KR102661934B1 - 레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템 - Google Patents

레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102661934B1
KR102661934B1 KR1020190087094A KR20190087094A KR102661934B1 KR 102661934 B1 KR102661934 B1 KR 102661934B1 KR 1020190087094 A KR1020190087094 A KR 1020190087094A KR 20190087094 A KR20190087094 A KR 20190087094A KR 102661934 B1 KR102661934 B1 KR 102661934B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser beam
laser
combining unit
beam combining
combiner
Prior art date
Application number
KR1020190087094A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210009923A (ko
Inventor
박헌용
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020190087094A priority Critical patent/KR102661934B1/ko
Publication of KR20210009923A publication Critical patent/KR20210009923A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102661934B1 publication Critical patent/KR102661934B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1006—Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/18—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical projection, e.g. combination of mirror and condenser and objective
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2375—Hybrid lasers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

예시적인 실시예들에 레이저 빔 결합기는 제1 방향으로 진행하는 복수의 제1 레이저 빔들을 결합시켜 제2 레이저 빔을 생성하고, 상기 제2 레이저 빔을 상기 제1 방향으로 방출하도록 구성된 레이저 빔 결합기로서, 상기 레이저 빔 결합기는, 상기 제1 방향에 평행한 제1 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고 상기 제1 레이저 빔들이 입사하도록 정렬된 제1 레이저 빔 결합 유닛; 및 상기 제1 방향에 평행한 제2 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고 상기 제2 레이저 빔을 방출하도록 구성된 제2 레이저 빔 결합 유닛을 포함할 수 있다.

Description

레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템{A laser beam combiner and a system comprising the same}
본 발명의 기술적 사상은 레이져 빔 결합 장치 및 이를 포함하는 시스템에 관한 것이다.
빔 조사 시스템은 일반 가정으로부터 항공기, 선박 및 자동차 분야 등 다양한 산업에 이르기까지 광범위한 분야에서 사용된다. 전통적인 빔 조사 시스템에서 빔 소스로서 전기적으로 작동되는 필라멘트 또는 아크 램프를 사용되는데, 이러한 빔 조사 시스템에서 발생된 광을 집속하여 의도된 타겟으로 유도하는 집속 렌즈들 및/또는 반사 표면들이 요구된다. 특히, 하나의 광원이 아닌 다중 광원을 이용하는 경우, 해당 다중 광원에서 출력되는 복수의 광이 동일한 경로를 따라 가이드 되어 결합된 레이저 빔이 되도록하는 광학 요소가 필요한데, 이를 빔 결합기(beam combiner)라고 한다.
최근에는, 반도체 공정에도 레이져 응용분야가 확대되고 있으며, 그 중에서도 미세화된 공정에 적합한 인해 다중 레이져(Multi laser system)가 주목 받고 있다. 다중 레이져 적용함에 있어서 빔(Beam)의 결합은 원하는 형태의 광 강도 분포 품질(light intensity distribution quality)에 있어 가장 핵심적 요소이다. 이에 따라, 반도체 제조 공정에서 광 강도 분포 품질 확보를 위해, 레이저 빔 결합기에 대한 다양한 연구들이 수행되고 있다.
본 개시의 기술적 사상이 해결하려는 과제는 신뢰성이 제고된 광 결합기를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위한, 예시적인 실시예들에 따르면 제1 방향으로 진행하는 복수의 제1 레이저 빔들을 결합시켜 제2 레이저 빔을 생성하고, 상기 제2 레이저 빔을 상기 제1 방향으로 방출하도록 구성된 레이저 빔 결합기가 제공된다. 상기 레이저 빔 결합기는, 상기 제1 방향에 평행한 제1 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고 상기 제1 레이저 빔들이 입사하도록 정렬된 제1 레이저 빔 결합 유닛; 및 상기 제1 방향에 평행한 제2 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고 상기 제2 레이저 빔을 방출하도록 구성된 제2 레이저 빔 결합 유닛을 포함할 수 있다.
다른 일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들을 포함하는 레이저 빔 결합기가 제공된다. 상기 제1 레이저 빔 결합 유닛은, 각각 순서대로 제1 내지 제4 레이저 빔들이 입사하도록 구성되고, 제1 꼭지점을 공유하는 제1 내지 제4 면을 포함하고, 상기 제1 레이저 빔 결합 유닛은 상기 제1 내지 제4 레이저 빔을 결합시키도록 구성되고, 상기 제2 레이저 빔 결합 유닛은, 상기 제1 내지 제4 레이저 빔을 결합시켜 결합된 레이저 빔을 생성하도록 구성되고, 상기 제2 레이저 빔 결합 유닛은 상기 결합된 레이저 빔을 방출하도록 구성되고 하나의 제2 꼭지점을 공유하는 제1 내지 제4 면을 포함할 수 있다.
다른 일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기를 포함하는 시스템이 제공된다. 상기 시스템은, 제1 방향으로 복수의 제1 레이저 빔들을 방출하도록 구성된 복수의 레이저 빔 소스들; 상기 제1 레이저 빔들을 결합시켜 상기 제1 방향으로 진행하는 제2 레이저 빔을 생성하도록 구성된 레이저 빔 결합기; 및 상기 레이저 빔 결합기 의 광을 투영 시키는 투영 렌즈 시스템;을 포함하되, 상기 레이저 빔 결합기는, 상기 제1 방향에 평행한 제1 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고, 상기 제1 레이저 빔들이 입사되도록 정렬된 제1 레이저 빔 결합 유닛; 및 상기 제1 방향에 평행한 제2 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고, 상기 제2 레이저 빔을 방출하도록 구성된 제2 레이저 빔 결합 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
다른 일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기를 포함하는 시스템이 제공된다. 상기 시스템은, 제1 방향으로 복수의 제1 레이저 빔들을 방출하도록 구성된 복수의 레이저 빔 소스들; 상기 제1 레이저 빔들을 결합시켜 상기 제1 방향으로 진행하는 제2 레이저 빔을 생성하도록 구성된 레이저 빔 결합기; 및 상기 레이저 빔 결합기의 광을 투영 시키는 투영 렌즈 시스템;을 포함하되, 상기 레이저 빔 결합기는, 상기 제1 레이저 빔들이 입사되도록 정렬되고 다각뿔 형상을 갖는 제1 레이저 빔 결합 유닛; 및 상기 제2 레이저 빔을 방출하도록 구성되고 상기 다각뿔 형상을 갖는 제2 레이저 빔 결합 유닛을 포함하되, 상기 다각뿔은 상기 제1 레이저 빔의 수와 동일한 개수의 옆면을 포함하는 것을 특징으로 한다
본 발명의 기술적 사상에 따르면, 비교적 간단한 광학 요소들(Optical Element)들을 이용하여 고 신뢰도의 레이저 빔 결합기를 구현할 수 있다.
도 1은 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 일부 실시예들에 따르면 레이저 빔 결합기를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기를 설명하기 위한 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 다른 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기들을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 6은 다른 일부 실시예에 따른 레이저 빔 결합기를 설명하기 위한 사시도이다.
도 7 및 도 8은 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기를 설명하기 위한 사시도이다.
도 9a 및 도 9b는 다른 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기들을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 10은 일부 실시예들에 따른 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고, 이들에 대한 중복된 설명은 생략한다. 이하의 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되어 표현되었고, 이에 따라 실제의 형상 및 비율과 다소 상이할 수 있다.
도 1은 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기(100)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기(100)를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 2에, 레이저 빔 결합기(100)에 입사하는 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)이 도시되어 있다.
일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 비축 광학 요소일 수 있다. 일반적으로 비축 광학계는 입사광의 광축이 광학계의 기계적(즉, 물리적) 중심과 일치하지 않는 광학 시스템을 지칭한다. 본 명세서에서, 비축 광학계라 함은, 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2) 각각의 광 축이 결합된 레이저 빔(ILB)의 광축과 불일치함을 의미한다.
일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 투광성 물질을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 유리를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 산화 유리, 알루미노실리케이트 유리, 소다석회 유리, 보로실리케이트 유리, 납 유리, 알칼리바륨 유리, 알루미노보로실리케이트 유리 등을 포함할 수 있다. 다른 일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 플라스틱을 포함할 수 있다.
일부 실시예들에 따르면 레이저 빔 결합기(100)는 단일 굴절률 물질, 복굴절 물질 및 그레이디드 인덱스(Graded index) 물질 중 어느 하나일 수 있다. 여기서 그레이디드 인덱스 물질은, 굴절률이 광 축에 수직한 단면 상의 위치의 함수로 변화하는 물질을 뜻한다.
일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 팔면체일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 육각 기둥 형상을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(100)는 제1 내지 제8 면(S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7, S8)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제4 면들(S1, S2, S3, S4)은 광학적 기능을 할 수 있다. 보다 구체적으로, 제1 및 제2 면(S1, S2)을 통해 각각 순서대로 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)이 입사할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)은 레이저 빔 결합기(100)에서 결합되어, 시준된 평행광인 결합 빔(ILB)이 생성될 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2) 각각의 빔 단면의 크기는 서로 같을 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)은 서로 평행하게 진행할 수 있다. 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)의 진행 방향을 제1 방향(Z 방향)으로 정의하고, 제1 방향(Z 방향)에 수직하고 서로 직교하는 방향들을 제2 및 제3 방향(X 방향, Y 방향)으로 정의한다.
일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)은 동일한 레이저 빔일 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 보다 구체적으로, 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)은 파장, 세기 및 빔 단면의 형상, 빔 단면의 크기가 서로 실질적으로 동일할 수 있으나 이에 제한되지 않는다.
일부 실시예들에 따르면, 결합 빔(ILB)은 제3 및 제4 면들(S3, S4)이 결합하는 모서리를 통해 방출될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 결합 빔(ILB)은 제3 및 제4 면들(S3, S4)을 통해 방출될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 결합 빔(ILB)의 광 세기 분포는 제3 및 제4 면들(S3, S4)이 접하는 모서리에서 최대 값을 가질 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 일부 실시예들에 따르면, 결합 빔(ILB)은 제1 방향(Z 방향)에 실질적으로 평행한 방향으로 방출되고 진행할 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 결합빔(ILB)의 빔 단면은 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2) 각각의 빔 단면보다 더 클 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 결합빔(ILB)의 빔 단면은 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2) 각각의 빔 단면의 합보다 같거나 작을 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 결합빔(ILB)의 빔 단면은 제1 및 제2 레이저 빔들(LB1, LB2)의 빔 단면과 닮음일 수 있다.
제1 및 제3 면(S1, S3)은 서로 대향할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제3 면(S1, S3)은 서로 실질적으로 평행할 수 있다. 제2 및 제4 면(S2, S4)은 서로 대향할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제2 및 제4 면(S2, S4)은 서로 실질적으로 평행할 수 있다. 제1 및 제4 면(S1, S4)은 각각 제5 면(S5)과 연결될 수 있다. 제2 및 제3 면들(S2, S3)은 각각 제6 면(S6)과 연결될 수 있다. 제1 내지 제6 면들(S1, S2, S3, S4, S5, S6)은 각각 제7 및 제8 면들(S7, S8)과 연결될 수 있다.
이에 따라 제1 내지 제4 면들(S1, S2, S3, S4)은 광학적 기능을 수행하는 광학면들(예컨대, 레이저 빔 입사면들 및 출사면들)일 수 있다. 제5 내지 제8 면들(S5, S6, S7, S8)은 광학 면들을 연결하는 면일 수 있다. 필요에 따라, 제5 내지 제8 면들(S5, S6, S7, S8)에 외부 광을 차단하고 내부로부터 광의 유출을 막기 위한 차광막들이 추가로 제공될 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 제1 내지 제4 면들(S1, S2, S3, S4)은 동일한 면적을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 내지 제4 면들(S1, S2, S3, S4)은 서로 동일한 직사각형 평면일 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 제1 내지 제4 면들(S1, S2, S3, S4)은 평면에 투영될 경우 직사각형을 이루는 오목면 또는 볼록면일 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 제5 및 제6 면들(S5, S6)은 동일한 면적을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제5 및 제6 면들(S5, S6)은 서로 동일한 직사각형 평면일 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 제5 및 제6 면들(S5, S6)은 평면에 투영될 경우 직사각형을 이루는 오목면 또는 볼록면일 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 제7 및 제8 면들(S7, S8)은 동일한 면적을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제7 및 제8 면들(S7, S8)은 서로 동일한 육각형 평면일 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 제7 및 제8 면들(S7, S8)은 평면에 투영될 경우 육각형을 이루는 오목면 또는 볼록면일 수 있다.
도 1 및 도 2에서 레이저 빔 결합기(100)가 육각 기둥 형상을 갖는 것으로 도시되었으나 이에 제한되는 것은 아니다. 예컨대, 레이저 빔 결합기(100)는 프레넬 렌즈이거나 메타 렌즈일 수 있다. 예컨대, 레이저 빔 결합기(100)는 프레넬 렌즈이거나 메타 렌즈인 경우 더 적은 부피로 구현될 수 있다. 또한 도시되지 않았으나, 레이저 빔 결합기(100)를 보호하고 지지하기 위한 배럴이 더 제공되어, 빔 입사면인 제1 및 제2 면들(S1, S2) 빔 출사면인 제3 및 제4 면들(S3, S4)을 노출시키고 제5 내지 제8 면들(S5, S6, S7, S8)을 커버할 수 있다.
종래에 광 결합 시스템은, 망원 렌즈, 비구면 반사경, 스플리터 및 시준 렌즈와 같은 복잡하고, 높은 제조 비용이 요구되는 광학 요소들에 의해 구현된다.
일부 실시예들에 따르면, 종래 기술에 사용된 광 결합 시스템에 비해 간단한 구성으로 광학 구성으로 복수개의 레이저 빔을 결합시킬 수 있다. 또한 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기는 내부 전반사 특성이 아닌, 굴절 투과 특성을 이용하여 입사하는 레이저 빔들을 결합시킬 수 있다. 이에 따라, 반사 타입의 광 결합 시스템에서 발생하는 광 손실을 방지할 수 있는바, 실질적인 에너지 손실이 없는 레이저 빔 결합기를 제공할 수 있다.
도 3은 일부 실시예들에 따르면 레이저 빔 결합기(200)를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기(200)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3을 참조하면 레이저 빔 결합기(200)는 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)을 포함할 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 레이저 빔 결합기(200)는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 레이저 빔 결합기(100)와 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)은 원뿔형일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)은 광축에 대해 회전 대칭성을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)은 각각 순서대로 제1 및 제2 축(미도시)을 중심으로 회전 대칭일 수 있으다. 상기 제1 및 제2 축은 제1 방향(Z 방향)에 평행한 일직선 상에 있도록 정렬될 수 있다.
제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)이 원뿔 형을 갖는바, 레이저 빔 결합기(200)는 임의의 개수의 레이저 빔을 결합시킬 수 있다.
보다 구체적으로, 도 3 및 도 4에서 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)이 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a)으로 입사한 것으로 도시되었으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 임의의 개수, 예컨대 2개, 3개, 또는 5개 이상의 레이저 빔들이 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a)으로 입사하는 것도 가능하다.
제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)은 서로 실질적으로 동일할 수 있다. 즉, 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)은 서로 실질적으로 동일한 빔단면, 실질적으로 동일한 세기 분포, 및 실질적으로 동일한 파장의 레이저 빔들일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 예컨대, 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)의 파장, 세기 분포 및 빔 단면 중 적어도 어느 하나가 서로 다른 것도 가능하다.
레이저 빔들은 그 개수에 따라서 대칭적인 경로를 통해 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a)에 입사할 수 있다. 예컨대, 도3 및 도 4에 도시된 것처럼 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)이 결합되는 경우, 광 축을 중심으로 인접한 레이저 빔들 사이의 편각은 약 90도일 수 있다. 다른 예로, 레이저 빔 결합기(200)에 3개의 레이저 빔들이 결합되는 경우, 광 축을 중심으로 인접한 레이저 빔들 사이의 편각은 약 120도일 수 있다. 다른 예로, 레이저 빔 결합기(200)에 5개의 레이저 빔들이 결합되는 경우, 광 축을 중심으로 인접한 레이저 빔들 사이의 편각은 약 72도일 수 있다.
제1 레이저 빔 결합 유닛(200a)은 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)이 입사되고 집광시킬 수 있다. 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b)은 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a)으로부터 집광된 광을 수광하여 결합된 레이저 빔(ILB)을 방출하도록 구성된다. 도 3 및 도4 에서 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)이 분리된 별도의 유닛으로 도시되었으나, 이에 제한되지 않는다. 경우에 따라 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)이 결합되어, 연속되고 통합된 구조의 레이저 빔 결합기(200)가 제공될 수 있다.
도 4를 참조하면, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)의 단면은 삼각형일 수 있다. 즉, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)의 빔 입사면(또는 원뿔의 옆면)은 평평한 형상을 가질 수 있다. 즉, 도 4와 같이 제1 방향(Z 방향)에 평행한 임의의 단면에서 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a, 200b)의 원뿔의 옆면 프로파일은 직선일 수 있다.
이 경우, 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4) 각각은 레이저 빔 결합기(200) 통과 전후로 동일한 빔 단면을 가질 수 있다. 즉, 제2 내지 제4 레이저 빔들(LB2, LB3, LB4)을 방출하는 레이저 빔 소스는 오프되고, 제1 레이저 빔(LB1)을 방출하는 레이저 빔 소스만 온 되는 경우, 레이저 빔 결합기(200)에 입사하는 빔 단면의 면적은 레이저 빔 결합기(200)으로부터 방출되는 빔 단면의 면적과 실질적으로 동일할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a)은 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b)보다 더 큰 크기(예컨대, 부피)를 가질 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a)은 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b)과 동일한 크기(예컨대, 부피)를 갖거나, 더 작은 크기(예컨대, 부피)를 갖는 것도 가능하다.
도 5a 및 도 5b는 다른 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기들을 설명하기 위한 단면도들이다. 보다 구체적으로 도 5a 및 도 5b는 도 4에 대응되는 단면도들로서, 설명의 편의상 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 것과 중복되는 것을 생략하고, 차이점을 위주로 설명하도록 한다.
도 5a를 참조하면, 레이저 빔 결합기(200')는 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a', 200b')을 포함할 수 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 것과 달리, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a', 200b')은 볼록한 옆면을 가질 수 있다. 이 경우 레이저 빔 결합기(200')는 입사한 광을 포커스(또는 축소)시킬 수 있다.
이 경우, 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4) 각각은 레이저 빔 결합기(200) 통과 후, 통과 전 보다 더 작은 빔 단면을 가질 수 있다. 즉, 제2 내지 제4 레이저 빔들(LB2, LB3, LB4)을 방출하는 레이저 빔 소스는 오프되고, 제1 레이저 빔(LB1)을 방출하는 레이저 빔 소스만 온 되는 경우, 레이저 빔 결합기(200)로부터 방출된 레이저 빔의 빔 단면의 면적은 레이저 빔 결합기(200)에 입사하는 레이저 빔의 빔 단면의 면적보다 작을 수 있다.
도 5b를 참조하면, 레이저 빔 결합기(200")는 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a", 200b")을 포함할 수 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 것과 달리, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(200a", 200b")은 오목한 옆면을 가질 수 있다. 이 경우 레이저 빔 결합기(200')는 입사한 광을 분산(또는 확대)시킬 수 있다.
이 경우, 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4) 각각은 레이저 빔 결합기(200) 통과 후, 통과 전 보다 더 큰 빔 단면을 가질 수 있다. 즉, 제2 내지 제4 레이저 빔들(LB2, LB3, LB4)을 방출하는 레이저 빔 소스는 오프되고, 제1 레이저 빔(LB1)을 방출하는 레이저 빔 소스만 온 되는 경우, 레이저 빔 결합기(200)로부터 방출된 레이저 빔의 빔 단면의 면적은 레이저 빔 결합기(200)에 입사하는 레이저 빔의 빔 단면의 면적보다 클 수 있다.
도 5a 및 도 5b의 실시예들에서, 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a', 200a") 및 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b', 200b")의 단면상 옆면 프로파일의 형상은 임의의 곡선일 수 있다. 보다 구체적으로, 도 5a 및 도 5b의 실시예들에서, 제1 레이저 빔 결합 유닛(200a', 200a") 및 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b', 200b")의 단면상 옆면 프로파일은, 호의 일부를 포함하거나, 원형이 아닌 임의의 곡선에 의해 구성되거나, 경우에 따라 다수의 직선 세그먼트들로 구성될 수 있다.
또한 도시되지 않았으나, i)제1 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 직선이고, 제2 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 볼록한 경우, ii)제1 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 직선이고, 제2 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 오목한 경우, iii)제1 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 볼록하고, 제2 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 오목한 경우, iv)제1 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 볼록하고, 제2 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 직선인 경우, v)제1 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 오목하고, 제2 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 직선인 경우, 또는 vi)제1 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 오목하고, 제2 레이저 빔 결합 유닛의 단면상 옆면 프로파일이 볼록인 경우도 가능하다.
도 6은 다른 일부 실시예에 따른 레이저 빔 결합기(300)를 설명하기 위한 사시도이다.
설명의 편의상 도 1 내지 도 5b를 참조하여 설명한 것과 중복되는 것을 생략하고 차이점을 위주로 설명하도록 한다.
도 6을 참조하면, 레이저 빔 결합기(300)는 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(300a, 300b)을 포함할 수 있다.
레이저 빔 결합기(300)는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 레이저 빔 결합기(100)와 동일한 물질을 포함할 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 레이저 빔 결합기(300)는 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(300a, 300b)을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들(300a, 300b)은 대략 사각뿔 형상을 가질 수 있다. 하지만 이에 제한되는 것은 아니고, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 구현하려는 광학계에서 결합되는 레이저 빔의 개수에 따라 다른 형상을 가질 수 있다. 레이저 빔 결합 유닛은 입사하는 광의 개수와 동일한 옆면을 갖는 다각뿔일 수 있다. 예컨대, 3개의 광이 결합되는 경우, 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 삼각뿔형상을 가질 수 있고, 5개의 광이 결합되는 경우 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 오각뿔 형상을 가질 수 있다.
제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)은 레이저 빔 결합기(300)에 의해 결합될 수 있다. 제1 내지 제4 레이저 빔들(LB1, LB2, LB3, LB4)은 제1 레이저 빔 결합 유닛(300a)으로 입사하고 제2 레이저 빔 결합 유닛(300b)으 로부터 방출될 수 있다.
도 6을 참조하면, 제1 레이저 빔 결합 유닛(300a)의 크기가 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b)의 크기보다 더 큰 것으로 도시되었으나 이에 제한되는 것은 아니다.
제1 레이저 빔 결합 유닛(300a)은 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b)과 동일한 크기를 같거나, 제2 레이저 빔 결합 유닛(200b)보다 더 작은 크기를 가질 수 있다.
도 7 및 도 8은 일부 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기(400)를 설명하기 위한 사시도이다.
보다 구체적으로, 도 7은 레이저 빔 결합 장치의 전체구조를 도시하며, 도 8은 레이저 빔 결합 장치를 제1 방향에 평행한 두 평면(예컨대, XZ 평면 및 YZ 평면)에 의해 사분할된 단위체(400u)를 도시한다.
사분할된 단위체(400u)는 각각 서로 다른 레이저 빔에 대응된다. 즉, 도 7 및 도 8에 도시된 실시예는, 입사한 네 개의 레이저 빔을 결합시키는 레이저 빔 결합기(400)에 관한 것이다. 당해 기술 분야의 통상의 기술자는 본 명세서에 기술된 바에 기초하여 세 개, 또는 다섯 개 이상의 레이저 빔을 결합시키는 레이저 빔 결합장치를 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 이 경우, 레이저 빔 결합 장치를 구성하기 위한 분할된 단위체는 입사하는 레이저에 맞춰서, 세 개 또는 다섯개 이상일 수 있다.
레이저 빔 결합기(400)는 직육면체로부터 각 코너 부분이 제1 내지 제3 방향들(X, Y, Z 방향) 각각에 대해 기울어진 평면들을 절단면으로 하여, 상기 절단면들이 노출되도록 제거된 구조를 가질 수 있다.
일부 실시예들에 따르면 레이저 빔 결합기(400)는 레이저 빔이 입사하는 네 개의 입사면들(IS)과 결합된 레이저 빔이 출사하는 네 개의 빔 출사면들(ES)을 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 네 개의 광 입사면들(ES)은 하나의 코너(꼭지점)를 공유할 수 있고, 인접한 두 개의 광 입사면들(IS)은 하나의 모서리를 공유할 수 있다. 일부 실시예들에 따르면 네 개의 광 출사면들(ES)은 하나의 코너를 공유할 수 있고, 인접한 두 개의 광 출사면(ES)은 하나의 모서리를 공유할 수 있다.
네 개의 출사면들(ES)이 공유하는 코너와 네 개의 입사면들(IS)이 공유하는 코너는 서로 가장 멀리 배치될 수 있다. 즉, 네 개의 입사면들(IS) 중 네 개의 출사면들(ES)로부터 제1 방향(Z 방향)으로 가장 멀리 이격된 점은, 네 개의 입사면들(IS)이 공유하는 코너일 수 있다. 마찬가지로, 네 개의 출사면들(ES) 중 네 개의 입사면들(IS)로부터 제1 방향(Z 방향)으로 가장 멀리 이격된 점은, 네 개의 출사면들(ES)이 공유하는 코너일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 입사면들(IS) 및 출사면들(ES)은 그 법선이 제1 내지 제3 방향(Z, X, Y 방향) 각각에 대해 기울어진 직사각 평면일 수 있다.
본 실시예에서, 입사면들(IS)과 출사면들(ES)을 연결하는 평면들을 설명의 편의상 지지면(SS)이라고 지칭한다. 일부 실시예들에 따르면, 지지면들(SS)은 XZ 평면, 또는 XY 평면 중 어느 하나와 실질적으로 평행한 육각형일 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 지지면들(SS)은 두 개의 등변 사다리꼴이 결합된 육각형의 평면 형상을 가질 수 있다.
도 9a 및 도 9b는 다른 실시예들에 따른 레이저 빔 결합기들을 설명하기 위한 사시도들이다. 보다 구체적으로, 도 9a 및 도 9b는 도 8에 대응되는 도면들로서, 서로 다른 실시예들의 사분할 단위체들(400u', 400u")을 도시한다.
도 9a를 참조하면, 사분할 단위체(400u')는 도 8의 사분할 단위체와 실질적으로 동일한 방식으로 형성되되, 회전 대칭 축이 제1 방향(Z 방향)에 대해 정렬된 원기둥으로부터 형성될 수 있다.
도 9b를 참조하면, 사분할 단위체(400u")는 도 8의 사분할 단위체와 실질적으로 동일한 방식으로 형성되되, 도 7 및 도 8의 실시예와 다르게 정렬된 (예컨대, 제1 방향(Z 방향)을 중심으로 45도 회전된) 직육면체로부터 형성될 수 있다.
도 10은 일부 실시예들에 따른 시스템(1000)을 설명하기 위한 블록도이다.
일부 실시예들에 따르면 시스템(1000)은 레이저 빔 광원들(LS1, LS2), 레이저 빔 결합기(Laser Beam Combiner, LBC), 파리 눈 렌즈 시스템(Fly Eye Lens System, FELS), 빔 성형기(Beam Former, BF) 및 투영 렌즈 시스템(Projection Lens System, PLS)을 포함할 수 있다.
레이저 빔 광원들(LS1)은 서로 평행한 복수의 레이저 빔을 방출할 수 있다.
레이저 빔 결합기(LBC)는 도 1 내지 도 9b를 참조하여 설명한 레이저 빔 결합기들(100, 200, 300, 400) 중 어느 하나일 수 있다.
파리 눈 렌즈 시스템은(FELS)은 복수의 파리 눈 렌즈를 포함할 수 있다. 여기서 파리 눈 렌즈는 매트릭스를 이루도록 배치된 복수의 렌즈들을 포함할 수 있으며 균일한 광 세기를 구현하기 위해 사용된다.
C 렌즈(CL)는 입사한 레이저 빔을 포커스하고 시준할 수 있다.
투영 렌즈 시스템(PLS)은 복수의 렌즈를 포함할 수 있고, 빔 단면을 목표하는 비율로 확대하거나 축소할 수 있다.
일반적으로 다중 레이져 시스템에서 빔을 결합시키기 위해서 평판 타입 혹은 정사각형, 삼각형의 광분배기(Beam splitter)를 활용한다. 이러한 경우 광분배기(Beam splitter) 특성상 일정 부분 투과 시키고 일정부분은 반사 시킴으로써 광 손실이 크다는 단점을 가지고 있다. 또한, 서로 인접한 광 경로를 갖는 다중 레이져 빔 결합시키는 경우, 결합된 레이저 빔이 원하는 세기 분포를 갖도록 하기 위해 렌즈 광학 시스템들이 채용되고, 상기 렌즈 광학 시스템 들이 비축(Off-axis) 레이져 빔의 품질을 저하시키는 문제점이 있었다.
일부 실시예들에 따르면, 간단하고 컴팩트한 광학 요소들을 이용하여 다중의 레이저를 고품질의 세기 분포를 갖는 단일 레이저 빔으로 결합시킬 수 있는 시스템(1000)을 제공할 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100, 200, 300, 400: 레이저 빔 결합기
LB1, LB2, LB3, LB4: 레이저 빔

Claims (10)

  1. 제1 방향으로 진행하는 복수의 제1 레이저 빔들을 결합시켜 제2 레이저 빔을 생성하고, 상기 제2 레이저 빔을 상기 제1 방향으로 방출하도록 구성된 레이저 빔 결합기로서, 상기 레이저 빔 결합기는,
    상기 제1 방향에 평행한 제1 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고 상기 제1 레이저 빔들이 입사하도록 구성된 제1 레이저 빔 결합 유닛; 및
    상기 제1 방향에 평행한 제2 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고 상기 제2 레이저 빔을 방출하도록 구성된 제2 레이저 빔 결합 유닛을 포함하고,
    상기 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 원뿔 형상을 가지며,
    상기 제1 레이저 빔 결합 유닛의 원뿔의 옆면인 제1 면 및 상기 제2 레이저 빔 결합 유닛의 원뿔의 옆면인 제2 면 중 어느 하나는 볼록한 면이거나 또는 오목한 면인 것을 특징으로 하는 레이저 빔 결합기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 상기 제1 방향을 따라 이격된 것을 특징으로 하는 레이저 빔 결합기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 일체형인 것을 특징으로 하는 레이저 빔 결합기.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들의 각각의 원뿔의 꼭지점이 서로 반대 방향을 향하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 결합기.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들을 포함하는 레이저 빔 결합기로서,
    상기 제1 레이저 빔 결합 유닛은,
    각각 순서대로 제1 내지 제4 레이저 빔들이 입사하도록 구성되고, 제1 꼭지점을 공유하는 제1 내지 제4 면을 포함하고, 상기 제1 레이저 빔 결합 유닛은 상기 제1 내지 제4 레이저 빔을 결합시키도록 구성되고,
    상기 제2 레이저 빔 결합 유닛은,
    상기 제1 내지 제4 레이저 빔을 결합시켜 결합된 레이저 빔을 생성하고, 상기 결합된 레이저 빔을 방출하도록 구성되며, 하나의 제2 꼭지점을 공유하는 제1 내지 제4 면을 포함하고,
    상기 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 원뿔 형상을 가지며,
    상기 제1 레이저 빔 결합 유닛의 원뿔의 옆면 및 상기 제2 레이저 빔 결합 유닛의 원뿔의 옆면 중 어느 하나는 볼록한 면이거나 또는 오목한 면인 것을 특징으로 하는 레이저 빔 결합기.
  9. 제1 방향으로 진행하는 복수의 제1 레이저 빔들을 방출하도록 구성된 복수의 레이저 빔 소스들;
    상기 제1 레이저 빔들을 결합시켜 상기 제1 방향으로 진행하는 제2 레이저 빔을 생성하도록 구성된 레이저 빔 결합기; 및
    상기 레이저 빔 결합기에 의해 생성되고 상기 레이저 빔 결합기로부터 방출된 제2 레이저 빔을 투영 시키는 투영 렌즈 시스템;을 포함하되,
    상기 레이저 빔 결합기는,
    상기 제1 방향에 평행한 제1 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고, 상기 복수의 제1 레이저 빔들이 입사되도록 정렬된 제1 레이저 빔 결합 유닛; 및
    상기 제1 방향에 평행한 제2 축을 기준으로 회전 대칭성을 갖고, 상기 제2 레이저 빔을 방출하도록 구성된 제2 레이저 빔 결합 유닛을 포함하고,
    상기 제1 및 제2 레이저 빔 결합 유닛들은 원뿔 형상을 가지며,
    상기 제1 레이저 빔 결합 유닛의 원뿔의 옆면인 제1 면 및 상기 제2 레이저 빔 결합 유닛의 원뿔의 옆면인 제2 면 중 어느 하나는 볼록한 면이거나 또는 오목한 면인 것을 특징으로 하는 시스템.
  10. 삭제
KR1020190087094A 2019-07-18 2019-07-18 레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템 KR102661934B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190087094A KR102661934B1 (ko) 2019-07-18 2019-07-18 레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190087094A KR102661934B1 (ko) 2019-07-18 2019-07-18 레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210009923A KR20210009923A (ko) 2021-01-27
KR102661934B1 true KR102661934B1 (ko) 2024-04-29

Family

ID=74238509

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190087094A KR102661934B1 (ko) 2019-07-18 2019-07-18 레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102661934B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010194584A (ja) * 2009-02-25 2010-09-09 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
CN201725082U (zh) * 2010-07-19 2011-01-26 苏州捷美医疗器械有限公司 双通道led合光照明系统

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4255021A (en) * 1979-04-20 1981-03-10 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Optical device with conical input and output prism faces

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010194584A (ja) * 2009-02-25 2010-09-09 Disco Abrasive Syst Ltd レーザー加工装置
CN201725082U (zh) * 2010-07-19 2011-01-26 苏州捷美医疗器械有限公司 双通道led合光照明系统

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210009923A (ko) 2021-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7298940B2 (en) Illumination system and display system employing same
JP6246231B2 (ja) ライトガイドおよびヘッドマウントディスプレイ
US10754162B2 (en) Projection apparatus and head-mounted display device
CA2957343C (en) Device for shaping laser radiation
WO2015146167A1 (ja) 光学素子と光学素子を備えた拡張光学素子およびランプハウス
JP2015501508A (ja) 光源システムおよびレーザ光源
US10890706B2 (en) Optical device
KR20170007805A (ko) 광원 모듈 및 프로젝션 기기
US20110280272A1 (en) Laser light source device
TW202201075A (zh) 混合光源系統以及投影顯示設備
KR102661934B1 (ko) 레이져 빔 결합기 및 이를 포함하는 시스템
CN111884029A (zh) 一种偏振合束器及激光器
TWI464520B (zh) 立體影像光源系統
CN105793757A (zh) 用于使激光辐射成形的装置
US7499218B1 (en) Illumination system
US20060268417A1 (en) A Refractive Scheme for Dual Lamp High Brightness Projection System
CN207636855U (zh) 一种激光混色聚光系统
US11719947B1 (en) Prism beam expander
CN101414053A (zh) 多路组束光纤激光器
WO2021107007A1 (ja) 光源装置及び光源システム
US10971882B2 (en) Light source module
WO2023245936A1 (zh) 光源装置和投影系统
CN212435028U (zh) 一种偏振合束器及激光器
US20240152039A1 (en) Projection system
CN111880312B (zh) 光学器件、光束整形方法及应用模块

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant