KR19990029253A - 분진제거장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 분진여과시의 압력손실의 발생을 억제하고, 필터를 장기간에 걸쳐 사용할 수 있는 분진의 제거장치에 관한 것으로,

통형으로 형성된 필터와, 상기 통형필터의 가상중심축상에 회전중심축를 갖고 상기 필터의 내주면에 접촉하여 회전하여 분진을 제거하는 회전브러시를 구비하고, 분진을 함유하는 기체를 상기 필터의 내측으로부터 외측으로 관류시킴에 의해 분진을 분리함과 동시에, 상기 필터의 내주면에 부착된 분진을 상기 회전브러시에서 제거하는 분진의 제거장치에 있어서, 상기 회전브러시에, 그 회전중심축의 축심방향에서 보아, 비모식영역을 형성한 것이다. 예를들면,상기 회전브러시의 비모식영역를, 회전중심축의 외주측의 150 내지 210도의 영역으로 하고, 상기 회전브러시로의 모식부가, 그 회전중심축를 중심으로 하여 나선상으로 형성된다.

Description

분진 제거 장치

본 발명은, 반도체 제조 공정이나 폐기물 처리 공정등에 있어서 발생하는 유해한 분진을 분리하여 제거하는 분진의 제거장치에 관한 것이다.

반도체 소자 제조공정등에 이용되고 있는 분진 제거 장치로서는, 일본 특개평 6-114225호 공보에 기재된 장치가 알려져 있고, 분진을 함유하는 기체를 내측에서부터 외측으로 통과시킴에 의해 분진을 분리하는 필터 1과, 여과에 의해 상기 필터표면의 내주측표면에 부착한 분진을 제거하는 기능을 구비함과 함께, 자연히 전처리용의 필터의 기능을 갖는 회전브러시로 이루어진 필터(11)를 구비한 분진 제거 장치(도 3 참조)가 개시되어 있다. 또한, 도 3(a)에 있어서, (10)은 케이싱, (11)은 도입구, (12)는 배출구, (21)은 필터 1, (22)는 모터, (23)은 필터 2(회전브러시)를 각각 나타낸다.

상기 장치는, 필터 2의 회전브러시(23)에도 분진제거의 필터기능을 기대하는 것이므로, 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 상기 회전브러시에는 회전축의 전주위에 촘촘히 모식된 것이 이용되고 있다. 또한, 분진을 함유하는 기체를 도입하는 도입구(11)과, 여과완료된 기체를 배출하는 배출구(12)가 함께 상측으로 형성되어 있음으로, 도입구(11)로부터 필터 1의 내부로 도입된 기체는, 필터 1 내부의 하측으로 갈 때까지 필터 1를 통과하여, 기체의 흐름이 상측으로 편중되기 쉽다. 따라서 필터 1의 상부는 단기간에 눈막힘을 일르키고, 압력손실이 크게됨으로, 필터를 빈번히 교환할 필요가 있고, 필터의 수명이 짧은 것이 지적되고 있었다.

본 발명은, 상기 사정에 착안하여 이루어진 것으로, 분진여과시의 압력손실의 발생을 극력 억제하고, 필터를 장기간에 걸쳐 사용할 수 있는 분진의 제거장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 분진 제거 장치는, 통형으로 형성된 필터와, 상기 통형필터의 가상중심축상에 회전중심축를 갖고 상기 필터의 내주면에 접촉하여 회전하여 분진을 제거하는 회전브러시를 구비하고, 분진을 함유하는 기체를 상기 필터의 내측으로부터 외측으로 관류시킴에 의해 분진을 분리함과 동시에, 상기 필터의 내주면에 부착된 분진을 상기 회전브러시에서 제거하는 분진의 제거장치에 있어서, 상기 회전브러시에, 그 회전중심축의 축심방향에서 보아, 비모식영역을 형성한 것을 특징으로 한다.

도 1 은 본 발명에 의한 분진 제거 장치의 대표예를 나타낸 개략 설명도

도 2 는 본 발명에 의한 회전 브러시의 대표적인 모식 패턴을 나타낸 개략 설명도

도 3 은 종래의 분진 제거 장치를 나타낸 개략 설명도

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***

10 : 케이싱 11 : 도입구

12 : 배출구 13 : 하부박스

14 : 청소창 20 : 여과유니트

21 : 필터 22 : 모터

23 : 브러시 24 : 회전중심축

25 : 필터지지부재

종래의 분진 제거 장치에서는, 회전브러시에 분진제거의 필터기능도 기대하는 것이므로, 브러시의 털은 회전중심축의 전주위에 걸쳐 촘촘히 모식되어 있었다. 본발명자들이 예의 연구한 바, 분진의 여과는 브러시에 의한 전처리가 없어도 필터만으로 충분하고, 브러시의 털은 오히려 가능한 조밀하게 하고, 필터의 재생처리에 필요최저한의 범위로 하고, 분진을 함유하는 기체가 필터의 내부의 공간을 전체적으로 넓히게 쉽게 구성하고, 필터의 일부의 영역이 아니고, 가능한 필터의 전역에서 분진의 여과를 행하는 것이 바람직한 것을 발견했다. 즉, 회전브러시의 회전중심축의 축심방향에서 보고, 상기 비모식영역을 갖는 회전브러시를 채용함에 의해, 분진함유기체의 도입구와, 분진제거기테의 배출구를, 케이싱의 상면에 형성한 경우에라도, 필터의 상측부분만을 단축하여 통과하는 것이 아니고, 필터전역에서 통과가능하도록 되고, 필터의 수명을 연장할 수 있고, 필터의 교환빈도를 대폭 저감할 수 있는 것이다.

도 1은 본 발명에 관한 분진 제거 장치의 대표예를 나타낸 개략 설명도이다. 본 발명의 분진 제거 장치의 기본적 구성은, 종래의 장치와 동일해도 좋고, 원통형의 케이싱(10)내에 여과유니트(20)를 내장하고, 분진을 함유하는 기체를 케이싱(10)의 상면에 설치된 도입구(11)로부터 여과유니트의 내부로 송급하고, 필터(21)를 통과시킴에 의해 분진을 여과하여 기체만을 케이싱(10) 상면의 배출구(12)로부터 장치외부로 배출하면 된다.

또한, 상기 필터(21)는, 케이싱(10)의 내주면에 고정설치된 필터지지부재(25)에 의해 지지되는 원통형으로 형성되어 있다. 이 필터(21)의 내부에는 회전브러시(23)가 배치설치되어 있고, 그 회전중심축은 모터(22)에 연속설치되고, 브러시선단이 상기 필터(21)의 내주면에 내장하여 회전하도록 구성되어 있다.

따라서, 상기 회전브러시(23)를 회전시킴에 의해 상기 필터(21)의 내주면에 부착된 분진을 털어 낙하시킬 수 있고, 필터(21)는 재생된다.

본 발명에 있어서 특징적인 구성은, 회전브러시의 형상(브러시의 털의 배설방법)에 있고, 상기 회전브러시는 그 회전중심축의 축심방향에서 보아, 비모식영역을 갖고 있다. 도 1의 장치에 있어서는, 회전브러시의 반주에 걸쳐 나선상으로 모식이 되어 있고, 회전중심축의 축심방향에서 보아, 회전중심축의 외주측의 180도의 영역이 비모식영역으로 되어 있다. 이와 같이 회전중심축를 중심으로 하여 나선상으로 모식된 브러시를 채용한 경우에는, 상기 회전브러시의 비모식영역를 회전중심축의 외주측의 150 내지 210도의 영역으로 하는 것이 바람직하다.

이 회전브러시의 형상이외에도, 도 2의 (A)(B)(C)와 같이, 일부의 영역에 있어서 회전중심축의 상단에서부터 하단까지 축심과 평행하게 모식부가 형성된 회전브러시를 채용해도 좋다. 또한, 도 2의 (C)는, 축심과 평행하게 형성된 모식부를 회전중심축의 정반대방향의 2방향으로 갖도록 이루어진 예이다.

또, 케이싱(10)의 하측를 케이스본체와는 별체의 하부박스(13)으로 하고, 주위로부터의 기밀성을 유지하는 것을 목적으로 하고, 도시되지 않은 O링이나 클램프를 접속부에 배설해도 된다. 이 경우는, 필터(21)의 내주면으로부터 털어떨어진 분진은, 낙하여 하부박스(13)내에 저장되게 된다. 상기 하부박스(13)내에 저장되어 있는 분진은, 정기적으로 또는 필요에 응하여 하부박스(13)를 케이싱(10)의 본체로부터 분리함에 의해, 하부박스(13)에 모인 분진을 폐기할 수 있다. 또한 도 1에 도시된 바와 같이, 케이싱(10)의 일부에 캡 또는 뚜껑을 갖는 청소창(14)를 설치하면, 분진를 제거하고 싶은 경우에 캡 또는 뚜껑을 열고 청소창(14)으로부터 진공흡입등을 하는 것에 의해 케이싱내부의 분진을 배출할 수 있다.

본 발명는 이상과 같이 구성되어 있으므로, 분진여과시의 압력손실의 발생을 억제할 수 있고, 필터를 장기간에 걸쳐 사용할 수 있게 되고, 필터의 교환빈도가 적은 분진 제거 장치를 제공할 수 있다.

Claims (4)

1. 통형으로 형성된 필터와, 상기 통형필터의 가상중심축상에 회전중심축를 갖고 상기 필터의 내주면에 접촉하여 회전하여 분진을 제거하는 회전브러시를 구비하고,

   분진을 함유하는 기체를 상기 필터의 내측으로부터 외측으로 관류시킴에 의해 분진을 분리함과 동시에, 상기 필터의 내주면에 부착된 분진을 상기 회전브러시에서 제거하는 분진의 제거장치에 있어서,

   상기 회전브러시는, 그 회전중심축의 축심방향에서 보아, 비모식영역을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 분진제거장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 회전브러시의 비모식영역이, 회전중심축의 외주측의 150 내지 210도의 영역인 것을 특징으로 하는 분진 제거 장치
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 회전브러시로의 모식부가, 그 회전중심축를 중심으로 하여 나선상으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 분진 제거 장치
4. 제 1 항 내지 제 3 항에 어느 하나에 있어서,

   분진을 함유하는 기체의 도입구와, 분진이 분리된 기체의 배출구가, 상기 통형케이싱의 상면에 형성되어 이루어지는 분진 제거 장치.