KR19990058165A

KR19990058165A - 반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법

Info

Publication number: KR19990058165A
Application number: KR1019970078252A
Authority: KR
Inventors: 김종환; 김창국
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-12-30
Filing date: 1997-12-30
Publication date: 1999-07-15

Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법에 관한 것으로, 각각의 공정설비에 각각 설치된 인터페이스 모듈이 각각의 공정설비로부터 발생하는 소정의 데이터를 호스트 컴퓨터에 전송하여 저장하고, 각각의 인터페이스 모듈에 관련 설치된 키패드가 인터페이스 모듈로부터 전송되는 소정의 데이터를 디스플레이하거나 작업자가 이 키패드를 통해 소정의 데이터를 호스트 컴퓨터로 전송하여 저장함으로서, 종래에 다수의 공정설비로 이루어진 설비군에 관련 설치된 하나의 단말기를 통해 작업자가 소정의 데이터를 입력함으로서 데이터의 정확한 입력 및 데이터의 신속한 처리가 이루어지지 않은 것을 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법

본 발명은 반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 데이터를 정확하고 신속하게 처리할 수 있도록 각각의 공정설비와 공정설비들에 각각 설치되어 있는 키패드로부터 발생되는 데이터를 입력받아 이를 데이터베이스에 저장할 수 있도록 한 반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조의 생산성 향상을 위한 개선 활동은 반도체 제조 라인내에서 발생하는 현장데이터에서부터 시작된다.

따라서, 현장데이터의 질과 양에 따라 생산성 향상을 위한 개선 활동의 결과는 엄청난 차이를 발생한다.

현재, 많은 캠 소프트웨어(CAM Software) 가운데 하나인 SFMS(semiconductor factory management system)를 이용한 데이터의 처리는 대부분이 작업자의 OLT(operator lever trnasaction) 터미널의 입력에 의존한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 제조 라인내에는 소정의 공정을 진행하는 공정설비들이 설치되어 있다.

이때, 다수의 공정설비(17)들이 하나의 설비군(15)으로 이루어져 있고, 설비군(15)내에는 공정설비(17)들에서 발생하는 소정의 데이터를 입력하는 단말기(16)가 설치되어 있으며, 이 단말기(16)는 각각의 공정설비(17)들과 더불어 호스트 컴퓨터(10)의 데이터 베이스에 연결되어 있다.

또한, 단말기(16)와 다수의 공정설비(17)들로 이루어진 설비군(15)에 대해서 한명의 작업자(18)가 배치되어 있으며, 이 작업자(18)는 설비군(15)의 공정설비(17)들에 대한 공정자재들을 공정설비에 로딩·언로딩하는 역할을 하거나, 단말기(16)를 이용하여 공정설비(17)에서 발생하는 소정의 데이터를 입력하는 역할 등을 비롯하여 그밖에 설비군(15)의 공정설비(17)들에 관련된 여러 가지 일을 수행한다.

이와 같이 배치된 반도체 제조 라인내에서 설비군내의 다수의 공정설비들로부터 발생하는 소정의 데이터들을 처리하는 과정을 보다 상세히 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 작업자(18)는 해당 설비군(15)내의 공정설비(17)들에 대한 공정자재들을 로딩한 다음 공정설비들을 구동시킨다.

그러면, 각각의 공정설비(17)들은 로딩된 공정자재들에 대해 기 설정된 프로그램에 따라 소정의 공정을 진행한다.

이때, 공정을 진행하는 공정설비(17)들 가운데 어느 하나로부터 일시적으로 작동정지되거나, 이 공정설비(17)를 재시작할 경우, 이에 대한 데이터를 작업자(18)가 일시적으로 기억한 다음 단말기(16)에 입력한다.

이때, 통상, 다수의 공정설비(17)들로 이루어진 설비군(15)에 하나의 단말기(16)가 배치되어 있기 때문에, 단말기(16)에 인접해 있는 공정설비(17)에서 일시적인 작동 정지가 발생할 경우, 작업자(18)는 단말기(16)에 공정설비의 일시적인 작동 정지에 관련된 데이터를 입력하지만, 단말기(16)로부터 보다 멀리 떨어진 곳에 배치되어 있는 공정설비가 일시적으로 작동 정지될 경우, 이에 대한 관련 데이터를 단말기(16)가 위치한 곳까지 이동하여 단말기(16)에 입력하거나, 작업자(18)가 로딩·언로딩의 작업으로 바뿐 관계로 단말기(16)에 데이터를 입력하지 않고 잠시 기억한 다음 차후 데이터를 일괄적으로 입력하였다.

그러나, 다수의 공정설비들로 이루어진 하나의 설비군에 대해 단말기가 하나 설치되어 있고, 작업자가 단말기로부터 떨어진 소정의 공정설비로부터 발생하는 소정의 데이터를 입력하기 위해서, 작업자는 단말기가 설치된 위치까지 이동한 다음 단말기에서 데이터를 입력함으로서 정보데이터의 신속한 처리가 저하되는 문제점이 있었다.

또한, 메인작업 등으로 바쁜 관계로 단말기에 입력하지 못하고 일시적으로 기억했던 데이터를 작업자가 추후에 일괄적으로 입력할 경우, 작업자의 부주의로 인해 기억하고 있던 데이터를 기억하지 못하거나 틀린 데이터를 입력함으로서 데이터의 정확성이 저하되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 공정설비에 관련된 소정의 정보데이터를 신속하고 정확하게 처리는데 있다.

도 1은 종래의 기술에 의한 반도체 제조 설비의 배치를 개략적으로 나타낸 배치도.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 배치를 개략적으로 나타낸 배치도.

이와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 작업자가 담당하는 다수의 공정설비로 이루어진 설비군으로부터 발생하는 데이터를 처리하는 반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법에 관한 것으로,

각각의 공정설비로부터 발생되는 공정설비 가동상태 데이터를 페치하여 호스트 컴퓨터에 전송하는 단계와, 전송된 공정설비 가동상태 데이터가 입력되었는지를 판단하는 단계, 공정설비 가동상태 데이터가 입력된 경우, 공정설비 가동상태 데이터를 각각의 공정설비의 데이터 영역별로 저장하는 단계와, 각각의 공정설비에 설치된 입력수단으로부터 작업자입력데이터가 입력되었는지를 판단하는 단계와, 작업자입력데이터가 입력된 경우, 각각의 공정설비의 데이터 영역별로 대응하여 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 제조 라인내에는 소정의 공정을 진행하는 공정설비(28)들이 설치된다.

이때, 다수의 공정설비(28)들이 하나의 설비군(25)으로 이루어지고, 설비군(25)내의 공정설비(28)에 관련된 소정의 데이터를 입력하는 키패드(26)가 각각의 공정설비(28)에 설치된 인터페이스보드(27)에 연결되어 설치되고, 이 키패드(26)는 호스트 컴퓨터(20)에 랜(LAN)으로 연결된다.

이때, 키패드(26)에 입력되는 데이터는 공정설비(28) 자체적으로 인식하지 못하는 제품명, 현재 공정설비를 담당하고 있는 작업자명, 또는 공정설비에서 소모품에 해당하는 것을 교체했을 경우 이를 해당 공정설비에 인식시키는 것과 관련된 데이터등을 일컫는다.

인터페이스보드(27)는 공정설비(28)로부터 발생되는 데이터, 예를 들어 공정 진행중에 공정설비(28)가 일시적으로 정지될 경우 이에 대한 정지시간, 또는 재시작시간 등의 데이터를 페치(fetch)하고, 이 데이터는 호스트 컴퓨터(20)의 데이터 베이스에 저장된다.

또한, 키패드(26)를 각각 구비한 다수의 공정설비(28)들로 이루어진 설비군(25)에 대해서 한명의 작업자(29)가 배치되며, 이 작업자(29)는 설비군(25)의 공정설비(28)들에 대한 공정자재들을 공정설비(28)에 로딩·언로딩하는 역할을 하거나, 키패드(26)를 이용하여 공정설비(28)에서 발생하는 소정의 데이터를 입력하는 역할 등을 비롯하여 설비군(25)의 공정설비들에 관련된 여러 가지 일을 수행한다.

먼저, 작업자(29)는 해당 설비군내의 공정설비들에 대한 공정자재들을 로딩한 다음 공정설비(28)들을 구동시킨다.

그러면, 각각의 공정설비(28)들은 로딩된 공정자재들에 대해 기 설정된 프로그램에 따라 소정의 공정을 진행한다.

공정진행중에 소정의 공정설비(28)가 일시적으로 작동중지될 경우, 이에 대한 정지시간 등의 데이터가 인터페이스보드(27)로 페치되고, 페치된 데이터는 호스트 컴퓨터(20)의 데이터 베이스에 저장된다.

또한, 작업자(29)는 해당 공정설비(28)에 설치된 키패드(26)에 작동중지에 관한 데이터를 즉시 입력할 수 있다.

이렇게 공정설비(28)에서 발생되는 데이터가 인터페이스보드(27)를 통해 자동으로 호스트 컴퓨터(20)로 저장됨과 아울러 작업자(29)에 의해 즉시 해당 데이터가 키패드(26)로 입력됨으로서 데이터의 신속한 처리가 가능하게 된다.

한편, 일시적으로 작동중지된 공정설비(28)는 작업자(29_에 의해 재작동되어 공정을 완료한다.

공정완료 후, 새로운 공정자재가 공정설비(28)에 투입될 경우, 작업자(29)는 해당 공정설비(28)의 키패드(26)에 투입되는 공정자재의 제품명을 기입하고, 담당 작업자가 교체되었을 경우, 이 키패드(26)를 통해 새로운 작업자의 이름을 입력한다. 그러면, 호스트 컴퓨터(20)는 새로운 작업자(29)에 관련된 공정설비(27)의 가동율에 대해 데이터를 입력하게 된다.

이와 같이 각 공정설비마다 키패드가 설치되어 있어 작업자의 신속한 데이터 입력이 가능하게 된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 각각의 공정설비에 각각 설치된 인터페이스 모듈이 각각의 공정설비로부터 발생하는 소정의 데이터를 호스트 컴퓨터에 전송하여 저장하고, 각각의 인터페이스 모듈에 관련 설치된 키패드가 인터페이스 모듈로부터 전송되는 소정의 데이터를 디스플레이하거나 작업자가 이 키패드를 통해 소정의 데이터를 호스트 컴퓨터로 전송하여 저장함으로서, 종래에 다수의 공정설비로 이루어진 설비군에 관련 설치된 하나의 단말기를 통해 작업자가 소정의 데이터를 입력함으로서 데이터의 정확한 입력 및 데이터의 신속한 처리가 이루어지지 않은 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

작업자가 담당하는 다수의 공정설비로 이루어진 설비군으로부터 발생하는 데이터를 처리하는 반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법에 관한 것으로,

상기 각각의 공정설비로부터 발생되는 공정설비 가동상태 데이터를 페치하여 호스트 컴퓨터에 전송하는 단계와;

상기 전송된 공정설비 가동상태 데이터가 입력되었는지를 판단하는 단계;

상기 공정설비 가동상태 데이터가 입력된 경우, 상기 공정설비 가동상태 데이터를 상기 각각의 공정설비의 데이터 영역별로 저장하는 단계와;

상기 각각의 공정설비에 설치된 입력수단으로부터 작업자입력데이터가 입력되었는지를 판단하는 단계와;

상기 작업자입력데이터가 입력된 경우, 상기 각각의 공정설비의 데이터 영역별로 대응하여 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 데이터 처리 방법.