KR19990074522A - 베타-케토 에스테르 또는 아미드 리간드를 이용한 강유전체 비에스티 박막제조용 선구물질 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고유전율 특성을 이용한 기가급 DRAM (Dynamic Random Access Memory) 의 커패시터의 제조에 사용되는 강유전체인 BaxSr1-xTiO3 (BST) 박막 제조용 선구물질에 관한 것이다. 선구물질로서 새로운 형태의 디케토 에스테르(diketoester) 및 아미드(amide) 리간드를 이용하여 BST 박막 제조용 물질을 합성하였다.특히 Ba 과 Sr 화합물의 경우 다양한 N, ○ - 전자 주개 리간드를 같이 이용하여 휘발성이 좋은 단량체 구조의 화합물을 합성하였다.

Description

베타-케토 에스테르 또는 아미드 리간드를 이용한 강유전체 비에스티 박막제조용 선구물질
본 발명은 고유전율 특성을 이용한 기가급 DRAM (Dynamic Random Access Memory) 의 커패시터의 제조에 사용되는 강유전체인 BaxSr1-xTiO3 (BST) 박막 제조용 선구물질에 관한 것이다. 보다 상세히 설명하면, 본 발명은 β-케토 에스테르(keto ester)와 아미드(amide) 그리고 β-디케토 에스테르(diketo ester)와 아미드(amide)에 다양한 N,O - 전자 주개 리간드를 Ba, Sr 금속과 반응 시켜 Ba 과 Sr 선구물질의 합성에 관한 것이다. 또한 β-케토 에스테르 및 아미드 그리고 β-디케토 에스테르와 아미드를 Ti(OiPr)4 에 반응시켜 Ti 선구물질에 관한 것이다.
고유전율을 가지는 강유전체로는 PbTiO3 (PTO), PbZr1-xTixO3 (PZT), Ba1-xSrxTiO3 (BST), LiNbO3 등이 있는데, 이들은 모두 페로브스카이트 형의 구조를 갖고 있다.이러한 강유전체를 이용하여 제조된 박막은 유전성·절연성·압전성·초전성·의특성을 바탕으로 압전소자, 전자 광학 소자, 적외선 검출 소자, 세라믹 콘덴서 등의 폭넓은 분야에서 실용화되고 있다. 특히 고유전율 특성을 이용한 기가급 DRAM(Dynamic Random Access Memory) 의 커패시터의 제조에 사용되는 강유전체로는 실용온도 범위에서 유전율이 높고, 유전 손실이 작으며, 고주파수 (> 100 MHz) 까지 유전율이 분산되지 않는 BST 박막이 가장 적합한 것으로 알려져 있다.
BST 박막의 제조는 주로 스퍼터링 법과 졸-겔 법을 중심으로 연구되어져 왔다.그러나 스퍼터링 법은 증착과정에서 고에너지 이온 충돌로 인한 박막에 손상을 주게 되고 단계 덮임율 (step coverage) 이 나쁘고 조성 조절이 어렵다는 단점을 가지고 있으며, 졸-겔 법은 기존의 반도체 제조 공정과 잘 부합되지 않고 박막이 비교적 치밀하지 못하여 양질의 박막을 제조하는데 어려움이 있다(Q. Linker, O.Meyer, Appl. Phys. Lett. 1989, 54, 2367)고 알려져 있는데 이러한 문제점을 극복할수 있는 방안으로 유기금속 화합물을 선구물질로 이용한 OMCVD (Organometallic Chemica| Vapor Deposition ) 법이 주목을 받고 있다. 이 방법은 단계 덮임율이 우수하고 조성 조절이 가능하며, 생산성이 좋아 가장 적합한 증착 방법으로 받아 들여지고 있다 (R. Sato, K. Takahashi, M. Yoshino, H. Kato, S. Ohshima, Jpn. J. Appl. Phys. 1993, 32, 1590). 따라서 좋은 박막을 개발하는데 있어 선구물질의 선정 혹은 개발은 필수적이다.
OMCVD 법에 의한 박막 제조에 적합한 선구물질은 첫째 낮은 온도에서도 높은 증기압이 유지되어야 하고, 둘째 기화되는 온도와 분해되는 온도 사이의 차이가 커야 하고, 셋째 액체상태이어야 하고, 넷째 선구물질의 유기물이 박막에 잔재하지 않아야 하고, 다섯째 공기 중에서의 안정성이 있어야 하고, 여섯째 무독성이어야하는 등의 특성이 요구된다.
최근에 발표된 강유전체 BST 박막용 선구물질에 있어 β-디케토네이트 리간드를 갖는 M(RC(O)CHC(O)R′)2 의 형태의 화합물이 가장 적합한 것으로 알려져 있는데 β-Diketonate 리간드를 이용한 예로는 M(tmhd)2(tmhd:R=R′=tBu) 의 형태의 화합물들이 대표적이며 비교적 높은 증기압을 보여준다 (A. A. Drozdov, S.I.Trojanov, Polyhedron 1992, 11, 2877). Ba(tmhd)2 은 사핵체 결정 구조를 갖는 화합물로 공기중에 놓이게 되면 가수분해가 일어나 안정성면에서 문제점을 가지고있고, Ba(tmhd)2 를 선구물질로 사용할 때는 20O ℃ 이상의 기화 온도가 필요하며, 기기 전체가 전체적으로 250。C 로 유지되어야 한다. 이때 선구물질 자체가 분해되기 때문에 비휘발성 물질이 생기며 박막의 Ba 농도가 감소하게 된다 (R. E.Sievers,Inorg. Chem. 1991, 30, 1164).
선구물질이 높은 증기압을 갖기 위해서는 단량체의 구조를 지녀야 하는데, Ba과 Sr 의 β-diketonate 화합물은 일반적으로 배위수가 4 로 불포화되어 있어 보통 배위수가 8∼12 를 만족하도록 뭉치 화합물을 형성한다 (Simon. R. Drake, Michael B. Hursthouse, K. M. Abdul Malik, and David J. Otway, J. Chem. Soc. Dalton Trans. 1993, 2883). 단량체로 만들기 위한 방법으로는 전자 주개의 또다른 리간드와 착화합물을 이루게 하면 배위수를 만족시킴으로써 목적을 달성할 수 있으며 증기압도 높일 수 있다 (G. Ma1andrino, D. S. Richeson, Tobin J. Marks, D. C. Degroot, C. R. Kannewurf, Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 182). 다른 방법으로는 보다 큰 리간드, 예를 들면 메틸(Me)기 대신 부틸 (tBu) 기를 사용하여 중심 금속 이온을 효과적으로 선별함으로써 화합물의 뭉침을 막으며 증기압을 높일 수 있다(G. S. Hammond, D. C. Nonhebel,Inorg. Chem. 1963, 2, 73). 또한 불화 β-디케토네이트(fluorinated β-diketonate) 리간드는 전기음성도가 큰 불소(fluorine)의 반발력으로 인하여 분자간 인력을 줄여 줌으로써 높은 증기압을 얻을 수 있다 (H. Sato, S.Sugawara, Inorg. Chem. 1993, 32 , 1941).
먼저 전자 주개 리간드들과 착화합물을 이루게 하면 사핵체나 삼핵체 등의 뭉치 화합물을 분리하여 단량체로 만들 수 있다. 즉 NH3 , NMe3, NEt3,Pyridine NH2CH2CH2NH2,Me2NCH2CH2NMe2, THF, CH3O(CH2CH2O)nCH3(n = 1 ~ 4 )등과 같은 N,O - 전자 주개 리간드 들과 Ba(tmhd)2의 착화합물은 Ba 선구물질로서 열적인 안정성이나 휘발성의 향상에 도움을 주고 낮은 기화 온도에서도 일정하게 높은 증기압을 얻을 수 있다 (D. W. Gardiner, Brown and P.S. Kirlin, Chem. Mater 1991, 3, 1053).
Fluorinated β-diketonate 로는 M(hfac)2(R=R′=CF3) 나 M(hfod)2(R′=C3F7;R″=tBu) 등이 알려져 있고 높은 증기압을 나타낸다 (J. A. Belot, D. A.Neumayer, C. J. Reedy, D. B. Strudebaker, B. J. Hinds, Tobin J. Marks, Chem.Mater. 1997,9,1638). 이들 화합물들은 보통 0.l Torr 에서 200 。C 조건하에 승화가 일어난다. 물론 이들 화합물들도 사핵체 등과 같은 뭉치 화합물 구조를 형성한다고 알려져 있는데, 폴리에테르(polyether)를 이용하여 열적으로 안정한 단량체 화합물을 합성한 예도 보고되어 있다 (J. A. Norman, G. P. Pez, J. Chem. Soc. Chem. Commun 1991). 이들의 형태는 Ba(hfac)2·L,Sr(hfac)2·L (L = triglyme, tetraglyme, hexaglyme, 18-crown-6) 로서 지금까지 알려진 Ba 과 Sr 선구물질 중 가장 높은 휘발성을 보여 준다. 그러나 박막의 불소 오염이 문제가 되며 재 열처리(post annealing) 작업이 필요한 문제점이 있다.
Ti 화합물의 경우 Ti alkoxide 가 가장 좋은 선구물질로 알려져 있는데 그 중에서 Ti(OiPr)4 는 액체이고 증기압, 안정성 등의 물리적 성질도 매우 좋아 Ti 선구물질로 널리 사용되고 있다 (W. R. Russo, W. H. Nelson, J. Am. Chem. Soc. 1970, 92,1521). 그러나 Ti(OiPr)4 가 Ba 과 Sr 선구물질에 비해 높은 증기압 변화를 보이기 때문에, BST 박막 제조시 정량 조절의 어려움이 문제가 되었다.따라서 증기압 변화를 Ba 과 Sr 선구물질과 비슷한 정도로 조절한 Ti(OiPr)2(tmhd)2 선구물질이 최근에 보고된 바 있다.(R. C. Fay, A. F. Lindmark, J.Am Chem. Soc. 1983, 10, 5, 2118) 또한 USP 5,248,787호에서는 BST박막 제조용 선구물질로서 현재 가장 많이 연구되고 있는 β-디케토네이트 리간드와 O-전자 주개 리간드를 이용하여 Ba, Sr선구물질을 합성한 바 있다.
본 발명의 기술적 과제는 불소가 없고 공기중에서 안정하며 낮은 온도에서도 높은 증기압을 갖는 단량체 구조의 β-diketonated BST 선구물질의 화합물 합성에 있다.
이는 알킬(alkyl) 대신 알콕시(alkoxy)가 치환된 β-diketo ester 나 아민(amine)이 치환된 β-diketo amide 형태의 리간드를 다양한 전자 주개 리간드와 함께 사용함으로써 얻을 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위해서 β-keto ester 및 amide 그리고 β-diketo ester 및 amide 와 다양한 N, O - 전자 주개 리간드를 Ba, Sr 금속과 반응시켜 BST 선구물질을 합성하였다. Ti 선구물질의 경우 β-keto ester 및 amide 그리고 β-diketo ester 및 amide 리간드와 Ti(OiPr)4 (IV) 를 반응시켜 합성하였다.
본 발명에서는 새로운 형태의 BST 박막용 선구물질을 합성하기 위하여 β-keto ester 및 amide 와 N, O - 전자 주개 리간드 (triamine, triglyme, tetramine, tetraglyme) 를 이용하였다.β-Diketo ester 는 기존의 알려진 선구물질 중 가장 우수한 조건을 가지는 리간드인 β-diketonate 의 구조와 유사하다. 즉 β-diketonate와 같이 β 위치에 2 개의 카보닐(carbonyl) 기를 가지고 있고, alkyl 대신 alkoxy 기가 치환되어 있는 구조이고,β-diketo amide 는 alky1 대신 amine 이 치환된 구조로 alkoxy 기와 amine 은 carbonyl 기에 전자를 주어 금속과 결합을 하는 산소의 전자 밀도를 증가시켜 화합물을 안정화시킬 수 있다. 그리고 N, O - 전자 주개 리간드는 Ba, Sr 금속 이온의 배위수를 만족시켜주므로 화합물의 뭉침을 줄일 수있다. 화합물의 합성은 일반적인 ML2(M=Sr,Ba) 의 합성 방법 (식 (1))을 이용(A.A. Drozdov, S.I. Trojanov, Polyhedron 1992, 11, 2877)하였고, 모든 화합물은 재결정법을 사용하여 순수한 선구물질을 얻었다.
본 발명을 다음의 실시예에서 보다 상세히 설명한다. 단, 이들 실시예에 의하여 본발명의 범위가 국한 되는 것은 아니다.
[실시예 1]
실시예에서 사용한 물질들의 약어는 다음과 같다.
[Ba(EBAc)2]3 의 합성
Ba (0.783 g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 HEBAc (1.805 g, 11.40 mmo1) 를 천천히 더하여 상온에서 24 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Bametal 이 점점 녹으면서 H2 로 예상되는 기체가 발생한다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 진공으로 용매를 제거하고 toluene/hexane 에서 재결정 하여 (4 ℃ ) 무색의 결정체인 [Ba(EBAc)2]3 를 0.925 g (72 %) 얻었다. 분석 결과를 아래에 나타내었다.
[실시예 2]
Ba(EBAc)2(triamine) 의 합성
Ba[0.980 g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 triamine (0.988 g, 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HEBAc (1.805 g, 11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 48 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Ba 금속이 점점 녹으면서 H2 로생각되는 기체가 발생되며 반응 후 2 ∼ 3 시간이 지나면 흰색 고체가 침전된다.반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거하고 pentane 에서 재결정하여 무색의 결정체인 Ba(EBAc)2(triamine) 를 2.46 g (69%) 얻었다.
[실시예 3]
Ba(EBAc)2(tetramine) 의 합성
Ba (0.783 g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 tetramine (1.314 g, 5.70mmol 을 상온에서 가한 뒤 HEBAc (1.805 g,11.40 mmol) 을 천천히 더하여 상온에서 72시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Ba metal 이 점점 녹으면서 H2 로생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거하고 pentane 에서 재결정 하여 (4 。C) 무색의 결정체인 Ba(EBAc)2(tetramine) 를 2.066 g (53 %) 얻었다.
[실시예 4]
Ba(EBAc)2(triglyme) 의 합성
Ba (0.783 g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 triglyme (1.016 g, 5.7Ommol) 을 상온에서 가한 뒤 HEBAc (1.805 g, 11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 20 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Ba 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음 용매를 진공으로 제거하여 노란색 oil인 Ba(EBAc)2(triglyme) 을 정량적으로 얻을 수 있었다.
[실시예 5]
Ba(EBAc)2(tetraglyme) 의 합성
Ba (0.783 g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 tetraglyme (1.266 g, 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HEBAC (1.805 g, 11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 72 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Ba 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거 하고 pentane 에서 재결정 하여(-25 。C) 무색의 결정체인
Ba(EBAc)2(tetraglyme) 를 3.740 g (96%) 얻었다.
[실시예 6]
Ba(BAAc)2(triglyme) 의 합성
Ba (0.783 g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 triglyme (1.016 g,5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HBAAc (1.805 g, 11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 48 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Ba 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거하여 노란색 oil인 Ba(BAAc)2(triglyme) 을 정량적으로 얻을 수 있었다.
[실시예 7]
Ba(BAAc)2(tetramine) 의 합성
Ba (0.783 g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 tetramine (1.314 g, 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HBAAc (1.805 g, 11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 48 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Ba 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거하고 pentane 에서 재결정 하여 무색의 결정체인 Ba(BAAc)2(tetramine) 를 2.944g (76%) 얻었다.
[실시예 8]
[Sr(EBAc)2]3 의 합성
Sr (0.50O g, 5.70 mmol) 의 to1uene (20.0 mL) 용액에 HEBAc (1.805 g, 11.40mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 24 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Sr metal 이 점점 녹으면서 H2 로 예상되는 기체가 발생한다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 진공으로 용매를 제거하고 toluene/hexane 에서 재결정 하여 무색의 결정체인 [Sr(EBAc)2]3 를 1.601 g (69 %) 얻었다.
[실시예 9]
Sr(EBAc)2(triamine) 의 합성
Sr (0.50O g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 triamine (0.988 g. 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HEBAc (1.805 g,11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 24 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Sr 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거하고 pentane 에서 재결정 하여 무색의 결정체인 Sr(EBAc)2(triamine) 를 2.160g(78%) 얻었다.
[실시예 10]
Sr(EBAc)2(tetramine) 의 합성
Sr (0.50O g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 tetramine (1.314 g, 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HEBAc (1.805 g, 11.40 mmol) 을 천천히 더하여 상온에서 72 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Sr 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거하고 pentane 에서 재결정 하여 (4 。C) 무색의 결정체인 Sr(EBAc)2(tetramine) 를 2.523 g (70%) 얻었다.
[실시예 11]
Sr(EBAc)2(triglyme) 의 합성
Sr (0.500 g, 5.70 mmol) 의 toluene(20.0 mL) 용액에 triglyme (1.016 g, 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HEBAc (1.805 g,11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 1O 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Sr 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음 용매를 진공으로 제거하고, pentane 에서 재결정 하여 흰색 고체 화합물인
Sr(EBAc)2(triglyme) 을 2.07 g (63%) 얻었다.
[실시예 12]
Sr(EBAc)2(tetraglyme) 의 합성
Sr (0.50O g,5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 tetraglyme (1.266 g, 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HEBAc (1.805 g,11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 48 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행 되면 Sr 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거 하고 pentane/toluene에서 재결정 시키면 무색 의 결 정 체 인
Sr(EBAc)2(tetraglyme) 를 2.330 g (65%) 얻었다.
[실시예 13]
Sr(BAAc)2(triglyme) 의 합성
Sr (0.50O g, 5.70 mmol) 의 toluene (20.0 mL) 용액에 triglyme (1.016 g, 5.70 mmol)을 상온에서 가한 뒤 HBAAc (1.805 g, 11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 30시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Sr 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거한 후,toluene 에서 재결정 하여 흰색 고체 화합물인 Sr(BAAc)2(triglyme) 을 2.07 g (63%)얻었다.
[실시예 14]
Sr(BAAc)2(tetramine) 의 합성
Sr (0.50O g, 5.70 mmol) 의 to1uene (20.0 mL) 용액에 tetramine (1.314 g, 5.70mmol) 을 상온에서 가한 뒤 HBAAc (1.805 g,11.40 mmol) 를 천천히 더하여 상온에서 48 시간 동안 반응시킨다. 반응이 진행되면 Sr 금속이 점점 녹으면서 H2 로 생각되는 기체가 발생된다. 반응이 끝난 후 용액을 거른 다음, 용매를 진공으로 제거하고 hexane 에서 재결정 하여 무색의 결정체인 Sr(BAAc)2(tetramine) 를 2.010 g(55%) 얻었다.
[실시예 15]
Ti(OiPr)2(EBAc)2 의 합성
Ti(OiPr)4 (1.00O g, 3.51 mmol) 의 pentane (20.0 mL) 용액에 HEBAc (1.113 g, 7.03mmol) 를 상온에서 천천히 더한 다음 2 시간 동안 반응시킨다. 반응이 끝난 투명한 용액을 진공으로 용매를 제거하면 오렌지색 액체 화합물이 생성된다. 이 액체화합물을 진공 증류 (70℃,10-3Torr) 하여 엷은 노란색 액체 화합물인 Ti(OiPr)2(EBAc)2 을 0.823 g (49%) 얻었다.
[실시예 16]
Ti(OiPr)2(BAAc)2 의 합성
Ti(OiPr)4 (1.00O g, 3.51 mmol) 의 pentane (20.0 mL) 용액에 HBAAc (1.113 g, 7.03mmol) 를 상온에서 천천히 더한 다음 2 시간 동안 반응시킨다. 반응이 끝난 후 진공으로 용매를 제거하면 흰색 고체 화합물을 얻을 수 있으며, 다시 이 화합물을 승화 (70℃,10-3Torr) 시켜 흰색 고체 화합물인 Ti(OiPr)2(BAAc)2 을 1.098 g (65%) 얻었다.
본 발명에서는 β-keto ester 및 amide 그리고 β-diketo ester 및 amide 와 다양한 N, O - 전자 주개 리간드를 Ba, Sr 금속과 반응시켜 Ba 및 Sr 선구물질을 합성하였다. 또한 β-keto ester 및 amide 그리고 β-diketo ester 및 amide 리간드와 Ti(OiPr)4 (IV) 를 반응시켜 Ti 선구물질을 합성하였다. 이와 같이 본 발명에서는 근래에 유기금속화학증착법 (MOCVD) 방법에 의한 고유전체 BST 박막의 제조에 사용되는 β-diketonate 화합물을 대체 가능한 여러 형태의 BST 박막 제조용 선구물질을 합성할 수 있었다. 이 화합물들은 휘발성이 좋을 뿐만 아니라 기존의 β-diketonate 화합물에 비해 공기중에서 안정하고 다루기가 쉬운 장점이 있으므로 이러한 선구물질들을 이용한 박막의 증착이 확립된다면 차세대 Giga 급 DRAM 의 제조에 커다란 기여를 할 것으로 기대된다.

Claims (12)

  1. β-케토 에스테르 (β-keto ester)를 이용하여 합성한 일반식 [Ⅰ]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(RC(O)CHC(O)OR′)2………………[Ⅰ]
    (상기식에서 M은 Ba 또는 Sr이고, R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이다).
  2. β-케토 아미드 (β-keto amide)를 이용하여 합성한 일반식 [Ⅱ]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(RC(O)CHC(O)NR′2)2………………[Ⅱ]
    (상기식에서 M은 Ba 또는 Sr이고, R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이다).
  3. β-디케토 에스테르 (β-diketo ester)를 이용하여 합성한 일반식 [Ⅲ]으로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(ROC(O)CHC(O)OR′)2………………[Ⅲ]
    (상기식에서 M은 Ba 또는 Sr이고, R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이다).
  4. β-디케 토아미드 (β-diketo amide)를 이용하여 합성한 일반식 [Ⅳ]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(R2NC(O)CHC(O)NR′2)2………………[Ⅳ]
    (상기식에서 M은 Ba 또는 Sr이고, R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그릅이다).
  5. β-케토 에스테르 (β-keto ester)와 N, O - 전자 주개 리간드 (L) 를 이용하여 합성한 일반식 [V]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(RC(O)CHC(O)OR′)2·L………………[Ⅴ]
    (상기식에서 M은 Ba 또는 Sr, R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이고 L은 (CH3)2N(CH2CH2N)n(CH3)2 의 구조를 갖는 n이 1-4인 아민 (amine) 과 CH3O(CH2CH2O)nCH3 의 구조를 갖는 n이 1-4인 글리콜에테르 (glycol ether)이다)
  6. β-케토아미드 (β-keto amide)와 N, O - 전자 주개 리간드 (L) 를 이용하여 합성한 일반식 [Ⅵ]으로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(RC(O)CHC(O)NR′2)2·L………………[Ⅵ]
    상기식에서 M은 Ba 또는 Sr, R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이고 L은 (CH3)2N(CH2CH2N)n(CH3)2 의 구조를 갖는 n이 1-4인 아민 (amine) 과 CH3O(CH2CH2O)nCH3 의 구조를 갖는 n이 1-4인 글리콜에테르 (glycol ether)이다)
  7. β-디케토에스테르 (β-diketo ester)와 N, O - 전자 주개 리간드 (L) 를 이용하여 합성한 일반식 [Ⅶ]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(ROC(O)CHC(O)OR′)2·L………………[Ⅶ]
    (상기식에서 M은 Ba 또는 Sr, R 과 R'은 탄소수 I-4인 알킬그룹이고 L은 (CH3)2N(CH2CH2N)n(CH3)2 의 구조를 갖는 n이 1-4인 아민(amine)과 CH3O(CH2CH2O)nCH3 의 구조를 갖는 n이 1-4인 글리콜에테르 (glycol ether)이다)
  8. β-디게토아미드 (β-diketo amide)와 N, O - 전자 주개 리간드 (L) 를 이용하여 합성한 일반식 [Ⅷ]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    M(R2NC(O)CHC(O)NR′2)2·L………………[Ⅷ]
    (상기식에서 M은 Ba 또는 Sr, R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이고 L은 (CH3)2N(CH2CH2N)n(CH3)2 의 구조를 갖는 n이 1-4인 아민(amine)과 CH3O(CH2CH2O)nCH3 의 구조를 갖는 n이 1-4인 글리콜에테르 (glycol ether)이다)
  9. β-케토 에스테르 (β-keto ester)와 Ti(OiPr)4 를 반응시켜 합성한 일반식 [Ⅸ]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    Ti(OiPr2(RC(O)CHC(O)OR′)2………………[Ⅸ]
    (상기식에서 R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이다)
  10. β-케토 아미드 (β-keto amide)와 Ti(OiPr)4 를 반응시켜 합성한 일반식 [X]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    Ti(OiPr2(RC(O)CHC(O)NR′2)2………………[Ⅹ]
    (상기식에서 R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이다)
  11. β-디케토 에스테르 (β-diketo ester)와 Ti(OiPr)4 를 반응시켜 합성한 일반식 [XI]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    Ti(OiPr2(ROC(O)CHC(O)OR′)2………………[ⅩI]
    (상기식에서 R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이다)
  12. β-디케토 아미드 (β-diketo amide)와 Ti(OiPr)4 를 반응시켜 합성한 일반식 [XII]로 표시되는 강유전체 BST 박막제조용 선구물질.
    Ti(OiPr2(R2NC(O)CHC(O)NR′2)2………………[ⅩII]
    (상기식에서 R 과 R'은 탄소수 1-4인 알킬그룹이다)
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