KR19990018425A - Fiber array module with input / output fiber array on the same plane board - Google Patents
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Abstract
본 발명은 동일 평면기판상에 입출력 광섬유 어레이가 위치하는 광섬유 어레이 모듈에 관한 것으로서, 동일 평면기판상에 입출력 광섬유 어레이가 위치하는 광섬유 어레이 모듈은, 광도파로 소자와 부착되는, 적어도 하나 이상의 광신호 입력용 광섬유 및 적어도 하나 이상의 출력용 광섬유가 동일 평면기판 상에 위치하는 구조를 가짐이 바람직하다. 그 광도파로 소자와 부착되는 광섬유 어레이 모듈의 끝면은 반사손실을 줄이기 위해, 평면상 및 단면상에서 0°- 20° 사이의 각도로 이루어짐이 바람직하며, 그 광섬유 어레이를 배열하기 위한 평면기판은 광섬유 어레이 배열을 위한 음각된 홈을 구비함이 바람직하다.The present invention relates to an optical fiber array module in which an input / output optical fiber array is located on the same planar substrate, wherein the optical fiber array module in which the input / output optical fiber array is located on the same planar substrate is attached to an optical waveguide element. Preferably, the optical fiber and at least one output optical fiber have a structure located on the same planar substrate. The end face of the optical fiber array module attached to the optical waveguide element is preferably formed at an angle between 0 ° and 20 ° in plan and cross section to reduce reflection loss, and the planar substrate for arranging the optical fiber array is an optical fiber array. It is desirable to have engraved grooves for the arrangement.
본 발명에 의하면, 광섬유 어레이 모듈의 입력 광섬유와 출력 광섬유의 배열 구조를 개선하여 광도파로 소자에 광섬유 어레이 모듈을 부착시킬 때, 광섬유 어레이 모듈 부착에 필요한 공정을 단순하게 하면서 공정비를 줄일 수 있다.According to the present invention, when attaching the optical fiber array module to the optical waveguide device by improving the arrangement structure of the input optical fiber and the output optical fiber of the optical fiber array module, the process cost can be reduced while simplifying the process required for attaching the optical fiber array module.
Description
본 발명은 광섬유 어레이 모듈에 관한 것으로서, 특히 광도파로 소자의 패키지 공정 중에서 광도파로 소자와 광섬유 어레이 모듈간의 접속시 광신호의 입력과 출력을 하나의 광섬유 어레이 모듈을 통하여 동시에 처리하기 위해, 광도파로 소자의 한 단면에 하나의 광섬유 어레이 모듈만을 부착하는, 동일 평면기판상에 입출력 광섬유 어레이가 위치하는 광섬유 어레이 모듈에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber array module, and more particularly, in order to simultaneously process input and output of an optical signal through one optical fiber array module during connection between the optical waveguide device and the optical fiber array module during the packaging process of the optical waveguide device. The present invention relates to an optical fiber array module in which an input / output optical fiber array is located on a coplanar substrate for attaching only one optical fiber array module to one end surface of the same.
최근까지, 평면 도파로 기술(Planar Waveguide Technology)을 이용하여 평면 기판상에 많은 종류의 광도파로 소자가 제작되고, 그 기능을 더욱 집적화하려는 추세이며, 실제로 그 성과가 나타나고 있다. 반면에, 광섬유와 광도파로 간의 접속을 쉽게 하려는 연구와 노력은 많았으나, 그러한 노력에 비하여 그 성과는 미미한 실정이다. 광도파로에 광섬유를 쉽게 부착하기 위하여, 평면기판 상에 광섬유가 배열된 광섬유 어레이 모듈(또는 광섬유 블럭)을 이용하고 있지만, 그 이상의 가시적인 성과는 나타나지 않고 있다. 광도파로 소자를 제작하기 위한 중요 기술로는 도파로 설계(Waveguide Design), 도파로 제작(Waveguide Fabrication), 패키지(Package) 기술 등으로 구분 할 수 있다. 이러한 기술 중에서 상기 소자의 패키지 기술은 소자가 지닌 광특성을 실질적으로 구현 할 수 있는 최종 부품을 제작하기 위하여 반드시 필요한 기술이다. 또한 상기 패키지 기술은 광부품 제작에 있어서 가장 많은 비용을 필요로 하는 공정으로서, 소자의 광특성을 향상시키면서 광소자의 저가격화를 도모할 수 있는 기술개발이 시급하다.Until recently, many types of optical waveguide devices have been fabricated on planar substrates using Planar Waveguide Technology, and the functions have been increasingly integrated. On the other hand, many researches and efforts have been made to facilitate the connection between the optical fiber and the optical waveguide, but the results are insignificant. In order to easily attach an optical fiber to an optical waveguide, an optical fiber array module (or an optical fiber block) in which an optical fiber is arranged on a flat substrate is used, but no visible results are shown. Important technologies for manufacturing optical waveguide devices can be classified into waveguide design, waveguide fabrication, and packaging technologies. Among these technologies, the package technology of the device is a technology necessary for manufacturing a final part that can substantially realize the optical characteristics of the device. In addition, the package technology is the process that requires the most cost in manufacturing the optical component, it is urgent to develop a technology that can lower the cost of the optical device while improving the optical characteristics of the device.
일반적으로 광도파로 소자에 부착하기 위한 광섬유 어레이 모듈을 제작할 때, 상기 광도파로 소자의 입력단에 부착하는 광섬유 어레이 모듈과 상기 광도파로 소자의 출력단에 부착하기 위한 광섬유 어레이 모듈을 각각 제작한다. 따라서 상기 광도파로 소자의 입력단 및 출력단에 상기 제작된 광섬유 어레이 모듈을 부착한다. 도 1는 기존 방법에 의한 광섬유 어레이 모듈의 구조도, 즉 4심 입력단용 광섬유 어레이 모듈과 4심 출력단용 광섬유 어레이 모듈의 일반적인 구조도를 도시한 것으로서, (a)는 입력단 과섬유 어레이모듈을, (b)는 출력단 광섬유 어레이 모듈을 나타낸다. 참조번호 100은 광섬유 어레이모듈 기판, 110은 상기 광섬유 어레이모듈 기판(100)위에 배열된 광섬유 또는 도파로, 120은 상기 광섬유 어레이모듈 기판(100) 위에 배열된 출력단 광섬유 또는 도파로, 130은 광섬유 어레이모듈 리드를 나타낸 것이다. 상기 도 1에 도시된 바와 같이 광섬유 어레이 모듈에 배열된 광섬유들의 간격은 동일 간격을 유지하며, 입력단을 위한 광섬유 어레이 모듈은 입력단에만 사용이 제한되고, 출력단용 광섬유 어레이 모듈은 출력단에만 사용할 수 있다. 또한 하나의 광도파로 소자에는 항상 1개의 입력단용 광섬유 어레이 모듈과 1개의 출력단용 광섬유 어레이 모듈을 사용하여야 한다.In general, when fabricating an optical fiber array module for attaching to an optical waveguide device, an optical fiber array module for attaching to an input end of the optical waveguide device and an optical fiber array module for attaching to an output end of the optical waveguide device are manufactured. Therefore, the fabricated optical fiber array module is attached to the input terminal and the output terminal of the optical waveguide device. Figure 1 shows the structure of the optical fiber array module according to the conventional method, that is, the general structure diagram of the optical fiber array module for the four-core input stage and the optical fiber array module for the four-core output stage, (a) is the input terminal and the fiber array module, ( b) shows the output fiber array module. Reference numeral 100 denotes an optical fiber array module substrate, 110 an optical fiber or waveguide arranged on the optical fiber array module substrate 100, 120 an output end optical fiber or waveguide arranged on the optical fiber array module substrate 100, and 130 an optical fiber array module lead. It is shown. As shown in FIG. 1, the spacing of the optical fibers arranged in the optical fiber array module maintains the same interval, and the optical fiber array module for the input terminal is limited to the input terminal, and the optical fiber array module for the output terminal may be used only for the output terminal. In addition, one optical waveguide device should always use one optical fiber array module for one input terminal and one optical fiber array module for one output terminal.
도 2는 도 1에 도시된 광섬유 어레이 모듈을 이용하여, 기존의 방법에 의한 광섬유 어레이 모듈과 광도파로 소자와 접속방법을 도시한 것으로서, 참조번호 160은 광도파로 소자 기판, 140은 광도파로 소자 기판(160)위에 제작된 광도파로, 150은 광도파로 소자 기판(160) 위에 제작된 광도파로의 신호처리영역, 170은 광도파로 소자 기판 리드를 나타낸다. 상기 도 2에 도시된 바와 같이, 도 1에서의 4개의 입력단과 4개의 출력단을 각각 다른 단면상에 갖는 도파로 소자와 4개의 광섬유를 배열한 입력단용 광섬유 어레이 모듈과 동일한 출력단용 광섬유 어레이 모듈을 부착할때 광섬유 어레이 모듈의 부착 공정을 두번 반복해야 한다. 즉 기존의 방법에 있어서, 광도파로 소자에 광섬유 어레이 모듈을 부착할 때, 먼저 광도파로 소자의 입력단에 사용되는 광섬유 어레이 모듈을 사용하고, 출력단에 사용되는 광섬유 어레이 모듈을 각각 사용하여 부착에 필요한 단면의 연마(Polishing) 또는 절단 (Cleaving)의 공정이 부착하고자하는 광도파로의 입력단면 및 출력단면과 광섬유 어레이 모듈의 부착 단면에 행하여진다. 그 후 광도파로 소자와 광섬유 어레이 모듈을 정렬한 후 출력단의 출력량을 관찰하면서 그 출력량이 최대가 될 때, 입력단에 광섬유 어레이 모듈을 부착시키고, 다시 광도파로 소자의 출력단과 광섬유 어레이 모듈을 정렬하여 부착시키는 방법을 이용한다. 이러한 부착 방법은 광도파로 부품의 제작 공정상에서 가장 큰 비용이 드는 원인이 된다. 일반적으로 광도파로 소자에 광섬유를 부착할 때 드는 비용은 광도파로 부품의 전체가격의 약 60% 이상이 드는 것으로 여겨진다.2 is a view illustrating a method of connecting an optical fiber array module, an optical waveguide device, and an optical waveguide device by a conventional method using the optical fiber array module shown in FIG. 1, wherein reference numeral 160 denotes an optical waveguide device substrate and 140 denotes an optical waveguide device substrate. An optical waveguide fabricated on (160), 150 denotes a signal processing region of the optical waveguide fabricated on the optical waveguide device substrate 160, and 170 denotes an optical waveguide device substrate lead. As shown in FIG. 2, a waveguide device having four input terminals and four output terminals in FIG. 1 on a different cross section, and an optical fiber array module for an output stage identical to an optical fiber array module for an input stage in which four optical fibers are arranged. At this time, the attachment process of the fiber array module must be repeated twice. That is, in the conventional method, when attaching the optical fiber array module to the optical waveguide device, first, the optical fiber array module used for the input end of the optical waveguide device is used, and the optical fiber array module used for the output end is used to attach the optical fiber array module. Polishing or cleaving is performed on the input end face and output end face of the optical waveguide to be attached and the end face of the optical fiber array module. After aligning the optical waveguide element and the optical fiber array module, observe the output of the output stage and observe the output of the output stage. When the output reaches the maximum, attach the optical fiber array module to the input terminal, and then align and attach the output end of the optical waveguide element and the optical fiber array module. Use the method to make it. This method of attachment is the most costly cause in the manufacturing process of optical waveguide components. In general, the cost of attaching an optical fiber to an optical waveguide device is estimated to be about 60% or more of the total price of the optical waveguide component.
본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 광도파로 소자의 단면에 광섬유 어레이 모듈를 부착할 때 상기 부착에 필요한 공정을 절반 이하로 줄이기 위해, 입력단과 출력단의 각면에 광섬유 어레이 모듈을 각각 부착하는 기존의 방법과는 달리, 광도파로 소자의 한 단면에 하나의 광섬유 어레이 모듈만을 부착하여 광신호의 입력과 출력을 하나의 광섬유 어레이 모듈을 통하여 동시에 처리할 수 있는, 동일 평면기판상에 입출력 광섬유 어레이가 위치하는 광섬유 어레이 모듈을 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is that when attaching the optical fiber array module to the cross-section of the optical waveguide device, in order to reduce the process required for the attachment to less than half, compared with the existing method of attaching the optical fiber array module to each side of the input terminal and the output terminal, respectively Alternatively, an optical fiber array in which an input / output optical fiber array is located on a coplanar substrate may be attached to only one optical fiber array module on one end surface of the optical waveguide device so that the input and output of the optical signal can be simultaneously processed through one optical fiber array module. To provide a module.
도 1는 기존 방법에 의한 광섬유 어레이 모듈의 구조도를 도시한 것으로서, (a)는 입력단 광섬유 어레이모듈, (b)는 출력단 광섬유 어레이모듈을 나타낸다.1 is a structural diagram of an optical fiber array module according to a conventional method, in which (a) shows an input optical fiber array module, and (b) shows an output optical fiber array module.
도 2는 도 1에 나와있는 광섬유 어레이 모듈을 이용하여, 기존의 방법에 의한 광섬유 어레이 모듈과 광도파로 소자와 접속을 도시한 것이다.FIG. 2 illustrates a connection between an optical fiber array module and an optical waveguide device by a conventional method using the optical fiber array module shown in FIG. 1.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 광도파로 소자와 접속하는 광섬유 어레이 모듈의 구조도를 도시한 것으로서, (a)는 횡단면도, (b)는 종단면도이다.3 is a structural diagram of an optical fiber array module connected to an optical waveguide device according to an exemplary embodiment of the present invention, where (a) is a cross sectional view and (b) is a longitudinal sectional view.
도 4는 본 발명에 의한 광섬유 어레이 모듈의 반사 손실을 줄이기 위하여 횡방향으로 임의의 각도를 지니는 광섬유 어레이 모듈의 구조도를 도시한 것으로서, (a)는 횡단면도, (b)는 종단면도이다.Figure 4 shows a structural diagram of the optical fiber array module having an arbitrary angle in the lateral direction in order to reduce the reflection loss of the optical fiber array module according to the present invention, (a) is a cross-sectional view, (b) is a longitudinal cross-sectional view.
도 5는 본 발명에 의한 광섬유 어레이 모듈의 반사 손실을 줄이기 위하여 종방향으로 임의의 각도를 지니는 광섬유 어레이 모듈의 구조도를 도시한 것으로서, (a)는 횡단면도, (b)는 종단면도이다.5 is a structural diagram of the optical fiber array module having an arbitrary angle in the longitudinal direction to reduce the reflection loss of the optical fiber array module according to the present invention, (a) is a cross-sectional view, (b) is a longitudinal cross-sectional view.
도 6는 본 발명에 의한 광섬유 어레이 모듈과 광도파로 소자와의 접속에 대한 실시예를 도시한 것으로서, (a)는 도 3 및 도 5에 도시된 광섬유 어레이모듈과광도파로소자와의 접속을, (b)는 도 4에 도시된 광섬유 어레이모듈과 광도파로소자와의 접속을 나타낸 것이다.6 illustrates an embodiment of a connection between an optical fiber array module and an optical waveguide device according to the present invention, and (a) illustrates a connection between the optical fiber array module and the optical waveguide device shown in FIGS. 3 and 5; (b) shows the connection between the optical fiber array module and the optical waveguide device shown in FIG.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings
100 : 광섬유 어레이 모듈 기판100: fiber array module substrate
110 : 광섬유 어레이 모듈 기판위에 배열된 입력단 광섬유 또는 도파로110: input end optical fiber or waveguide arranged on the optical fiber array module substrate
120 : 광섬유 어레이 모듈 기판위에 배열된 출력단 광섬유 또는 도파로120: an output optical fiber or waveguide arranged on the optical fiber array module substrate
130 : 광섬유 어레이 모듈 리드130: fiber array module lead
140 : 광도파로 소자 기판위에 제작된 광도파로140: Optical waveguide fabricated on the optical waveguide element substrate
150 : 광도파로 소자 기판위에 제작된 광도파로의 신호 처리 영역150: signal processing region of the optical waveguide fabricated on the optical waveguide element substrate
160 : 광도파로 소자 기판, 170 : 광도파로 소자 기판 리드160: optical waveguide device substrate, 170: optical waveguide device substrate lead
상기 본 발명이 이루고자하는 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 의한, 동일 평면기판상에 입출력 광섬유 어레이가 위치하는 광섬유 어레이 모듈은, 광도파로 소자와 부착되는, 적어도 하나 이상의 광신호 입력용 광섬유 및 적어도 하나 이상의 출력용 광섬유가 동일 평면기판 상에 위치하는 구조를 가짐이 바람직하다.According to the present invention for achieving the technical problem to be achieved by the present invention, the optical fiber array module in which the input and output optical fiber array is located on the same plane substrate, at least one optical signal input optical fiber and at least one optical waveguide element attached to the Preferably, the at least one output optical fiber has a structure located on the same planar substrate.
상기 광도파로 소자와 부착되는 광섬유 어레이 모듈의 끝면은 반사손실을 줄이기 위해, 평면상 및 단면상에서 0°- 20° 사이의 각도로 이루어짐이 바람직하다.The end surface of the optical fiber array module attached to the optical waveguide device is preferably formed at an angle between 0 ° and 20 ° in plan and cross section to reduce reflection loss.
그리고 상기 광섬유 어레이를 배열하기 위한 평면기판은 상기 광섬유 어레이 배열을 위한 음각된 홈을 구비함이 바람직하다.And the planar substrate for arranging the optical fiber array is provided with a recessed groove for arranging the optical fiber array.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명에 의한 광섬유 어레이모듈은 적어도 하나 이상의 광신호 입력용 광섬유 및 적어도 하나 이상의 출력용 광섬유가 동일 평면기판 상에 위치하며, 상기 입력용 및 출력용 광섬유는 광도파로 소자의 하나의 단면에 위치한 도파로 소자에 부착된다. 본 발명에 따른 광섬유 어레이 모듈을 사용하기 위하여는 입력단 및 출력단이 광도파로 소자의 동일 단면에 위치한 광도파로를 사용하여야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the optical fiber array module according to the present invention, at least one optical signal input optical fiber and at least one optical fiber for output are located on the same planar substrate, and the input and output optical fiber are disposed in the waveguide device located at one end surface of the optical waveguide device. Attached. In order to use the optical fiber array module according to the present invention, an optical waveguide having an input terminal and an output terminal positioned on the same cross section of the optical waveguide device should be used.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따라서 제작된 4개의 입력 포트와 4개의 출력 포트를 가지는 광섬유 어레이 모듈의 기본적인 구조를 도시한 것으로서, (a)는 상기 광섬유 어레이 모듈의 횡단면도, (b)는 그 종단면도를 나타낸다. S1은 최근접한 입력단 광섬유와 출력단 광섬유 사이의 거리(Center-to- Center)를 나타내며, S2는 입력단 내의 광섬유 간의 거리 및 출력단 내의 광섬유 간의 거리(Center-to-Center)를 나타낸다. 상기 S1 및 S2는 125㎛이상을 포함한다. 또한 상기 입력단 및 출력단 내의 광섬유들 간격은 동일하게 할 수 있으며, 일부만 동일하고 나머지는 서로 다르게 할 수 있으며, 아니면 모두 다르게 할 수도 있다. 그리고 상기 평면기판은 LiNbO3, 실리콘 웨이퍼, Si3N4, 무기유리(inorganic glass), Ⅲ-Ⅴ족 반도체 또는 편평도를 갖는 기판을 사용할 수 있으며, 상기 무기 유리는 실리카 유리(silica glass)가 바람직하며, 상기 Ⅲ-Ⅴ족 반도체은 GaAs가 바람직하다.Figure 3 shows the basic structure of an optical fiber array module having four input ports and four output ports manufactured according to a preferred embodiment of the present invention, (a) is a cross-sectional view of the optical fiber array module, (b) Shows the longitudinal cross-sectional view. S1 represents the distance (Center-to-Center) between the nearest input end optical fiber and the output end optical fiber, S2 represents the distance between the optical fiber in the input terminal and the distance (Center-to-Center) between the optical fiber in the output terminal. Said S1 and S2 contain 125 micrometers or more. In addition, the spacing of the optical fibers in the input terminal and the output terminal may be the same, only some of them may be the same and others may be different, or all of them may be different. The planar substrate may be LiNbO 3 , a silicon wafer, Si 3 N 4 , an inorganic glass, an III-V semiconductor, or a substrate having a flatness. The inorganic glass is preferably silica glass. The group III-V semiconductor is preferably GaAs.
도 4는 반사손실을 줄이기 위한 임의의 각도를 횡방향으로 가지는 광섬유 어레이 모듈의 구조를 도시한 것으로서, (a)는 상기 광섬유 어레이 모듈의 횡단면도, (b)는 그 종단면도를 나타낸다. 또한 도 5는 반사손실을 줄이기 위한 임의의 각도를 종방향으로 가지는 광섬유 어레이 모듈의 구조를 도시한 것으로서, (a)는 상기 광섬유 어레이 모듈의 횡단면도, (b)는 그 종단면도를 나타낸다. 여기에 입력단과 출력단이 동일 단면위에 제작된 광도파로 소자와 상기 구조를 지니는 광섬유 어레이 모듈의 단면을 부착한다. 상기 광도파로 소자와 부착되는 광섬유 어레이 모듈의 끝면이 평면상 및 단면상에서 0°- 20°사이의 각도를 가짐이 바람직하다. 그리고 상기 광섬유 어레이 모듈의 기판위에 광섬유를 배열한 후에는 그 위에 Lid를 덮을 수 있으며, 상기 광섬유들을 배열하기 위해 평면기판상에 광섬유의 배열을 위한 음각된 홈을 구비함이 바람직하다.Figure 4 shows the structure of the optical fiber array module having an arbitrary angle in the transverse direction to reduce the return loss, (a) is a cross-sectional view of the optical fiber array module, (b) is a longitudinal cross-sectional view. In addition, Figure 5 shows the structure of the optical fiber array module having a predetermined angle in the longitudinal direction to reduce the reflection loss, (a) is a cross-sectional view of the optical fiber array module, (b) is a longitudinal cross-sectional view. An optical waveguide device having an input terminal and an output terminal formed on the same cross section is attached to the cross section of the optical fiber array module having the above structure. Preferably, the end surface of the optical fiber array module attached to the optical waveguide device has an angle between 0 ° and 20 ° in plan and cross section. After arranging the optical fiber on the substrate of the optical fiber array module, Lid may be covered thereon, and it is preferable to have a recessed groove for arranging the optical fiber on the flat substrate for arranging the optical fibers.
도6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른, 도 3, 도 4 및 도 5에 설명된 광섬유 어레이 모듈과 입력단과 출력단이 하나의 단면위에 위치한 광도파로 소자와의 접합을 도시한 것으로서, (a)는 도 3 및 도 5에 설명된 광섬유 어레이모듈과 광도파로소자와의 접합을 도시한 것이며, (b)는 도 4에 설명된 광섬유 어레이모듈과 광도파로소자와의 접합을 도시한 것이다. 따라서 광섬유 어레이 모듈을 소자에 부착할 때, 도 6과 같이 광도파로 소자의 입력단 및 출력단 도파로의 위치에 맞추어 광섬유를 배열한 광섬유 어레이 모듈을 구성하여 한번의 정렬과정 및 부착 공정으로 광도파로 소자에 광섬유 어레이 모듈 부착을 수행할 수 있다.6 shows a junction of the optical fiber array module described in FIGS. 3, 4 and 5 with an optical waveguide element having an input end and an output end located on one cross section according to a preferred embodiment of the present invention. 3 illustrates a junction of the optical fiber array module and the optical waveguide device illustrated in FIGS. 3 and 5, and (b) illustrates a junction of the optical fiber array module and the optical waveguide device described in FIG. 4. Therefore, when attaching the optical fiber array module to the device, as shown in FIG. 6, the optical fiber array module in which the optical fibers are arranged in accordance with the positions of the input and output waveguides of the optical waveguide device is constructed, and the optical fiber is connected to the optical waveguide device in one alignment and attachment process. Array module attachment can be performed.
본 발명에 의하면, 광섬유 어레이 모듈의 입력 광섬유와 출력 광섬유의 배열 구조를 개선하여 광도파로 소자에 광섬유 어레이 모듈을 부착시킬 때, 광섬유 어레이 모듈 부착에 필요한 공정을 단순하게 하면서 공정비를 줄일 수 있다.According to the present invention, when attaching the optical fiber array module to the optical waveguide device by improving the arrangement structure of the input optical fiber and the output optical fiber of the optical fiber array module, the process cost can be reduced while simplifying the process required for attaching the optical fiber array module.
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