KR102631368B1 - 풉 스테이션 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 수납한 풉을 반입 또는 반출하는 도어 유니트들을 구비하는 개폐 장치를 구비하는 풉 스테이션을 개시하며, 풉이 수납되는 거치대를 각각 갖는 제1 도어 유니트 및 제2 도어 유니트를 포함하고, 상기 제1 도어 유니트와 상기 제2 도어 유니트가 프론트 스테이션의 입구에 복층으로 구성된 개폐 장치;를 구비한다.

Description

풉 스테이션{FOUP STATION}
본 발명은 풉(Front Opening Unified Pod, 이하 "풉(Foup)"이라 함) 스테이션에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 수납한 풉을 반입 또는 반출하는 도어 유니트들을 구비하는 개폐 장치를 구비하는 풉 스테이션에 관한 것이다.
웨이퍼를 제조하는 반도체 공정은 다양한 단위 공정들을 포함하며, 각 단위 공정들을 수행하는 반도체 공정 장치들은 클린룸 내에 배치된다.
클린룸 내의 반도체 공정 장치들 간에는 공정 순서에 따라 웨이퍼의 반송이 이루어져야 한다. 웨이퍼의 반송은 예시적으로 풉(Front Opening Unified Pod, 이하 "풉(Foup)"이라 함)을 이용한다.
풉은 일정한 매수의 웨이퍼를 수납할 수 있고, OHT 또는 캐리어 등 다양한 방식으로 반도체 공정 장치들 간에 반송될 수 있다.
반도체 공정 장치는 풉 스테이션을 통하여 풉을 반입 또는 반출한다.
풉 스테이션은 반입 또는 반출되는 풉을 거치하기 위한 복층의 유니트들을 구비한다.
대개의 경우, 풉 스테이션은 복층의 유니트들을 포함하며, OHT 포트(OHT Port) 및 로드 포트(Load Port) 등이 유니트들에 포함될 수 있다.
풉 스테이션의 유니트들은 풉의 이동을 위한 내부 공간을 갖는 프론트 프레임과 조립되며, 유니트들과 프론트 프레임의 조립은 현장에서 이루어진다. 그리고, 케이블들이 유니트들 간에 복잡하게 라우팅되도록 구성된다. 그러므로, 풉 스테이션은 복잡한 복층의 유니트 구조에 의해서 현장에서 제작하는데 많은 시간이 요구되고 복잡한 제작 과정을 요구한다.
풉 스테이션의 프론트 프레임의 내부 공간에 대한 유지 관리가 필요할 때, 유니트들은 프론트 프레임의 입구를 열기 위하여 부분적으로 제거된다. 그 후 작업자는 유지 관리 작업을 위하여 일부 열린 공간을 통하여 내부 공간으로 진입하여야 한다.
이 경우, 유지 관리 작업을 위한 충분한 공간이 확보되기 어렵다.
특히, 프론트 프레임의 전면에 구성되는 복층의 유니트 중 높은 위치의 유니트는 착탈이 어려운 구조로 구성된다. 그러므로, 높은 위치의 유니트에 대한 접근성이 제한된다.
그러므로, 종래의 풉 스테이션은 유지 관리 작업을 위한 작업 공간의 확보가 어려워서 작업성이 떨어진다.
본 발명의 목적은 프론트 프레임의 전면의 복층의 도어 유니트들을 개폐 가능하도록 구성함으로써 프론트 프레임의 내부 공간에 대한 유지 관리 작업을 위한 작업 공간의 확보가 용이한 풉 스테이션을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 프론트 프레임의 전면에 개폐 가능한 개폐 장치를 구성하고, 개폐 장치를 복층의 도어 유니트들이 일체로 결합된 모듈로 구성함으로써 현장에서 복층의 도어 유니트들을 모듈 단위로 간단히 조립할 수 있는 풉 스테이션을 제공함에 있다.
본 발명의 웨이퍼를 저장하는 풉(Foup)의 출입을 위한 입구가 정면에 형성된 풉 스테이션은, 상기 풉이 수납되는 거치대를 각각 갖는 제1 도어 유니트 및 제2 도어 유니트가 적층된 개폐 장치;를 구비하고, 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트가 각각 단독적, 또는 결합적으로 상기 입구로부터 이탈함에 의해 상기 입구가 부분적 또는 전체적으로 개폐됨을 특징으로 한다.
본 발명의 풉 스테이션은 입구를 개폐하는 개폐 장치를 구비한다.
그러므로, 본 발명의 풉 스테이션은 프론트 프레임의 내부 공간에 대한 유지 관리가 필요할 때 개폐 장치의 도어 유니트들을 회전시켜서 프론트 프레임의 입구를 열 수 있으므로 충분한 작업 공간을 확보할 수 있다. 그 결과, 본 발명의 풉 스테이션은 프론트 프레임의 내부 공간에 대한 작업성을 개선할 수 있고 높은 위치에 대한 접근성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 풉 스테이션은 복층의 도어 유니트를 일체형 모듈로 구성함으로써 현장에서 복층의 도어 유니트를 프론트 프레임에 쉽게 조립할 수 있다. 그러므로, 풉 스테이션의 현장 조립성이 개선될 수 있다.
도 1은 본 발명의 풉 스테이션의 바람직한 실시예를 나타내는 평면도.
도 2는 도 1의 변형 실시예를 나타내는 평면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 평면도.
도 4는 도 3의 실시예의 개폐 장치가 열린 상태를 예시한 평면도.
도 5는 본 발명의 또다른 실시예를 나타내는 평면도.
도 6은 도 5의 변형 실시예를 나타내는 평면도.
도 7은 도 2의 실시예를 구체적으로 예시한 사시도.
도 8은 도 7의 실시예의 개폐 장치가 열린 상태를 예시한 사시도.
도 9는 도 7의 실시예의 개폐 장치가 열린 상태를 도 8과 다른 방향에서 바라본 사시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있다.
반도체 공정 장치들 간의 웨이퍼 반송을 위해 이용되는 풉은 일정한 매수의 웨이퍼를 수용하도록 구성된다.
풉은 OHT나 매뉴얼 방식 등 다양한 방법으로 반도체 공정 장치에 반입 또는 반출될 수 있다.
본 발명은 웨이퍼 공정을 진행하기 위하여 풉을 반도체 공정 장치에 투입하거나 웨이퍼 공정을 마친 풉을 반도체 공정 장치에서 반출하기 위한 풉 스테이션을 개시한다.
본 발명의 풉 스테이션은 도 1과 같이 실시될 수 있으며, 프론트 프레임(100) 및 개폐 장치(200)를 포함하도록 구성된다.
프론트 프레임(100)은 웨이퍼를 저장하는 풉을 반송하는 내부 공간을 가지며 풉의 출입을 위한 입구가 정면에 형성된다. 프론트 프레임(100)의 입구는 후술하는 도 7 내지 도 9에서 "110"으로 표시된다.
개폐 장치(200)는 복층의 도어 유니트들을 포함하며, 각 층의 도어 유니트는 풉이 수납되는 거치대를 각각 갖는다.
도 1 내지 도 6은 실시예의 평면도이다. 그러므로, 복층의 도어 유니트들이 구체적으로 표현되지 않는다. 도어 유니트의 복층 구성은 후술하는 도 7 내지 도 9를 참조하여 이해될 수 있으며, 각 층의 도어 유니트의 거치대는 후술하는 도 8에서 "360"으로 표시된다. 그리고, 본 발명의 실시예인 도 1 내지 도 6의 설명에서 개폐 장치(200)의 개폐는 도어 유니트들의 개폐로 이해될 수 있다.
상기한 개폐 장치(200)의 복층의 도어 유니트들은 단독 개폐와 결합 개폐를 선택할 수 있도록 구성되며, 도어 유니트들의 단독 개폐 또는 결합 개폐에 의해 프론트 프레임(100)의 입구를 개폐할 수 있다. 여기에서, 단독 개폐는 선택된 특정 층의 도어 유니트가 다른 도어 유니트와 무관하게 독립적으로 개폐되는 것을 의미하며, 결합 개폐는 복층의 도어 유니트들이 서로 결합됨으로써 같이 개폐되는 것을 의미한다.
본 발명의 실시예는 결합 개폐를 위하여 후술하는 도 7 내지 도 9와 같이 락 장치(600)가 구성될 수 있다. 락 장치(600)는 복층의 도어 유니트의 결합 개폐를 위해 락(Lock)될 수 있고 복층의 도어 유니트 각각의 단독 개폐를 위해 언락(Unlock)될 수 있다.
도 1의 실시예에서, 개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 프론트 프레임(100)의 입구의 일측과 힌지 결합되며 회전에 의해 프론트 프레임(100)의 입구를 개폐할 수 있다.
도 1에서, 상기한 힌지 결합을 위한 힌지(200H)는 프론트 프레임(100)의 입구의 일측과 그에 마주하는 도어 유니트들의 모서리 간에 구성된다.
힌지(200H)는 제작자에 의해 다양하게 구성될 수 있다. 예시적으로, 힌지(200H)는 수직의 관통구를 갖는 링커들(도시되지 않음)이 관통구를 관통하는 핀에 의해 결합됨으로써 구성될 수 있다. 또한, 힌지(200H)는 양단에 관통구가 형성된 커플러(도시되지 않음)를 구비하며 커플러의 각 관통구가 수직의 관통구를 갖는 링커들(도시되지 않음)과 핀에 의해 결합됨으로써 구성될 수 있다.
도 1의 개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 힌지(200H)를 중심으로 화살표와 같이 회전될 수 있다. 도 1에서 200a는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 닫힌 상태를 예시한 것으로 이해될 수 있다.
도 1의 풉 스테이션은 개폐 장치(200)의 도어 유니트들을 200a의 위치에 위치시켜서 프론트 프레임(100)의 입구를 닫은 상태에서 풉을 반입 또는 반출할 수 있다.
즉, OHT 또는 캐리어에 실려서 반송된 풉은 개폐 장치(200)의 해당 도어 유니트의 거치대에 반입되고, 개폐 장치(200)의 도어 유니트의 거치대에 반입된 풉은 프론트 프레임(100) 내의 이송 로봇(도시되지 않음)에 의해 내부 공간을 거쳐서 반도체 공정 장치로 이송된다.
이와 반대로, 웨이퍼 공정을 완료한 후 반도체 공정 장치로부터 이송되는 풉은 프론트 프레임(100) 내의 이송 로봇에 의해 내부 공간을 거쳐서 개폐 장치(200)의 해당 도어 유니트의 거치대에 반출된다. 그리고, 개폐 장치(200)의 도어 유니트의 거치대에 반출된 풉은 OHT 또는 캐리어에 실려서 목적하는 위치로 반송된다.
여기에서, 개폐 장치(200)의 복층의 도어 유니트들 중, 최상위 층의 도어 유니트는 상부가 개방된 구조를 가짐으로써 OHT에 의해 반입 또는 반출되는 풉을 거치하는 구성을 가질 수 있다. 그리고, 개폐 장치(200)의 복층의 도어 유니트들 중, 하부의 도어 유니트는 프론트 프레임(100)의 입구의 반대쪽 전면이 개방된 구조를 가짐으로써 캐리어에 의해 반입 또는 반출되는 풉을 거치하는 구성을 가질 수 있다.
도 1의 실시예는 상술한 바와 같이 힌지(200H)가 프론트 프레임(100)의 입구의 일측과 그에 마주하는 도어 유니트들의 모서리 간에 구성된 것으로 예시한다.
이와 달리, 본 발명에서 개폐 장치(200)는 도 2와 같이 실시될 수 있으며, 도 2의 실시예에서 힌지(200H)는 프론트 프레임(100)의 입구의 일측과 마주하는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들의 면의 반대쪽 면의 모서리에 구성된다.
도 1의 실시예와 도 2의 실시예는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들의 회전 중심인 힌지(200H)의 위치가 변경된 것에 차이가 있고, 나머지 구성은 동일하므로 중복 설명은 생략한다.
한편, 개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 도 3 및 도 4와 같이 프론트 프레임(100)의 입구에 대하여 전진 또는 후진하는 슬라이딩에 의해 프론트 프레임(100)의 입구를 개폐하도록 구성될 수 있다.
도 3은 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 프론트 프레임(100)의 입구쪽으로 전진된 상태이고, 도 3의 "200b"는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 슬라이딩에 의해 열린 상태를 예시한 것으로 이해될 수 있다. 그리고, 도 4는 개폐 장치(200)가 슬라이딩에 의해 "200b"의 위치로 후진한 상태이다.
개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 프론트 프레임(100)의 입구의 일측과 슬라이딩 유니트(200S)를 통해 결합될 수 있다. 여기에서, 슬라이딩 유니트(200S)는 도어 유니트들이 입구에 대해 전진 또는 후진하는 것을 가이드하는 장치로 이해될 수 있다. 상기한 슬라이딩 유니트(200S)는 후술하는 슬라이딩 바(420)와 슬라이딩 채널(130)의 결합으로 이해될 수 있으며, 이에 대해서 후술하는 도 7 내지 도 9를 참조하여 후술한다.
또한, 개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 프론트 프레임(100)의 입구의 양측과 각각 슬라이딩 유니트(200S)를 통해 결합될 수 있다. 이때도, 슬라이딩 유니트들(200S)은 도어 유니트들이 입구에 대해 전진 또는 후진하는 것을 가이드한다.
프론트 프레임(100)의 입구의 일측 또는 양측에 구성되는 슬라이딩 유니트(200S)는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 프론트 프레임(100)의 입구에 대해 전진 또는 후진하는 방향과 평행하게 구성된다.
도 3 및 도 4의 실시예는 슬라이딩 유니트(200S)가 프론트 프레임(100)의 입구의 양측에 구성된 것을 예시한다.
도 3에서 프론트 프레임(100)의 입구는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 슬라이딩에 의해 전진됨에 따라 닫힌 상태이고, 도 4에서 프론트 프레임(100)의 입구는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 슬라이딩에 의해 후진됨에 따라 열린 상태이다.
도 1 내지 도 4의 실시예는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들을 회전 또는 슬라이딩시킴으로써 프론트 프레임의 입구를 개폐할 수 있다. 그리고, 회전 또는 슬라이딩에 의해 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 열리는 경우, 프론트 프레임(100)의 내부 공간에 대한 유지 관리 작업을 위한 충분한 공간이 확보될 수 있다.
또한, 높은 위치의 도어 유니트에 대한 접근성이 양호하게 제공될 수 있다.
한편, 본 발명은 유지 관리 작업을 위한 작업 공간을 보다 넓게 확보하기 위하여 도 5 및 도 6과 같이 실시될 수 있다.
도 5 및 도 6의 실시예는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들을 프론트 프레임(100)의 입구에 대하여 전진 또는 후진하는 슬라이딩 및 프론트 프레임(100)의 입구의 일측과 힌지 결합에 의한 회전의 조합에 의해서 프론트 프레임(100)의 입구를 개폐하도록 구성된 것을 예시한다.
먼저, 도 5를 참조하면, 개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 슬라이딩 유니트(200S)와 힌지 결합되고, 프론트 프레임(100)의 입구의 일측과 슬라이딩 유니트(200S)를 통해 결합된다.
보다 구체적으로, 프론트 프레임(100)의 입구의 일측에 슬라이딩 유니트(200S)가 구성되며, 슬라이딩 유니트(200S)의 단부와 그에 마주하는 도어 유니트들의 모서리가 힌지 결합된다. 그리고, 힌지 결합을 위해서, 슬라이딩 유니트(200S)의 단부와 그에 마주하는 도어 유니트들의 모서리 간에 힌지(200H)가 구성된다. 슬라이딩 유니트(200S)는 도 3 및 도 4에 설명된 바와 동일하게 구성될 수 있으며, 힌지(200H)는 도 1 및 도 2에 설명된 바와 동일하게 구성될 수 있다.
상기한 바에 의해서, 개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 슬라이딩 유니트(200S)의 단부의 힌지(200H)를 중심으로 회전 가능하며 슬라이딩 유니트(200S)에 의해 전진 및 후진이 가능하다.
도 5에서 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 프론트 프레임(100)의 입구를 닫는 위치는 "200a"로 표시되고 슬라이딩에 의해 후진된 위치는 "200b"로 표시된다.
도 5의 풉 스테이션은 개폐 장치(200)의 도어 유니트들을 "200a"의 위치에 위치시켜서 프론트 프레임(100)의 입구를 닫은 상태에서 풉을 반입 또는 반출할 수 있다.
그리고, 프론트 프레임(100)의 내부 공간에 대한 유지 관리 작업을 위해서, 개폐 장치(200)의 도어 유니트들은 "200a"의 위치에서 슬라이딩 유니트(200S)에 의해 "200b"의 위치로 이동되고 그 후 힌지(200H)를 회전 중심으로 하여 회전됨으로써 프론트 프레임(100)의 입구를 열 수 있다.
도 5와 같이, 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 열리는 경우, 유지 관리 작업을 위한 공간이 도 1 내지 도 4보다 더 확보될 수 있다.
이와 달리, 본 발명에서 개폐 장치(200)는 도 6과 같이 실시될 수 있으며, 도 6의 실시예에서 힌지(200H)는 프론트 프레임(100)의 단부와 마주하는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들의 면의 반대쪽 면의 모서리에 구성된다.
도 5의 실시예와 도 6의 실시예는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들의 회전 중심인 힌지(200H)의 위치가 변경된 것에 차이가 있고, 나머지 구성은 동일하므로 중복 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예들은 개폐 장치(200)의 도어 유니트들이 회전, 슬라이딩, 슬라이딩 및 회전에 의해 열리도록 구성될 수 있으며, 그에 따라 프론트 프레임(100)의 내부 공간에 대한 유지 관리 작업을 위한 충분한 공간이 확보될 수 있고, 높은 위치의 도어 유니트에 대한 접근성을 양호하게 제공할 수 있다.
한편, 도 7 내지 도 9는 도 2에 대응하는 실시예를 보다 구체적으로 예시한 것이며, 도 7은 개폐 장치(200)가 닫힌 상태를 예시하고, 도 8 및 도 9는 회전에 의해서 개폐 장치가 열린 상태를 예시한다.
도 7 내지 도 9를 참조하여, 프론트 프레임(100)과 개폐 장치(200)의 보다 구체적인 실시예를 설명한다.
프론트 프레임(100)은 풉을 반송하는 내부 공간을 가지며, 일면에 입구(110)가 형성되며, 반도체 공정 장치(도시되지 않음)와 연결된다.
프론트 프레임(100)은 필요에 따라 상부에 배치되는 다양한 목적의 탑 박스(Top box)(120)와 결합될 수 있다. 탑 박스(120)는 프론트 프레임(100)의 내부 공간과 연결된 공간을 갖도록 구성될 수 있으며, 풉의 반송에 필요한 공간을 제공할 수 있다.
프론트 프레임(100)의 입구(110)는 내부 공간의 일면 또는 정면의 전체 또는 일부로 형성될 수 있고 개폐 장치(200)에 의해 개폐될 수 있다.
개폐 장치(200)는 도어 모듈(300)과 측면 플레이트(400)를 포함한다. 여기에서, 도어 모듈(300)은 복층의 도어 유니트들이 모듈화된 것으로 이해될 수 있으며, 측면 플레이트(400)는 복층의 도어 유니트들의 측벽을 구성하기 위한 것으로 이해될 수 있다. 측면 플레이트(400)는 하나의 예시일 뿐이며 각 층의 도어 유니트 별로 분리되도록 구성될 수 있다.
도어 모듈(300)의 복층의 도어 유니트들로서 OHT 포트(310), 로드 포트(320)가 구성될 수 있다.
OHT 포트(310)와 로드 포트(320) 각각은 풉을 거치하기 위한 거치대(360)를 구비한다. 거치대(360)는 풉의 구조를 고려하여 안전하게 풉을 거치할 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있다.
OHT 포트(310)는 OHT를 통하여 반입되거나 반출할 풉을 거치하기 위한 포트로 작용하는 도어 유니트이며, 로드 포트(320)는 매뉴얼 등의 방법으로 낮은 위치로 반입되거나 반출할 풉을 거치하기 위한 포트로 작용하는 도어 유니트이다. 이하, OHT 포트(310) 및 로드 포트(320)는 도어 유니트(310, 320)로 통칭한다.
상기한 구성에 의해서, 프론트 프레임(100)은 내부 공간의 이송 로봇(도시되지 않음)에 의해 개폐 장치(200)의 도어 유니트들(310, 320)의 거치대(360)에 반입된 풉을 내부 공간을 거쳐서 반도체 공정 장치로 이송하거나, 내부 공간의 이송 로봇에 의해 반도체 공정 장치로부터 이송되는 풉을 내부 공간을 거쳐서 개폐 장치(200)의 도어 유니트들(310, 320)의 거치대(360)로 반출한다.
한편, 도 7 내지 도 9의 실시예에서, 개폐 장치(200)의 슬라이딩 개폐를 위하여 슬라이딩 유니트(200S)가 구성된다. 슬라이딩 유니트(200S)는 측면 플레이트(400)에 결합되는 슬라이딩 바(420)와 프론트 프레임(100)의 내부 공간의 측면에 구성된 슬라이딩 채널(130)을 포함하는 것으로 이해될 수 있다.
상기 슬라이딩 유니트(200S)의 구성은 하나의 예시이며, 슬라이딩 바(420)가 도어 유니트들(310, 320)과 결합되는 것도 다양한 방법으로 실시될 수 있다.
상기한 슬라이딩 유니트(200S)는 슬라이딩 채널(130)에 의해 지지되는 슬라이딩 바(420)가 전후로 슬라이딩 될 수 있도록 구성되며, 슬라이딩 유니트(200S)의 슬라이딩 바(420)에 결합된 도어 유니트들(310, 320)도 개폐를 위하여 슬라이딩될 수 있다.
슬라이딩 유니트(200s)는 층별로 단독 개폐가 가능하도록 각 도어 유니트들(310, 320)의 층 별로 각각 구성됨이 바람직하다.
상기한 슬라이딩 유니트(200S)의 구성에 의해, 복층의 도어 유니트들(310, 320)은 층별로 단독 개폐되거나 동시에 결합 개폐될 수 있다.
또한, 상기한 개폐 장치(200)는 개폐를 위하여 힌지(200H)를 구비한다.
도 7 내지 도 9의 실시예에서, 힌지(200H)는 복층의 도어 유니트들(310, 320)과 각 층에 대응하는 슬라이딩 유니트들(200S) 사이에 구성된다. 상기한 구성에 의해 개폐 장치(200) 즉 도어 모듈(300)은 슬라이딩 유니트(200S)과 힌지 결합된다.
상기한 힌지(200H)는 제작자에 의해 다양하게 구성될 수 있으나, 구체적인 실시예는 도 8의 8A를 참조하여 이해될 수 있다.
힌지(200H)는 링커(500)와 커플러들(302, 402)을 구비할 수 있다. 이 중, 커플러(302)는 도어 유니트(310)의 입구(110)를 마주하는 일측 모서리에 결합되며 수직의 관통구를 가지며, 커플러(402)는 슬라이딩 유니트(200S)의 단부에 결합되며 수직의 관통구를 갖는다. 그리고, 링커(500)는 커플러들(302, 402) 사이에 배치되며, 커플러들(302, 402)의 관통구들과 마주하는 관통구를 갖는다. 링커(500)와 커플러들(302, 402)은 마주하는 관통구들을 관통하는 핀에 의해 결합된다.
상기한 힌지(200H)는 도어 유니트들(310, 320)의 회전을 보장할 수 있으며, 도어 유니트들(310, 320)의 회전 개폐를 위한 회전축을 제공한다.
도 7 내지 도 9의 실시예에서 힌지(200H)는 슬라이딩 유니트(200S)의 단부에 구성된 것으로 예시되었다. 그러나, 힌지 결합은 도 1 및 도 2와 같이 도어 유니트들(310, 320)이 프론트 프레임(100)의 입구(110)의 일측과 결합되도록 구성될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예는 도어 유니트들(310, 320)의 결합 개폐와 단독 개폐를 선택하기 위하여 락 장치(600)를 구비할 수 있다.
락 장치(600)는 상하로 마주하는 도어 유니트들(310, 320) 간의 체결 상태를 락 또는 언락하기 위한 구성을 가질 수 있다.
예시적으로 락 장치(600)는 일측의 도어 유니트에 구성되며 핀이 인출 및 수납되는 제1 박스 및 타측의 도어 유니트에 구성되며 핀이 삽입되는 관통공을 갖는 제2 박스를 구비할 수 있다. 그리고, 락과 언락을 선택하기 위한 버턴(도시되지 않음)은 일측의 도어 유니트에 구성될 수 있다.
이 경우, 제1 박스의 핀이 인출되어 타측의 도어 유니트의 제2 박스에 삽입되면, 도어 유니트들(310, 320)이 결합되는 락 상태로 설정될 수 있고, 제1 박스의 핀이 타측의 도어 유니트의 제2 박스에 삽입되는 것이 해제되면, 도어 유니트들(310, 320)이 결합되지 않은 언락 상태로 설정될 수 있다.
언락 상태에서, 도어 유니트들(310, 320)은 슬라이딩 유니트(200S)에 의한 슬라이딩 및 힌지(200H)에 의한 회전이 단독으로 가능하다. 즉, 락 장치(600)의 언락에 의해서 도어 유니트들(310, 320)의 단독 개폐가 가능하다.
이와 반대로, 락 상태에서, 도어 유니트들(310, 320)은 슬라이딩 유니트(200S)에 의한 슬라이딩 및 힌지(200H)에 의한 회전이 결합된 상태에서 가능하다. 즉, 락 장치(600)의 락에 의해서 도어 유니트들(310, 320)의 결합 개폐가 가능하다.
상술한 도 7 내지 도 9의 실시예는 개폐 장치(200)의 도어 유니트들(310, 320)를 회전한 후 슬라이딩함으로써 프론트 프레임(100)의 입구(110)를 열 수 있다.
그러므로, 본 발명에 의하면 프론트 프레임(100)의 내부 공간에 대한 유지 관리 작업을 위한 충분한 공간이 확보될 수 있고, 높은 위치의 도어 유니트에 대한 접근성이 양호하게 제공될 수 있다.
그리고, 개폐 장치(200)에 포함되는 복층의 도어 유니트들(310, 320)의 일체형 모듈은 도어 모듈(300)로 미리 조립될 수 있다. 그러므로, 모듈화된 개폐 장치는 현장에서 프론트 프레임과 쉽게 조립될 수 있다.
그러므로, 본 발명에 의하면 풉 스테이션의 현장 조립성이 개선될 수 있다.

Claims (8)

  1. 웨이퍼를 저장하는 풉(Foup)의 출입을 위한 입구가 정면에 형성된 풉 스테이션에 있어서,
    상기 풉이 수납되는 거치대를 각각 갖는 제1 도어 유니트 및 제2 도어 유니트가 적층된 개폐 장치;를 구비하고,
    상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트가 각각 단독적, 또는 결합적으로 상기 입구로부터 이탈함에 의해 상기 입구가 부분적 또는 전체적으로 개폐되되,
    상기 제1 도어 유니트와 상기 제2 도어 유니트를 결합 또는 분리하는 락 장치를 더 구비하며,
    상기 락 장치의 락 상태에 따라 단독 개폐 또는 결합 개폐가 선택되는 풉 스테이션.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트는 상기 입구의 일측과 힌지 결합되며, 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트의 회전에 의해서 상기 입구가 개폐되는 풉 스테이션.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 입구에 대하여 전진 또는 후진하는 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트의 슬라이딩에 의해서 상기 입구가 개폐되는 풉 스테이션.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트는 상기 입구의 일측과 슬라이딩 유니트를 통해 결합되며,
    상기 슬라이딩 유니트는 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트가 상기 입구에 대해 전진 또는 후진하는 것을 가이드하는 풉 스테이션.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트는 상기 입구의 양측과 각각 슬라이딩 유니트를 통해 결합되며,
    상기 슬라이딩 유니트는 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트가 상기 입구에 대해 전진 또는 후진하는 것을 가이드하는 풉 스테이션.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 입구에 대하여 전진 또는 후진하는 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트의 슬라이딩; 및
    상기 입구의 일측과 힌지 결합에 의한 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트의 회전;의 조합에 의해서 상기 입구가 개폐되는 풉 스테이션.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트는 슬라이딩 유니트와 힌지 결합되고 상기 입구의 일측과 상기 슬라이딩 유니트를 통해 결합되며,
    상기 슬라이딩 유니트는 상기 제1 도어 유니트 및 상기 제2 도어 유니트가 상기 입구에 대해 전진 또는 후진하는 것을 가이드하는 풉 스테이션.
  8. 삭제
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