KR102651080B1 - 전기 도금 장치 및 전기 도금 방법 - Google Patents

전기 도금 장치 및 전기 도금 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기 도금 장치 및 전기 도금 방법을 개시한다. 상기 전기 도금 장치는 생산 패널을 전기 도금하기 위한 전기 도금 유닛을 포함한다. 상기 전기 도금 유닛은 전해액을 상기 생산 패널로 분무 도금하기 위한 전해액 통로와, 상기 전해액 통로 외면에 설치되는 전기 도금 어셈블리를 포함한다. 상기 전기 도금 어셈블리는 상기 전해액 통로 외면에 설치되는 양극과, 양극 내에 설치되고 분무 도금 반대방향으로 전해액을 흡수하기 위한 흡수 통로를 포함한다. 본 발명은 전해액 통로와 전기 도금 어셈블리를 사용함으로써 전해액을 생산 패널에 균일하게 전기 도금할 수 있다.

Description

전기 도금 장치 및 전기 도금 방법{Electroplating device and electroplating method}
본 발명은 전기 도금 기술분야에 관한 것으로, 특히 전기 도금 장치 및 전기 도금 방법에 관한 것이다.
IC 기판의 생산 분야에서, 전기 도금(특히 구리 도금)에 대한 요구가 날따라 높아지고 있다. 여기서, 기술 난점은 점점 더 미세한(예컨대, 전도성 회로 또는 구리 범프 등) 구조에 대해 전기 도금을 고효율적으로 수행하는 것이다. 또한, 대량 생산의 요구를 만족하기 위해, 점점 더 미세한 구조에 구리를 충분히 부착시켜야 할 뿐만 아니라 어떻게 구리를 생산 패널 전체에 균일하게 부착해야 하는지도 고려해야 한다.
미세한 구조를 전해액에 충분히 침지시켜 충분한 교환 효율을 확보하기 위해 시중에 대형 화학 반응조가 출시되었는데, 예를 들어 일부 화학 반응조는 전표면 추출 장치를 구비하기도 한다. 그러나, 단독 설계한 각 기판 제품에 대해, 생산 패널 전체에 전기 도금된 전해액의 균일성 또는 반응을 독립적으로 조절할 수 있는 요구가 모두 기대에 미치지 못하였다.
본 발명의 실시예는 생산 패널을 균일하게 전기 도금할 수 있는 전기 도금 장치 및 전기 도금 방법을 제공한다.
본 발명의 실시예는 생산 패널을 전기 도금하기 위한 전기 도금 유닛을 포함하고; 상기 전기 도금 유닛은 전해액을 상기 생산 패널로 분무 도금하기 위한 전해액 통로와, 상기 전해액 통로 외면에 설치되는 전기 도금 어셈블리를 포함하며; 상기 전기 도금 어셈블리는 상기 전해액 통로 외면에 설치되는 양극과, 양극 내에 설치되고 분무 도금 반대방향으로 전해액을 흡수하기 위한 흡수 통로를 포함하는 전기 도금 장치를 제공한다.
나아가, 상기 전기 도금 어셈블리는 상기 전해액 통로 외면에 이동 가능하게 설치되어 상기 전기 도금 어셈블리와 상기 생산 패널의 거리를 조절한다.
나아가, 상기 양극 외면에는 실드층이 분무 코팅되어 있다.
나아가, 복수개의 상기 흡수 통로가 설치되어 있고, 복수개의 상기 흡수 통로는 상기 양극 내에 균일하게 분포된다.
나아가, 1개의 상기 흡수 통로가 설치되어 있고, 상기 흡수 통로는 상기 양극 내에 환형으로 설치된다.
나아가, 상기 전기 도금 유닛과 상기 생산 패널 사이에는 확산기가 설치되어 있다.
나아가, 복수개의 상기 전기 도금 유닛이 설치되어 있고, 복수개의 상기 전기 도금 유닛은 전기 도금 모듈을 구성하며, 상기 전기 도금 장치는 복수개의 상기 전기 도금 모듈을 포함한다.
나아가, 상기 전기 도금 장치는 전해조와 순환 펌프를 더 포함하고, 상기 전해조는 상기 전해액 통로와 연통되며, 상기 순환 펌프의 일단은 상기 흡수 통로와 연통되고 타단은 상기 전해조와 연통된다.
나아가, 상기 전기 도금 장치는 생산 패널을 방치하기 위한 진동 가능 프레임을 더 포함한다.
본 발명의 실시예는 기설정된 전기 도금 거리에 따라 상기 전기 도금 장치의 각 전기 도금 유닛에 대해 분무 도금 거리를 설정하는 단계;
전기 도금할 생산 패널을 상기 전기 도금 장치의 진동 가능 프레임에 방치하고, 상기 전해액 통로를 통해 상기 생산 패널을 분무 도금하는 단계;
분무 도금 과정에서, 상기 진동 가능 프레임을 통해 진동 주파수 0.1Hz ~ 100Hz로 전기 도금할 생산 패널을 진동시키는 단계;를 포함하는 상기 어느 한 항에 따른 전기 도금 장치의 전기 도금 방법을 제공한다.
본 발명의 실시예는 전기 도금 장치 및 전기 도금 방법을 제공한다. 상기 전기 도금 장치는 생산 패널을 전기 도금하기 위한 전기 도금 유닛을 포함한다. 상기 전기 도금 유닛은 전해액을 상기 생산 패널로 분무 도금하기 위한 전해액 통로와, 상기 전해액 통로 외면에 설치되는 전기 도금 어셈블리를 포함한다. 상기 전기 도금 어셈블리는 상기 전해액 통로 외면에 설치되는 양극과, 양극 내에 설치되고 분무 도금 반대방향으로 전해액을 흡수하기 위한 흡수 통로를 포함한다. 본 발명의 실시예는 전해액 통로와 전기 도금 어셈블리를 사용함으로써 전해액을 생산 패널에 균일하게 전기 도금할 수 있다.
본 발명의 실시예의 기술방안을 더욱 명백하게 설명하기 위해, 이하에서는 실시예의 설명에서 사용해야 할 도면을 간단하게 소개하기로 한다. 이하에서 설명한 도면은 본 발명의 일부 실시예에 불과하고, 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 창조적 노력을 하지 않아도 이러한 도면들을 통해 다른 도면을 획득할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 구조 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 다른 각도의 구조 모식도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 다른 상태의 구조 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 전기 도금 유닛의 구조 모식도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 전기 도금 모듈의 구조 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 진동 가능 프레임의 구조 모식도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 방법의 흐름 모식도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 대한 도면을 통해 본 발명의 실시예의 기술방안을 명백하고 완전하게 설명하기로 한다. 설명한 실시예는 본 발명의 일부 실시예에 불과하고, 전체 실시예가 아니다. 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 실시예에 기반하여 창조적 노력을 하지 않고 획득한 모든 다른 실시예는 모두 본 발명의 보호 범위에 속한다.
본 명세서와 청구의 범위에서 사용한 용어 “포함” 및 “구비”는 설명한 특징, 전체, 단계, 조작, 원소 및/또는 어셈블리의 존재를 나타내지만, 1개 또는 복수개의 다른 특징, 전체, 단계, 조작, 원소, 어셈블리 및/또는 그 집합의 존재 혹은 첨가를 배제하지 않는다.
또한, 본 발명의 명세서에서 사용한 용어는 특정 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 발명의 명세서와 청구의 범위에서와 같이, 명확하게 다른 상황을 기재하지 않는 한, “하나”, “1개” 및 “상기” 등 단수형은 복수형을 포함한다.
나아가, 본 발명의 명세서와 청구의 범위에서 사용한 용어 “및/또는”는 열거된 항목 중의 하나 또는 복수개의 임의의 조합 및 모든 가능한 조합을 의미하고, 이러한 조합을 포함한다.
이하, 도 1을 참조하면 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 장치의 구조 모식도이다. 상기 전기 도금 장치는 생산 패널(20)을 전기 도금하기 위한 전기 도금 유닛(10)을 포함한다. 상기 전기 도금 유닛(10)은 전해액을 상기 생산 패널(20)로 분무 도금하기 위한 전해액 통로(11)와, 상기 전해액 통로(11) 외면에 설치되는 전기 도금 어셈블리(12)를 포함한다. 상기 전기 도금 어셈블리(12)는 상기 전해액 통로(11) 외면에 설치되는 양극(121)과, 양극(121) 내에 설치되고 분무 도금 반대방향으로 전해액을 흡수하기 위한 흡수 통로(122)를 포함한다.
본 실시예에 따른 전기 도금 장치는 전기 도금 유닛(10)을 포함한다. 여기서, 상기 전기 도금 유닛(10)은 전해액 통로(11), 양극(121) 및 흡수 통로(122)를 포함한다. 상기 전기 도금 유닛(10)은 상기 전해액 통로(11)를 통해 생산 패널(20)에 대해 전해액을 분무 도금하며, 상기 양극(121)을 통해 전도성 작용을 제공하고 금속 이온 등을 보충하며, 상기 흡수 통로(122)를 통해 상기 전해액 통로(11)가 생산 패널(20)에 분무 도금한 전해액을 흡수한다.
본 실시예은 전해액 통로(11)와 전기 도금 어셈블리(12)를 사용함으로써, 전해액을 생산 패널에 균일하게 전기 도금할 수 있다. 이에 따라, 전기 도금 품질과 효과를 향상시키고, 상이한 생산 패널의 전기 도금 요구를 만족할 수 있다. 본 실시예에 따른 전해액 통로(11)는 일반적으로 원주형으로 설치되므로, 상기 양극(121)이 상기 전해액 통로(11) 외면에 환형으로 설치된다. 또한, 본 실시예에 따른 생산 패널(20)은 전기 도금해야 할 서로 다른 생산 패널일 수 있는데, 예를 들어 PCB판, 기판, 회로판, 고주파판, 단면판, 양면판, 다층판 등이다.
일 실시예에서, 도 2와 도 3을 참조하면 상기 전기 도금 어셈블리(12)는 상기 전해액 통로(11) 외면에 이동 가능하게 설치되어 상기 전기 도금 어셈블리(12)와 상기 생산 패널(20)의 거리를 조절한다.
본 실시예에서, 생산 패널(20)을 전기 도금할 때, 생산 패널(20)에 있는 디바이스 크기에 따라 상기 전기 도금 어셈블리(12)와 생산 패널(20) 사이의 거리를 유연하게 조정할 수 있다. 즉, 구체적인 시나리오에서, 상기 전해액 통로(11)를 따라 좌우 왕복 이동하도록 상기 전기 도금 어셈블리(12)를 제어함으로써, 상기 양극(121)의 전도성 효과를 조정하고 상기 흡수 통로(122)의 전해액 흡수 능력을 조정할 수 있으며, 나아가 전기 도금 효과를 조정할 수 있다.
상기 전기 도금 장치가 복수개의 전기 도금 유닛(10)을 포함하는 경우, 각 전기 도금 유닛(10)은 실제 요구에 따라 전기 도금 파라미터를 설정할 수 있는데, 예를 들어 전해액 유속, 전해액 흡수 유량, 양극(121)과 생산 패널(20) 사이의 거리, 양극(121)의 전류 밀도(A/dm²/단) 등이다.
일 실시예에서, 상기 양극(121) 외면에는 실드층(1211)이 분무 코팅되어 있다.
본 실시예에서, 상기 실드층(1211, 화학 용매에 전도성 입자가 혼합되어 있고 비금속재료에 분무 코팅될 수 있으며 전자파를 차폐하는 기능성 도료)을 분무 코팅하여 상기 전기 도금 어셈블리(12)를 보호함으로써, 상기 양극(121)이 외부 환경의 간섭을 받아 상기 양극(121)의 전도성 효과에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
일 실시예에서, 도 4에 도시된 바와 같이 복수개의 상기 흡수 통로(122)가 설치되어 있고, 복수개의 상기 흡수 통로(122)는 상기 양극 내에 균일하게 분포되어 있다.
본 실시예에서, 상기 양극(121) 내에 복수개의 흡수 통로(122)가 설치되고, 이러한 흡수 통로(122)는 양극(121) 내에 균일하게 분포된다. 즉, 양극(121)이 상기 전해액 통로(11)를 둘러싸면서 설치되는 것과 유사하게, 본 실시예에 따른 복수개의 흡수 통로(122)는 상기 양극(121) 내에 환형으로 균일하게 분포된다. 여기서, 상기 흡수 통로(122)의 수가 많을 때 상기 양극 내에 환형으로 균일하게 분포될 수 있으며, 상기 흡수 통로(122)의 수가 적을 때 상기 양극 내에 사각형(예컨대, 4개의 흡수 통로(122))으로 균일하게 분포될 수 있고 육각형(예컨대, 6개의 흡수 통로(122))으로 균일하게 분포될 수도 있다. 즉, 상기 흡수 통로(122)의 상기 양극(121) 내에서의 분포 방식은 그 수에 따라 결정된다.
다른 실시예에서, 하나의 상기 흡수 통로(122)가 설치되어 있고, 상기 흡수 통로(122)는 상기 양극(121) 내에 환형으로 설치된다.
본 실시예에서, 상기 양극(121) 내에는 하나의 흡수 통로(122)만이 설치되어 있고, 상기 흡수 통로(122)는 양극(121)과 동일하게 환형으로 설치된다. 물론, 다른 실시예에서, 다른 방식으로 상기 흡수 통로(122)를 설치할 수도 있는데, 예를 들어 양극(121) 내에 복수층의 흡수 통로(122)를 환형으로 설치하는 것이다.
일 실시예에서, 도 2를 참조하면 상기 전기 도금 유닛(10)과 상기 생산 패널(20) 사이에는 확산기(112)가 설치되어 있다.
본 실시예에서, 상기 확산기(112)를 설치함으로써 상기 전기 도금 유닛(10)의 전해액 통로(11)가 전해액을 균일하게 분무 도금할 수 있게 되는데, 즉 생산 패널(20)에 분무 도금된 전해액이 더욱 균일해지도록 하여 전기 도금 품질을 향상시킬 수 있다. 하나의 구체적인 실시예에서, 상기 전해액 통로(11)가 분무한 전해액이 더욱 균일해지도록 하기 위해 상기 전해액 통로(11) 전단(즉, 상기 생산 패널(20)에 근접하는 일단)에는 노즐(111)이 설치되어 있다. 다른 구체적인 실시예에서, 상기 확산기(112)는 확산망이고, 상기 확산망은 전해액이 통과하는 복수개의 원형 구멍 또는 네모 구멍 등을 포함한다. 물론, 본 실시예에 따른 확산기가 전기 도금이 더욱 균일해지도록 하기 위한 것이므로, 전기 도금이 더욱 균일해지도록 할 수 있는 다른 차폐 소자 등을 채택할 수도 있다.
일 실시예에서, 도 5에 도시된 바와 같이 복수개의 상기 전기 도금 유닛(10)이 설치되어 있고, 복수개의 상기 전기 도금 유닛(10)은 전기 도금 모듈(1)을 구성하며, 상기 전기 도금 장치는 복수개의 상기 전기 도금 모듈(1)을 포함한다.
본 실시예에서, 복수개의 상기 전기 도금 유닛(10)은 하나의 전기 도금 모듈(1)을 구성하고, 상기 전기 도금 장치는 복수개의 상기 전기 도금 모듈(1)을 포함한다. 이에 따라, 전기 도금 과정에서 실제 상황에 따라 전기 도금 모듈(1)의 전기 도금 거리, 전기 도금 유량 등을 유연하게 설정할 수 있어, 전기 도금 효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 산업화의 유연성을 향상시키고 특정 제품의 요구를 만족할 수도 있다.
하나의 구체적인 실시예에서, 상기 전기 도금 장치는 4개의 전기 도금 모듈(1)을 포함하거나, 16개의 전기 도금 모듈(1)을 포함한다. 상기 전기 도금 장치가 4개의 전기 도금 모듈(1)을 포함하는 경우, 각 전기 도금 모듈(1)은 9개의 전기 도금 유닛(10)을 포함한다. 상기 전기 도금 장치가 16개의 전기 도금 모듈(1)을 포함하는 경우, 각 전기 도금 모듈은 4개의 전기 도금 유닛(10)을 포함한다.
다른 구체적인 실시예에서, 상기 전기 도금 유닛(10)은 환형 형태로 전기 도금 모듈(1)을 구성한다. 물론, 다른 실시예에서 상기 전기 도금 유닛(10)은 다른 형태로 전기 도금 모듈(1)을 구성할 수도 있는데, 예를 들어 삼각형, 원형 등이다.
일 실시예에서, 도 1을 참조하면 상기 전기 도금 장치는 전해조(13)와 순환 펌프(14)를 더 포함한다. 상기 전해조(13)는 상기 전해액 통로(11)와 연통되며, 상기 순환 펌프(14)의 일단은 상기 흡수 통로(122)와 연통되고 타단은 상기 전해조(13)와 연통된다.
본 실시예에서, 상기 전해액 통로(11)는 상기 전해조(13)로부터 전해액을 획득한 후 전해액을 생산 패널(20)로 분무 도금한다. 그리고, 상기 흡수 통로(122)를 통해 생산 패널(20)에 분무 도금된 전해액을 흡수하며, 흡수한 전해액은 상기 순환 펌프(14)에 의해 다시 상기 전해조(13)로 되돌아온다. 이를 반복함으로써 생산 패널(20)을 균일하게 전기 도금할 수 있을 뿐만 아니라 자원 낭비를 방지할 수 있다.
일 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 전기 도금 장치는 생산 패널(20)을 방치하기 위한 진동 가능 프레임(15)을 더 포함한다.
본 실시예에서, 생산 패널(20)을 상기 진동 가능 프레임(15)에 방치한다. 나아가, 상기 진동 가능 프레임(15)의 x축, y축, z축의 프레임 진동을 단독적으로 프로그래밍할 수 있고, 프레임 내에서 생산 패널(20)의 회전 등을 선택할 수 있다. 또한, 상기 진동 가능 프레임(15)을 통해 생산 패널(20)과 상기 전기 도금 유닛(10) 사이의 거리를 조정할 수도 있다. 하나의 구체적인 실시예에서, 상기 전기 도금 유닛(10)과 상기 생산 패널(20) 사이의 거리는 100mm보다 작고, 상기 진동 가능 프레임(15)의 진동 주파수는 0.1Hz ~ 100Hz이다. 상기 진동 가능 프레임(15)을 통해 실제 전기 도금 시나리오에서 단독적인 패널 이동 모드를 제공함으로써 전기 도금의 균일성이 더욱 우수해진다. 다른 구체적인 실시예에서, 상기 진동 가능 프레임(15)은 상기 생산 패널(20)이 연속적인 S형으로 진동하도록 제어할 수 있는데, 예를 들어 왼쪽에서 오른쪽으로 향하는 연속적인 S형, 오른쪽에서 왼쪽으로 향하는 연속적인 S형 또는 위에서 아래로 향하는 연속적인 S형 등이다. 상기 진동 가능 프레임(15)은 상기 생산 패널(20)이 연속적인 “8”자형으로 진동하도록 제어할 수도 있는데, 예를 들어 왼쪽에서 오른쪽으로 향하는 연속적인 “8”자형 또는 오른쪽에서 왼쪽으로 향하는 연속적인 “8”자형 등이다.
하나의 구체적인 시나리오에서, 상기 생산 패널(20)을 복수개(예컨대, 4개 등)의 부분으로 구획하고, 상기 진동 가능 프레임(15)을 통해 상기 생산 패널에 있는 각 부분을 별도로 진동시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 전기 도금 방법의 흐름 모식도이다. 상기 전기 금 방법은 구체적으로 단계(S701 ~ S703)를 포함한다.
기설정된 전기 도금 거리에 따라 상기 전기 도금 장치의 각 전기 도금 유닛에 대해 분무 도금 거리를 설정한다(S701).
전기 도금할 생산 패널을 상기 전기 도금 장치의 진동 가능 프레임에 방치하고, 상기 전해액 통로를 통해 상기 생산 패널을 분무 도금한다(S702).
분무 도금 과정에서, 상기 진동 가능 프레임을 통해 진동 주파수 0.1Hz ~ 100Hz로 전기 도금할 생산 패널을 진동시킨다(S703).
방법 관련 실시예와 장치 관련 실시예가 상호 대응하므로, 방법 관련 실시예는 장치 관련 실시예에 대한 설명을 참고할 수 있고, 여기서 더이상 설명하지 않는다.
명세서의 각 실시예는 점진적 방식으로 설명하였는데, 각 실시예에서 중점으로 설명한 것은 다른 실시예와 다르고, 각 실시예 간의 동일 또는 유사한 부분은 상호 참고할 수 있다. 실시예에서 공개한 시스템은 실시예에서 공개한 방법과 상호 대응하므로 간단하게 설명하였고, 관련된 부분은 방법에 대한 설명을 참고할 수 있다. 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 출원의 원리를 벗어나지 않고 약간의 개진 및 수정을 실시할 수 있는데, 이러한 개진 및 수정 또한 본 출원의 청구의 범위가 보호하고자 하는 범위에 속한다..
본 명세서에서, 제1 및 제2 등과 같은 관계 용어는 하나의 실체 또는 조작을 다른 실체 또는 조작과 구분하기 위한 것일 뿐, 이러한 실체 또는 조작 사이에 그 어떠한 실제 관계가 존재하는 것을 요구하거나 암시하는 것이 아니다. 그리고, 용어 “포함”, “구비” 또는 그 임의의 다른 변체는 비배타적인 구비를 포괄하므로, 일련의 요소를 포함하는 과정, 방법, 물체 또는 기기는 이러한 요소를 포함할 뿐만 아니라 명확하게 열거하지 않는 다른 요소를 더 포함하거나, 이러한 과정, 방법, 물체 또는 기기의 고유 요소를 더 포함한다. 더 많은 제한이 없는 한, 문구 “하나의 …를 포함한다”로 한정한 요소는 상기 요소를 포함한 과정, 방법, 물체 또는 기기에 다른 동일한 요소가 존재하는 것을 배제하지 않는다.

Claims (9)

  1. 생산 패널을 전기 도금하기 위한 전기 도금 유닛을 포함하고,
    상기 전기 도금 유닛은, 전해액을 상기 생산 패널로 분무 도금 하기 위한 하나의 전해액 통로와, 상기 하나의 전해액 통로 외면에 설치되는 전기 도금 어셈블리를 포함하며,
    상기 전기 도금 어셈블리는, 상기 하나의 전해액 통로 외면에 설치되는 양극, 및 양극 내에 설치되고 상기 전해액 통로를 둘러싸면서 분무 도금 반대 방향으로 전해액을 흡수하는 흡수 통로를 포함하고,
    상기 전기 도금 어셈블리는 상기 전해액 통로 외면에 이동 가능하게 설치되어 상기 전기 도금 어셈블리와 상기 생산 패널의 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 양극 외면에는 상기 양극의 전체 외면을 감싸는 실드층이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    복수개의 상기 흡수 통로가 설치되어 있고, 복수개의 상기 흡수 통로는 상기 양극 내에 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    1개의 상기 흡수 통로가 설치되어 있고, 상기 흡수 통로는 상기 양극 내에 환형으로 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 전기 도금 유닛과 상기 생산 패널 사이에는 확산기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    복수개의 상기 전기 도금 유닛이 설치되어 있고, 복수개의 상기 전기 도금 유닛은 전기 도금 모듈을 구성하며, 상기 전기 도금 장치는 복수개의 상기 전기 도금 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    전해조와 순환 펌프를 더 포함하고, 상기 전해조는 상기 전해액 통로와 연통되며, 상기 순환 펌프의 일단은 상기 흡수 통로와 연통되고 타단은 상기 전해조와 연통되는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 전기 도금 장치는 생산 패널을 방치하기 위한 진동 가능 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 장치.
  9. 기설정된 전기 도금 거리에 따라 상기 전기 도금 장치의 각 전기 도금 유닛에 대해 분무 도금 거리를 설정하는 단계;
    전기 도금할 생산 패널을 상기 전기 도금 장치의 진동 가능 프레임에 방치하고, 상기 전해액 통로를 통해 상기 생산 패널을 분무 도금하는 단계;
    분무 도금 과정에서, 상기 진동 가능 프레임을 통해 진동 주파수 0.1Hz ~ 100Hz로 전기 도금할 생산 패널을 진동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 전기 도금 장치의 전기 도금 방법.
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