abstract
반도체 장치가 제조되는 공장에 설치되어 있는 각각의 설비들의 상태를 통신망을 통해 인가되는 신호에 의해 파악하여 이를 입체적인 화면에 나타내어 모니터링이 이루어지도록 하는 반도체 제조설비 모니터링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor manufacturing facility monitoring system that monitors a state of each facility installed in a factory where a semiconductor device is manufactured by a signal applied through a communication network and displays the result on a three-dimensional screen.
본 발명은, 반도체 장치 제조를 위해 통신망에 접속된 각종 설비, 상기 통신망에 접속되어 상기 설비의 작동상태를 모니터링하는 서버(Server) 및 상기 통신망에 접속되어 상기 서버와 데이터 전송이 이루어지는 컴퓨터를 구비함으로써 상기 설비의 모니터링이 이루어진다.The present invention provides a variety of equipment connected to a communication network for manufacturing a semiconductor device, a server connected to the communication network for monitoring an operation state of the facility, and a computer connected to the communication network to perform data transmission with the server. The installation is monitored.
따라서, 본 발명에 의하면 통신망에 접속되어 있는 각종 설비들의 데이터를 서버에 구축되어 있는 입체영상에 매치하여 설비의 상태를 정확히 파악할 수 있고, 클라이언트 컴퓨터의 데이터 요구에 의한 모니터링을 수행하는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, data of various equipments connected to the communication network can be matched to stereoscopic images constructed on the server, so that the status of the equipments can be accurately identified, and monitoring by the data request of the client computer can be performed.
Description
본 발명은 반도체 제조설비 모니터링 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 장치가 제조되는 공장에 설치되어 있는 각각의 설비들의 상태를 통신망을 통해 인가되는 신호에 의해 파악하여 이를 입체적인 화면에 나타내어 모니터링이 이루어지도록 하는 반도체 제조설비 모니터링 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor manufacturing equipment monitoring system, and more particularly, to monitor the status of each equipment installed in a factory where a semiconductor device is manufactured by a signal applied through a communication network and to display it on a three-dimensional screen. The present invention relates to a semiconductor manufacturing facility monitoring system.
각종 생산기기들의 관리가 사람에 의해 현장에서 이루어지는 것에서 이제는 생산성 향상이 기업의 중요한 정책으로 채택되었고, 이는 경쟁사와의 경쟁력을 다투는 데 있어서 중요한 요소로 등장하였다. 이러한 관점에서 공장자동화가 절실히 요구되고, 실제 이를 채택함으로써 생산성 향상의 효과를 거두었다.In the field management of various production equipments, productivity improvement is now adopted as an important corporate policy, which has emerged as an important factor in competing with competitors. From this point of view, factory automation is urgently needed, and by adopting it, productivity has been improved.
반도체 장치를 제조하는 공장에는 각각의 서로 다른 종류의 제조설비들이 설치되어 사용되고, 공장자동화의 일환으로 각각의 제조설비들을 통신망을 통해 하나의 모니터링 시스템에 연결하여 설비를 모니터링하고 있다.In a factory manufacturing semiconductor devices, different types of manufacturing facilities are installed and used, and as part of factory automation, each facility is connected to a monitoring system through a communication network to monitor the facilities.
종래의 모니터링 시스템은 도1에서 보는 바와 같이 각종 설비(10)들이 랜(12)과 같은 통신망을 통해 서버(14)에 연결되어 있다. 서버(14)에는 데이터베이스(16)를 구비하고 있고, 클라이언트 컴퓨터(18)(Client Computer)가 연결되어 있다.In the conventional monitoring system, as shown in FIG. 1, various facilities 10 are connected to the server 14 through a communication network such as a LAN 12. The server 14 is provided with a database 16, and a client computer 18 (Client Computer) is connected.
이와 같이 구성된 종래의 모니터링 시스템은 각종 설비(10)들로부터 데이터가 랜(12)을 통해 서버(14)에 입력된다. 이렇게 입력된 데이터들은 분석되어서 이상이 발생되면 경보를 발생하고, 발생원인을 파악하는 자료로서 활용된다. 그리고, 이렇게 발생된 데이터는 데이터베이스(16)에 저장되고, 필요시 클라이언트 컴퓨터(18)에 결과를 통보하는 방식으로 데이터를 전송하였다.In the conventional monitoring system configured as described above, data from various facilities 10 is input to the server 14 through the LAN 12. The inputted data is analyzed to generate an alarm when an abnormality occurs and to be used as data to identify the cause of occurrence. The data thus generated is stored in the database 16, and the data is transmitted in such a manner as to notify the client computer 18 of the result if necessary.
전술한 방식은 클라이언트 컴퓨터(18)의 요구가 있어서 요구하는 풀(Pul)방식이 아닌, 서버(14)의 필요시 데이터를 전송하는 푸시(Push)방식으로 이루어졌다고 말할 수 있다. 이렇게 시스템이 이루어지면 클라이언트 컴퓨터(18)에 많은 부하 및 다기능을 요구하게 되고, 클라이언트 컴퓨터(18)의 개발 및 유지보수에 많은 비용이 필요하게 된다.It can be said that the above-described method is not a pull method requested by the client computer 18 but a push method of transmitting data when the server 14 needs it. This system requires a lot of load and versatility on the client computer 18, a large cost is required for the development and maintenance of the client computer 18.
그리고, 종래의 서버(14)의 모니터상에 디스플레이되는 설비(10)들의 배치가 평면적인 구조로 형성되어서 설비(10)의 이상이 발생되면 설비(10)의 어느 부분에서 이상이 발생되었는지를 파악하지 못하여 쉽게 이상파악을 할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, the arrangement of the facilities 10 displayed on the monitor of the conventional server 14 is formed in a flat structure, and when an abnormality of the facility 10 occurs, it is determined which part of the facility 10 is abnormal. There was a problem that could not be easily identified abnormal.
따라서, 종래에는 전술한 바와 같이 클라이언트 컴퓨터(18)의 요구로 데이터 전송이 이루어지지 않았고, 모니터상에 디스플레이되는 설비(10)의 환경이 평면적으로 이루어져서 상태를 파악하는데 불편함이 있는 등의 문제점이 있었다.Therefore, in the related art, data transmission is not made at the request of the client computer 18 as described above, and the environment of the facility 10 displayed on the monitor is made flat so that it is inconvenient to grasp the state. there was.
본 발명의 목적은, 반도체 장치를 제조하는 공장에 설치되어 있는 각종 설비들의 상태를 통신망을 통한 신호를 인가받아서 입체적으로 파악할 수 있는 시스템을 구축하는 반도체 제조설비 모니터링 시스템을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor manufacturing facility monitoring system for constructing a system capable of three-dimensionally grasping the state of various facilities installed in a factory for manufacturing a semiconductor device by receiving a signal through a communication network.
도1은 종래의 반도체 제조설비 모니터링 시스템을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a conventional semiconductor manufacturing equipment monitoring system.
도2는 본 발명에 따른 반도체 제조설비 모니터링 시스템의 실시예를 나타내는 도면이다.2 is a view showing an embodiment of a semiconductor manufacturing facility monitoring system according to the present invention.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
10, 20 : 설비 12, 22 : 랜(LAN)10, 20: facilities 12, 22: LAN
14, 24 : 서버(Server) 16, 28 : 데이터베이스14, 24: Server 16, 28: Database
18, 26 : 클라이언트 컴퓨터 30 : 파일세트(File Set)18, 26: Client computer 30: File Set
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비 모니터링 시스템은, 반도체 장치 제조를 위해 통신망에 접속된 각종 설비, 상기 통신망에 접속되어 상기 설비의 작동상태를 모니터링하는 서버(Server) 및 상기 통신망에 접속되어 상기 서버와 데이터 전송이 이루어지는 컴퓨터를 구비함으로써 상기 설비의 모니터링이 이루어진다.The semiconductor manufacturing facility monitoring system according to the present invention for achieving the above object is a variety of equipment connected to a communication network for manufacturing a semiconductor device, a server (Server) connected to the communication network to monitor the operating state of the equipment and the communication network Monitoring of the facility is achieved by having a computer connected and data transfer with the server.
그리고, 상기 통신망은 랜(LAN)으로 이루어질 수 있다.The communication network may be a LAN.
또한, 상기 서버는 데이터베이스를 구비하고, 상기 설비의 설치위치를 입체적으로 나타내는 프로그램이 설치됨이 바람직하다.In addition, the server is provided with a database, it is preferable that a program that shows the installation position of the facility in three dimensions.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 실시예는 도2에 의하면, 각종 설비(20)들이 랜(22)을 통해 서버(24)와 접속하고, 서버(24)는 데이터베이스(28)를 구비하고 있다. 랜(22)에는 클라이언트 컴퓨터(26)가 접속되어 있어서 서버(24)와 데이터 교환이 가능하다.According to the embodiment of the present invention according to FIG. 2, various facilities 20 are connected to the server 24 via the LAN 22, and the server 24 is provided with a database 28. The client computer 26 is connected to the LAN 22 so that data can be exchanged with the server 24.
그리고, 서버(24)는 입체영상을 제공하는 파일세트(30)가 제공되도록 구성되어 있다.In addition, the server 24 is configured to provide a file set 30 for providing a stereoscopic image.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예는 설비(20)로부터 각종 데이터가 랜(22)을 통해 서버(24)에 전송되면 서버(24)는 상기 데이터를 처리하여 입체영상으로 구체화하고, 이렇게 처리된 데이터는 데이터베이스(28)에 저장한다. 그리고, 클라이언트 컴퓨터(26)의 데이터 요구가 있으면 서버(24)는 해당되는 데이터를 랜(22)을 통해 전송하여 이루어진다.In the embodiment according to the present invention configured as described above, when various data from the facility 20 is transmitted to the server 24 through the LAN 22, the server 24 processes the data to embody a stereoscopic image, and thus The processed data is stored in the database 28. If there is a data request from the client computer 26, the server 24 transmits the corresponding data through the LAN 22.
구체적으로 서버(24)는 파일세트(30)에 저장되어 있는 파일을 통해 삼차원의 입체영상을 디스플레이할 수 있다. 파일세트(30)에는 입체영상을 지원하는 가상현실 모델링언어(Virtual Reality Modeling Language, 이하 'VRML'이라 함)가 구비되어 있고, 서버(24)에 VRML이 설치된다. VRML을 통해 소정 설비(20)의 위치, 크기, 색상 등의 데이터를 입체적으로 모니터링할 수 있다. 그리고, VRML의 요소에 대응하는 데이터를 입력하여 일대일로 매칭(Matching)시킨다.In detail, the server 24 may display a 3D stereoscopic image through a file stored in the file set 30. The file set 30 is provided with a virtual reality modeling language (hereinafter referred to as 'VRML') supporting stereoscopic images, and the VRML is installed in the server 24. Through VRML, data such as location, size, color, etc. of a predetermined facility 20 may be monitored in three dimensions. Then, data corresponding to the VRML element is input to match one-to-one.
이렇게 구축된 서버(24)에 각종 설비(20)들로부터 데이터가 전송되면 데이터는 각각의 해당 설비(20)에 대응되게 처리되어 모니터링된다. 작업자는 원하는 설비(20)의 모니터링 데이터를 보고자하면 입체공간으로 구현되어 있는 설비(20)의 해당요소에 대한 데이터를 볼 수 있다. 그리고 해당요소의 세부적인 데이터를 원할 경우 그에 따른 조작을 통해 자세한 데이터를 파악할 수 있다.When data is transmitted from the various facilities 20 to the server 24 thus constructed, the data is processed and monitored corresponding to each corresponding facility 20. If the worker wants to see the monitoring data of the desired facility 20, the operator can see the data for the corresponding element of the facility 20 implemented in the three-dimensional space. And if you want detailed data of the corresponding element, you can grasp detailed data through the manipulation accordingly.
클라이언트 컴퓨터(26)로부터 서버(24)에 데이터를 요구하면 서버(24)는 즉시 이를 파악하여 클라이언트 컴퓨터(26)에 데이터를 전송한다. 전송된 데이터를 파악하여 클라이언트 컴퓨터(26)에서도 각종 설비(20)를 모니터링할 수 있다.When the client computer 26 requests data from the server 24, the server 24 immediately recognizes the data and transmits the data to the client computer 26. By grasping the transmitted data, the client computer 26 can also monitor various facilities 20.
또한 랜(22)에 접속되어 있는 다른 시스템이 범용 웹브라우저(Web Brower)를 구비하면 서버(24)에 저장된 데이터를 다운로드(Download)하여 설비(20)를 원거리에서도 모니터링할 수 있다.In addition, if another system connected to the LAN 22 includes a general-purpose web browser, data stored in the server 24 can be downloaded to monitor the facility 20 remotely.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면, 통신망에 접속되어 있는 서버(24)에 입체영상을 구현함으로써 설비(20)의 상태를 쉽게 파악할 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, it is possible to easily grasp the state of the facility 20 by implementing the stereoscopic image in the server 24 connected to the communication network.
따라서, 본 발명에 의하면 통신망에 접속되어 있는 각종 설비들의 데이터를 서버에 구축되어 있는 입체영상에 매치하여 설비의 상태를 정확히 파악할 수 있고, 클라이언트 컴퓨터의 데이터 요구에 의한 모니터링을 수행하는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, data of various equipments connected to the communication network can be matched to stereoscopic images constructed on the server, so that the status of the equipments can be accurately identified, and monitoring by the data request of the client computer can be performed.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980010976A KR19990076218A (en) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | Semiconductor manufacturing facility monitoring system |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019980010976A KR19990076218A (en) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | Semiconductor manufacturing facility monitoring system |
Publications (1)
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| KR19990076218A true KR19990076218A (en) | 1999-10-15 |
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Family Applications (1)
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| KR1019980010976A KR19990076218A (en) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | Semiconductor manufacturing facility monitoring system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990076218A (en) |
Cited By (3)
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1998
- 1998-03-30 KR KR1019980010976A patent/KR19990076218A/en not_active Application Discontinuation
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