KR19980084141A

KR19980084141A - Emergency induction circuit having its own auxiliary power supply and semiconductor manufacturing equipment using the same

Info

Publication number: KR19980084141A
Application number: KR1019970019810A
Authority: KR
Inventors: 이석호; 송구암; 고윤성
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-05-21
Filing date: 1997-05-21
Publication date: 1998-12-05

Abstract

본 발명은 사고 등에 의해 정전이 된 경우 활용되는 비상 유도 회로에 관한 것으로, 비상사태 등에 의한 정전이 발생했을 때 외부로부터 공급되는 전원(주전원, 비상전원)에 의한 각종 비상 유도 회로가 외부로부터 전원이 차단되어 작동되지 못하여 밀폐되고 격리된 작업장(라인 ; Line)에서 일어날 수 있는 제 2의 안전사고를 방지하고 작업자들의 신속한 대피 및 사고의 빠른 수습을 도모하기 위한 것이며, 이를 위하여 기존의 장비에 보조 전원(충전지)과 스위치 회로(Relay)를 설치하고 일상적인 작업이 수행되는 동안 장비의 전원공급부로부터 전원을 공급받아 보조 전원이 충전되며 정전이 발생했을 때 스위치 회로가 동작하여 충전되어 있는 보조 전원을 장비의 지시등에 연결하여 점등하는 비상 유도 회로와 그를 이용한 각종 반도체 제조 장비를 개시한다.The present invention relates to an emergency induction circuit that is utilized when a power failure is caused by an accident, etc., various emergency induction circuits by the power supply (main power supply, emergency power supply) supplied from the outside when a power failure occurs due to an emergency, etc. It is to prevent the second safety accident that can occur in a closed and isolated workplace because it is blocked and cannot be operated, and to facilitate the rapid evacuation of the workers and the quick fix of the accident. (Rechargeable battery) and switch circuit (Relay) are installed and auxiliary power is charged by receiving power from the power supply of the equipment during the daily work, and the switch circuit operates to charge the auxiliary power when the power failure occurs. Starts an emergency induction circuit that lights up by connecting to an indicator light and various semiconductor manufacturing equipment using the same do.

Description

Emergency induction circuit having its own auxiliary power supply and semiconductor manufacturing equipment using the same

본 발명은 비상 유도 회로에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 비상사태가 발생했을 때 일어날 수 있는 전원의 차단과 그로 인한 어둡고 밀폐된 공간(작업장 ; Line)에서의 안전사고를 방지하기 위한 장비 자체 보조 전원을 갖는 비상 유도 회로 및 그를 이용한 반도체 제조 장비에 관한 것이다.The present invention relates to an emergency induction circuit, and more specifically, to the power supply itself to prevent the safety of accidents in a dark and enclosed space (workshop; line) that can occur when an emergency occurs. It relates to an emergency induction circuit having a semiconductor manufacturing equipment using the same.

반도체 제조 공정의 특성상 모든 제조 공정은 제품의 청정도 및 신뢰도를 향상시키기 위하여 외부로부터 차단되고 밀폐된 공간(Line)에서 대부분 이루어진다. 반도체 제조 공정은 인공적인 조명 아래에서 대부분의 작업이 이루어지며 이러한 조명은 외부로부터의 전원(주전원)을 이용하여 점등된다. 작업장(Line)이 이처럼 외부와 격리된 공간이고 또한 작업장 내에는 여러 가지 장비들이 설치되어 있으므로 작업자의 이동공간은 매우 제한적이다. 또 정전과 같은 경우에, 작업자들이 어둡고 밀폐된 공간 내에 갇혀 버리거나 혹은 작업장을 벗어나기 위해 이동하다가 제 2의 안전사고를 겪을 수 있다. 따라서 사고 또는 그 밖의 이유로 인한 정전을 대비하여 작업자들의 안전을 고려한 별도의 비상 유도 회로가 마련되어 있다. 비상형광등과 같은 것이 그러한 일례이다. 그러나, 이와 같은 비상형광등도 그 전원을 외부로부터 공급받는 경우에는 앞서 언급된 경우와 같이 사고 등에 의해 정전이 발생할 때 외부(비상전원 포함)로부터 전원이 끊긴다면 역시 점등되지 않아 제 기능을 발휘하지 못 할 수 있다.Due to the nature of the semiconductor manufacturing process, all manufacturing processes are mostly performed in an enclosed and closed line to improve product cleanliness and reliability. In the semiconductor manufacturing process, most of the work is done under artificial lighting, and the lighting is turned on using a power source (main power source) from the outside. The worker's moving space is very limited because the workplace is a space separated from the outside and various equipment is installed in the workplace. In the event of a power outage, workers may be trapped in a dark, confined space, or may travel to leave the workplace and experience a second safety accident. Therefore, a separate emergency induction circuit is prepared in consideration of the safety of workers in case of power failure due to an accident or other reasons. One such example is an emergency fluorescent lamp. However, even when the emergency fluorescent lamp is supplied with power from the outside, if the power is cut off from the outside (including emergency power) when a power failure occurs due to an accident or the like, as described above, the emergency fluorescent lamp does not function properly. can do.

본 발명의 목적은 비상 유도 회로에 있어서, 장비의 자체 내에서 전원을 공급받는 장비 자체 보조 전원을 갖는 비상 유도 회로와 그를 이용한 반도체 제조 장비를 제공하는 데 있다. 더 나아가, 본 발명은 기존의 장비에 보조 전원(충전지)과 그를 여닫는 스위치 회로(Relay)를 추가로 설치하며, 장비의 전원공급부(Power Supply)의 전원공급에 관계없이 주전원의 공급 유무에 의해서만 동작되는 비상 유도 회로를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an emergency induction circuit having an emergency induction circuit having its own auxiliary power source, which is powered in the equipment itself, and a semiconductor manufacturing equipment using the same. Furthermore, the present invention additionally installs an auxiliary power (charger) and a switch circuit for opening and closing the existing equipment, and operates only by the presence or absence of the main power supply regardless of the power supply of the power supply of the equipment. It is intended to provide an emergency induction circuit.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 전기 회로를 간략히 나타낸 회로도.1 is a circuit diagram schematically showing an electrical circuit of a semiconductor manufacturing equipment according to the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 설명Description of the main parts of the drawing

10 : 주전원(AC 100/200)10: main power (AC 100/200)

20 : 전원공급부(Power Supply)20: Power Supply

30 : 동작부(각종 설비)30: operation part (various facilities)

40 : 지시등(Tower Lamp)40: Tower Lamp

50 : 보조 전원(충전지)50: auxiliary power (charger)

60 : 스위치 회로(Relay)60: switch circuit

본 발명은 기존의 반도체 제조 장비에 충전지(보조 전원)와 스위치 회로(Relay)만을 추가로 장착하여, 장비 작동 시에 전원공급부(Power Supply)로부터 전원을 받아 충전지를 충전시키며 주전원(작업장 외부로부터 공급되는 전원)이 차단되는 경우에 한해 스위치 회로가 작동하여 충전지의 전원으로 지시등(작업상태 표시등, 보조 Lamp 등)을 점등시키는 비상 유도 회로를 제공한다.The present invention is additionally equipped with only a rechargeable battery (auxiliary power supply) and a switch circuit (Relay) to the existing semiconductor manufacturing equipment, and receives the power from the power supply (Power Supply) during the operation of the equipment to charge the rechargeable battery and supply the main power (from outside the workplace) Provided emergency induction circuit that turns on indicator light (work status indicator, auxiliary lamp, etc.) by power of rechargeable battery when switch power is cut off).

일반적인 반도체 제조 장비의 전기 회로 구성을 간략히 정리해 보면 다음과 같다. 즉 독립된 하나의 장비는 주전원을 공급받아 교류전압을 직류전압으로 변환시켜 장비 내 각각의 설비에 전원을 공급하는 전원공급부(Power Supply), 각 설비들로 이루어져 반도체 제조공정을 수행하며 그 상황을 전기적 신호를 이용하여 송출하는 동작부, 송출된 신호를 받아 점등되는 지시등(작업상태 표시등 ; Tower Lamp)을 포함한다.The circuit configuration of a general semiconductor manufacturing equipment is briefly described as follows. In other words, an independent equipment is composed of a power supply and each equipment that supplies power to each equipment in the equipment by converting AC voltage into DC voltage by receiving main power, and performs the semiconductor manufacturing process. Operation unit for transmitting by using a signal, and the indicator (work state indicator; Tower Lamp) that is turned on in response to the transmitted signal.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 전기 회로를 간략히 나타낸 것이다. 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 전기 회로 구성은 기존의 전기 회로에 추가하여, 전원공급부(20)와 지시등(40) 사이에 위치하며 전기적으로 연결되고 동작부(30)와 전기적으로 연결되지 않는 보조 전원(50)과, 주전원(10)과 연결되어 있으며 지시등(40)으로 연결되는 모든 전기적 신호(전원)를 받아서 보조 전원(50)과 동작부(30)의 전기적 신호를 선택적으로 지시등(40)에 전달하는 스위치 회로(60)를 포함한다. 따라서, 보조 전원(충전지)이 장비 자체의 내부 전원이 되고 스위치 회로(Relay)가 보조 전원을 작동(On/Off)하는 열쇠가 된다. 스위치 회로(60)의 작동은 주전원(10)이 공급되는 때를 노말(normal) 상태로 보고 동작부(30)와 연결점을 엔시(NC ; Normal Close ; 상시 ON 스위치 작동시 OFF), 보조전원(50)과 연결점을 엔오(NO ; Normal Open ; 상시 OFF 스위치 작동시 ON)로 한다.1 briefly illustrates an electrical circuit of a semiconductor manufacturing equipment according to the present invention. The electrical circuit configuration of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention, in addition to the existing electrical circuit, is located between the power supply unit 20 and the indicator light 40 and is electrically connected and not electrically connected to the operation unit 30. Receives all electrical signals (power) connected to the power source 50 and the main power source 10 and connected to the indicator light 40 to selectively receive electrical signals from the auxiliary power source 50 and the operation unit 30 to the indicator light 40. It includes a switch circuit 60 for transmitting to. Therefore, the auxiliary power supply (charger) becomes the internal power supply of the equipment itself, and the switch circuit (Relay) becomes the key to turn on / off the auxiliary power supply. The operation of the switch circuit 60 is viewed as the normal state when the main power supply 10 is supplied, and the connection point between the operating unit 30 and the NC is normally closed; 50) and the connection point to NO (NO; Normal Open; ON when the normally OFF switch is operated).

추가되는 회로를 더욱 상세히 살펴보면 다음과 같다. 보조 전원(50)은 장비가 작동되는 동안 전원공급부(20)로부터 전원을 공급받으며 스위치 회로(60)에 의해 지시등(40)과의 전기적 연결이 끊겨 있으므로 계속적으로 충전되어 장비 자체의 내부 전원이 된다. 또한 스위치 회로(60)는 전원공급부(20)의 전원 공급이 아닌 주전원(10 ; 외부로부터의 전원 공급)의 유무에 의해서만이 내부 전원(충전지)을 작동시킨다. 즉, 스위치 회로(60)는 주전원(10)이 공급될 때 내부 전원(50)과 지시등(40)과의 연결을 끊고 동작부(30)의 전기적 신호에 따라 지시등(40)을 점등하여 작업상태 표시등으로 활용하며, 주전원(10)이 차단될 때 남아있는 유일한 전원인 보조 전원(50)과 연결하여 지시등(40)을 점등하여 비상 유도 회로로 활용한다. 보조 전원(50)의 충전은 장비가 작동될 때 전원공급부(20)에 의해 이루어지므로 별도의 전원공급을 필요로 하지 않고, 또한 보조 전원(50)은 장비의 전원(전원공급부)이 아닌 주전원(10)의 공급 유무에 의해서만 스위치 회로(60)를 통해 작동되므로 비상시에만 작동된다.Looking at the added circuit in more detail as follows. The auxiliary power source 50 receives power from the power supply unit 20 while the equipment is in operation and is continuously charged as the internal power of the equipment itself since the electrical connection with the indicator light 40 is disconnected by the switch circuit 60. . In addition, the switch circuit 60 operates the internal power supply (charger) only by the presence or absence of the main power supply 10 (power supply from the outside), not the power supply of the power supply unit 20. That is, the switch circuit 60 disconnects the internal power supply 50 from the indicator 40 when the main power 10 is supplied, and lights up the indicator 40 according to the electrical signal of the operation unit 30, thereby operating. It is utilized as an indicator light and connects with the auxiliary power source 50, which is the only power source remaining when the main power source 10 is cut off, and turns on the indicator 40 to use as an emergency induction circuit. Since the charging of the auxiliary power supply 50 is performed by the power supply unit 20 when the equipment is operated, it does not require a separate power supply, and the auxiliary power supply 50 is not the power supply (power supply unit) of the equipment, but the main power supply ( Only by the presence or absence of the supply 10) through the switch circuit 60 is operated only in an emergency.

본 발명은 기존의 장비에 보조 전원(충전지)과 그를 여닫는 스위치회로(Relay)를 추가로 설치하여, 기존의 장비의 설비들을 활용하면서 설비에 무리를 가하지 않고 안정적인 내부 전원을 갖는 비상 유도 회로를 구현할 수 있으며, 이러한 비상 유도 회로를 작업장 내의 각 장비 내에 설치하여 비상 사태가 발생했을 때 작업자들의 신속하고 안전한 대피를 유도하고 빠른 사고수습을 통해 제 2의 안전사고를 방지할 수 있다.The present invention additionally installs an auxiliary power supply (charger) and a switch circuit (relay) for opening and closing the existing equipment to implement an emergency induction circuit having a stable internal power supply without burdening the equipment while utilizing the equipment of the existing equipment. In addition, such an emergency induction circuit can be installed in each equipment in the workplace to induce a quick and safe evacuation of workers in the event of an emergency and to prevent a second safety accident through quick accident prosecution.

Claims

A main power source that is an AC voltage supplied from the outside;

A power supply unit which receives the main power and converts the DC power into a DC voltage;

An auxiliary power source receiving power from the power supply unit to charge a rechargeable battery;

A lamp that is connected to the auxiliary power source and is turned on and blinks;

It is installed between the auxiliary power and the indicator and is connected to the main power, depending on whether the main power is cut off the electrical connection between the auxiliary power and the indicator when the main power supply, and when the main power cut off the A switch circuit (Relay) for electrically connecting the auxiliary power supply and the indicator light;

Emergency induction circuit having the equipment itself auxiliary power supply comprising a.

A main power source that is an AC voltage supplied from the outside;

An operation unit which receives a DC voltage from the power supply unit and performs a predetermined operation and transmits the situation using an electrical signal; And

An indicator lamp connected to the operation unit and configured to receive and turn on and receive the electrical signal;

In the semiconductor manufacturing equipment comprising:

An auxiliary power source supplied from the power supply unit to charge a rechargeable battery and electrically connected to the indicator light;

It is installed between the indicator light and the operation unit and between the indicator light and the auxiliary power source, and is connected to the main power source, and electrically connects only the operation unit and the indicator light when the main power is supplied depending on whether the main power is cut off. And a switch circuit electrically connecting only the auxiliary power supply and the indicator light when the main power is cut off.

Semiconductor manufacturing equipment using the emergency induction circuit having the auxiliary power supply of the equipment itself comprising a.

3. The semiconductor manufacturing equipment of claim 2, wherein the indicator is a working lamp.