KR19990039684A - Vacuum pump with power terminal with transparent cover - Google Patents
Vacuum pump with power terminal with transparent cover Download PDFInfo
- Publication number
- KR19990039684A KR19990039684A KR1019970059853A KR19970059853A KR19990039684A KR 19990039684 A KR19990039684 A KR 19990039684A KR 1019970059853 A KR1019970059853 A KR 1019970059853A KR 19970059853 A KR19970059853 A KR 19970059853A KR 19990039684 A KR19990039684 A KR 19990039684A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- power terminal
- transparent cover
- vacuum pump
- power
- cover
- Prior art date
Links
Abstract
본 발명은 반도체장치 제조설비 등에서 사용되는 진공펌프에 취부된 파워단자의 커버를 투명한 재질로 취부시켜 커버를 열지 않고도 파워단자의 내부를 감시토록 할 수 있는 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프에 관한 것이다.The present invention is a vacuum pump having a power terminal with a transparent cover attached to the cover of the power terminal attached to the vacuum pump used in semiconductor device manufacturing equipment, etc. made of a transparent material to monitor the inside of the power terminal without opening the cover. It is about.
본 발명에 따른 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프는, 펌프본체와 상기 펌프본체를 구동시키는 모터 및 상기 모터의 구동을 단속하기 위한 파워단자로 이루어지며, 상기 파워단자에 투명커버가 취부되어 구성된다.The vacuum pump having a power terminal with a transparent cover according to the present invention comprises a pump body, a motor for driving the pump body, and a power terminal for controlling the driving of the motor, and a transparent cover is mounted on the power terminal. It is configured.
따라서, 파워단자(3)에 투명커버(5)를 취부시키는 것에 의하여, 파워단자(3)의 내부를 육안으로 쉽게 감시할 수 있도록 함으로써, 전원케이블의 정상적인 연결여부, 전원케이블의 피복의 정상상태여부, 전원케이블의 접점의 연결상태여부, 전원케이블의 접점의 단락유무, 파워단자내의 이물질(물, 먼지, 분진 등)의 유입여부 등을 용이하게 육안으로 감시할 수 있도록 하여 화재 또는 이상동작 등을 사전에 예방할 수 있도록 하는 효과가 있다.Therefore, by attaching the transparent cover 5 to the power terminal 3, the inside of the power terminal 3 can be easily monitored by the naked eye, so that the normal connection of the power cable and the normal state of the covering of the power cable are ensured. Whether the contact of power cable is connected, whether the contact of power cable is short-circuited, or whether foreign matter (water, dust, dust, etc.) inside the power terminal can be easily visually monitored. There is an effect that can be prevented in advance.
Description
본 발명은 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치 제조설비 등에서 사용되는 진공펌프에 취부된 파워단자의 커버를 투명한 재질로 취부시켜 커버를 열지 않고도 파워단자의 내부를 감시토록 할 수 있는 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pump having a power terminal with a transparent cover, and more particularly, to cover the power terminal attached to the vacuum pump used in semiconductor device manufacturing equipment, etc. with a transparent material to open the power terminal without opening the cover. It relates to a vacuum pump having a power terminal mounted with a transparent cover for monitoring the inside of the.
반도체장치를 제조하기 위한 제조설비 및 분석설비 등에는 많은 진공펌프들이 사용되고 있으며, 이들의 적정한 유지, 관리는 반도체장치의 수율 뿐만 아니라 제조설비 전체의 유지, 보수 등에도 큰 영향을 줄 수 있다.Many vacuum pumps are used in manufacturing facilities and analytical facilities for manufacturing semiconductor devices, and their proper maintenance and management can greatly affect not only the yield of semiconductor devices but also the maintenance and repair of the entire manufacturing facility.
도 1에 개략적으로 도시한 바와 같이, 종래의 진공펌프는 외견상 기계적인 회전운동에 의하여 공기의 흐름을 발생시켜 설비로부터 공기를 강제적으로 배출시키는 기능을 하는 펌프본체(1)와 상기 펌프본체(1)를 구동시키는 모터(2) 및 상기 모터(2)의 구동을 단속하기 위한 파워단자(3)로 구분되어 구성되며, 상기 파워단자(3)에는 외부로부터 물 또는 먼지 등이 유입되는 것을 방지하고, 그 내부의 배선 및 접점 등의 유지, 보수를 위하여 커버(4)가 착탈가능하게 설치되어 있다.As schematically shown in Figure 1, the conventional vacuum pump has a pump body (1) and the pump body (1) having a function of forcibly discharging the air from the equipment by generating a flow of air by the appearance mechanical rotational movement ( 1) is divided into a motor (2) for driving and a power terminal (3) for intermittent driving of the motor (2), and prevents water or dust from flowing into the power terminal (3). The cover 4 is detachably provided for maintenance and repair of the wiring and the contacts therein.
그러나, 종래의 파워단자(3)의 커버(4)는 철판과 같이 기계적 내구성이 강하나, 불투명한 재질로 되어 있어, 파워단자(3)내에 물이 유입되어 전기적인 단락(short)이 발생하는 경우, 전선의 체결상태가 진동 등에 의하여 이완되거나 풀리는 경우, 이물질 및 분진 등이 유입되어 진공펌프의 구동 중의 전류의 흐름에 의한 주울열에 기인하여 연소가 일어나는 경우 등을 사전에 확인할 수 없어, 진공펌프 자체에 심각한 문제점이 발생하여 진공상태의 불량 등을 유발하는 문제점이 있었으며, 이는 진공펌프 자체만의 손실이 아니라, 그에 연결된 반도체장치 제조설비에 영향을 끼쳐, 반도체장치의 수율저하 및 품질저하 등을 일으키는 문제점이 있었다.However, the cover 4 of the conventional power terminal 3 has a high mechanical durability like an iron plate, but is made of an opaque material, so that water is introduced into the power terminal 3 to generate an electrical short. In case that the state of the wire is loosened or loosened due to vibration, etc., foreign substances and dust are introduced and combustion cannot be confirmed in advance due to Joule heat caused by the flow of current during the operation of the vacuum pump. There was a problem that caused a serious problem in the vacuum state, which is not only a loss of the vacuum pump itself, but also affects the semiconductor device manufacturing equipment connected thereto, causing a decrease in the yield and quality of the semiconductor device. There was a problem.
따라서, 상기한 바와 같은 문제점을 사전에 용이하게 확인할 수 있는 수단을 강구하게 되었다.Therefore, the means which can identify easily the problem as mentioned above in advance was found.
본 발명의 목적은, 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a vacuum pump having a power terminal on which a transparent cover is mounted.
도 1은 반도체장치 제조설비에서 사용되는 진공펌프에 취부된 종래의 파워단자를 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a conventional power terminal mounted on a vacuum pump used in a semiconductor device manufacturing facility.
도 2는 본 발명에 따라 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프를 개략적으로 도시한 사시도이다.Figure 2 is a perspective view schematically showing a vacuum pump having a power terminal mounted with a transparent cover in accordance with the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 펌프본체 2 : 모터1: pump body 2: motor
3 : 파워단자 4 : 커버3: power terminal 4: cover
5 : 투명커버5: transparent cover
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프는, 펌프본체와 상기 펌프본체를 구동시키는 모터 및 상기 모터의 구동을 단속하기 위한 파워단자로 이루어지며, 상기 파워단자에 투명커버가 취부되어 구성된다.The vacuum pump having a power terminal equipped with a transparent cover according to the present invention for achieving the above object is composed of a pump body, a motor for driving the pump body and a power terminal for intermittent driving of the motor, the power A transparent cover is attached to the terminal.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2에 개략적으로 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 투명커버가 취부된 파워단자를 갖는 진공펌프는, 펌프본체(1)와 상기 펌프본체(1)를 구동시키는 모터(2) 및 상기 모터(2)의 구동을 단속하기 위한 파워단자(3)로 이루어지며, 상기 파워단자(3)에 투명커버(5)가 취부되어 구성됨을 특징으로 한다.As schematically shown in FIG. 2, a vacuum pump having a power terminal equipped with a transparent cover according to the present invention includes a motor 2 and a motor for driving a pump body 1 and the pump body 1. 2) is made of a power terminal (3) for intermittent driving, characterized in that the transparent cover (5) is mounted on the power terminal (3).
상기에서 펌프본체(1)와 모터(2) 및 파워단자(3) 등은 모두 종래의 진공펌프에서의 펌프본체와 모터 및 파워단자와 동일 또는 유사한 것으로서, 본 명세서에 첨부된 도면에서도 동일한 인용부호로 나타내고 있으며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 용이하게 이해될 수 있을 정도로 상용화된 것이다.The pump main body 1, the motor 2, and the power terminal 3 are all the same or similar to the pump main body, the motor and the power terminal in the conventional vacuum pump, and the same reference numerals in the drawings attached to the present specification. It is represented by, and commercialized to the extent that it can be easily understood by those skilled in the art.
본 발명에서는 상기 파워단자(3)를 보호하기 위하여 상기 파워단자(3)에 착탈가능하게 취부되는 종래의 불투명한 철판재질로 된 커버(4)를 투명커버(5)로 대체하여 취부시킨 점에 특징이 있으며, 본 발명에 따른 투명커버(5)의 채용으로 인하여 상기 파워단자(3)의 내부를 육안으로 용이하게 감시할 수 있도록 할 수 있도록 하였다.In the present invention, in order to protect the power terminal 3, the conventional opaque iron plate cover 4, which is detachably mounted to the power terminal 3, is replaced by a transparent cover 5, Characterized by the adoption of the transparent cover 5 according to the present invention was to be able to easily monitor the inside of the power terminal (3) with the naked eye.
상기 투명커버(5)는 투광성과 기계적성질이 우수한 재질로 구성될 수 있으며, 주로 유리, 강화유리, 석영, 폴리메틸메타크릴레이트 또는 투명한 폴리염화비닐 등으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재질로 이루어진 판재가 될 수 있으며, 본 발명은 이들 재질에 의하여 한정되는 것은 아니다.The transparent cover 5 may be made of a material having excellent light transmittance and mechanical properties, and may be a plate made of a material mainly selected from the group consisting of glass, tempered glass, quartz, polymethyl methacrylate, or transparent polyvinyl chloride. The present invention is not limited to these materials.
따라서, 본 발명에 의하면 파워단자(3)에 투명커버(5)를 취부시키는 것에 의하여, 파워단자(3)의 내부를 육안으로 쉽게 감시할 수 있도록 함으로써, 전원케이블의 정상적인 연결여부, 전원케이블의 피복의 정상상태여부, 전원케이블의 접점의 연결상태여부, 전원케이블의 접점의 단락유무, 파워단자내의 이물질(물, 먼지, 분진 등)의 유입여부 등을 용이하게 육안으로 감시할 수 있도록 하여 화재 또는 이상동작 등을 사전에 예방할 수 있도록 하는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, by attaching the transparent cover 5 to the power terminal 3, it is possible to easily monitor the inside of the power terminal 3 with the naked eye, so that the normal connection of the power cable, the power cable It is easy to visually monitor whether the cover is in normal condition, whether the contacts of the power cable are connected, whether there is a short circuit in the contacts of the power cable, or whether foreign materials (water, dust, dust, etc.) inside the power terminals are easily monitored. Or there is an effect to prevent abnormal operation in advance.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970059853A KR19990039684A (en) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | Vacuum pump with power terminal with transparent cover |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970059853A KR19990039684A (en) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | Vacuum pump with power terminal with transparent cover |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990039684A true KR19990039684A (en) | 1999-06-05 |
Family
ID=66087050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970059853A KR19990039684A (en) | 1997-11-13 | 1997-11-13 | Vacuum pump with power terminal with transparent cover |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990039684A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006011760A1 (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-02 | Korea Pneumatic System Co., Ltd | Vacuum ejector pumps |
-
1997
- 1997-11-13 KR KR1019970059853A patent/KR19990039684A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006011760A1 (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-02 | Korea Pneumatic System Co., Ltd | Vacuum ejector pumps |
| CN100451351C (en) * | 2004-07-28 | 2009-01-14 | 韩国气压系统有限公司 | Vacuum ejector pumps |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1696538A1 (en) | Dc motor with carbon brush positioned outside | |
| KR20080028355A (en) | Power controller assembly and method | |
| KR19990039684A (en) | Vacuum pump with power terminal with transparent cover | |
| JPH02160930A (en) | Fine spinning frame having many | |
| CN207409891U (en) | A kind of automation equipment distribution box | |
| CN109444632A (en) | A kind of motor for preventing electric leakage alarm device | |
| KR100348796B1 (en) | Air cleaner for distribution board | |
| CN210942052U (en) | Motor controller for electric vehicle with digital bus and digital electric vehicle | |
| CN111864599A (en) | High temperature resistant block terminal | |
| CN207386790U (en) | There is the water circulatory monitoring control device of flow indication and welding robot | |
| CN213343133U (en) | Intelligent electrical control cabinet for building | |
| CN1427266A (en) | Visual indication for equipment operating | |
| GB2107098A (en) | Household appliance with pump operation monitoring means | |
| CN220355265U (en) | Stage machinery light safety subassembly | |
| CN215986429U (en) | Safety monitoring and early warning device for distribution box | |
| CN214590545U (en) | Relay protection device of relay protection setting calculation system | |
| CN219443907U (en) | Radiating assembly and laser module | |
| CN216391176U (en) | Explosion-proof monitoring device of oil gas warehousing and transportation | |
| KR100435901B1 (en) | Apparatus for Examining Fuse Disconnection by Optical Fiber | |
| ITPN980044U1 (en) | SUPPORT BODY FOR VEHICLE PLATE LIGHTING LAMPS | |
| KR200173235Y1 (en) | Fan for industrial | |
| CN218445738U (en) | Power consumption monitoring facilities | |
| CN212544411U (en) | Solid brilliant machine of COB light source convenient to heat dissipation | |
| FR2565027B1 (en) | DEVICE FOR CONTROLLING THE STATE OF ELECTRICAL CONTACTS | |
| JPH05121886A (en) | Cooling fan device for electric apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |