KR19990043007A - Spacer manufacturing method of field effect display device - Google Patents
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Abstract
전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법이 개시된다. 스페이서로 적용될 고형의 유리막대가 설치될 대상의 기판 상에 소정 크기의 고정용 홈을 소정깊이로 다수 형성시키는 단계와, 유리막대의 단부에 접착용 재료를 도포하는 단계와, 유리막대의 단부를 상기 홈에 끼워넣는 단계 및 접착용 재료가 굳어지도록 열처리하는 단계를 포함한다. 이와같이 준비된 고체상태의 강도가 높은 유리막대를 양극판에 형성된 홈에 접착제에 의한 소성에 의해 고정결합시켜 스페이서가 형성됨으로써 제조공정에 소요되는 시간이 단축되고, 유리막대 적용에 의해 간극 유지강도가 커지고, 스페이서의 점유폭대 높이에 대한 비인 에스펙트 비를 크게할 수 있어 양극판내의 스페이서 점유공간을 줄일 수 있는 장점이 있다.Disclosed is a method of manufacturing a spacer of a field effect display device. Forming a plurality of fixing grooves of a predetermined size to a predetermined depth on a substrate to be installed with a solid glass rod to be applied as a spacer; applying an adhesive material to an end of the glass rod; Embedding step and heat treatment to harden the adhesive material. The glass rod having a high strength in the solid state thus prepared is fixedly bonded to the groove formed in the positive electrode plate by an adhesive firing to form a spacer, thereby shortening the time required for the manufacturing process and increasing the gap retention strength by applying the glass rod. Since the aspect ratio, which is the ratio to the occupied width of the spacer, can be increased, the spacer occupied space in the bipolar plate can be reduced.
Description
본 발명은 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 고형의 유리막대를 양극이 그 위에 형성된 양극판에 고정결합시켜 그에 대향하는 음극판과의 사이의 간극을 유지시키도록 하는 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a spacer of a field effect display device. Specifically, a field effect display for fixing a solid glass rod to a positive electrode plate formed on a positive electrode to maintain a gap between the negative electrode plate and an opposing negative electrode plate. The present invention relates to a spacer manufacturing method of a device.
도 1은 종래의 전계효과 표시소자의 개략적 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a conventional field effect display device.
도시된 바와 같이, 종래의 전계효과 표시소자(10)는, 스페이서(13)에 의해 상호 일정거리를 두고 대향 배치된 양극판(11)과 음극판(12)이 마련되어 있다. 이 양극판(11)과 음극판(12)의 대향면에는 각각 양극과 음극이 형성되어 있다. 그리고 음극판(12) 위에는 다수의 마이크로 팁(14)들이 형성되어 있다. 이 마이크로 팁(14)들은 음극판(12) 위에 형성된 절연층(15)에 의해 둘러싸인 관통공(16) 내에 마련되어 있다. 그리고 절연층(15)의 위에는 게이트(17)들이 적층되어 있다. 양극판(11) 상에는 형광막(18)이 형성되어 있다. 여기서 스페이서(13)는 양극판(11)과 음극판(12) 사이의 간격을 유지하는 지지대의 역할을 한다.As shown in the drawing, the conventional field effect display element 10 is provided with a positive electrode plate 11 and a negative electrode plate 12 which are arranged to be spaced apart from each other by a spacer 13. Positive and negative electrodes are formed on opposite surfaces of the positive electrode plate 11 and the negative electrode plate 12, respectively. A plurality of micro tips 14 are formed on the negative electrode plate 12. These micro tips 14 are provided in the through holes 16 surrounded by the insulating layer 15 formed on the negative electrode plate 12. The gates 17 are stacked on the insulating layer 15. The fluorescent film 18 is formed on the positive electrode plate 11. Here, the spacer 13 serves as a support for maintaining a gap between the positive electrode plate 11 and the negative electrode plate 12.
이와 같이 지지대의 구실을 하는 스페이서(13)는 종래에 도 2에 도시된 바와 같이, 마스크(19)를 사용하여 유리페이스트를 수회에 걸쳐 스크린 프린트하여 만들어졌다.Thus, the spacer 13 which serves as a support stand was conventionally made by screen-printing the glass paste several times using the mask 19, as shown in FIG.
그러나, 종래의 스크린 프린트에 의한 스페이서 제조방법에 의하면 요구되는 양극판(11)과 음극판(12)의 유지간극거리가 되는 스페이서(13)의 높이를 200㎛ 정도로 하기 위해서는 스크린 프린팅 및 경화 공정을 7회 정도 반복하여 실시하여야 하므로 많은 시간이 소요된다. 또한, 경화 중에는 유리페이스트의 흘러내림이 나타나거나, 반복 공정중의 정렬 오차로 인하여 스페이서(13)의 지지대상면과의 점유폭대 그 높이에 대한 비인 에스펙트 비(aspect ratio; 높이/폭)를 1 이상으로 하기가 매우 어려운 문제점을 안고있다.However, according to the conventional method of manufacturing a spacer by screen printing, the screen printing and curing processes are performed seven times in order to make the height of the spacer 13, which is the retention gap distance between the positive electrode plate 11 and the negative electrode plate 12, required to be about 200 µm. It takes a lot of time because it should be repeated repeatedly. In addition, during curing, the glass paste may appear to fall down, or due to an alignment error during the repeating process, an aspect ratio (height / width) that is a ratio of the occupied width to the height of the spacer 13 to the supporting surface thereof is 1 There is a problem that is very difficult to do above.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 창안된 것으로, 제조공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, 제조된 스페이서의 에스펙트 비를 1 이상으로 할 수 있는 전계효과 표시소자의 스페이서 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was devised to improve the above problems, and provides a method of manufacturing a spacer of a field effect display device which can reduce the time required for the manufacturing process and can make the aspect ratio of the manufactured spacer to 1 or more. Its purpose is to.
도 1은 종래의 전계효과 표시소자의 개략적 단면도이고,1 is a schematic cross-sectional view of a conventional field effect display device,
도 2는 도 1의 전계효과 표시소자의 종래의 스페이서 제조방법을 설명하기 위해 그 제조공정의 일부를 나타내보인 단면도이고,FIG. 2 is a cross-sectional view showing a part of a manufacturing process of the conventional spacer manufacturing method of the field effect display device of FIG.
도 3 내지 도 10은 본 발명에 따른 전계효과 표시소자의 스페이서 제조 방법을 도식적으로 설명하기 위해 각 공정 단계별로 나타내보인 도면으로서,3 to 10 are diagrams showing step by step in order to explain a method of manufacturing a spacer of a field effect display device according to the present invention.
도 3은 양극판에 포토레지스터로 감광막을 형성한 후의 단면도이고,3 is a cross-sectional view after forming a photoresist film on a positive electrode with a photoresist,
도 4는 도 3의 감광막을 식각하여 마스크를 형성한 후의 단면도이고,4 is a cross-sectional view after etching the photosensitive film of FIG. 3 to form a mask,
도 5는 도 4의 마스크에 대하여 샌드 블러스터에 의한 식각으로 양극판에 홈이 형성된 후의 단면도이고,5 is a cross-sectional view of the mask of FIG. 4 after the groove is formed in the positive electrode plate by etching by sandblasting,
도 6은 도 5의 감광막을 제거한 후의 단면도이고,6 is a cross-sectional view after removing the photosensitive film of FIG.
도 7은 도 5의 사시도이고,7 is a perspective view of FIG. 5,
도 8은 스페이서로 사용될 유리막대에 접착용 유리 페이스트를 도포한 후의 단면도이고,8 is a cross-sectional view after applying the adhesive glass paste to the glass rod to be used as a spacer,
도 9은 도 8의 유리막대를 도 6의 양극판의 홈에 삽입고정시킨 후의 단면도이고,FIG. 9 is a cross-sectional view of the glass rod of FIG. 8 after being inserted into the groove of the positive electrode plate of FIG.
도 10은 도 9의 양극판에 고정된 스페이서에 대하여 음극판이 지지결합된 후 시일재에 의해 봉착완료된 전계효과 표시소자의 단면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view of a field effect display device sealed by a sealing material after a negative electrode plate is supported and bonded to a spacer fixed to the positive electrode plate of FIG. 9.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>
10, 20: 전계효과 표시소자 11, 21: 양극판10, 20: field effect display element 11, 21: bipolar plate
12, 50: 음극판 13 : 스페이서12, 50: negative electrode plate 13: spacer
14: 마이크로팁 15: 절연층14: microtip 15: insulating layer
16: 관통공 17: 게이트16: through hole 17: gate
18: 형광막 19: 마스크18: fluorescent film 19: mask
22: 감광막 23: 개구부22: photosensitive film 23: opening
24: 홈 30: 유리막대24: groove 30: glass rod
40: 유리페이스트 60: 시일재40: glass paste 60: sealing material
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법은 스페이서로 적용될 고형의 유리막대가 설치될 대상의 기판 상에 소정 크기의 고정용 홈을 소정깊이로 다수 형성시키는 단계와; 상기 홈내 또는 상기 홈에 삽입될 상기 유리막대의 단부에 접착용 재료를 도포하는 단계와; 상기 유리막대의 단부를 상기 홈에 끼워넣는 단계; 및 상기 접착용 재료가 굳어지도록 열처리하는 단계;를 포함한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a spacer of a field effect display device according to the present invention includes the steps of forming a plurality of fixing grooves of a predetermined size on a substrate having a solid glass rod to be applied as a spacer to a predetermined depth; Applying an adhesive material to the end of the glass rod to be inserted into or in the groove; Inserting an end of the glass rod into the groove; And heat treating the adhesive material to harden.
바람직하게는 상기 기판은 그 위에 양극이 형성된 양극판이고, 상기 접착용 재료는 유리재질의 페이스트가 적용된다.Preferably, the substrate is a positive electrode plate having an anode formed thereon, and the adhesive material is a glass paste.
이하 첨부된 도면들을 참조하면서 본 발명에 따른 전계효과 표시소자의 제조방법을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a field effect display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 스페이서를 고정시킬 대상기판으로 적용된 양극판상에 스페이서 설치위치마다 고형의 유리막대의 일부가 끼워질 수 있는 정도 크기의 홈을 다수 형성시키는 과정을 도 3내지 도 7을 통해 설명한다.First, a process of forming a plurality of grooves having a size enough to fit a portion of a solid glass rod on each of the spacer installation positions on a positive electrode plate applied as a target substrate to fix the spacer will be described with reference to FIGS. 3 to 7.
첫단계로서 도 3에서와 같이 양극판(21) 상에 포토레지스터와 같은 감광재료로 소정두께의 감광막(22)을 형성한다. 다음은 이 감광막(22)상에 형성하고자 하는 홈에 대응되는 크기의 개구부(23)를 노광 및 식각과정에 의해 도 4처럼 형성시킨다. 결과적으로 감광막(22)이 제거된 개구부(23) 하부에 대응하는 양극판(21) 영역만이 노출되고, 감광막(22)이 덮혀진 나머지 영역은 노출에 대해 보호된다.As a first step, as shown in FIG. 3, a photosensitive film 22 having a predetermined thickness is formed on the positive electrode plate 21 using a photosensitive material such as a photoresist. Next, an opening 23 having a size corresponding to the groove to be formed on the photosensitive film 22 is formed as shown in FIG. 4 by exposure and etching. As a result, only the region of the anode plate 21 corresponding to the lower portion of the opening 23 from which the photoresist film 22 is removed is exposed, and the remaining region where the photoresist film 22 is covered is protected against exposure.
이후, 샌드 블러스터에 의해 모래알갱이를 감광막(22)에 의한 마스크층에 대하여 쏘아 도 5에 도시된 바와 같이 개구부(23)에 의해 노출된 양극판(21)영역을 일정한 깊이로 파낸다.Thereafter, sand grains are shot to the mask layer by the photosensitive film 22 by sandblasting to excavate the region of the positive electrode plate 21 exposed by the opening 23 to a predetermined depth.
마지막으로 감광막(22)을 제거하게 되면 도 6 및 도 7에서처럼 스페이서 고정용 홈(24)의 형성이 완료된다.Finally, when the photosensitive film 22 is removed, the formation of the spacer fixing groove 24 is completed as shown in FIGS. 6 and 7.
이렇게 양극판(21)상에 홈(24)의 형성이 완료된 이루의 과정을 도 8내지 도 10을 통해 계속 설명한다.Thus, the process of forming the groove 24 on the positive electrode plate 21 will be described with reference to FIGS. 8 to 10.
먼저, 도 8에서와 같이 준비된 스페이서인 고체상의 원통형 유리막대(30)의 단부에 접착용 재료인 유리페이스트(40)를 적정한 두께로 바른다. 대안으로서, 유리막대(30)에 유리페이스트(40)를 바르는 대신에 양극판(21)의 홈(24)에 이 유리페이스트(40)를 적정량 부어 넣는 것으로 유리막대(30)와 홈(24)의 상호접착을 위한 준비과정을 대신할 수 있다. 여기서, 상기 유리페이스트(40)는 점액상태의 물유리(frit glass)를 말한다. 그리고, 상기 유리막대(30)는 양극판(21)과 접하는 부분의 폭에 대한 길이의 비가 1이상으로 충분히 크게 하여도 양극판(21)에 대하여 유리막대에 올려질 음극판(도 10참조, 50) 을 충분히 지지할 수 있는 지지력을 갖는 강도의 것이 적용된다. 유리막대(30)의 길이는 양극판(21)과 음극판(도 10참조, 50) 사이의 유지간극과 관련되어 결정되고, 바람직하게는 홈(24)에 삽입된 길이부분을 제외한 나머지 길이가 200μm 정도의 길이를 갖고, 그 횡단면이 원형인 원기둥상의 것이 적용된다.First, the glass paste 40, which is an adhesive material, is applied to an end of the solid cylindrical glass rod 30 as a spacer prepared as shown in FIG. Alternatively, instead of applying the glass paste 40 to the glass rod 30, the glass paste 40 is poured into the groove 24 of the positive electrode plate 21 so that the glass rod 30 and the groove 24 can be poured. It can replace the preparation process for bonding. Here, the glass paste 40 refers to a slime glass. The glass rod 30 has a negative electrode plate (see FIGS. 10 and 50) to be placed on the glass rod with respect to the positive electrode plate 21 even if the ratio of the length to the width of the portion in contact with the positive electrode plate 21 is sufficiently large. One of strength with sufficient supporting force is applied. The length of the glass rod 30 is determined in relation to the holding gap between the positive electrode plate 21 and the negative electrode plate (see FIGS. 10 and 50), and preferably, the length of the glass rod 30 except for the length portion inserted into the groove 24 is about 200 μm. A cylindrical shape having a length of and having a circular cross section is applied.
이후에는 도 9에서와 같이 유리막대(30)를 양극판(21)의 홈(24)에 끼워넣는다. 이때 양극판(21)에 대하여 유리막대(30)들이 상호 수직상으로 나란하게 세워지도록 그 고정위치를 정렬시킨다.Thereafter, as shown in FIG. 9, the glass rod 30 is inserted into the groove 24 of the positive electrode plate 21. At this time, the fixing positions are aligned so that the glass rods 30 are vertically aligned with respect to the positive electrode plate 21.
그리고 나서, 양극판(21)의 홈에 대하여 수직으로 끼워진 유리막대(30)들이 유리페이스트(40)의 소성에 의해 양극판(21)에 강하게 고정되도록 소정온도로 열처리한다.Then, the glass rods 30 vertically fitted to the grooves of the positive electrode plate 21 are heat-treated at a predetermined temperature so as to be strongly fixed to the positive electrode plate 21 by firing the glass paste 40.
마지막으로, 양극판(21)에 고정설치된 유리막대(30) 위에 마이크로팁들(도 1참조)이 형성된 음극판(50)을 올려놓고, 그 내부가 10-7토르(torr)정도의 진공압이 유지되도록 프리트 글래스(frit glass)재질의 시일재(60)로 봉착하면 도 10에서 처럼 전계효과 표시소자(20)의 제작이 완료된다.Finally, the negative electrode plate 50 having the microtips (see FIG. 1) formed on the glass rod 30 fixed to the positive electrode plate 21 is placed thereon, and the vacuum pressure of about 10 −7 torr is maintained therein. If the sealing material is sealed with a frit glass material 60, the manufacturing of the field effect display device 20 is completed as shown in FIG.
지금까지 설명된 바와 같이 본 발명에 따른 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법에 의하면 준비된 고체상태의 강도가 높은 유리막대를 양극판에 형성된 홈에 접착제에 의한 소성에 의해 고정결합시켜 스페이서가 형성됨으로써 제조공정에 소요되는 시간이 단축되고, 유리막대 적용에 의해 간극 유지강도가 커지고, 스페이서의 점유폭대 높이에 대한 비인 에스펙트 비를 크게할 수 있어 양극판내의 스페이서 점유공간을 줄일 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the spacer manufacturing method of the field effect display device according to the present invention, a spacer is formed by fixing a glass rod having a high strength in a solid state to a groove formed in the positive electrode plate by sintering by adhesive with plastic. The time required for shortening, the glass rod is applied to increase the gap retention strength, it is possible to increase the aspect ratio, which is the ratio to the height of the occupied width of the spacer has the advantage of reducing the spacer occupied space in the anode plate.
Claims (6)
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