KR19990048773A - Flash Ipyrom Cell Array - Google Patents

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KR19990048773A
KR19990048773A KR1019970067545A KR19970067545A KR19990048773A KR 19990048773 A KR19990048773 A KR 19990048773A KR 1019970067545 A KR1019970067545 A KR 1019970067545A KR 19970067545 A KR19970067545 A KR 19970067545A KR 19990048773 A KR19990048773 A KR 19990048773A
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memory cell
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서명규
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 비트 라인 분할(bit line divide) 구조를 갖는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이(flash EEPROM cell array)에 관한 것으로, 메모리 셀 블록을 로컬 비트 라인 선택 회로에 의해 제 1 및 2 메모리 셀 블록으로 나누어 비트 라인을 로컬 비트 라인(local bit line)으로 분할되도록 하고, 제 1 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인과 제 2 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인을 1개의 글로벌 비트 라인(global bit line)으로 공유시켜 로컬 비트 라인 선택 회로에 구비된 선택 트랜지스터들의 스위칭 작용에 의해 4개의 로컬 비트 라인중 적어도 하나를 선택할 수 있도록 한 플래쉬 이이피롬 셀 어레이에 관한 것이다.The present invention relates to a flash EEPROM cell array having a bit line divide structure, wherein a memory cell block is divided into first and second memory cell blocks by a local bit line selection circuit. The line is divided into local bit lines, and two local bit lines of the first memory cell block and two local bit lines of the second memory cell block into one global bit line. The present invention relates to a flash EPIROM array in which at least one of four local bit lines can be selected by a switching operation of select transistors provided in a local bit line select circuit.

Description

플래쉬 이이피롬 셀 어레이Flash Ipyrom Cell Array

본 발명은 플래쉬 이이피롬 셀 어레이(flash EEPROM cell array)에 관한 것으로, 특히 비트 라인을 로컬 비트 라인(local bit line)으로 분할(divide)하고, 4개의 로컬 비트 라인을 1개의 글로벌 비트 라인(global bit line)에 쇼트(short)시켜 스위칭 수단에 의해 4개의 로컬 비트 라인중 어느 하나를 선택할 수 있도록 한 플래쉬 이이피롬 셀 어레이에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flash EEPROM cell array, in particular dividing a bit line into local bit lines, and four local bit lines into one global bit line. The present invention relates to a flash Y pyrom cell array shorted to a bit line so that any one of four local bit lines can be selected by a switching means.

일반적으로, 플래쉬 이이피롬 셀 어레이는 다수의 메모리 셀이 행렬을 이루고 있다. 다수의 메모리 셀에서, 워드 라인들(word lines)은 X-디코더에 연결되고, 비트 라인들은 Y-디코더에 연결된다. 플래쉬 이이피롬의 프로그램(program), 소거(erase) 또는 독출(read) 동작은 워드 라인과 비트 라인 각각의 전기적 신호에 의해 선택된 메모리 셀에서 수행된다.In general, in a flash Y pyrom cell array, a plurality of memory cells form a matrix. In many memory cells, word lines are connected to an X-decoder and bit lines are connected to a Y-decoder. The program, erase or read operation of the flash Y pyrom is performed in a memory cell selected by electrical signals of word lines and bit lines, respectively.

종래 플래쉬 이이피롬 셀 어레이는 각 메모리 셀의 드레인에 비트 라인이 연결되도록 구성되기 때문에 메모리 셀을 선택하기 위해 비트 라인에 전압을 인가할 경우 전압이 인가된 비트 라인 부분에서 캐패시턴스(capacitance)가 발생된다. 1개의 비트 라인은 셀 어레이에서 차지하는 면적이 넓어 캐패시턴스가 많이 발생되고, 캐패시턴스는 동작 속도를 느리게 하는 요인으로 작용한다. 따라서, 비트 라인 부분에서 발생되는 캐패시턴스를 줄여 소자의 동작 속도를 증가시키기 위해, 비트 라인분할 구조가 적용되고 있다.Since the conventional flash Y pyrom cell array is configured such that a bit line is connected to the drain of each memory cell, when a voltage is applied to the bit line to select a memory cell, capacitance is generated in the bit line portion to which the voltage is applied. . Since one bit line occupies a large area in the cell array, a large amount of capacitance is generated, and the capacitance causes a slow operation speed. Therefore, in order to reduce the capacitance generated in the bit line portion and to increase the operation speed of the device, a bit line division structure is applied.

도 1은 비트 라인 분할 구조를 갖는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이를 설명하기 위한 회로도이다.1 is a circuit diagram illustrating a flash Y pyrom cell array having a bit line division structure.

행렬로 구성된 다수의 메모리 셀을 갖는 메모리 셀 블록(memory cell block; 100)을 제 1 및 2 메모리 셀 블록(10 및 20)으로 나누고, 제 1 및 2 메모리 셀 블록(10 및 20)사이에 로컬 비트 라인 선택 회로(local bit line select circuit; 30)를 구비시킨다. 메모리 셀 블록(100)은, 설명의 편의상, 1개의 소오스 라인(SL1)이 2개의 메모리 셀을 공유하는 부분만을 도시하였다.A memory cell block 100 having a plurality of memory cells organized in a matrix is divided into first and second memory cell blocks 10 and 20 and localized between the first and second memory cell blocks 10 and 20. A local bit line select circuit 30 is provided. For convenience of description, the memory cell block 100 illustrates only a portion in which one source line SL1 shares two memory cells.

제 1 메모리 셀 블록(10)은 제 1 내지 n/2 워드 라인들(WL1 내지 WLn/2; 이하, "n"은 양의 짝수라고 정의함)과 제 1 내지 4 로컬 비트 라인들(LB1 내지 LB4)로 구성된다. 제 2 메모리 셀 블록(20)은 제 n/2+1 내지 n 워드 라인들(WLn/2+1 내지 WLn)과 제 5 내지 8 로컬 비트 라인들(LB5 내지 LB8)로 구성된다. 로컬 비트 라인 선택 회로(30)는 제 1 및 2 선택 라인들(QL1 및 QL2)로 구성된다. 제 1 선택 라인(QL1)은 제 1 내지 4 선택 트랜지스터(Q1 내지 Q4)가 구비되며, 제 2 선택 라인(QL2)은 제 5 내지 8 선택 트랜지스터(Q5 내지 Q8)가 구비된다. 로컬 비트 라인 선택 회로(30)에는 제 1 내지 4 글로벌 비트 라인들(GB1 내지 GB4)이 연결된다.The first memory cell block 10 includes first to n / 2 word lines WL1 to WLn / 2 (hereinafter, “n” is defined as a positive even number) and first to fourth local bit lines LB1 to LB4). The second memory cell block 20 is composed of n / 2 + 1 to n word lines WLn / 2 + 1 to WLn and fifth to eighth local bit lines LB5 to LB8. The local bit line select circuit 30 is composed of first and second select lines QL1 and QL2. The first select line QL1 includes first to fourth select transistors Q1 to Q4, and the second select line QL2 includes fifth to eight select transistors Q5 to Q8. The first to fourth global bit lines GB1 to GB4 are connected to the local bit line selection circuit 30.

제 1 로컬 비트 라인(LB1)은 제 1 선택 트랜지스터(Q1)의 소오스에 연결되고, 제 5 로컬 비트 라인(LB5)은 제 5 선택 트랜지스터(Q5)의 소오스에 연결되며, 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)은 제 1 및 5 선택 트랜지스터(Q1 및 Q5)의 드레인에 연결된다. 따라서, 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)은 제 1 및 5 선택 트랜지스터(Q1 및 Q5)의 스위칭 작용에 의해 제 1 및 5 로컬 비트 라인(LB1 및 LB5)과 전기적으로 연결된다.The first local bit line LB1 is connected to the source of the first select transistor Q1, the fifth local bit line LB5 is connected to the source of the fifth select transistor Q5, and the first global bit line LB1 is connected to the source of the fifth select transistor Q5. GB1 is connected to the drains of the first and fifth select transistors Q1 and Q5. Therefore, the first global bit line GB1 is electrically connected to the first and fifth local bit lines LB1 and LB5 by the switching action of the first and fifth select transistors Q1 and Q5.

상기의 연결 방식으로 제 2 글로벌 비트 라인(GB2)은 제 2 및 6 선택 트랜지스터(Q2 및 Q6)의 스위칭 작용에 의해 제 2 및 6 로컬 비트 라인(LB2 및 LB6)과 전기적으로 연결되고, 제 3 글로벌 비트 라인(GB3)은 제 3 및 7 선택 트랜지스터(Q3 및 Q7)의 스위칭 작용에 의해 제 3 및 7 로컬 비트 라인(LB3 및 LB7)과 전기적으로 연결되며, 제 4 글로벌 비트 라인(GB4)은 제 4 및 8 선택 트랜지스터(Q4 및 Q8)의 스위칭 작용에 의해 제 4 및 8 로컬 비트 라인(LB4 및 LB8)과 전기적으로 연결된다.In the above connection method, the second global bit line GB2 is electrically connected to the second and sixth local bit lines LB2 and LB6 by a switching action of the second and sixth selection transistors Q2 and Q6, and the third The global bit line GB3 is electrically connected to the third and seventh local bit lines LB3 and LB7 by the switching action of the third and seventh selection transistors Q3 and Q7, and the fourth global bit line GB4 is It is electrically connected to the fourth and eighth local bit lines LB4 and LB8 by the switching action of the fourth and eighth select transistors Q4 and Q8.

제 1 내지 n 워드 라인들(WL1 내지 WLn)과 제 1 및 2 선택 라인들(QL1 및 QL2)은 각각 X-디코더(40)에 연결된다. 제 1 내지 4 글로벌 비트 라인들(GB1 내지 GB4) 각각은 Y-디코더(50)에 연결된다.The first to n word lines WL1 to WLn and the first and second select lines QL1 and QL2 are respectively connected to the X-decoder 40. Each of the first to fourth global bit lines GB1 to GB4 is connected to the Y-decoder 50.

상기와 같이 구성된 비트 라인 분할 구조를 갖는 플래쉬 이이피롬의 동작 방법은 다음과 같다.The operation method of the flash Y pyrom having the bit line division structure configured as described above is as follows.

제 1 내지 n 워드 라인들(WL1 내지 WLn)중 적어도 어느 하나에 전압을 인가하고, 제 1 및 2 선택 라인들(QL1 및 QL2)중 적어도 어느 하나에 전압을 인가하고, 제 1 내지 4 글로벌 비트 라인들(GB1 내지 GB4)중 적어도 어느 하나에 전압을 인가하여 메모리 셀 블록(100)의 다수의 메모리 셀중 적어도 어느 하나가 선택되어 프로그램, 소거 또는 독출 동작을 수행하게 된다.Applies a voltage to at least one of the first to n word lines WL1 to WLn, applies a voltage to at least one of the first and second select lines QL1 and QL2, and applies the first to fourth global bits. At least one of the plurality of memory cells of the memory cell block 100 is selected by applying a voltage to at least one of the lines GB1 to GB4 to perform a program, erase, or read operation.

예를 들어, 제 1 워드 라인(WL1)에 전압을 인가하고, 제 1 선택 라인(QL1)에 전압을 인가하여 제 1 내지 4 선택 트랜지스터(Q1 내지 Q4)를 온(on) 상태가 되게한 상태에서, 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)에 전압을 인가할 경우, 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)은 제 1 선택 트랜지스터(Q1)를 통해 제 1 로컬 비트 라인(LB1)과 전기적으로 연결되어 제 1 메모리 셀(M1)이 프로그램, 소거 또는 독출 동작을 수행한다.For example, a state in which a voltage is applied to the first word line WL1 and a voltage is applied to the first select line QL1 to turn on the first to fourth selection transistors Q1 to Q4. When the voltage is applied to the first global bit line GB1, the first global bit line GB1 is electrically connected to the first local bit line LB1 through the first selection transistor Q1 to be electrically connected to the first global bit line GB1. The memory cell M1 performs a program, erase, or read operation.

이와 같이 1개의 글로벌 비트 라인에 2개의 로컬 비트 라인이 쇼트 되도록 하여 원하는 로컬 비트 라인을 선택할 수 있다. 비트 라인을 분할함에 의해 캐패시턴스를 줄일 수 있어 소자의 동작 속도를 증대시킬 수 있다. 그러나, 셀 어레이 부분에서 로컬 비트 라인 선택 회로가 차지하는 면적과 X-디코더의 면적에서 제 1 및 2 선택 라인이 연결되는 부분의 면적만큼 증가되어 소자의 고집적화를 실현하기 어려운 문제가 있다. 또한 2개의 로컬 비트 라인 사이마다 1개의 글로벌 비트 라인을 콘택 시켜야 하기 때문에 콘택 공정 마진을 확보하기가 어려워 비트 라인 분할 구조를 하이 테크널리지 셀(high technology cell)에 적용하기 어려운 문제가 있다.In this way, two local bit lines are shorted to one global bit line so that a desired local bit line can be selected. By dividing the bit lines, the capacitance can be reduced, thereby increasing the operation speed of the device. However, since the area occupied by the local bit line select circuit in the cell array portion and the area where the first and second select lines are connected in the area of the X-decoder are increased, it is difficult to realize high integration of the device. In addition, since one global bit line must be contacted between two local bit lines, it is difficult to secure a contact process margin, which makes it difficult to apply a bit line division structure to a high technology cell.

따라서, 본 발명은 비트 라인에 의해 발생되는 캐패시턴스를 줄여 소자의 동작 속도를 증대시키면서 Y-디코더가 차지하는 면적을 줄여 소자의 고집적화를 실현할 수 있는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a flash Y pyrom cell array capable of realizing high integration of the device by reducing the area occupied by the Y-decoder while reducing the capacitance generated by the bit line to increase the operation speed of the device.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플래쉬 이이피롬 셀 어레이는 다수의 워드 라인들과 다수의 로컬 비트 라인들로 이루어진 제 1 및 2 메모리 셀 블록들; 상기 제 1 메모리 셀 블록과 상기 제 2 메모리 셀 블록사이에 제 1 내지 4 선택 라인들로 이루어진 로컬 비트 라인 선택 회로; 상기 로컬 비트 라인 선택 회로를 통해 상기 다수의 로컬 비트 라인들중 상기 제 1 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들과 상기 제 2 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들이 공유되도록 형성된 다수의 글로벌 비트 라인들; 상기 다수의 워드 라인들과 상기 제 1 내지 4 선택 라인들이 연결된 X-디코더; 및 상기 다수의 글로벌 비트 라인들이 연결된 Y-디코더를 포함하여 구성된다.In order to achieve this object, a flash Y-pyrom cell array of the present invention may include: first and second memory cell blocks including a plurality of word lines and a plurality of local bit lines; A local bit line select circuit comprising first to fourth select lines between the first memory cell block and the second memory cell block; A plurality of global bits configured to share two local bit lines of the first memory cell block and two local bit lines of the second memory cell block among the plurality of local bit lines through the local bit line selection circuit Lines; An X-decoder connected to the plurality of word lines and the first to fourth select lines; And a Y-decoder connected to the plurality of global bit lines.

도 1은 종래 플래쉬 이이피롬 셀 어레이를 설명하기 위한 회로도.1 is a circuit diagram for explaining a conventional flash ypyrom cell array.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플래쉬 이이피롬 셀 어레이를 설명하기 위한 회로도.2 is a circuit diagram illustrating a flash Y pyrom cell array according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 도시된 회로도의 주요부분을 나타낸 플래쉬 이이피롬 셀 어레이의 레이아웃.3 is a layout of a flash Y pyrom cell array showing main parts of the circuit diagram shown in FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>

100 및 200: 메모리 셀 블록 10 및 110: 제 1 메모리 셀 블록100 and 200: memory cell blocks 10 and 110: first memory cell blocks

20 및 120: 제 2 메모리 셀 블록 30 및 130: 로컬 비트 라인 선택 회로20 and 120: second memory cell blocks 30 and 130: local bit line selection circuit

40 및 140: X-디코더 50 및 150: Y-디코더40 and 140: X-decoder 50 and 150: Y-decoder

160: 소자 분리 영역160: device isolation region

SL: 소오스 라인 WL: 워드 라인SL: source line WL: word line

LB: 로컬 비트 라인 GB: 글로벌 비트 라인LB: local bit line GB: global bit line

QL: 선택 라인 Q: 선택 트랜지스터QL: select line Q: select transistor

M: 메모리 셀 DD: 도통부M: memory cell DD: conducting portion

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 실시예에 의한 비트 라인 분할 구조를 갖는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이를 설명하기 위한 회로도이고, 도 3은 도 2에 도시된 회로도의 주요부분을 나타낸 플래쉬 이이피롬 셀 어레이의 레이아웃이다. 도 2 및 도 3에서 동일한 도면 부호는 동일 요소임을 의미한다.FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a flash Y pyrom cell array having a bit line division structure according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a layout of a flash Y pyrom cell array showing main parts of the circuit diagram shown in FIG. 2. . The same reference numerals in FIGS. 2 and 3 mean the same elements.

행렬로 구성된 다수의 메모리 셀을 갖는 메모리 셀 블록(200)을 제 1 및 2 메모리 셀 블록(110 및 120)으로 나누고, 제 1 및 2 메모리 셀 블록(110 및 120)사이에 로컬 비트 라인 선택 회로(130)를 구비시킨다. 메모리 셀 블록(200)은, 설명의 편의상, 1개의 소오스 라인(SL1)이 2개의 메모리 셀을 공유하는 부분만을 도시하였다.A memory cell block 200 having a plurality of memory cells organized in a matrix is divided into first and second memory cell blocks 110 and 120, and a local bit line selection circuit between the first and second memory cell blocks 110 and 120. 130 is provided. For convenience of description, the memory cell block 200 illustrates only a portion in which one source line SL1 shares two memory cells.

제 1 메모리 셀 블록(110)은 제 1 내지 n/2 워드 라인들(WL1 내지 WLn/2; 이하, "n"은 양의 짝수라고 정의함)과 제 1 내지 4 로컬 비트 라인들(LB1 내지 LB4)로 구성된다. 제 2 메모리 셀 블록(120)은 제 n/2+1 내지 n 워드 라인들(WLn/2+1 내지 WLn)과 제 5 내지 8 로컬 비트 라인들(LB5 내지 LB8)로 구성된다. 로컬 비트 라인 선택 회로(130)는 제 1 내지 4 선택 라인들(QL1 내지 QL4)로 구성된다. 제 1 선택 라인(QL1)은 제 1 및 3 선택 트랜지스터(Q1 및 Q3)가 구비되고, 제 2 선택 라인(QL2)은 제 2 및 4 선택 트랜지스터(Q2 및 Q4)가 구비되며, 제 3 선택 라인(QL3)은 제 5 및 7 선택 트랜지스터(Q5 및 Q7)가 구비되고, 제 4 선택 라인(QL4)은 제 6 및 8 선택 트랜지스터(Q6 및 Q8)가 구비된다. 로컬 비트 라인 선택 회로(130)에는 제 1 및 2 글로벌 비트 라인들(GB1 및 GB2)이 연결된다.The first memory cell block 110 may include first to n / 2 word lines WL1 to WLn / 2 (hereinafter, “n” is defined as a positive even number) and first to fourth local bit lines LB1 to LB4). The second memory cell block 120 is composed of n / 2 + 1 to n word lines WLn / 2 + 1 to WLn and fifth to eighth local bit lines LB5 to LB8. The local bit line select circuit 130 is composed of first to fourth select lines QL1 to QL4. The first select line QL1 includes first and third select transistors Q1 and Q3, the second select line QL2 includes second and fourth select transistors Q2 and Q4, and the third select line. QL3 includes fifth and seventh selection transistors Q5 and Q7, and fourth selection line QL4 includes sixth and eighth selection transistors Q6 and Q8. The first and second global bit lines GB1 and GB2 are connected to the local bit line select circuit 130.

제 1 로컬 비트 라인(LB1)은 제 1 선택 트랜지스터(Q1)의 소오스에 연결되고, 제 2 로컬 비트 라인(LB2)은 제 2 도통부(DD2)를 통해 제 2 선택 트랜지스터(Q2)의 소오스에 연결되며, 제 5 로컬 비트 라인(LB5)은 제 5 도통부(DD5)를 통해 제 5 선택 트랜지스터(Q5)의 소오스에 연결되고, 제 6 로컬 비트 라인(LB6)은 제 6 선택 트랜지스터(Q6)의 소오스에 연결된다. 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)은 제 1, 2, 5 및 6 선택 트랜지스터(Q1, Q2, Q5 및 Q6)의 드레인에 연결되되, 제 1 선택 트랜지스터(Q1) 및 제 6 선택 트랜지스터(Q6) 각각의 드레인과는 제 1 도통부(DD1) 및 제 6 도통부(DD6)를 통해 연결된다. 따라서, 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)은 제 1, 2, 5 및 6 선택 트랜지스터(Q1, Q2, Q5 및 Q6)의 스위칭 작용에 의해 제 1, 2, 5 및 6 로컬 비트 라인(LB1, LB2, LB5 및 LB6)과 전기적으로 연결된다.The first local bit line LB1 is connected to the source of the first select transistor Q1, and the second local bit line LB2 is connected to the source of the second select transistor Q2 through the second conductive portion DD2. The fifth local bit line LB5 is connected to the source of the fifth select transistor Q5 through the fifth conductive part DD5, and the sixth local bit line LB6 is connected to the sixth select transistor Q6. Is connected to the source of. The first global bit line GB1 is connected to the drains of the first, second, fifth, and sixth select transistors Q1, Q2, Q5, and Q6, respectively, and each of the first and sixth select transistors Q1 and Q6. The drain of is connected through the first conductive portion DD1 and the sixth conductive portion DD6. Therefore, the first global bit line GB1 is connected to the first, second, fifth and sixth local bit lines LB1 and LB2 by the switching action of the first, second, fifth and sixth selection transistors Q1, Q2, Q5 and Q6. , LB5 and LB6).

상기의 연결 방식과 마찬가지로, 제 3 로컬 비트 라인(LB3)은 제 3 선택 트랜지스터(Q3)의 소오스에 연결되고, 제 4 로컬 비트 라인(LB4)은 제 4 도통부(DD4)를 통해 제 4 선택 트랜지스터(Q4)의 소오스에 연결되며, 제 7 로컬 비트 라인(LB7)은 제 7 도통부(DD7)를 통해 제 7 선택 트랜지스터(Q7)의 소오스에 연결되고, 제 8 로컬 비트 라인(LB8)은 제 8 선택 트랜지스터(Q8)의 소오스에 연결된다. 제 2 글로벌 비트 라인(GB2)은 제 3, 4, 7 및 8 선택 트랜지스터(Q3, Q4, Q7 및 Q8)의 드레인에 연결되되, 제 3 선택 트랜지스터(Q3) 및 제 8 선택 트랜지스터(Q8) 각각의 드레인과는 제 3 도통부(DD3) 및 제 8 도통부(DD8)를 통해 연결된다. 따라서, 제 2 글로벌 비트 라인(GB2)은 제 3, 4, 7 및 8 선택 트랜지스터(Q3, Q4, Q7 및 Q8)의 스위칭 작용에 의해 제 3, 4, 7 및 8 로컬 비트 라인(LB3, LB4, LB7 및 LB8)과 전기적으로 연결된다.As in the connection method described above, the third local bit line LB3 is connected to the source of the third select transistor Q3, and the fourth local bit line LB4 is fourth selected through the fourth conductive part DD4. The seventh local bit line LB7 is connected to the source of the transistor Q4, and the seventh local bit line LB7 is connected to the source of the seventh selection transistor Q7 through the seventh conductive part DD7. It is connected to the source of the eighth select transistor Q8. The second global bit line GB2 is connected to the drains of the third, fourth, seventh and eighth select transistors Q3, Q4, Q7 and Q8, respectively, and the third and eighth select transistors Q3 and 8th select transistor Q8, respectively. The drain of is connected through the third conductive portion DD3 and the eighth conductive portion DD8. Accordingly, the second global bit line GB2 is connected to the third, fourth, seventh and eighth local bit lines LB3 and LB4 by the switching action of the third, fourth, seventh and eighth select transistors Q3, Q4, Q7 and Q8. , LB7 and LB8).

제 1 내지 8 도통부(DD1 내지 DD8)는 제 1 내지 8 선택 트랜지스터(Q1 내지 Q8)를 제조할 때, 일반적인 트랜지스터로 형성되는데, 이 트랜지스터 부분을 셀 소오스/드레인 마스크를 사용하여 개방시키고, 불순물 이온을 고에너지 및 고농도로 주입하여 항상 전류가 통할 수 있도록 하여 형성된다.The first to eighth conducting portions DD1 to DD8 are formed of general transistors when the first to eighth selection transistors Q1 to Q8 are manufactured, and the transistor portions are opened using a cell source / drain mask and impurities It is formed by injecting ions in high energy and high concentration so that current can always pass.

제 1 내지 n 워드 라인들(WL1 내지 WLn)과 제 1 내지 4 선택 라인들(QL1 내지 QL4)은 각각 X-디코더(140)에 연결된다. 제 1 및 2 글로벌 비트 라인들(GB1 및 GB2) 각각은 Y-디코더(150)에 연결된다.The first to n word lines WL1 to WLn and the first to fourth select lines QL1 to QL4 are connected to the X-decoder 140, respectively. Each of the first and second global bit lines GB1 and GB2 is connected to the Y-decoder 150.

도 3에서 미설명 부호(160)는 소자 분리 영역이다.In FIG. 3, reference numeral 160 is an isolation region.

상기와 같이 구성된 비트 라인 분할 구조를 갖는 플래쉬 이이피롬의 동작 방법은 다음과 같다.The operation method of the flash Y pyrom having the bit line division structure configured as described above is as follows.

제 1 내지 n 워드 라인들(WL1 내지 WLn)중 적어도 어느 하나에 전압을 인가하고, 제 1 내지 4 선택 라인들(QL1 내지 QL4)중 적어도 어느 하나에 전압을 인가하고, 제 1 및 2 글로벌 비트 라인들(GB1 및 GB2)중 적어도 어느 하나에 전압을 인가하여 메모리 셀 블록(200)의 다수의 메모리 셀중 적어도 어느 하나가 선택되어 프로그램, 소거 또는 독출 동작을 수행하게 된다.A voltage is applied to at least one of the first to n word lines WL1 to WLn, a voltage is applied to at least one of the first to fourth select lines QL1 to QL4, and the first and second global bits. At least one of the plurality of memory cells of the memory cell block 200 is selected by applying a voltage to at least one of the lines GB1 and GB2 to perform a program, erase, or read operation.

예를 들어, 제 1 워드 라인(WL1)에 전압을 인가하고, 제 1 선택 라인(QL1)에 전압을 인가하여 제 1 및 3 선택 트랜지스터(Q1 및 Q3)를 온(on) 상태가 되게한 상태에서, 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)에 전압을 인가할 경우, 제 1 글로벌 비트 라인(GB1)은 제 1 도통부(DD1)와 제 1 선택 트랜지스터(Q1)를 통해 제 1 로컬 비트 라인(LB1)과 전기적으로 연결되어 제 1 메모리 셀(M1)이 프로그램, 소거 또는 독출 동작을 수행한다.For example, a state in which a voltage is applied to the first word line WL1 and a voltage is applied to the first select line QL1 to turn on the first and third select transistors Q1 and Q3. When the voltage is applied to the first global bit line GB1, the first global bit line GB1 is connected to the first local bit line LB1 through the first conductive part DD1 and the first selection transistor Q1. ) Is electrically connected to the first memory cell M1 to perform a program, erase, or read operation.

상술한 바와 같이, 본 발명은 1개의 글로벌 비트 라인에 4개의 로컬 비트 라인이 쇼트 되도록 하여 원하는 로컬 비트 라인을 선택할 수 있고, 비트 라인을 분할함에 의해 캐패시턴스를 줄일 수 있어 소자의 동작 속도를 증대시킬 수 있다. 셀 어레이 부분에서 로컬 비트 라인 선택 회로가 차지하는 부분만큼 면적이 증가되나, 증가된 면적은 글로벌 비트 라인 수를 감소시키므로 Y-디코더가 차지하는 부분의 면적을 줄일 수 있어 약 10% 정도의 여유 면적을 더 확보할 수 있고, 이로 인하여 소자의 고집적화를 실현할 수 있다. 또한, 4개의 로컬 비트 라인 사이마다 1개의 글로벌 비트 라인을 콘택 시키기 때문에 콘택 공정 마진이 확보되어 하이 테크널리지 셀(high technology cell)에서도 비트 라인 분할 구조를 적용시킬 수 있다.As described above, the present invention allows four local bit lines to be shorted on one global bit line so that the desired local bit line can be selected, and the capacitance can be reduced by dividing the bit lines to increase the operation speed of the device. Can be. The area of the cell array is increased by the area occupied by the local bit line selection circuit, but the increased area reduces the number of global bit lines, thus reducing the area of the area occupied by the Y-decoder, which adds about 10% more free area. This ensures high integration of the device. In addition, since one global bit line is contacted every four local bit lines, a contact process margin is secured so that the bit line division structure may be applied to a high technology cell.

Claims (5)

다수의 워드 라인들과 다수의 로컬 비트 라인들로 이루어진 제 1 및 2 메모리 셀 블록들;First and second memory cell blocks consisting of a plurality of word lines and a plurality of local bit lines; 상기 제 1 메모리 셀 블록과 상기 제 2 메모리 셀 블록사이에 제 1 내지 4 선택 라인들로 이루어진 로컬 비트 라인 선택 회로;A local bit line select circuit comprising first to fourth select lines between the first memory cell block and the second memory cell block; 상기 로컬 비트 라인 선택 회로를 통해 상기 다수의 로컬 비트 라인들중 상기 제 1 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들과 상기 제 2 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들이 공유되도록 형성된 다수의 글로벌 비트 라인들;A plurality of global bits configured to share two local bit lines of the first memory cell block and two local bit lines of the second memory cell block among the plurality of local bit lines through the local bit line selection circuit Lines; 상기 다수의 워드 라인들과 상기 제 1 내지 4 선택 라인들이 연결된 X-디코더; 및An X-decoder connected to the plurality of word lines and the first to fourth select lines; And 상기 다수의 글로벌 비트 라인들이 연결된 Y-디코더를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이.And a Y-decoder connected to the plurality of global bit lines. 제 1 항에 있어서, 상기 다수의 로컬 비트 라인들은 1개의 소오스 라인을 중심으로 양쪽에 2개씩 형성된 것을 특징으로 하는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이.2. The flash Y pyrom cell array of claim 1, wherein the plurality of local bit lines are formed at two sides of one source line. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 내지 4 선택 라인들 각각에는 선택 트랜지스터들이 구비되되, 제 1 선택 라인의 선택 트랜지스터는 상기 글로벌 비트 라인과 상기 제 1 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들중 어느 하나와의 사이에 구비되고, 제 2 선택 라인의 선택 트랜지스터는 상기 글로벌 비트 라인과 상기 제 1 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들중 다른 하나와의 사이에 구비되며, 제 3 선택 라인의 선택 트랜지스터는 상기 글로벌 비트 라인과 상기 제 2 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들중 어느 하나와의 사이에 구비되고, 제 4 선택 라인의 선택 트랜지스터는 상기 글로벌 비트 라인과 상기 제 2 메모리 셀 블록의 2개의 로컬 비트 라인들중 다른 하나와의 사이에 구비된 것을 특징으로 하는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이.The method of claim 1, wherein each of the first to fourth selection lines includes selection transistors, wherein the selection transistor of the first selection line is any one of two local bit lines of the global bit line and the first memory cell block. And a select transistor of a second select line is provided between the global bit line and another one of two local bit lines of the first memory cell block, and selects a third select line. A transistor is provided between the global bit line and any one of two local bit lines of the second memory cell block, and the select transistor of the fourth select line is selected from the global bit line and the second memory cell block. A flash Y pyrom cell array, characterized in that provided between the other of the two local bit lines. 제 3 항에 있어서, 상기 로컬 비트 라인들 각각은 상기 선택 트랜지스터들 각각의 소오스에 연결되고, 상기 글로벌 비트 라인은 상기 선택 트랜지스터들 각각의 드레인에 연결된 것을 특징으로 하는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이.4. The array of claim 3, wherein each of the local bit lines is connected to a source of each of the select transistors, and the global bit line is connected to a drain of each of the select transistors. 제 3 항에 있어서, 상기 선택 트랜지스터들의 스위칭 작용에 의해 상기 로컬 비트 라인들중 적어도 어느 하나가 선택되는 것을 특징으로 하는 플래쉬 이이피롬 셀 어레이.4. The flash Y pyrom cell array of claim 3, wherein at least one of the local bit lines is selected by a switching action of the selection transistors.
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KR100671625B1 (en) * 2004-12-28 2007-01-19 주식회사 하이닉스반도체 NAND flash memory apparatus capable of changing a block size
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