KR19990051384A - Wafer Cassette Storage System - Google Patents
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Abstract
뱃치(batch) 공정에 의한 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 카세트 보관 장치에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보관 장치는 웨이퍼 카세트를 보관하는 웨이퍼 카세트 보관 장소와, 상기 웨이퍼 카세트를 상기 웨이퍼 카세트 보관 장소로 이송하기 위한 이송기와, 상기 웨이퍼 카세트의 이동 및 상기 이송기의 이동을 감지하기 위한 감지 센서를 포함하고, 상기 감지 센서는 발광 소자 및 수광 소자로 구성된다.Disclosed is a wafer cassette storage device used in a semiconductor manufacturing process by a batch process. The wafer cassette storage apparatus according to the present invention includes a wafer cassette storage place for storing a wafer cassette, a conveyor for transferring the wafer cassette to the wafer cassette storage place, and a movement of the wafer cassette and a movement of the conveyor. And a sensing sensor, wherein the sensing sensor includes a light emitting element and a light receiving element.
Description
본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 특히 뱃치(batch) 공정에 의한 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 카세트 보관 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a wafer cassette storage apparatus for use in a semiconductor manufacturing process by a batch process.
종래의 웨이퍼 카세트 보관 장치는 뱃치 공정으로 진행되는 반도체 제조 공정에서 소정 매수의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 카세트를 반도체 제조 장치로부터 웨이퍼 카세트 보관 장소로 이송할 때, 이송되는 웨이퍼 카세트의 축을 감지하는 장치가 없다. 따라서, 웨이퍼 카세트 보관 장소에 방해물이 있는 경우에도 이를 감지할 수 없고, 그에 따라 반도체 제조에 사용되는 각 장비의 파손 및 생산성 저하가 초래되는 문제가 있다.The conventional wafer cassette storage device has no device for detecting the axis of the wafer cassette to be transferred when the wafer cassette containing a predetermined number of wafers is transferred from the semiconductor manufacturing device to the wafer cassette storage location in the semiconductor manufacturing process that is carried out in a batch process. . Therefore, even when there is an obstacle in the wafer cassette storage location, it cannot be detected, and thus there is a problem that damage and productivity of each equipment used for semiconductor manufacturing are caused.
본 발명의 목적은 웨이퍼 카세트 보관 장소로 이송되는 웨이퍼 카세트의 동작을 감지할 수 있는 웨이퍼 카세트 보관 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a wafer cassette storage device capable of detecting the operation of the wafer cassette is transferred to the wafer cassette storage site.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 보관 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing the configuration of a wafer cassette storage device according to a preferred embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
10 : 웨이퍼 카세트, 20 : 웨이퍼 카세트 보관 장소10: wafer cassette, 20: wafer cassette storage place
30 : 이송기, 40a : 발광 소자30: feeder, 40a: light emitting element
40b : 수광 소자,40b: light receiving element,
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보관 장치는 웨이퍼 카세트를 보관하는 웨이퍼 카세트 보관 장소와, 상기 웨이퍼 카세트를 상기 웨이퍼 카세트 보관 장소로 이송하기 위한 이송기와, 상기 웨이퍼 카세트의 이동 및 상기 이송기의 이동을 감지하기 위한 감지 센서를 포함하고, 상기 감지 센서는 발광 소자 및 수광 소자로 구성된다.In order to achieve the above object, a wafer cassette storage device according to the present invention includes a wafer cassette storage location for storing a wafer cassette, a conveyor for transferring the wafer cassette to the wafer cassette storage location, a movement and transfer of the wafer cassette. Including a sensor for sensing the movement of the device, the sensor is composed of a light emitting element and a light receiving element.
본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보관 장치에 의하면, 웨이퍼 카세트 보관 장소에 방해물이 있는지 여부를 검출하고, 상기 이송기의 동작을 감지하며, 장비가 파손되는 등의 문제를 미리 방지할 수 있다.According to the wafer cassette storage device according to the present invention, it is possible to detect whether there is an obstacle in the wafer cassette storage location, to detect the operation of the conveyor, and to prevent a problem such as damage to the equipment.
다음에, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Next, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 보관 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing the configuration of a wafer cassette storage device according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보관 장치에는 소정의 매수의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼 카세트(10)를 웨이퍼 카세트 보관 장소(20)로 이송하기 위한 이송기(30)가 설치되어 있다. 또한, 상기 웨이퍼 카세트 보관 장소(20)에는 상기 웨이퍼 카세트(10)의 이동 및 상기 이송기(30)의 이동을 감지하기 위하여 발광 소자(40a) 및 수광 소자(40b)로 구성되는 감지 센서가 설치되어 있다. 따라서, 상기 이송기(30)에 의해 상기 웨이퍼 카세트(10)가 상기 웨이퍼 카세트 보관 장소(20)로 이송될 때 상기 발광 소자(40a) 및 수광 소자(40b)로 구성되는 감지 센서에 의하여 상기 웨이퍼 카세트 보관 장소(20)에 방해물이 있는지 여부를 검출하고, 상기 이송기(30)의 동작을 감지하며, 이상 발생시에는 인터록(interlock) 기능에 의하여 장비가 파손되는 등의 문제를 미리 방지한다.Referring to FIG. 1, a wafer cassette storage device according to the present invention is provided with a conveyor 30 for transferring a wafer cassette 10 containing a predetermined number of wafers to a wafer cassette storage location 20. In addition, the wafer cassette storage place 20 is provided with a sensing sensor consisting of a light emitting element 40a and a light receiving element 40b to detect the movement of the wafer cassette 10 and the movement of the conveyor 30. It is. Therefore, when the wafer cassette 10 is transferred to the wafer cassette storage place 20 by the conveyor 30, the wafer is detected by a sensing sensor composed of the light emitting element 40a and the light receiving element 40b. It detects whether there is an obstacle in the cassette storage place 20, detects the operation of the conveyor 30, and prevents a problem such as damage to the equipment by an interlock function when an abnormality occurs.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트 보관 장치는 웨이퍼 카세트 보관 장소에 웨이퍼 카세트의 이동 및 이송기의 이동을 감지하기 위한 감지 센서가 설치되어 있으므로, 웨이퍼 카세트 보관 장소에 방해물이 있는지 여부를 검출하고, 상기 이송기의 동작을 감지하며, 장비가 파손되는 등의 문제를 미리 방지할 수 있다.As described above, the wafer cassette storage device according to the present invention is provided with a sensing sensor for detecting the movement of the wafer cassette and the movement of the conveyor at the wafer cassette storage location, thereby detecting whether there is any obstacle in the wafer cassette storage location. And, it detects the operation of the conveyor, it is possible to prevent problems such as equipment is damaged in advance.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다.The present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. Do.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070701A KR19990051384A (en) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Wafer Cassette Storage System |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070701A KR19990051384A (en) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Wafer Cassette Storage System |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990051384A true KR19990051384A (en) | 1999-07-05 |
Family
ID=66165874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970070701A KR19990051384A (en) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Wafer Cassette Storage System |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990051384A (en) |
-
1997
- 1997-12-19 KR KR1019970070701A patent/KR19990051384A/en not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |