KR102627904B1 - 슬라이딩 부품 - Google Patents

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Abstract

피밀봉 유체를 슬라이딩면 사이에 있어서의 누설측까지 공급하여 높은 윤활성을 발휘함과 동시에 피밀봉 유체의 누설이 적은 슬라이딩 부품을 제공한다. 회전 기계의 상대 회전하는 개소에 배치되는 환상(環狀)의 슬라이딩 부품(10)으로서, 슬라이딩 부품(10)의 슬라이딩면(11)에는, 누설측과 연통하는 심구부(深溝部; 15)와, 당해 심구부(15)와 연통하고 둘레 방향으로 병렬되어 연설(延設)되는 복수의 천구부(淺溝部; 9A)로 구성되는 동압 발생 기구(14)가 복수 마련되어 있다.

Description

슬라이딩 부품
본 발명은, 상대 회전하는 슬라이딩 부품에 관한 것으로, 예를 들면 자동차, 일반 산업 기계, 혹은 그 외의 시일 분야의 회전 기계의 회전축을 축봉하는 축봉 장치에 사용되는 슬라이딩 부품, 또는 자동차, 일반 산업 기계, 혹은 그 외의 베어링 분야의 기계의 베어링에 사용되는 슬라이딩 부품에 관한 것이다.
피밀봉 액체의 누설을 방지하는 축봉 장치로서, 예를 들면 메커니컬 시일은 상대 회전하고 슬라이딩면끼리가 슬라이딩하는 한 쌍의 환상(環狀)의 슬라이딩 부품을 구비하고 있다. 이러한 메커니컬 시일에 있어서, 최근에 있어서는 환경 대책 등의 이유 때문에 슬라이딩에 의해 상실되는 에너지의 저감이 요망되고 있어, 슬라이딩 부품의 슬라이딩면에 고압의 피밀봉 액체측인 외경측과 연통함과 동시에 슬라이딩면에 있어서 일단이 폐색하는 정압 발생홈을 마련하고 있다. 이에 의하면, 슬라이딩 부품의 상대 회전시에는, 정압 발생홈에 정압이 발생하여 슬라이딩면끼리가 이간함과 동시에, 정압 발생홈에는 피밀봉 액체가 외경측으로부터 도입되고 피밀봉 액체를 보지(保持)함으로써 윤활성이 향상되어, 저마찰화를 실현하고 있다.
또한, 메커니컬 시일은, 밀봉성을 장기적으로 유지시키기 위해서는, 「윤활」에 더하여 「밀봉」이라는 조건이 요구되고 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에 나타나는 메커니컬 시일은, 한쪽의 슬라이딩 부품에 있어서, 피밀봉 액체측과 연통하는 레일리 스텝 및 역(逆)레일리 스텝이 마련되어 있다. 이에 의하면, 슬라이딩 부품의 상대 회전시에는, 레일리 스텝에 의해 슬라이딩면 사이에 정압이 발생하여 슬라이딩면끼리가 이간함과 동시에, 레일리 스텝이 피밀봉 액체를 보지함으로써 윤활성이 향상된다. 한편, 역레일리 스텝에서는 상대적으로 부압이 발생함과 동시에 역레일리 스텝은 레일리 스텝보다도 누설측에 배치되어 있기 때문에, 레일리 스텝으로부터 슬라이딩면 사이로 유출된 고압의 피밀봉 액체를 역레일리 스텝으로 흡입할 수 있다. 이와 같이 하여, 한 쌍의 슬라이딩 부품 사이의 피밀봉 액체가 누설측으로 누설되는 것을 방지하여 밀봉성을 향상시키고 있었다.
국제공개공보 제2012/046749호(14-16페이지, 도 1)
그러나, 특허문헌 1에 있어서는, 역레일리 스텝에서 피밀봉 액체를 피밀봉 액체측으로 되돌리는 구조이기 때문에, 슬라이딩면 사이에 있어서의 누설측에 피밀봉 액체가 공급되지 않아, 윤활성에 기여하지 않는 부분이 발생할 우려가 있어, 보다 윤활성이 높은 슬라이딩 부품이 요구되고 있었다.
본 발명은, 이러한 문제점에 착목하여 이루어진 것으로, 피밀봉 유체를 슬라이딩면 사이에 있어서의 누설측까지 공급하여 높은 윤활성을 발휘함과 동시에, 피밀봉 유체의 누설이 적은 슬라이딩 부품을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 슬라이딩 부품은,
회전 기계의 상대 회전하는 개소에 배치되는 환상의 슬라이딩 부품으로서,
상기 슬라이딩 부품의 슬라이딩면에는, 누설측과 연통하는 심구부(深溝部)와, 당해 심구부와 연통하고 둘레 방향으로 병렬되어 연설(延設)되는 복수의 천구부(淺溝部)로 구성되는 동압 발생 기구가 복수 마련되어 있다.
이에 의하면, 심구부는 홈의 깊이가 깊고 용적이 크기 때문에, 슬라이딩면의 누설측까지 공급된 많은 양의 피밀봉 유체를 회수하여 천구부로부터 피밀봉 유체를 슬라이딩면 사이로 유출시킬 수 있기 때문에, 슬라이딩면의 넓은 면적에 있어서 윤활성을 향상시킬 수 있다. 또한, 누설측과 연통하는 심구부에 의해 피밀봉 유체를 회수하고, 회수한 피밀봉 유체를 천구부로부터 슬라이딩면 사이로 유출시켜 일부를 지름 방향 피밀봉 유체측으로 되돌리기 때문에, 누설측으로 누설되는 피밀봉 유체가 적다. 게다가, 병렬하는 복수의 천구부에 있어서, 피밀봉 유체측의 천구부로부터 유출되는 피밀봉 유체를 누설측에 병렬 배치되는 천구부에 의해 포집할 수 있기 때문에, 윤활성을 보다 향상시킴과 동시에, 누설측으로 누설되는 피밀봉 유체를 보다 적게 할 수 있다.
상기 천구부가 피밀봉 유체측을 향하여 연장되어 있어도 좋다.
이에 의하면, 천구부의 연설 방향 단부에 있어서의 동압에 의해 고압이 발생하는 고압부를 피밀봉 유체측에 가깝게 하여 배치할 수 있고, 천구부의 연설 방향 단부로부터 피밀봉 유체를 슬라이딩면 사이의 피밀봉 유체측에 가깝게 한 위치로 되돌릴 수 있다.
상기 천구부는, 둘레 방향으로 만곡하고 있어도 좋다.
이에 의하면, 천구부의 곡률에 따라 동압을 조정할 수 있다. 또한, 천구부의 연설 방향 단부까지의 거리를 길게 할 수 있기 때문에, 큰 압력을 얻을 수 있다.
상기 동압 발생 기구는, 누설측과 직접 연통하고 상기 천구부의 누설측에서 병렬되어 둘레 방향으로 연장되는 상기 천구부와는 독립된 서브 천구부를 가지고 있어도 좋다.
이에 의하면, 심구부와 연통하는 복수의 천구부에 있어서, 연설 방향 단부로부터 유출되는 피밀봉 유체를 누설측의 서브 천구부에 의해 추가로 포집할 수 있기 때문에, 누설측으로 누설되는 피밀봉 유체를 더욱 적게 할 수 있다. 또한, 심구부와 연통하지 않는 서브 천구부에 대한 피밀봉 유체의 도입량을 늘릴 수 있기 때문에, 동압 발생 기구의 유효 범위를 넓힐 수 있다.
상기 천구부는, 상기 심구부로부터 둘레 방향 양측으로 연장되어 있어도 좋다.
이에 의하면, 심구부의 둘레 방향의 어느 한쪽에 배치되는 천구부를 동압 발생용의 천구부로서 이용할 수 있기 때문에, 슬라이딩 부품의 회전 방향에 한정되지 않고 사용할 수 있다.
상기 심구부는 내경측과 연통하고 있어도 좋다.
이에 의하면, 천구부로부터 슬라이딩면 사이에 공급된 피밀봉 유체를 원심력에 의해 피밀봉 유체측으로 되돌릴 수 있음과 동시에, 원심력에 의해 심구부 내에 피밀봉 유체를 보지하기 쉽다.
상기 슬라이딩 부품의 슬라이딩면에는, 상기 동압 발생 기구보다도 피밀봉 유체측으로 배치되어 상기 동압 발생 기구와는 독립되는 특정 동압 발생 기구를 구비하고 있어도 좋다.
이에 의하면, 슬라이딩 부품의 상대 회전시에, 특정 동압 발생 기구에 의해 슬라이딩면 사이를 이간시켜 슬라이딩면 사이에 적당한 유체막을 생성하면서, 동압 발생 기구에 의해 피밀봉 유체의 누설측으로의 누설을 저감할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 슬라이딩 부품의 천구부가 둘레 방향으로 연설되어 있다는 것은, 천구부가 적어도 둘레 방향의 성분을 가지고 연설되어 있으면 좋고, 바람직하게는 지름 방향보다도 둘레 방향을 따른 성분이 커지도록 연설되어 있으면 좋다. 또한 심구부가 지름 방향으로 연장되어 있다는 것은, 심구부가 적어도 지름 방향의 성분을 가지고 연설되어 있으면 좋고, 바람직하게는 둘레 방향보다도 지름 방향을 따른 성분이 커지도록 연설되어 있으면 좋다.
또한, 피밀봉 유체는, 액체라도 좋고, 액체와 기체가 혼합된 미스트 상태라도 좋다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 있어서의 메커니컬 시일의 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 2는 정지 밀봉환의 슬라이딩면을 축방향으로부터 본 도면이다.
도 3은 A-A 단면도이다.
도 4는 정지 밀봉환의 슬라이딩면에 있어서의 요부(要部) 확대도이다.
도 5의 (a)~(c)는 상대 회전 초기에 액체 유도홈부의 내경측으로부터 흡입된 피밀봉 액체가 슬라이딩면 사이로 유출되는 동작을 설명하는 개략도이다.
도 6은 상대 회전 초기에 액체 유도홈부의 내경측으로부터 흡입된 피밀봉 액체가 슬라이딩면 사이로 유출되는 동작을 설명하는 개략도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 2에 있어서의 정지 밀봉환의 슬라이딩면을 축방향으로부터 본 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예 3에 있어서의 정지 밀봉환의 슬라이딩면을 축방향으로부터 본 도면이다.
도 9의 (a)는 본 발명의 변형예 1을 나타내는 설명도, (b)는 본 발명의 변형예 2를 나타내는 설명도이다.
도 10은 본 발명의 실시예 4에 있어서의 정지 밀봉환의 슬라이딩면을 축방향으로부터 본 도면이다.
본 발명에 따른 슬라이딩 부품을 실시하기 위한 형태를 실시예에 기초하여 이하에 설명한다.
실시예 1
실시예 1에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한다. 또한, 본 실시예에 있어서는, 슬라이딩 부품이 메커니컬 시일인 형태를 예로 들어 설명한다. 또한, 메커니컬 시일을 구성하는 슬라이딩 부품의 외경측을 피밀봉 유체측으로서의 피밀봉 액체측(고압측), 내경측을 누설측으로서의 대기측(저압측)으로 하여 설명한다. 또한, 설명의 편의상, 도면에 있어서, 슬라이딩면에 형성되는 홈 등에 도트를 부여하는 경우도 있다.
도 1에 나타나는 일반 산업 기계용의 메커니컬 시일은, 슬라이딩면의 외경측으로부터 내경측을 향하여 누설되려고 하는 피밀봉 액체(F)를 밀봉하는 인사이드형의 시일이며, 회전축(1)에 슬리브(2)를 통하여 회전축(1)과 일체적으로 회전 가능한 상태로 마련된 원환상의 슬라이딩 부품인 회전 밀봉환(20)과, 피장착 기기의 하우징(4)에 고정된 시일 커버(5)에 비회전 상태 또한 축방향 이동 가능한 상태로 마련된 슬라이딩 부품으로서의 원환상의 정지 밀봉환(10)으로 주로 구성되고, 벨로우즈(7)에 의해 정지 밀봉환(10)이 축방향으로 부세(付勢)됨으로써, 정지 밀봉환(10)의 슬라이딩면(11)과 회전 밀봉환(20)의 슬라이딩면(21)이 서로 밀접 슬라이딩하도록 되어 있다. 또한, 회전 밀봉환(20)의 슬라이딩면(21)은 평탄면으로 되어 있고, 이 평탄면에는 오목부가 마련되어 있지 않다.
정지 밀봉환(10) 및 회전 밀봉환(20)은, 대표적으로는 SiC(경질 재료)끼리 또는 SiC(경질 재료)와 카본(연질 재료)의 조합으로 형성되지만, 이에 한정하지 않고, 슬라이딩 재료는 메커니컬 시일용 슬라이딩 재료로서 사용되고 있는 것이라면 적용 가능하다. 또한, SiC로서는, 보론, 알루미늄, 카본 등을 소결 조제로 한 소결체를 비롯하여, 성분, 조성이 상이한 2종류 이상의 상으로 이루어지는 재료, 예를 들면, 흑연 입자가 분산된 SiC, SiC와 Si로 이루어지는 반응 소결 SiC, SiC-TiC, SiC-TiN 등이 있고, 카본으로서는, 탄소질과 흑연질이 혼합된 카본을 비롯하여, 수지 성형 카본, 소결 카본 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기 슬라이딩 재료 이외로는, 금속 재료, 수지 재료, 표면 개질 재료(코팅 재료), 복합 재료 등도 적용 가능하다.
도 2에 나타나는 바와 같이, 정지 밀봉환(10)에 대하여 회전 밀봉환(20)이 화살표로 나타내는 바와 같이 상대 슬라이딩하도록 되어 있고, 정지 밀봉환(10)의 슬라이딩면(11)에는 복수의 동압 발생 기구(14)가 정지 밀봉환(10)의 둘레 방향으로 균등하게 배설(配設)되어 있다. 슬라이딩면(11)의 동압 발생 기구(14) 이외의 부분은 평탄면을 이루는 랜드(12)로 되어 있다.
다음으로, 동압 발생 기구(14)의 개략에 대해서 도 2~도 4에 기초하여 설명한다. 또한, 이하, 정지 밀봉환(10) 및 회전 밀봉환(20)이 상대적으로 회전했을 때에, 도 4의 지면(紙面) 좌측을 후술하는 스파이럴홈(9A, 9B) 내를 흐르는 피밀봉 액체(F)의 하류측으로 하고, 도 4의 지면 우측을 스파이럴홈(9A, 9B) 내를 흐르는 피밀봉 액체(F)의 상류측으로 하여 설명한다.
동압 발생 기구(14)는, 대기측과 연통하고 외경 방향으로 연장되는 심구부로서의 액체 유도홈부(15)와, 액체 유도홈부(15)로부터 하류측을 향하여 둘레 방향으로 병렬되어 연장되는 천구부로서의 복수의 스파이럴홈(9A)과, 스파이럴홈(9A)의 내경측에 있어서 대기측과 연통하고 스파이럴홈(9A)과 둘레 방향으로 병렬되어 연장되는, 스파이럴홈(9A)과는 독립된 서브 천구부로서의 복수의 스파이럴홈(9B)을 구비하고 있다. 또한, 본 실시예 1의 액체 유도홈부(15)는, 정지 밀봉환(10)의 축과 직교하도록 지름 방향으로 연장되어 있다. 또한, 본 실시예 1의 4개의 스파이럴홈(9A)과 5개의 스파이럴홈(9B)은, 액체 유도홈부(15)로부터 하류측을 향하여 액체 유도홈부(15)의 지름 방향의 폭과 동일한 폭으로 정지 밀봉환(10)과 동심 형상으로 둘레 방향으로 연장되는 띠 형상의 영역 내에 있어서 등간격으로 병렬되어 있다. 또한, 액체 유도홈부(15)와 스파이럴홈(9A)은 연통하고 있고, 연통 부분에는 깊이 방향의 단차(18)가 형성되어 있다.
또한, 스파이럴홈(9A, 9B)은, 연설 방향 단부, 즉 하류측의 단부에 끝이 가늘어지는 형상을 이루는 벽부(9a)가 형성되어 있다. 또한, 벽부(9a)는, 끝이 가늘어지는 형상에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 회전 방향에 대하여 직교 또는 경사져 있어도 좋고, 계단 형상으로 형성되어 있어도 좋다.
또한, 액체 유도홈부(15)의 깊이 치수(L10)는, 스파이럴홈(9A)의 깊이 치수(L20)보다도 깊게 되어 있다(L10>L20). 구체적으로는, 본 실시예 1에 있어서의 액체 유도홈부(15)의 깊이 치수(L10)는, 100μm로 형성되어 있고, 스파이럴홈(9A)의 깊이 치수(L20)는, 5μm로 형성되어 있다. 즉, 액체 유도홈부(15)와 스파이럴홈(9A) 사이에는, 액체 유도홈부(15)에 있어서의 하류측의 측면과 스파이럴홈(9A)의 바닥면에 의해 깊이 방향의 단차(18)가 형성되어 있다. 또한, 액체 유도홈부(15)의 깊이 치수가 스파이럴홈(9A)의 깊이 치수보다도 깊게 형성되어 있으면, 액체 유도홈부(15) 및 스파이럴홈(9A)의 깊이 치수는 자유롭게 변경할 수 있고, 바람직하게는 치수(L10)는 치수(L20)의 5배 이상이다. 또한, 설명의 편의상, 도시를 생략하지만, 스파이럴홈(9B)은, 스파이럴홈(9A)과 동일한 깊이 치수(L20)(5μm)로 형성되어 있다.
또한, 스파이럴홈(9A, 9B)의 바닥면은 평탄면을 이루어 랜드(12)에 평행하게 형성되어 있지만, 평탄면에 미세 오목부를 마련하는 것이나 랜드(12)에 대하여 경사지게 형성하는 것도 무방하다. 또한, 스파이럴홈(9A, 9B)의 둘레 방향으로 연장되는 2개의 원호 형상의 면은 각각 스파이럴홈(9A, 9B)의 바닥면과 직교하고 있다. 또한, 액체 유도홈부(15)의 바닥면은 평탄면을 이루어 랜드(12)에 평행하게 형성되어 있지만, 평탄면에 미세 오목부를 마련하는 것이나 랜드(12)에 대하여 경사지게 형성하는 것도 무방하다. 또한, 액체 유도홈부(15)의 지름 방향으로 연장되는 2개의 평면은 각각 액체 유도홈부(15)의 바닥면과 직교하고 있다.
이어서, 정지 밀봉환(10)과 회전 밀봉환(20)의 상대 회전시의 동작에 대하여 설명한다. 우선, 회전 밀봉환(20)이 회전하고 있지 않는 일반 산업 기계의 비가동시에는, 슬라이딩면(11, 21) 사이에는 슬라이딩면(11, 21)보다도 외경측의 피밀봉 액체(F)가 모세관 현상에 의해 근소하게 진입하고 있음과 동시에, 동압 발생 기구(14)에는 일반 산업 기계의 정지시에 남아 있었던 피밀봉 액체(F)와 슬라이딩면(11, 21)보다도 내경측으로부터 진입한 대기가 혼재된 상태로 되어 있다. 또한, 피밀봉 액체(F)는 기체와 비교하여 점도가 높기 때문에, 일반 산업 기계의 정지시에 동압 발생 기구(14)로부터 저압측으로 누출되는 양은 적다.
일반 산업 기계의 정지시에 동압 발생 기구(14)에 피밀봉 액체(F)가 거의 남아 있지 않은 경우에는, 회전 밀봉환(20)이 정지 밀봉환(10)에 대하여 상대 회전(도 2의 검은색 화살표 참조)하면, 도 4 에 나타나는 바와 같이, 대기측의 저압측 유체(A)가 화살표(L1)로 나타내는 바와 같이 액체 유도홈부(15)로부터 도입됨과 동시에, 스파이럴홈(9A)에 의해 저압측 유체(A)가 회전 밀봉환(20)의 회전 방향으로 화살표(L2)로 나타내는 바와 같이 추종 이동하기 때문에, 스파이럴홈(9A) 내에 동압이 발생하게 된다. 또한, 화살표(L4)로 나타내는 바와 같이, 스파이럴홈(9B)의 저압측의 개구로부터도 대기측의 저압측 유체(A)가 도입되어, 스파이럴홈(9B)에 의해 저압측 유체(A)가 회전 밀봉환(20)의 회전 방향으로 화살표(L5)로 나타내는 바와 같이 추종 이동하기 때문에, 스파이럴홈(9B) 내에도 동압이 발생하게 된다.
스파이럴홈(9A, 9B)의 하류측 단부인 벽부(9a) 근방이 가장 압력이 높아져, 저압측 유체(A)는 화살표(L3, L6)에 나타내는 바와 같이 벽부(9a) 근방으로부터 그 주변으로 유출된다. 또한, 스파이럴홈(9A, 9B)의 상류측을 향함에 따라 점차 압력이 낮아져 있다.
또한, 정지 밀봉환(10)과 회전 밀봉환(20)의 상대 회전시에는, 슬라이딩면(11, 21) 사이에 그들의 외경측으로부터 고압의 피밀봉 액체(F)가 수시 유입되고 있어, 소위 유체 윤활을 이루도록 되어 있다. 이때, 스파이럴홈(9A, 9B) 근방의 피밀봉 액체(F)는, 전술한 바와 같이 스파이럴홈(9A, 9B)의 특히 하류측은 고압으로 되어 있기 때문에, 화살표(H1)로 나타내는 바와 같이, 랜드(12)에 위치한 채로, 스파이럴홈(9A, 9B)에는 거의 진입하지 않는다. 한편, 액체 유도홈부(15) 근방의 피밀봉 액체(F)는, 액체 유도홈부(15)가 심구부이며 또한 저압측과 연통하고 있는 점에서, 화살표(H2)에 나타내는 바와 같이, 액체 유도홈부(15)에 진입하기 쉽게 있다. 게다가, 피밀봉 액체(F)는 액체이며 표면 장력이 큰 점에서, 액체 유도홈부(15)의 측벽면을 따라 이동하여 액체 유도홈부(15)에 진입하기 쉽게 되어 있다. 또한, 설명의 편의상, 화살표(H1)는 최외경의 스파이럴홈(9A)에 대해서만 도시하고 있다.
또한, 화살표(L3)에 나타내는 바와 같이, 저압측 유체(A)가 고압측의 스파이럴홈(9A)의 하류측 단부인 벽부(9a) 근방으로부터 그 주변으로 유출됨으로써, 저압측에 병렬 배치되는 스파이럴홈(9A)과의 사이에서 랜드(12)에 위치하고 있었던 피밀봉 액체(F)의 일부가 밀려, 고압측의 스파이럴홈(9A)의 벽부(9a)의 주변까지 병렬되어 연설되는 저압측의 스파이럴홈(9A)으로 진입하도록 되어 있다. 또한, 이러한 저압측 유체(A)에 의한 피밀봉 액체(F)의 압입은, 도 4에 나타나는 병렬하고 있는 스파이럴홈(9A, 9A) 사이에 한정되는 것은 아니고, 화살표(L3, L6)에 나타내는 바와 같이, 각 스파이럴홈(9A, 9B)의 벽부(9a)로부터 그 근방으로 유출되는 저압측 유체(A)에 의해 다른 병렬하는 스파이럴홈(9A, 9B) 사이 또는 스파이럴홈(9B, 9B) 사이에 있어서도 동일하게 행해진다.
이어서, 액체 유도홈부(15)에 흡입된 피밀봉 액체(F)가 슬라이딩면(11, 21) 사이로 유출되는 동작을 설명한다.
동압 발생 기구(14)에 피밀봉 액체(F)가 거의 남아 있지 않은 경우에, 회전 밀봉환(20)이 정지 밀봉환(10)에 대하여 상대 회전(도 2의 검은색 화살표 참조)하면, 도 5(a)에 나타나는 바와 같이, 액체 유도홈부(15)에 진입한 피밀봉 액체(F)는, 부호(H3)에 나타내는 바와 같이, 괴상(塊狀)의 액적이 된다. 그 후, 도 5(b)에 나타나는 바와 같이, 액적이 어느 정도의 체적이 되면, 부호(H4)에 나타내는 바와 같이, 스파이럴홈(9A, 9A')의 상류측에 형성된 상대적으로 낮은 압력에 의해 스파이럴홈(9A, 9A')에 인입된다. 동시에, 새롭게 액체 유도홈부(15)에 피밀봉 액체(F)가 진입하여, 액적(H3')이 된다. 이때, 액체 유도홈부(15)에는, 도 5(a)에 있어서의 상대 회전의 초기 상태보다도 많은 피밀봉 액체(F)가 진입한다.
그 후, 도 5(c)에 나타나는 바와 같이, 스파이럴홈(9A, 9A')에 인입된 피밀봉 액체(F)는 회전 밀봉환(20)으로부터 큰 전단력을 받아, 압력이 높아지면서 스파이럴홈(9A, 9A') 내를 하류측으로 이동하여, 화살표(H5)로 나타내는 바와 같이 벽부(9a) 근방으로부터 그 주변으로 유출된다. 또한, 벽부(9a) 근방으로부터 그 주변으로 유출된 피밀봉 액체(F)의 일부는, 화살표(H6)로 나타내는 바와 같이 저압측에 병렬 배치되는 스파이럴홈(9A)과의 사이에서 랜드(12)에 위치하고 있었던 피밀봉 액체(F)의 일부와 함께 저압측의 스파이럴홈(9A)에 진입한다. 동시에, 새롭게 액체 유도홈부(15)에 피밀봉 액체(F)가 진입하여, 액적(H3")이 됨과 동시에, 액적(H3')이 부호(H4')로 나타내는 바와 같이, 각 스파이럴홈(9A)에 인입된다. 또한, 스파이럴홈(9B)의 개구로부터도 피밀봉 액체(F)가 진입하여, 액적(H7)이 된다. 또한, 스파이럴홈(9B)의 개구측으로부터 진입하는 피밀봉 액체(F)는 소량이기 때문에, 액적(H7)은 액적(H4)과 비교하면 작은 덩어리이다.
도 6에 나타나는 바와 같이, 스파이럴홈(9A, 9A')에 인입된 피밀봉 액체(F)는 스파이럴홈(9A, 9A') 내를 하류측으로 이동하고, 화살표(H5')로 나타내는 바와 같이 벽부(9a) 근방으로부터 그 주변으로 유출된다. 또한, 벽부(9a) 근방으로부터 그 주변으로 유출된 피밀봉 액체(F)의 일부는, 화살표(H6)로 나타내는 바와 같이 저압측에 병렬 배치되는 스파이럴홈(9A, 9A') 또는 스파이럴홈(9B)과의 사이에서 랜드(12)에 위치하고 있었던 피밀봉 액체(F)의 일부와 함께 저압측의 스파이럴홈(9A, 9A') 또는 스파이럴홈(9B)으로 진입한다. 동시에, 액체 유도홈부(15)에 피밀봉 액체(F)가 추가로 진입하여, 액적(H3"')이 됨과 동시에, 액적(H3")이 부호(H4")로 나타내는 바와 같이, 각 스파이럴홈(9A)에 인입된다.
그 후, 도 6에 나타나는 상태보다도 액체 유도홈부(15)에 진입하는 피밀봉 액체(F)의 양이 증가하여, 각 스파이럴홈(9A)으로부터 연속적으로 피밀봉 액체(F)가 슬라이딩면(11, 21) 사이로 유출되는 정상(定常) 상태가 된다. 정상 상태에서는, 슬라이딩면(11, 21) 사이에 그들의 외경측이나 스파이럴홈(9A, 9B)으로부터 고압의 피밀봉 액체(F)가 수시 유입되고 있어, 전술한 바와 같이 유체 윤활로 되어 있다. 또한, 도 5(a), (b), (c)를 거쳐 정상 상태가 될 때까지는 과도적인 짧은 시간이다. 또한, 일반 산업 기계의 정지시에 동압 발생 기구(14)에 피밀봉 액체(F)가 남아 있는 경우에는, 동압 발생 기구(14)에 피밀봉 액체(F)가 잔존하고 있는 양에 따라, 도 5(a)의 상태, 도 5(b)의 상태, 도 5(c)의 상태, 정상 상태 중 어느 것으로부터 동작이 개시되는 것이 된다.
여기에서, 액체 유도홈부(15)가 심구부이며 또한 저압측과 연통하고 있는 점에서, 화살표(H5)로 나타내는 피밀봉 액체(F)는, 인접하는 액체 유도홈부(15) 내로 인입되기 쉽게 되어 있고, 슬라이딩면(11, 21) 사이의 피밀봉 액체(F)의 양이 안정되어, 높은 윤활성을 유지할 수 있도록 되어 있다. 또한, 스파이럴홈(9B)은 개구측까지 동일한 깊이의 얕은 홈이기 때문에, 정상 상태에 있어서도, 액체 유도홈부(15)에 비하여 스파이럴홈(9B)의 개구측으로부터 진입하는 피밀봉 액체(F)의 양이 크게 증가하는 일은 없다. 또한, 고체에 대한 계면 장력은 기체보다도 액체 쪽이 크기 때문에, 슬라이딩면(11, 21) 사이에는 피밀봉 액체(F)가 보지되기 쉽고 대기는 정지 밀봉환(10), 회전 밀봉환(20)보다도 내경측으로 배출되기 쉽다.
이상과 같이, 정지 밀봉환(10)과 회전 밀봉환(20)의 상대 회전시에 있어서, 스파이럴홈(9A)에는, 액체 유도홈부(15)에 진입한 피밀봉 액체(F)를 인입하여 동압이 발생하고 있다. 액체 유도홈부(15)는 홈의 깊이가 깊고 용적이 크기 때문에, 슬라이딩면(11)의 저압측까지 피밀봉 액체(F)를 공급해도, 피밀봉 액체(F)를 회수하여 스파이럴홈(9A)에 의해 슬라이딩면(11, 21) 사이로 되돌릴 수 있기 때문에, 슬라이딩면(11)의 넓은 면적에 있어서 윤활성을 향상시킬 수 있다. 또한, 슬라이딩면(11, 21)보다도 내경측의 저압측과 연통하는 액체 유도홈부(15)에 의해 피밀봉 액체(F)를 회수하여, 회수한 피밀봉 액체(F)를 스파이럴홈(9A)으로부터 슬라이딩면(11, 21) 사이로 유출시켜 일부를 고압측으로 되돌리기 때문에, 저압측으로 누설되는 피밀봉 액체(F)가 적다. 또한, 스파이럴홈(9A)의 하류측 단부가 끝이 가늘어지는 형상임으로써, 스파이럴홈(9A)의 벽부(9a)로부터 슬라이딩면(11, 21) 사이로 되돌려지는 피밀봉 액체(F)의 유량이 확보되기 쉬워지기 때문에, 동압을 안정적으로 발생시킬 수 있다. 게다가, 병렬하는 복수의 스파이럴홈(9A)에 있어서, 고압측의 스파이럴홈(9A)의 벽부(9a) 근방으로부터 주변으로 유출되는 피밀봉 액체(F)를 저압측에 병렬 배치되는 스파이럴홈(9A)에 의해 포집할 수 있기 때문에, 윤활성을 보다 향상시킴과 동시에, 저압측으로 누설되는 피밀봉 액체(F)를 보다 적게 할 수 있다.
또한, 액체 유도홈부(15)와 연통하는 복수의 스파이럴홈(9A)의 벽부(9a) 근방으로부터 주변으로 유출되는 피밀봉 액체(F)를 저압측의 스파이럴홈(9B)에 의해 추가로 포집할 수 있기 때문에, 저압측으로 누설되는 피밀봉 액체(F)를 더욱 적게 할 수 있다. 또한, 액체 유도홈부(15)와 연통하지 않는 스파이럴홈(9B)에 대한 피밀봉 액체(F)의 도입량을 늘릴 수 있기 때문에, 슬라이딩면(11)에 있어서의 동압 발생 기구(14)의 유효 범위를 넓힐 수 있다.
또한, 많은 양의 피밀봉 액체(F)가 액체 유도홈부(15)에 보지되기 때문에, 스파이럴홈(9A) 내로 인입되는 피밀봉 액체(F)의 양을 충분히 확보할 수 있음과 동시에, 액체 유도홈부(15)에 보지되는 피밀봉 액체(F)의 양이 짧은 시간에 있어서 증감해도 스파이럴홈(9A) 내로 인입되는 피밀봉 액체(F)의 양을 거의 일정하게 할 수 있어, 슬라이딩면(11, 21)이 빈(貧)윤활이 되는 것을 회피할 수 있다. 또한, 액체 유도홈부(15)가 저압측과 연통하고 있기 때문에, 슬라이딩면(11, 21) 사이의 피밀봉 액체(F)의 압력에 비하여 액체 유도홈부(15) 내의 압력이 낮아져 있어, 액체 유도홈부(15)의 근방의 피밀봉 액체(F)는 액체 유도홈부(15) 내로 인입되기 쉽게 되어 있다.
또한, 스파이럴홈(9A, 9B)은, 고압측을 향하여 연장되어 있기 때문에, 스파이럴홈(9A, 9B)의 벽부(9a)에 있어서의 동압에 의한 고압부를 고압측에 가깝게 하여 배치할 수 있고, 특히 스파이럴홈(9A)에 있어서는, 액체 유도홈부(15)를 통한 흡입 능력을 높일 수 있다. 또한, 스파이럴홈(9A, 9B)의 벽부(9a)로부터 피밀봉 액체(F)를 슬라이딩면(11, 21) 사이의 고압측에 가깝게 한 위치로 되돌릴 수 있기 때문에, 피밀봉 액체(F)의 누설을 적게 할 수 있다.
또한, 스파이럴홈(9A, 9B)은, 둘레 방향으로 만곡하고 있기 때문에, 스파이럴홈(9A, 9B)의 곡률에 따라 동압을 조정할 수 있다. 또한, 스파이럴홈(9A, 9B)의 벽부(9a)까지의 거리를 길게 할 수 있기 때문에, 큰 압력을 얻을 수 있다. 또한, 스파이럴홈(9A, 9B)은, 상이한 곡률로 형성되어 있어도 좋다.
또한, 액체 유도홈부(15)는, 지름 방향으로 연장되어 있다. 구체적으로는, 액체 유도홈부(15)는, 정지 밀봉환(10)의 중심축과 직교하는 방향으로 연장되어 있기 때문에, 둘레 방향의 폭을 짧게 하여 정지 밀봉환(10)의 둘레 방향으로 많이 배치할 수 있기 때문에 설계 자유도가 높다. 또한, 액체 유도홈부(15)는, 정지 밀봉환(10)의 중심축과 직교하는 방향에 한정되지 않고, 정지 밀봉환(10)의 중심축과 직교하는 위치로부터 경사져 있어도 좋지만, 45도 미만의 경사인 것이 바람직하다. 또한, 액체 유도홈부(15)의 형상은 원호 형상 등 자유롭게 변경할 수 있다.
또한, 스파이럴홈(9A)과 액체 유도홈부(15)의 연통 부분에는, 액체 유도홈부(15)에 있어서의 하류측의 측면과 스파이럴홈(9A)의 바닥면에 의해 단차(18)가 형성되어 있기 때문에, 동압의 영향을 직접적으로 받지 않고 피밀봉 액체(F)를 액체 유도홈부(15)에 보지할 수 있다.
또한, 스파이럴홈(9A)은, 각각 지름 방향의 전폭에 걸쳐 액체 유도홈부(15)와 연통하고 있기 때문에, 스파이럴홈(9A)의 액체 유도홈부(15)로의 개구 영역을 확보할 수 있어, 액체 유도홈부(15)에 보지된 피밀봉 액체(F)를 효율적으로 빨아올릴 수 있다.
또한, 액체 유도홈부(15)는, 정지 밀봉환(10)의 내경측과 연통하고 있다. 즉, 슬라이딩 부품은, 인사이드형의 메커니컬 시일이며, 정지 밀봉환(10) 및 회전 밀봉환(20)의 상대 회전시에는, 원심력에 의해 스파이럴홈(9A) 내의 피밀봉 액체(F)를 고압측으로 되돌릴 수 있음과 동시에, 피밀봉 액체(F)의 슬라이딩면(11, 21)보다도 내경측의 저압측으로의 누설을 저감할 수 있다.
또한, 정지 밀봉환(10)에 동압 발생 기구(14)가 마련되어 있기 때문에, 정지 밀봉환(10) 및 회전 밀봉환(20)의 상대 회전시에, 액체 유도홈부(15) 내를 대기압에 가까운 상태로 유지하기 쉽다.
또한, 본 실시예 1에서는, 액체 유도홈부(15)와 스파이럴홈(9A)의 연통 부분에 단차가 마련되어 있지 않아도 좋고, 예를 들면, 액체 유도홈부(15)와 스파이럴홈(9A)이 경사면에서 연통하고 있어도 좋다. 이 경우, 예를 들면, 5μm 이하의 깊이 치수를 갖는 부분이 스파이럴홈(9A)이 되고, 5μm보다도 깊은 부분을 액체 유도홈부(15)로 할 수 있다.
또한, 스파이럴홈(9A, 9B)은, 액체 유도홈부(15)로부터 하류측을 향하여 액체 유도홈부(15)의 지름 방향의 폭과 동일한 폭으로 정지 밀봉환(10)과 동심 형상으로 둘레 방향으로 연장되는 띠 형상의 영역 내에 형성되는 형태에 한정되지 않고, 예를 들면, 원호 형상 또는 사다리꼴 형상 등 다른 형상의 영역 내에 형성되어 있어도 좋다. 또한, 스파이럴홈(9A, 9B)은, 병렬로 연장되는 것이면 등간격으로 형성되지 않아도 좋다. 또한, 스파이럴홈(9A, 9B)은, 액체 유도홈부(15)로부터 직선 형상으로 연설되도록 되어 있어도 좋고, 사행(蛇行)하여 연설되어 있어도 좋다. 또한, 스파이럴홈(9B)은 마련하지 않아도 좋다.
실시예 2
다음으로, 실시예 2에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 7을 참조하여 설명한다. 또한, 상기 실시예 1과 동일한 구성, 중복하는 구성의 설명은 생략한다.
도 7에 나타나는 바와 같이, 정지 밀봉환(101)에 마련되는 동압 발생 기구(141)는, 액체 유도홈부(115)와, 스파이럴홈(109A, 109B)과, 액체 유도홈부(115)로부터 하류측을 향하여 둘레 방향으로 병렬되어 연장되는 천구부로서의 복수의 스파이럴홈(109C)과, 스파이럴홈(109C)의 내경측에 있어서 대기측과 연통하고 스파이럴홈(109C)과 둘레 방향으로 병렬되어 연장되는 스파이럴홈(109C)과는 독립된 서브 천구부로서의 복수의 스파이럴홈(109D)을 구비하고 있다. 또한, 스파이럴홈(109C, 109D)은, 스파이럴홈(109A, 109B)과 동일한 5μm의 깊이 치수로 형성되어 있다.
도 7의 지면 반시계 방향으로 회전 밀봉환(20)이 회전하는 경우에는, 저압측 유체(A)가 화살표(L1, L2, L3 및 L4, L5, L6)의 순으로 이동하여 스파이럴홈(109A, 109B) 내에 동압이 발생한다. 또한, 도 7의 지면 시계 방향으로 회전 밀봉환(20)이 회전하는 경우에는, 저압측 유체(A)가 화살표(L1, L2', L3' 및 L4', L5', L6')의 순으로 이동하여 스파이럴홈(109C, 109D) 내에 동압이 발생한다.
이와 같이, 액체 유도홈부(115)로부터 둘레 방향 양측에 스파이럴홈(109A, 109C)이 연설되어 있기 때문에, 스파이럴홈(109A, 109C)의 어느 한쪽을 동압 발생용의 천구부로서 이용할 수 있기 때문에, 정지 밀봉환(101)과 회전 밀봉환(20)의 상대 회전 방향과 상관없이 사용할 수 있다. 또한, 스파이럴홈(109B, 109D)에 대해서도, 어느 한쪽을 동압 발생용의 서브 천구부로서 이용할 수 있기 때문에, 정지 밀봉환(101)과 회전 밀봉환(20)의 상대 회전 방향과 상관없이 사용할 수 있다.
또한, 동압 발생 기구(141)에 있어서의 하류측 단부에 형성되는 스파이럴홈(109B)은, 인접하는 동압 발생 기구(141')에 있어서의 상류측 단부에 형성되는 스파이럴홈(109D)과 둘레 방향으로 인접하고 있다. 이에 의하면, 동압 발생 기구(141)에 있어서의 하류측 단부에 형성되는 스파이럴홈(109B)의 벽부(9a) 근방으로부터 그 주변으로 유출되어, 내경측으로 이동하려고 하는 피밀봉 액체(F)가 인접하는 동압 발생 기구(141')에 있어서의 상류측 단부에 형성되는 스파이럴홈(109D)으로 흡입되기 때문에, 피밀봉 액체(F)의 저압측으로의 누설을 저감할 수 있다.
또한, 본 실시예 2에서는, 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)이 동일한 깊이 치수인 경우를 예시했지만, 상이한 깊이 치수로 형성되어 있어도 좋다. 또한, 양자는 둘레 방향 길이, 지름 방향폭에 대해서도 동일해도 상이해도 좋다.
또한, 동압 발생 기구(141)에 있어서의 하류측 단부에 형성되는 스파이럴홈(109B)과 인접하는 동압 발생 기구(141')에 있어서의 상류측 단부에 형성되는 스파이럴홈(109D)을 둘레 방향으로 긴 거리 이간시켜, 슬라이딩면(11, 21) 사이를 이간시키는 압력을 보다 높이도록 해도 좋다.
실시예 3
다음으로, 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 8을 참조하여 설명한다. 또한, 상기 실시예 2와 동일한 구성, 중복하는 구성의 설명은 생략한다.
도 8에 나타나는 바와 같이, 정지 밀봉환(102)에는, 동압 발생 기구(141)와, 특정 동압 발생 기구(16)가 복수 형성되어 있다. 특정 동압 발생 기구(16)는, 고압측과 연통하는 액체 유도홈부(161)와, 액체 유도홈부(161)의 외경측 단부로부터 하류측을 향하여 정지 밀봉환(102)과 동심 형상으로 둘레 방향으로 연장되는 레일리 스텝(17A)과, 액체 유도홈부(161)의 외경측 단부로부터 상류측을 향하여 정지 밀봉환(102)과 동심 형상으로 둘레 방향으로 연장되는 역레일리 스텝(17B)을 구비하고 있다. 액체 유도홈부(161)와 액체 유도홈부(115)는, 둘레 방향으로 대응하는 위치에 형성되어 있다. 즉, 액체 유도홈부(161)와 액체 유도홈부(115)는, 지름 방향을 따라 형성되어 있다. 또한, 액체 유도홈부(161)는, 특정 동압 발생 기구(16)의 심구부로서 기능하고 있고, 레일리 스텝(17A) 및 역레일리 스텝(17B)은, 특정 동압 발생 기구(16)의 천구부로서 기능하고 있다.
동압 발생 기구(141)의 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)은, 특정 동압 발생 기구(16)의 레일리 스텝(17A) 및 역레일리 스텝(17B)보다도 둘레 방향으로 넓은 영역 내에 형성되어 있다. 또한, 레일리 스텝(17A) 및 역레일리 스텝(17B)은, 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)과 동일한 5μm의 깊이 치수로 형성되어 있다. 또한, 동압 발생 기구(141)의 용적은, 특정 동압 발생 기구(16)의 용적보다도 크게 형성되어 있다.
도 8의 지면 반시계 방향으로 회전 밀봉환(20)이 회전하는 경우에는, 피밀봉 액체(F)가 화살표(L11, L12, L13)의 순으로 이동하여 레일리 스텝(17A) 내에 동압이 발생한다. 또한, 도 8의 지면 시계 방향으로 회전 밀봉환(20)이 회전하는 경우에는, 피밀봉 액체(F)가 화살표(L11, L12', L13')의 순으로 이동하여 역레일리 스텝(17B) 내에 동압이 발생한다. 이와 같이, 정지 밀봉환(102)과 회전 밀봉환(20)의 상대 회전 방향과 상관없이 특정 동압 발생 기구(16) 내에 동압을 발생시킬 수 있다.
또한, 특정 동압 발생 기구(16)에서 발생하는 동압에 의해 슬라이딩면(11, 21) 사이를 이간시켜 적당한 액막을 생성하면서, 슬라이딩면(11)으로부터 저압측으로 누설되려고 하는 피밀봉 액체(F)를 동압 발생 기구(141)에 의해 회수할 수 있다.
또한, 액체 유도홈부(161)와 액체 유도홈부(115)는, 지름 방향을 따라 형성되어 있기 때문에, 슬라이딩면(11, 21) 사이에 있어서 액체 유도홈부(161)로부터 저압측으로 누설되려고 하는 피밀봉 액체(F)가 액체 유도홈부(115)로 도입되기 쉬워지기 때문에, 피밀봉 액체(F)의 저압측으로의 누설을 효율 좋게 저감할 수 있다.
또한, 동압 발생 기구(141)의 용적이 특정 동압 발생 기구(16)의 용적보다도 크기 때문에, 동압 발생 기구(141)의 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)의 흡입력을 크게 하여, 저압측의 동압 발생 기구(141)와 고압측의 특정 동압 발생 기구(16)의 동압 밸런스를 조정할 수 있다.
또한, 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)의 둘레 방향의 길이는, 레일리 스텝(17A) 및 역레일리 스텝(17B)과 동일한 길이, 또는 레일리 스텝(17A) 및 역레일리 스텝(17B)보다도 짧게 형성되어 있어도 좋다. 또한, 레일리 스텝(17A) 및 역레일리 스텝(17B)은, 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)과 상이한 깊이 치수로 형성되어 있어도 좋다. 또한, 레일리 스텝(17A) 및 역레일리 스텝(17B)의 지름 방향의 폭은, 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)의 지름 방향의 폭과 동일하게 형성되어도 좋고, 스파이럴홈(109A, 109B) 및 스파이럴홈(109C, 109D)의 지름 방향의 폭보다도 큰 폭 또는 소폭으로 형성되어 있어도 좋다. 바람직하게는, 동압 발생 기구(141)의 용적이 특정 동압 발생 기구(16)의 용적보다도 크게 형성되어 있으면 좋다.
이어서, 특정 동압 발생 기구의 변형예를 설명한다. 도 9(a)에 나타내는 바와 같이, 변형예 1의 특정 동압 발생 기구는, 슬라이딩면(11)을 직교하는 방향으로부터 보아 원형을 이루는 오목 형상의 딤플(30)이다. 또한, 딤플(30)의 형상, 수량, 배치 등은 자유롭게 변경할 수 있다.
또한, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 변형예 2의 특정 동압 발생 기구는, 지름 방향을 향하여 경사지면서 원호 형상으로 연장되는 원호홈(31, 32)이다. 구체적으로는, 원호홈(31, 32)은 외경측의 단부가 고압측과 연통하고 있고, 원호홈(31)은, 스파이럴홈(109A, 109B)의 외경측에 복수 배설되어 있으며, 원호홈(32)은, 스파이럴홈(109C, 109D)의 외경측에 복수 배설되어 있다.
또한, 원호홈(31)은, 회전 밀봉환(20)이 도 9(b)의 지면 반시계 방향으로 회전했을 때에 내경측을 향하여 피밀봉 액체(F)가 이동하는 형상으로 되어 있으며, 원호홈(32)은, 회전 밀봉환(20)이 도 9(b)의 지면 시계 방향으로 회전했을 때에 내경측을 향하여 피밀봉 액체(F)가 이동하는 형상으로 되어 있다. 회전 밀봉환(20)이 반시계 방향으로 회전했을 때에는 원호홈(31)의 내경측의 압력이 높아지고, 시계 방향으로 회전했을 때에는 원호홈(32)의 내경측의 압력이 높아지기 때문에, 슬라이딩면(11, 21)을 이간시켜 적당한 액막을 생성할 수 있도록 되어 있다. 또한, 원호홈(31, 32)의 형상, 수량, 배치 등은 자유롭게 변경할 수 있다.
실시예 4
다음으로, 실시예 4에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 10을 참조하여 설명한다. 또한, 상기 실시예 3과 동일한 구성, 중복하는 구성의 설명은 생략한다.
도 10에 나타나는 메커니컬 시일은, 슬라이딩면의 내경측으로부터 외경측을 향하여 누설되려고 하는 피밀봉 액체(F)를 밀봉하는 아웃사이드형의 시일이다. 동압 발생 기구(141)는 저압측과 연통하도록 외경측에 배치되어 있고, 특정 동압 발생 기구(16)는, 고압측과 연통하도록 내경측에 배치되어 있다. 또한, 아웃사이드형의 메커니컬 시일이라도, 상기 실시예 1과 같이, 동압 발생 기구가 편회전에 대응하도록 형성되어 있어도 좋다. 또한, 상기 실시예 1과 같이, 특정 동압 발생 기구가 마련되어 있지 않아도 좋고, 특정 동압 발생 기구가 상기 실시예 3의 변형예에 나타낸 딤플이나 원호홈 등의 다른 형태로 형성되어 있어도 좋다.
이상, 본 발명의 실시예를 도면에 의해 설명했지만, 구체적인 구성은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서의 변경이나 추가가 있어도 본 발명에 포함된다.
예를 들면, 상기 실시예에서는, 슬라이딩 부품으로서, 일반 산업 기계용의 메커니컬 시일을 예로 설명했지만, 자동차나 워터 펌프용 등의 다른 메커니컬 시일이라도 좋다. 또한, 메커니컬 시일에 한정되지 않고, 미끄럼 베어링 등 메커니컬 시일 이외의 슬라이딩 부품이라도 좋다.
또한, 상기 실시예에서는, 동압 발생 기구를 정지 밀봉환에만 마련하는 예에 대해서 설명했지만, 동압 발생 기구를 회전 밀봉환(20)에만 마련해도 좋고, 회전 밀봉환(20)과 정지 밀봉환의 양쪽에 마련해도 좋다.
또한, 상기 실시예에서는, 슬라이딩 부품에 동일 형상의 동압 발생 기구가 복수 마련되는 형태를 예시했지만, 형상이 상이한 동압 발생 기구가 복수 마련되어 있어도 좋다. 또한, 동압 발생 기구의 간격이나 수량 등은 적절히 변경할 수 있다.
또한, 피밀봉 유체측을 고압측, 누설측을 저압측으로 하여 설명했지만, 피밀봉 유체측이 저압측, 누설측이 고압측으로 되어 있어도 좋고, 피밀봉 유체측과 누설측이 거의 동일한 압력이라도 좋다.
9A; 스파이럴홈(천구부)
9B; 스파이럴홈(서브 천구부)
10; 정지 밀봉환(슬라이딩 부품)
11; 슬라이딩면
14; 동압 발생 기구
15; 액체 유도홈부(심구부)
16; 특정 동압 발생 기구
17A; 레일리 스텝(천구부)
17B; 역레일리 스텝(천구부)
18; 단차
20; 회전 밀봉환(슬라이딩 부품)
21; 슬라이딩면
109A, 109C; 스파이럴홈(천구부)
109B, 109D; 스파이럴홈(서브 천구부)
115; 액체 유도홈부(심구부)
141; 동압 발생 기구

Claims (7)

  1. 회전 기계의 상대 회전하는 개소에 배치되는 환상(環狀)의 슬라이딩 부품으로서,
    상기 슬라이딩 부품의 슬라이딩면에는, 누설측과 연통하는 심구부(深溝部)와, 당해 심구부와 연통하고 둘레 방향으로 병렬되어 연설(延設)되는 복수의 천구부(淺溝部)를 갖는 동압 발생 기구가 복수 마련되고,
    상기 동압 발생 기구는, 누설측과 직접 연통하고 상기 천구부의 누설측에서 병렬되어 둘레 방향으로 연장되는 상기 천구부와는 독립된 복수의 서브 천구부를 갖고,
    복수의 상기 천구부 중 가장 회전 방향 하류측에 위치하는 상기 천구부의 둘레 방향으로 하류측에 상기 서브 천구부가 형성되고, 상기 회전 방향 하류측에 위치하는 상기 천구부와 상기 서브 천구부는 둘레 방향으로 오버 랩 하는 슬라이딩 부품.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 천구부가 피밀봉 유체측을 향하여 연장되어 있는 슬라이딩 부품.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 천구부는, 둘레 방향으로 만곡하고 있는 슬라이딩 부품.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 천구부는, 상기 심구부로부터 둘레 방향 양측으로 연장되어 있는 슬라이딩 부품.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 심구부는 내경측과 연통하는 슬라이딩 부품.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 슬라이딩 부품의 슬라이딩면에는, 상기 동압 발생 기구보다도 피밀봉 유체측에 배치되고 상기 동압 발생 기구와는 독립되는 특정 동압 발생 기구를 구비하고 있는 슬라이딩 부품.
  7. 삭제
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