KR102625315B1 - 다단 분리형 습식 스크러버 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다단 분리형 습식 스크러버에 관한 것으로서, 습식(wet)으로 대기오염물을 처리해서 청정한 공기로 배출하는 장치로서, 상호 분해 조립이 가능한 상부 바디부와 하부 바디부를 포함하며, 상기 상부 바디부는, 금속 재질로 제작되되 외곽을 이루는 상부 익스테리어 월(UPPER EXTERIOR WALL); 상기 상부 익스테리어 월의 내부에 배치되되 금속 재질로 제작되는 인테리어 월(INTERIOR WALL); 상기 인테리어 월 내에 마련되되 그물코(網目)를 여러 겹 포갠 형태로 제작되며, 상기 대기오염물 중의 수분을 제거하는 데미스터(DEMISTER); 상기 데미스터에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 상기 데미스터의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 데미스터 플랜지(DEMISTER FLANGE); 상기 데미스터의 하부에 배치되는 가로 배관부; 상기 가로 배관부에 연결되는 세로 배관부; 상기 가로 배관부에 등간격으로 연결되는 복수 개의 스프레이 노즐(SPRAY NOZZLE); 상기 스프레이 노즐들의 하부에 교체 가능하게 충전되며, 대기오염물 속의 냄새와 이물을 필터링하는 폴링(PALL RING); 상기 폴링에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 상기 폴링의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 폴링 플랜지(PALL RING FLANGE); 상기 데미스터 플랜지와 상기 폴링 플랜지 사이의 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 내부 관찰이 가능한 샤워 사이트 글라스 플랜지(SHOWER SIGHT GLASS FLANGE); 및 상기 폴링의 하부 영역에 마련되는 피더 펌프(FEEDER PUMP)를 포함한다.
Description
본 발명은, 다단 분리형 습식 스크러버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 적어도 2단 이상으로 분리가 가능한 다단 분리형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있는, 다단 분리형 습식 스크러버에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 화학 증기 증착 공정, 저압 증기 화학 증착 공정, 플라즈마 강화 화학 증착 공정, 플라즈마 부식 공정 등을 포함한다. 그리고, 상기와 같은 반도체 제조 공정에서는 다량의 실란, 디클로로실란, 암모니아, 산화질소, 아르신, 포스핀, 디보린 등을 사용한다.
그러나 반도체 제조 공정에서 사용되는 이상의 물질 중 실제 제조 공정에서는 소량만이 소모되며, 소모되지 않는 물질은 배기 가스에 포함되어 HCl, Cl2, HF 등과 같은 유해성 가스, 분진 및/또는 증기 형태로 외부로 배출된다.
이때, 소모되지 않고 배기 가스에 포함되어 배출되는 상기와 같은 물질은 작업자에게 심각한 영향을 미칠 수 있으며, 반도체 제조 공정에 사용되는 장치를 오염시키는 문제점도 발생한다.
따라서, 종래에 반도체 제조 공정에서 배출되는 상기와 같은 유해성 가스를 처리하기 위하여 여러 방법이 사용되고 있다.
대표적으로 사용되는 방법으로는, 고온의 환경에서 유해성 가스를 열분해하여 정화하는 연소식 처리법과, 흡착제를 이용하여 정화하는 방식의 건식 처리법과, 유해성 가스를 물과 접촉하도록 하여 포집한 후 오염된 물을 정화하는 방식의 습식 처리법 및 상기 방법을 혼용한 처리법 등이 있다.
연소식 처리법은 히터를 이용한 간접 가열 방식과 LPG 등과 같은 연료 가스를 연소시켜 유해성 가스를 태우는 직접 가열 방식으로 구분되며, 고농도의 가스를 처리하는데 적합한 것으로 알려져 있으나, 고온의 환경을 조성하기 위해 히터를 사용하거나 LPG 등의 가스를 연소시킴에 따라 안전상의 문제와 더불어 경제성이 취약하다는 점이 문제점으로 지적되고 있다.
건식 처리법 중에서 흡착제를 이용하는 방식은 알루미나, 소석회, 알루미나 실리케이트, 제올라이드 등의 무기 흡착제, 활성탄, 상기한 무기 흡착제를 담체로 하여 알칼리 화합물이나 산성 화합물을 처리한 첨착 무기 흡착제 또는 금속으로 코팅한 첨착 무기 흡착제, 상기한 활성탄에 화학 물질을 첨착한 첨착 활성탄을 흡착제로 사용하며, 상기한 무기 흡착제, 활성탄, 화합물이나 금속 첨착 무기 흡착제, 화학물질 첨착 활성탄을 다층 적층하여 사용하기도 한다.
습식 처리법 중에는 물 또는 염기성 수용액을 분사노즐 등에 의해 하방으로 분사하고 낙하하는 영역에 유해물질이 포함된 배기가스를 통과시키는 구조로 이루어져, 기체와 액체의 접촉에 의해 유해가스를 중화하거나 흡수하여 처리하는 방식이 있다.
이때, 습식 처리를 진행하는 장치가 소위, 습식 스크러버(wet scrubbier)이며, 도 1 및 도 2 등에 널리 공지되어 있다. 다만, 도 1 및 도 2를 포함한 기존의 습식 스크러버는 외관 구조가 분리되지 않는 일체형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수에 많은 제약이 따를 수밖에 없는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 적어도 2단 이상으로 분리가 가능한 다단 분리형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있는, 다단 분리형 습식 스크러버를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 습식(wet)으로 대기오염물을 처리해서 청정한 공기로 배출하는 장치로서, 상호 분해 조립이 가능한 상부 바디부와 하부 바디부를 포함하며, 상기 상부 바디부는, 금속 재질로 제작되되 외곽을 이루는 상부 익스테리어 월(UPPER EXTERIOR WALL); 상기 상부 익스테리어 월의 내부에 배치되되 금속 재질로 제작되는 인테리어 월(INTERIOR WALL); 상기 인테리어 월 내에 마련되되 그물코(網目)를 여러 겹 포갠 형태로 제작되며, 상기 대기오염물 중의 수분을 제거하는 데미스터(DEMISTER); 상기 데미스터에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 상기 데미스터의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 데미스터 플랜지(DEMISTER FLANGE); 상기 데미스터의 하부에 배치되는 가로 배관부; 상기 가로 배관부에 연결되는 세로 배관부; 상기 가로 배관부에 등간격으로 연결되는 복수 개의 스프레이 노즐(SPRAY NOZZLE); 상기 스프레이 노즐들의 하부에 교체 가능하게 충전되며, 대기오염물 속의 냄새와 이물을 필터링하는 폴링(PALL RING); 상기 폴링에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 상기 폴링의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 폴링 플랜지(PALL RING FLANGE); 상기 데미스터 플랜지와 상기 폴링 플랜지 사이의 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 내부 관찰이 가능한 샤워 사이트 글라스 플랜지(SHOWER SIGHT GLASS FLANGE); 및 상기 폴링의 하부 영역에 마련되는 피더 펌프(FEEDER PUMP)를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 분리형 습식 스크러버에 의해 달성된다.
상기 상부 바디부는, 상기 피더 펌프에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 개폐 가능하게 마련되는 개폐식 상부 도어를 더 포함할 수 있다.
상기 상부 바디부는, 상기 상부 익스테리어 월의 상단부 일측에 마련되며, 상기 대기오염물이 유입되는 대기오염물 유입포트; 및 상기 대기오염물 유입포트의 주변에 배치되며, 청정 공기가 배출되는 청정 공기 배출포트를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 바디부는, 금속 재질로 제작되되 외곽을 이루는 하부 익스테리어 월(BOTTOM EXTERIOR WALL); 및 상기 하부 익스테리어 월의 일측에 개폐 가능하게 마련되는 개폐식 하부 도어를 포함할 수 있다.
상기 하부 바디부는, 상기 하부 익스테리어 월의 내부에 배치되며, 상기 대기오염물의 처리에 사용 완료된 물을 저장하는 워터 탱크(WATER TANK)를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 바디부는, 상기 워터 탱크의 일측 벽체에 마련되며, 내부 관찰이 가능한 워터 탱크 사이트 글라스 플랜지(WATER TANK SIGHT GLASS FLANGE)를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 바디부는, 상기 하부 익스테리어 월 내의 일측에 마련되는 케미컬 보틀(CHEMICAL BOTTLE); 상기 케미컬 보틀의 입구를 이루는 케미컬 인렛(CHEMICAL INLET); 상기 워터 탱크로 원터를 공급하는 워터 인렛(WATER INLET); 드레인수와 오버플로수를 배출하는 워터 아울렛(WATER OUTLET); 상기 스프레이 노즐을 통한 샤워 동작을 수행하는 샤워 펌프(SHOWER PUMP) 레벨 스위치(LEVEL SWITCH); 및 pH 농도를 감지하는 pH 전극을 더 포함할 수 있다.
상기 상부 바디부는, 상기 인테리어 월의 하부에 연결되되 상기 스프레이 노즐의 작용 시 상기 폴링을 거쳐 낙하하는 물을 전달하는 상부 전달 파이프; 및 상기 상부 전달 파이프의 단부에 마련되는 상부 파이프 플랜지를 더 포함할 수 있다.
상기 하부 바디부는, 상기 상부 전달 파이프를 통해 전달되는 물을 상기 워터 탱크로 전달하는 하부 전달 파이프; 및 상기 하부 전달 파이프의 단부에 마련되는 하부 파이프 플랜지를 더 포함하며, 상기 상부 바디부와 상기 하부 바디부가 조립될 때, 상기 상부 파이프 플랜지와 상기 하부 파이프 플랜지가 나사 결합할 수 있다.
오퍼레이션 패널(OPERATION PANEL); 및 상기 오퍼레이션 패널을 통한 입력값에 기초하여 pH 농도가 자동으로 조절되게 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 적어도 2단 이상으로 분리가 가능한 다단 분리형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있는 효과가 있다.
도 1 및 도 2는 일반적인 습식 스크러버의 구조도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버의 평면도이다.
도 4는 도 3의 정면도이다.
도 5는 도 4의 분리도이다.
도 6은 도 3의 파이프 존(pipe zone) 영역의 상세 구조도이다.
도 7은 도 6의 분리도이다.
도 8은 도 3의 우측면도이다.
도 9는 도 8의 분리도이다.
도 10은 도 3의 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버에서 상부 바디부와 하부 바디부의 분리도이다.
도 12는 도 11의 조립도이다.
도 13은 도 11의 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버의 평면도이다.
도 4는 도 3의 정면도이다.
도 5는 도 4의 분리도이다.
도 6은 도 3의 파이프 존(pipe zone) 영역의 상세 구조도이다.
도 7은 도 6의 분리도이다.
도 8은 도 3의 우측면도이다.
도 9는 도 8의 분리도이다.
도 10은 도 3의 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버에서 상부 바디부와 하부 바디부의 분리도이다.
도 12는 도 11의 조립도이다.
도 13은 도 11의 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
한편, 하기 본 발명에 관한 설명은 구조적이나 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하다. 따라서 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
예컨대, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것이라 이해되어야 할 것이다. 구성요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 같다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 같은 참조부호는 같은 부재를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버의 평면도, 도 4는 도 3의 정면도, 도 5는 도 4의 분리도, 도 6은 도 3의 파이프 존(pipe zone) 영역의 상세 구조도, 도 7은 도 6의 분리도, 도 8은 도 3의 우측면도, 도 9는 도 8의 분리도, 도 10은 도 3의 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버(100)는 습식(wet)으로 대기오염물을 처리해서 청정한 공기로 배출하는 장치로서 적어도 2단 이상으로 분리가 가능한 다단 분리형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있게끔 한다.
참고로, 대기오염물이란 분진(dust), 흄(fume), 미스트(mist), 스모크(smoke), 스모그(smog) 등을 포함한다.
분진(dust)은 대부분 콜로이드(colloid) 보다는 크고, 공기나 다른 가스에 의해 단시간 동안 부유할 수 있는 고체입자를 가리킨다.
흄(fume)은 금속이 용해되어 액상물질로 되고 이것이 가스상 물질로 기화된 후 다시 응축되어 발생하는 고체 미립자를 가리킨다.
미스트(mist)는 분산되어 있는 액체 입자로서 통상 현미경적 크기에서 육안으로 볼 수 있는 크기까지를 포함한다.
스모크(smoke)는 불완전 연소에 의하여 발생하는 에어로졸로서, 주로 고체 상태이고 탄소와 기타 가연성 물질로 구성된다.
그리고, 스모그(smog)는 'smoke'와 'fog'에서 온 복합용어로 자연오염이나 인공오염에 의하여 발생한 대기오염 물질인 에어로졸에 대하여 광범위하게 적용되고 있다.
취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있는 본 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버(100)는 상호 분해 조립이 가능한 상부 바디부(110)와 하부 바디부(150)를 포함한다.
이에, 예컨대, 2층 이상의 장소에 본 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버(100)를 설치하려 할 경우, 상부 바디부(110)와 하부 바디부(150)를 개별적으로 옮긴 후, 현장에서 조립하면 된다. 따라서, 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업이 종래보다 월등히 편리해질 수 있다. 참고로, 본 실시예의 경우, 다단 분리형 습식 스크러버(100)가 상부 바디부(110)와 하부 바디부(150)의 2단 분리 구조를 이루지만, 이는 3단 이상의 분리 구조일 수도 있다. 따라서, 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
상부 바디부(110)는 금속 재질로 제작되되 외곽을 이루는 상부 익스테리어 월(111)(UPPER EXTERIOR WALL)과, 상부 익스테리어 월(111)의 내부에 배치되되 금속 재질로 제작되는 인테리어 월(112)(INTERIOR WALL)과, 인테리어 월(112) 내에 마련되되 그물코(網目)를 여러 겹 포갠 형태로 제작되며, 대기오염물 중의 수분을 제거하는 데미스터(114)(DEMISTER)와, 데미스터(114)에 이웃한 상부 익스테리어 월(111)의 외측에 마련되며, 데미스터(114)의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 데미스터 플랜지(115)(DEMISTER FLANGE)와, 데미스터(114)의 하부에 배치되는 가로 배관부(116)와, 가로 배관부(116)에 연결되는 세로 배관부(117)와, 가로 배관부(116)에 등간격으로 연결되는 복수 개의 스프레이 노즐(118)(SPRAY NOZZLE)과, 스프레이 노즐(118)들의 하부에 교체 가능하게 충전되며, 대기오염물 속의 냄새와 이물을 필터링하는 폴링(121)(PALL RING)과, 폴링(121)에 이웃한 상부 익스테리어 월(111)의 외측에 마련되며, 폴링(121)의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 폴링 플랜지(122)(PALL RING FLANGE)와, 데미스터 플랜지(115)와 폴링 플랜지(122) 사이의 상부 익스테리어 월(111)의 외측에 마련되며, 내부 관찰이 가능한 샤워 사이트 글라스 플랜지(124)(SHOWER SIGHT GLASS FLANGE)와, 폴링(121)의 하부 영역에 마련되는 피더 펌프(125)(FEEDER PUMP)를 포함할 수 있다. 데미스터 플랜지(115)와 폴링 플랜지(122)가 구비되기 때문에 해당 재료를 용이하게 교체할 수 있는 장점이 있다.
이 외에도 상부 바디부(110)는 피더 펌프(125)에 이웃한 상부 익스테리어 월(111)의 외측에 개폐 가능하게 마련되는 개폐식 상부 도어(127)를 더 포함한다. 개폐식 상부 도어(127)를 열고 피더 펌프(125)의 설치 및 유지보수를 진행할 수 있다.
또한, 상부 바디부(110)는 상부 익스테리어 월(111)의 상단부 일측에 마련되며, 대기오염물이 유입되는 대기오염물 유입포트(131)와, 대기오염물 유입포트(131)의 주변에 배치되며, 청정 공기가 배출되는 청정 공기 배출포트(132)를 더 포함한다. 대기오염물 유입포트(131)로 유입되는 대기오염물은 가스의 형태이다.
또한, 상부 바디부(110)는 인테리어 월(112)의 하부에 연결되되 스프레이 노즐(118)의 작용 시 폴링(121)을 거쳐 낙하하는 물을 전달하는 상부 전달 파이프(141)와, 상부 전달 파이프(141)의 단부에 마련되는 상부 파이프 플랜지(142)를 더 포함할 수 있다.
한편, 하부 바디부(150)는 금속 재질로 제작되되 외곽을 이루는 하부 익스테리어 월(151)(BOTTOM EXTERIOR WALL)과, 하부 익스테리어 월(151)의 일측에 개폐 가능하게 마련되는 개폐식 하부 도어(152)를 포함할 수 있다. 개폐식 하부 도어(152)를 열어 하부 익스테리어 월(151) 내의 부품에 대한 설치, 유지보수를 진행할 수 있다.
또한, 하부 바디부(150)는 하부 익스테리어 월(151)의 내부에 배치되며, 대기오염물의 처리에 사용 완료된 물을 저장하는 워터 탱크(153)(WATER TANK)를 더 포함한다.
또한, 하부 바디부(150)는 워터 탱크(153)의 일측 벽체에 마련되며, 내부 관찰이 가능한 워터 탱크 사이트 글라스 플랜지(153)(WATER TANK SIGHT GLASS FLANGE)를 더 포함한다. 워터 탱크 사이트 글라스 플랜지(153)로 인해 내부 상황에 대한 관찰이 용이해지는 이점이 있다.
이 외에도 하부 바디부(150)는 하부 익스테리어 월(151) 내의 일측에 마련되는 케미컬 보틀(155)(CHEMICAL BOTTLE)과, 케미컬 보틀(155)의 입구를 이루는 케미컬 인렛(156)(CHEMICAL INLET)과, 워터 탱크(153)로 원터를 공급하는 워터 인렛(161)(WATER INLET)과, 드레인수와 오버플로수를 배출하는 워터 아울렛(162)(WATER OUTLET)과, 스프레이 노즐(118)을 통한 샤워 동작을 수행하는 샤워 펌프(163)(SHOWER PUMP)와, 레벨 스위치(165)(LEVEL SWITCH)와, pH 농도를 감지하는 pH 전극(166)을 더 포함할 수 있다.
또한, 하부 바디부(150)는 상부 전달 파이프(141)를 통해 전달되는 물을 워터 탱크(153)로 전달하는 하부 전달 파이프(171)와, 하부 전달 파이프(171)의 단부에 마련되는 하부 파이프 플랜지(172)를 더 포함한다. 이때, 상부 바디부(110)와 하부 바디부(150)가 조립될 때, 상부 파이프 플랜지(142)와 하부 파이프 플랜지(172)가 나사 결합할 수 있다. 상부 파이프 플랜지(142)와 하부 파이프 플랜지(172) 사이에는 개스킷이 개재될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버(1000)에는 장치의 컨트롤을 위해 오퍼레이션 패널(190)(OPERATION PANEL)과 컨트롤러(180)가 더 구비된다.
오퍼레이션 패널(190)은 장치의 조작을 위한 신호를 입력하는 수단이다. 여러 개의 버튼과 스위치 등으로 이루어질 수 있다.
컨트롤러(180)는 오퍼레이션 패널(190)을 통한 입력값에 기초하여 pH 농도가 자동으로 조절되게 컨트롤하는 역할을 한다. 이러한 역할을 수행하는 컨트롤러(180)는 중앙처리장치(181, CPU), 메모리(182, MEMORY), 그리고 서포트 회로(183, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.
중앙처리장치(181)는 본 실시예에서 오퍼레이션 패널(190)을 통한 입력값에 기초하여 pH 농도가 자동으로 조절되게 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.
메모리(182, MEMORY)는 중앙처리장치(181)와 연결된다. 메모리(182)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.
서포트 회로(183, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(181)와 결합되어 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(183)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.
본 실시예에서 컨트롤러(180)는 오퍼레이션 패널(190)을 통한 입력값에 기초하여 pH 농도가 자동으로 조절되게 컨트롤하는데, 이러한 일련의 컨트롤 프로세스 등은 메모리(182)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(182)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.
본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조를 기반으로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 적어도 2단 이상으로 분리가 가능한 다단 분리형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있게 된다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버에서 상부 바디부와 하부 바디부의 분리도, 도 12는 도 11의 조립도, 도 13은 도 11의 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도, 도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버에 대한 제어블록도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 다단 분리형 습식 스크러버(200) 역시, 습식(wet)으로 대기오염물을 처리해서 청정한 공기로 배출하는 장치로서 적어도 2단 이상으로 분리가 가능한 다단 분리형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있게끔 한다. 이를 위해, 분해 조립이 가능한 상부 바디부(210)와 하부 바디부(250)를 포함한다.
한편, 본 실시예에서 상부 바디부(210)에는 복수 개의 도킹(docking) 돌기(211)가 마련되고, 하부 바디부(250)에는 도킹 돌기(211)가 끼워지면서 도킹되는 도킹 돌기홈(251)이 형성된다.
그리고, 도킹 돌기(211)의 단부와 도킹 돌기홈(251)의 저면에 자석 플레이트(212,252)가 마련된다. 또한, 자석 플레이트(212,252) 주변으로 도킹 센서(291)가 배치되며, 상부 바디부(210)의 일측에 알림부(293)가 마련된다.
도킹 센서(291)는 자석 플레이트(212,252)가 자기적으로 도킹되었는 지를 센싱한다. 그리고, 알림부(293)는 상부 바디부(210)와 하부 바디부(250)의 도킹 상태를 외부로 알린다. 알림의 형태는 적색, 녹새 등의 램프일 수 있다.
이에, 도 11에서 도 12처럼 상부 바디부(210)와 하부 바디부(250)가 제대로 도킹되며, 이의 상태를 도킹 센서(291)가 센싱해서 컨트롤러(280)로 전송하게 되며, 컨트롤러(280)는 이의 작용에 기초하여 알림부(293)로서의 램프가 예컨대 녹색이 되게 온(on)시킨다. 그러면 작업자는 상부 바디부(210)와 하부 바디부(250)가 제대로 도킹된 상태라는 것을 쉽게 확인할 수 있다.
이때, 도 14의 실시예처럼 알림부(293)에는 타이머(393)가 부속될 수 있다. 이럴 경우, 컨트롤러(280)는 도킹 센서(291)의 센싱 작용에 기초하여 알림부(293)로서의 램프가 예컨대 녹색이 되게 온(on) 컨트롤할 수 있는데, 이때 정해진 시간, 예컨대 10초가 지나면 녹색 램프로서의 알림부(293)의 동작이 자동으로 정지되게 컨트롤할 수 있다.
본 실시예들이 적용되더라도 적어도 2단 이상으로 분리가 가능한 다단 분리형 구조라서 취급, 이동, 설치 및 유지보수 작업을 종래보다 월등히 편리하게 진행할 수 있다.
이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다고 하여야 할 것이다.
100 : 다단 분리형 습식 스크러버 110 : 상부 바디부
111 : 상부 익스테리어 월 112 : 인테리어 월
114 : 데미스터 115 : 데미스터 플랜지
116 : 가로 배관부 117 : 세로 배관부
118 : 스프레이 노즐 121 : 폴링
122 : 폴링 플랜지 124 : 샤워 사이트 글라스 플랜지
125 : 피더 펌프 127 : 개폐식 상부 도어
131 : 대기오염물 유입포트 132 : 청정 공기 배출포트
141 : 상부 전달 파이프 142 : 상부 파이프 플랜지
150 : 하부 바디부 151 : 하부 익스테리어 월
152 : 개폐식 하부 도어 153 : 워터 탱크
154 : 워터 탱크 사이트 글라스 플랜지
155 : 케미컬 보틀 156 : 케미컬 인렛
161 : 워터 인렛 162 : 워터 아울렛
163 : 샤워 펌프 165 : 레벨 스위치
166 : pH 전극 171 : 하부 전달 파이프
172 : 하부 파이프 플랜지 180 : 컨트롤러
190 : 오퍼레이션 패널
111 : 상부 익스테리어 월 112 : 인테리어 월
114 : 데미스터 115 : 데미스터 플랜지
116 : 가로 배관부 117 : 세로 배관부
118 : 스프레이 노즐 121 : 폴링
122 : 폴링 플랜지 124 : 샤워 사이트 글라스 플랜지
125 : 피더 펌프 127 : 개폐식 상부 도어
131 : 대기오염물 유입포트 132 : 청정 공기 배출포트
141 : 상부 전달 파이프 142 : 상부 파이프 플랜지
150 : 하부 바디부 151 : 하부 익스테리어 월
152 : 개폐식 하부 도어 153 : 워터 탱크
154 : 워터 탱크 사이트 글라스 플랜지
155 : 케미컬 보틀 156 : 케미컬 인렛
161 : 워터 인렛 162 : 워터 아울렛
163 : 샤워 펌프 165 : 레벨 스위치
166 : pH 전극 171 : 하부 전달 파이프
172 : 하부 파이프 플랜지 180 : 컨트롤러
190 : 오퍼레이션 패널
Claims (10)
- 습식(wet)으로 대기오염물을 처리해서 청정한 공기로 배출하는 장치로서,
상부 바디부;
상기 상부 바디부와 상호 분해 조립이 가능한 하부 바디부;
오퍼레이션 패널(OPERATION PANEL); 및
상기 오퍼레이션 패널을 통한 입력값에 기초하여 pH 농도가 자동으로 조절되게 컨트롤하는 컨트롤러를 포함하며,
상기 상부 바디부는,
금속 재질로 제작되되 외곽을 이루는 상부 익스테리어 월(UPPER EXTERIOR WALL);
상기 상부 익스테리어 월의 내부에 배치되되 금속 재질로 제작되는 인테리어 월(INTERIOR WALL);
상기 인테리어 월 내에 마련되되 그물코(網目)를 여러 겹 포갠 형태로 제작되며, 상기 대기오염물 중의 수분을 제거하는 데미스터(DEMISTER);
상기 데미스터에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 상기 데미스터의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 데미스터 플랜지(DEMISTER FLANGE);
상기 데미스터의 하부에 배치되는 가로 배관부;
상기 가로 배관부에 연결되는 세로 배관부;
상기 가로 배관부에 등간격으로 연결되는 복수 개의 스프레이 노즐(SPRAY NOZZLE);
상기 스프레이 노즐들의 하부에 교체 가능하게 충전되며, 대기오염물 속의 냄새와 이물을 필터링하는 폴링(PALL RING);
상기 폴링에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 상기 폴링의 교체 또는 유지보수 통로로 활용되는 폴링 플랜지(PALL RING FLANGE);
상기 데미스터 플랜지와 상기 폴링 플랜지 사이의 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 마련되며, 내부 관찰이 가능한 샤워 사이트 글라스 플랜지(SHOWER SIGHT GLASS FLANGE);
상기 폴링의 하부 영역에 마련되는 피더 펌프(FEEDER PUMP);
상기 피더 펌프에 이웃한 상기 상부 익스테리어 월의 외측에 개폐 가능하게 마련되는 개폐식 상부 도어;
상기 상부 익스테리어 월의 상단부 일측에 마련되며, 상기 대기오염물이 유입되는 대기오염물 유입포트; 및
상기 대기오염물 유입포트의 주변에 배치되며, 청정 공기가 배출되는 청정 공기 배출포트를 포함하며,
상기 하부 바디부는,
금속 재질로 제작되되 외곽을 이루는 하부 익스테리어 월(BOTTOM EXTERIOR WALL);
상기 하부 익스테리어 월의 일측에 개폐 가능하게 마련되는 개폐식 하부 도어;
상기 하부 익스테리어 월의 내부에 배치되며, 상기 대기오염물의 처리에 사용 완료된 물을 저장하는 워터 탱크(WATER TANK);
상기 워터 탱크의 일측 벽체에 마련되며, 내부 관찰이 가능한 워터 탱크 사이트 글라스 플랜지(WATER TANK SIGHT GLASS FLANGE);
상기 하부 익스테리어 월 내의 일측에 마련되는 케미컬 보틀(CHEMICAL BOTTLE);
상기 케미컬 보틀의 입구를 이루는 케미컬 인렛(CHEMICAL INLET);
상기 워터 탱크로 원터를 공급하는 워터 인렛(WATER INLET);
드레인수와 오버플로수를 배출하는 워터 아울렛(WATER OUTLET);
상기 스프레이 노즐을 통한 샤워 동작을 수행하는 샤워 펌프(SHOWER PUMP)
레벨 스위치(LEVEL SWITCH); 및
pH 농도를 감지하는 pH 전극을 포함하며,
상기 상부 바디부는,
상기 인테리어 월의 하부에 연결되되 상기 스프레이 노즐의 작용 시 상기 폴링을 거쳐 낙하하는 물을 전달하는 상부 전달 파이프; 및
상기 상부 전달 파이프의 단부에 마련되는 상부 파이프 플랜지를 더 포함하며,
상기 하부 바디부는,
상기 상부 전달 파이프를 통해 전달되는 물을 상기 워터 탱크로 전달하는 하부 전달 파이프; 및
상기 하부 전달 파이프의 단부에 마련되는 하부 파이프 플랜지를 더 포함하며,
상기 상부 바디부와 상기 하부 바디부가 조립될 때, 상기 상부 파이프 플랜지와 상기 하부 파이프 플랜지가 나사 결합하는 것을 특징으로 하는 다단 분리형 습식 스크러버. - 삭제
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Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| KR101944251B1 (ko) * | 2018-09-07 | 2019-01-31 | 이희만 | 변위형 웨트스크러버를 갖는 흄후드 |
| KR102251712B1 (ko) * | 2021-03-02 | 2021-05-13 | 주식회사 지이테크 | 텐터 후단 배기가스의 집진 및 폐열 회수장치 |
| KR20210110216A (ko) | 2020-02-28 | 2021-09-07 | 주식회사 메디트 | 얼라인 상태 표현 장치 및 방법 |
| KR102346707B1 (ko) * | 2021-06-04 | 2022-01-03 | 주식회사 유니온이엔지 | 가스 스크러버 기반의 흄제거 장치 |
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- 2023-06-15 KR KR1020230076620A patent/KR102625315B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101944251B1 (ko) * | 2018-09-07 | 2019-01-31 | 이희만 | 변위형 웨트스크러버를 갖는 흄후드 |
| KR20210110216A (ko) | 2020-02-28 | 2021-09-07 | 주식회사 메디트 | 얼라인 상태 표현 장치 및 방법 |
| KR102251712B1 (ko) * | 2021-03-02 | 2021-05-13 | 주식회사 지이테크 | 텐터 후단 배기가스의 집진 및 폐열 회수장치 |
| KR102346707B1 (ko) * | 2021-06-04 | 2022-01-03 | 주식회사 유니온이엔지 | 가스 스크러버 기반의 흄제거 장치 |
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