KR102637468B1 - Unit for fixing a door and apparatus for transferring a door having the unit - Google Patents

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Abstract

도어 고정 유닛은 몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함한다. 따라서, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 신속하고 정확하게 확인할 수 있다. The door fixing unit is provided on a body portion and a lower surface of the body portion, and is provided on the body portion and a vacuum suction portion that suctions the outer surface of the door that opens and closes the open side of the wafer transfer container with vacuum force, and the door It includes a door detection unit that detects the arrangement direction and the open/closed state of the latch provided on the door. Therefore, the door fixing unit can quickly and accurately check the placement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door.

Description

도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치{Unit for fixing a door and apparatus for transferring a door having the unit}Door fixing unit and door transferring apparatus having the same {Unit for fixing a door and apparatus for transferring a door having the unit}

본 발명은 도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어를 고정하는 도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a door fixing unit and a door transfer device having the same, and more specifically, to a door fixing unit that fixes a door that opens and closes one open side of a wafer transfer container and a door transfer device having the same.

일반적으로, 반도체 소자 제조 공정은 웨이퍼를 대상으로 사진, 식각, 확산, 증착 및 금속 공정 등의 다양하게 이루어지는 단위 공정을 반복적으로 수행하여 이루어진다. 각 단위 공정에서는 웨이퍼를 다수 적재된 웨이퍼 이송 용기를 이용하여 웨이퍼를 이동하거나 상기 웨이퍼 이송 용기에 수납된 상태로 각 공정에 투입한다.In general, the semiconductor device manufacturing process is accomplished by repeatedly performing various unit processes such as photography, etching, diffusion, deposition, and metallization processes on a wafer. In each unit process, wafers are moved using a wafer transfer container loaded with a large number of wafers, or are input into each process while stored in the wafer transfer container.

상기 웨이퍼 이송 용기의 예로는 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)와 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)를 들 수 있다. 상기 웨이퍼 이송 용기는 EFEM(Equipment Front End Module)이나 스토커(Stocker)의 로드 포트에 안착된다.Examples of the wafer transfer container include a Front Opening Shipping Box (FOSB) and a Front Open Unified Pod (FOUP). The wafer transfer container is mounted on the load port of an Equipment Front End Module (EFEM) or a stocker.

상기 웨이퍼 이송 용기는 일측이 개방되어 있고, 상기 개방된 일측을 도어로 개폐한다. 상기 웨이퍼 이송 용기의 도어를 자동으로 개폐하기 위해 작업자가 상기 도어를 수작업으로 공급한다. 또한, 작업자가 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 육안으로 확인한다. The wafer transfer container has one side open, and the open side is opened and closed by a door. In order to automatically open and close the door of the wafer transfer container, an operator manually supplies the door. Additionally, the operator visually checks the placement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door.

상기 도어를 작업자가 수작업으로 공급하므로, 상기 도어를 공급하는데 많은 시간이 소요되며, 작업자의 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 실수로 확인하지 못하거나 잘못 확인할 가능성이 존재한다. Since the worker supplies the door manually, it takes a lot of time to supply the door, and there is a possibility that the worker accidentally fails to check the direction of placement of the door and the open/closed state of the latch provided on the door. do.

본 발명은 일측이 개방된 웨이퍼 이송 용기를 개폐하기 위한 도어를 자동으로 공급하기 위해 상기 도어를 고정하면서 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있는 도어 고정 유닛을 제공한다. The present invention provides a door fixing unit capable of detecting the placement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door while fixing the door to automatically supply a door for opening and closing a wafer transfer container with one side open. to provide.

본 발명은 상기 도어 고정 유닛을 갖는 도어 이송 장치를 제공한다.The present invention provides a door transport device having the above door fixing unit.

본 발명에 따른 도어 고정 유닛은 몸체부, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함할 수 있다. The door fixing unit according to the present invention is provided on a body portion and a lower surface of the body portion, and is provided on the body portion with a vacuum adsorption portion that adsorbs the outer surface of the door that opens and closes the open side of the wafer transfer container with vacuum force, , may include a door detection unit that detects the placement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부는, 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더 및 상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door detection unit has a first rod protruding toward the outer surface of the door adsorbed on the vacuum suction unit, and the first rod is located on an upper side of the outer surface of the door. It has a first scale cylinder that checks the arrangement direction of the door depending on whether the formed first groove or protrusion is detected, and a second rod that protrudes toward the outer surface of the door adsorbed on the vacuum suction unit, and the second rod It may include a second scale cylinder that checks the open/closed state of the latch depending on whether the rod detects a second groove formed on one side of the latch hole on the outer surface of the door.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고, 상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first scale cylinder determines the protrusion length when the first rod contacts the outer surface of the door when the first rod contacts the bottom surface of the first groove or the protrusion. The first groove or protrusion is detected by comparing it with the reference protrusion length when the second rod is in contact with the outer surface of the door. The second groove can be detected by comparing it with a reference protrusion length when in contact with the bottom of the groove.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능하도록 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, as a result of the detection by the door detector, if the door arrangement direction is defective and the open/closed state of the latch provided on the door is normal, the body unit rotates to change the arrangement direction of the door. It can be provided to make it possible.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 고정 유닛은 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door fixing unit is provided on the lower surface of the body portion and may further include an elastic portion to cushion the impact applied to the door when the vacuum suction portion and the door come into contact. You can.

본 발명에 따른 도어 이송 장치는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어들이 상하로 적재되는 도어 적재부와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어가 로딩되는 정상 도어 로딩부와, 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어가 로딩되는 불량 도어 로딩부와, 몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부 및 상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하고, 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 정상 도어 로딩부 또는 상기 불량도어 로딩부로 이송하는 도어 고정 유닛을 포함할 수 있다. The door transfer device according to the present invention includes a door loading unit in which doors that open and close one open side of the wafer transfer container are loaded up and down, and a door in which the arrangement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door are normal are loaded. A normal door loading part, a defective door loading part in which a door in which at least one of the arrangement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door is defective is loaded, a body part, and a lower surface of the body part, It is provided on the body and a vacuum adsorption unit that adsorbs the outer surface of the door with vacuum force, and includes a door detection unit that detects the placement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door, and the door loading unit. It may include a door fixing unit that transfers doors to the normal door loading unit or the defective door loading unit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 정상 도어 로딩부로 이송하고, 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태 중 어느 하나가 불량인 경우 상기 도어 적재부의 도어들을 상기 불량 도어 로딩부로 이송할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the door fixing unit moves the doors of the door loading unit to the normal door loading unit when the arrangement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door are normal as a result of the detection by the door detection unit. If, as a result of detection by the door detection unit, one of the arrangement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door is defective, the doors of the door loading unit may be transferred to the defective door loading unit.

본 발명의 도어 고정 유닛은 도어 감지부를 이용하여 진공 흡착부에 흡착된 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다. 따라서, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다. The door fixing unit of the present invention can use a door detection unit to detect the placement direction of the door adsorbed on the vacuum suction unit and the open/closed state of the latch provided on the door. Accordingly, not only can the time required to check the arrangement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door be reduced, but also the accuracy can be increased.

본 발명의 도어 이송 장치는 상기 도어 적재부의 도어들을 이송하는 도중에 상기 도어의 배치 방향 및 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하여 정상 도어 로딩부 또는 불량 도어 로딩부로 구분하여 이송한다. 따라서, 상기 도어 이송 장치는 신속하고 정확하게 상기 도어들을 이송할 수 있다. The door transfer device of the present invention checks the arrangement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door while transferring the doors of the door loading unit, and transfers them by dividing them into a normal door loading unit or a defective door loading unit. Therefore, the door transfer device can quickly and accurately transfer the doors.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 고정 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. 1 is a schematic perspective view for explaining a door fixing unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic side view for explaining a door transfer device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 도어 고정 유닛 및 이를 갖는 도어 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a door fixing unit and a door transfer device having the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. Since the present invention can be subject to various changes and can have various forms, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosed form, and should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention. While describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. In the attached drawings, the dimensions of the structures are enlarged from the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first component may be named a second component, and similarly, the second component may also be named a first component without departing from the scope of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this application are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and unless explicitly defined in the present application, should not be interpreted in an ideal or excessively formal sense. No.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 고정 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다. 1 is a schematic perspective view for explaining a door fixing unit according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 도어 고정 유닛(100)은 웨이퍼 이송 용기(미도시)의 개방된 일측을 개폐하기 위해 도어(10)를 투입할 때 도어(10)를 고정한다.Referring to FIG. 1, the door fixing unit 100 fixes the door 10 when the door 10 is put in to open and close one open side of a wafer transfer container (not shown).

도어(10)는 외측면에 래치홀(12)을 갖는다. 래치홀(12)은 도어(10)의 외측면 중앙 부위에 좌우로 배치된다. 래치홀(12)은 도어(10) 내부의 래치(미도시)를 회전시키기 위해 래치핀(미도시)이 삽입되는 통로이다. The door 10 has a latch hole 12 on its outer surface. The latch hole 12 is disposed left and right in the central portion of the outer surface of the door 10. The latch hole 12 is a passage into which a latch pin (not shown) is inserted to rotate the latch (not shown) inside the door 10.

도어(10)가 세워진 상태에서 도어(10)의 외측면 상방에 제1 홈(14)이 구비된다. 이하에서 도어(10)의 상방은 도어(10)가 정상 방향으로 세워졌을 때 도어(10)의 상방을 의미한다. 한편, 도시되지는 않았지만, 제1 홈(14)을 대신하여 돌기가 구비될 수 있다. When the door 10 is erected, a first groove 14 is provided on the upper outer surface of the door 10. Hereinafter, the upper part of the door 10 refers to the upper part of the door 10 when the door 10 is erected in the normal direction. Meanwhile, although not shown, a protrusion may be provided in place of the first groove 14.

또한, 래치홀(12)의 외측면에서 래치홀(12)의 일측에 제2 홈(16)이 구비된다. 제2 홈(16)은 상기 래치핀에 의해 회전하는 상기 래치를 노출한다. 상기 래치의 개폐가 정상적인 경우, 상기 래치는 제2 홈(16)에 의해 노출되지 않는다. 상기 래치의 개폐가 불량인 경우, 상기 래치는 제2 홈(16)에 의해 노출된다. Additionally, a second groove 16 is provided on one side of the latch hole 12 on the outer surface of the latch hole 12. The second groove 16 exposes the latch that is rotated by the latch pin. When the latch is normally opened and closed, the latch is not exposed by the second groove 16. If the opening and closing of the latch is defective, the latch is exposed by the second groove 16.

도어 고정 유닛(100)은 몸체부(110), 진공 흡착부(120), 도어 감지부(130) 및 탄성부(140)를 포함한다. The door fixing unit 100 includes a body portion 110, a vacuum suction portion 120, a door sensing portion 130, and an elastic portion 140.

몸체부(110)는 대략 일정한 두께를 갖는 평판 형태이다. The body portion 110 has a flat plate shape with an approximately constant thickness.

진공 흡착부(120)는 몸체부(110)의 하부면에 구비되며, 도어(10)의 외측면을 진공력을 흡착한다.The vacuum adsorption unit 120 is provided on the lower surface of the body 110 and absorbs vacuum force on the outer surface of the door 10.

진공 흡착부(120)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 진공 흡착부(120)가 복수로 구비되므로, 진공 흡착부(120)로 도어(10)를 안정적으로 흡착할 수 있다. At least two vacuum adsorption units 120 may be provided, preferably four. Since a plurality of vacuum suction units 120 are provided, the door 10 can be stably adsorbed using the vacuum suction units 120.

도어 감지부(130)는 몸체부(110)에 구비되어 도어(10)의 배치 방향과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지한다. The door detection unit 130 is provided on the body 110 and detects the placement direction of the door 10 and the open/closed state of the latch provided on the door 10.

도어 감지부(130)는 제1 스케일 실린더(132) 및 제2 스케일 실린더(134)를 포함한다. The door detection unit 130 includes a first scale cylinder 132 and a second scale cylinder 134.

제1 스케일 실린더(132)는 몸체부(110)를 상하로 관통하여 구비되며, 제1 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제1 로드는 진공 흡착부(120)에 흡착된 도어(10)의 외측면을 향해 몸체부(110)의 하방으로 돌출된다. 상기 제1 로드를 이용하여 도어(10)의 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지한다. The first scale cylinder 132 is provided to penetrate the body portion 110 vertically and has a first rod (not shown). The first rod protrudes downward from the body portion 110 toward the outer surface of the door 10 adsorbed on the vacuum suction portion 120. The first groove 14 or the protrusion of the door 10 is detected using the first rod.

도어(10)의 배치 방향이 정상적인 경우, 상기 제1 로드는 몸체부(110)의 하방으로 돌출되어 제1 홈(14)의 저면과 접촉한다. 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 제1 홈(14)의 저면과 접촉할 때 상기 제1 로드의 돌출 길이를 제1 기준 돌출 길이로 설정한다. When the arrangement direction of the door 10 is normal, the first rod protrudes downward from the body portion 110 and comes into contact with the bottom surface of the first groove 14. When the first rod contacts the bottom of the first groove 14 while the door 10 is adsorbed on the vacuum suction unit 120, the protrusion length of the first rod is set as the first reference protrusion length.

그러므로, 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제1 로드가 도어(10)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 기준 돌출 길이와 비교함으로써 제1 스케일 실린더(132)로 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지할 수 있다. Therefore, the protrusion length when the first rod contacts the outer surface of the door 10 while the door 10 is adsorbed on the vacuum suction unit 120 is compared with the first reference protrusion length to determine the first scale. The first groove 14 or the protrusion can be detected using the cylinder 132.

예를 들면, 상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 제1 스케일 실린더(132)가 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 도어(10)에서 제1 홈(14) 또는 상기 돌기가 상기 상방에 위치하고, 도어(10)의 배치 방향을 정상으로 판단한다. For example, when the protrusion length of the first rod is substantially equal to the first reference protrusion length, it is determined that the first scale cylinder 132 has detected the first groove 14 or the protrusion. Accordingly, the first groove 14 or the protrusion is located above the door 10, and the arrangement direction of the door 10 is determined to be normal.

상기 제1 로드의 돌출 길이가 상기 제1 기준 돌출 길이와 다른 경우, 제1 스케일 실린더(132)가 제1 홈(14) 또는 상기 돌기를 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 도어(10)에서 제1 홈(14) 또는 상기 돌기가 상기 상방과 반대되는 하방에 위치하고, 도어(10)의 배치 방향을 불량으로 판단한다. When the protrusion length of the first rod is different from the first reference protrusion length, it is determined that the first scale cylinder 132 does not detect the first groove 14 or the protrusion. Accordingly, in the door 10, the first groove 14 or the protrusion is located in the lower direction as opposed to the upper direction, and the arrangement direction of the door 10 is determined to be defective.

제2 스케일 실린더(134)는 한 쌍으로 이루어지며, 몸체부(110)를 상하로 관통하여 구비된다. 제2 스케일 실린더(134)는 각각 제2 로드(미도시)를 갖는다. 상기 제2 로드는 진공 흡착부(120)에 흡착된 도어(10)의 외측면을 향해 몸체부(110)의 하방으로 돌출된다. 상기 제2 로드를 이용하여 도어(10)의 외측면에서 래치홀(12)의 일측에 형성된 제2 홈(16)을 감지한다. The second scale cylinder 134 consists of a pair and is provided to penetrate the body portion 110 vertically. The second scale cylinders 134 each have a second rod (not shown). The second rod protrudes downward from the body portion 110 toward the outer surface of the door 10 adsorbed on the vacuum suction portion 120. The second groove 16 formed on one side of the latch hole 12 is detected on the outer surface of the door 10 using the second rod.

상기 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 제2 로드는 몸체부(110)의 하방으로 돌출되어 제2 홈(16)의 저면과 접촉한다. 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 제2 홈(16)의 저면과 접촉할 때 상기 제2 로드의 돌출 길이를 제2 기준 돌출 길이로 설정한다. When the open/closed state of the latch is normal, the second rod protrudes downward from the body portion 110 and contacts the bottom of the second groove 16. When the second rod contacts the bottom of the second groove 16 while the door 10 is adsorbed on the vacuum suction unit 120, the protrusion length of the second rod is set to the second reference protrusion length.

그러므로, 도어(10)가 진공 흡착부(120)에 흡착된 상태에서 상기 제2 로드가 도어(10)의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 기준 돌출 길이와 비교함으로써 제2 스케일 실린더(134)로 상기 래치의 개폐 상태를 감지할 수 있다. Therefore, the protrusion length when the second rod contacts the outer surface of the door 10 while the door 10 is adsorbed on the vacuum suction unit 120 is compared with the second reference protrusion length to determine the second scale. The open/closed state of the latch can be detected using the cylinder 134.

예를 들면, 상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 실질적으로 동일한 경우, 제2 스케일 실린더(134)가 제2 홈(16)을 감지한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 정상인 것으로 판단한다. For example, when the protrusion length of the second rod is substantially equal to the second reference protrusion length, it is determined that the second scale cylinder 134 has detected the second groove 16. Therefore, it is determined that the open/closed state of the latch is normal.

상기 제2 로드의 돌출 길이가 상기 제2 기준 돌출 길이와 다른 경우, 제2 스케일 실린더(134)가 제2 홈(16)을 감지하지 못한 것으로 판단한다. 따라서, 상기 래치의 개폐 상태가 불량인 것으로 판단한다. When the protrusion length of the second rod is different from the second reference protrusion length, it is determined that the second scale cylinder 134 does not detect the second groove 16. Therefore, it is determined that the open/closed state of the latch is defective.

그러므로, 도어 감지부(130)를 이용하여 진공 흡착부(120)에 흡착된 도어(10)의 배치 방향과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인할 수 있으므로, 도어(10)의 배치 방향과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태를 확인하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 정확도도 높일 수 있다. Therefore, since the arrangement direction of the door 10 adsorbed on the vacuum suction unit 120 and the open/closed state of the latch provided on the door 10 can be confirmed using the door detection unit 130, the arrangement of the door 10 Not only can the time required to check the direction and the open/closed state of the latch provided on the door 10 be reduced, but accuracy can also be increased.

한편, 몸체부(110)는 회전 가능하도록 구비될 수 있다. 도어 감지부(130)의 감지 결과, 도어(10)의 배치 방향이 불량이고 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 몸체부(110)를 180도 만큼 회전시켜 도어(10)의 배치 방향을 변경할 수 있다. 몸체부(110)의 회전을 통해 도어(10)의 배치 방향 불량을 해소할 수 있다. Meanwhile, the body portion 110 may be provided to be rotatable. As a result of the detection by the door detection unit 130, if the arrangement direction of the door 10 is incorrect and the open/closed state of the latch provided on the door 10 is normal, the body 110 is rotated by 180 degrees to close the door 10. You can change the direction of placement. A defect in the placement direction of the door 10 can be resolved by rotating the body portion 110.

탄성부(140)는 몸체부(110)의 하부면에 돌출되어 구비된다. 예를 들면, 탄성부(140)는 몸체부(110)를 관통하여 구비되거나, 몸체부(110)의 하부면에 구비될 수 있다. 이때, 탄성부(140)는 진공 흡착부(120)보다 약간 더 돌출될 수 있다. 탄성부(140)의 예로는 코일 스프링을 들 수 있다. The elastic portion 140 is provided to protrude from the lower surface of the body portion 110. For example, the elastic portion 140 may be provided through the body portion 110 or may be provided on the lower surface of the body portion 110. At this time, the elastic part 140 may protrude slightly more than the vacuum suction part 120. An example of the elastic portion 140 may be a coil spring.

탄성부(140)는 진공 흡착부(120)보다 약간 더 돌출되므로, 진공 흡착부(120)가 도어(10)를 흡착할 때 탄성부(140)가 도어(10)와 먼저 접촉한다. 따라서, 진공 흡착부(120)와 도어(10)가 접촉할 때 도어(10)에 가해지는 충격을 탄성부(140)가 완충할 수 있다. 그러므로, 진공 흡착부(120)에 의해 도어(10)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. Since the elastic portion 140 protrudes slightly more than the vacuum suction portion 120, when the vacuum suction portion 120 adsorbs the door 10, the elastic portion 140 contacts the door 10 first. Accordingly, the elastic part 140 can cushion the impact applied to the door 10 when the vacuum suction part 120 and the door 10 come into contact. Therefore, the door 10 can be prevented from being damaged by the vacuum suction unit 120.

탄성부(140)는 적어도 두 개가 구비되며, 바람직하게는 네 개가 구비될 수 있다. 탄성부(140)가 복수로 구비되므로, 상기 충격을 탄성부(140)가 보다 안정적으로 완충할 수 있다. At least two elastic parts 140 may be provided, and preferably four elastic parts 140 may be provided. Since a plurality of elastic parts 140 are provided, the elastic parts 140 can more stably cushion the impact.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. Figure 2 is a schematic side view for explaining a door transfer device according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 도어 이송 장치(200)는 도어 적재부(210), 정상 도어 로딩부(220), 불량 도어 로딩부(230) 및 도어 고정 유닛(100)을 포함한다. Referring to FIG. 2 , the door transfer device 200 includes a door loading unit 210, a normal door loading unit 220, a defective door loading unit 230, and a door fixing unit 100.

도어 적재부(210)는 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어(10)들을 지지한다. 도어(10)들은 도어 적재부(210) 상에 외측면이 위를 향하도록 상하로 적재된다. The door loading unit 210 supports doors 10 that open and close one open side of the wafer transfer container. The doors 10 are stacked up and down on the door loading unit 210 with their outer surfaces facing upward.

정상 도어 로딩부(220)는 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어(10)가 로딩된다. 정상 도어 로딩부(220)에 로딩된 도어(10)는 상기 일측이 개방된 웨이퍼 이송 용기와 결합될 수 있다. The normal door loading unit 220 loads the door 10 in which the arrangement direction of the door 10 and the open/closed state of the latch provided on the door 10 are normal. The door 10 loaded on the normal door loading unit 220 may be combined with the wafer transfer container with one side open.

불량 도어 적재부(230)는 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 적어도 하나가 불량인 도어가 로딩된다. The defective door loading unit 230 is loaded with doors that are defective in at least one of the arrangement direction of the door 10 and the open/closed state of the latch provided on the door 10.

불량 도어 적재부(230)에 로딩된 도어(10)는 작업자에 의해 불량이 해소된 후 다시 도어 적재부(210)로 공급될 수 있다. The door 10 loaded into the defective door loading unit 230 may be supplied back to the door loading unit 210 after the defect is resolved by the operator.

한편, 불량 도어 적재부(230)는 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 모두 불량이거나, 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 불량인 도어(10)만 로딩되고, 도어(10)의 배치 방향만 불량인 도어(10)는 로딩되지 않을 수 있다. On the other hand, the defective door loading unit 230 is a door ( Only 10) is loaded, and the door 10 in which only the arrangement direction of the door 10 is defective may not be loaded.

도어 고정 유닛(100)은 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 정상 도어 로딩부(220) 또는 불량도어 로딩부(230)로 이송한다. 도시되지는 않았지만, 도어 고정 유닛(100)은 별도의 구동부의 의해 수평 방향 및 수직 방향으로 이동이 가능하며, 회전도 가능하다. The door fixing unit 100 transfers the doors 10 of the door loading unit 210 to the normal door loading unit 220 or the defective door loading unit 230. Although not shown, the door fixing unit 100 can be moved in the horizontal and vertical directions by a separate driving unit, and can also rotate.

도어 고정 유닛(100)은 몸체부, 진공 흡착부, 도어 감지부 및 탄성부를 포함하며, 상기 몸체부, 진공 흡착부, 도어 감지부 및 탄성부에 대한 구체적인 설명은 도 1을 참조한 몸체부(110), 진공 흡착부(120), 도어 감지부(130) 및 탄성부(140)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. The door fixing unit 100 includes a body portion, a vacuum suction portion, a door sensing portion, and an elastic portion. A detailed description of the body portion, a vacuum suction portion, a door sensing portion, and an elastic portion is provided in the body portion (110) referring to FIG. 1. ), the vacuum adsorption unit 120, the door detection unit 130, and the elastic unit 140 are substantially the same as the description.

상기 도어 감지부의 감지 결과 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 도어 고정 유닛(100)은 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 정상 도어 로딩부(220)로 이송한다. As a result of the detection by the door detection unit, if the arrangement direction of the door 10 and the open/closed state of the latch provided on the door 10 are normal, the door fixing unit 100 sets the doors 10 of the door loading unit 210 to normal doors. It is transferred to the loading unit 220.

상기 도어 감지부의 감지 결과 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태 중 어느 하나가 불량인 경우, 도어 고정 유닛(100)은 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 불량 도어 로딩부(230)로 이송한다. As a result of the detection by the door detection unit, if either the arrangement direction of the door 10 or the open/closed state of the latch provided on the door 10 is defective, the door fixing unit 100 is used to detect the door 10 of the door loading unit 210. ) are transferred to the defective door loading unit 230.

한편, 상기 도어 감지부의 감지 결과 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태는 정상이고 도어(10)의 배치 방향만 불량인 경우, 도어 고정 유닛(100)은 도어(10)를 180도 만큼 회전시켜 도어(10)의 배치 방향을 변경하여 도어(10)의 배치 방향 불량을 해소한 후 정상 도어 로딩부(220)로 이송할 수도 있다. Meanwhile, if the door detection unit detects that the open/closed state of the latch provided on the door 10 is normal and only the arrangement direction of the door 10 is defective, the door fixing unit 100 rotates the door 10 by 180 degrees. After resolving the defective arrangement direction of the door 10 by changing the arrangement direction of the door 10, the door 10 may be transferred to the normal door loading unit 220.

도어 이송 장치(200)는 도어 적재부(210)의 도어(10)들을 이송하는 도중에 도어(10)의 배치 방향 및 도어(10)에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 도어(10)를 확인하여 정상 도어 로딩부(220) 또는 불량 도어 로딩부(230)로 이송한다. 따라서, 도어 이송 장치(200)는 신속하고 정확하게 도어(10)들을 이송할 수 있다. While transferring the doors 10 of the door loading unit 210, the door transfer device 200 checks the arrangement direction of the door 10 and whether the door 10 is in a normal open/closed state of the latch provided on the door 10. It is transferred to the normal door loading unit 220 or the defective door loading unit 230. Accordingly, the door transfer device 200 can quickly and accurately transfer the doors 10.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, those skilled in the art can make various modifications and changes to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following patent claims. You will understand that it is possible.

100 : 도어 고정 유닛 110 : 몸체부
120 : 진공 흡착부 130 : 도어 감지부
132 : 제1 스케일 실린더 134 : 제2 스케일 실린더
140 : 탄성부 10 : 도어
12 : 래치홀 14 : 제1 홈
16 : 제2 홈 100: door fixing unit 110: body part
120: Vacuum adsorption unit 130: Door detection unit
132: first scale cylinder 134: second scale cylinder
140: elastic part 10: door
12: Latch hole 14: First groove
16: 2nd groove

Claims (10)

몸체부;
상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하는 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부; 및
상기 몸체부에 구비되며, 상기 도어의 배치 방향과 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하되,
상기 도어 감지부는,
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더와,
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.body part;
a vacuum adsorption unit provided on the lower surface of the body unit and using vacuum force to adsorb the outer surface of the door that opens and closes the open side of the wafer transfer container; and
It is provided in the body and includes a door detection unit that detects the placement direction of the door and the open/closed state of the latch provided on the door,
The door sensor,
It has a first rod that protrudes toward the outer surface of the door adsorbed on the vacuum suction unit, and determines whether the first rod detects a first groove or protrusion formed on an upper side of the outer surface of the door. a first scale cylinder that confirms the placement direction;
It has a second rod that protrudes toward the outer surface of the door adsorbed on the vacuum suction unit, and the latch is activated depending on whether the second rod detects a second groove formed on one side of the latch hole on the outer surface of the door. A door fixing unit comprising a second scale cylinder that checks the open/closed state. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 제1 스케일 실린더는 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제1 로드가 상기 제1 홈의 저면 또는 상기 돌기와 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제1 홈 또는 돌기를 감지하고,
상기 제2 스케일 실린더는 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면과 접촉할 때의 돌출 길이를 상기 제2 로드가 상기 제2 홈의 저면과 접촉할 때의 기준 돌출 길이와 비교하여 상기 제2 홈을 감지하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛. The method of claim 1, wherein the first scale cylinder determines the protrusion length when the first rod contacts the outer surface of the door as a reference protrusion when the first rod contacts the bottom surface of the first groove or the protrusion. Detecting the first groove or protrusion by comparing it to the length,
The second scale cylinder compares the protrusion length when the second rod contacts the outer surface of the door with the reference protrusion length when the second rod contacts the bottom surface of the second groove, A door fixing unit characterized in that it detects. 제1항에 있어서, 상기 도어 감지부의 감지 결과, 상기 도어의 배치 방향이 불량이고 상기 도어에 구비된 래치의 개폐 상태가 정상인 경우, 상기 도어의 배치 방향을 변경하기 위해 상기 몸체부는 회전 가능한 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.The method of claim 1, wherein, as a result of the detection by the door detector, if the arrangement direction of the door is defective and the open/closed state of the latch provided on the door is normal, the body part is rotatable to change the arrangement direction of the door. A door fixing unit. 제1항에 있어서, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며, 상기 진공 흡착부와 상기 도어가 접촉할 때 상기 도어에 가해지는 충격을 완충하기 위한 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 고정 유닛.The door fixing unit according to claim 1, further comprising an elastic portion provided on a lower surface of the body portion to cushion an impact applied to the door when the vacuum suction portion and the door come into contact with each other. 웨이퍼 이송 용기의 개방된 일측을 개폐하기 위한 도어들이 상하로 적재되는 도어 적재부;
상기 도어들 중에서 배치 방향 및 래치의 개폐 상태가 정상인 도어가 로딩되는 정상 도어 로딩부;
상기 도어들 중에서 상기 배치 방향 및 래치의 개폐 상태 중에서 적어도 하나가 불량인 도어가 로딩되는 불량 도어 로딩부; 및
몸체부와, 상기 몸체부의 하부면에 구비되며 상기 도어의 외측면을 진공력으로 흡착하는 진공 흡착부, 및 상기 몸체부에 구비되며 상기 배치 방향과 상기 래치의 개폐 상태를 감지하는 도어 감지부를 포함하고, 상기 도어들을 상기 도어 적재부로부터 상기 정상 도어 로딩부 또는 상기 불량 도어 로딩부로 이송하는 도어 고정 유닛을 포함하되,
상기 도어 감지부는,
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제1 로드를 가지며, 상기 제1 로드가 상기 도어의 외측면 상방 일측에 형성된 제1 홈 또는 돌기를 감지하는지 여부에 따라 상기 도어의 배치 방향을 확인하는 제1 스케일 실린더와,
상기 진공 흡착부에 흡착된 상기 도어의 외측면을 향해 돌출되는 제2 로드를 가지며, 상기 제2 로드가 상기 도어의 외측면에서 래치홀의 일측에 형성된 제2 홈을 감지하는지 여부에 따라 상기 래치의 개폐 상태를 확인하는 제2 스케일 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.A door loading unit where doors for opening and closing one open side of the wafer transfer container are stacked up and down;
A normal door loading unit where doors whose arrangement direction and latch open/closed status are normal among the doors are loaded;
a defective door loading unit that loads doors in which at least one of the doors is defective among the arrangement direction and the open/closed state of the latch; and
It includes a body part, a vacuum suction part provided on the lower surface of the body part to adsorb the outer surface of the door with vacuum force, and a door detection part provided in the body part to detect the arrangement direction and the open/closed state of the latch. and a door fixing unit that transfers the doors from the door loading unit to the normal door loading unit or the defective door loading unit,
The door sensor,
It has a first rod that protrudes toward the outer surface of the door adsorbed on the vacuum suction unit, and determines whether the first rod detects a first groove or protrusion formed on an upper side of the outer surface of the door. a first scale cylinder that confirms the placement direction;
It has a second rod that protrudes toward the outer surface of the door adsorbed on the vacuum suction unit, and the latch is activated depending on whether the second rod detects a second groove formed on one side of the latch hole on the outer surface of the door. A door transfer device comprising a second scale cylinder that checks the open/closed state. 제6항에 있어서, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 배치 방향 및 상기 래치의 개폐 상태가 모두 정상인 도어를 상기 도어 적재부로부터 상기 정상 도어 로딩부로 이송하고, 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 배치 방향 및 상기 래치의 개폐 상태 중에서 적어도 어느 하나가 불량인 도어를 상기 도어 적재부로부터 상기 불량 도어 로딩부로 이송하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.The method of claim 6, wherein the door fixing unit transfers a door in which both the arrangement direction and the open/closed state of the latch are normal as a result of the detection by the door detection unit from the door loading unit to the normal door loading unit, and A door transfer device characterized in that it transfers a door defective in at least one of the arrangement direction and the open/closed state of the latch from the door loading unit to the defective door loading unit. 제6항에 있어서, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 배치 방향 및 상기 래치의 개폐 상태 중에서 상기 래치의 개폐 상태만 불량인 도어를 상기 도어 적재부로부터 상기 불량 도어 로딩부로 이송하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.The method of claim 6, wherein the door fixing unit transfers a door in which only the open/closed state of the latch is defective among the arrangement direction and the open/closed state of the latch as a result of detection by the door detection unit from the door loading unit to the defective door loading unit. Featured door transfer device. 제6항에 있어서, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 배치 방향 및 상기 래치의 개폐 상태가 모두 불량인 도어의 경우 상기 도어를 180° 회전시켜 상기 배치 방향을 보정한 후 상기 불량 도어 로딩부로 이송하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.The method of claim 6, wherein the door fixing unit rotates the door 180° for a door in which both the placement direction and the open/closed state of the latch are defective as a result of detection by the door detection unit, and then rotates the door 180° to correct the placement direction and then fixes the defective door. A door transfer device characterized in that it is transferred to the loading unit. 제6항에 있어서, 상기 도어 고정 유닛은 상기 도어 감지부의 감지 결과 상기 배치 방향 및 상기 래치의 개폐 상태 중에서 상기 배치 방향만 불량인 도어의 경우 상기 도어를 180° 회전시켜 상기 배치 방향을 보정한 후 상기 정상 도어 로딩부로 이송하는 것을 특징으로 하는 도어 이송 장치.The method of claim 6, wherein the door fixing unit rotates the door 180° to correct the arrangement direction if only the arrangement direction is defective among the arrangement direction and the open/closed state of the latch as a result of detection by the door detection unit. A door transfer device characterized in that it transfers to the normal door loading unit.
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