KR19980053137A - Electrostatic Discharge Protection Circuit - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전기 보호회로에 관한 것으로 전원전압이 인가되지 않아도 손쉽게 입력되는 정전기를 방전시켜 내부회로를 보호하므로서 구동전압을 감소시키는데 적당한 정전기 보호회로를 제공하기 위한 것이다. 이를 위한 본 발명의 정전기 보호 회로는 제 1 도전형 기판의 소정영역에 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 2 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역들과, 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역내에서 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 1 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역 및 제 2 도전형의 제 3 불순물영역과, 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역의 기판상에 형성된 게이트전극과, 상기 게이트전극 양측의 기판에 형성된 제 1 도전형의 제 3, 제 4 불순물영역과, 상기 제 2 도전형의 제 4 불순물영역과 소자격리막을 사이에 두고 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역내에 형성된 제 2 도전형의 제 4 불순물영역과, 상기 제 1 도전형의 기판에 형성된 제 1 도전형의 제 5 불순물영역을 포함하여 구성된다.The present invention relates to an electrostatic protection circuit to provide an electrostatic protection circuit suitable for reducing the driving voltage by protecting the internal circuit by discharging the static electricity easily input even when the power supply voltage is not applied. To this end, the electrostatic protection circuit of the present invention includes the first and second impurity regions of the second conductivity type and the first impurity region of the second conductivity type formed with a device isolation film interposed in a predetermined region of the first conductivity type substrate. A gate electrode formed on a substrate of a first impurity region of a first conductivity type, a second impurity region of a first conductivity type, and a third impurity region of a second conductivity type formed therebetween, and a second impurity region of a second conductivity type And second and second impurity regions of the second conductivity type with the third and fourth impurity regions of the first conductivity type formed on the substrates on both sides of the gate electrode, the fourth impurity regions of the second conductivity type and the device isolation film interposed therebetween. And a fourth impurity region of the second conductivity type formed in the region, and a fifth impurity region of the first conductivity type formed on the substrate of the first conductivity type.

Description

정전기(Electro Static Discharge) 보호회로Electrostatic Discharge Protection Circuit

본 발명은 정전기 보호회로에 관한 것으로 특히, 바이어스가 인가되지 않은 상태에서 웰(Well)을 플로팅(Floating)시켜 정전기 보호회로의 구동전압을 감소시키는데 적당하도록 한 반도체소자의 정전기 보호회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic protection circuit, and more particularly, to a static protection circuit of a semiconductor device suitable for reducing a driving voltage of an electrostatic protection circuit by floating a well in a state where a bias is not applied.

이하, 종래 정전기 보호회로를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a conventional electrostatic protection circuit will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 정전기 보호회로의 회로적구성도이다.1 is a circuit diagram of a conventional static electricity protection circuit.

도 1에 도시한 바와 같이 종래 정전기 보호회로는 콜렉터는 기판과 연결되고 에미터는 입력패드에 연결되는 제 1 트랜지스터(11)와, 콜렉터가 상기 제 1 트랜지스터(11)의 에미터와 연결되고 에미터는 Vss라인과 연결되고 베이스는 상기 제 1 트랜지스터(11)의 베이스와 공통접속되는 제 2 트랜지스터(12)와, 상기 제 2 트랜지스터(12)의 베이스와 상기 Vss라인 사이에 형성된 P-웰 저항(13)으로 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional static electricity protection circuit includes a first transistor 11 having a collector connected to a substrate and an emitter connected to an input pad, a collector connected to an emitter of the first transistor 11, and an emitter A second transistor 12 connected to a Vss line and commonly connected to a base of the first transistor 11, and a P-well resistor 13 formed between the base of the second transistor 12 and the Vss line. It is composed of

도 2는 종래 정전기 보호회로의 구조단면도로서 기판(21)과, 상기 기판(21)에 소정영역에 형성된 P-웰영역(22)과, 상기 P-웰영역(22)내의 기판(21)에 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 1, 제 2, 제 3 불순물영역(23, 24, 25)들과, 상기 불순물영역(23, 24, 25)들과 소자격리막을 사이에 두고 상기 P-웰영역(22)이 아닌 기판(21)에 형성된 제 4 불순물영역(26)을 포함하여 구성된다.2 is a structural cross-sectional view of a conventional static electricity protection circuit, a substrate 21, a P-well region 22 formed in a predetermined region on the substrate 21, and a substrate 21 in the P-well region 22. As shown in FIG. The P-well region having the first, second and third impurity regions 23, 24, and 25 formed between the device isolation layers and the impurity regions 23, 24, and 25 and the device isolation layer therebetween. The fourth impurity region 26 formed in the substrate 21 instead of the 22 is comprised.

여기서 기판(21)은 N도전형이고 상기 P-웰영역(22)내의 제 1, 제 2 불순물영역(23, 24)은 상기 기판(21)과 동일도전형이다.Here, the substrate 21 is of N conductivity type and the first and second impurity regions 23 and 24 in the P-well region 22 are the same conductivity type as the substrate 21.

그리고 상기 제 3 불순물영역(25)은 상기 기판(21)과 반대도전형이다.In addition, the third impurity region 25 is opposite to the substrate 21.

이와 같은 정전기 보호회로는 상기 제 4 불순물영역(26)과 제 1 불순물영역(23)이 제 1 트랜지스터(11)의 콜렉터 및 에미터로 사용된다.In the static electricity protection circuit, the fourth impurity region 26 and the first impurity region 23 are used as collectors and emitters of the first transistor 11.

그리고 상기 제 1 불순물영역(23)과 제 2 불순물영역(24)은 제 2 트랜지스터의 콜렉터 및 에미터로 사용된다.The first impurity region 23 and the second impurity region 24 are used as collectors and emitters of the second transistor.

즉, 상기 제 1 불순물영역(23)은 제 1 트랜지스터(11)의 에미터와 제 2 트랜지스터(12)의 드레인영역으로 사용된다.That is, the first impurity region 23 is used as an emitter of the first transistor 11 and a drain region of the second transistor 12.

또한 상기 P-웰영역(22)에 의해서 도 1에 도시된 P-웰저항(13)을 구현한다.In addition, the P-well region 13 shown in FIG. 1 is implemented by the P-well region 22.

상기와 같이 구성된 종래 정전기 보호회로의 동작설명은 아래와 같다.The operation description of the conventional static electricity protection circuit configured as described above is as follows.

도 1 내지 도 2에 도시한 바와 같이 입력패드를 통해 정(+)전압(정전기)이 인가되면 상기 패드에 연결된 제 1 불순물영역(23)과 P-웰영역(22)의 정션(junction)에 브레이크다운(breakdown)이 발생한다.As shown in FIGS. 1 and 2, when a positive voltage (electrostatic) is applied through an input pad, a junction between the first impurity region 23 and the P-well region 22 connected to the pad is applied. Breakdown occurs.

따라서 제 3 불순물영역(25)을 통해 Vss 라인으로 흐르는 P-웰 전류가 증가하게 된다.Therefore, the P-well current flowing through the third impurity region 25 to the Vss line increases.

이는 상기 P-웰영역(22)의 전압상승을 유도하게 되어 결국 NPN 바이폴라 정션 트랜지스터로서 동작하게 된다.This induces a voltage rise in the P-well region 22 and eventually acts as an NPN bipolar junction transistor.

상기 P-웰영역(22)의 전압이 0.6V 이상 상승하게 되면 도 1에 도시한 바와 같이 제 2 트랜지스터(12)를 턴-온시켜 입력패드에 인가되는 정(+)정전기를 Vss라인으로 바이패스 시킴으로서 내부회로로 정전기가 유입되지 못하게 된다.When the voltage of the P-well region 22 rises by 0.6 V or more, as shown in FIG. 1, the second transistor 12 is turned on so that the positive static electricity applied to the input pad is transferred to the Vss line. Passing prevents static electricity from entering the internal circuit.

그러나 이와 같은 종래 정전기 보호회로는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, such a conventional static electricity protection circuit has the following problems.

첫째, 정전기로부터 내부회로를 보호하기 위해서는 항상 전원전압(Vcc)이 항상 인가되어 있어야 하므로 많은 구동전압이 필요하다.First, in order to protect the internal circuit from static electricity, a power supply voltage (Vcc) must always be applied, so a lot of driving voltage is required.

둘째, P-웰영역의 저항이 높지 않으면 전압상승이 어려워짐으로 NPN 바이폴라 트랜지스터의 구동전압이 높아지게 된다.Second, if the resistance of the P-well region is not high, the voltage rise becomes difficult, and thus the driving voltage of the NPN bipolar transistor is increased.

따라서 NPN 바이폴라 트랜지스터를 구동시키기 위한 구동전압이 높으므로 초기 정전기가 내부회로로 유입되어 내부회로가 파괴된다.Therefore, since the driving voltage for driving the NPN bipolar transistor is high, initial static electricity flows into the internal circuit and the internal circuit is destroyed.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서 낮은 구동전압하에서 NPN 바이폴라 트랜지스터를 구동시켜 초기의 정전기까지도 외부로 바이패스 시키는데 적당한 정전기 보호회로를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an electrostatic protection circuit suitable for bypassing even the initial static electricity by driving an NPN bipolar transistor under a low driving voltage.

도 1은 종래 정전기 보호회로의 회로적구성도1 is a circuit diagram of a conventional static electricity protection circuit

도 2는 종래 정전기 보호회로의 구조단면도2 is a structural cross-sectional view of a conventional static electricity protection circuit

도 3은 본 발명의 정전기 보호회로의 회로적구성도3 is a circuit diagram of an electrostatic protection circuit of the present invention;

도 4는 본 발명의 정전기 보호회로의 구조단면도Figure 4 is a structural cross-sectional view of the static electricity protection circuit of the present invention

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

31, 32 : 제 1, 제 2 바이폴라 트랜지스터33 : NMOS트랜지스터31 and 32: first and second bipolar transistors 33: NMOS transistors

42, 43 : 제 2 도전형 제 1, 제 2 불순물영역47 : 게이트전극42, 43: second conductivity type first and second impurity regions 47: gate electrode

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 정전기 보호회로는 제 1 도전형 기판의 소정영역에 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 2 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역들과, 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역내에서 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 1 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역 및 제 2 도전형의 제 3 불순물영역과, 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역의 기판상에 형성된 게이트전극과, 상기 게이트전극 양측의 기판에 형성된 제 1 도전형의 제 3, 제 4 불순물영역과, 상기 제 2 도전형의 제 4 불순물영역과 소자격리막을 사이에 두고 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역내에 형성된 제 2 도전형의 제 4 불순물영역과, 상기 제 1 도전형의 기판에 형성된 제 1 도전형의 제 5 불순물영역을 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, an electrostatic protection circuit of the present invention includes first and second impurity regions of a second conductivity type formed with a device isolation film in a predetermined region of a first conductivity type substrate, and the second conductivity type. A substrate of a first impurity region of a first conductivity type, a second impurity region of a first conductivity type and a third impurity region of a second conductivity type, and a second impurity region of a second conductivity type formed in the first impurity region of the first impurity region The second conductive layer having a gate electrode formed thereon, third and fourth impurity regions of a first conductivity type formed on substrates on both sides of the gate electrode, and a fourth impurity region of the second conductivity type and an element isolation film interposed therebetween. And a fourth impurity region of the second conductivity type formed in the second impurity region of the mold and a fifth impurity region of the first conductivity type formed on the substrate of the first conductivity type.

이하, 본 발명의 정전기 보호회로를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the electrostatic protection circuit of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 정전기 보호회로의 회로적구성도이고 도 4는 본 발명의 정전기 보호회로의 구조단면도이다.3 is a schematic structural diagram of the static electricity protection circuit of the present invention, and FIG.

먼저, 도 3에 도시한 바와 같이 본 발명의 정전기 보호회로는 종래 P-웰저항 대신에 MOS트랜지스터를 구현한 것이다.First, as shown in FIG. 3, the electrostatic protection circuit of the present invention implements a MOS transistor instead of the conventional P-well resistor.

이를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.This will be described in more detail as follows.

콜렉터는 기판과 연결되고 에미터는 입력패드와 연결되는 제 1 트랜지스터(31)와, 콜렉터는 상기 제 1 트랜지스터(31)의 에미터와 연결된 패드에 접속되고 에미터는 Vss라인에 연결되고 베이스는 상기 제 1 트랜지스터(31)의 베이스와 공통으로 접속되는 제 2 트랜지스터(32)와, 상기 제 2 트랜지스터(32)의 베이스와 상기Vss라인 사이에 형성된 NMOS트랜지스터(33)를 포함하여 구성된다.A first transistor 31 connected to a collector and an emitter connected to an input pad, a collector connected to a pad connected to an emitter of the first transistor 31, an emitter connected to a Vss line, and a base connected to the substrate; And a second transistor 32 commonly connected to the base of the first transistor 31, and an NMOS transistor 33 formed between the base of the second transistor 32 and the Vss line.

이어 도 4는 본 발명의 정전기 보호회로에 따른 구조단면도로서 제 1 도전형 기판(41)과, 상기 기판(41)내에 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 2 도전형의 제 1 불순물영역(42)과 제 2 불순물영역(43)들과, 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역(42)내의 기판(41)에서 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 1 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역(44, 45) 및 제 2 도전형의 제 3 불순물영역(46)들과, 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역(43)내의 기판(41)상의 소정영역에 형성된 게이트전극(47)과 상기 게이트전극(47) 양측의 기판(41)에 형성된 제 1 도전형의 제 3, 제 4 불순물영역(48, 49)들과, 상기 제 4 불순물영역(49)과 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 2 도전형의 제 4 불순물영역(50)과, 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역(42)과 소자격리막을 사이에 두고 상기 제 1 도전형의 기판(41)에 형성된 제 1 도전형의 제 5 불순물영역(51)을 포함하여 구성된다.4 is a cross-sectional view of the structure according to the electrostatic protection circuit of the present invention, the first conductive substrate 41 and the first impurity region 42 of the second conductive type formed between the device isolation film in the substrate 41. And second impurity regions 43 and first and second impurity regions of the first conductivity type formed between the device isolation film in the substrate 41 in the first impurity region 42 of the second conductivity type. 44 and 45 and the third impurity regions 46 of the second conductivity type, the gate electrode 47 formed in the predetermined region on the substrate 41 in the second impurity region 43 of the second conductivity type and the First and third impurity regions 48 and 49 of the first conductivity type formed on the substrate 41 on both sides of the gate electrode 47, and the fourth impurity region 49 and the isolation layer interposed therebetween. The fourth conductive region 50 of the second conductivity type, the first impurity region 42 of the second conductivity type, and the device isolation film are interposed therebetween. The fifth impurity region 51 of the first conductivity type formed on the substrate 41 is included.

여기서 상기 제 1 도전형의 제 3, 제 4 불순물영역(48, 49)과 상기 게이트전극(47)이 하나의 MOS트랜지스터를 구현하고 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역(42)과 그 영역들내의 제 1 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역(44, 45)과 제 2 도전형의 제 3 불순물영역(46)들이 바이폴라 트랜지스터를 구현한다.Here, the third and fourth impurity regions 48 and 49 of the first conductivity type and the gate electrode 47 implement one MOS transistor, and the first impurity region 42 and the region of the second conductivity type are implemented. The first and second impurity regions 44 and 45 of the first conductivity type and the third impurity regions 46 of the second conductivity type implement a bipolar transistor.

이와 같이 구성된 본 발명의 정전기 보호회로의 동작설명은 아래와 같다.Operation of the electrostatic protection circuit of the present invention configured as described above is as follows.

도 3 내지 도 4에 도시한 바와 같이 패드를 통해 정전기가 인가되면 상기 패드에 연결된 제 1 도전형의 제 1 불순물영역(44)과 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역(42)의 정션에 브레이크다운(breakdown)이 발생한다.3 to 4, when static electricity is applied through the pad, the first impurity region 44 of the first conductivity type connected to the pad and the first impurity region 42 of the second conductivity type are connected to the pad. Breakdown occurs.

따라서 제 1 도전형의 제 2 불순물영역(45)을 통해 Vss라인으로 흐르는 P-웰전류가 증가하게 된다.Therefore, the P-well current flowing to the Vss line through the second impurity region 45 of the first conductivity type is increased.

이는 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역(P-웰영역)(42)의 전압상승을 유도하게 되어 결국 NPN 바이폴라 정션 트랜지스터로서 동작하게 된다.This induces a voltage rise of the first impurity region (P-well region) 42 of the second conductivity type, and thus acts as an NPN bipolar junction transistor.

상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역(42)의 전압이 0.6V이상 상승하게 되면 도 3에 도시한 바와같이 제 2 트랜지스터(32)를 턴-온시켜 입력패드에 인가되는 정(+)정전기를 Vss라인으로 바이패스 시킴으로서 내부회로로 정전기가 유입되지 못하게 된다.When the voltage of the first impurity region 42 of the second conductivity type rises by 0.6V or more, a positive (+) static electricity applied to the input pad by turning on the second transistor 32 as shown in FIG. 3. Bypassing to the Vss line prevents static electricity from entering the internal circuit.

이때 본 발명의 정전기 보호회로는 전원전압(Vcc)을 인가하지 않을 경우에는 상기 MOS트랜지스터가 플로팅(floating)된다.In this case, in the electrostatic protection circuit of the present invention, when the power supply voltage Vcc is not applied, the MOS transistor is floated.

즉, 전원전압을 인가하지 않게 되면 상기 MOS트랜지스터의 게이트에 전원이 인가되지 않는다는 것을 의미하고 상기 게이트에 전원이 인가되지 않으면 MOS트랜지스터가 턴-오프상태가 되는 것을 말한다.That is, when no power voltage is applied, it means that no power is applied to the gate of the MOS transistor, and when no power is applied to the gate, the MOS transistor is turned off.

결과적으로 MOS트랜지스터가 턴-오프상태라면 저항이 매우크다는 것을 의미하게 되고 이는 도 4에 도시한 바와 같이 제 2 도전형의 제 2 불순물영역(42)의 저항이 매우커진다는 것을 의미한다.As a result, if the MOS transistor is turned off, it means that the resistance is very large, which means that the resistance of the second impurity region 42 of the second conductivity type is very large, as shown in FIG.

따라서 제 2 트랜지스터(32)를 턴-온시키는 시간을 단축시키고 이는 입력패드에 인가되는 정(+)정전기를 Vss라인으로 바이패스 시킴으로서 내부회로로 정전기가 유입되지 못하게 된다.Therefore, the time for turning on the second transistor 32 is shortened, which prevents static electricity from flowing into the internal circuit by bypassing the positive static electricity applied to the input pad to the Vss line.

이상 상술한 바와 같이 본 발명의 정전기 보호회로는 다음과 같은 효과가 있다.As described above, the electrostatic protection circuit of the present invention has the following effects.

전원전압(Vcc)이 인가되지 않은 상태에서 P-웰이 플로팅 되므로 P-웰 전압은 전원전압이 인가되었을때 보다 쉽게 변화하여 바이폴라 트랜지스터의 구동전압을 낮추어 줌으로서 입력되는 정전기를 빠른시간내에 손쉽게 바이패스 시킨다.Since the P-well floats while the power supply voltage (Vcc) is not applied, the P-well voltage changes more easily when the power supply voltage is applied, thereby lowering the driving voltage of the bipolar transistor. Pass it.

Claims (4)

제 1 도전형 기판의 소정영역에 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 2 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역들과,First and second impurity regions of a second conductivity type formed with a device isolation film in a predetermined region of the first conductivity type substrate, 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역내에서 소자격리막을 사이에 두고 형성된 제 1 도전형의 제 1, 제 2 불순물영역 및 제 2 도전형의 제 3 불순물영역과,First and second impurity regions of the first conductivity type and third impurity regions of the second conductivity type formed in the first impurity region of the second conductivity type with the device isolation film interposed therebetween; 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역의 기판상에 형성된 게이트전극과,A gate electrode formed on the substrate of the second impurity region of the second conductivity type; 상기 게이트전극 양측의 기판에 형성된 제 1 도전형의 제 3, 제 4 불순물영역과,Third and fourth impurity regions of a first conductivity type formed on substrates on both sides of the gate electrode; 상기 제 2 도전형의 제 4 불순물영역과 소자격리막을 사이에 두고 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역내에 형성된 제 2 도전형의 제 4 불순물영역과,A fourth impurity region of the second conductivity type formed in the second impurity region of the second conductivity type with the fourth impurity region of the second conductivity type interposed therebetween; 상기 제 1 도전형의 기판에 형성된 제 1 도전형의 제 5 불순물영역을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 정전기 보호회로.And a fifth impurity region of the first conductivity type formed on the substrate of the first conductivity type. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 도전형은 N도전형이고 제 2 도전형은 P도전형인 것을 특징으로 하는 정전기 보호회로.The static electricity protection circuit according to claim 1, wherein the first conductivity type is N conductive and the second conductivity type is P conductive. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 도전형의 제 2 불순물영역과 상기 게이트전극 그리고 상기 게이트전극의 양측에 형성된 제 1 도전형의 제 3, 제 4 불순물영역에 의해 NMOS트랜지스터가 구성되는 것을 특징으로 하는 정전기 보호회로.2. The NMOS transistor according to claim 1, wherein the second impurity region of the second conductivity type, the gate electrode, and the third and fourth impurity regions of the first conductivity type formed on both sides of the gate electrode are formed. Static electricity protection circuit. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 도전형의 제 1 불순물영역과 상기 제 1 도전형의 제 1, 제 2, 제 5 불순물영역 및 제 2 도전형의 제 3 불순물영역에 의해 바이폴라 트랜지스터가 구성되는 것을 특징으로 하는 정전기 보호회로.2. The bipolar transistor according to claim 1, wherein the bipolar transistor is composed of the first impurity region of the second conductivity type, the first, second and fifth impurity regions of the first conductivity type, and the third impurity region of the second conductivity type. Electrostatic protection circuit, characterized in that.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100470994B1 (en) * 1997-10-06 2005-07-07 삼성전자주식회사 Semiconductor of esd(electrostatic discharge)protection apparatus

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