KR19990009664A - Gas scrubber treatment system - Google Patents
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Abstract
본 발명은 개별처리하던 가스 스크러버에서 발생하는 파우더를 통합하여 일괄처리하게 하는 가스 스크러버 처리시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gas scrubber processing system for integrating powders generated from a gas scrubber used for individual processing.
본 발명에 따른 가스 스크러버 처리시스템은, 가스주입부를 통해 주입된 오염 가스를 연소 또는 열분해시키는 히터부와, 연소 또는 열분해된 가스의 파우더가 중력으로 자연침하되어 가스와 분리되도록 유도하는 사이클론 및 파우더와 분리된 가스가 상승하여 자연배출되는 가스배출부를 구비하는 다수의 가스 스크러버들이 이들 다수의 가스 스크러버들의 상기 사이클론을 연결하고 상기 사이클론에서 분리된 파우더를 한 곳으로 모으는 파우더이송관 및 상기 파우더이송관에 연결되어 이송된 파우더를 집진하여 폐기하도록 하는 집진기를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The gas scrubber treatment system according to the present invention includes a heater unit for burning or pyrolyzing the polluted gas injected through the gas injection unit, cyclone and powder for inducing the sedimentation of the powder of the burned or pyrolyzed gas to be separated from the gas by gravity. A plurality of gas scrubbers having a gas discharge part in which the separated gas rises to be naturally discharged are connected to the powder conveying pipe and the powder conveying pipe which connect the cyclones of the plurality of gas scrubbers and collect the powder separated from the cyclone into one place. Characterized in that it comprises a dust collector for collecting and discarding the conveyed powder.
따라서 각각의 장비에서 분리된 파우더를 한 곳에 모아서 처리함으로써 작업의 효율이 높고 관리가 용이하며 설치를 간편하게 하는 효과를 갖는다.Therefore, by collecting the powder separated from each equipment in one place, the work efficiency is high, the management is easy and the effect of the installation is simple.
Description
본 발명은 가스 스크러버 처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 개별처리하던 가스 스크러버에서 발생하는 파우더를 통합하여 일괄처리하게 하는 가스 스크러버 처리시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a gas scrubber processing system, and more particularly, to a gas scrubber processing system for integrating a batch of powder generated from a gas scrubber that has been individually processed.
일반적으로 가스 스크러버 처리시스템은 반도체공정에서 발생하는 가스를 분해하여 정화하는 시스템으로, 가스를 연소 또는 열분해하고 남는 파우더를 집진하여 폐기하는 방식으로 이루어진다.In general, a gas scrubber treatment system is a system for decomposing and purifying a gas generated in a semiconductor process. The gas scrubber treatment system is composed of a method of burning or pyrolyzing a gas and collecting and discarding the remaining powder.
상기 가스 스크러버 처리시스템은 크게 가스를 태우는 부분과, 가스와 파우더를 분리하는 부분과, 처리된 가스를 배출하는 부분 및 폐기가 용이하도록 분리된 파우더를 모으는 부분으로 나눌 수 있다.The gas scrubber treatment system may be divided into a part for burning gas, a part for separating gas and powder, a part for discharging the treated gas, and a part for collecting the separated powder for easy disposal.
이러한 종래의 가스 스크러버 처리시스템은, 도1에 나타낸 바와 같이, 오염된 가스를 주입하는 가스주입부(11)와, 주입된 가스를 히터로 태워 연소 또는 열분해시키는 히터부(12)와, 상기 히터부(12)의 하방에 설치되고 연소 또는 열분해된 가스의 파우더가 중력으로 자연침하되어 가스와 분리되도록 유도하는 사이클론(13)과, 상기 사이클론(13)의 상방에 설치되어 파우더와 분리된 가스가 자연배출되는 가스배출부(15) 및 상기 사이클론(13)에 의해 분리된 파우더를 집진하여 폐기하도록 하는 집진기(16)를 구비한다.Such a conventional gas scrubber treatment system includes a gas injection unit 11 for injecting contaminated gas, a heater unit 12 for burning or pyrolyzing the injected gas with a heater, and the heater. Cyclone 13 which is installed below the unit 12 and induces the powder of the burned or pyrolyzed gas to be naturally settled by gravity to be separated from the gas, and gas which is installed above the cyclone 13 and separated from the powder And a dust collector 16 for collecting and discarding the natural gas discharge part 15 and the powder separated by the cyclone 13.
또한, 가스의 역류를 방지하도록 상기 사이클론(13)과 상기 집진기(16) 사이에 파우더밸브(14)가 설치되어 자동 또는 수동으로 개폐가 가능하다.In addition, the powder valve 14 is installed between the cyclone 13 and the dust collector 16 to prevent the back flow of the gas can be opened or closed automatically or manually.
집진기(16)에서 파우더를 폐기하고 필터에 의해 여과된 잔여가스는 잔여가스배출부(18)로 배출되며 집진기(16)와 잔여가스배출부(18) 사이에는 가스밸브(17)를 설치한다.The powder is discarded from the dust collector 16 and the residual gas filtered by the filter is discharged to the residual gas discharge unit 18, and a gas valve 17 is installed between the dust collector 16 and the residual gas discharge unit 18.
상기한 구성을 갖는 가스 스크러버 처리시스템은 실란(SiH4) 또는 할로겐 함유 가스들과 같이 반도체장치 제조공정 후 발생되는 가연성 가스 또는 유독성 가스들을 처리하는 데 사용되며, 이러한 가연성 또는 유독성 가스들이 상기 가스주입부(11)로 주입되면 히터부(12)에 의해 가열되고 가스는 가스와 공정의 부산물인 파우더로 연소 또는 열분해된다.The gas scrubber treatment system having the above-described configuration is used to treat flammable or toxic gases generated after the semiconductor device manufacturing process, such as silane (SiH 4 ) or halogen-containing gases, and these flammable or toxic gases are injected into the gas When injected into the unit 11, it is heated by the heater unit 12 and the gas is burned or pyrolyzed into powder which is a by-product of the gas and the process.
분해된 가스와 파우더가 하강하여 하방으로 테이퍼진 원통형상의 사이클론(13)에 도달하면 일정한 압력과 온도가 유지되고 상대적으로 가스보다 무거운 파우더가 중력에 의해서 자연침하하여 사이클론(13)에 남게된다. 따라서, 가스는 상승하여 가스배출부(15)를 통해 배출된다.When the decomposed gas and powder descend and reach the downwardly tapered cylindrical cyclone 13, a constant pressure and temperature are maintained, and the powder heavier than gas is naturally settled by gravity and remains in the cyclone 13. Therefore, the gas rises and is discharged through the gas discharge unit 15.
상기 사이클론(13)에 적체된 파우더가 일정량이 되면 파우더밸브(14)를 개방하여 집진기(16)가 파우더를 흡입하고 필터로 여과한다. 이렇게 수거된 파우더는 따로 모아서 폐기하고 잔여가스는 가스밸브를 개방하여 잔여가스배출부(18)로 배출하게 된다.When the amount of powder accumulated in the cyclone 13 is a certain amount, the powder valve 14 is opened so that the dust collector 16 sucks the powder and filters it with a filter. The collected powder is collected and discarded separately, and the residual gas is discharged to the residual gas discharge unit 18 by opening a gas valve.
이러한 가스 스크러버 처리시스템은 각각의 개별 공정장비에 거의 대부분 설치되고 공정 후 발생하는 가스를 장비별로 개별 정화처리하게 된다.Such a gas scrubber treatment system is installed in almost each individual process equipment, and the gas generated after the process is to purify each individual equipment.
그러나, 각각의 장비마다 가스 스크러버 처리시스템를 설치하여 개별관리하는 절차나 방법이 매우 복잡하며 번거롭고, 가스 스크러버 처리시스템의 설치비나 처리비가 증가하며, 여러명의 작업자가 여러번에 걸쳐 작업하게 되므로 작업효율이 떨어지게 되는 문제점이 있었다.However, the procedure or method for individual management by installing a gas scrubber treatment system for each equipment is very complicated and cumbersome, the installation cost or treatment cost of the gas scrubber treatment system increases, and several workers work several times. There was a problem.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 각각의 장비에서 분리된 파우더를 한 곳에 모아서 처리함으로써 작업의 효율을 높이고 설치비와 처리비를 절감하며 관리를 간편하게 하는 가스 스크러버 처리시스템을 제공함에 있다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, the object is to collect the powder separated from each equipment in one place to increase the efficiency of the work, reduce installation and processing costs and simplify the management of gas scrubber processing system In providing.
본 발명의 다른 목적은 장비의 증가에 따라 계속 증설이 가능하도록 모듈화하여 증설설치비가 적고 설치를 간편하게 하는 가스 스크러버 처리시스템을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a gas scrubber treatment system that is modularized so that it can be continuously expanded with the increase of equipment, the installation cost is low and the installation is simple.
도1은 종래의 가스 스크러버 처리시스템의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a conventional gas scrubber treatment system.
도2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 스크러버 처리시스템를 나타낸 개략도이다.Figure 2 is a schematic diagram showing a gas scrubber processing system according to a preferred embodiment of the present invention.
도3은 도2의 연결부를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating the connection part of FIG. 2.
도4는 도2의 연결부를 나타낸 측단면도이다.Figure 4 is a side cross-sectional view showing a connecting portion of FIG.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
11: 가스주입부 12: 히터부11: gas injection part 12: heater part
13: 사이클론 14: 파우더밸브13: Cyclone 14: Powder Valve
15: 가스배출부 16: 집진기15: gas discharge unit 16: dust collector
17: 가스밸브 18: 잔여가스배출부17: gas valve 18: residual gas discharge portion
21: 파우더이송관 22: 스크류21: powder feed pipe 22: screw
23: 연결부 24: 모터부23: connecting portion 24: motor portion
25: 기어부 31: 요철부25: gear portion 31: uneven portion
33: 연결편 34: 고정볼트33: Connecting piece 34: Fixing bolt
35: 관통구멍 36: 가이드35: through hole 36: guide
상기의 목적은 가스주입부를 통해 주입된 오염 가스를 연소 또는 열분해시키는 히터부와, 상기 히터부의 하방에 연결 설치되고 연소 또는 열분해된 가스의 파우더가 중력으로 자연침하되어 가스와 분리되도록 유도하는 사이클론 및 상기 사이클론의 상방에 연결 설치되고 파우더와 분리된 가스가 상승하여 자연배출되는 가스배출부를 구비하는 다수의 가스 스크러버들이 이들 다수의 가스 스크러버들의 상기 사이클론을 연결하고 상기 사이클론에서 분리된 파우더를 한 곳으로 모으는 파우더이송관 및 상기 파우더이송관에 연결되어 이송된 파우더를 집진하여 폐기하도록 하는 집진기를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 스크러버 처리시스템에 의해 달성될 수 있다.The above object is a heater unit for burning or pyrolyzing the polluted gas injected through the gas injection unit, a cyclone connected to the heater unit and installed under the heater unit to induce spontaneous sedimentation by gravity to separate the gas from the gas; A plurality of gas scrubbers connected above the cyclone and having a gas discharge part which is naturally discharged by rising of the gas separated from the powder are connected to the cyclones of the plurality of gas scrubbers and the powder separated from the cyclone into one place. It can be achieved by a gas scrubber processing system comprising a powder conveying pipe collecting and a dust collector connected to the powder conveying pipe to collect and dispose of the conveyed powder.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스 스크러버 처리시스템를 나타낸 개략도이다.Figure 2 is a schematic diagram showing a gas scrubber processing system according to a preferred embodiment of the present invention.
도2를 참조하여 설명하면 본 발명의 가스 스크러버 처리시스템은 오염된 가스를 주입하는 가스주입부(11)와, 주입된 가스를 히터로 태워 연소 또는 열분해시키는 히터부(12)와, 상기 히터부(12)의 하방에 설치되고 연소 또는 열분해된 가스의 파우더가 중력으로 자연침하되어 가스와 분리되도록 유도하는 사이클론(13)과, 상기 사이클론(13)의 상방에 설치되어 파우더와 분리된 가스가 자연배출되는 가스배출부(15)와, 다수개의 상기 사이클론(13)을 연결하고 상기 사이클론(13)에서 분리된 파우더를 한 곳으로 모으는 파우더이송관(21)과, 상기 파우더이송관(21)의 내측면 하방에 상기 파우더이송관(21)을 따라 설치되며 회전하여 나사산에 의한 파우더의 전진작용으로 파우더를 이송하는 스크류(22)와, 상기 스크류(22)에 회전력을 전달하는 기어부(25)와, 상기 기어부(25)에 연결되어 회전력을 발생하는 모터부(24) 및 다수개의 상기 사이클론(13)에 의해 분리된 파우더를 집진하여 폐기하도록 하는 집진기(16)를 구비한다.Referring to FIG. 2, the gas scrubber processing system of the present invention includes a gas injection unit 11 for injecting contaminated gas, a heater unit 12 for burning or pyrolyzing the injected gas with a heater, and the heater unit. Cyclone 13 which is installed below (12) and induces the powder of the burned or pyrolyzed gas to be naturally settled by gravity to be separated from the gas, and gas which is installed above the cyclone 13 and separated from the powder is natural A powder conveying pipe 21 connecting the plurality of cyclones 13 to the discharged gas discharge part 15 and collecting the powder separated from the cyclone 13 into one place, and an inner surface of the powder conveying pipe 21. The screw 22 is installed along the powder transport pipe 21 and rotates to transfer the powder by the forward action of the powder by the screw thread, and the By collecting the powder separated by the gear unit 25 for transmitting the rotational force to the crew 22, the motor unit 24 connected to the gear unit 25 to generate the rotational force and the plurality of the cyclone 13 A dust collector 16 is provided for disposal.
또한, 가스의 역류를 방지하도록 각각의 상기 사이클론(13)들과 상기 파우더이송관(21) 사이에 파우더밸브(14)가 설치되어 자동 또는 수동으로 개폐가 가능하다.In addition, a powder valve 14 is installed between each of the cyclones 13 and the powder transfer pipe 21 to prevent the backflow of the gas can be opened or closed automatically or manually.
집진기(16)에서 파우더를 폐기하고 필터에 의해 여과된 잔여가스는 잔여가스배출부(18)로 배출되며 집진기(16)와 잔여가스배출부(18) 사이에는 가스밸브(17)를 설치한다.The powder is discarded from the dust collector 16 and the residual gas filtered by the filter is discharged to the residual gas discharge unit 18, and a gas valve 17 is installed between the dust collector 16 and the residual gas discharge unit 18.
또한, 도3 및 도4에서와 같이 상기 파우더이송관(21)의 외면에 연결편(33)을 형성하고, 상기 연결편(33)에 관통구멍(35)을 형성하여 고정볼트(34)로 관통 고정되는 연결부(23)를 형성하며, 상기 스크류(22)에는 억지끼워맞춤식의 요철부(31)를 형성하여 연결시킴으로써 회전력을 전달하고 장비의 증가에 따라 계속 증설이 가능하도록 모듈화한다.In addition, as shown in FIGS. 3 and 4, the connecting piece 33 is formed on the outer surface of the powder conveying tube 21, and the through piece 35 is formed in the connecting piece 33 to be penetrated and fixed by the fixing bolt 34. The connection portion 23 is formed, and the screw 22 is formed to be connected by forming an interference fit portion 31 of an interference fit type to transmit the rotational force and to be modularized so that it can be continuously expanded as the equipment is increased.
또한, 상기 스크류(22)의 회전위치를 고정하도록 상기 파우더이송관(21)의 연결부(23)에는 다양한 형태의 가이드(36)를 형성하는 것이 바람직하며 상기 가이드(36)의 형상은 파우더의 이송을 방해하지 않도록 스크류(22)의 상단에 접촉 위치하여 파우더이송관(21)에 형성하고, 상기 스크류(22)와 가이드(22) 사이에 베어링을 설치하는 것도 가능하다.In addition, it is preferable to form a guide 36 of various forms in the connecting portion 23 of the powder transfer pipe 21 to fix the rotational position of the screw 22, the shape of the guide 36 is to convey the powder It is also possible to be placed in contact with the upper end of the screw 22 to the powder transfer pipe 21 so as not to interfere, and to install a bearing between the screw 22 and the guide 22.
상기 스크류(22)의 밑면은 파우더의 이송이 가능하도록 상기 파우더이송관(21)과 소정의 간격으로 이격하여 하방에 설치한다.The bottom surface of the screw 22 is installed below and spaced apart from the powder transfer pipe 21 at a predetermined interval so that the powder can be transferred.
따라서, 공정 후 발생하는 오염된 가스가 상방에 위치한 가스주입부(11)로 주입되면 히터부(12)에 의해 가열되고 가스는 가스와 공정의 부산물인 파우더로 연소 또는 열분해된다.Therefore, when the contaminated gas generated after the process is injected into the gas injection unit 11 located above, it is heated by the heater unit 12 and the gas is burned or pyrolyzed into powder which is a by-product of the gas and the process.
분해된 가스와 파우더가 하강하여 하방으로 테이퍼진 원통형상의 사이클론(13)에 도달하면 일정한 압력과 온도가 유지되고 상대적으로 가스보다 무거운 파우더가 중력에 의해서 자연침하하여 사이클론(13)에 남게된다. 따라서, 가벼워진 가스는 상승하여 가스배출부(15)를 통해 배출된다.When the decomposed gas and powder descend and reach the downwardly tapered cylindrical cyclone 13, a constant pressure and temperature are maintained, and the powder heavier than gas is naturally settled by gravity and remains in the cyclone 13. Therefore, the lighter gas is raised and discharged through the gas discharge unit 15.
상기 사이클론(13)에 적체된 파우더가 일정량이 되면 파우더밸브(14)를 개방하여 파우더는 파우더이송관(21)으로 배출되고 다수개의 연결된 사이클론(13)으로부터 배출된 파우더는 회전하는 스크류(22)의 나사산을 따라 집진기(16)로 이송되게 된다.When the powder accumulated in the cyclone 13 is a predetermined amount, the powder valve 14 is opened so that the powder is discharged into the powder transfer pipe 21 and the powder discharged from the plurality of connected cyclones 13 is rotated by the screw 22. It is transferred to the dust collector 16 along the thread.
집진기(16)는 파우더를 흡입하고 필터로 여과하게 되고 이렇게 수거된 파우더는 따로 모아서 폐기하며 잔여가스는 가스밸브를 개방하여 잔여가스배출부(18)로 배출하게 된다.The dust collector 16 sucks the powder and filters it with a filter. The collected powder is collected and discarded separately, and the residual gas is discharged to the residual gas discharge unit 18 by opening a gas valve.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 가스 스크러버 처리시스템에 의하면, 각각의 장비에서 분리된 파우더를 한 곳에 모아서 처리함으로써 작업의 효율이 높고 설치비와 처리비를 절감하며 관리가 용이하고 장비의 증가에 따라 계속 증설이 가능하도록 모듈화하여 증설설치비가 적고 설치를 간편하게 하는 효과를 갖는 것이다.As described above, according to the gas scrubber processing system according to the present invention, by collecting the powder separated in each equipment in one place, the processing efficiency is high, installation cost and processing cost is reduced, easy to manage and continue to expand as the equipment increases Modularization to enable this has the effect of low installation cost and simplify the installation.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970032132A KR19990009664A (en) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | Gas scrubber treatment system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970032132A KR19990009664A (en) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | Gas scrubber treatment system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990009664A true KR19990009664A (en) | 1999-02-05 |
Family
ID=66038987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1019970032132A KR19990009664A (en) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | Gas scrubber treatment system |
Country Status (1)
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|---|---|
| KR (1) | KR19990009664A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100683805B1 (en) * | 2006-02-06 | 2007-02-16 | 크린시스템스코리아(주) | Powder drain device of scrubber for processing semiconductor by-product gas |
| KR20190024349A (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-08 | 한국에너지기술연구원 | Dust Collector of Electrostatic Spray Device |
| KR102113249B1 (en) * | 2019-12-12 | 2020-05-20 | (주) 엠엠티케이 | By-product collection device using cyclone |
-
1997
- 1997-07-10 KR KR1019970032132A patent/KR19990009664A/en not_active Application Discontinuation
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