KR19980065156A - Liquid Crystal Injection Device - Google Patents

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KR19980065156A
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아카시 아사타니
요시오미 츠지
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가다오까 마사다까
아루푸스 덴키 가부시키 가이샤
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Abstract

본 발명은 액정 셀에 대한 주입 액정의 감시, 이물의 혼입을 감시할 수 있음과 동시에, 액정 주입장치의 세정을 배관 등을 분해하는 일 없이 인력에 의하지 않고 효율좋게 완전하게 세정할 수가 있는 액정 주입장치의 제공을 목적으로 한다.The present invention can monitor the injection of liquid crystals to the liquid crystal cell and the incorporation of foreign substances, and at the same time, the liquid crystal injection can efficiently and completely clean the liquid crystal injection device without disassembling the piping and the like without manpower. It is for the purpose of providing a device.

본 발명은 액정 셀(1)의 액정주입공(4)에 접속하는 주입 척(chuck)(8)과 액정 저류용의 액정탱크(12)와, 상기 액정탱크(12)와 상기 주입 척(8)과의 사이를 연결하는 배관을 가지는 액정 주입 경로를 가지며, 또한 그 액정주입 경로내의 액정을 모니터하는 액정 모니터장치(45)를 가지는 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.The present invention provides an injection chuck (8) connected to the liquid crystal injection hole (4) of the liquid crystal cell (1), a liquid crystal tank (12) for liquid crystal storage, the liquid crystal tank (12) and the injection chuck (8). And a liquid crystal injection path having a pipe connecting therebetween, and having a liquid crystal monitor device (45) for monitoring liquid crystal in the liquid crystal injection path.

Description

액정 주입장치Liquid Crystal Injection Device

본 발명은 액정 셀의 기판간의 간극에 액정을 주입하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for injecting liquid crystal into a gap between substrates of a liquid crystal cell.

도 6은 액정 셀의 기판간의 간극에 액정을 주입하기 위한 종래 장치의 배관계를 나타내며, 도 7과 도 8은 액정 셀에 대한 액정 주입부의 배치관계를 나타내는 것이고, 도 6에 부호 1로 나타낸 것이고, 도 8에 나타낸 바와 같이 투명한 한 쌍의 기판(2, 3)을 대향 배치하여 구성된 액정 셀이다.FIG. 6 shows a distribution system of a conventional apparatus for injecting liquid crystal into the gap between the substrates of the liquid crystal cell, and FIG. 7 and FIG. 8 show the arrangement relationship of the liquid crystal injection unit with respect to the liquid crystal cell, which is indicated by reference numeral 1 in FIG. As shown in FIG. 8, it is a liquid crystal cell comprised by having a pair of transparent board | substrates 2 and 3 opposed.

이 액정 셀(1)은 기판(2, 3)의 주변부에 끼워진 도 6 또는 도 8에 나타낸 봉쇄재(7)에 의하여 기판(2, 3)을 대향 상태로 일체화하여 구성됨과 동시에, 액정주입을 위하여 가로 길이의 기립상태로 배치되어 있어, 기판(2, 3)의 주변부의 봉쇄재에 있어서 일측(도 8의 우측부측)의 중앙부에는 봉쇄재를 배치하지 않는 부분으로 구성되는 액정 주입구(4)가 형성되고, 타측(도 8의 좌측부측)의 상부와 하부에는 봉쇄재를 배치하지 않은 부분으로 구성되는 액정 배출구(5, 6)가 각각 형성되어 있다.The liquid crystal cell 1 is formed by integrating the substrates 2 and 3 in an opposite state by the blocking member 7 shown in FIG. 6 or 8 sandwiched in the periphery of the substrates 2 and 3, and at the same time, liquid crystal injection is performed. The liquid crystal injection hole 4 which is arrange | positioned in the standing length of the horizontal length, and is comprised by the part which does not arrange a blocking material in the center part of the one side (right side side of FIG. 8) in the sealing material of the peripheral part of the board | substrate 2,3 Are formed, and liquid crystal discharge ports 5 and 6 each formed of a portion in which no blocking material is disposed are formed at the upper and lower portions of the other side (the left side side in FIG. 8).

상기 액정 주입구(4)의 외부에는, 액정 누설을 방지하기 위한 ㄷ자형의 주입 척(8)이 설치되고, 액정배출구(5, 6)의 외부에도 동일한 ㄷ자형의 배출척(9, 10)이 각각 설치되어 있다. 이들 척(8, 9, 10)은 도 7에 나타낸 바와 같이 액정 셀(1)의 단부를 끼울 수가 있는 요부(a)를 가지는 블럭 형상으로 이루어진 것으로, 요부(a)의 내측에 액정 주입공이 형성되고, 요부(a)를 액정 셀(1)의 액정주입구 주위부분 또는 액정 배출구 주위부분에 장착함으로써 요부(a)의 내측 주입공과 액정 주입구(a)를 또는 주입구멍과 액정배출구(5, 6)를 접속할 수 있게 구성되어 있다. 또한, 도 6에 있어서는 이들 척(8, 9, 10)을 간략화 하기 위하여 평판상으로 기재하고 있다.Outside the liquid crystal injection port 4, a U-shaped injection chuck 8 for preventing liquid crystal leakage is provided, and the same U-shaped discharge chucks 9 and 10 are also provided outside the liquid crystal discharge ports 5 and 6. Each is installed. These chucks 8, 9, and 10 are formed in a block shape having recesses (a) into which the ends of the liquid crystal cell (1) can be fitted, as shown in Fig. 7, and liquid crystal injection holes are formed inside the recesses (a). By attaching the recessed portion (a) to the periphery of the liquid crystal inlet or around the liquid crystal outlet of the liquid crystal cell (1), the inner injection hole and the liquid crystal inlet (a) of the recess (a) or the injection hole and the liquid crystal outlet (5, 6) It is configured to be connected to. In addition, in FIG. 6, these chuck | zipper 8, 9, 10 is described in flat form in order to simplify.

또, 도 6에 나타낸 바와 같이 주입 척(8)에는 압송장치(11)와 액정 탱크(12)가 접속되고, 압송장치(11)와 액정탱크(12)에는 진공펌프(흡인수단)(13)가 접속됨과 동시에, 액정 탱크(12)에는 가압 레귤레이터(15)가 접속되어 있다. 또, 액정 배출구(5, 6)측의 배출 척(9, 10)에는 진공펌프(흡인수단)(16)이 접속되어 있다.In addition, as shown in FIG. 6, a pressure feeding device 11 and a liquid crystal tank 12 are connected to the injection chuck 8, and a vacuum pump (suction means) 13 is connected to the pressure feeding device 11 and the liquid crystal tank 12. Is connected and the pressure regulator 15 is connected to the liquid crystal tank 12. In addition, a vacuum pump (suction means) 16 is connected to the discharge chucks 9 and 10 on the liquid crystal discharge ports 5 and 6 side.

또, 상기 액정 셀(1)에 있어서 주입 척(8)의 측부측에는 도 7에 나타낸 바와 같이 액정 주입구(4) 주위의 액정 주입 상태를 검지하기 위한 센서(17)가 설치되고, 액정 셀(1)에 있어서 액정 배출구(5, 6)의 사이의 부분에는 액정통과 검지용 센서(18)가 설치되어 있다.Moreover, in the said liquid crystal cell 1, the sensor 17 for detecting the liquid crystal injection state around the liquid crystal injection opening 4 is provided in the side part of the injection chuck 8, and the liquid crystal cell 1 In the region between the liquid crystal discharge ports 5 and 6, a liquid crystal passage detection sensor 18 is provided.

다음에, 도 9는 종래의 액정 주입장치의 배관계의 상세 구조를 나타낸 것으로, 주입 척(8)의 입구부(8a)에 접속관(22)을 거쳐 압송장치(가압 탱크)(11)가 접속되고, 이 가압장치(11)에는 접속관(23)을 거쳐 액정탱크(12)가 접속됨과 동시에, 액정 탱크(12)는 리턴 관(24)에 의하여 주입 척(8)의 배출부(8h)에 접속되어 있다.Next, FIG. 9 shows the detailed structure of the piping system of the conventional liquid crystal injection device, and the pressure feeding device (pressure tank) 11 is connected to the inlet portion 8a of the injection chuck 8 via the connection pipe 22. The liquid crystal tank 12 is connected to the pressurizing device 11 via the connecting pipe 23, and the liquid crystal tank 12 is discharged 8h of the injection chuck 8 by the return pipe 24. Is connected to.

상기 압송장치(11)는 내부에 다이어프레임(25)을 구비하여 구성되고, 다이어프레임(25)의 하부측에 액정이 수납되고, 다이어프레임(25)의 상부측의 가압실(11a)이 가압 레귤레이터(15)에 접속관(26)을 거쳐 접속되어 있어, 가압실(11a)에 공기압을 부가함으로써 액정을 주입 척(8)측에 압송할 수 있게 구성되어 있다. 또, 액정탱크(12)에는 접속관(28)을 거쳐 액정 트랩(29)이 접속되고, 이 액정트랩(29)내에 피스톤부재(30)를 거쳐 설치된 압력실(31)에는 진공펌프(흡인수단)(13)가 접속되어 있다.The pressure feeding device 11 includes a diaphragm 25 therein, the liquid crystal is accommodated in the lower side of the diaphragm 25, and the pressure chamber 11a on the upper side of the diaphragm 25 is pressed. It is connected to the regulator 15 via the connection pipe 26, and it is comprised so that a liquid crystal may be pumped to the injection chuck 8 side by adding air pressure to the pressurizing chamber 11a. In addition, the liquid crystal trap 29 is connected to the liquid crystal tank 12 via a connection pipe 28, and a vacuum pump (suction means) is provided in the pressure chamber 31 provided in the liquid crystal trap 29 via the piston member 30. (13) is connected.

상기 구성의 액정주입장치를 사용하여 액정 셀(1)에 액정을 주입하는데는 먼저, 진공펌프(16)를 작동시켜 액정 셀(1)의 내부를 감압함과 동시에, 레귤레이터(15)로부터 액정 탱크(11)의 가압실(11a)에 압력을 부가하여 액정을 주입 척(8)과 액정 주입구(4)를 거쳐 액정 셀(1)내에 주입한다. 여기서 액정 셀(1)의 기판(2, 3)간의 간극은 수㎛로 대단히 작아서 모세관 현상이 작용하므로 액정 셀(1)내에 주입된 액정(20)은 도 6의 일점 쇄선으로 나타낸 이메이지로 서서히 액정 주입구(4)측으로부터 액정 배출구(5, 6)측으로 향하여 퍼지도록 주입된다. 또, 주입 개시시에 센서(17, 18)을 작동시켜 두어, 센서(17)에 의하여 액정 주입구(4)를 통과하여 액정 셀내에 액정(20)이 주입되고 있는 상태를 모니터 함과 동시에, 센서(18)에 의하여 주입된 액정(20)이 액정 배출구(5, 6)에 접근했는지 여부를 모니터하고, 액정(20)이 액정 셀(1)내에 충만되어 액정 배출구(5, 6)로부터 배출되는 상태가 된 곳에서 액정 주입은 완료하도록 하고 있다.Injecting liquid crystal into the liquid crystal cell 1 by using the liquid crystal injection device having the above-described configuration, first, the vacuum pump 16 is operated to depressurize the inside of the liquid crystal cell 1 and at the same time, the liquid crystal tank from the regulator 15. Pressure is applied to the pressure chamber 11a of (11) to inject the liquid crystal into the liquid crystal cell 1 via the injection chuck 8 and the liquid crystal injection port 4. Here, the gap between the substrates 2 and 3 of the liquid crystal cell 1 is very small (a few micrometers) so that the capillary phenomenon works, and thus the liquid crystal 20 injected into the liquid crystal cell 1 gradually becomes an image shown by the dashed-dotted line in FIG. 6. It is injected so as to spread from the liquid crystal injection port 4 side toward the liquid crystal discharge ports 5 and 6 side. In addition, the sensors 17 and 18 are operated at the start of the injection, and the sensor 17 monitors the state where the liquid crystal 20 is injected into the liquid crystal cell through the liquid crystal injection port 4, and at the same time, the sensor It is monitored whether the liquid crystal 20 injected by the 18 approaches liquid crystal discharge ports 5 and 6, and the liquid crystal 20 is filled in the liquid crystal cell 1 and discharged from the liquid crystal discharge ports 5 and 6 The liquid crystal injection is completed in the state where it became.

상기 구조의 액정 주입장치에 있어서, 액정 셀(1)에 대한 주입작업이 종료했으면, 액정 셀(1)로부터 주입 척(8)과 배출 척(9, 10)을 제거함과 동시에, 접속관(23, 24)내부에 잔류한 액정을 압송장치(11) 또는 액정탱크(12)에 되돌려 둘 필요가 있다. 이것은 대기중의 여분의 성분, 액정 셀(1)로부터의 유리 가루등이 액정중에 혼입하지 않도록 하는 목적과, 액정이 대기와 접촉하여 열화하지 않도록 하는 목적으로 행해진다. 또, 액정이 통과한 접속관은 열화한 액정의 제거나 불필요 성분의 제거를 목적으로 하는 세정을 정기적으로 행할 필요가 있다.In the liquid crystal injection device having the above structure, when the injection operation to the liquid crystal cell 1 is finished, the injection chuck 8 and the discharge chucks 9 and 10 are removed from the liquid crystal cell 1 and the connection pipe 23 It is necessary to return the liquid crystal remaining inside to the pressure feeding device 11 or the liquid crystal tank 12. This is done for the purpose of preventing the extra components in the atmosphere, the glass powder from the liquid crystal cell 1, etc. from mixing into the liquid crystal, and for the purpose of preventing the liquid crystal from deteriorating in contact with the atmosphere. Moreover, the connection pipe which the liquid crystal passed through needs to perform washing | cleaning for the purpose of the removal of deteriorated liquid crystal and the removal of an unnecessary component regularly.

이와 같은 접속관 등의 세정작업은, 종래 접속관의 각 기기에의 접속부분을 제거하고, 제거한 접속관을 하나 하나 세정함으로써 행하고 있으나, 이 작업은 숙련자 2∼3명이 행하여도 반나절 정도를 필요로 하는 번잡한 작업이고, 또 그 작업자체도 중노동이기 때문에 개선이 요망되고 있었다.Such cleaning of the connection pipe is conventionally performed by removing the connection portion of each connection pipe to each apparatus and cleaning the removed connection pipe one by one, but this operation requires about half a day even if it is performed by two or three skilled workers. It is a complicated operation and the worker is heavy labor, so improvement was desired.

도 1은 본 발명에 관한 액정주입장치의 세정장치의 일례를 나타낸 구성도,1 is a configuration diagram showing an example of a cleaning device for a liquid crystal injection device according to the present invention;

도 2는 도 1에 나타낸 세정장치의 요부 확대도,2 is an enlarged view illustrating main parts of the cleaning device shown in FIG. 1;

도 3은 세정장치의 다른 예를 나타낸 구성도,3 is a configuration diagram showing another example of the washing apparatus;

도 4는 세정장치의 또 다른 예를 나타낸 구성도,4 is a configuration diagram showing still another example of the washing apparatus;

도 5는 액정 셀과 주입 척의 탈착기구의 일례를 나타낸 도,5 is a view showing an example of a detachment mechanism between a liquid crystal cell and an injection chuck;

도 6는 종래의 액정 주입장치의 배관경로를 나타낸 도,6 is a view showing a pipe path of a conventional liquid crystal injection device;

도 7은 액정 셀에 대한 종래의 액정 주입장치의 접속부분과 센서의 설치위치를 나타낸 도,7 is a view showing the installation position of the connection portion and the sensor of the conventional liquid crystal injection apparatus for the liquid crystal cell,

도 8은 액정 셀에 대한 종래의 액정 주입장치의 접속상태를 나타낸 도,8 is a view showing a connection state of a conventional liquid crystal injection device to a liquid crystal cell;

도 9는 종래의 액정주입장치의 배관계의 일례를 나타낸 구성도,9 is a configuration diagram showing an example of a piping system of a conventional liquid crystal injection device;

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

1 : 액정셀 8 : 주입 척1 liquid crystal cell 8 injection chuck

8a : 입구부 8b : 배출부8a: inlet 8b: outlet

11 : 압송장치 12 : 액정탱크11 pressure feeding device 12 liquid crystal tank

13 : 진공펌프(흡인수단) 22, 23 : 접속관13: vacuum pump (suction means) 22, 23: connection pipe

24 : 리턴 관 35 : 전환밸브(제 1전환밸브)24: return pipe 35: switching valve (first switching valve)

38 : 전환밸브(제 2전환밸브) 40 : 바이패스 관38: switching valve (second switching valve) 40: bypass pipe

41, 42 : 전환밸브 45, 45' : 액정모니터장치41, 42: switching valve 45, 45 ': liquid crystal monitor device

50 : 송액펌프(세정액 공급기) 51 : 세정액 탱크50: liquid feed pump (cleaning liquid supply) 51: cleaning liquid tank

52 : 액체 분석기기 54 : 드레인 배출기(세정액 배출기기)52: liquid analyzer 54: drain discharger (cleaning liquid discharge device)

58 : 분리컬럼 59 : 검출기58: separation column 59: detector

60 : 데이터 처리장치60: data processing device

본 발명은 상기 사정에 감안하여 이루어진 것으로, 액정 셀에 대한 주입 액정을 감시할 수 있고, 이물의 혼입을 방지할 수 있음과 동시에, 액정 주입장치의 세정을 배관 등을 분해하는 일 없이 인력에 의하지 않고 효율좋게 완전하게 세정할 수가 있는 액정 주입 장치의 제공을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to monitor the liquid crystal injected into the liquid crystal cell, to prevent the mixing of foreign matters, and to clean the liquid crystal injection device without resorting to manpower without disassembling piping or the like. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal injection device that can be efficiently and completely washed without being damaged.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여, 액정 셀의 액정 주입공에 접속하는 주입 척과, 액정 저류용 액정 탱크와, 상기 액정 탱크와 상기 주입척과의 사이를 연결하는 배관을 가지는 액정 주입경로를 가지며, 또한 상기 액정 주입경로내의 액정을 모니터하는 모니터장치를 가지는 것이다.The present invention has a liquid crystal injection path having an injection chuck connected to the liquid crystal injection hole of the liquid crystal cell, a liquid crystal storage liquid crystal tank, and a pipe connecting the liquid crystal tank and the injection chuck to solve the above problems, It also has a monitor device for monitoring the liquid crystal in the liquid crystal injection path.

상기 구성에 있어서, 액정 모니터장치가 액정 검지장치와, 상기 액정 검지장치에서 검지한 데이터를 처리하는 장치를 가지는 것이 바람직하다.In the above configuration, it is preferable that the liquid crystal monitor device has a liquid crystal detection device and a device for processing data detected by the liquid crystal detection device.

액정 모니터 장치를 구비하고 있으면, 액정 주입시 액정의 관리, 액정 주입경로의 세정시의 세정상태를 모니터할 수 있다. 또, 검지한 액정의 상태를 데이터 처리에 의하여 용이하고 확실하게 파악할 수 있다.If the liquid crystal monitor device is provided, it is possible to monitor the liquid crystal during the liquid crystal injection and the cleaning state during the cleaning of the liquid crystal injection path. Moreover, the state of the detected liquid crystal can be grasped easily and reliably by data processing.

상기 액정 검지장치가, 액체 크로마토 그래피장치인 것이 바람직하다.It is preferable that the said liquid crystal detection device is a liquid chromatography apparatus.

상기 액정 주입경로가 상기 주입 척과, 상기 주입 척에 접속관을 거쳐 연결되어 주입 척에 액정을 압송하기 위한 압송장치와, 상기 압송장치에 접속관을 거쳐 연결된 상기 액정 탱크와, 상기 액정 탱크에 접속된 흡입수단과, 상기 주입 척과 액정 탱크를 접속하여 설치된 리턴 관을 구비하고 있는 것이 바람직하다.The liquid crystal injection path is connected to the injection chuck and the injection chuck via a connection pipe, and a pressure feeding device for feeding liquid crystal to the injection chuck, the liquid crystal tank connected to the pressure feeding device via a connection pipe, and connected to the liquid crystal tank. It is preferable to have a suction pipe and a return pipe provided by connecting the injection chuck and the liquid crystal tank.

이와 같은 주입 경로에 의하여 액정 셀의 주입구로부터 주입척을 거쳐 액정을 주입할 수 잇다. 또 흡입수단에 의하여 리턴관을 거쳐 주입경로내의 액정을 액정탱크에 리턴시킬 수 있다.By the injection path, the liquid crystal may be injected from the injection port of the liquid crystal cell through the injection chuck. In addition, the liquid crystal in the injection path can be returned to the liquid crystal tank through the return pipe by the suction means.

다음에, 상기 액정 주입 경로에 세정액 공급기와 세정액 배출기기를 설치하는 것이 바람직하다. 이에 의하여 액정 주입 경로에 세정액을 주입 배출시켜 액정 주입경로를 세정할 수 있다.Next, it is preferable to provide a cleaning liquid supply device and a cleaning liquid discharge device in the liquid crystal injection path. As a result, the liquid crystal injection path can be cleaned by injecting and discharging the cleaning liquid into the liquid crystal injection path.

또, 상기 접속관과 상기 리턴관이 개폐밸브를 구비한 바이패스관으로 접속되고, 상기 접속관과 상기 리턴관과 상기 바이패스관의 적어도 하나에, 상기 세정액 공급기기와 상기 세정액 배출기기와 상기 액정 모니터 장치를 접속하여 이루어진 것이 바람직하다.The connecting pipe and the return pipe are connected to a bypass pipe having an opening / closing valve, and the cleaning liquid supply device, the cleaning liquid discharge device, and the at least one of the connecting pipe, the return pipe, and the bypass pipe. It is preferable to connect the liquid crystal monitor device.

이에 의하여, 액정 모니터 장치로 접속관과 리턴관과 바이패스관중 어느 하나를 통과하는 액정을 모니터할 수가 있어, 주입경로의 세정시에 세정상태를 모니터할 수가 있다.Thereby, the liquid crystal passing through any one of the connection pipe, the return pipe, and the bypass pipe can be monitored by the liquid crystal monitor device, and the cleaning state can be monitored during the cleaning of the injection path.

다음에 상기 구성에 있어서, 상기 주입척과 압송장치와의 사이의 접속관에 제 1전환밸브가 설치되고, 상기 압송장치와 액정 탱크와의 사이의 접속관에 제 2전환밸브가 설치됨과 동시에, 상기 액정 모니터장치가, 상기 제 1전환밸브와 제 2전환밸브 사이의 접속관에 접속되어 이루어진 구성으로 할 수가 있다.Next, in the above configuration, a first switching valve is provided in the connection pipe between the injection chuck and the pressure feeding device, and a second switching valve is provided in the connection pipe between the pressure feeding device and the liquid crystal tank. The liquid crystal monitor apparatus can be connected to the connection pipe between the first switching valve and the second switching valve.

이 구성에 의하면, 액정 주입 작업후에 액정 주입경로내에 잔류한 액정의 배출이 용이하게 된다.According to this configuration, the liquid crystal remaining in the liquid crystal injection path after the liquid crystal injection operation can be easily discharged.

(실시예)(Example)

이하에, 본 발명의 각 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, each embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명에 관한 액정 주입 장치의 일례를 나타내는 것으로, 도 1에 있어서, 도 9에 나타낸 종래의 액정 주입장치의 설명에서 사용한 부호와 동일한 부호는 동일한 구성요소이므로 이들의 동일 구성요소의 설명은 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 shows an example of a liquid crystal injection device according to the present invention. In Fig. 1, the same reference numerals as those used in the description of the conventional liquid crystal injection device shown in Fig. 9 are the same elements, and thus description of these same elements. Is omitted.

이 예의 장치에 있어서, 주입 척(8)의 입구부(8a)와 압송장치(11)와의 사이의 접속관(22)에는 전환밸브(제 1전환밸브)(35)가 짜 넣어지고, 주입 척(8)의 배출부(8b)와 액정탱크(12)와의 사이의 리턴관(24)에는 전환밸브(36, 37)가 짜 넣어지고, 접속관(23)에 전환밸브(제 2전환밸브)(38)이 짜 넣어져 있다. 또, 전환밸브(38)에는 리턴관(39)을 거쳐 액정탱크(액정 저장수단)(12)가 접속되어 있다.In the apparatus of this example, a switching valve (first switching valve) 35 is incorporated in the connecting pipe 22 between the inlet portion 8a of the injection chuck 8 and the pressure feeding device 11, and the injection chuck Switch valves 36 and 37 are incorporated into the return pipe 24 between the discharge part 8b of the 8 and the liquid crystal tank 12, and the switch valve (second switch valve) is connected to the connecting pipe 23. (38) is incorporated. The switching valve 38 is connected to a liquid crystal tank (liquid crystal storage means) 12 via a return pipe 39.

또, 주입 척(8)의 입구부(8a)와 전환밸브(35)와의 사이의 접속관(22)에 전환밸브(41)가 짜 넣어지고, 주입척(8)의 배출부(8b)와 전환밸브(36)와의 사이의 접속관(24)에 전환밸브(42)가 짜 넣어지고, 양 전환밸브(41, 42)가 바이패스 관(40)으로 접속되고, 양 전환밸브(41, 42)를 조작함으로써 주입 척(8)을 회피시켜 접속관(22)과 리턴관(24)을 연통시킬 수 있도록 구성되어 있다. 또, 압송장치(11)와 전환밸브(38)와의 사이의 접속관(23)에 액정 모니터장치(45)가 접속되어 있다.Moreover, the switching valve 41 is incorporated in the connecting pipe 22 between the inlet part 8a of the injection chuck 8 and the switching valve 35, and the discharge part 8b of the injection chuck 8 The switching valve 42 is incorporated into the connecting pipe 24 between the switching valve 36, the both switching valves 41 and 42 are connected to the bypass pipe 40, and both switching valves 41 and 42 are connected. ), The injection chuck 8 is avoided and the connecting pipe 22 and the return pipe 24 can be communicated with each other. In addition, the liquid crystal monitor device 45 is connected to the connection pipe 23 between the pressure feeding device 11 and the switching valve 38.

이 예의 액정 모니터장치(45)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 접속관(23)에 짜 넣어진 개폐밸브(46)와, 이 개폐밸브(46)의 상류측의 접속관(23)에 접속된 송액관(47)과, 개폐밸브(46)의 하류측에 접속된 리턴관(48)과, 송액관(47)과 리턴관(48)과의 사이에 짜 넣어진 송액펌프(세정액 공급기기)(50)와, 송액펌프(50)에 세정액을 보내기 위한 세정액 탱크(51)와, 리턴관(48)의 도중에 추출관(49)을 거쳐 접속된 액체 분석기기(52)와, 리턴관(48) 도중에 전환밸브(53)를 거쳐 짜 넣어진 드레인 배출부(세정액 배출기기)(54)와, 리턴관(48)의 접속관(23) 가까이의 부분에 짜 넣어진 개폐밸브(56)와, 송액관(47)의 접속관(23) 가까이의 부분에 짜 넣어진 개폐밸브(57)를 주체로 하여 구성되어 있다. 또, 상기 액체 분석기기(52)는 리턴관(48)을 통과하는 액체의 성분을 분리하는 분리컬럼(58)을 구비한 액체 크로마토 그래피 장치 등의 검출기(59)와 검출기(59)에 접속된 데이터 처리장치(60)를 구비하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the liquid crystal monitor device 45 of this example is connected to the on / off valve 46 incorporated in the connecting pipe 23 and the connecting pipe 23 on the upstream side of the opening / closing valve 46. A liquid feed pump (cleaning liquid supply device) interwoven between the liquid feed pipe 47, the return pipe 48 connected to the downstream side of the on-off valve 46, and the liquid feed pipe 47 and the return pipe 48. (50), the cleaning liquid tank (51) for sending the cleaning liquid to the liquid feeding pump (50), the liquid analyzer (52) connected through the extraction pipe (49) in the middle of the return pipe (48), and the return pipe (48). The drain discharge part (cleaning liquid discharge device) 54 which was woven through the switching valve 53 in the middle), and the opening / closing valve 56 woven in the part near the connection pipe 23 of the return pipe 48, The main body is composed of an opening / closing valve 57 incorporated into a portion near the connecting pipe 23 of the liquid feeding pipe 47. The liquid analyzer 52 is connected to a detector 59 and a detector 59 such as a liquid chromatography device having a separation column 58 for separating the components of the liquid passing through the return pipe 48. The data processing apparatus 60 is comprised.

상기 구성의 액정 주입장치에 있어서는, 액정의 주입시에 있어서, 전환밸브(41, 42)를 조작하여 접속관(22)을 주입척(8)에 연통시킴과 동시에, 전환밸브(42)를 폐쇄해 둠으로써, 압송장치(11)로부터 액정을 접속관(22)과 주입척(8)을 거쳐 액정 셀(1)에 주입할 수가 있다. 또한, 액정의 주입시에 있어서 도 2에 나타낸 전환밸브(46)는 개방해 두고, 개폐밸브(56, 57)는 닫아 둔다.In the liquid crystal injection device having the above-described configuration, at the time of injecting the liquid crystal, the switch valves 41 and 42 are operated to communicate the connecting pipe 22 with the injection chuck 8 and the switch valve 42 is closed. By this, the liquid crystal can be injected into the liquid crystal cell 1 from the pressure feeding device 11 via the connection pipe 22 and the injection chuck 8. In addition, the switching valve 46 shown in FIG. 2 is open | released at the time of injecting liquid crystal, and the shut-off valves 56 and 57 are closed.

다음에, 액정 모니터 장치(45)를 사용하여 액정 주입장치의 세정을 행하는데는 도 1에 나타낸 전환밸브(41, 42)를 전환하여 접속관(22)과 주입척(8)과의 연통을 차단하고, 접속관(22)에 바이패스관(40)을 거쳐 리턴관(24)을 직접 연통시켜 회로를 폐쇄루프로 한다. 여기서 폐쇄루프라고 하는 것은, 접속관(22), 전환밸브(41), 바이패스관(40), 전환밸브(42), 리턴관(24), 전환밸브(36, 37), 액정탱크(12), 접속관(23), 전환밸브(38), 압송장치(11)를 거치는 폐쇄루프를 나타내는 것으로 한다.Next, in the cleaning of the liquid crystal injection device using the liquid crystal monitor device 45, the switching valves 41 and 42 shown in FIG. 1 are switched to block communication between the connecting pipe 22 and the injection chuck 8. Then, the return pipe 24 is directly communicated with the connecting pipe 22 via the bypass pipe 40 so as to close the circuit. The closed loop here is a connection pipe 22, a switching valve 41, a bypass pipe 40, a switching valve 42, a return pipe 24, switching valves 36 and 37, and a liquid crystal tank 12. ), The connecting pipe 23, the switching valve 38, and the pressure feeding device 11 are assumed to be closed loops.

또, 세정작업에 앞서 압송장치(11)내와 액정탱크(12)내의 액정을 별도로 접속한 가스공급장치로부터 불활성가스 등의 기체를 송입함으로서 드레인 배출부(54)로부터 제거하는 것이 바람직하다. 또, 상기의 세정에 앞서, 압송장치(11)내와 액정탱크(12)내의 액정을 전환밸브(38)와 리턴관(39)과 접속관(28)을 거쳐 액정 트랩(29)에 리턴해 둘 수도 있다. 이 조작은 진공펌프(12)를 작동시켜 액정탱크(12)로부터 액정 트랩(29)에 액정을 되돌림으로써 행할 수가 있다.Moreover, it is preferable to remove from the drain discharge part 54 by sending in gas, such as an inert gas, from the gas supply apparatus which connected the liquid crystal in the pressure feed apparatus 11 and the liquid crystal tank 12 separately before a washing | cleaning operation. In addition, prior to the above cleaning, the liquid crystal in the pressure feeding device 11 and the liquid crystal tank 12 is returned to the liquid crystal trap 29 through the switching valve 38, the return pipe 39, and the connection pipe 28. It can also be. This operation can be performed by operating the vacuum pump 12 to return the liquid crystal from the liquid crystal tank 12 to the liquid crystal trap 29.

이어서, 상기의 폐쇄루프에 액정 모니터장치(45)로부터 세정액을 보내 넣는다.Subsequently, the cleaning liquid is fed into the closed loop from the liquid crystal monitor device 45.

세정액을 보내 넣는데는 액정 주입 작업중에 열어 둔 개폐밸브(46)를 폐쇄하고, 개폐밸브(56, 57)를 개방함과 동시에, 전환밸브(53)를 전환하여 리턴관(47)을 드레인 배출부(54)에 접속하고, 송액펌프(50)로부터 세정액을 액송관(47)을 거쳐 접속관(23)에 보내고, 접속관(23)으로부터 상기한 폐쇄루프내를 순환시키고, 다시 접속관(23)으로부터 리턴관(48)에 리턴시키고, 전환밸브(53)로부터 드레인 배출부(54)에 세정액을 보냄으로써 행할 수가 있다. 이상의 조작에 의하여, 폐쇄루프내의 배관계의 내면, 즉 접속관(22), 전환밸브(41), 바이패스관(40), 전환밸브(42), 리턴관(24), 전환밸브(36, 37), 액정탱크(12), 접속관(23), 전환밸브(38), 압송장치(11)의 내면을 세정액으로 세정할 수가 있다.In order to transfer the cleaning liquid, the opening / closing valve 46 opened during the liquid crystal injection operation is closed, the opening / closing valves 56 and 57 are opened, and the selector valve 53 is switched to return the return pipe 47 to the drain discharge part. (54), the cleaning liquid is sent from the liquid feeding pump (50) to the connecting pipe (23) via the liquid feeding pipe (47), the inside of the closed loop is circulated from the connecting pipe (23), and the connecting pipe (23) is again connected. And returning to the return pipe 48, and sending a cleaning liquid from the selector valve 53 to the drain discharge part 54. FIG. By the above operation, the inner surface of the piping system in the closed loop, that is, the connecting pipe 22, the switching valve 41, the bypass pipe 40, the switching valve 42, the return pipe 24, the switching valves 36, 37 ), The inner surface of the liquid crystal tank 12, the connection pipe 23, the switching valve 38, and the pressure feeding device 11 can be cleaned with a cleaning liquid.

그리고, 이 세정 작업중에 있어서, 액체 분석기기(52)를 작동시켜 리턴관(48)의 내부를 흐르는 세정액을 포함하는 액체를 분리 칼럼(58)에서 추출하여 분석한다. 이 분석결과에 의하면 세정초기에 있어서는 액정성분을 많이 함유하게 되나, 세정이 진행됨에 따라 액정의 성분이 적어져서 세정액의 성분이 많아지므로 거의 세정액의 성분이 된 시점에서 세정완료로 한다. 이에 의하여 상기 폐쇄루프내에 잔류하는 잔류 액정성분이나 불순물, 이물 등을 완전히 제거할 수 있게 된다.During the cleaning operation, the liquid analyzer 52 is operated to extract and analyze the liquid containing the cleaning liquid flowing inside the return pipe 48 from the separation column 58. According to this analysis result, in the initial stage of cleaning, a large amount of liquid crystal component is contained. However, as the cleaning proceeds, the liquid crystal component decreases, so that the component of the cleaning liquid is increased. As a result, residual liquid crystal components, impurities, foreign matters, and the like remaining in the closed loop can be completely removed.

또, 드레인 배출부(54)로부터 배출되는 액정과 세정액의 혼합액체를 예를 들면(대용량) 정제(精製) 칼럼에 의하여 액정과 세정액으로 분리하여 다시 이용하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the mixed liquid of the liquid crystal and the washing liquid discharged from the drain discharge part 54 is separated into the liquid crystal and the washing liquid by, for example, a (large capacity) purification column and used again.

이상과 같은 조작을 행함으로써, 종래 행하였던 접속관의 분리 작업을 행하는 일이 없고, 숙련자의 인력을 요하는 일 없이 액정공급장치의 접속관을 포함하는 배관계를 세정할 수가 있다. 또, 세정상태를 액체 분석기(52)로 파악할 수 있으므로, 세정완료를 용이하게 판단할 수가 있어 세정 불균일이 생기는 일이 없다. 또, 이 세정작업은 야간에 행할 수가 있으므로, 한낮에 액정의 주입작업을 행하고, 야간에 세정작업을 행하도록 하면, 한낮의 생산효율을 저하시키는 일 없이 세정작업을 용이하게 실시할 수가 있다.By performing the above operation, it is possible to clean the piping system including the connection tube of the liquid crystal supply device without the need for separate operation of the connection tube conventionally performed and requiring the manpower of the skilled person. Moreover, since the washing | cleaning state can be grasped | ascertained by the liquid analyzer 52, washing | cleaning completion can be judged easily and a cleaning nonuniformity does not arise. In addition, since this cleaning operation can be performed at night, when the liquid crystal injection operation is performed in the middle of the day and the cleaning operation is performed at night, the cleaning operation can be easily performed without lowering the production efficiency of the daytime.

또한, 세정작업이 종료되었으면, 상기 폐쇄루프에 별도로 접속한 가스공급장치로부터 불활성 가스 등의 기체를 송입하여 폐쇄루프의 내면에 잔류하고 있는 세정액을 완전하게 제거하고, 다시 폐쇄루프에 별도로 접속한 진공펌프를 작동시켜 폐쇄루프의 내부를 진공 탈기(脫氣)시키고, 건조 작업 종료후에 액정탱크에 액정을 주입하여 다시 액정 셀(1)에 대한 액정주입 작업을 행하도록 하는 것이 바람직하다.In addition, when the cleaning operation is completed, a gas such as an inert gas is supplied from a gas supply device that is separately connected to the closed loop to completely remove the cleaning liquid remaining on the inner surface of the closed loop, and then vacuum connected separately to the closed loop. It is preferable to operate the pump to vacuum degassing the inside of the closed loop, inject the liquid crystal into the liquid crystal tank after the completion of the drying operation, and perform liquid crystal injection into the liquid crystal cell 1 again.

또, 제 1전환밸브(35)와 제 2전환밸브(38)와의 사이의 접속관(22)에 액정 모니터장치(45)를 짜 넣음으로써 상기 폐쇄루프내에 잔류한 액정(액정탱크(11)내의 액정도 포함)의 배출을 용이하게 할 수 있다.In addition, the liquid crystal monitor device 45 is squeezed into the connecting pipe 22 between the first switching valve 35 and the second switching valve 38 so that the liquid crystal remaining in the closed loop (in the liquid crystal tank 11). Discharge of liquid crystals) can be facilitated.

다음에, 상기 구성의 액정 모니터장치(45)를 사용하여 주입 작업중의 액정을 모니터할 수가 있다.Next, the liquid crystal during the injection operation can be monitored using the liquid crystal monitor device 45 having the above-described configuration.

즉, 개폐밸브(46)를 폐쇄하고, 개폐밸브(56, 57)를 개방함과 동시에, 전환밸브(53)를 전환하여 리턴관(47, 48)을 접속해 두고, 이 상태에서 앞서의 액정 주입작업과 동일하게 액정의 주입작업을 행한다. 이 때에, 액정셀(1)에 주입되는 액정은 접속관(23)을 통하여 액정 모니터장치(45)의 루프안도 통과하므로, 이 루프를 통과하고 있는 사이에 정기적으로 분리컬럼(58)에서 액정을 추출하여 분리함으로써 접속관(23)을 통과하는 액정, 다시 말하면 액정 셀(1)에 주입되는 액정을 분석할 수가 있다.That is, the on-off valve 46 is closed, the on-off valves 56 and 57 are opened, the switching valve 53 is switched, and the return pipes 47 and 48 are connected to each other. The liquid crystal injection operation is performed in the same manner as the injection operation. At this time, since the liquid crystal injected into the liquid crystal cell 1 also passes through the loop of the liquid crystal monitor device 45 through the connection pipe 23, the liquid crystal is periodically separated from the separation column 58 while passing through the loop. By extracting and separating, the liquid crystal passing through the connection pipe 23, ie, the liquid crystal injected into the liquid crystal cell 1, can be analyzed.

이와 같이 액정 주입작업시에 있어서 액정의 분석을 행함으로써, 액정중에 이물이 혼입되거나, 액정 그 자체가 열화되어 있었을 경우에 그것들을 모니터하여 용이하게 파악할 수가 있다. 따라서 이물을 액정 셀(1)에 주입시켜 버리는 일이 없어짐과 동시에, 열화한 액정을 액정 셀(1)에 주입시켜 버리는 일도 없어진다. 또, 이 때에 데이터 처리장치(60)는 검사 데이터를 감시자에 용이하게 파악할 수 있게 전달하므로, 액정 셀(1)에 대한 이물 혼입의 파악·주입 액정의 열화 상태의 파악을 용이하고 또한 확실하게 행할 수가 있다.By analyzing the liquid crystals in the liquid crystal injection operation as described above, when foreign matters are mixed in the liquid crystal or the liquid crystal itself is deteriorated, they can be monitored and easily grasped. Therefore, the foreign material is not injected into the liquid crystal cell 1, and at the same time, the deteriorated liquid crystal is not injected into the liquid crystal cell 1. In addition, at this time, the data processing device 60 transmits the inspection data to the monitor so that the monitor can be easily grasped. There is a number.

도 3과 도 4는 본 발명에 의한 세정장치의 다른 예를 나타낸 것으로, 이 예에 있어서는 앞의 도 1과 도 2를 기초로 설명한 주입장치에 대하여, 동시에 5매의 액정 셀(1)에 액정을 주입할 수 있는 구성으로 한 것이다.3 and 4 show another example of the cleaning apparatus according to the present invention. In this example, the liquid crystal cell 1 simultaneously contains five liquid crystal cells 1 with respect to the injection apparatus described above with reference to FIGS. 1 and 2. It is a configuration that can be injected.

따라서, 이 예의 구성에 있어서는, 주입 척(8)이 5개 병설되어 설치되고, 이들의 각 입구부(8a)가 접속관(22)을 거쳐 5포트의 전환밸브(35')를 거쳐 압송장치(11)에 접속되고, 각 주입 척(8)의 배출부(8b)가 리턴 관(24)을 거쳐 5포트의 전환밸브(36')를 거쳐, 다시 리턴관(24')과 3포트의 전환밸브(38')를 거쳐 액정 탱크(12)에 접속되어 있다. 또, 액정 모니터장치(45)는 앞서의 예와 마찬가지로 접속관(23)에 접속되어 있다.Therefore, in the structure of this example, five injection chucks 8 are provided in parallel, and each of these inlets 8a passes through the connecting pipe 22 and passes through the five-port switching valve 35 'to feed the pressure feeding device. Connected to (11), and the discharge portion 8b of each injection chuck 8 passes through the return pipe 24, through the five-port switching valve 36 ', and then again the return pipe 24' and the three ports. It is connected to the liquid crystal tank 12 via the switching valve 38 '. In addition, the liquid crystal monitor device 45 is connected to the connection pipe 23 in the same manner as in the above example.

이 예의 장치에 있어서도, 앞서의 예의 마찬가지로 액정의 주입과 세정을 행할 수 있는 것은 물론이다.Also in the apparatus of this example, of course, the liquid crystal can be injected and washed similarly to the above example.

다음에, 이 예에 있어서, 액정 모니터장치(45)의 설치장소는 도 4에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 압송장치(11)와 전환밸브(35')와의 사이의 접속관(22)이더라도 좋은 것은 물론이다.Next, in this example, the place where the liquid crystal monitor device 45 is installed may be the connecting pipe 22 between the pressure feeding device 11 and the switching valve 35 'as indicated by the broken line in FIG. to be.

또 다시, 본 발명에 있어서, 도 4의 일점쇄선으로 둘러싸인 압송장치(11) 대신 도 3에 나타낸 액정 모니터장치(45')를 접속관(22)에 짜 넣어서 구성해도 좋다.Further, in the present invention, the liquid crystal monitor device 45 'shown in FIG. 3 may be incorporated into the connecting pipe 22 instead of the pressure feeding device 11 surrounded by the dashed-dotted line in FIG. 4.

이 예의 액정 모니터장치(45')는 송액펌프(70)와 이 송액펌프(70)에 세정액을 보내기 위한 세정액 탱크(71)와, 송액펌프(70)에 액정을 보내기 위한 액정탱크(72)와, 이들 세정액 탱크(71) 및 액정탱크(72)와 송액펌프(70)와의 접속을 전환하는 전환밸브(73)와, 액정탱크(72)에 전환밸브(75)를 거쳐 접속된 리이크밸브(76) 부착의 진공펌프(77)를 구비하여 구성되어 있다.The liquid crystal monitor device 45 'of this example includes a liquid feeding tank 70, a cleaning liquid tank 71 for sending a cleaning liquid to the liquid feeding pump 70, a liquid crystal tank 72 for sending liquid crystals to the liquid feeding pump 70, A switching valve 73 for switching the connection between the cleaning liquid tank 71 and the liquid crystal tank 72 and the liquid supply pump 70, and a leak valve connected to the liquid crystal tank 72 via the switching valve 75; 76) is provided with the vacuum pump 77 of attachment.

도 4에 나타낸 압송장치(11) 대신에 도 3에 나타낸 액정 모니터장치(45')를 설치함으로써, 접속관(22)에 보내는 액체를 액정과 세정액으로 전환밸브(73)로 용이하게 전환할 수가 있으므로, 도 4에 나타낸 액정 모니터장치(45) 대신에 액정 모니터장치(45')를 사용함으로써 액정의 주입 작업과 세정 작업을 행할 수가 있다.By providing the liquid crystal monitor device 45 'shown in FIG. 3 instead of the pressure feeding device 11 shown in FIG. 4, the liquid sent to the connection pipe 22 can be easily switched to the switching valve 73 by the liquid crystal and the cleaning liquid. Therefore, by using the liquid crystal monitor device 45 'instead of the liquid crystal monitor device 45 shown in FIG. 4, the liquid crystal injection operation and the cleaning operation can be performed.

도 5는 액정 셀(1)에 대한 주입 척(8, 9, 10)의 착탈기구의 일례를 나타낸다.FIG. 5 shows an example of the attachment / detachment mechanism of the injection chucks 8, 9, 10 with respect to the liquid crystal cell 1.

이 예에서는 가대(架台)(80)상에 가로 길이로 기립상태로 설치된 액정 셀(1)의 한쪽측에 지주상의 지지부재(81)에 지지되어 주입척(8)이, 또 다른쪽측에 지주상의 지지부재(82)에 지지되어 상하의 주입 척(9, 10)이 각각 설치되어 있음과 동시에, 지지부재(82)가 개략 도시된 레일 부재에 의하여 수평 방향에 따라 액정 셀에 대하여 접근 이간(離間) 자유롭게 설치되고, 지지부재(82)의 옆쪽에 실린더장치(84)가 설치되어 있어, 이 실린더 장치(84)의 피스톤로드(85)의 이동에 의하여 지지부재(82)가 수평이동 자유롭게 구성되어 있다. 즉, 상기 실린더 장치(84)의 작동에 의하여 주입 척(9, 10)은 액정셀(1)의 액정 배출구(5, 6)에 착탈되게 되어 있다. 또한, 주입 척(8)의 지지부재(81)도 마찬가지로 실린더장치(86)의 피스톤로드(87)에 의하여 수평이동 자유롭게 되어 있어, 액정 셀(1)의 주입구(4)에 주입 척(8)이 착탈 자유롭게 되어 있다.In this example, the support chuck 81 is supported on one side of the liquid crystal cell 1 provided in a standing state on the mount 80 in a horizontal length so that the injection chuck 8 is supported on the other side. The upper and lower injection chucks 9 and 10 are respectively supported by the upper support member 82, and the support member 82 is approached to the liquid crystal cell along the horizontal direction by a rail member schematically shown. The cylinder device 84 is provided on the side of the support member 82, and the support member 82 is configured to be horizontally moved by the movement of the piston rod 85 of the cylinder device 84. have. That is, the injection chucks 9 and 10 are attached to and detached from the liquid crystal discharge ports 5 and 6 of the liquid crystal cell 1 by the operation of the cylinder device 84. In addition, the support member 81 of the injection chuck 8 is also freely horizontally moved by the piston rod 87 of the cylinder device 86, so that the injection chuck 8 is injected into the injection port 4 of the liquid crystal cell 1. This is detachable.

상기 구성에서는 지지부재(81, 82)를 액정 셀(1)에 접근시킴으로써 액정 셀(1)에 대하여 주입 척(8, 9, 10)을 밀어 붙일 수 있음과 동시에, 지지부재(81, 82)를 액정 셀(1)로부터 이간시킴으로써 주입 척(8, 9, 10)을 액정 셀(1)로부터 이간시킬 수가 있다.In the above configuration, the support members 81 and 82 can be pushed against the liquid crystal cell 1 by pushing the injection chucks 8, 9 and 10 against the liquid crystal cell 1, and at the same time, the support members 81 and 82 are supported. The injection chucks 8, 9, 10 can be separated from the liquid crystal cell 1 by separating the liquid crystal cell 1 from the liquid crystal cell 1.

따라서, 이 예의 장치에 의하면, 주입 척(8, 9, 10)을 액정 셀(1)에 대하여 자동적으로 착탈할 수가 있어, 액정 셀(1)에 대한 액정 주입 작업을 줄일 수 있다.Therefore, according to the apparatus of this example, the injection chucks 8, 9, and 10 can be attached and detached with respect to the liquid crystal cell 1 automatically, and the liquid crystal injection operation to the liquid crystal cell 1 can be reduced.

또한, 이상의 예의 구성에서는 액정 셀에 대하여 액정 주입구를 한 개, 액정 배출구를 두 개 설치한 예에 대하여 설명했으나, 이것들을 설치하는 경우의 수나 위치는 특별히 제한되는 것은 아니다. 또, 척의 형상도 도면에 나타낸 것에 한정되는 것은 아니고, 요는 주입구와 배출구의 개구 부분에서 액정이 누설되지 않는 구조의 것을 적절하게 사용해도 좋음은 물론이다.In addition, although the structure of the above-mentioned example demonstrated the example which provided one liquid crystal injection port and two liquid crystal discharge ports with respect to a liquid crystal cell, the number and position in the case of providing these are not specifically limited. Further, the shape of the chuck is not limited to that shown in the drawing, and the yaw may be appropriately used as the structure in which the liquid crystal does not leak at the openings of the inlet and outlet.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 주입 척과 액정 탱크의 사이를 연결하는 배관을 가지는 액정 주입경로에 경로내에 액정을 모니터하는 액정 모니터장치를 설치했기 때문에, 액정 셀에 대한 액정 주입작업시 또는 액정 주입경로의 세정시에 주입경로내의 액정을 모니터함으로써, 액정 주입 작업시의 이물의 혼입을 방지하고, 액정의 열화상황을 파악하여 열화된 액정을 액정 셀에 주입하는 일이 없도록 할 수가 있다.As described above, according to the present invention, since the liquid crystal monitor device for monitoring the liquid crystal in the path is provided in the liquid crystal injection path having a pipe connecting the injection chuck and the liquid crystal tank, the liquid crystal injection operation for the liquid crystal cell or the liquid crystal injection. By monitoring the liquid crystal in the injection path at the time of cleaning of the path, it is possible to prevent the incorporation of foreign matters during the liquid crystal injection operation, to grasp the degradation of the liquid crystal, and to prevent the deterioration of the liquid crystal into the liquid crystal cell.

또, 액정 모니터장치에, 데이터 처리장치를 설치함으로써, 이물 혼입의 데이터처리, 액정열화의 데이터처리, 세정시의 세정액의 상태 파악의 데이터처리를 용이하고 또한 확실하게 행할 수가 있다. 또, 액정 모니터 장치에 구비되는 액정 검지장치가 액체 크로마토 그래피 장치인 것이 바람직하고, 이 장치라면 이물의 혼입, 액정의 열화, 세정액의 상태를 확실하게 파악할 수 있다.Moreover, by providing a data processing apparatus in the liquid crystal monitor device, it is possible to easily and reliably perform data processing of foreign matter mixing, data processing of liquid crystal deterioration, and data processing of grasping state of the cleaning liquid at the time of washing. Moreover, it is preferable that the liquid crystal detection apparatus with which a liquid crystal monitor apparatus is equipped is a liquid chromatography apparatus, and if it is this apparatus, mixing of a foreign material, deterioration of a liquid crystal, and the state of a washing | cleaning liquid can be grasped reliably.

또, 액정 주입경로에 세정액 공급기기와 세정액 배출기기를 설치함으로써, 액정 주입경로에 대한 세정액의 공급과 배출이 되어, 액정주입경로를 세정할 수가 있다.In addition, by providing the cleaning liquid supply device and the cleaning liquid discharge device in the liquid crystal injection path, the cleaning liquid can be supplied and discharged to the liquid crystal injection path, and the liquid crystal injection path can be cleaned.

다음에, 접속관과 리턴관을 개폐밸브를 구비한 바이패스관으로 접속함으로써 접속관과 바이패스관과 리턴관을 경유하는 루프로 할 수가 있어, 이 루프에 세정액을 흐르게 함으로써 액정주입경로를 세정할 수가 있다. 그리고 세정액을 액정모니터 장치로 모니터함으로써, 그 세정상태를 파악할 수가 있다.Next, by connecting the connecting pipe and the return pipe with a bypass pipe having an opening / closing valve, a loop can be formed between the connecting pipe, the bypass pipe and the return pipe, and the liquid crystal injection path is cleaned by flowing the cleaning liquid through the loop. You can do it. The cleaning state can be grasped by monitoring the cleaning liquid with a liquid crystal monitor device.

또, 상기 구성에 있어서, 상기 주입척과 압송장치와의 사이의 접속관에 제 1전환밸브를 설치하고, 압송장치와 액정 탱크와의 사이의 접속관에 제 2전환밸브를 설치하여 액정 모니터장치를 제 1전환밸브와 제 2전환밸브와의 사이의 접속관에 접속하여 이루어진 구성으로 함으로써 액정 주입 경로내에 잔류한 액정을 용이하게 배출할 수 있게 된다.In the above configuration, a first switching valve is provided in the connection pipe between the injection chuck and the pressure feeding device, and a second switching valve is provided in the connection pipe between the pressure feeding device and the liquid crystal tank to provide a liquid crystal monitor device. The liquid crystal remaining in the liquid crystal injection path can be easily discharged by the configuration made by connecting to the connecting pipe between the first switching valve and the second switching valve.

Claims (7)

액정 셀의 액정 주입공에 접속하는 주입 척과, 액정 저류용의 액정탱크와, 상기 액정탱크와 상기 주입 척과의 사이를 연결하는 배관을 가지는 액정 주입경로를 가지며, 또 상기 액정 주입경로내의 액정을 모니터하는 액정 모니터장치를 가지는 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.And a liquid crystal injection path having an injection chuck connected to a liquid crystal injection hole of a liquid crystal cell, a liquid crystal tank for liquid crystal storage, and a pipe connecting the liquid crystal tank and the injection chuck, and to monitor the liquid crystal in the liquid crystal injection path. A liquid crystal injection device having a liquid crystal monitor device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액정 모니터장치가 액정 검지장치와, 상기 액정 검지장치에서 검지한 데이터를 처리하는 장치를 가지는 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.And said liquid crystal monitor device has a liquid crystal detection device and a device for processing data detected by said liquid crystal detection device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액정 검지장치가 액체 크로마토그래피 장치인 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.And said liquid crystal detecting device is a liquid chromatography device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액정 주입경로가 상기 주입 척과, 상기 주입 척에 접속관을 거쳐 연결되어 주입 척에 액정을 압송하기 위한 압송장치와, 상기 압송장치에 접속관을 거쳐 연결된 상기 액정 탱크와, 상기 액정 탱크에 접속된 흡인수단과, 상기 주입 척과 액정 탱크를 접속하여 설치된 리턴관을 구비한 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.The liquid crystal injection path is connected to the injection chuck and the injection chuck via a connection pipe, and a pressure feeding device for feeding liquid crystal to the injection chuck, the liquid crystal tank connected to the pressure feeding device via a connection pipe, and connected to the liquid crystal tank. And a return pipe provided by connecting the suction means and the injection chuck and the liquid crystal tank. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액정 주입경로에 세정액 공급기기와 세정액 배출기기를 설치한 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.And a cleaning solution supply device and a cleaning solution discharge device are provided in the liquid crystal injection path. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 접속관과 상기 리턴관을 개폐밸브를 구비한 바이패스관으로 접속하고, 상기 리턴관과 상기 바이패스관의 적어도 하나에, 상기 세정액 공급기기와 상기 세정액 배출기기와 상기 액정 모니터장치를 접속한 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.The connecting pipe and the return pipe are connected to each other by a bypass pipe having an on / off valve, and the cleaning liquid supply device, the cleaning liquid discharge device, and the liquid crystal monitor device are connected to at least one of the return pipe and the bypass pipe. Liquid crystal injection device, characterized in that. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 주입 척과 압송장치와의 사이의 접속관에 제 1전환밸브를 설치하고, 상기 압송장치와 액정 탱크와의 사이의 접속관에 제 2전환밸브를 설치함과 동시에, 상기 액정 모니터장치를 상기 제 1전환밸브와 제 2전환밸브와의 사이의 접속관에 접속하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 주입장치.The first switching valve is installed in the connection pipe between the injection chuck and the pressure feeding device, and the second switching valve is installed in the connection pipe between the pressure feeding device and the liquid crystal tank, and the liquid crystal monitor device is provided. A liquid crystal injection device, characterized in that connected to the connecting pipe between the first switching valve and the second switching valve.
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