KR19990028051U - 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치 - Google Patents

Abstract

본 고안에 의한 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치는, 베이스 플레이트의 상면에서 자력을 형성하는 마그네트와, 상기 마그네트의 자력에 대하여 반발력을 갖도록 설치된 코일과, 반발되는 코일의 추력에 의해 모터 가이드부재의 안내를 받아 직선적으로 슬라이드되는 슬라이더를 구비한 리니어 스테이지에 있어서, 상기 슬라이더의 내측에 설치되어 상기 코일을 체결용 부재를 매개로 체결함과 동시에 상기 코일과 마그네트와의 갭을 조절하는 갭 조절부재와, 상기 갭 조절부재의 플랜지에 삽입되고 상기 슬라이더의 플랜지와 체결되어 좌우 회전시킴으로써 상기 갭 조절부재를 상하로 이동시켜 그 갭을 조절하는 다수의 조절 플러그를 포함함을 특징으로 하므로 본 고안은 상기 코일이 갭 조절부재의 하면에 체결용 부재에 의해 유동됨이 없이 견고히 조립되고, 코일과 마그네트와의 갭을 일정하게 조절 및 유지할 수 있다.

Description

리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치

본 고안은 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 리니어 모터 부분인 코일과 마그네트 사이의 에어 갭을 조정하기 쉽고 조정 후 일정하게 유지되게 하기 위한 조정장치에 관한 것이다.

리니어 스테이지란 리니어 모터의 구동에 의한 반송 방식을 말하는 바, 리니어 모터의 원리는 옛날의 100년 전부터 알려져 있으나, 실용화 단계에 들어간 것은 비교적 최근이다.

근년에 주로 사용하고 있는 것은 자동차 공장의 세미 어셈블리 라인에서의 각종 부품을 라인에 공급, 가공과 조립 라인상의 워크를 적재한 팔레트의 고속 이동정지, 전자 OA관계 기기의 생산 공장안에서 각종 부품의 다른 생산 라인에 사용하고 있다.

특히, 반도체 제조 공장내에서 웨이퍼 반송에는 클린도가 높기 때문에 활용하고 있다.

또, 생산 라인만이 아니라 포장 라인등에 포장 재료의 적시 공급에 의한 효휼 향상에도 채용한 예가 있다.

이러한 리니어 모터의 종류를 분류하면, 리니어 인덕션 모터(LIM), 리니어 직류 모터(LDM), 리니어 펄스 모터(LPM)등을 비롯한 여러 종류로 분류되고, 용도에 따라 각종 특징을 살려 응용하고 있다.

이러한 리니어 모터의 구조에 의하면, 회전형 모터의 회전쪽과 고정쪽을 모두 편면으로 전개한 것이며, 회전쪽이 평면 이동하고 고정쪽이 지상에 평면적으로 고정된 형태이다.

이 리니어 스테이지는 도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 그 하단에 설치된 베이스 플레이트(10)와, 상기 베이스 플레이트(10)의 상면에 다수의 체결부재(99)를 매개로 고정되어 자력을 형성하는 마그네트(11)와, 상기 마그네트(11)의 상측에서 상기 마그네트(11)와의 반발력을 갖는 코일(12)에 의해 추력을 얻어 직선운동하도록 설치된 슬라이더(13)와, 상기 슬라이더(13)와 베이스 플레이트(10)의 사이에 체결되어 상기 슬라이더(13)의 하면을 지지하면서 안내하는 모터 가이드부재(14)로 구성되어 있다.

상기 코일(12)은 상기 슬라이더(13)의 하면에 다수의 체결 및 조절용 부재(20)로 상기 마그네트(11)와 일정한 간격을 두고 설치되어 있는 바, 상기 코일(12)과 마그네트(11)와의 간격은 상기 다수의 체결 및 조절용 부재(20)를 회전시켜 그 간격을 조절하게 된다. 이 간격에 형성되는 자기 공정에 의해 상기 슬라이더(13)가 이동하면서 부품을 반송하게 되는 것이다.

그러나, 상기한 바와 같은 종래의 리니어 스테이지는 상기 슬라이더(13)의 하면에 설치된 코일(12)은 그 하측의 마그네트(11)와 일정 간격을 두고 설치되는 바, 그 간격은 상기 다수의 체결 및 조절용 부재(20)로 체결과 조절을 동시에 하는 기능을 가지고 있기 때문에 슬라이더(13)와 코일(12)이 완전히 체결되지 않은 상태에서 작동하게 된다. 이러한 상태에서는 상기 체결 및 조절용 부재(20)의 체결력이 약해서 코일(12)과 마그네트(11)사이의 에어 갭이 일정하지 못하고 변하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 본 고안의 목적은 리니어 스테이지에서 리니어 모터의 부품인 코일과 마그네트 사이의 에어갭을 일정하게 조절하도록 한 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치를 제공하는 데 있다.

상기와 같은 목적을 실현하기 위하여 본 고안에 의한 리니어 스테이지의 에어갭 조정장치는 베이스 플레이트의 상면에서 자력을 형성하는 마그네트와, 상기 마그네트의 자력에 대하여 반발력을 갖도록 설치된 코일과, 반발되는 코일의 추력에 의해 모터 가이드부재의 안내를 받아 직선적으로 슬라이드되는 슬라이더를 구비한 리니어 스테이지에 있어서, 상기 슬라이더의 내측에 설치되어 상기 코일을 체결용 부재를 매개로 체결함과 동시에 상기 코일과 마그네트와의 갭을 조절하는 갭 조절부재와, 상기 갭 조절부재의 플랜지에 삽입되고 상기 슬라이더의 플랜지와 체결되어 좌우 회전시킴으로써 상기 갭 조절부재를 상하로 이동시켜 그 갭을 조절하는 다수의 조절 플러그를 포함함을 특징으로 한다.

도1은 종래의 리니어 스테이지를 도시한 평면도,

도2는 도1의 A-A선에 따른 단면도,

도3은 본 고안에 의한 리니어 스테이지를 도시한 평면도,

도4는 도3의 B-B선에 따른 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 마그네트12 : 코일

13 : 슬라이더15 : 갭 조절부재

16 : 조절 플러그

이하, 본 고안의 일실시예를 도면을 참조하면서 상세히 설명한다.

도3 및 도4에 도시된 바와 같이, 본 고안에 의한 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치는, 베이스 플레이트(10)의 상면에서 자력을 형성하는 마그네트(11)와, 상기 마그네트(11)의 자력에 대하여 반발력을 갖도록 설치된 코일(12)과, 반발되는 코일(12)의 추력에 의해 모터 가이드부재(14)의 안내를 받아 직선적으로 슬라이드되는 슬라이더(13)와, 상기 슬라이더(13)의 내측에 설치되어 상기 코일(12)을 체결용 부재(21)를 매개로 체결함과 동시에 상기 코일(12)과 마그네트(11)와의 갭을 조절하는 갭 조절수단으로 이루어져 있다.

상기 갭 조절수단은 상기 슬라이더(13)의 내측 플랜지에 안착되며 그 하단면에 코일(12)이 부착된 갭 조절부재(15)와, 상기 갭 조절부재(15)의 플랜지부에 결합되고 상기 슬라이더(13)와 체결되어 좌우 회전시킴으로써 상기 갭 조절부재(15)를 상하로 이동시켜 그 갭을 조절하는 다수의 조절 플러그(16)로 이루어져 있다.

상기 조절 플러그(16)는 볼트 형상으로 되어 있으며, 그 하단은 상기 슬라이더(13)에 결합되고, 그 하단보다 큰 외주를 가진 나사부는 상기 갭 조절부재(16)와 결합되어 있다.

다음에, 상기한 본 고안의 작용에 대하여 설명한다.

먼저, 마그네트(11)에 작용하는 자력에 의해 그 상측에 있는 코일(12)에 서로 직선적인 반발력 즉, 추력이 작용하여 상기 슬라이더(13)가 이동한다.

상기 코일(12)은 다수의 체결용 부재(21)에 의해 슬라이더(13)의 하단에 체결된 상태로 상기 마그네트(11)와 일정한 갭을 유지하는 상태로 설치되어 있는 바, 이러한 갭은 상기 슬라이더(13)의 무게에 따라 다르게 나타나고 필요한 경우 이 갭을 조절하게 된다.

이러한 갭의 조절은 상기 슬라이더(13)의 내측에 삽입된 갭 조절부재(15)의 플랜지에 다수개 설치된 조절 플러그(16)를 공구를 회전시켜 조절하게 되는 것이다.

상기 갭 조절부재(15)에는 조절 플러그(16)의 나사부가 결합되어 4개의 조절 플러그(16)를 서로 대각선 방향에 있는 것끼리 조절하게 되고, 상기 코일(12)이 갭 조절부재(15)의 하면에 체결용 부재(21)에 의해 유동됨이 없이 견고히 조립되어 마그네트(11)와의 갭이 일정하게 유지되는 것이다.

상기한 바와 같이, 본 고안에 의한 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치에 의하면, 슬라이더의 내측에 체결되는 갭 조절부재에 다수의 조절 플러그를 결합시켜 구성함으로써 상기 코일이 갭 조절부재의 하면에 체결용 부재에 의해 유동됨이 없이 견고히 조립되고, 코일과 마그네트와의 갭을 일정하게 조절 및 유지할 수 있다.

Claims (3)

1. 베이스 플레이트의 상면에서 자력을 형성하는 마그네트와, 상기 마그네트의 자력에 대하여 반발력을 갖도록 설치된 코일과, 반발되는 코일의 추력에 의해 모터 가이드부재의 안내를 받아 직선적으로 슬라이드되는 슬라이더를 구비한 리니어 스테이지에 있어서, 상기 슬라이더의 내측에 설치되어 상기 코일을 체결용 부재를 매개로 체결함과 동시에 상기 코일과 마그네트와의 갭을 조절하는 갭 조절수단을 포함함을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 갭 조절수단은 상기 슬라이더의 내측 플랜지에 안착되며 그 하단면에 코일이 부착된 갭 조절부재와, 상기 갭 조절부재의 플랜지부에 결합되고 상기 슬라이더와 체결되어 좌우 회전시킴으로써 상기 갭 조절부재를 상하로 이동시켜 그 갭을 조절하는 다수의 조절 플러그로 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 조절 플러그는 그 하단이 상기 슬라이더에 결합되고, 그 하단보다 큰 외주를 가진 나사부가 상기 갭 조절부재와 결합된 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지의 에어 갭 조정장치.