KR102634203B1 - System for trapping reaction by-product for semiconductor manufacturing process equipment - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템에 관한 것으로, 상기 진공펌프의 전단에 설치되는 제1 파우더 포집 장치를 포함하되, 상기 제1 파우더 포집 장치는 상단이 상기 진공 배관과 연결되며, 측부에는 분기부가 형성된 제1 연결 배관, 일단이 상기 제1 연결 배관에 연결되고, 타단은 상기 진공 펌프의 유입구에 연결되며, 상기 제1 연결 배관과 함께 'h' 형상을 이루도록 하향 절곡되는 제2 연결 배관, 상기 분기부 내에 삽입되는 설치되는 것으로, 일면이 개방된 원통 형상을 갖되, 상기 일면에 대향하는 타면은 복수의 통공들을 포함하는 금속 메쉬 필터 형태로 형성되는 제1 파우더 유입방지 부재, 상기 제2 연결 배관의 타단과 상기 진공펌프의 유입구 사이에 설치되며, 복수의 통공들을 포함하는 금속 메쉬 필터 형태를 갖는 제2 파우더 유입방지 부재 및 상기 제1 연결 배관의 하단에 탈장착 가능하도록 설치되는 파우더 저장부를 포함하는 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템을 제공한다.The present invention relates to a reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment, and includes a first powder collection device installed at the front of the vacuum pump, wherein the first powder collection device has an upper end connected to the vacuum pipe and a side portion. A first connection pipe having a branched portion, one end connected to the first connection pipe, the other end connected to the inlet of the vacuum pump, and a second connection pipe bent downward to form an 'h' shape together with the first connection pipe. , a first powder inflow prevention member that is inserted into the branch and has a cylindrical shape with one side open, and the other side opposite to the one side is formed in the form of a metal mesh filter including a plurality of through holes, the second powder inflow prevention member A second powder inflow prevention member installed between the other end of the connection pipe and the inlet of the vacuum pump and having a metal mesh filter shape including a plurality of through holes, and a powder storage unit detachably installed at the lower end of the first connection pipe. Provided is a reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment, including:
Description
본 발명은 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템에 관한 것으로, 상세하게는 제1 파우더 유입방지 부재 및 제2 파우더 유입방지 부재를 구비하는 제1 파우더 포집 장치와 포집 필터부 및 포집판들을 구비하는 제2 파우더 포집 장치를 포함하는 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment, and more specifically, to a first powder collection device including a first powder inflow prevention member and a second powder inflow prevention member, and a first powder collection device including a collection filter unit and collection plates. 2 Relates to a reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment including a powder collection device.
반도체 공정 설비를 이용하여 반도체를 제조하는 공정에서는 인체에 치명적인 각종 유독성, 부식성, 인화성 가스를 다량으로 사용한다. The process of manufacturing semiconductors using semiconductor processing equipment uses large amounts of various toxic, corrosive, and flammable gases that are fatal to the human body.
예를 들어, 화학기상성장법(CVD) 공정에서는 다량의 실란, 디클로로 실란, 암모니아, 산화질소, 아르신, 포스핀, 디보론, 보론, 트리클로라이드 등을 사용하는 바, 이들은 반도체 제조 공정 중 미량만 소비되고, 잉여 배출되는 폐가스는 비교적 고농도의 유독물질을 함유하고 있다. 또한, 저압 CVD 공정, 플라즈마 강화 CVD, 플라즈마 에칭, 에피택시 증착 등과 같은 여러 반도체 공정들에서도 각종 유독성 폐가스인 반응 부산물이 생성된다. For example, the chemical vapor deposition (CVD) process uses large amounts of silane, dichlorosilane, ammonia, nitric oxide, arsine, phosphine, diboron, boron, trichloride, etc., and these are used in trace amounts during the semiconductor manufacturing process. Waste gas that is only consumed and discharged in excess contains relatively high concentrations of toxic substances. In addition, reaction by-products, which are various toxic waste gases, are also generated in various semiconductor processes such as low-pressure CVD process, plasma-enhanced CVD, plasma etching, and epitaxial deposition.
이러한 반응 부산물인 폐가스 처리는 최근 들어 환경에 대한 관심이 증대됨에 따라, 중요 문제로 대두 되고 있으며, 현재 이러한 폐가스를 대기 중에 방출하기 전에 폐가스의 유독성 물질을 제거하는 것이 환경법적으로 의무 화되었다. Treatment of waste gases, which are by-products of these reactions, has recently emerged as an important issue as interest in the environment has increased, and it is currently mandatory under environmental law to remove toxic substances from waste gases before discharging them into the atmosphere.
그리고, 이러한 반도체 제조공정에서 사용된 폐가스는 배기과정에서 배기관이나 진공펌프 및 스크러버 내에서 냉각되어 파우더를 형성함으로써 배관 막힘이나 진공펌프 및 스크러버의 효율 저하 문제로 이루어지고 있음은 물론, 진공펌프의 불시 정지 등의 문제가 발생할 수 있는데, 특히 진공펌프의 불시 정지가 생산 도중 일어날 경 우에는 생산품의 불량으로 인한 폐기, 장비 가동률 저하 등 큰 경제적인 손실을 가져올 수 있다. In addition, the waste gas used in this semiconductor manufacturing process is cooled in the exhaust pipe, vacuum pump, and scrubber during the exhaust process to form powder, which not only causes problems such as clogging of pipes and reduced efficiency of vacuum pumps and scrubbers, but also causes unexpected failure of vacuum pumps. Problems such as stoppage may occur. In particular, if an unexpected stoppage of the vacuum pump occurs during production, it may result in large economic losses such as scrapping of the product due to defective products and a decrease in equipment operation rate.
이를 막기 위하여, 종래에는 진공펌프가 멈추기 전에 주기적으로 진공펌프 자체를 교체하는 작업이 이루어지고 있고, 사용 후의 진공펌프에 대해서는 세정이나 수리가 실시되고 있는데, 이와 같은 과정이 반도체 공정 중 자주 발생되다 보니 결국 반도체 제조에 따른 생산비용을 대폭 증가시키게 되는 문제점으로 대두되고 있는 실정이다. To prevent this, conventionally, the vacuum pump itself is periodically replaced before it stops, and the vacuum pump is cleaned or repaired after use. This process occurs frequently during the semiconductor process. Ultimately, it is emerging as a problem that significantly increases the production cost of semiconductor manufacturing.
이를 위해, 최근에는 공정챔버와 진공펌프 사이의 배관 상에 반응 부산물을 포집할 수 있는 포집장치를 설치하여 진공펌프에서 공정챔버 내의 가스를 강제로 흡입하여 스크러버 측으로 압송시킬 때 미리 미반응 가스(반응 부산물)를 파우더로 포집할 수 있도록 하는 기술이 널리 사용되고 있는 실정이다.To this end, a collection device capable of collecting reaction by-products has recently been installed on the piping between the process chamber and the vacuum pump. When the gas in the process chamber is forcibly sucked from the vacuum pump and pressured to the scrubber, unreacted gas (reaction) is removed in advance. Technology that allows the capture of by-products) as powder is being widely used.
본원의 배경이 되는 기술은 대한민국 등록특허 제10-2141938호에 개시되어 있다.The technology behind this application is disclosed in Republic of Korea Patent No. 10-2141938.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제는 진공능력의 저하 없이 반응 부산물의 파우더를 효과적으로 포집할 수 있는 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템을 제공하는 데 있다. The technical problem to be solved by the present invention is to provide a reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment that can effectively collect reaction by-product powder without reducing vacuum capacity.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템은상기 진공펌프의 전단에 설치되는 제1 파우더 포집 장치를 포함하되, 상기 제1 파우더 포집 장치는: 상단이 상기 진공 배관과 연결되며, 측부에는 분기부가 형성된 제1 연결 배관; 일단이 상기 제1 연결 배관에 연결되고, 타단은 상기 진공 펌프의 유입구에 연결되며, 상기 제1 연결 배관과 함께 'h' 형상을 이루도록 하향 절곡되는 제2 연결 배관; 상기 분기부 내에 삽입되는 설치되는 것으로, 일면이 개방된 원통 형상을 갖되, 상기 일면에 대향하는 타면은 복수의 통공들을 포함하는 금속 메쉬 필터 형태로 형성되는 제1 파우더 유입방지 부재; 상기 제2 연결 배관의 타단과 상기 진공펌프의 유입구 사이에 설치되며, 복수의 통공들을 포함하는 금속 메쉬 필터 형태를 갖는 제2 파우더 유입방지 부재; 및 상기 제1 연결 배관의 하단에 탈장착 가능하도록 설치되는 파우더 저장부를 포함하되, 상기 제1 파우더 유입방지 부재의 개방된 일면에 인접한 일 단부에는 둘레를 따라 걸림턱이 형성되고, 상기 제1 파우더 유입방지 부재는 상기 걸림턱이 상기 분기부의 끝단에 걸릴 때까지 상기 분기부 내에 삽입되고, 그 외주면은 상기 분기부의 내주면과 밀착된다. The reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment according to embodiments of the present invention for achieving the above problem includes a first powder collection device installed at the front of the vacuum pump, wherein the first powder collection device: a first connection pipe connected to the vacuum pipe and having a branch formed on a side portion; a second connection pipe having one end connected to the first connection pipe, the other end connected to the inlet of the vacuum pump, and bent downward to form an 'h' shape together with the first connection pipe; a first powder inflow prevention member that is inserted into the branch and has a cylindrical shape with one side open, and the other side opposite the one side is formed in the form of a metal mesh filter including a plurality of through holes; a second powder inflow prevention member installed between the other end of the second connection pipe and the inlet of the vacuum pump and having a metal mesh filter shape including a plurality of through holes; and a powder storage unit detachably installed at the lower end of the first connection pipe, wherein a locking protrusion is formed along the circumference at one end adjacent to the open surface of the first powder inflow prevention member, and the first powder inflow prevention member is provided. The prevention member is inserted into the branch until the locking protrusion catches the end of the branch, and its outer peripheral surface is in close contact with the inner peripheral surface of the branch.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 파우더 포집 장치와 상기 공정챔버 사이에서 상기 진공 배관과 연결되는 제2 파우더 포집 장치를 더 포함하되, 상기 제2 파우더 포집 장치는: 중공의 원통 형상을 가지며, 덮개부와 바닥부의 각각에는 상기 진공 배관과 연결되는 유입구와 배출구가 형성된 몸체 하우징; 상기 몸체 하우징의 내부에 설치되는 것으로, 상면이 개방된 원통 형상을 가지며, 하면에는 이너 배출홀이 형성되고, 측면은 상기 하면보다 아래로 연장되는 연장부를 포함하는 이너 하우징; 상기 이너 하우징의 내부에 이격 설치되어 수용 공간부를 형성하는 필터 플레이트들 및 상기 수용 공간부 내에 충진되는 필터 매체를 포함하는 포집 필터부; 상기 포집 필터부의 상측 및 하측의 각각에 이격 설치되는 것으로, 상기 이너 하우징의 내측면에 방사상 형태로 구비되는 날개부들 및 상기 날개부들 사이로 형성되는 개구들을 포함하는 이너 포집판들; 상기 이너 하우징과 상기 몸체 하우징 사이의 아우터 통로에 설치되는 아우터 포집판들; 및 상기 이너 배출홀과 상기 배출구를 연결하고, 상기 연장부와 수평적으로 중첩되는 외주면에 복수의 필터홀들이 형성된 필터링 연결관을 포함할 수 있다.According to one embodiment, it further includes a second powder collection device connected to the vacuum pipe between the first powder collection device and the process chamber, wherein the second powder collection device: has a hollow cylindrical shape, and has a cover. a body housing each having an inlet and an outlet connected to the vacuum pipe; An inner housing installed inside the body housing, having a cylindrical shape with an open upper surface, an inner discharge hole formed on the lower surface, and a side surface including an extension extending below the lower surface; a collection filter unit including filter plates spaced apart from each other inside the inner housing to form a receiving space, and a filter medium filled in the receiving space; inner collection plates that are spaced apart from each other on the upper and lower sides of the collection filter unit and include wings provided in a radial shape on the inner surface of the inner housing and openings formed between the wings; Outer collection plates installed in the outer passage between the inner housing and the body housing; And it may include a filtering connection pipe that connects the inner discharge hole and the discharge port and has a plurality of filter holes formed on an outer peripheral surface that horizontally overlaps the extension portion.
일 실시예에 따르면, 상기 필터 플레이트들은 상기 이너 하우징의 길이 방향으로 서로 이격 설치되어 상기 수용 공간부를 형성하는 제1 및 제 2 고정 플레이트들과, 상기 제1 및 제 2 고정 플레이트들 사이에 설치되어 상기 수용 공간부를 제1 수용 공간부와 제2 수용 공간부로 분리하는 분리 플레이트를 포함하고, 상기 제1 및 제2 고정 플레이트들 및 상기 분리 플레이트의 각각은 복수의 유동홀들이 형성된 금속 원판 형상을 갖고, 상기 필터 매체는 상기 제1 수용 공간부에 충진되는 제1 필터 매체 및 상기 제2 수용 공간부에 충진되는 제2 필터 매체를 포함하되, 상기 제1 필터 매체는 스테인레스 철망 형태를 갖고, 상기 제2 필터 매체는 탄화코르크 분말, 나노셀룰로오스 분말, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트를 포함하는 광물 분말 및 금속 산화물을 혼합하여 제조된 베이스 혼합물을 정제수, 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염, 망간(Mn), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 및 분산제를 혼합하여 제조된 기능성 혼합 조성물로 침지 처리한 후 성형틀을 이용한 성형 공정을 수행하여 제조된 것일 수 있다.According to one embodiment, the filter plates are installed between first and second fixing plates that are spaced apart from each other in the longitudinal direction of the inner housing and form the receiving space, and the first and second fixing plates. It includes a separation plate that separates the receiving space into a first receiving space and a second receiving space, and each of the first and second fixing plates and the separating plate has a metal disk shape with a plurality of flow holes formed thereon. , the filter medium includes a first filter medium filled in the first accommodating space and a second filter medium filled in the second accommodating space, wherein the first filter medium has a stainless steel mesh form, and the first filter medium is 2 The filter medium is a base mixture prepared by mixing mineral powders and metal oxides containing carbonized cork powder, nanocellulose powder, elvanite, germanium and pegmatite, purified water, water-soluble silicates containing sodium or potassium silicate, and manganese (Mn). After immersion treatment with a functional mixed composition prepared by mixing metal nanoparticles containing at least one metal selected from palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au) and a dispersant, a molding process is performed using a mold. It may have been manufactured.
일 실시예에 따르면, 상기 제2 필터 매체를 제조하는 것은, 탄화코르크 분말, 나노셀룰로오스 분말, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트를 포함하는 광물 분말 및 금속 산화물을 혼합하여 상기 베이스 혼합물을 제조하는 단계; 정제수, 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염, 망간(Mn), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 및 분산제를 혼합하여 상기 기능성 혼합 조성물을 제조하는 단계; 상기 기능성 혼합 조성물을 이용하여 상기 베이스 혼합물을 침지 처리하는 단계; 상기 침지 처리된 베이스 혼합물에 정제수, 점도 조절제 및 바인더를 첨가하고 교반하여 필터 매체 조성물을 제조하는 단계; 및 상기 필터 매체 조성물을 성형 가공하는 성형 공정을 수행하는 단계를 포함하되, 상기 베이스 혼합물은 탄화 코르크 분말 100 중량부당 나노셀룰로오스 5 내지 10 중량부, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트가 1:0.5~1:0.1~0.2의 중량비로 혼합된 광물 분말 20 내지 30 중량부 및 산화철, 산화칼슘, 산화알루미늄 및 산화마그네슘 중 적어도 하나를 포함하는 금속 산화물 1 내지 5 중량부를 포함하도록 제조되고, 상기 기능성 혼합 조성물은 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염 5 내지 10 중량%, 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 1 내지 2 중량%, 분산제 10 내지 20 중량% 및 잔여의 정제수를 포함하도록 제조되고, 상기 필터 매체 조성물은 상기 침지 처리된 베이스 혼합물 40 내지 50 중량%, 점도 조절제 3 내 5 중량%, 바인더 5 내지 10 중량% 및 잔여의 정제수를 포함하도록 제조될 수 있다.According to one embodiment, manufacturing the second filter medium includes mixing cork carbide powder, nanocellulose powder, elvanite, mineral powder including germanium and pegmatite, and metal oxide to prepare the base mixture; Purified water, water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, metal nanoparticles containing at least one metal selected from manganese (Mn), palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au), and a dispersant are mixed to produce the above. Preparing a functional mixed composition; Impregnating the base mixture using the functional mixture composition; Preparing a filter media composition by adding purified water, a viscosity modifier and a binder to the soaked base mixture and stirring; And performing a molding process to mold the filter media composition, wherein the base mixture contains 5 to 10 parts by weight of nanocellulose, elvanite, germanium, and pegmatite per 100 parts by weight of carbonized cork powder at 1:0.5 to 1:0.1. It is prepared to include 20 to 30 parts by weight of mineral powder mixed at a weight ratio of ~0.2 and 1 to 5 parts by weight of a metal oxide containing at least one of iron oxide, calcium oxide, aluminum oxide and magnesium oxide, and the functional mixed composition is sodium silicate. or 5 to 10 wt% of water-soluble silicate containing potassium silicate, 1 to 2 wt% of metal nanoparticles containing at least one metal selected from palladium (Pd), gold (Au) and silver (Au), and 10 to 20 wt% of dispersant. % by weight and the remainder purified water, wherein the filter media composition comprises 40 to 50 wt. % of the submerged base mixture, 5 wt. % of the viscosity modifier 3, 5 to 10 wt. % of the binder and the remainder of the purified water. can be manufactured.
일 실시예에 따르면, 상기 이너 포집판들은 상기 포집 필터부 상측에 이격되어 설치되는 한 쌍의 이너 포집판들 및 상기 포집 필터부 하측에 이격 설치되는 다른 한 쌍의 이너 포집판들을 포함하고, 쌍을 이루는 이너 포집판들의 날개부들은 원주 방향을 따라 지그재그 형태로 배치되되, 상기 쌍을 이루는 이너 포집판들 중 위에 위치하는 이너 포집판의 개구들은 아래에 위치하는 이너 포집판의 날개부들과 중첩될 수 있다.According to one embodiment, the inner collection plates include a pair of inner collection plates installed to be spaced apart above the collection filter unit and another pair of inner collection plates installed to be spaced apart from a lower side of the collection filter unit. The wings of the inner collecting plates forming the inner collecting plates are arranged in a zigzag shape along the circumferential direction, and the openings of the inner collecting plates located above among the paired inner collecting plates overlap with the wings of the inner collecting plates located below. You can.
일 실시예에 따르면, 상기 아우터 포집판들은 상기 이너 하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이격 설치되는 제1 내지 제4 아우터 포집판들을 포함하되, 상기 제1 내지 제4 아우터 포집판들의 각각은 관통홀들을 포함하는 반원형링 형태를 가지며, 상기 몸체 하우징의 중심축을 향하야 하향 경사지도록 사선 방향으로 설치될 수 있다.According to one embodiment, the outer collecting plates include first to fourth outer collecting plates installed spaced apart in a zigzag shape along the longitudinal direction of the inner housing, and each of the first to fourth outer collecting plates penetrates. It has a semicircular ring shape including holes, and may be installed in a diagonal direction to slope downward toward the central axis of the body housing.
본 발명의 실시예들에 따르면, 제1 파우더 포집 장치의 제1 연결 배관을 통과하는 배기가스에 포함된 파우더는 제1 파우더 유입방지 부재에 의해 제2 연결 배관으로 유입되는 것이 방지됨과 더불어 작은 입자의 파우더 또한 파우더 저장부로 포집될 수 있으며, 제2 파우더 유입방지 부재가 2차적으로 잔여 파우더의 유입 방지기능을 수행함으로써, 제1 연결 배관 및 제2 연결 배관을 통과하는 배기가스에 포함된 파우더가 효과적으로 포집될 수 있다. According to embodiments of the present invention, the powder contained in the exhaust gas passing through the first connection pipe of the first powder collection device is prevented from flowing into the second connection pipe by the first powder inflow prevention member, and small particles are prevented from flowing into the second connection pipe. Powder can also be collected in the powder storage unit, and the second powder inflow prevention member performs a secondary function of preventing the inflow of remaining powder, so that the powder contained in the exhaust gas passing through the first connection pipe and the second connection pipe is Can be captured effectively.
또한, 제2 파우더 포집 장치 내로 유입된 배기가스 중 일부는 이너 하우징 내부(즉, 이너 통로)를 통과하면서 이너 포집판들과 포집 필터부의 필터 매체에 의해 파우더가 포집되고, 나머지 배기가스는 아우터 통로로 이동하면서 아우터 포집판들과 필터링 연결관에 의해 파우더가 포집 및 필터링 될 수 있다. In addition, some of the exhaust gas flowing into the second powder collection device passes through the inside of the inner housing (i.e., the inner passage) and the powder is collected by the filter media of the inner collection plates and the collection filter unit, and the remaining exhaust gas passes through the outer passage. As it moves, the powder can be collected and filtered by the outer collection plates and filtering connector.
그 결과, 진공펌프의 진공능력의 저하 없이 배기가스 내 포함된 파우더를 효과적으로 포집할 수 있다.As a result, the powder contained in the exhaust gas can be effectively collected without reducing the vacuum capacity of the vacuum pump.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 제1 파우더 포집 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 제1 파우더 포집 장치의 단면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 제1 파우더 유입방지 부재를 설명하기 위한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예들에 따른 제2 파우더 포집 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 제2 파우더 포집 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 제1 필터 매체를 설명하기 위한 도면이고, 도 9는 제2 필터 매체를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예들에 따른 제2 필터 매체의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a reaction byproduct collection system for semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic block diagram illustrating a reaction byproduct collection system for semiconductor processing equipment according to another embodiment of the present invention.
Figure 3 is an exploded perspective view to explain the first powder collection device according to embodiments of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional perspective view of the first powder collection device of Figure 3.
Figure 5 is a perspective view for explaining a first powder inflow prevention member according to embodiments of the present invention.
Figure 6 is a cross-sectional view illustrating a second powder collection device according to embodiments of the present invention.
Figure 7 is a plan view for explaining a second powder collection device according to embodiments of the present invention.
FIG. 8 is a diagram for explaining a first filter medium according to embodiments of the present invention, and FIG. 9 is a diagram for explaining a second filter medium.
Figure 10 is a flowchart for explaining a method of manufacturing a second filter medium according to embodiments of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various different forms. The present embodiments are merely provided to ensure that the disclosure of the present invention is complete and to provide common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. The same reference numerals refer to the same elements throughout the specification.
본원 명세서에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다. 또한, 본원 명세서에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. In the present specification, when a member is said to be located “on” another member, this includes not only the case where a member is in contact with another member, but also the case where another member exists between the two members. In addition, in the specification of the present application, when a part "includes" a certain component, this means that it may further include other components, rather than excluding other components, unless specifically stated to the contrary.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다. 도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a reaction byproduct collection system for semiconductor processing equipment according to an embodiment of the present invention. Figure 2 is a schematic block diagram illustrating a reaction byproduct collection system for semiconductor processing equipment according to another embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 공정 설비용 반응 부산물 처리 시스템(1)은 공정챔버(10)의 진공 상태를 유지시키기 위한 진공펌프(20), 공정챔버(10)와 진공펌프(20)를 연결하는 진공 배관(30), 및 공정챔버(10)와 진공펌프(20) 사이에서 진공 배관(30)과 연결되도록 설치되는 반응 부산물 포집 시스템(40)을 포함할 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, the reaction byproduct treatment system 1 for semiconductor processing equipment according to embodiments of the present invention includes a vacuum pump 20 for maintaining the vacuum state of the process chamber 10, and a process chamber ( 10) and a vacuum pipe 30 connecting the vacuum pump 20, and a reaction by-product collection system 40 installed to be connected to the vacuum pipe 30 between the process chamber 10 and the vacuum pump 20. can do.
공정챔버(10)는 반응 가스를 이용하여 웨이퍼의 증착, 식각 또는 에칭 등의 반도체 제조 공정을 수행할 수 있다. 예컨대, 공정챔버(10)는 저압 CVD 공정, 플라즈마 강화 CVD, 플라즈마 에칭 또는 에피택시 증착과 같은 반도체 공정을 수행하는 반도체 공정 설비일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The process chamber 10 can perform a semiconductor manufacturing process such as deposition, etching, or etching of a wafer using a reactive gas. For example, the process chamber 10 may be a semiconductor processing facility that performs a semiconductor process such as a low-pressure CVD process, plasma-enhanced CVD, plasma etching, or epitaxial deposition, but is not limited thereto.
진공펌프(20)는 진공 배관(30)을 통해 공정챔버(10)로부터 배출되는 배기가스를 흡입하여 공정챔버(10)의 진공 상태를 유지시킬 수 있다. 진공펌프(20)는 반도체 제조 공정에서 통상적으로 사용되는 진공펌프(20)의 구성을 포함하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.The vacuum pump 20 can maintain the vacuum state of the process chamber 10 by sucking exhaust gas discharged from the process chamber 10 through the vacuum pipe 30. Since the vacuum pump 20 includes the configuration of the vacuum pump 20 commonly used in the semiconductor manufacturing process, detailed description thereof will be omitted.
진공펌프(20)에 의해 공정챔버(10)로부터 배출된 배기가스는 스크러버(50)로 이동되며, 스크러버(50)는 배기가스를 대기 중으로 방출하기 전에 유독성 물질을 제거 또는 집진할 수 있다. The exhaust gas discharged from the process chamber 10 by the vacuum pump 20 is moved to the scrubber 50, and the scrubber 50 can remove or collect toxic substances before releasing the exhaust gas into the atmosphere.
반응 부산물 포집 시스템(40)은 공정챔버(10)와 진공펌프(20)의 사이에서 진공 배관(30)과 연결되도록 설치되며, 공정챔버(10)로부터 배출되는 배기가스의 반응 부산물(예컨대, 미반응 가스)이 진공펌프(20)로 유입되기 전에 미반응 가스에 포함된 파우더를 포집하거나, 혹은 미반응 가스를 파우더 형태로 변화시켜 미리 포집할 수 있다. The reaction by-product collection system 40 is installed to be connected to the vacuum pipe 30 between the process chamber 10 and the vacuum pump 20, and collects reaction by-products of the exhaust gas discharged from the process chamber 10 (e.g., The powder contained in the unreacted gas can be collected before the reactive gas flows into the vacuum pump 20, or the unreacted gas can be converted into powder form and collected in advance.
본 발명의 실시예들에 따르면, 반응 부산물 포집 시스템(40)은 제1 파우더 포집 장치(100) 및 제2 파우더 포집 장치(200) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the reaction by-product collection system 40 may include at least one of the first powder collection device 100 and the second powder collection device 200.
본 발명에서, 제1 파우더 포집 장치(100)는 진공펌프(20)의 전단에 설치되어, 진공펌프(20)와 진공 배관(30)을 연결하는 연결 배관의 형태로 구현되며, 진공 배관(30) 내의 배기가스에 포함된 반응 부산물(즉, 파우더)이 진공 펌프로 유입되는 것을 차단함과 더불어, 자중에 의해 낙하하는 파우더를 포집할 수 있도록 구성될 수 있다. 그리고, 제2 파우더 포집 장치(200)는 포집판 및 필터 매체를 이용하여 배기가스에 포함된 파우더를 포집하거나, 미반응 가스를 파우더 형태로 변화시켜 포집하기 위한 장치일 수 있다.In the present invention, the first powder collection device 100 is installed at the front of the vacuum pump 20 and is implemented in the form of a connection pipe connecting the vacuum pump 20 and the vacuum pipe 30, and the vacuum pipe 30 ) It can be configured to block reaction by-products (i.e., powder) contained in the exhaust gas from flowing into the vacuum pump, as well as to collect powder that falls due to its own weight. In addition, the second powder collection device 200 may be a device for collecting powder contained in exhaust gas using a collection plate and filter medium, or for collecting unreacted gas by converting it into powder form.
일 실시예에 따르면, 도 1에 도시된 바와 같이 반응 부산물 포집 시스템(40)은 제1 파우더 포집 장치(100) 또는 제2 파우더 포집 장치(200) 중 하나만 설치되도록 구성될 수 있다. 공정챔버(10)에서 수행되는 반도체 공정의 종류, 공정 조건(예컨대, 사용 가스, 공정 온도, 압력 등)에 따라 발생되는 반응 부산물을 효과적으로 제거하기 위해 최적의 파우더 포집 장치가 선택될 수 있다.According to one embodiment, as shown in FIG. 1, the reaction by-product collection system 40 may be configured to install only one of the first powder collection device 100 or the second powder collection device 200. An optimal powder collection device may be selected to effectively remove reaction by-products generated depending on the type of semiconductor process performed in the process chamber 10 and process conditions (eg, gas used, process temperature, pressure, etc.).
다른 실시예에 따르면, 도 2에 도시된 바와 같이 반응 부산물 포집 시스템(40)은 제1 파우더 포집 장치(100)와 제2 파우더 포집 장치(200)가 진공 배관(30)을 통해 직렬로 연결되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 파우더 포집 장치(100)가 진공펌프(20)의 전단에 설치되고, 제1 파우더 포집 장치(100)와 공정챔버(10) 사이에서 진공 배관(30)과 연결되는 제2 파우더 포집 장치(200)가 설치될 수 있다. 본 실시예의 경우, 제2 파우더 포집 장치(200)를 통해 반응 부산물의 파우더를 1차적으로 포집하고, 잔류 부산물을 제1 파우더 포집 장치(100)를 통해 2차적으로 포집함으로써, 더욱 효과적으로 반응 부산물의 처리가 가능할 수 있다.According to another embodiment, as shown in FIG. 2, the reaction by-product collection system 40 is such that the first powder collection device 100 and the second powder collection device 200 are connected in series through a vacuum pipe 30. Can be installed. At this time, the first powder collection device 100 is installed at the front of the vacuum pump 20, and the second powder collection device is connected to the vacuum pipe 30 between the first powder collection device 100 and the process chamber 10. Device 200 may be installed. In the case of this embodiment, the powder of the reaction by-product is primarily collected through the second powder collection device 200, and the remaining by-product is secondarily collected through the first powder collection device 100, thereby more effectively collecting the reaction by-product. Processing may be possible.
이와 같이 공정챔버(10)로부터 배출되는 반응 부산물이 진공펌프(20)로 유입되기 이전에 파우더 형태로 반응 부산물 포집 시스템(40)에 의해 효과적으로 포집되기 때문에, 공정챔버(10)로부터 배출되는 반응 부산물이 진공펌프(20)로 그대로 유입됨으로 인해 발생될 수 있는 진공펌프(20) 및 스크러버(50)의 고장 및 효율 저하 등의 문제가 해결될 수 있다. Since the reaction by-product discharged from the process chamber 10 is effectively collected in powder form by the reaction by-product collection system 40 before entering the vacuum pump 20, the reaction by-product discharged from the process chamber 10 Problems such as failure and reduced efficiency of the vacuum pump 20 and scrubber 50 that may occur due to the inflow into the vacuum pump 20 can be solved.
이하, 도 3 내지 고 5를 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 제1 파우더 포집 장치(100)에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the first powder collection device 100 according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 제1 파우더 포집 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이다. 도 4는 도 3의 제1 파우더 포집 장치의 단면 사시도이다. 도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 제1 파우더 유입방지 부재를 설명하기 위한 사시도이다.Figure 3 is an exploded perspective view to explain the first powder collection device according to embodiments of the present invention. Figure 4 is a cross-sectional perspective view of the first powder collection device of Figure 3. Figure 5 is a perspective view for explaining a first powder inflow prevention member according to embodiments of the present invention.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 제1 파우더 포집 장치(100)는 제1 연결 배관(110), 제2 연결 배관(120), 제1 파우더 유입방지 부재(130), 제2 파우더 유입방지 부재(140) 및 파우더 저장부(150)를 포함할 수 있다.3 to 5, the first powder collection device 100 includes a first connection pipe 110, a second connection pipe 120, a first powder inflow prevention member 130, and a second powder inflow prevention member. It may include 140 and a powder storage unit 150.
상세하게, 제1 연결 배관(110)은 지면에 수직한 방향으로 진공 배관(30)과 연결되며, 측부에는 분기부(112)가 형성될 수 있다. 즉, 제1 연결 배관(110)의 상단은 진공 배관(30)과 연결되고, 상단과 수직 방향으로 대향하는 하단에는 파우더 저장부(150)가 탈장착 가능하도록 결합될 수 있다. 분기부(112)는 제1 연결 배관(110)의 측부로부터 돌출될 수 있다. In detail, the first connection pipe 110 is connected to the vacuum pipe 30 in a direction perpendicular to the ground, and a branch portion 112 may be formed on the side. That is, the upper end of the first connection pipe 110 is connected to the vacuum pipe 30, and the powder storage unit 150 may be detachably coupled to the lower end vertically opposite to the upper end. The branch portion 112 may protrude from the side of the first connection pipe 110 .
제2 연결 배관(120)은 분기부(112)에 연결되고, 제1 연결 배관(110)과 함께 'h' 형상을 이루도록 하향 절곡될 수 있다. 즉, 제2 연결 배관(120)의 일단은 분기부(112)와 연결되고, 타단은 진공펌프(20)의 유입구(22)와 연결될 수 있다. 제2 연결 배관(120)의 타단에 인접한 부분은 벨로우즈(bellows) 형태로 구현될 수 있다.The second connection pipe 120 is connected to the branch portion 112 and may be bent downward to form an 'h' shape together with the first connection pipe 110. That is, one end of the second connection pipe 120 may be connected to the branch portion 112, and the other end may be connected to the inlet 22 of the vacuum pump 20. The portion adjacent to the other end of the second connection pipe 120 may be implemented in the form of bellows.
제1 파우더 유입방지 부재(130)는 분기부(112) 내에 삽입 설치되며, 공정챔버(10)로부터 진공 배관(30)을 거쳐 제1 연결 배관(110)으로 유입된 배기가스의 반응 부산물(즉, 파우더)이 제2 연결 배관(120)으로 유입되는 것을 방지하는 역할을 수행할 수 있다.The first powder inflow prevention member 130 is installed and inserted into the branch portion 112, and prevents reaction by-products of the exhaust gas flowing into the first connection pipe 110 from the process chamber 10 through the vacuum pipe 30 (i.e. , powder) from flowing into the second connection pipe 120.
예컨대, 제1 파우더 유입방지 부재(130)는 일면이 개방된 원통 형상으로, 개방된 일면에 대향하는 타면(132)에는 배기가스가 유입되는 복수의 통공들이 형성될 수 있다. 즉, 제1 파우더 유입방지 부재(130)의 타면(132)은 복수의 통공들을 포함하는 금속 메쉬 필터 형태로 형성될 수 있다. 또한, 제1 파우더 유입방지 부재(130)의 개방된 일면에 인접한 일 단부에는 둘레를 따라 걸림턱(134)이 형성될 수 있다. 제1 파우더 유입방지 부재(130)는 걸림턱(134)이 분기부(112)의 끝단에 걸릴때까지 분기부(112) 내에 삽입되고, 그 외주면은 분기부(112)의 내주면과 밀착될 수 있다. 걸림턱(134)의 둘레에는 패킹 부재(136)가 결합되어 밀폐 기능을 수행할 수 있다.For example, the first powder inflow prevention member 130 has a cylindrical shape with one side open, and a plurality of through holes through which exhaust gas flows may be formed on the other side 132 opposite the open side. That is, the other surface 132 of the first powder inflow prevention member 130 may be formed in the form of a metal mesh filter including a plurality of through holes. Additionally, a locking protrusion 134 may be formed along the circumference of one end adjacent to the open surface of the first powder inflow prevention member 130. The first powder inflow prevention member 130 is inserted into the branch portion 112 until the locking protrusion 134 is caught at the end of the branch portion 112, and its outer peripheral surface may be in close contact with the inner peripheral surface of the branch portion 112. there is. A packing member 136 is coupled around the locking protrusion 134 to perform a sealing function.
제2 파우더 유입방지 부재(140)는 제2 연결 배관(120)의 타단과 진공펌프(20)의 유입구(22) 사이에 설치되며, 복수의 통공들을 포함하 금속 메쉬 필터 형태를 가질 수 있다. 제2 파우더 유입방지 부재(140)는 제2 연결 배관(120)으로 유입된 배기가스에 포함된 반응 부산물(즉, 파우더)이 진공펌프(20) 내로 유입되는 것을 방지하는 기능을 수행할 수 있다. The second powder inflow prevention member 140 is installed between the other end of the second connection pipe 120 and the inlet 22 of the vacuum pump 20, and may have a metal mesh filter shape including a plurality of through holes. The second powder inflow prevention member 140 may function to prevent reaction by-products (i.e., powder) contained in the exhaust gas flowing into the second connection pipe 120 from flowing into the vacuum pump 20. .
제1 파우더 유입방지 부재(130) 및 제2 파우더 유입방지 부재(140)에 있어서, 금속 메쉬 필터의 통공들은 0.1 내지 0.5mm의 직경을 가질 수 있다. 통공들의 직영이 0.1mm 보다 작으면 진공펌프(20)의 진공능력을 저하시킬 수 있고, 0.5mm를 초과하면 파우더의 유입을 효과적으로 방지할 수 없다.In the first powder inflow prevention member 130 and the second powder inflow prevention member 140, the through holes of the metal mesh filter may have a diameter of 0.1 to 0.5 mm. If the diameter of the through holes is smaller than 0.1 mm, the vacuum capacity of the vacuum pump 20 may be reduced, and if it exceeds 0.5 mm, the inflow of powder cannot be effectively prevented.
파우더 저장부(150)는 일면이 개방된 통 형상으로 제1 연결 배관(110)의 타단에 탈장착 가능하도록 결합되며, 제1 연결 배관(110)으로 유입된 배기가스에 포함된 파우더의 낙하물을 저장할 수 있다. The powder storage unit 150 has a barrel shape with one side open and is detachably coupled to the other end of the first connection pipe 110, and is used to store falling particles of powder contained in the exhaust gas flowing into the first connection pipe 110. You can.
제2 파우더 유입방지 부재(140)가 설치되지 않은 경우, 제1 연결 배관(110) 내 유동하는 파우더 중 입자 크기가 큰 것은 그 자중에 의해 파우더 저장부(150)로 낙하될 수 있으나, 입자 크기가 작은 파우더는 배기가스와 함께 제2 연결 배관(120)으로 이동하여 제1 파우더 유입방지 부재(140) 상에 축적되거나, 진공펌프(20) 내로 유입될 수 있다. 이 경우, 진공펌프(20)의 진공능력을 저하시킬 수 있다. If the second powder inflow prevention member 140 is not installed, large particle size particles among the powder flowing in the first connection pipe 110 may fall into the powder storage unit 150 due to their own weight, but the particle size The small powder may move to the second connection pipe 120 together with the exhaust gas and accumulate on the first powder inflow prevention member 140 or may flow into the vacuum pump 20. In this case, the vacuum capacity of the vacuum pump 20 may be reduced.
그러나 본 발명의 실시예들에 따르면, 제1 파우더 포집 장치(100)의 제1 연결 배관(110)을 통과하는 배기가스에 포함된 파우더는 제1 파우더 유입방지 부재(130)에 의해 제2 연결 배관(120)으로 유입되는 것이 방지됨과 더불어 작은 입자의 파우더 또한 파우더 저장부(150)로 포집될 수 있으며, 제2 파우더 유입방지 부재(140)가 2차적으로 잔여 파우더의 유입 방지기능을 수행함으로써, 제1 연결 배관(110) 및 제2 연결 배관(120)을 통과하는 배기가스에 포함된 파우더가 효과적으로 포집될 수 있다. 그 결과, 진공펌프(20)의 진공능력의 저하 없이 진공펌프(20) 내로 파우더의 유입이 효과적으로 차단될 수 있다.However, according to embodiments of the present invention, the powder contained in the exhaust gas passing through the first connection pipe 110 of the first powder collection device 100 is connected to the second connection by the first powder inflow prevention member 130. In addition to preventing the inflow into the pipe 120, small particles of powder can also be collected in the powder storage unit 150, and the second powder inflow prevention member 140 performs a secondary function of preventing the inflow of remaining powder. , powder contained in the exhaust gas passing through the first connection pipe 110 and the second connection pipe 120 can be effectively collected. As a result, the inflow of powder into the vacuum pump 20 can be effectively blocked without reducing the vacuum capacity of the vacuum pump 20.
이어서, 도 6 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 제2 파우더 포집 장치(200)에 대해 상세히 설명한다.Next, the second powder collection device 200 according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 6 to 9.
도 6은 본 발명의 실시예들에 따른 제2 파우더 포집 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 제2 파우더 포집 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 제1 필터 매체를 설명하기 위한 도면이고, 도 9는 제2 필터 매체를 설명하기 위한 도면이다.Figure 6 is a cross-sectional view illustrating a second powder collection device according to embodiments of the present invention. Figure 7 is a plan view for explaining a second powder collection device according to embodiments of the present invention. FIG. 8 is a diagram for explaining a first filter medium according to embodiments of the present invention, and FIG. 9 is a diagram for explaining a second filter medium.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제2 파우더 포집 장치(200)는 몸체 하우징(210), 이너 하우징(220), 포집 필터부(230), 이너 포집판(240), 아우터 포집판(250) 및 필터링 연결관(260)을 포함할 수 있다.Referring to Figures 6 and 7, the second powder collection device 200 includes a body housing 210, an inner housing 220, a collection filter unit 230, an inner collection plate 240, and an outer collection plate 250. and a filtering connector 260.
몸체 하우징(210)은 제2 파우더 포집 장치(200)의 외관을 형성하는 것으로, 중공의 원통 형상을 가지며, 덮개부와 바닥부의 각각에는 진공 배관(30)과 연결되는 유입구(212)와 배출구(214)가 형성될 수 있다. 몸체 하우징(210)의 덮개부는 착탈 가능하도록 구현될 수 있다. The body housing 210 forms the exterior of the second powder collection device 200 and has a hollow cylindrical shape, and has an inlet 212 and an outlet connected to the vacuum pipe 30 in each of the cover and bottom portions ( 214) can be formed. The cover portion of the body housing 210 may be implemented to be detachable.
이너 하우징(220)은 몸체 하우징(210)의 내부에 설치되는 것으로, 상면이 개방된 원통 형상을 가질 수 있으며, 하면에는 이너 배출홀(222)이 형성된다. 또한, 이너 하우징(220)의 측면은 하면보다 아래로 연장되는 연장부(224)를 포함할 수 있다.The inner housing 220 is installed inside the body housing 210 and may have a cylindrical shape with an open upper surface, and an inner discharge hole 222 is formed on the lower surface. Additionally, the side of the inner housing 220 may include an extension portion 224 extending downward from the lower surface.
포집 필터부(230) 및 이너 포집판들(240)은 이너 하우징(220)의 내부에 설치될 수 있다.The collection filter unit 230 and the inner collection plates 240 may be installed inside the inner housing 220.
포집 필터부(230)는 이너 하우징(220)의 내부에 이격 설치되어 수용 공간부를 형성하는 필터 플레이트들(232, 234, 236) 및 수용 공간부 내에 충진되는 필터 매체를 포함할 수 있다. 필터 플레이트들(232, 234, 236)은 복수의 유동홀들(230h)이 형성된 금속 원판 형상으로, 이너 하우징(220)의 내측에 탈부착 가능하도록 설치될 수 있다. The collection filter unit 230 may include filter plates 232, 234, and 236 that are installed spaced apart inside the inner housing 220 to form a receiving space, and a filter medium filled in the receiving space. The filter plates 232, 234, and 236 have a metal disc shape with a plurality of flow holes 230h, and may be detachably installed inside the inner housing 220.
구체적으로, 필터 플레이트들(232, 234, 236)은 이너 하우징(220)의 길이 방향으로 서로 이격 설치되어 이너 하우징(220) 내에 수용 공간부를 형성하는 제1 및 제 2 고정 플레이트들(232, 234)과, 제1 및 제 2 고정 플레이트들(232, 234) 사이에 설치되는 분리 플레이트(236)를 포함할 수 있다. 분리 플레이트(236)는 수용 공간부를 제1 수용 공간부(S1)와 제2 수용 공간부(S2)로 분리함과 더불어, 수용 공간부 내로 유입된 배기가스의 체류시간을 증대시키는 역할을 수행할 수 있다. 체류시간의 증대를 위해 분리 플레이트(236)는 사선 방향으로 설치될 수 있다.Specifically, the filter plates 232, 234, and 236 are first and second fixing plates 232, 234 that are installed spaced apart from each other in the longitudinal direction of the inner housing 220 to form a receiving space within the inner housing 220. ) and a separation plate 236 installed between the first and second fixing plates 232 and 234. The separation plate 236 serves to separate the receiving space into a first receiving space (S1) and a second receiving space (S2) and to increase the residence time of the exhaust gas flowing into the receiving space. You can. To increase residence time, the separation plate 236 may be installed in a diagonal direction.
필터 매체는 수용 공간부 내에 충진되어 유동홀들(230h)을 통해 수용 공간부 내로 유입된 배기가스에 포함된 반응 부산물을 포집하는 기능을 수행할 수 있다. 즉, 필터 매체는 냉각매체 또는 흡착제로서 기능하여, 배기가스에 포함된 파우더를 포집하거나, 미반응 가스를 파우더로 변화시켜 포집 혹은 미반응 가스 자체를 흡착하도록 구현될 수 있다. The filter medium is filled in the receiving space and can perform the function of collecting reaction by-products contained in the exhaust gas flowing into the receiving space through the flow holes 230h. In other words, the filter medium can function as a cooling medium or an adsorbent to collect powder contained in exhaust gas, or to change unreacted gas into powder to collect it or to adsorb the unreacted gas itself.
도 8 및 도 9를 참조하면, 필터 매체는 스레인레스 철망 형태의 제1 필터 매체(FM1)와 필렛 형태로 형성된 제2 필터 매체(FM2)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 8 and 9 , the filter medium may include a first filter medium (FM1) in the form of a stainless steel mesh and a second filter medium (FM2) in the form of a fillet.
본 발명의 실시예들에 따르면, 필렛 형태의 제2 필터 매체(FM2)는 탄화코르크 분말, 나노셀룰로오스 분말, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트를 포함하는 광물 분말 및 금속 산화물을 혼합하여 제조된 베이스 혼합물을 정제수, 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염, 망간(Mn), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 및 분산제를 혼합하여 제조된 기능성 혼합 조성물로 침지 처리한 후 성형틀을 이용한 성형 공정을 수행하여 제조된 것일 수 있다. 이와 같이 제조된 제2 필터 매체(FM2)는 파우더를 포집하기 위한 다공성 매체로서 제조됨과 더불어 흡착제로서 기능할 수 있다. 제2 필터 매체(FM2)의 제조 방법에 대해서는 뒤에서 상세히 설명한다.According to embodiments of the present invention, the fillet-shaped second filter medium (FM2) is a base mixture prepared by mixing mineral powder including cork carbide powder, nanocellulose powder, elvanite, germanium, and pegmatite, and metal oxide, and purified water. , water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, prepared by mixing metal nanoparticles containing at least one metal selected from manganese (Mn), palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au), and a dispersant. It may be manufactured by immersing it in a functional mixed composition and then performing a molding process using a mold. The second filter medium (FM2) manufactured in this way is manufactured as a porous medium for collecting powder and can function as an adsorbent. The manufacturing method of the second filter medium (FM2) will be described in detail later.
본 발명의 실시예들에 따르면, 제1 수용 공간부(S1)에는 제1 필터 매체(FM1) 및 제2 필터 매체(FM) 중 어느 하나가 충진되고, 제2 수용 공간부(S2)에는 다른 하나가 충진될 수 있다. 각 수용 공간부(S1, S2) 내에는 해당 필터 매체(FM1, FM2)가 80 내지 90% 부피 비율로 충진될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the first receiving space (S1) is filled with one of the first filter medium (FM1) and the second filter medium (FM), and the second receiving space (S2) is filled with the other filter medium (FM1). One can be filled. Each receiving space (S1, S2) may be filled with the corresponding filter media (FM1, FM2) at a volume ratio of 80 to 90%.
예컨대, 제1 수용 공간부(S1)에는 제1 필터 매체(FM1)가 충진되고, 제2 수용 공간부(S2)에는 제2 필터 매체(FM2)가 충진될 수 있다. 이 경우, 제1 수용 공간부(S1)로 유입된 배기가스의 파우더는 스테인레스 철망 형태의 제1 필터 매체(FM1)에 의해 걸러지거나, 미반응 가스가 제1 필터 매체(FM1)를 통과하는 동안 냉각되어 파우더 형태로 포집될 수 있다. 이 후, 배기가스는 분리 플레이트(236)의 유동홀들(230h)을 통과하여 제2 수용 공간부(S2)로 이동되고, 배기가스의 잔류 부산물이 제2 필터 매체(FM2)에 의해 포집 혹은 흡착될 수 있다.For example, the first receiving space (S1) may be filled with the first filter medium (FM1), and the second receiving space (S2) may be filled with the second filter medium (FM2). In this case, the powder of the exhaust gas flowing into the first receiving space (S1) is filtered by the first filter medium (FM1) in the form of a stainless steel mesh, or while the unreacted gas passes through the first filter medium (FM1). It can be cooled and collected in powder form. Afterwards, the exhaust gas passes through the flow holes 230h of the separation plate 236 and moves to the second receiving space S2, and the remaining by-products of the exhaust gas are captured or captured by the second filter medium FM2. may be adsorbed.
필터 매체의 크기(예컨대, 직경 또는 장축 길이)는 유동홀들(230h)의 직경보다 크도록 형성된다. 예컨대, 유동홀들(230h)의 직경은 1 내지 10mm의 크기를 가질 수 있다.The size (eg, diameter or major axis length) of the filter medium is formed to be larger than the diameter of the flow holes 230h. For example, the flow holes 230h may have a diameter of 1 to 10 mm.
이너 포집판(240)은 이너 하우징(220)의 내측면에 방사상 형태로 구비되는 날개부들(242)을 포함할 수 있다. 이너 포집판(240)의 날개부들(242) 사이로 배기가스가 이동하는 이동 통로로 이용되는 개구들(244)이 형성될 수 있다. The inner collection plate 240 may include wings 242 provided in a radial shape on the inner surface of the inner housing 220. Openings 244 used as passages through which exhaust gas moves between the wings 242 of the inner collection plate 240 may be formed.
일 실시예에 따르면, 한 쌍의 이너 포집판들(240)이 포집 필터부(230) 상측에 이격되어 설치되고, 다른 한 쌍의 이너 포집판들(240)이 포집 필터부(230) 하측에 이격 설치될 수 있다. 쌍을 이루는 이너 포집판들(240)의 날개부들(242)은 원주 방향을 따라 지그재그 형태로 배치될 수 있다. 달리 얘기하면, 쌍을 이루는 이너 포집판들(240) 중 위에 위치하는 이너 포집판(240_1)의 개구들(244)은 아래에 위치하는 이너 포집판(240_2)의 날개부들(242)과 중첩될 수 있다. 그 결과, 상부 이너 포집판(240_1)의 개구들(244)을 통과하는 배기가스가 하부 이너 포집판(240_2)의 날개부들(242)과 충돌되며 지그재그로 이동됨으로써, 배기가스에 포함된 파우더가 이너 포집판들(240)의 날개부들(242)에 효과적으로 포집(즉, 부착)될 수 있다.According to one embodiment, a pair of inner collection plates 240 are installed spaced apart from each other on the upper side of the collection filter unit 230, and another pair of inner collection plates 240 are installed on the lower side of the collection filter unit 230. Can be installed separately. The wings 242 of the paired inner collection plates 240 may be arranged in a zigzag shape along the circumferential direction. In other words, the openings 244 of the inner collecting plate 240_1 located above among the pair of inner collecting plates 240 may overlap with the wings 242 of the inner collecting plate 240_2 located below. You can. As a result, the exhaust gas passing through the openings 244 of the upper inner collection plate 240_1 collides with the wings 242 of the lower inner collection plate 240_2 and moves in a zigzag manner, so that the powder contained in the exhaust gas is It can be effectively collected (i.e., attached) to the wings 242 of the inner collection plates 240.
이너 하우징(220)과 몸체 하우징(210) 사이에는 이격 공간이 형성되며, 이는 몸체 하우징(210) 내로 유입된 배기가스의 이동 통로(이하, 아우터 통로(270)로 지칭)로 이용될 수 있다. 이너 하우징(220)의 내부에 포집 필터부(230) 및 이너 포집판들(240)이 설치됨에 따라 이너 하우징(220)의 내부(즉, 이너 통로)를 통과하는 배기가스의 흐름이 원활하지 않을 수 있다. 아우터 통로(270)는 진공펌프(20)의 충분한 진공능력의 확보를 위해 마련된 것일 수 있다. A separation space is formed between the inner housing 220 and the body housing 210, and this can be used as a movement passage for exhaust gas flowing into the body housing 210 (hereinafter referred to as the outer passage 270). As the collection filter unit 230 and the inner collection plates 240 are installed inside the inner housing 220, the flow of exhaust gas passing through the inside of the inner housing 220 (i.e., the inner passage) may not be smooth. You can. The outer passage 270 may be provided to secure sufficient vacuum capacity of the vacuum pump 20.
아우터 통로(270) 내(달리 얘기하면, 이너 하우징(220)의 외측면과 몸체 하우징(210) 내측면 사이)에 아우터 포집판들(250)이 설치될 수 있다. 아우터 포집판들(250)은 아우터 통로(270)를 통과하는 배기가스의 원활한 흐름을 유도함과 더불어 파우더의 포집 효율을 증대시키도록 구현될 수 있다.Outer collection plates 250 may be installed within the outer passage 270 (in other words, between the outer surface of the inner housing 220 and the inner surface of the body housing 210). The outer collection plates 250 may be implemented to induce a smooth flow of exhaust gas passing through the outer passage 270 and to increase powder collection efficiency.
예컨대, 아우터 포집판들(250)은 이너 하우징(220)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이격 설치되는 제1 내지 제4 아우터 포집판들(250_1, 250_2, 250_3, 250_4)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제4 아우터 포집판들(250_1, 250_2, 250_3, 250_4)의 각각은 관통홀들(250h)을 포함하는 반원형링 형태를 가질 수 있으며, 몸체 하우징(210)의 중심축을 향하여 하향 경사지도록 사선 방향으로 설치될 수 있다. 이에 따라, 아우터 통로(270) 내 배기가스 흐름에 스파이럴(spiral) 기류가 형성될 수 있다. 그 결과, 아우터 통로(270)를 통과하는 배기가스의 흐름이 원활해지고, 배기가스에 포함된 파우더가 아우터 포집판들(250) 뿐만 아니라 이너 하우징(220)의 외측면과 몸체 하우징(210)의 내측면에도 들러붙어 포집될 수 있다. 이너 하우징(220)의 연장부(224)는 파우더의 포집량을 더욱 증대시키기 위한 구성일 수 있다. 본 실시예에서, 4개의 아우터 포집판들(250_1, 250_2, 250_3, 250_4)가 도시되었으나, 그 수량이 이에 한정되는 것은 아니다. 한편, 몸체 하우징(210), 이너 하우징(220) 및 아우터 포집판들(250)은 금속 재질로 이루어질 수 있다.For example, the outer collecting plates 250 may include first to fourth outer collecting plates 250_1, 250_2, 250_3, and 250_4 that are installed spaced apart in a zigzag shape along the longitudinal direction of the inner housing 220. Each of the first to fourth outer collection plates 250_1, 250_2, 250_3, and 250_4 may have a semicircular ring shape including through holes 250h, and may be inclined downward toward the central axis of the body housing 210. It can be installed in a diagonal direction. Accordingly, a spiral airflow may be formed in the exhaust gas flow within the outer passage 270. As a result, the flow of exhaust gas passing through the outer passage 270 becomes smooth, and the powder contained in the exhaust gas is not only removed from the outer collection plates 250 but also from the outer surface of the inner housing 220 and the body housing 210. It can also stick to the inner side and become trapped. The extension portion 224 of the inner housing 220 may be configured to further increase the amount of powder collected. In this embodiment, four outer collection plates (250_1, 250_2, 250_3, 250_4) are shown, but the number is not limited thereto. Meanwhile, the body housing 210, the inner housing 220, and the outer collecting plates 250 may be made of a metal material.
이너 하우징(220) 하면에 형성된 이너 배출홀(222)과 배출구(214) 사이에 필터링 연결관(260)이 설치될 수 있다. 필터링 연결관(260)의 상부에는 외주면을 따라 복수의 필터홀들(260h)이 형성될 수 있다. A filtering connection pipe 260 may be installed between the inner discharge hole 222 and the discharge port 214 formed on the lower surface of the inner housing 220. A plurality of filter holes 260h may be formed along the outer peripheral surface of the filtering connector 260.
필터링 연결관(260)은 이너 하우징(220)의 내부(즉, 이너 통로)를 통과한 배기가스가 배출구(214)로 이동하는 통로로 이용됨과 더불어, 아우터 통로(270)로 이동되는 배기가스가 배출구(214)로 이동하는 통로로 이용될 수 있다. 이 때, 필터홀들(260h)은 아우터 통로(270)를 통과하는 배기가스에 잔류하는 부산물을 추가적으로 필터링하는 기능을 수행할 수 있다. The filtering connector 260 is used as a passage through which exhaust gas passing through the interior (i.e., inner passage) of the inner housing 220 moves to the outlet 214, and the exhaust gas moving into the outer passage 270 It can be used as a passage to the outlet 214. At this time, the filter holes 260h may perform the function of additionally filtering by-products remaining in the exhaust gas passing through the outer passage 270.
또한, 필터홀들(260h)이 형성되는 높이는 연결부(224)와 최하단 보다 높을 수 있다. 달리 얘기하면, 필터홀들(260h)과 연장부(224)는 수평적으로 중첩될 수 있다. 이는 아우터 통로(270) 내 유동하는 잔여 파우더가 필터홀들(260h)로 유입되는 경로를 어렵게 함으로써 필터링 효과를 더욱 증대시키기 위해 채택된 구성일 수 있다. Additionally, the height at which the filter holes 260h are formed may be higher than the connection portion 224 and the lowest end. In other words, the filter holes 260h and the extension portion 224 may overlap horizontally. This may be a configuration adopted to further increase the filtering effect by making it difficult for the remaining powder flowing in the outer passage 270 to flow into the filter holes 260h.
이에 따라, 아우터 통로(270)을 이동하는 배기가스 내 포함된 파우더는 아우터 포집판들(250)과 충돌되어 이에 포집될 수 있으며, 아우터 포집판들(250)에 의해 포집되지 않은 파우더들은 연장부(224)에 포집되거나, 필터홀들(260h)에 의해 걸러져 필터링 연결관(260) 내로의 유입의 최소화될 수 있다. 필터링 연결관(260)은 금속 재질로 이루어질 수 있다.Accordingly, the powder contained in the exhaust gas moving through the outer passage 270 may collide with the outer collection plates 250 and be collected, and the powder not collected by the outer collection plates 250 may be collected by the extension portion. It may be collected at 224 or filtered through the filter holes 260h to minimize the inflow into the filtering connection pipe 260. The filtering connector 260 may be made of a metal material.
본 발명의 실시예들에 따르면, 제2 파우더 포집 장치(200) 내로 유입된 배기가스 중 일부는 이너 하우징(220) 내부(즉, 이너 통로)를 통과하면서 이너 포집판들(240)과 포집 필터부(230)의 필터 매체(FM1, FM2)에 의해 파우더가 포집되고, 나머지 배기가스는 아우터 통로(270)로 이동하면서 아우터 포집판들(250)과 필터링 연결관(270)에 의해 파우더가 포집 및 필터링 될 수 있다. 그 결과, 진공펌프(20)의 진공능력의 저하 없이 배기가스 내 포함된 파우더를 효과적으로 포집할 수 있다.According to embodiments of the present invention, some of the exhaust gas flowing into the second powder collection device 200 passes through the inside of the inner housing 220 (i.e., the inner passage) and passes through the inner collection plates 240 and the collection filter. The powder is collected by the filter media (FM1, FM2) of the unit 230, and the remaining exhaust gas moves to the outer passage 270 and is collected by the outer collection plates 250 and the filtering connector 270. and can be filtered. As a result, the powder contained in the exhaust gas can be effectively collected without reducing the vacuum capacity of the vacuum pump 20.
이하, 도 10을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 제2 필터 매체의 제조 방법에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a method for manufacturing a second filter medium according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 10.
도 10은 본 발명의 실시예들에 따른 제2 필터 매체의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.Figure 10 is a flowchart for explaining a method of manufacturing a second filter medium according to embodiments of the present invention.
도 10을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 제2 필터 매체의 제조 방법은 탄화코르크 분말, 나노셀룰로오스 분말, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트를 포함하는 광물 분말 및 금속 산화물을 혼합하여 베이스 혼합물을 제조하는 단계(S10), 정제수, 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염, 망간(Mn), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 및 분산제를 혼합하여 기능성 혼합 조성물을 제조하는 단계(S20), 기능성 혼합 조성물을 이용하여 베이스 혼합물을 침지 처리하는 단계(S30), 침지 처리된 베이스 혼합물에 정제수, 점도 조절제 및 바인더를 첨가하고 교반하여 필터 매체 조성물을 제조하는 단계(S40), 및 필터 매체 조성물을 성형 가공하는 성형 공정을 수행하는 단계(S50)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10, the method for manufacturing the second filter medium according to embodiments of the present invention prepares a base mixture by mixing mineral powder including cork carbide powder, nanocellulose powder, elvanite, germanium, and pegmatite, and metal oxide. Step (S10), purified water, water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, metal nanoparticles containing at least one metal selected from manganese (Mn), palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au) and preparing a functional mixed composition by mixing a dispersant (S20), immersing the base mixture using the functional mixed composition (S30), adding purified water, a viscosity modifier, and a binder to the immersed base mixture and stirring. It may include preparing a filter media composition (S40), and performing a molding process to mold the filter media composition (S50).
구체적으로, 탄화코르크 분말, 나노셀룰로오스 분말, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트를 포함하는 광물 분말 및 금속 산화물을 혼합하여 베이스 혼합물이 제조될 수 있다(S10). Specifically, a base mixture can be prepared by mixing a mineral powder including carbonized cork powder, nanocellulose powder, elvanite, germanium, and pegmatite, and a metal oxide (S10).
탄화코르크 분말은 벌집모양의 세포구조 내부에 공기층이 형성되어 습도조절과 탈취효과가 우수하여 방습성, 방음성 및 단열성이 탁월하다. 특히, 탄화코르크는 일반 코르크와는 다르게 원적외선과 음이온을 방출하여 세균 및 곰팡이균의 포자 뿌리 등을 제거함으로써 병원균의 증식을 억제할 수 있다. 또한, 물에 뜰 정도로 가볍고, 썩지 않으며, 습도에 변형되지 않는다. 탄화코르크 알갱이들은 참나무 고유의 향을 머금고 있고, 100% 생분해되어 반영구적으로 재사용이 가능한 자연산 원재료이다. Carbonized cork powder has an air layer formed inside the honeycomb-shaped cell structure, so it has excellent humidity control and deodorization effects, and has excellent moisture proofing, soundproofing, and thermal insulation properties. In particular, carbonized cork, unlike regular cork, emits far-infrared rays and negative ions to remove spores and roots of bacteria and fungi, thereby suppressing the growth of pathogens. Additionally, it is light enough to float on water, does not rot, and is not deformed by humidity. Carbonized cork granules retain the unique scent of oak and are a natural raw material that is 100% biodegradable and can be reused semi-permanently.
예를 들어, 코르크 나무(참나무) 껍질의 안쪽에 있는 육각형 벌집모양의 세포구조로 이루어진 내피의 목재 파편을 태운 후 잘게 분쇄하여 압축시킨 다음, 다시 전기로에서 가열하여 목재에 함유되어 있는 수액과 유해세균을 제거하여 보드 또는 블록(block) 형태의 베이스 혼합물로 만든다. 이후, 보드 또는 블록 형태의 재료를 잘게 분쇄하여 0.5 내지 1mm의 입자 크기를 갖는 알갱이 형태의 탄화코르크 분말이 제조될 수 있다. 본 발명에서, 탄화코르크 분말은 천연 흡착제로서 기능할 수 있다.For example, wood fragments of the inner bark, which consists of a hexagonal honeycomb-shaped cell structure inside the bark of a cork tree (oak tree), are burned, finely pulverized, compressed, and then heated in an electric furnace to remove the sap and harmful bacteria contained in the wood. is removed to make a base mixture in the form of a board or block. Thereafter, the board or block-shaped material can be finely ground to produce granular carbonized cork powder with a particle size of 0.5 to 1 mm. In the present invention, carbonized cork powder can function as a natural adsorbent.
나노셀룰로오스 분말은 기계적 강도 및 성형성를 강화를 위해 사용될 수 있다. 나노셀룰로오스 분말은 각종 목재 유래의 크래프트(Kraft) 종이 또는 아황산 펄프, 이들을 고압 호모지나이저(homogenizer)나 밀(mill) 등으로 분쇄한 분말 셀룰로오스, 혹은 이들을 산 가수분해 등의 화학 처리에 의해 정제한 미결정 셀룰로오스 분말, 박테리아 유래 셀룰로오스 또는 케나프, 삼, 벼, 바카스, 대나무 등의 식물로부터 유래된 것을 사용할 수 있으며, 상기 종류에 제한되는 것은 아니다. 예컨대, 나노셀룰로오스 분말은 50 내지 100nm의 입자 크기를 갖는 것을 이용할 수 있다.Nanocellulose powder can be used to enhance mechanical strength and formability. Nanocellulose powder is made from Kraft paper or sulfurous acid pulp derived from various types of wood, powdered cellulose obtained by pulverizing these with a high-pressure homogenizer or mill, or purified by chemical treatment such as acid hydrolysis. Microcrystalline cellulose powder, cellulose derived from bacteria, or derived from plants such as kenaf, hemp, rice, Bacchus, and bamboo can be used, but is not limited to the above types. For example, nanocellulose powder can be used having a particle size of 50 to 100 nm.
맥반석은 신비의 돌 또는 약석이라는 별명을 가질만큼 미네랄이 풍부한 암석으로 화성암중 석영 반암에 속하는 암석이다. 맥반석은 무수규산(SiO2)과 산화알루미늄(Al2O3)이 주성분이며, 인체 및 살아있는 세포에 꼭 필요한 산화제2철(Fe2O3)이 함유된 것이 특징이며, 40여종의 미네랄을 포함함과 동시에 원적외선을 방사하는 바이오 광물로 알려지고 있으며, 다공질 조직으로 흡착력과 미네랄 용출 이온교환작용, 유해금속 흡착 및 분해작용, 부패원인 제거, 신선도 유지기능 등의 작용을 하는 광물로 알려지고 있다.Elvanseok is a rock rich in minerals that is nicknamed mystical stone or medicinal stone. It is a rock belonging to the quartz porphyry class of igneous rocks. Elvan stone is mainly composed of silicic acid anhydride (SiO 2 ) and aluminum oxide (Al 2 O 3 ), and is characterized by the content of ferric oxide (Fe 2 O 3 ), which is essential for the human body and living cells, and contains about 40 types of minerals. At the same time, it is known as a bio-mineral that emits far-infrared rays, and it is known as a mineral with a porous structure that has the functions of adsorption, mineral elution, ion exchange, harmful metal adsorption and decomposition, removal of causes of decay, and freshness maintenance functions.
게르마늄은 산소의 효율적인 활용을 돕는 산소 촉매제의 역할을 수행함과 더불어, 자연 치유력을 증강시키고, 통증 억제 작용을 하며, 제독 작용, 중금속 배출 작용을 한다. 예컨대, 게르마늄은 산화성이 강한 산소 원자를 갖는 화학적 특성 때문에 독성물질을 흡입하여 화학적으로 결합한 후 독성이 없는 다른 물질을 만드는 제독 작용을 한다. 특히, 수은, 카드뮴 등의 중금속 오염의 제독에 뛰어나다.Germanium acts as an oxygen catalyst that helps the efficient use of oxygen, enhances natural healing power, suppresses pain, detoxifies, and excretes heavy metals. For example, due to the chemical property of germanium having a highly oxidizing oxygen atom, it acts as a detoxifier by inhaling toxic substances and chemically combining them to create other non-toxic substances. In particular, it is excellent at decontamination of heavy metal contamination such as mercury and cadmium.
페그마타이트(pegmatite)는 마그마의 분화광상 생성물로서 거정질 화강암이라고도 불리는 광물질로서, 일반 광물질인 칼슘, 칼륨, 마그네슘, 철 등과 특수 광물질인 나트륨, 셀륨, 란타늄, 게르마늄 및 홀뮴 등 알카리성을 띠는 20여종의 성분을 함유하는 광물질이다. 이러한 페그마타이트는 단독 방사체의 소재로서 원적외선 방사 및 흡착 기능을 갖는다. Pegmatite is a mineral that is a product of magma differentiation and is also called macrocrystalline granite. It is composed of about 20 types of alkaline minerals, including general minerals such as calcium, potassium, magnesium, and iron, and special minerals such as sodium, cerium, lanthanum, germanium, and holmium. It is a mineral that contains elements. This pegmatite is a single emitter material and has the function of emitting and adsorbing far-infrared rays.
맥반석 분말, 게르마늄 분말 및 페그마타이트 분말을 포함하는 광물 분말은 공지된 방법으로 제조된 것으로, 100 내지 500 mesh의 입자크기를 갖는 것을 이용할 수 있다.Mineral powders including elvanite powder, germanium powder, and pegmatite powder are manufactured by known methods and can be used having a particle size of 100 to 500 mesh.
금속 산화물은 산화철, 산화칼슘, 산화알루미늄 및 산화마그네슘 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 10 내지 30um의 입자 크기를 갖도록 분쇄된 것을 이용할 수 있다. 금속 산화물은 미반응 가스를 흡착하기 위한 반응 촉매로서 기능할 수 있다.The metal oxide may include at least one of iron oxide, calcium oxide, aluminum oxide, and magnesium oxide, and may be pulverized to have a particle size of 10 to 30 μm. The metal oxide can function as a reaction catalyst for adsorbing unreacted gas.
일 실시예에 따르면, 베이스 혼합물은 탄화 코르크 분말 100 중량부당 나노셀룰로오스 5 내지 10 중량부, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트가 1:0.5~1:0.1~0.2의 중량비로 혼합된 광물 분말 20 내지 30 중량부 및 산화철, 산화칼슘, 산화알루미늄 및 산화마그네슘 중 적어도 하나를 포함하는 금속 산화물 1 내지 5 중량부를 포함하도록 제조될 수 있다.According to one embodiment, the base mixture is 20 to 30 parts by weight of mineral powder in which 5 to 10 parts by weight of nanocellulose, elvanite, germanium and pegmatite are mixed in a weight ratio of 1:0.5 to 1:0.1 to 0.2 per 100 parts by weight of carbonized cork powder. and 1 to 5 parts by weight of a metal oxide containing at least one of iron oxide, calcium oxide, aluminum oxide, and magnesium oxide.
정제수, 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염, 망간(Mn), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 및 분산제를 혼합하여 기능성 혼합 조성물을 제조할 수 있다(S20).Functional by mixing purified water, water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, metal nanoparticles containing at least one metal selected from manganese (Mn), palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au), and a dispersant. A mixed composition can be prepared (S20).
수용성 규산염(규산나트륨, 규산칼륨 등)은 수질의 유기성 물질을 분해하는 자정능력을 가진 무공해 규석을 주체로 하는 청정제이다. 수용성 규산염은 원적외선을 방사하는 특성이 있으며 농약성분을 흡착, 분해, 중화시키고 필수 미량원소를 함유하고 있다.Water-soluble silicates (sodium silicate, potassium silicate, etc.) are cleaning agents mainly made of pollution-free silica stone, which has a self-purifying ability to decompose organic substances in water. Water-soluble silicates have the property of emitting far-infrared rays, adsorb, decompose, and neutralize pesticide components, and contain essential trace elements.
금속 나노입자는 미반응 가스와의 반응 촉매로서 기능할 수 있다.Metal nanoparticles can function as a reaction catalyst with unreacted gas.
분산제는 친수성 또는 친유성 계면활성제를 사용할 수 있으며, 예를 들어 지방산 유도체인EOA(ethylene oxide additive), SPAN계, TWEEN계 등의 비이온 계면활성제나 설포숙시네이트(sulfosuccinates), 포스페이트(posphates), 설페이트(sulfate), 설포네이트(sulfonate)계 등의 음이온 계면활성제를 이용할 수 있다.Dispersants can be hydrophilic or lipophilic surfactants, for example, fatty acid derivatives such as ethylene oxide additive (EOA), SPAN series, TWEEN series, nonionic surfactants, sulfosuccinates, and phosphates. , anionic surfactants such as sulfate and sulfonate can be used.
일 실시예에 따르면, 기능성 혼합 조성물은 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염 5 내지 10 중량%, 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 1 내지 2 중량%, 분산제 10 내지 20 중량% 및 잔여의 정제수를 포함하도록 제조될 수 있다.According to one embodiment, the functional mixed composition is 5 to 10% by weight of a water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, and a metal containing at least one metal selected from palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au). It can be prepared to include 1 to 2% by weight of nanoparticles, 10 to 20% by weight of dispersant, and the remaining purified water.
이어서, 기능성 혼합 조성물을 이용하여 베이스 혼합물을 침지 처리할 수 있다(S30).Subsequently, the base mixture can be immersed using the functional mixture composition (S30).
기능성 혼합 조성물을 이용한 베이스 혼합물의 침지 처리는 기능성 혼합 조성물에 함유된 금속 성분을 함침 또는 흡착을 통해 베이스 혼합물에 흡수시킴으로써 흡착, 정화 효과를 향상시키기 위해 수행될 수 있다.Immersion treatment of the base mixture using the functional mixed composition may be performed to improve the adsorption and purification effects by absorbing the metal component contained in the functional mixed composition into the base mixture through impregnation or adsorption.
예컨대, 베이스 혼합물의 침지 처리는 혼합분말 형태의 베이스 혼합물을 기능성 혼합 조성물에 담근 후 25 내지 40℃ 온도에서 120 내지 180분 동안 침지시키는 것을 포함할 수 있다. 침지 온도가 25℃ 미만이면 기능성 혼합 조성물에 함유된 금속 성분의 흡수가 충분하지 않을 수 있다. 침지 온도가 40℃를 초과하면 흡수된 기능성 혼합 조성물의 안정을 저해시키는 경향이 있으므로 상기 범위를 유지하는 것이 바람직할 수 있다. 침지 시간이 120분 미만으로 짧으면 기능성 혼합 조성물의 금속 성분이 충분히 베이스 혼합물로 흡수되지 않는 경향이 있고, 180분을 초과하여 길면 흡수된 금속 성분이 다시 용출되어 충분한 효과를 기대하기 어려울 수 있다. 침지 처리된 베이스 혼합물은 송풍 건조될 수 있으며, 상술한 침지 및 건조 과정은 복수 회 반복 수행될 수 있다.For example, the immersion treatment of the base mixture may include immersing the base mixture in the form of a mixed powder into the functional mixed composition and then immersing the base mixture at a temperature of 25 to 40° C. for 120 to 180 minutes. If the immersion temperature is less than 25°C, the absorption of the metal component contained in the functional mixed composition may not be sufficient. If the immersion temperature exceeds 40°C, it tends to impair the stability of the absorbed functional mixed composition, so it may be desirable to maintain the above range. If the immersion time is shorter than 120 minutes, the metal components of the functional mixed composition tend not to be sufficiently absorbed into the base mixture, and if it is longer than 180 minutes, the absorbed metal components may be eluted again, making it difficult to expect a sufficient effect. The soaked base mixture can be air-dried, and the above-described soaking and drying process can be repeated multiple times.
침지 처리된 베이스 혼합물에 정제수, 점도 조절제 및 바인더를 첨가하고 교반하여 필터 매체 조성물이 제조될 수 있다(S40). A filter media composition can be prepared by adding purified water, a viscosity modifier, and a binder to the immersion-treated base mixture and stirring (S40).
점도 조절제는 필터 매체 조성물에 점도를 제공하기 위한 것으로, 예컨대 하이드록시프로필 메틸셀룰로스(Hydroxypropylmethylcellulose), 카르복시메틸 셀룰로스(Carboxymethylcellulose), 아라비아검, 메틸셀룰로스(methyl cellulose) 및 폴리비닐알콜 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The viscosity modifier is intended to provide viscosity to the filter media composition and may include, for example, at least one of Hydroxypropylmethylcellulose, Carboxymethylcellulose, gum Arabic, methyl cellulose and polyvinyl alcohol. You can.
바인더는 부착력을 증대시키기 위한 고착제로서 기능하며, 수용성 멜라민 바인더, 수용성 실리콘 바인더 또는 수용성 아크릴 바인더 중 어느 하나를 사용할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.The binder functions as a fixative to increase adhesion, and any one of a water-soluble melamine binder, a water-soluble silicone binder, or a water-soluble acrylic binder can be used, but is not limited thereto.
일 실시예에 따르면, 필터 매체 조성물은 침지 처리된 베이스 혼합물 40 내지 50 중량%, 점도 조절제 3 내 5 중량%, 바인더 5 내지 10 중량% 및 잔여의 정제수를 포함하도록 제조될 수 있다.According to one embodiment, the filter media composition may be prepared to include 40 to 50% by weight of the soaked base mixture, 5% by weight of the viscosity modifier 3, 5 to 10% by weight of the binder and the remainder purified water.
이 후, 필터 매체 조성물을 성형 가공하는 성형 공정이 수행될 수 있다(S50). After this, a molding process for molding the filter media composition may be performed (S50).
예컨대, 필터 매체 조성물의 성형 공정은 성형틀을 이용하여 필터 매체 조성물을 압축 성형하는 것을 포함할 수 있으며, 성형 공정을 통해 원기둥 형상의 필렛 형태의 필터 매체가 제조될 수 있다. 필터 매체는 1 내지 10cm의 크기(예컨대, 직경 혹은 장축 길이)를 갖도록 제조될 수 있다.For example, the molding process of the filter medium composition may include compression molding the filter medium composition using a mold, and a cylindrical fillet-shaped filter medium may be manufactured through the molding process. Filter media can be manufactured to have dimensions (eg, diameter or major axis length) of 1 to 10 cm.
본 발명의 실시예들에 따라 제조된 필터 매체는 다공성 매체로 제조되어 반응 부산물의 파우더를 포집함과 더불어 미반응 가스를 흡착하는 흡착제로서 기능할 수 있다. The filter medium manufactured according to embodiments of the present invention is made of a porous medium and can function as an adsorbent that collects powder of reaction by-products and adsorbs unreacted gas.
본 명세서에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.In this specification, preferred embodiments of the present invention are disclosed, and although specific terms are used, they are merely used in a general sense to easily explain the technical content of the present invention and aid understanding of the invention, and do not define the scope of the present invention. It is not intended to be limiting. It is obvious to those skilled in the art that in addition to the embodiments disclosed herein, other modifications based on the technical idea of the present invention can be implemented.
1: 반도체 공정 설비용 반응 부산물 처리 시스템
10: 공정챔버 20: 진공펌프
30: 진공 배관 40: 반응 부산물 포집 시스템
50: 스크러버 100: 제1 파우더 포집 장치
200: 제2 파우더 포집 장치1: Reaction by-product treatment system for semiconductor processing equipment
10: Process chamber 20: Vacuum pump
30: Vacuum piping 40: Reaction by-product collection system
50: scrubber 100: first powder collection device
200: Second powder collection device
Claims (6)
상기 진공펌프의 전단에 설치되는 제1 파우더 포집 장치를 포함하되, 상기 제1 파우더 포집 장치는:
상단이 상기 진공 배관과 연결되며, 측부에는 분기부가 형성된 제1 연결 배관;
일단이 상기 제1 연결 배관에 연결되고, 타단은 상기 진공 펌프의 유입구에 연결되며, 상기 제1 연결 배관과 함께 'h' 형상을 이루도록 하향 절곡되는 제2 연결 배관;
상기 분기부 내에 삽입되는 설치되는 것으로, 일면이 개방된 원통 형상을 갖되, 상기 일면에 대향하는 타면은 복수의 통공들을 포함하는 금속 메쉬 필터 형태로 형성되는 제1 파우더 유입방지 부재;
상기 제2 연결 배관의 타단과 상기 진공펌프의 유입구 사이에 설치되며, 복수의 통공들을 포함하는 금속 메쉬 필터 형태를 갖는 제2 파우더 유입방지 부재; 및
상기 제1 연결 배관의 하단에 탈장착 가능하도록 설치되는 파우더 저장부를 포함하되,
상기 제1 파우더 유입방지 부재의 개방된 일면에 인접한 일 단부에는 둘레를 따라 걸림턱이 형성되고,
상기 제1 파우더 유입방지 부재는 상기 걸림턱이 상기 분기부의 끝단에 걸릴 때까지 상기 분기부 내에 삽입되고, 그 외주면은 상기 분기부의 내주면과 밀착되고,
상기 제1 파우더 포집 장치와 상기 공정챔버 사이에서 상기 진공 배관과 연결되는 제2 파우더 포집 장치를 더 포함하되, 상기 제2 파우더 포집 장치는:
중공의 원통 형상을 가지며, 덮개부와 바닥부의 각각에는 상기 진공 배관과 연결되는 유입구와 배출구가 형성된 몸체 하우징;
상기 몸체 하우징의 내부에 설치되는 것으로, 상면이 개방된 원통 형상을 가지며, 하면에는 이너 배출홀이 형성되고, 측면은 상기 하면보다 아래로 연장되는 연장부를 포함하는 이너 하우징;
상기 이너 하우징의 내부에 이격 설치되어 수용 공간부를 형성하는 필터 플레이트들 및 상기 수용 공간부 내에 충진되는 필터 매체를 포함하는 포집 필터부;
상기 포집 필터부의 상측 및 하측의 각각에 이격 설치되는 것으로, 상기 이너 하우징의 내측면에 방사상 형태로 구비되는 날개부들 및 상기 날개부들 사이로 형성되는 개구들을 포함하는 이너 포집판들;
상기 이너 하우징과 상기 몸체 하우징 사이의 아우터 통로에 설치되는 아우터 포집판들; 및
상기 이너 배출홀과 상기 배출구를 연결하고, 상기 연장부와 수평적으로 중첩되는 외주면에 복수의 필터홀들이 형성된 필터링 연결관을 포함하고,
상기 필터 플레이트들은 상기 이너 하우징의 길이 방향으로 서로 이격 설치되어 상기 수용 공간부를 형성하는 제1 및 제 2 고정 플레이트들과, 상기 제1 및 제 2 고정 플레이트들 사이에 설치되어 상기 수용 공간부를 제1 수용 공간부와 제2 수용 공간부로 분리하는 분리 플레이트를 포함하고,
상기 제1 및 제2 고정 플레이트들 및 상기 분리 플레이트의 각각은 복수의 유동홀들이 형성된 금속 원판 형상을 갖고,
상기 필터 매체는 상기 제1 수용 공간부에 충진되는 제1 필터 매체 및 상기 제2 수용 공간부에 충진되는 제2 필터 매체를 포함하되,
상기 제1 필터 매체는 스테인레스 철망 형태를 갖고,
상기 제2 필터 매체는 탄화코르크 분말, 나노셀룰로오스 분말, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트를 포함하는 광물 분말 및 금속 산화물을 혼합하여 제조된 베이스 혼합물을 정제수, 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염, 망간(Mn), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 및 분산제를 혼합하여 제조된 기능성 혼합 조성물로 침지 처리한 후 성형틀을 이용한 성형 공정을 수행하여 제조된 것인, 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템.A vacuum pump for maintaining the vacuum state of the process chamber, a vacuum pipe connecting the process chamber and the vacuum pump, and a reaction by-product collection system installed to be connected to the vacuum pipe between the process chamber and the vacuum pump,
It includes a first powder collection device installed at the front of the vacuum pump, wherein the first powder collection device:
a first connection pipe connected to the vacuum pipe at its upper end and having a branch formed at a side portion;
a second connection pipe having one end connected to the first connection pipe, the other end connected to the inlet of the vacuum pump, and bent downward to form an 'h' shape together with the first connection pipe;
a first powder inflow prevention member that is inserted into the branch and has a cylindrical shape with one side open, and the other side opposite the one side is formed in the form of a metal mesh filter including a plurality of through holes;
a second powder inflow prevention member installed between the other end of the second connection pipe and the inlet of the vacuum pump and having a metal mesh filter shape including a plurality of through holes; and
It includes a powder storage unit detachably installed at the bottom of the first connection pipe,
A locking protrusion is formed along the circumference of one end adjacent to the open surface of the first powder inflow prevention member,
The first powder inflow prevention member is inserted into the branch until the locking protrusion catches the end of the branch, and its outer peripheral surface is in close contact with the inner peripheral surface of the branch,
It further includes a second powder collection device connected to the vacuum pipe between the first powder collection device and the process chamber, wherein the second powder collection device:
A body housing having a hollow cylindrical shape and having an inlet and an outlet connected to the vacuum pipe at each of the cover and bottom portions;
An inner housing installed inside the body housing, having a cylindrical shape with an open upper surface, an inner discharge hole formed on the lower surface, and a side surface including an extension extending below the lower surface;
a collection filter unit including filter plates spaced apart from each other inside the inner housing to form a receiving space, and a filter medium filled in the receiving space;
inner collection plates that are spaced apart from each other on the upper and lower sides of the collection filter unit and include wings provided in a radial shape on the inner surface of the inner housing and openings formed between the wings;
Outer collection plates installed in the outer passage between the inner housing and the body housing; and
A filtering connector connecting the inner discharge hole and the discharge port and having a plurality of filter holes formed on an outer peripheral surface that horizontally overlaps the extension portion,
The filter plates are installed to be spaced apart from each other in the longitudinal direction of the inner housing to form the receiving space, and are installed between the first and second fixing plates to form the receiving space. It includes a separation plate separating the receiving space and the second receiving space,
Each of the first and second fixing plates and the separation plate has a metal disk shape with a plurality of flow holes formed,
The filter medium includes a first filter medium filled in the first receiving space and a second filter medium filled in the second receiving space,
The first filter medium has the form of a stainless steel wire mesh,
The second filter medium is a base mixture prepared by mixing mineral powders and metal oxides containing carbonized cork powder, nanocellulose powder, elvanite, germanium and pegmatite, purified water, water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, and manganese ( Mn), palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au), and a molding process using a mold after immersion treatment with a functional mixed composition prepared by mixing metal nanoparticles containing at least one metal selected from gold (Au) and silver (Au) and a dispersant. A reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment, manufactured by performing.
상기 제2 필터 매체를 제조하는 것은,
탄화코르크 분말, 나노셀룰로오스 분말, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트를 포함하는 광물 분말 및 금속 산화물을 혼합하여 상기 베이스 혼합물을 제조하는 단계;
정제수, 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염, 망간(Mn), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 및 분산제를 혼합하여 상기 기능성 혼합 조성물을 제조하는 단계;
상기 기능성 혼합 조성물을 이용하여 상기 베이스 혼합물을 침지 처리하는 단계;
상기 침지 처리된 베이스 혼합물에 정제수, 점도 조절제 및 바인더를 첨가하고 교반하여 필터 매체 조성물을 제조하는 단계; 및
상기 필터 매체 조성물을 성형 가공하는 성형 공정을 수행하는 단계를 포함하되,
상기 베이스 혼합물은 탄화 코르크 분말 100 중량부당 나노셀룰로오스 5 내지 10 중량부, 맥반석, 게르마늄 및 페그마타이트가 1:0.5~1:0.1~0.2의 중량비로 혼합된 광물 분말 20 내지 30 중량부 및 산화철, 산화칼슘, 산화알루미늄 및 산화마그네슘 중 적어도 하나를 포함하는 금속 산화물 1 내지 5 중량부를 포함하도록 제조되고,
상기 기능성 혼합 조성물은 규산나트륨 또는 규산칼륨을 포함하는 수용성 규산염 5 내지 10 중량%, 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Au) 중에서 선택된 적어도 하나의 금속을 포함하는 금속 나노입자 1 내지 2 중량%, 분산제 10 내지 20 중량% 및 잔여의 정제수를 포함하도록 제조되고,
상기 필터 매체 조성물은 상기 침지 처리된 베이스 혼합물 40 내지 50 중량%, 점도 조절제 3 내 5 중량%, 바인더 5 내지 10 중량% 및 잔여의 정제수를 포함하도록 제조되는 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템.According to claim 1,
Manufacturing the second filter medium includes:
Preparing the base mixture by mixing mineral powder including carbonized cork powder, nanocellulose powder, elvanite, germanium, and pegmatite, and metal oxide;
Purified water, water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, metal nanoparticles containing at least one metal selected from manganese (Mn), palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au), and a dispersant are mixed to produce the above. Preparing a functional mixed composition;
Impregnating the base mixture using the functional mixture composition;
Preparing a filter media composition by adding purified water, a viscosity modifier and a binder to the soaked base mixture and stirring; and
Comprising performing a molding process to mold the filter media composition,
The base mixture is 5 to 10 parts by weight of nanocellulose per 100 parts by weight of carbonized cork powder, 20 to 30 parts by weight of mineral powder mixed with elvanite, germanium and pegmatite in a weight ratio of 1:0.5 to 1:0.1 to 0.2, and iron oxide and calcium oxide. , prepared to contain 1 to 5 parts by weight of a metal oxide containing at least one of aluminum oxide and magnesium oxide,
The functional mixed composition includes 5 to 10% by weight of water-soluble silicate containing sodium silicate or potassium silicate, and metal nanoparticles 1 to 2 containing at least one metal selected from palladium (Pd), gold (Au), and silver (Au). % by weight, 10 to 20 % by weight of dispersant and the remainder purified water,
The filter media composition is prepared to include 40 to 50% by weight of the submerged base mixture, 5% by weight of viscosity modifier 3, 5 to 10% by weight of binder, and the remaining purified water.
상기 이너 포집판들은 상기 포집 필터부 상측에 이격되어 설치되는 한 쌍의 이너 포집판들 및 상기 포집 필터부 하측에 이격 설치되는 다른 한 쌍의 이너 포집판들을 포함하고,
쌍을 이루는 이너 포집판들의 날개부들은 원주 방향을 따라 지그재그 형태로 배치되되, 상기 쌍을 이루는 이너 포집판들 중 위에 위치하는 이너 포집판의 개구들은 아래에 위치하는 이너 포집판의 날개부들과 중첩되는 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템.According to claim 1,
The inner collection plates include a pair of inner collection plates installed to be spaced apart above the collection filter unit and another pair of inner collection plates installed to be spaced apart from a lower side of the collection filter unit,
The wings of the paired inner collecting plates are arranged in a zigzag shape along the circumferential direction, and the openings of the inner collecting plate located above among the paired inner collecting plates overlap with the wings of the inner collecting plate located below. A reaction by-product collection system for semiconductor processing equipment.
상기 아우터 포집판들은 상기 이너 하우징의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 이격 설치되는 제1 내지 제4 아우터 포집판들을 포함하되,
상기 제1 내지 제4 아우터 포집판들의 각각은 관통홀들을 포함하는 반원형링 형태를 가지며, 상기 몸체 하우징의 중심축을 향하야 하향 경사지도록 사선 방향으로 설치되는 반도체 공정 설비용 반응 부산물 포집 시스템.According to clause 5,
The outer collecting plates include first to fourth outer collecting plates spaced apart in a zigzag shape along the longitudinal direction of the inner housing,
Each of the first to fourth outer collection plates has a semicircular ring shape including through holes, and is installed in a diagonal direction to be inclined downward toward the central axis of the body housing.
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