KR19980044897A - 광섬유를 이용한 압력센서 - Google Patents

광섬유를 이용한 압력센서 Download PDF

Info

Publication number
KR19980044897A
KR19980044897A KR1019960063049A KR19960063049A KR19980044897A KR 19980044897 A KR19980044897 A KR 19980044897A KR 1019960063049 A KR1019960063049 A KR 1019960063049A KR 19960063049 A KR19960063049 A KR 19960063049A KR 19980044897 A KR19980044897 A KR 19980044897A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical fiber
pressure
pressure sensor
optical
measuring
Prior art date
Application number
KR1019960063049A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100223151B1 (ko
Inventor
임종인
Original Assignee
신창식
재단법인 포항산업과학연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신창식, 재단법인 포항산업과학연구원 filed Critical 신창식
Priority to KR1019960063049A priority Critical patent/KR100223151B1/ko
Publication of KR19980044897A publication Critical patent/KR19980044897A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100223151B1 publication Critical patent/KR100223151B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L11/00Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
    • G01L11/02Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means
    • G01L11/025Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means using a pressure-sensitive optical fibre
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0005Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being of the fibre type
    • G02B6/0006Coupling light into the fibre

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

본 발명은 유체 및 기체의 압력을 측정하는 압력센서에 관한 것으로서, 기준 신호용 광섬유와 압력측정용 광섬유를 구비하여 유체 및 기체의 압력에 의해 두 광섬유 사이에 존재하는 광신호의 위상차로 압력을 측정함으로써, 외부 자기장 및 전기장 등의 환경에 대한 영향을 전혀 받지 않으며 높은 정밀도로 보다 광범위의 압력을 측정할 수 있을 뿐만 아니라 압력이 국부적으로 심하게 변동하는 경우에도 정확한 측정이 가능하므로 정밀 측정을 필요로 하는 경우나 나쁜 환경에서도 산업체의 유체 및 기체에 대한 정확한 압력을 측정할 수 있는 장점이 있는 광섬유를 이용한 압력센서이다.

Description

광섬유를 이용한 압력센서
본 발명은 압력센서에 관한 것으로서, 특히 광섬유를 이용하여 기체 및 유체의 압력측정에 대한 정밀도를 향상시킨 광섬유를 이용한 압력센서에 관한 것이다.
일반적으로 압력은 유체량, 즉 프로세스량에 속하며, 온도측정 다음으로 많이 측정되는 계측대상이다.
이와 같은 압력을 측정하는 센서로는 종래부터 여러 가지가 개발되어 있으며, 검출방식에 따라 분류하면 기계식, 전기식 및 반도체식으로 분류할 수 있다. 기계식의 경우는 프루돈관이나 벨로즈, 탄성진동형등이 있고, 개방된 고정단으로 측정압력이 도입되면, 다른 밀폐된 관이 이동하게 되어 이동량으로 압력을 검출하는 것이며, 전기적 압력센서의 대다수는 기계적 변위를 정전용량의 변화나 압전효과 혹은 압저항효과 등을 이용해 전기신호로 변환하는 것으로 기본적으로는 기계식과 동일하다. 또한 전자현상을 검출원리로 하는 반도체식 압력센서의 경우는 압저항효과 혹은 PN전압 특성의 변화를 이용한다.
상기한 여러종류의 종래 압력센서들은 매우 정밀한 압력측정이 어렵고, 이를 보완하기 위해 압력에 대한 민감도를 증진시킬 경우 압력측정범위가 매우 협소하게 되어 괌범위의 압력을 계측하고자 할 경우 감도가 좋지 않게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 실정을 감안하여 종래 압력센서등이 갖는 문제점들을 해결하고자 발명한 것으로서, 광섬유를 감지부로하여 압력측정에 대한 정밀도를 향상시킨 광섬유를 이용한 압력센서를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명 광섬유를 이용한 압력센서의 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 측정압력의 전달통로2 : 결합부
3 : 금속지지부4 : 실린더형 탄성체
5 : 기준신호용 광섬유6 : 압력측정용 광섬유
7 : 광섬유 보호층8 : 광분리기
9 : 광원10 : 광결합기
11 : 광검출기12 : 렌즈
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 광섬유를 이용한 압력센서는 외부 측정압력의 전달통로(1)와 내부 결합부(2)를 갖춘 금속지지부(3)의 내부 결합부(2)에 실린더형 탄성체(4)를 부착하고, 탄성체(4) 내부의 결합부(2)에 기준신호를 얻기 위한 코일형태의 기준신호용 광섬유(5)를 삽입하며, 탄성체(4) 외부에 압력 측정용 광섬유(6)를 코일형태로 감아 압력 측정용 광섬유(6)를 보호하기 위해 압력 측정용 괌섬유(6)위에 광섬유 보호층(7)을 입히고, 상기 기준신호용 광섬유(5)와 압력 측정용 광섬유(6)를 금속지지부(3) 외부로 인출하여 광분리기(8)를 통해 광원(9)와 연결함과 더불어 광결합기(10)를 통해 광검출기(11)에 연결하여서 이루어진 것을 특징으로 한다.
미설명부호 12는 렌즈를 나타낸다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명 광섬유를 이용한 압력센서를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명 광섬유를 이용한 압력센서의 단면도로서, 먼저 금속지지부(3)는 외부측정압력의 전달통로(1)인 밑면의 구멍과 외부케이스 그리고 압력감지부를 결합시키는 내부 결합부(2) 및 내부 빈 공간으로 형성되어 있고, 압력감지부는 실린더형 탄성체(4), 기준신호용 광섬유(5) 및 압력측정용 광섬유(6), 그리고 광섬유보호층(7)인 광섬유 보호부로 구성된다. 우선 기준신호용 광섬유(5)를 코일형태로하여 실린더 탄성체(4) 내부에 삽입하고, 압력측정용 광섬유(6)를 탄성체(4) 외부표면에 코일형태로 감은 다음 압력측정용 광섬유(6) 위에 광섬유 보호층(7)을 형성하여 압력감지부를 형성한다. 이렇게 형성된 압력감지부를 금속지지부(3)의 내부 결합부(2)에 체결하여 압력센서를 구성하고, 광신호가 외부의 광분리기(8)와 광검출기(11)에 전달되도록 기준신호용 광섬유(5)와 압력측정용 광섬유(6)를 외부로 인출하여 각각 렌즈(12) 등을 통하여 연결한다.
상기한 바와 같이 구성된 본 발명 압력센서의 경우 금속지지부(3) 밑면의 외부 측정압력의 전달통로(1)를 통하여 내부로 전달되는 외부 압력에 의해 실린더형 탄성체(4)가 변형되게 되고, 그에 따라 실린더형 탄성체(4)의 표면에 부착된 코일형 압력측정용 광섬유(6)도 변형되어 길이가 변하게 된다. 이때 외부의 광원(9)으로부터 기준 신호용 광섬유(5)와 압력측정용 광섬유(6)에 광신호를 보내게 되면, 두 개의 광섬유를 통해 전달되어 오는 신호 사이에 위상차가 존재하게 되고, 이 위상차를 감지하여 압력을 측정하게 된다. 두 개의 광섬유 사이에 존재하는 광신호의 위상차는 광섬유의 길이변화, 광섬유 코어의 굴절율 변화 및 광섬유 코어의 직경변화에 의해 발생하게 되므로 외부 인가압력에 의해 발생한 위성차는 다음식과 같이 나타낼 수 있다.
여기서 ψ는 광파의 위상, n은 광섬유의 굴절율, ℓ과 D는 각각 광섬유의 길이 및 직경을 나타낸다.
본 발명에서는 감지부에 있는 탄성체(4)의 재질로서 상대적으로 단단한 풀리머인 테프론 혹은 나일론을 사용하고, 단일 모드인 SiO2광섬유를 기준 신호용 및 압력측정용 광섬유(5), (6)로 하며, 폴리우레탄 혹은 고무(rubber)로 광섬유보호층(7)을 형성하여 기체 및 유체의 압력센서를 형성하였다.
이렇게 형성한 본 발명 압력센서의 경우 1Pa(N/㎡)의 외부압력에 대해 1×10-2의 위상차를 보였고, OHz에서 3000Hz까지 매우 균일한 감도를 가지고 있었다. 또한 인가되는 외부압력이 14,000 N/㎡ 증가할 때까지 광섬유 압력센서의 위상차가 선형적인 증가를 보여주었다.
상기한 바와 같이 작용하는 본 발명 광섬유를 이용한 압력센서는 외부자기장 및 전기장 등의 환경에 대한 영향을 전혀 받지 않으며 높은 정밀도로 보다 광범위의 압력을 측정할 수 있을 뿐만 아니라 압력이 국부적으로 심하게 변동하는 경우에도 정확한 측정이 가능하므로 정밀 측정을 필요로 하는 경우나 나쁜 환경에서도 산업체의 유체 및 기체에 대한 정확한 압력을 측정할 수 있는 장점이 있다.

Claims (1)

  1. 외부 측정압력의 전달통로(1)와 내부 결합부(2)를 갖춘 금속지지부(3)의 내부 결합부(2)에 실린더형 탄성체(4)를 부착하고, 탄성체(4) 내부의 결합부(2)에 기준신호를 얻기위한 코일형태의 기준신호용 광섬유(5)를 삽입하며, 탄성체(4) 외부에 압력 측정용 광섬유(6)를 코일형태로 감아 압력측정용 광섬유(6)를 보호하기 위해 압력 측정용 광섬유(6) 위에 광섬유 보호층(7)을 입히고, 상기 기준신호용(5)와 압력 측정용 광섬유(6)를 금속지지부(3) 외부로 인출하여 광분리기(8)를 통해 광원(9)와 연결함과 더불어 광결합기(10)를 통해 광검출기(11)에 연결하여서 구성됨을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 압력센서.
KR1019960063049A 1996-12-09 1996-12-09 광섬유를 이용한 압력센서 KR100223151B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960063049A KR100223151B1 (ko) 1996-12-09 1996-12-09 광섬유를 이용한 압력센서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960063049A KR100223151B1 (ko) 1996-12-09 1996-12-09 광섬유를 이용한 압력센서

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980044897A true KR19980044897A (ko) 1998-09-15
KR100223151B1 KR100223151B1 (ko) 1999-10-15

Family

ID=19486553

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960063049A KR100223151B1 (ko) 1996-12-09 1996-12-09 광섬유를 이용한 압력센서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100223151B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101514017B1 (ko) * 2013-11-15 2015-04-21 주식회사 골드텔 광섬유를 이용한 압력센서 및 이를 갖춘 압력감지장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2718883B1 (fr) * 1994-04-19 1996-05-31 Gec Alsthom T & D Sa Appareillage électrique à détection de pression intégrée.

Also Published As

Publication number Publication date
KR100223151B1 (ko) 1999-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6539136B1 (en) Fiber-optic pressure sensor, variants and method for producing a resilient membrane
CA2830281C (en) Multi-point pressure sensor and uses thereof
US6125216A (en) Strain isolated optical fibre bragg grating sensor
US6671055B1 (en) Interferometric sensors utilizing bulk sensing mediums extrinsic to the input/output optical fiber
CN105675114B (zh) 一种光纤efpi超声波传感器
US6351987B1 (en) Fiber optic pressure sensor for DC pressure and temperature
CN105890679B (zh) 局部弯曲导流的光纤法珀式流量测试方法
CN210268949U (zh) 一种高精度高共振频率的温度与振动传感器结构
US6462329B1 (en) Fiber bragg grating reference sensor for precise reference temperature measurement
US20180172536A1 (en) FIBER OPTIC PRESSURE APPARATUS, METHODS, and APPLICATIONS
JPS6166936A (ja) 物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置
CN112213021A (zh) 一种基于光纤珐珀的差压传感系统及其检测方法
CN113203704B (zh) 一种变压器监测与感知一体化光纤传感器及使用方法
KR100223151B1 (ko) 광섬유를 이용한 압력센서
CA2761982A1 (en) Micron-scale pressure sensors and use thereof
CN110160912A (zh) 一种基于双边孔光纤的液体密度计及其制备方法
KR200284337Y1 (ko) 층상복합탄성체를이용한광섬유압력센서
CN205373872U (zh) 一种光纤efpi超声波传感器
KR20030052889A (ko) 내환경성이 양호한 광섬유 압력센서
Paul et al. Highly Sensitive and Temperature Insensitive Fiber Bragg Grating Based Liquid-Level Sensor
CN113514187A (zh) 集成环氧膜片的光纤光栅压力传感器及其性能评估装置
KR20000040418A (ko) 광섬유 압력센서
CN115790923B (zh) 基于悬心结构增敏的法布里-珀罗干涉型全光纤压力传感器
SU1624290A1 (ru) Устройство дл измерени давлени
KR100443386B1 (ko) 섬유 광학 지진 센서

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20030703

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee