KR19980026257A - Test Method for Leakage of Pressurized Gas in Gas Supply System Used in Semiconductor Manufacturing Process - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가스 공급 시스템에 장착되어 사용되는 가스 용기의 교체 작업시 가스 용기와 가스 공급 배관을 연결하는 연결부에서의 가스 누출 가능성을 소정의 가압가스를 통해 검사(check)함으로써 유독성 가스의 누출에 따른 안전사고를 미연에 방지할 수 있도록 한 반도체 제조공정에서 사용되는 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 가스 누출 검사용 가압가스를 공급하는 밸브를 개방하는 제1 단계와, 상기 제1 단계 후 일정 시간동안 상기 가압가스를 공급하면서 이를 안정화시키는 제2 단계와, 상기 가압가스가 안정되게 충분히 공급된 후 상기 가압가스의 가압 압력이 소정의 설정 압력치에 도달했는지를 확인하는 제3 단계와, 상기 제3 단계에서 상기 가압 압력이 설정 압력치에 미달되면 가압 압력 경보를 발하는 제4 단계와, 상기 제3 단계에서 상기 가압 압력이 설정 압력치에 도달하였으면 실질적으로 가스용기와 가스 공급배관사이의 가압가스 누출을 체크하기 시작하여 가압 압력이 소정의 설정치로 드롭(drop)되었는지를 확인하는 제5 단계와, 상기 제5 단계에서 가압가스 압력이 소정의 설정치로 드롭되었으면 가압가스 누출 경보를 발하는 제6 단계와, 상기 제5 단계에서 가압 압력이 소정의 설정치로 드롭되지 않았으면 소정시간동안 상기 제5 단계를 수행토록 하고 상기 소정시간이 경과되었으면 가압가스 누출 검사를 종료하는 제7 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.The present invention is to check the possibility of leaking gas at the connecting portion connecting the gas container and the gas supply pipe during the replacement operation of the gas container used in the gas supply system by using a predetermined pressurized gas according to the leakage of toxic gas The present invention relates to a method for inspecting pressurized gas leaks in a gas supply system used in a semiconductor manufacturing process to prevent a safety accident. The present invention for this purpose, the first step of opening the valve for supplying the gas leakage test pressurized gas, the second step of stabilizing it while supplying the pressurized gas for a predetermined time after the first step, and the pressurized gas is A third step of checking whether the pressurized pressure of the pressurized gas has reached a predetermined set pressure value after being sufficiently supplied in a stable manner; and generating a pressurized pressure alarm when the pressurized pressure is lower than the set pressure value in the third step. In step 4 and in the third step, if the pressurized pressure reaches the set pressure value, the check is started to check for pressurized gas leakage between the gas container and the gas supply pipe to see if the pressurized pressure has dropped to the predetermined set value. A fifth step of checking and a sixth step of issuing a pressurized gas leak alarm when the pressurized gas pressure is dropped to a predetermined set value in the fifth step; And a seventh step of performing the fifth step for a predetermined time if the pressurized pressure is not dropped to a predetermined set value in the fifth step and ending the pressurized gas leak test if the predetermined time has elapsed. .
Description
본 발명은 반도체 제조공정에서 사용되는 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사(check)방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가스 공급 시스템에 장착되어 사용되는 가스 용기의 교체 작업시 가스 용기와 가스 공급 배관을 연결하는 연결부에서의 가스 누출 가능성을 소정의 가압가스를 통해 검사함으로써 유독성 가스의 누출에 따른 안전사고를 미연에 방지할 수 있도록 한 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for checking a pressurized gas leak of a gas supply system used in a semiconductor manufacturing process, and more particularly to a gas container and a gas supply pipe during a replacement operation of a gas container used in a gas supply system. The present invention relates to a pressurized gas leak inspection method of a gas supply system capable of preventing a safety accident due to leakage of toxic gas by inspecting a gas leak possibility at a connecting portion through a predetermined pressurized gas.
일반적으로, 반도체 제조 공정중에는 소정의 가스를 이용하는 공정이 포함되는데, 이와 같이 가스를 이용하는 공정에 적용되는 설비는 가스 용기(bottle)의 가스 충진압력이 고압이기 때문에 실질적으로 가스 공급을 필요로 하는 다른 설비에 소정의 일정압력으로 조정해서 공급해주는 역할을 하며, 가스 용기의 교체시에 가스 공급 라인 등을 퍼지(purge)하는 역할을 한다. 상기와 같은 역할을 하도록 구성되는 가스 공급 설비(시스템)는 통상적으로 가스 실린더(cylinder) 시스템, 가스 실린더 캐비닛(cabinet) 또는 가스 봄베 박스(bombe box)라고 명명되고 있다.In general, a semiconductor manufacturing process includes a process using a predetermined gas, and the equipment applied to the process using the gas includes another gas that requires substantially gas supply because the gas filling pressure of the gas bottle is high pressure. It serves to adjust and supply the equipment to a predetermined constant pressure, and serves to purge the gas supply line when the gas container is replaced. A gas supply system (system) configured to play such a role is commonly referred to as a gas cylinder system, a gas cylinder cabinet or a gas bombe box.
상기와 같은 가스 공급 시스템에 장착되어 이용되는 가스 용기내의 가스(실질적으로는 유독성 가스임)가 소진되게 되면, 가스가 충진되어 있는 새로운 용기로 교체하여야 하는데, 이때 사용중이었던 가스가 유독성 가스이고, 또한 충진압력이 대략 50kg/cm2인 고압 가스이기 때문에 가스 용기의 교쳬작업이 복잡하고 작업중 작업방법에 실수가 있으면 대단히 위험한 안전사고가 발생하게 된다. 따라서, 상기 가스 공급 시스템(예를 들면, 실린더 캐비닛)에는 반자동으로 가스 용기를 교체하는 작업이 적용되는데, 그 작업 진행 계통도를 도 1에 나타내 보였다.When the gas in the gas container (substantially toxic gas) used in the gas supply system is exhausted, the gas container must be replaced with a new container filled with gas. High pressure gas with a filling pressure of approximately 50 kg / cm 2 makes the operation of gas containers complicated and mistakes in working methods during the operation cause a very dangerous safety accident. Therefore, the operation of semi-automatically replacing the gas container is applied to the gas supply system (for example, the cylinder cabinet), the operation progress diagram is shown in FIG.
도 1를 참조하면, 상기 가스 실린더 캐비닛에서 빈 용기를 충진용기로 교체하는 작업 과정은, 빈 용기의 잔류 반응가스를 퍼지(purge)하는 단계(s1)와, 상기 s1 단계와 유사하게 유독성 가스 배관을 소정의 가스 예를 들면, 질소가스(N2)로 퍼지하는 단계(s2), 상기 가스 용기 주밸브의 가스 누출 여부를 체크하는 단계(s3), 상기 빈 용기를 떼어내는 단계(s4), 충진된 가스 용기를 새롭게 장착하는 단계(s5), 유독성가스 공급배관의 가압가스 누출을 체크하는 단계(s6), 잔류 가압가스의 누출을 체크하고 소정의 가스로 상기 가압가스 누출검사시 사용되었던 가압가스를 퍼지하는 단계(s7), 및 유독성 가스를 실질적으로 공급하는 단계(s8)를 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 s6 단계를 더 상세하게 설명하면, 이 단계는 가스 용기 교체 작업중 가스 용기와 가스 공급 배관이 연결되는 부위의 가스 누출 여부를 검사(check)하기 위하여 헬륨(He) 가스를 가압하고, 헬륨 가스가 상기 연결부위에서 누출되는지를 검사하는 단계인데, 이 단계는 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 여러 단계를 포함하여 이루어진다.Referring to FIG. 1, the operation of replacing the empty container with a filling container in the gas cylinder cabinet includes purging residual reaction gas in the empty container (s1) and toxic gas piping similarly to the step s1. Purging with a predetermined gas, for example, nitrogen gas (N 2 ) (s2), checking whether the gas container main valve leaks (s3), removing the empty container (s4), filling Mounting a new gas container (s5), checking the leak of pressurized gas in the toxic gas supply pipe (s6), checking the leak of the residual pressurized gas, and pressurized gas that was used in the pressurized gas leak inspection with a predetermined gas; Purging (s7), and substantially supplying a toxic gas (s8). Herein, the step s6 will be described in more detail. In this step, the step of pressurizing helium (He) gas to check whether the gas leaks in a portion where the gas container and the gas supply pipe are connected during the gas container replacement operation, Examining whether gas leaks out of the connection, this step comprises several steps as shown in FIG.
즉, 도 2를 참조하면, 가압가스 누출 검사 단계(s6)는, 가압가스 누출 검사를 준비하는 단계(s62)와, 가압가스 누출 검사용 가스(헬륨 가스)를 공급하는 밸브를 개방하는 단계(s64)와, 가압가스의 압력이 소정 설정치에 도달했는지를 확인하는 단계(s66)와, 상기 가압가스 압력이 소정의 설정치에 도달되지 않으면 가압가스 압력 경보를 발하는 단계(s72), 상기 가압가스 압력이 소정의 설정치에 도달되었으면 가압가스 압력을 안정화시키기 위해 소정시간동안 그 상태를 유지시키는 단계(s68), 소정시간동안 상기 가압가스 압력을 안정화시킨 다음 실질적으로 가스용기와 가스 공급배관사이의 가스 누출을 체크하기 시작하는 단계(s74), 상기 s74 단계 후 가압가스 압력이 소정의 설정치로 드롭(drop)되었는지를 확인하는 단계(s76)와, 상기 s76 단계에서 가압가스 압력이 소정의 설정치로 드롭되었으면 가압가스 누출 경보를 발하고(s78), 상기 s76 단계에서 가압가스 압력이 소정의 설정치로 드롭되지 않았으면 소정시간동안 상기 s76 단계를 수행토록 하고 상기 소정시간이 경과되었으면 가압가스 누출 검사를 종료하는 단계(s84)를 포함하여 이루어져 있다.That is, referring to FIG. 2, the pressurized gas leak inspection step s6 may include preparing a pressurized gas leak inspection step s62 and opening a valve for supplying a pressurized gas leak inspection gas (helium gas) ( s64), checking whether the pressure of the pressurized gas has reached a predetermined set value (s66); issuing a pressurized gas pressure alarm if the pressurized gas pressure does not reach a predetermined set value (s72), and the pressurized gas pressure When the predetermined set value is reached, maintaining the state for a predetermined time to stabilize the pressurized gas pressure (s68), stabilizing the pressurized gas pressure for a predetermined time, and then substantially leaking gas between the gas container and the gas supply pipe. Starting to check (s74), checking whether the pressurized gas pressure is dropped to a predetermined set value after the step s74 (s76), and pressurized gas pressure in the step s76 When the pressure drops to the predetermined set value, a pressurized gas leak alarm is issued (s78). If the pressure of the pressurized gas is not dropped to the predetermined set value in step s76, the step S76 is performed for a predetermined time and the predetermined time elapses. Comprising a step (s84) for ending the pressurized gas leak test.
그런데, 상기와 같은 스텝들로 이루어지는 종래의 가압가스 누출 검사방법에 있어서, 가압가스 압력이 정상적인 것으로 확인된 후, 가압가스 압력 안정화 기간중 가스용기와 가스 공급 배관을 연결하는 접속부위에서의 가압가스의 누출로 인하여 가압 가스가 모두 배출되면 실질적으로 가스 누출이 상당히 많았음에도 불구하고 실질적인 가압가스 누출 검사단계(s76 내지 s84)에서는 가압가스 압력의 드롭(drop)이 전혀 없는 것으로 판단되어 안전사고를 유발시키는 문제점이 있었다. 즉, 종래의 가압가스 누출 검사방법은, 가스 용기와 가스 공급 배관을 연결하는 접속부위에서의 가압가스 누출이 있음에도 불구하고 가압가스의 압력 드롭이 전혀 없는 것으로 판단될 수 있기 때문에 상기 가압가스 누출 검사 단계가 그대로 통과(pass)되어 유독성 가스가 턴-온되게 되고 이 때문에 안전사고가 유발되는 문제점이 있었다.However, in the conventional pressurized gas leak inspection method consisting of the above steps, after the pressurized gas pressure is confirmed to be normal, pressurized gas at the connecting portion connecting the gas container and the gas supply pipe during the pressurized gas pressure stabilization period When all the pressurized gas is discharged due to leakage of gas, although there was a substantial amount of gas leakage, it is judged that there is no drop of pressurized gas pressure in the actual pressurized gas leak inspection step (s76 to s84), causing a safety accident. There was a problem letting. That is, in the conventional pressurized gas leak inspection method, even though there is a pressurized gas leak at the connection portion connecting the gas container and the gas supply pipe, the pressurized gas leak inspection can be judged that there is no pressure drop of the pressurized gas. The step is passed (pass) as it is, toxic gas is turned on because of this there was a problem that causes a safety accident.
도 1은 일반적인 반도체 제조공정에서 사용되는 가스 공급 시스템의 가스 용기 교체작업 진행과정을 도시한 흐름도,1 is a flowchart illustrating a process of replacing a gas container of a gas supply system used in a general semiconductor manufacturing process;
도 2는 종래 가스 공급시스템의 가압가스 누출 검사방법의 진행과정을 도시한 흐름도,Figure 2 is a flow chart showing the progress of the pressure gas leak inspection method of the conventional gas supply system,
도 3은 본 발명에 따른 가스 공급시스템의 가압가스 누출 검사방법의 진행과정을 도시한 흐름도.Figure 3 is a flow chart showing the progress of the pressure gas leak inspection method of the gas supply system according to the present invention.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 유독성 가스 용기의 교체 작업시에 가스 용기와 가스공급 배관의 연결부위에서 가압가스의 누출이 있음에도 불구하고 이를 감지하지 못하여 발생할 수 있는 안전사고를 효과적으로 예방할 수 있도록 한 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사 방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, the safety accident that may occur due to the detection of the pressurized gas at the connection portion of the gas container and the gas supply pipe during the replacement operation of the toxic gas container can not detect this The aim is to provide a pressurized gas leak inspection method for a gas supply system that can be effectively prevented.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사 방법은,In order to achieve the above object, the pressure gas leakage inspection method of the gas supply system according to the present invention,
소정의 가스 용기와 가스 공급 배관사이를 연결하는 접속부위에서의 가압가스 누출을 검사하는 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사 방법에 있어서,In the pressurized gas leak inspection method of the gas supply system for inspecting the pressurized gas leak at the connection portion between the predetermined gas container and the gas supply pipe,
가스 누출 검사용 가압가스를 공급하는 밸브를 개방하는 제1 단계와, 상기 제1 단계 후 일정 시간동안 상기 가압가스를 공급하면서 이를 안정화시키는 제2 단계와, 상기 가압가스가 안정되게 충분히 공급된 후 상기 가압가스의 가압 압력이 소정의 설정 압력치에 도달했는지를 확인하는 제3 단계와, 상기 제3 단계에서 상기 가압 압력이 설정 압력치에 미달되면 가압 압력 경보를 발하는 제4 단계와, 상기 제3 단계에서 상기 가압 압력이 설정 압력치에 도달하였으면 실질적으로 가스용기와 가스 공급배관사이의 가압가스 누출을 체크하기 시작하여 가압 압력이 소정의 설정치로 드롭(drop)되었는지를 확인하는 제5 단계와, 상기 제5 단계에서 가압가스 압력이 소정의 설정치로 드롭되었으면 가압가스 누출 경보를 발하는 제6 단계와, 상기 제5 단계에서 가압 압력이 소정의 설정치로 드롭되지 않았으면 소정시간동안 상기 제5 단계를 수행토록 하고 상기 소정시간이 경과되었으면 가압가스 누출 검사를 종료하는 제7 단계를 포함하여 된 점에 그 특징이 있다.A first step of opening a valve for supplying a pressurized gas for gas leak inspection; a second step of stabilizing the pressurized gas while supplying the pressurized gas for a predetermined time after the first step; and after the pressurized gas is stably supplied A third step of checking whether the pressurized pressure of the pressurized gas has reached a predetermined set pressure value, and a fourth step of issuing a pressurized pressure alarm when the pressurized pressure is lower than the set pressure value in the third step; A fifth step of checking whether the pressurized pressure has been dropped to a predetermined set value when the pressurized pressure has reached the set pressure value in step 3, substantially starting to check for pressurized gas leakage between the gas container and the gas supply pipe; A sixth step of generating a pressurized gas leak alarm when the pressurized gas pressure is dropped to a predetermined set value in the fifth step; and pressurized in the fifth step. This force has a characteristic that the ever perform the fifth step for a predetermined time if it is not drop to a predetermined set point, and a including a seventh step in which the predetermined time has passed if the end pressurizing gas leakage inspection point.
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 가스 누출 검사용 가압가스는 헬륨 가스이다.In a preferred embodiment of the present invention, the gas leak inspection pressurized gas is helium gas.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 가스 공급시스템에 있어서 소정의 가스용기와 가스 공급 배관사이를 연결하는 접속부위에서의 가스 누출을 검사하는 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사 방법의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, a pressurized gas leak test of a gas supply system for inspecting a gas leak at a connection portion connecting a predetermined gas container and a gas supply pipe in a gas supply system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention with reference to the accompanying drawings. Preferred embodiments of the method are described in detail.
본 발명에 따른 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사 방법은, 가스 용기의 교체 작업중 가압가스 누출 검사 단계에서 가압가스의 압력 안정화 기간중 가스공급 배관과 가스용기사이의 연결부 불량으로 인하여 가스 누출 검사용 가압가스(헬륨 가스)가 배출되어 실제 가압가스 누출 검사시 가압가스 누출이 없는 것으로 통과되어 유독성 가스가 턴-온되어 공급될 때 발생할 수 있는 안전사고를 사전에 완벽하게 예방할 수 있도록 한 방법으로서, 가스 누출 검사용 가압가스(예를 들면, 헬륨가스)를 준비한 후, 이를 공급하는 밸브를 개방하는 단계(s100, s110))와, 상기 s110 단계 후 일정 시간동안 소정의 가스 누출 검사용 가압가스를 공급하면서 이를 안정화시키는 단계(s120)와, 상기 가압가스가 안정화된 후 상기 가압가스의 가압 압력이 소정의 설정 압력치에 도달했는지를 확인하는 단계(s130)와, 상기 s130 단계에서 상기 가압 압력이 설정 압력치에 미달되면 가압 압력 경보를 발하여 가압가스의 압력이 적절치 못함을 알리는 단계(150)와, 상기 s130 단계에서 상기 가압 압력이 설정 압력치에 도달하였으면 실질적으로 가스용기와 가스 공급배관사이에서 가압가스 누출이 있는지를 검사하기 시작하고(s140), 가압 압력이 소정의 설정치로 드롭(drop)되었는지를 확인하는 단계(s160)와, 상기 s160단계에서 가압가스 압력이 소정의 설정치로 드롭되었으면 가압가스가 누출되고 있음을 알리는 경보 단계(s170)와, 상기 s160 단계에서 가압가스 압력이 소정의 설정치로 드롭되지 않았으면 일정 시간동안 상기 s160 단계를 연속 수행토록 하고 상기 일정시간이 경과되었으면 가압가스 누출 검사를 종료하는 단계(s190)를 포함하여 이루어진다. 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사방법에서는, 가스 누출검사용 가압 헬륨가스가 가스 실린더 캐비닛(가스 공급시스템)에 공급되면 가압 가스의 가압 압력을 측정하여 설정치 이하이면 경보를 발하도록 하는 단계, 즉 s130 단계가 가압가스의 압력 안정화 기간이후, 즉 s120 단계 이후에 수행되도록 함으로써 가스 용기와 가스 공급 배관사이의 연결부위에서 가스 누출이 있는지를 곧바로 체크할 수 있게 된다. 따라서, 본 발명에 따르면 유독성 가스의 누출을 사전에 효과적으로 완벽하게 예방할 수 있게 된다.In the pressurized gas leak inspection method of the gas supply system according to the present invention, the pressurization for gas leak inspection due to a poor connection between the gas supply pipe and the gas container during the pressure stabilization period of the pressurized gas in the pressurized gas leak inspection step during the replacement operation of the gas container The gas (helium gas) is discharged and passed as no pressurized gas leak during the actual pressurized gas leak inspection, so as to completely prevent safety accidents that may occur when toxic gas is turned on and supplied. After preparing a leak inspection pressurized gas (for example, helium gas), opening the valve for supplying the same (s100, s110), and supplying a predetermined gas leak inspection pressurized gas for a predetermined time after the step s110. While stabilizing this (s120), and after the pressurized gas is stabilized, the pressurized pressure of the pressurized gas is a predetermined set pressure (S130) and if the pressure is less than the set pressure value in the step s130 (step 130) to issue a pressurized pressure alarm to notify that the pressure of the pressurized gas is not appropriate, and in the step s130 When the pressurized pressure reaches the set pressure value, the process starts to check whether there is a pressurized gas leak between the gas container and the gas supply pipe (s140), and confirms whether the pressurized pressure has been dropped to a predetermined set value. (s160) and, if the pressurized gas pressure is dropped to a predetermined set value in step s160, an alarm step (s170) indicating that the pressurized gas is leaking, and if the pressurized gas pressure is not dropped to a predetermined set value in step s160. And continuously performing the step s160 for a predetermined time and ending the pressurized gas leak inspection when the predetermined time has elapsed (s190). Achieved. In the pressurized gas leak inspection method of the gas supply system according to the present invention configured as described above, if the pressurized helium gas for gas leak inspection is supplied to the gas cylinder cabinet (gas supply system), the pressurized pressure of the pressurized gas is measured and the alarm is lower than the set value. Step s130, that is, the step s130 is carried out after the pressure stabilization period of the pressurized gas, that is, after the step s120 it is possible to immediately check whether there is a gas leak in the connection between the gas container and the gas supply pipe. Therefore, according to the present invention, it is possible to effectively and completely prevent the leakage of toxic gas in advance.
본 발명에 따른 가스 공급 시스템의 가압가스 누출 검사방법은, 가압가스의 안정화 단계 후 가압가스의 누출을 확인함으로써 유독성 가스 용기의 교체 작업시에 가스 용기와 가스공급 배관의 연결부위에서 가압가스의 누출이 있음에도 불구하고 이를 감지하지 못하여 발생할 수 있는 안전사고를 효과적으로 방지할 수 있는 이점을 제공한다. 즉, 본 발명의 방법에 따르면 가스 공급 시스템의 신뢰성이 향상되는 이점이 있다.Pressurized gas leak inspection method of the gas supply system according to the present invention, by checking the leakage of the pressurized gas after the stabilization step of the pressurized gas by the leakage of pressurized gas at the connection portion of the gas container and the gas supply pipe during the replacement operation of the toxic gas container. In spite of this, it provides the advantage to effectively prevent safety accidents that can occur due to failure to detect them. That is, the method of the present invention has the advantage that the reliability of the gas supply system is improved.
Claims (2)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100864168B1 (en) * | 2003-12-31 | 2008-10-16 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | vertical multi gas supply system |
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1996
- 1996-10-08 KR KR1019960044625A patent/KR100196910B1/en not_active IP Right Cessation
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|---|---|---|---|---|
| KR100864168B1 (en) * | 2003-12-31 | 2008-10-16 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | vertical multi gas supply system |
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| KR100196910B1 (en) | 1999-06-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20080201 Year of fee payment: 10 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |