KR102625136B1 - Method for glass chemical strengthening with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace therefor - Google Patents

Method for glass chemical strengthening with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace therefor Download PDF

Info

Publication number
KR102625136B1
KR102625136B1 KR1020200115059A KR20200115059A KR102625136B1 KR 102625136 B1 KR102625136 B1 KR 102625136B1 KR 1020200115059 A KR1020200115059 A KR 1020200115059A KR 20200115059 A KR20200115059 A KR 20200115059A KR 102625136 B1 KR102625136 B1 KR 102625136B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
strengthening
glass
chamber
solution
concentration
Prior art date
Application number
KR1020200115059A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20220033099A (en
Inventor
최대규
Original Assignee
(주) 엔피홀딩스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 엔피홀딩스 filed Critical (주) 엔피홀딩스
Priority to KR1020200115059A priority Critical patent/KR102625136B1/en
Publication of KR20220033099A publication Critical patent/KR20220033099A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102625136B1 publication Critical patent/KR102625136B1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C21/00Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
    • C03C21/001Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
    • C03C21/002Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to perform ion-exchange between alkali ions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/007Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by thermal treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

강화 용액의 관리가 개선되어 글라스의 강화 품질을 향상시킬 수 있는 글라스의 화학 강화 방법 및 이를 위한 글라스 화학 강화로가 제공된다. 상기 글라스의 화학 강화 방법은 예열된 글라스를 강화 챔버 내의 강화 용액에 침지시켜 화학 강화하는 단계, 및 상기 강화 챔버 내의 강화 용액의 잔량 및 상기 강화 용액 내 이온 농도 중 하나 이상을 측정하고, 측정값에 기초하여 상기 강화 챔버 내에 강화 용액 조성물을 보충하는 단계를 포함한다.A chemical strengthening method for glass that can improve the strengthening quality of glass by improving the management of the strengthening solution and a glass chemical strengthening furnace for the same are provided. The method of chemical strengthening of glass includes the steps of chemically strengthening preheated glass by immersing it in a strengthening solution in a strengthening chamber, measuring at least one of the remaining amount of strengthening solution in the strengthening chamber and the ion concentration in the strengthening solution, and adding the measured value to the strengthening solution. and replenishing the strengthening solution composition into the strengthening chamber based on the method.

Description

강화 용액의 관리가 개선된 글라스 화학 강화 방법 및 이를 위한 글라스 화학 강화로{METHOD FOR GLASS CHEMICAL STRENGTHENING WITH IMPROVED MANAGEMENT OF STRENGTHENING SOLUTION AND GLASS CHEMICAL STRENGTHENING FURNACE THEREFOR}Glass chemical strengthening method with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace for the same {METHOD FOR GLASS CHEMICAL STRENGTHENING WITH IMPROVED MANAGEMENT OF STRENGTHENING SOLUTION AND GLASS CHEMICAL STRENGTHENING FURNACE THEREFOR}

본 발명은 글라스의 화학 강화 방법 및 글라스 화학 강화로에 관한 것이다. 상세하게는 강화 용액의 관리가 개선되어 글라스의 강화 품질을 향상시킬 수 있는 글라스의 화학 강화 방법 및 이를 위한 글라스 화학 강화로에 관한 것이다.The present invention relates to a method for chemical strengthening of glass and a glass chemical strengthening furnace. In detail, it relates to a method of chemical strengthening of glass that can improve the strengthening quality of glass by improving the management of the strengthening solution, and a glass chemical strengthening furnace for this.

기술발전에 힘입어 스마트폰, 태블릿 PC 등의 전자 기기는 점차 박형화되고 있다. 뿐만 아니라 수요자들은 전자 기기의 넓은 화면 및 심미감 측면에서 높은 스크린 투 바디 비율(screen to body ratio)을 요구하고, 이에 따라 전자 기기의 전면(全面)을 글라스로 형성하는 경우가 많아지는 추세이다.Thanks to technological advancements, electronic devices such as smartphones and tablet PCs are gradually becoming thinner. In addition, consumers are demanding a wide screen for electronic devices and a high screen-to-body ratio in terms of aesthetics, and accordingly, there is an increasing trend in which the entire front of electronic devices is made of glass.

글라스(glass) 소재는 높은 광 투과율로 인해 오랫동안 디스플레이의 전면부 커버 윈도우 소재로 적용되어 왔다. 그러나 일반적인 글라스는 외부 충격에 취약하여 쉽게 깨지거나 스크래치가 발생할 수 있기 때문에 스마트폰 등의 전자 기기 전면을 글라스로 형성하기 위해서는 기계적 강도가 향상된 강화 글라스의 적용이 필수적이다.Glass material has been used as a front cover window material for displays for a long time due to its high light transmittance. However, since general glass is vulnerable to external shock and can easily break or scratch, it is essential to apply tempered glass with improved mechanical strength to form the front of electronic devices such as smartphones with glass.

한편, 최근 폴더블 디스플레이(foldable display) 및 롤러블 디스플레이(rollable display)에 대한 연구가 이루어지고 있으며 이러한 특수 디스플레이가 적용된 전자 기기 또한 출시되고 있다. Meanwhile, research has recently been conducted on foldable displays and rollable displays, and electronic devices equipped with these special displays are also being released.

폴더블 디스플레이 등을 구현하기 위해 글라스 대신에 유연성을 갖는 소재, 예컨대 폴리이미드 필름(polyimide film) 등의 플라스틱 소재를 디스플레이의 커버 윈도우로 적용하기도 한다. 그러나 폴리이미드 필름 등은 글라스에 비해 광 투과율이 낮아 광손실이 발생할 수 있다. 뿐만 아니라 폴더블 디스플레이는 커버 윈도우의 특정 위치가 반복적으로 접어지기 때문에 폴딩 라인이 형성된 부분에 크랙이 발생하거나 영구적인 접힘 자국이 남는 문제가 있다.To implement a foldable display, etc., a flexible material, such as a plastic material such as polyimide film, is used instead of glass as the cover window of the display. However, polyimide films, etc. have lower light transmittance than glass, which may result in light loss. In addition, because foldable displays repeatedly fold a specific location of the cover window, there is a problem of cracks occurring in the area where the folding line is formed or permanent fold marks remaining.

한국등록특허 제10-1143303호 (2012.05.14)Korean Patent No. 10-1143303 (2012.05.14)

이러한 측면에서 높은 기계적 강도를 가지면서도 폴더블 디스플레이 또는 롤러블 디스플레이 등의 특수 디스플레이에 적용 가능한 초박형 글라스(Ultra Thin Glass, UTG)의 개발이 절실히 요구되고 있다. 초박형 글라스는 일반적으로 100㎛ 이하의 두께를 갖는 글라스 소재를 의미한다. 초박형 글라스는 플라스틱 소재에 비해 광 투과율이 높고, 얇은 두께를 가져 폴딩 라인의 접힘이 잘 시인되지 않을 수 있으며, 특정 조건 하에서 벤딩 내지는 폴딩이 가능할 수 있다.In this regard, there is an urgent need for the development of ultra-thin glass (UTG) that has high mechanical strength and can be applied to special displays such as foldable displays or rollable displays. Ultra-thin glass generally refers to a glass material with a thickness of 100㎛ or less. Ultra-thin glass has a higher light transmittance than plastic materials and has a thin thickness, so the folding of the folding line may not be visible, and bending or folding may be possible under certain conditions.

특허문헌 1은 글라스를 강화하는 공정 및 글라스의 화학 강화 설비를 개시한다. 종래의 글라스 화학 강화 공정은 글라스를 질산칼륨 용액 등의 강화 용액에 침지시켜 글라스의 나트륨 이온과 질산칼륨의 칼륨 이온을 치환하여 수행한다.Patent Document 1 discloses a process for strengthening glass and a facility for chemical strengthening of glass. The conventional glass chemical strengthening process is performed by immersing the glass in a strengthening solution such as potassium nitrate solution to replace the sodium ions of the glass with the potassium ions of potassium nitrate.

그러나 초박형 글라스는 그 두께가 매우 얇기 때문에 글라스 표면 부위에서만 이온 치환이 이루어지는 종래의 글라스 강화 공정과 메커니즘 상의 차이를 갖는다. 예컨대, 초박형 글라스는 두께 방향으로 균일하게 이온 치환이 수행되는 것이 바람직할 수 있고, 두께 방향으로의 강화 균일도는 초박형 글라스의 품질을 결정하는 주요 요인이 될 수 있다.However, because ultra-thin glass is very thin, it has a different mechanism from the conventional glass strengthening process in which ion substitution is performed only on the surface of the glass. For example, it may be desirable for ultra-thin glass to have ion substitution performed uniformly in the thickness direction, and the uniformity of reinforcement in the thickness direction may be a major factor in determining the quality of ultra-thin glass.

상기에서 언급한 이온 치환의 깊이, 즉 강화 깊이는 강화 용액의 이온 균일도에 영향을 크게 받을 수 있다. 강화 전 내구성이 매우 취약한 초박형 글라스의 특성상, 원장 글라스(mother glass)를 그대로 화학 강화하는 것이 아니라 복수의 글라스 셀(glass cell)로 절단하고 화학 강화가 수행될 수 있다. 이 경우 글라스 셀 별로, 구체적으로 강화 용액에 침지되는 글라스 셀의 각 위치에서의 강화 용액의 이온 농도가 균일하지 못할 경우 심각한 문제가 발생할 수 있다.The depth of ion substitution mentioned above, that is, the strengthening depth, can be greatly affected by the ion uniformity of the strengthening solution. Due to the nature of ultra-thin glass, which has very poor durability before strengthening, the mother glass may be cut into a plurality of glass cells and chemically strengthened, rather than chemically strengthened as is. In this case, serious problems may occur if the ion concentration of the reinforcing solution is not uniform for each glass cell, specifically at each location of the glass cell immersed in the reinforcing solution.

특히 강화 공정이 진행됨에 따라 강화 용액 내의 칼륨 이온 농도는 점차 저하되고, 강화 용액에 용출되는 나트륨 이온의 농도는 증가할 수 있으며 이러한 농도 변화는 생산 로뜨(lot) 별 글라스 강화 품질의 불균일을 야기하고 글라스 강화 공정의 신뢰성을 떨어뜨리는 주요인이 될 수 있다. 또한 강화 용액이 최초 상태와 다른 이온 농도를 가짐에 따라 상대적으로 가벼운 나트륨 이온은 상층부로 유동하는 등 강화 용액의 위치별 농도 불균일 문제도 심화될 수 있다.In particular, as the strengthening process progresses, the concentration of potassium ions in the strengthening solution gradually decreases, and the concentration of sodium ions eluted into the strengthening solution may increase, and this change in concentration causes unevenness in the quality of glass strengthening by production lot. This can be a major factor in reducing the reliability of the glass strengthening process. In addition, as the strengthening solution has an ion concentration different from the initial state, the problem of uneven concentration at each location of the strengthening solution may worsen, such as relatively light sodium ions flowing to the upper layer.

또한 강화 용액의 농도 관리를 위해 강화 용액의 교체를 빈번히 수행할 경우 강화 용액 자체의 단가로 인해 글라스 화학 강화 공정의 비용 상승을 야기할 뿐 아니라, 종래의 강화 챔버를 포함하는 글라스 화학 강화로의 구조상 강화 용액의 교체를 위해 설비의 운용이 모두 중단되어야 한다. 강화 용액의 교체를 위해 설비의 운용이 중단될 경우 그 시간 동안의 공정 로스(loss)가 발생하는 것은 물론, 강화 공정이 최적화된 공정 조건, 예컨대 열처리 챔버와 강화 챔버의 가열 온도, 강화 용액의 온도, 챔버 내부의 분위기(atmosphere)와 압력 등을 정상화하는데 소요되는 비용과 시간이 상당하고, 무엇보다 설비 운용 중단 전의 공정 조건과 동일한 조건을 형성하는 것을 담보할 수 없는 문제가 있다.In addition, if the strengthening solution is frequently replaced to manage the concentration of the strengthening solution, not only does the cost of the glass chemical strengthening process increase due to the unit price of the strengthening solution itself, but it also causes an increase in the cost of the glass chemical strengthening process including a conventional strengthening chamber. All operation of the equipment must be stopped to replace the strengthening solution. If the operation of the facility is stopped to replace the strengthening solution, process loss occurs during that time, as well as the process conditions under which the strengthening process is optimized, such as the heating temperature of the heat treatment chamber and the strengthening solution, and the temperature of the strengthening solution. , the cost and time required to normalize the atmosphere and pressure inside the chamber are considerable, and above all, there is a problem that it cannot be guaranteed to create the same process conditions as before the facility operation was stopped.

이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 글라스의 화학 강화 공정과 동시에 강화 용액의 농도, 잔량 등의 상태 관리가 개선되어 불필요한 비용 상승을 방지할 수 있는 글라스의 화학 강화 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, the problem to be solved by the present invention is to provide a method of chemical strengthening of glass that can prevent unnecessary cost increases by improving the state management of the concentration and remaining amount of the strengthening solution at the same time as the chemical strengthening process of glass.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 글라스의 화학 강화 공정과 동시에 강화 용액의 농도, 잔량 등의 상태 관리가 개선되어 불필요한 비용 상승을 방지할 수 있는 글라스 화학 강화로를 제공하는 것이다.Another problem that the present invention aims to solve is to provide a glass chemical strengthening furnace that can prevent unnecessary cost increases by improving the state management of the concentration and remaining amount of the strengthening solution at the same time as the chemical strengthening process of glass.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 전술한 것과 같은 글라스의 화학 강화 방법 및 글라스 화학 강화로에 사용되는 강화 용액 리필 챔버를 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide a chemical strengthening method for glass as described above and a strengthening solution refill chamber used in a glass chemical strengthening furnace.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 예열된 글라스를 강화 챔버 내의 강화 용액에 침지시켜 화학 강화하는 단계, 및 상기 강화 챔버 내의 강화 용액의 잔량 및 상기 강화 용액 내 이온 농도 중 하나 이상을 측정하고, 측정값에 기초하여 상기 강화 챔버 내에 강화 용액 조성물을 보충하는 단계를 포함한다.A method of chemically strengthening glass according to an embodiment of the present invention to solve the above problem includes chemically strengthening the preheated glass by immersing it in a strengthening solution in a strengthening chamber, and determining the remaining amount of the strengthening solution in the strengthening chamber and the strengthening solution. measuring one or more of the ion concentrations within the fortification chamber and replenishing the fortification solution composition within the fortification chamber based on the measurements.

여기서 상기 측정하는 단계는, 상기 강화 챔버 내의 상기 강화 용액의 수면 높이를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.Here, the measuring step may include measuring the height of the water surface of the strengthening solution in the strengthening chamber.

또, 상기 보충하는 단계는, 상기 측정된 강화 용액의 수면 높이를 기초로 보충이 필요한 강화 용액의 양을 계산하는 단계, 강화 용액을 보충하는 리필 챔버 내의 강화 용액의 잔량을 측정하는 단계, 및 상기 보충이 필요한 강화 용액의 양만큼 상기 리필 챔버 내의 강화 용액을 상기 강화 챔버에 보충하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the replenishing step includes calculating the amount of reinforcing solution that needs to be replenished based on the measured water level of the reinforcing solution, measuring the remaining amount of reinforcing solution in the refill chamber for replenishing the reinforcing solution, and It may include the step of replenishing the reinforcement solution in the refill chamber into the reinforcement chamber by the amount of reinforcement solution that needs to be replenished.

상기 리필 챔버 내의 강화 용액의 잔량을 측정하는 단계는, 상기 리필 챔버 내의 상기 강화 용액의 수면 높이를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.The step of measuring the remaining amount of the fortification solution in the refill chamber may include measuring the water level of the fortification solution in the refill chamber.

여기서 상기 리필 챔버에서 상기 강화 챔버로 보충되는 강화 용액의 양은 상기 리필 챔버 내의 상기 강화 용액의 수면 높이를 기초로 계산될 수 있다.Here, the amount of reinforcement solution replenished from the refill chamber to the reinforcement chamber may be calculated based on the height of the water surface of the reinforcement solution in the refill chamber.

또는 상기 리필 챔버에서 상기 강화 챔버로 보충되는 강화 용액의 양은 상기 리필 챔버와 상기 강화 챔버를 연결하는 유로에 설치된 밸브 및 유량계를 이용하여 계산될 수 잇다.Alternatively, the amount of reinforcement solution replenished from the refill chamber to the reinforcement chamber may be calculated using a valve and a flow meter installed in a flow path connecting the refill chamber and the reinforcement chamber.

상기 측정하는 단계는, 상기 강화 용액 내의 이온의 농도를 측정하는 단계를 포함하고, 상기 이온은 나트륨 이온과 칼륨 이온 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The measuring step includes measuring the concentration of ions in the fortified solution, and the ions may include at least one of sodium ions and potassium ions.

또한 상기 강화 챔버는, 글라스의 화학 강화가 이루어지는 강화 챔버 본체, 및 상기 강화 챔버 본체의 외측에서, 상기 강화 챔버 본체에 수용되는 강화 용액을 우회시키는 유로부를 포함할 수 있다.Additionally, the strengthening chamber may include a strengthening chamber body in which chemical strengthening of glass is performed, and a flow path portion that diverts the strengthening solution accommodated in the strengthening chamber body outside the strengthening chamber body.

이 때 상기 측정하는 단계는, 상기 유로부에 설치된 이온 센서를 이용하여 이온의 농도를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.At this time, the measuring step may include measuring the concentration of ions using an ion sensor installed in the flow path portion.

또한 상기 측정하는 단계는, 상기 강화 챔버 본체에서 상기 이온 센서로 흐르는 경로를 제공하는 유로부에서, 강화 용액을 부분적으로 소정의 온도로 냉각하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the measuring step may further include partially cooling the strengthening solution to a predetermined temperature in a flow path portion that provides a flow path from the strengthening chamber main body to the ion sensor.

또, 상기 이온 센서를 이용한 나트륨 이온 또는 칼륨 이온의 농도 측정은 냉각된 강화 용액을 대상으로 수행할 수 있다.Additionally, measurement of the concentration of sodium ions or potassium ions using the ion sensor can be performed on a cooled fortified solution.

나아가 상기 방법은, 상기 이온 센서에서 상기 강화 챔버 본체로 흐르는 경로를 제공하는 유로부에서, 강화 챔버를 소정의 온도 이상으로 가열하는 단계를 더 포함할 수 있다.Furthermore, the method may further include heating the strengthening chamber to a predetermined temperature or higher in a flow path portion that provides a flow path from the ion sensor to the strengthening chamber main body.

상기 보충되는 강화 용액 조성물은 분말상 질산칼륨 및 분말상 탄산칼륨을 포함할 수 있다.The supplemented strengthening solution composition may include powdered potassium nitrate and powdered potassium carbonate.

몇몇 실시예에서, 상기 방법은 상기 강화 챔버 내에 나트륨 이온과 반응하여 석출물을 형성하는 첨가제를 첨가하는 단계를 더 포함할 수 잇다.In some embodiments, the method may further include adding an additive that reacts with sodium ions to form precipitates within the strengthening chamber.

몇몇 실시예에서, 상기 강화 챔버 내에 나트륨 이온과 칼륨 이온의 교환 효율을 향상시키는 아연산화물을 포함하는 첨가제를 첨가하는 단계를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the step of adding an additive containing zinc oxide that improves the exchange efficiency of sodium ions and potassium ions in the strengthening chamber may be further included.

몇몇 실시예에서, 상기 화학 강화 단계 전에, 예열 챔버에서 글라스를 예열하는 단계, 및 상기 예열된 글라스를 상기 예열 챔버에서 인출하고 상기 강화 챔버에 인입하는 단계를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, before the chemical strengthening step, the method may further include preheating the glass in a preheating chamber, and withdrawing the preheated glass from the preheating chamber and entering the strengthening chamber.

여기서 상기 강화 용액 조성물을 보충하는 단계는 상기 인입하는 단계 전에 수행될 수 있다.Here, the step of replenishing the reinforcing solution composition may be performed before the introducing step.

몇몇 실시예에서, 상기 강화 용액 조성물을 보충한 후 상기 글라스를 강화 용액에 침지하기 전에, 보충된 강화 용액 조성물을 가열하는 단계를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the step of heating the replenished strengthening solution composition after replenishing the strengthening solution composition and before immersing the glass in the strengthening solution may be further included.

또한 몇몇 실시예에서, 상기 화학 강화 단계 후에, 강화된 글라스를 상기 강화 챔버에서 인출하고 서냉 챔버에 인입하는 단계, 및 상기 서냉 챔버에서 글라스를 서냉하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, in some embodiments, after the chemical strengthening step, the step of withdrawing the strengthened glass from the strengthening chamber and entering the slow cooling chamber, and the step of slowly cooling the glass in the slow cooling chamber may be further included.

상기 강화 용액 조성물을 보충하는 단계는 상기 인출하는 단계 후에 수행될 수 있다.The step of replenishing the strengthening solution composition may be performed after the withdrawing step.

상기 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 화학 강화로는 글라스 강화 용액이 수용되도록 구성된 강화 챔버, 상기 강화 챔버에 강화 용액 조성물을 보충하는 리필 챔버, 및 상기 강화 챔버와 상기 리필 챔버를 연결하는 제1 유로부를 포함한다.Glass chemical strengthening according to an embodiment of the present invention for solving the above other problems includes a strengthening chamber configured to accommodate a glass strengthening solution, a refill chamber for replenishing the strengthening solution composition in the strengthening chamber, and the strengthening chamber and the refill. It includes a first flow path connecting the chambers.

상기 글라스 화학 강화로는 상기 강화 챔버 내의 상기 강화 용액의 수면 높이를 측정하는 레벨 센서를 더 포함할 수 있다.The glass chemical strengthening furnace may further include a level sensor that measures the height of the water surface of the strengthening solution in the strengthening chamber.

여기서 상기 강화 챔버 내의 강화 용액의 수면 높이가 소정 기준 이하일 경우, 상기 리필 챔버의 강화 용액이 상기 강화 챔버 내로 보충될 수 있다.Here, when the water level of the reinforcement solution in the reinforcement chamber is below a predetermined standard, the reinforcement solution in the refill chamber may be replenished into the reinforcement chamber.

상기 강화 챔버는, 강화 챔버 본체, 및 상기 강화 챔버 본체의 외측에서, 상기 강화 챔버 본체에 수용되는 강화 용액을 우회시키는 제2 유로부를 포함할 수 있다.The strengthening chamber may include a strengthening chamber body, and a second flow path portion that diverts the strengthening solution accommodated in the strengthening chamber body, outside the strengthening chamber body.

상기 제2 유로부는, 이온 센서가 설치된 센서부, 상기 강화 챔버 본체에서 상기 센서부로 흐르는 경로를 제공하는 제1 부분, 및 상기 센서부에서 상기 강화 챔버 본체로 흐르는 경로를 제공하는 제2 부분을 포함할 수 있다.The second flow path portion includes a sensor unit in which an ion sensor is installed, a first part providing a path flowing from the strengthening chamber main body to the sensor part, and a second part providing a path flowing from the sensor part to the strengthening chamber main body. can do.

또, 상기 이온 센서는 강화 용액의 나트륨 이온 또는 칼륨 이온의 농도를 측정하는 센서일 수 있다.Additionally, the ion sensor may be a sensor that measures the concentration of sodium ions or potassium ions in the strengthening solution.

몇몇 실시예에서, 상기 글라스 화학 강화로는 상기 제1 부분에 설치되어 상기 제1 부분을 흐르는 강화 용액을 냉각시키는 냉각 부재, 및 상기 제2 부분에 설치되어 상기 제2 부분을 흐르는 강화 용액을 가열하는 가열 부재를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the glass chemical strengthening furnace includes a cooling member installed in the first part to cool the strengthening solution flowing in the first part, and a cooling member installed in the second part to heat the strengthening solution flowing in the second part. It may further include a heating member.

상기 또 다른 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 리필 챔버는 글라스의 화학 강화 공정에 사용되는 리필 챔버로서, 내부에 글라스의 화학 강화를 위한 강화 용액, 질산칼륨, 탄산칼륨, 나트륨 이온과 반응하여 석출물을 형성하는 물질 또는 나트륨 이온과 칼륨 이온의 교환 효율을 향상시키는 물질을 포함하는 강화 용액 조성물을 수용하도록 구성된다.A refill chamber according to an embodiment of the present invention to solve the above other problem is a refill chamber used in a chemical strengthening process of glass, and contains a strengthening solution, potassium nitrate, potassium carbonate, and sodium ions for chemical strengthening of glass inside. It is configured to receive a reinforced solution composition containing a material that reacts to form a precipitate or a material that improves the exchange efficiency of sodium ions and potassium ions.

몇몇 실시예에서, 상기 리필 챔버는 상기 리필 챔버 내의 상기 강화 용액 조성물의 잔량을 측정하는 센서를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the refill chamber may further include a sensor that measures the remaining amount of the reinforcement solution composition in the refill chamber.

상기 센서는 상기 리필 챔버 내 상기 강화 용액 조성물의 수면 높이를 측정하는 레벨 센서를 포함할 수 있다.The sensor may include a level sensor that measures the height of the water surface of the reinforced solution composition in the refill chamber.

몇몇 실시예에서, 상기 리필 챔버는 상기 리필 챔버로부터 상기 강화 용액 조성물을 배출하는 유로부, 및 상기 유로부를 따라 배출되는 상기 강화 용액 조성물의 유량 또는 유속을 측정하는 밸브 또는 유량계를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the refill chamber may further include a flow path portion discharging the enhanced solution composition from the refill chamber, and a valve or flow meter measuring the flow rate or flow rate of the enhanced solution composition discharged along the flow path portion. .

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명에 포함되어 있다. Specific details of other embodiments are included in the detailed description.

본 발명의 실시예들에 따르면 글라스의 화학 강화 공정과 동시에 강화 용액의 농도, 잔량 등의 상태 관리가 개선되어 불필요한 비용 상승을 방지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, state management such as concentration and remaining amount of the strengthening solution is improved simultaneously with the chemical strengthening process of glass, thereby preventing unnecessary cost increases.

본 발명의 실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.Effects according to embodiments of the present invention are not limited to the contents exemplified above, and further various effects are included in the present specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 화학 강화로의 모식도이다.
도 2는 도 1의 글라스 로더를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 도 3의 강화 용액을 보충하는 단계를 구체화한 순서도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로의 분해사시도이다.
도 6은 도 5의 글라스 화학 강화로의 단면사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.
도 8 내지 도 11은 도 7의 글라스 화학 강화 방법을 순서대로 나타낸 모식도들이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.
도 14 내지 도 17은 도 13의 글라스 화학 강화 방법을 순서대로 나타낸 모식도들이다.
도 18 내지 도 21은 각각 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 글라스 화학 강화로의 측단면도들이다.
도 22는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.
도 23은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.
도 24 내지 도 27은 각각 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 글라스 화학 강화로의 측단면도들이다.
Figure 1 is a schematic diagram of a glass chemical strengthening furnace according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing the glass loader of Figure 1.
Figure 3 is a flowchart showing a glass chemical strengthening method according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a flowchart specifying the steps for replenishing the strengthening solution of Figure 3.
Figure 5 is an exploded perspective view of a glass chemical strengthening furnace according to another embodiment of the present invention.
Figure 6 is a cross-sectional perspective view of the glass chemical strengthening furnace of Figure 5.
Figure 7 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention.
Figures 8 to 11 are schematic diagrams sequentially showing the glass chemical strengthening method of Figure 7.
Figure 12 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention.
Figure 13 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention.
Figures 14 to 17 are schematic diagrams sequentially showing the glass chemical strengthening method of Figure 13.
18 to 21 are side cross-sectional views of a glass chemical strengthening furnace according to further embodiments of the present invention, respectively.
Figure 22 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention.
Figure 23 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention.
Figures 24 to 27 are side cross-sectional views of glass chemical strengthening furnaces according to further embodiments of the present invention, respectively.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 즉, 본 발명이 제시하는 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있다. 아래 설명하는 실시예들은 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 이들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms, and only the embodiments serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete, and those skilled in the art It is provided to fully inform the person of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. That is, various changes may be made to the embodiments presented by the present invention. The embodiments described below are not intended to limit the embodiments, but should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes therefor.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings that can be commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined.

본 명세서에서, '및/또는'은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 또, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 본 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. '내지'를 사용하여 나타낸 수치 범위는 그 앞과 뒤에 기재된 값을 각각 하한과 상한으로서 포함하는 수치 범위를 나타낸다. '약' 또는 '대략'은 그 뒤에 기재된 값 또는 수치 범위의 20% 이내의 값 또는 수치 범위를 의미한다.As used herein, 'and/or' includes each and every combination of one or more of the mentioned items. Additionally, the singular form also includes the plural form unless specifically stated in the phrase. As used herein, 'comprises' and/or 'comprising' do not exclude the presence or addition of one or more other components in addition to the mentioned components. The numerical range expressed using 'to' indicates a numerical range that includes the values written before and after it as the lower limit and upper limit, respectively. ‘About’ or ‘approximately’ means a value or numerical range within 20% of the value or numerical range stated thereafter.

도면에 도시된 구성요소의 크기, 두께, 폭, 길이 등은 설명의 편의 및 명확성을 위해 과장 또는 축소될 수 있으므로 본 발명이 도시된 형태로 제한되는 것은 아니다.The size, thickness, width, length, etc. of components shown in the drawings may be exaggerated or reduced for convenience and clarity of explanation, so the present invention is not limited to the form shown.

공간적으로 상대적인 용어인 '위(above)', '상부(upper)', ‘상(on)’, '아래(below)', '아래(beneath)', '하부(lower)' 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 '아래(below 또는 beneath)'로 기술된 소자는 다른 소자의 '위(above)'에 놓일 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 '아래'는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다.Spatially relative terms such as 'above', 'upper', 'on', 'below', 'beneath', and 'lower' are used in the drawing. As shown, it can be used to easily describe the correlation between one element or component and other elements or components. Spatially relative terms should be understood as terms that include different directions of the element when used in addition to the direction shown in the drawings. For example, when an element shown in a drawing is turned over, an element described as 'below or beneath' another element may be placed 'above' the other element. Accordingly, the illustrative term 'down' may include both downward and upward directions.

또, 본 명세서에서, 제1 방향(X)은 평면 내 임의의 방향을 의미하고, 제2 방향(Y)은 상기 평면 내에서 제1 방향(X)과 교차하는 다른 방향을 의미한다. 또, 제3 방향(Z)은 상기 평면과 수직한 방향을 의미한다. Additionally, in this specification, the first direction (X) refers to an arbitrary direction in a plane, and the second direction (Y) refers to another direction intersecting the first direction (X) in the plane. Additionally, the third direction (Z) refers to a direction perpendicular to the plane.

다르게 정의되지 않는 한, '평면', '수평면' 또는 '지면'은 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)이 속하는 평면을 의미한다. 용어 '평면 방향'은 상기 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)이 속하는 평면 내의 임의의 일 방향을 의미한다. 상기 '평면 방향'은 '수평 방향', '수평면 방향' 등과 혼용될 수 있다. 제3 방향(Z)은 용어 '중력 방향', '상하 방향', 또는 '수직 방향'과 혼용될 수 있다. 또, 상기 '중력 방향'은 '평면' 내지는 '지면'과 수직한 방향일 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.Unless otherwise defined, 'plane', 'horizontal plane' or 'ground' means the plane to which the first direction (X) and the second direction (Y) belong. The term 'plane direction' refers to any direction in the plane to which the first direction (X) and the second direction (Y) belong. The ‘plane direction’ may be used interchangeably with ‘horizontal direction’, ‘horizontal plane direction’, etc. The third direction (Z) may be used interchangeably with the terms 'gravity direction', 'up/down direction', or 'vertical direction'. Additionally, the ‘direction of gravity’ may be a direction perpendicular to the ‘plane’ or the ‘ground’, but the present invention is not limited thereto.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(10)의 모식도이다. 도 2는 도 1의 글라스 로더(300)를 나타낸 사시도이다.Figure 1 is a schematic diagram of a glass chemical strengthening furnace 10 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the glass loader 300 of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(10)는 챔버 도어(150)를 포함하는 강화 챔버(100), 리필 챔버(200) 및 강화 챔버(100)와 리필 챔버(200)를 연결하는 유로부(205)를 포함할 수 있다.1 and 2, the glass chemical strengthening furnace 10 according to this embodiment includes a strengthening chamber 100 including a chamber door 150, a refill chamber 200, and a strengthening chamber 100 and a refill chamber. It may include a flow path portion 205 connecting 200.

강화 챔버(100)(예컨대, 제1 챔버)는 글라스 로더(300)가 인입 및 인출될 수 있는 개구를 가질 수 있다. 예를 들어, 강화 챔버(100)는 개방된 상부를 가질 수 있다. 다만 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 강화 챔버(100)는 개방된 측부 또는 개방된 하부를 가지고, 상기 개구를 통해 글라스 로더(300)의 인입출이 수행될 수 있다. 강화 챔버(100)가 개방된 상부를 갖는 예시적인 실시예에서, 강화 챔버(100)는 지면 상에 놓일 수 있다.The strengthening chamber 100 (eg, the first chamber) may have an opening through which the glass loader 300 can be inserted and withdrawn. For example, the strengthening chamber 100 may have an open top. However, the present invention is not limited to this, and the strengthening chamber 100 has an open side or an open bottom, and the glass loader 300 can be drawn in and out through the opening. In an exemplary embodiment where the consolidation chamber 100 has an open top, the consolidation chamber 100 may lie on the ground.

강화 챔버(100)의 내부 공간은 대략 원통 형상일 수 있다. 다만 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 강화 챔버(100)의 내부 공간은 강화 대상인 글라스(G)가 적재된 글라스 로더(300)를 강화 용액(SS)에 고르게 침지할 수 있는 형상이면 무방하다. 예를 들어, 강화 챔버(100)의 내부 공간은 대략 사각통, 육각통 또는 팔각통 등의 다각형 형상일 수 있다.The internal space of the reinforcement chamber 100 may be approximately cylindrical. However, the present invention is not limited to this, and the internal space of the strengthening chamber 100 may be shaped so that the glass loader 300 loaded with the glass (G) to be strengthened can be evenly immersed in the strengthening solution (SS). For example, the internal space of the reinforcement chamber 100 may have a polygonal shape, such as a rectangular cylinder, a hexagonal cylinder, or an octagonal cylinder.

강화 챔버(101)는 이중 벽으로 구성되고, 외벽과 내벽 사이는 비어있는 상태일 수 있다. 즉, 외벽과 내벽 사이에는 이격 공간(V)이 형성될 수 있다.The strengthening chamber 101 is composed of double walls, and the space between the outer wall and the inner wall may be empty. That is, a separation space (V) may be formed between the outer wall and the inner wall.

챔버 도어(150)는 강화 챔버(100)의 개구를 개방하거나 밀폐할 수 있다. 예를 들어, 챔버 도어(150)는 수평 방향, 예컨대 제1 방향(X)으로 슬라이딩 이동하여 강화 챔버(100)의 상부 개구를 개폐하도록 구성될 수 있다.The chamber door 150 may open or close the opening of the reinforcement chamber 100. For example, the chamber door 150 may be configured to open and close the upper opening of the reinforcement chamber 100 by sliding in a horizontal direction, for example, in the first direction (X).

글라스 로더(300)는 강화 대상인 글라스(G)를 로딩하기 위한 구성일 수 있다. 예를 들어, 글라스 로더(300)는 로더 본체(310), 로더 본체(310)의 상부에 위치한 록킹 유닛(330) 및 복수의 카세트(350)를 포함할 수 있다. 글라스 로더(300)는 지그(jig) 등으로 호칭될 수도 있다.The glass loader 300 may be configured to load glass (G) that is to be strengthened. For example, the glass loader 300 may include a loader body 310, a locking unit 330 located on the top of the loader body 310, and a plurality of cassettes 350. The glass loader 300 may also be called a jig, etc.

로더 본체(310)는 평면 시점에서 대략 육각형 형상일 수 있다. 다른 실시예에서, 로더 본체(310)는 평면 시점에서 대략 사각형 또는 팔각형 등의 다각형 형상이거나, 또는 원형일 수도 있다. 로더 본체(310)는 하부 개구를 가지고 내부가 비어있는 형상일 수 있다.The loader body 310 may have an approximately hexagonal shape when viewed from a plan view. In another embodiment, the loader body 310 may have a polygonal shape, such as a substantially square or octagon, from a plan view, or may be circular. The loader body 310 may have a lower opening and an empty interior.

로더 본체(310)의 상면 상에는 록킹 유닛(330)이 배치될 수 있다. 록킹 유닛(330)은 일 방향으로 연장된 한쌍의 봉일 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. 록킹 유닛(330)은 글라스 로더(300)를 이송하는 경우에 파지되는 부분일 수 있다. 즉, 록킹 유닛(330)은 로봇 아암(미도시) 등의 로딩 유닛 내지는 언로딩 유닛, 또는 오버 헤드 트랜스포트(Overhead Hoist Transport, OHT) 등의 이송 유닛과 결합되도록 구성될 수 있다.A locking unit 330 may be disposed on the upper surface of the loader body 310. The locking unit 330 may be a pair of rods extending in one direction, but the present invention is not limited thereto. The locking unit 330 may be a part that is held when the glass loader 300 is transported. That is, the locking unit 330 may be configured to be combined with a loading unit or unloading unit such as a robot arm (not shown), or a transfer unit such as an overhead hoist transport (OHT).

로더 본체(310)의 측면 상에는 복수의 카세트(350)가 고정되어 착탈 가능하게 구성될 수 있다. 카세트(350)는 로더 본체(310)의 측면 방향을 따라, 그리고 제3 방향(Z)을 따라 복수개 구비될 수 있다. 도 2는 로더 본체(310)의 일 측면에 카세트(350)가 측면 방향으로 2개, 제3 방향(Z)으로 4개 배치된 경우를 예시하나 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다. 하나의 카세트(350)에는 복수의 글라스(G)가 적재 내지는 실장될 수 있다. 글라스(G)는 원장 글라스가 소정의 크기로 절단되고, 모서리 등이 가공된 글라스 셀 상태일 수 있다. 글라스(G)는 칼륨 이온을 실질적으로 포함하지 않거나, 또는 칼륨 이온에 비해 나트륨 이온을 풍부하게 함유하는 글라스, 즉 화학 강화 전 글라스일 수 있다. 글라스(G)는 약 100㎛ 이하, 또는 약 90㎛ 이하, 또는 약 80㎛ 이하, 또는 약 70㎛ 이하, 또는 약 60㎛ 이하, 또는 약 50㎛ 이하의 두께를 갖는 초박형 글라스일 수 있다. 복수의 글라스(G)는 서로 접착제 등을 개재하여 글라스 라미네이트(GL)를 형성하고, 글라스 라미네이트(GL)가 카세트(350)에 탑재될 수 있다. 도 2는 하나의 카세트(350) 내에 글라스 라미네이트(GL)가 방사 방향으로 2개 배치된 경우를 예시한다.A plurality of cassettes 350 may be fixed to the side of the loader body 310 and configured to be detachable. A plurality of cassettes 350 may be provided along the side direction of the loader main body 310 and in the third direction (Z). Figure 2 illustrates a case in which two cassettes 350 are arranged in the lateral direction and four in the third direction (Z) on one side of the loader main body 310, but the present invention is of course not limited thereto. A plurality of glasses G may be loaded or mounted on one cassette 350. The glass (G) may be in a glass cell state in which raw glass is cut to a predetermined size and edges, etc., are processed. The glass (G) may be glass that substantially does not contain potassium ions, or may be glass that contains sodium ions in abundance compared to potassium ions, that is, glass before chemical strengthening. The glass (G) may be ultra-thin glass having a thickness of about 100 μm or less, or about 90 μm or less, or about 80 μm or less, or about 70 μm or less, or about 60 μm or less, or about 50 μm or less. The plurality of glasses G may form a glass laminate GL through an adhesive or the like, and the glass laminate GL may be mounted on the cassette 350 . Figure 2 illustrates a case where two glass laminates (GL) are arranged in the radial direction within one cassette 350.

리필 챔버(200)는 강화 챔버(100)에 인접하여 위치할 수 있다. 도 1은 리필 챔버(200)가 강화 챔버(100)의 제1 방향(X) 일측에 배치된 경우를 예시하고 있으나, 다른 실시예에서 리필 챔버(200)는 강화 챔버(100)의 제2 방향(Y) 일측에 배치될 수도 있다. 리필 챔버(200)의 저면은 강화 챔버(100)의 저면 보다 높은 레벨, 바람직하게는 강화 챔버(100) 내의 강화 용액(SS)의 수면 보다 높은 레벨에 위치할 수 있다. 예를 들어 리필 챔버(200)는 지지 프레임(205) 상에 놓일 수 있다. 이를 통해 리필 챔버(200) 내부의 강화 용액(미도시)이 강화 챔버(미도시)에 보충되는 것을 용이하게 할 수 있다. The refill chamber 200 may be located adjacent to the reinforcement chamber 100. 1 illustrates a case where the refill chamber 200 is disposed on one side of the first direction ( (Y) It may be placed on one side. The bottom of the refill chamber 200 may be located at a higher level than the bottom of the strengthening chamber 100, preferably at a level higher than the water surface of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 100. For example, the refill chamber 200 may rest on a support frame 205 . Through this, it is possible to easily replenish the reinforcement solution (not shown) inside the refill chamber 200 into the reinforcement chamber (not shown).

강화 챔버(100)와 리필 챔버(200)는 유로부(205)를 통해 연결될 수 있다. 도면으로 표현하지 않았으나, 유로부(205)는 밸브(미도시) 등을 포함하여 강화 챔버(100)와 리필 챔버(200)를 선택적으로 유체 연통시킬 수 있다. 도 1은 유로부(250)가 리필 챔버(200)의 하면을 부분적으로 관통하고, 강화 챔버(100)의 측벽을 부분적으로 관통한 경우를 예시하나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. 강화 챔버(100)의 측벽을 관통한 유로부(250)는 강화 용액(SS)의 수면 보다 상측에 위치할 수 있다.The reinforcement chamber 100 and the refill chamber 200 may be connected through a flow path portion 205. Although not shown in the drawing, the flow path portion 205 may include a valve (not shown) to selectively communicate fluidly with the reinforcement chamber 100 and the refill chamber 200. Figure 1 illustrates a case where the flow path portion 250 partially penetrates the lower surface of the refill chamber 200 and partially penetrates the side wall of the reinforcement chamber 100, but the present invention is not limited thereto. The flow path portion 250 penetrating the side wall of the strengthening chamber 100 may be located above the water surface of the strengthening solution (SS).

본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(10)는 강화 챔버(100)에 수용된 강화 용액(SS)의 잔량, 농도 등을 측정하고, 그 측정 결과를 기초로 리필 챔버(200)에 수용된 리필 강화 용액(SS1)으로부터 강화 챔버(100) 내의 강화 용액(SS)을 보충하도록 구성될 수 있다. 이에 대해서는 도 3과 함께 설명한다.The glass chemical strengthening furnace 10 according to this embodiment measures the remaining amount and concentration of the strengthening solution (SS) accommodated in the strengthening chamber 100, and based on the measurement results, the refill strengthening solution accommodated in the refill chamber 200 It may be configured to replenish the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 100 from (SS1). This will be explained together with FIG. 3.

리필 강화 용액(SS1)은 강화 용액(SS)과 실질적으로 동일한 조성을 갖는 실질적으로 동일한 물질일 수 있다. 강화 용액(SS) 및 리필 강화 용액(SS1)의 예로는 질산칼륨(KNO3)을 예시할 수 있다.The refill strengthening solution (SS1) may be a material having substantially the same composition as the strengthening solution (SS). Examples of the strengthening solution (SS) and the refill strengthening solution (SS1) include potassium nitrate (KNO 3 ).

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다. 도 4는 도 3의 강화 용액을 보충하는 단계를 구체화한 순서도이다.Figure 3 is a flowchart showing a glass chemical strengthening method according to an embodiment of the present invention. Figure 4 is a flowchart specifying the steps for replenishing the strengthening solution of Figure 3.

도 3 및 도 4를 더 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 열처리 챔버(미도시)에서 글라스를 예열하는 단계(S100), 예열된 글라스를 강화 챔버(100)에서 화학 강화하는 단계(S200) 및 강화된 글라스를 열처리 챔버(미도시)에서 서냉하는 단계(S300)를 포함하고, 강화 챔버(100)에 강화 용액을 보충하는 단계(S400)를 더 포함할 수 있다. 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 도 1의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(10)를 이용하여 수행될 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다. 또, 글라스를 예열하는 단계(S100)와 글라스를 서냉하는 단계(S300)에서 이용되는 열처리 챔버는 동일 챔버를 지칭할 수 있다.Referring further to FIGS. 3 and 4, the method for chemical strengthening of glass according to this embodiment includes preheating the glass in a heat treatment chamber (not shown) (S100), and chemically strengthening the preheated glass in the strengthening chamber (100). It includes a step (S200) and a step (S300) of slowly cooling the strengthened glass in a heat treatment chamber (not shown), and may further include a step (S400) of replenishing the strengthening solution in the strengthening chamber 100. The method of chemically strengthening glass according to this embodiment may be performed using the glass chemical strengthening furnace 10 according to the embodiment of FIG. 1, but of course, the present invention is not limited thereto. Additionally, the heat treatment chamber used in the step of preheating the glass (S100) and the step of slowly cooling the glass (S300) may refer to the same chamber.

글라스를 예열하는 단계(S100)에서 예열 온도는 약 300℃ 이상, 또는 약 350℃ 이상, 또는 약 400℃ 이상, 또는 약 450℃ 이상, 또는 약 500℃ 이상일 수 있다. 예열 단계에서의 승온은 연속적으로 이루어지거나, 또는 정온과 승온을 반복하며 비연속적으로 이루어질 수 있다. 예열 단계의 수행 시간은 약 100분 이상, 또는 약 110분 이상, 또는 약 120분 이상, 또는 약 130분 이상일 수 있다.In the step of preheating the glass (S100), the preheating temperature may be about 300°C or higher, or about 350°C or higher, or about 400°C or higher, or about 450°C or higher, or about 500°C or higher. The temperature increase in the preheating step may be done continuously, or may be done discontinuously by repeating constant temperature and temperature increase. The duration of the preheating step may be at least about 100 minutes, or at least about 110 minutes, or at least about 120 minutes, or at least about 130 minutes.

또, 화학 강화 단계(S200)에서 강화 용액(SS)의 가열 온도는 약 300℃ 이상, 또는 약 350℃ 이상, 또는 약 400℃ 이상, 또는 약 450℃ 이상, 또는 약 500℃ 이상일 수 있다. 화학 강화 단계의 수행 시간은 예열 단계의 수행 시간 보다 짧을 수 있다. 예를 들어 화학 강화 공정은 약 30분 이하, 또는 약 25분 이하, 또는 약 20분 이하, 또는 약 15분 이하, 또는 약 10분 이하의 시간 동안 수행될 수 있다.Additionally, in the chemical strengthening step (S200), the heating temperature of the strengthening solution (SS) may be about 300°C or higher, or about 350°C or higher, or about 400°C or higher, or about 450°C or higher, or about 500°C or higher. The performance time of the chemical strengthening step may be shorter than the performance time of the preheating step. For example, the chemical strengthening process can be performed for a period of time of about 30 minutes or less, or about 25 minutes or less, or about 20 minutes or less, or about 15 minutes or less, or about 10 minutes or less.

또한 글라스를 서냉하는 단계(S300)에서 서냉 온도, 즉 최종 냉각 온도는 약 50℃ 이하, 또는 약 100℃ 이하, 또는 약 150℃ 이하일 수 있다. 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니나, 열처리 챔버의 강온은 연속적으로 이루어지거나, 또는 정온과 강온을 반복하며 비연속적으로 이루어질 수 있다. 또, 서냉 단계의 수행 시간은 예열 단계의 수행 시간 보다 짧을 수 있다. 예를 들어 서냉 공정은 약 30분 이하, 또는 약 25분 이하, 또는 약 20분 이하, 또는 약 15분 이하, 또는 약 10분 이하의 시간 동안 수행될 수 있다.Additionally, in the step of slowly cooling the glass (S300), the slow cooling temperature, that is, the final cooling temperature, may be about 50°C or less, or about 100°C or less, or about 150°C or less. Although the present invention is not limited to this, the temperature of the heat treatment chamber may be lowered continuously or may be discontinuous by repeating constant temperature and temperature lowering. Additionally, the performance time of the slow cooling step may be shorter than the performance time of the preheating step. For example, the slow cooling process may be performed for a period of time of about 30 minutes or less, or about 25 minutes or less, or about 20 minutes or less, or about 15 minutes or less, or about 10 minutes or less.

전술한 글라스의 예열 단계(S100), 화학 강화 단계(S200) 및 서냉 단계(S300)는 하나의 공정 단위를 구성하며, 상기 공정 단위가 반복될 수 있다. 즉, 글라스를 서냉하는 단계(S300) 후에 이어서 글라스의 예열 단계(S100)가 수행될 수 있다.The above-described preheating step (S100), chemical strengthening step (S200), and slow cooling step (S300) of the glass constitute one process unit, and the process unit may be repeated. That is, after the step of slowly cooling the glass (S300), the step of preheating the glass (S100) may be performed.

이 경우, 어느 공정 단위의 수행 시간 동안 강화 용액을 보충하는 단계(S400)가 수행될 수 있다. 즉, 강화 용액을 보충하는 단계(S400)는 예열 단계(S100), 화학 강화 단계(S200) 및/또는 서냉 단계(S300) 중 하나 이상과 동시에 수행되거나, 또는 예열 단계(S100)와 화학 강화 단계(S200)의 사이, 또는 화학 강화 단계(S200)와 서냉 단계(S300)의 사이, 또는 서냉 단계(S300)와 예열 단계(S100)의 사이에 이루어질 수 있다.In this case, a step (S400) of replenishing the reinforcing solution may be performed during the performance time of a certain process unit. That is, the step of replenishing the strengthening solution (S400) is performed simultaneously with one or more of the preheating step (S100), the chemical strengthening step (S200), and/or the slow cooling step (S300), or the preheating step (S100) and the chemical strengthening step. It may be performed between (S200), between the chemical strengthening step (S200) and the slow cooling step (S300), or between the slow cooling step (S300) and the preheating step (S100).

강화 용액을 보충하는 단계(S400)는 강화 용액의 잔량이 기준 잔량 이상인지, 또는 초과인지 판단하는 단계(S400a) 및 강화 용액의 잔량이 기준 잔량에 미달하거나, 이하인 경우 강화 용액의 보충을 수행하는 단계(S400b)를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 강화 용액의 보충 여부를 판단하는 로직은 강화 용액의 잔량에 국한되지 않는다.The step of replenishing the strengthening solution (S400) includes determining whether the remaining amount of the strengthening solution is greater than or equal to the standard remaining amount (S400a), and performing replenishment of the strengthening solution when the remaining amount of the strengthening solution is less than or equal to the standard remaining amount. It may include step S400b. However, this is an example and the present invention is not limited thereto, and the logic for determining whether to replenish the strengthening solution is not limited to the remaining amount of the strengthening solution.

본 실시예와 같이 강화 챔버(100) 내의 강화 용액(SS)의 이온 농도, 또는 잔량 등을 측정하고, 이를 기초로 강화 챔버(100) 내에 리필 강화 용액(SS1)을 보충하도록 구성하여 글라스 화학 강화로(10)의 운용이 중단되는 것을 방지하고, 강화 용액(SS)이 양질의 상태를 유지하도록 할 수 있다. 예를 들어, 공정이 반복됨에 따라 강화 용액(SS)의 잔량, 예컨대 부피가 감소하는 경우, 글라스 화학 강화로(10)의 운용을 중단하고 강화 용액을 보충하지 않을 수 있어 공정 로스를 최소화할 수 있다. 다른 예를 들어, 공정이 반복됨에 따라 강화 용액(SS) 내의 칼륨 이온이 소정 기준 이상으로 감소하거나, 또는 나트륨 이온이 소정 기준 이상으로 증가하는 경우, 강화 용액(SS) 전체를 교환하지 않고 리필 강화 용액(SS1)을 보충하여 강화 용액(SS)의 농도를 일정 수준으로 유지할 수 있다.As in the present embodiment, the ion concentration or remaining amount of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 100 is measured, and the refill strengthening solution (SS1) is added to the strengthening chamber 100 based on this to strengthen the glass chemically. It is possible to prevent the operation of the furnace 10 from being interrupted and to ensure that the strengthening solution (SS) is maintained in good quality. For example, if the remaining amount, e.g., volume, of the strengthening solution (SS) decreases as the process is repeated, the operation of the glass chemical strengthening furnace 10 may be stopped and the strengthening solution may not be replenished, thereby minimizing process loss. there is. For another example, when the potassium ions in the strengthening solution (SS) decrease beyond a predetermined standard or the sodium ions in the strengthening solution (SS) increase above a predetermined standard as the process is repeated, refill reinforcement without exchanging the entire strengthening solution (SS). The concentration of the strengthening solution (SS) can be maintained at a certain level by replenishing the solution (SS1).

이하, 본 발명의 다른 실시예들에 대하여 설명한다. 다만 전술한 실시예와 동일하거나, 극히 유사한 구성에 대한 설명은 생략하며 이는 첨부된 도면으로부터 본 기술분야에 속하는 기술자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.Hereinafter, other embodiments of the present invention will be described. However, the description of the same or extremely similar configuration as the above-described embodiment will be omitted, and this will be clearly understood by those skilled in the art from the attached drawings.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(11)의 분해사시도이다. 도 6은 도 5의 글라스 화학 강화로(11)의 단면사시도이다.Figure 5 is an exploded perspective view of a glass chemical strengthening furnace 11 according to another embodiment of the present invention. Figure 6 is a cross-sectional perspective view of the glass chemical strengthening furnace 11 of Figure 5.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(11)는 강화 챔버(101)와 제3 방향(Z)으로 중첩하여 배치된 열처리 챔버(401) 및 승강 유닛(500)을 더 포함하는 점이 도 1의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(10)와 상이한 점이다.Referring to FIGS. 5 and 6, the glass chemical strengthening furnace 11 according to this embodiment includes a heat treatment chamber 401 and an elevating unit 500 arranged to overlap the strengthening chamber 101 in the third direction (Z). It is different from the glass chemical strengthening furnace 10 according to the embodiment of FIG. 1 in that it further includes.

열처리 챔버(401)(예컨대, 제2 챔버)는 개방된 하부를 가지고 강화 챔버(101)의 상부에 위치할 수 있다. 열처리 챔버(401)의 하부 개구와 강화 챔버(101)의 상부 개구는 중첩하고, 열처리 챔버(401)의 내부 공간과 강화 챔버(101)의 내부 공간은 서로 유체 연통될 수 있다. 또, 강화 챔버(101)의 챔버 도어(150)가 폐쇄되는 경우, 챔버 도어(150)는 강화 챔버(101)의 내부 공간 뿐 아니라 열처리 챔버(401)의 내부 공간을 밀폐하며, 강화 챔버(101)의 내부 공간과 열처리 챔버(401)의 내부 공간을 서로 분리시킬 수 있다.The heat treatment chamber 401 (eg, second chamber) may be located at the top of the strengthening chamber 101 with an open bottom. The lower opening of the heat treatment chamber 401 and the upper opening of the strengthening chamber 101 overlap, and the inner space of the heat treatment chamber 401 and the inner space of the strengthening chamber 101 may be in fluid communication with each other. In addition, when the chamber door 150 of the strengthening chamber 101 is closed, the chamber door 150 seals not only the inner space of the strengthening chamber 101 but also the inner space of the heat treatment chamber 401, and the strengthening chamber 101 ) and the internal space of the heat treatment chamber 401 can be separated from each other.

챔버 도어(150)는 제1 방향(X)으로 연장되고, 제2 방향(Y)으로 이격된 한쌍의 도어 가이드(151)를 따라 이동할 수 있다. 도어 가이드(151)는 적어도 부분적으로 강화 챔버(101) 상에 배치되고, 적어도 부분적으로 강화 챔버(101)의 제3 방향(Z)으로 비중첩하게 배치될 수 있다. 도면으로 표현하지 않았으나, 도어 가이드(151)는 챔버 도어(150)가 슬라이딩 이동하기 위해 실린더 및/또는 모터 등의 구동기(미도시)를 더 포함할 수 있다. 또, 도 6은 챔버 도어(150)가 도어 슬롯(170p)을 갖는 도어 프레임(170)을 통해 삽입되는 경우를 예시하나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.The chamber door 150 extends in the first direction (X) and can move along a pair of door guides 151 spaced apart in the second direction (Y). The door guide 151 may be at least partially disposed on the strengthening chamber 101 and at least partially non-overlapping in the third direction (Z) of the strengthening chamber 101 . Although not shown in the drawing, the door guide 151 may further include a driver (not shown) such as a cylinder and/or a motor to allow the chamber door 150 to slide. In addition, Figure 6 illustrates a case where the chamber door 150 is inserted through the door frame 170 having the door slot 170p, but the present invention is not limited thereto.

몇몇 실시예에서, 열처리 챔버(401)는 도어 프레임(170) 상에 배치될 수있다. 열처리 챔버(401)와 도어 프레임(170)은 일체로 형성될 수도 있다. 또, 도면으로 표현하지 않았으나, 도어 프레임(170)은 지지 프레임(미도시) 상에 놓이고, 지지 프레임은 지면 상에 놓일 수 있다. 다른 실시예에서, 도어 프레임(170)은 강화 챔버(101) 상에 직접 배치될 수도 있다.In some embodiments, heat treatment chamber 401 may be disposed on door frame 170. The heat treatment chamber 401 and the door frame 170 may be formed integrally. In addition, although not shown in the drawings, the door frame 170 may be placed on a support frame (not shown), and the support frame may be placed on the ground. In another embodiment, the door frame 170 may be placed directly on the strengthening chamber 101.

열처리 챔버(401)의 내부 공간은 대략 원통 형상일 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 열처리 챔버(401)의 내부 공간은 열처리 대상 및/또는 강화 대상인 글라스가 실장된 글라스 로더(300)에 균일하게 열을 제공할 수 있는 형상이면 무방하다. 예를 들어, 열처리 챔버(401)의 내부 공간은 대략 사각통, 육각통 또는 팔각통 등의 다각형 형상일 수 있다.The internal space of the heat treatment chamber 401 may be approximately cylindrical. However, the present invention is not limited to this, and the internal space of the heat treatment chamber 401 may be shaped to uniformly provide heat to the glass loader 300 on which the glass to be heat treated and/or strengthened is mounted. For example, the internal space of the heat treatment chamber 401 may have a substantially polygonal shape, such as a square cylinder, a hexagonal cylinder, or an octagonal cylinder.

열처리 챔버(401)는 열처리 챔버 본체(411) 및 측면 도어(413)를 포함할 수 있다. 열처리 챔버 본체(411)는 개방된 하부 뿐 아니라 개방된 측면을 가지고, 측면 도어(413)는 상기 개방된 측면을 개폐할 수 있다. 도 5 등은 측면 도어(413)가 열처리 챔버 본체(411)의 제2 방향(Y) 일측에 위치하는 경우를 예시한다. 또, 열처리 챔버 본체(411)의 상기 측면 개구를 통해 글라스 로더(300)가 열처리 챔버(401)에 인입출될 수 있다.The heat treatment chamber 401 may include a heat treatment chamber body 411 and a side door 413. The heat treatment chamber main body 411 has an open bottom as well as an open side, and the side door 413 can open and close the open side. 5 illustrates a case where the side door 413 is located on one side of the heat treatment chamber main body 411 in the second direction (Y). Additionally, the glass loader 300 may be drawn in and out of the heat treatment chamber 401 through the side opening of the heat treatment chamber body 411.

측면 도어(413)는 적어도 부분적으로 열처리 챔버 본체(411)에 삽입될 수 있다. 열처리 챔버 본체(411)의 내측벽과 측면 도어(413)의 내측벽은 각각 오목한 곡면을 형성할 수 있다. 구체적으로, 열처리 챔버 본체(411)의 내측벽과 측면 도어(413)의 내측벽은 연결되어 대략 원형을 이룰 수 있다.The side door 413 may be at least partially inserted into the heat treatment chamber body 411. The inner wall of the heat treatment chamber main body 411 and the inner wall of the side door 413 may each form a concave curved surface. Specifically, the inner wall of the heat treatment chamber main body 411 and the inner wall of the side door 413 may be connected to form an approximately circular shape.

열처리 챔버(401)는 내부 공간에 글라스가 실장된 글라스 로더(300)가 인입되어 열처리되는 공간을 제공할 수 있다. 상기 열처리는 글라스의 화학 강화 공정에 있어서, 전처리로서의 예열 처리(pre-heating treatment, warm-up treatment), 본공정으로서의 열처리 및 후처리로서의 서냉 처리(slow cool-down treatment)를 포함하는 의미일 수 있다. 다른 측면에서, 상기 열처리는 열처리 대상의 승온(temperature rising), 정온, 강온(temperature drop) 및 이들의 조합을 수행하는 것을 포함하는 의미일 수 있다. 즉, 열처리 챔버(401)는 글라스의 예열, 가열, 서냉 및/또는 냉각이 수행되는 챔버일 수 있다.The heat treatment chamber 401 may provide a space in which the glass loader 300, in which glass is mounted, is inserted and heat treated. In the chemical strengthening process of glass, the heat treatment may include pre-heating treatment (warm-up treatment) as a pre-treatment, heat treatment as the main process, and slow cool-down treatment as a post-treatment. there is. In another aspect, the heat treatment may include performing temperature rising, constant temperature, temperature dropping, and combinations thereof of the heat treatment object. That is, the heat treatment chamber 401 may be a chamber in which preheating, heating, slow cooling, and/or cooling of the glass are performed.

이를 위해 열처리 챔버(401)는 그 내측벽 상에 배치된 복수의 열원(450)을 포함할 수 있다. 열원(450)은 챔버 내 열처리에 사용되는 열원일 수 있다. 열원(450)은 열처리 챔버 본체(411)의 내측벽으로부터 이격 돌출 배치될 수 있다.To this end, the heat treatment chamber 401 may include a plurality of heat sources 450 disposed on its inner wall. The heat source 450 may be a heat source used for heat treatment within the chamber. The heat source 450 may be disposed to protrude and be spaced apart from the inner wall of the heat treatment chamber main body 411.

몇몇 실시예에서, 강화 챔버(101)는 측벽부(111) 및 센터 칼럼(113)을 포함할 수 있다. 센터 칼럼(113)은 평면상 강화 챔버(101)의 대략 중심으로부터 제3 방향(Z)으로 소정 높이 만큼 돌출된 상태일 수 있다. 센터 칼럼(113)의 제3 방향(Z)으로의 높이는 측벽부(111)의 높이 보다 작을 수 있다. 측벽부(111) 및 센터 칼럼(113)은 그 내부에 이격 공간(V)을 가짐은 전술한 바와 같다.In some embodiments, the strengthening chamber 101 may include a side wall portion 111 and a center column 113. The center column 113 may protrude by a predetermined height in the third direction (Z) from approximately the center of the reinforcement chamber 101 in plan view. The height of the center column 113 in the third direction (Z) may be smaller than the height of the side wall portion 111. As described above, the side wall portion 111 and the center column 113 have a space V therein.

또, 강화 챔버(101)는 상면 상에 대략 원형의 홈(100g)을 가질 수 있다. 홈(100g) 내에는 열원(미도시) 등이 배치될 수 있다. 상기 열원은 챔버 도어(150)를 가열하도록 구성될 수 있다.Additionally, the strengthening chamber 101 may have a substantially circular groove 100g on its upper surface. A heat source (not shown), etc. may be placed within the groove (100g). The heat source may be configured to heat the chamber door 150.

전술한 것과 같이 열처리 챔버(401)와 강화 챔버(101)가 제3 방향(Z)으로 중첩된 글라스 화학 강화로(11)는 강화 공정 과정에서의 글라스의 외부 노출 및 로딩과 언로딩을 최소화할 수 있다. 예를 들어, 전술한 예열 공정 및 서냉 공정은 열처리 챔버(401) 내에서 이루어지고, 글라스 화학 강화 공정은 강화 챔버(101) 내에서 이루어질 수 있다. 이를 위해 글라스 화학 강화로(11)는 승강 유닛(500)을 더 포함할 수 있다.As described above, the glass chemical strengthening furnace 11 in which the heat treatment chamber 401 and the strengthening chamber 101 overlap in the third direction (Z) minimizes external exposure and loading and unloading of the glass during the strengthening process. You can. For example, the above-described preheating process and slow cooling process may be performed within the heat treatment chamber 401, and the glass chemical strengthening process may be performed within the strengthening chamber 101. To this end, the glass chemical strengthening furnace 11 may further include an elevating unit 500.

승강 유닛(500)은 열처리 챔버(401) 및/또는 강화 챔버(101) 내부에 인입되는 글라스 로더(300)를 제3 방향(Z)으로 이송 내지는 이동시키기 위한 수단일 수 있다. 평면 시점에서, 승강 유닛(500)은 열처리 챔버(401) 및/또는 강화 챔버(101)의 대략 중심에 위치할 수 있다. 승강 유닛(500)은 승강 구동기(510), 승강 로드(530) 및 로딩 고리(550)를 포함할 수 있다.The lifting unit 500 may be a means for transporting or moving the glass loader 300 introduced into the heat treatment chamber 401 and/or the strengthening chamber 101 in the third direction (Z). From a plan view, the lifting unit 500 may be located approximately at the center of the heat treatment chamber 401 and/or the strengthening chamber 101 . The lifting unit 500 may include a lifting driver 510, a lifting rod 530, and a loading ring 550.

승강 구동기(510)는 열처리 챔버(401)의 상부에 위치할 수 있다. 승강 로드(530) 및 로딩 고리(550)는 승강 구동기(510)가 제공하는 동력에 의해 제3 방향(Z)으로 이동할 수 있다. 승강 구동기(510)는 실린더, 모터 및/또는 호이스트 등의 구동 유닛일 수 있다.The lifting driver 510 may be located at the top of the heat treatment chamber 401. The lifting rod 530 and the loading ring 550 may move in the third direction (Z) by the power provided by the lifting driver 510. The lifting driver 510 may be a driving unit such as a cylinder, motor, and/or hoist.

승강 로드(530)는 제3 방향(Z)으로 연장된 로드 내지는 바(bar) 형상일 수 있다. 승강 로드(530)는 열처리 챔버(401)의 천정에 형성된 홀을 관통하여 적어도 부분적으로 열처리 챔버(401) 내부 공간에 삽입될 수 있다. 승강 로드(530)의 제3 방향(Z) 상단부의 위치는 고정된 상태이고, 승강 로드(530)는 제3 방향(Z)으로 연장되도록 구성될 수 있다. 도 6은 승강 로드(530)가 하나의 바(bar)로 구성된 경우를 예시하나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 승강 로드(530)는 서로 상이한 직경을 갖는 복수의 실린더 등으로 이루어질 수 있다.The lifting rod 530 may have a rod or bar shape extending in the third direction (Z). The lifting rod 530 may be at least partially inserted into the internal space of the heat treatment chamber 401 through a hole formed in the ceiling of the heat treatment chamber 401. The position of the upper end of the lifting rod 530 in the third direction (Z) is fixed, and the lifting rod 530 may be configured to extend in the third direction (Z). Figure 6 illustrates the case where the lifting rod 530 is composed of one bar, but the present invention is not limited to this, and the lifting rod 530 may be made of a plurality of cylinders having different diameters.

로딩 고리(550)는 승강 로드(530)의 제3 방향(Z) 하단부에 배치되어 글라스 로더(300)와 장착 및 탈착 가능하게 구성될 수 있다. 즉, 로딩 고리(550)는 승강 로드(530)의 하단부와 함께 제3 방향(Z)으로 이동할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 승강 로드(530)는 평면 상에서 회전 가능하게 구성되고, 로딩 고리(550)는 승강 로드(530)와 함께 회전할 수 있다.The loading ring 550 is disposed at the lower end of the lifting rod 530 in the third direction (Z) and can be configured to be attached to and detached from the glass loader 300. That is, the loading ring 550 can move in the third direction (Z) together with the lower end of the lifting rod 530. In some embodiments, the lifting rod 530 is configured to be rotatable in a plane, and the loading ring 550 can rotate with the lifting rod 530 .

본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(11)는 강화 챔버(101)에 수용된 강화 용액(미도시)의 잔량, 농도 등을 측정하고, 그 측정 결과를 기초로 리필 챔버(200)에 수용된 리필 강화 용액(미도시)으로부터 강화 챔버(101) 내의 강화 용액을 보충하도록 구성될 수 있다. 이에 대해서는 도 7 내지 도 11과 함께 설명한다.The glass chemical strengthening furnace 11 according to this embodiment measures the remaining amount and concentration of the strengthening solution (not shown) contained in the strengthening chamber 101, and strengthens the refill stored in the refill chamber 200 based on the measurement results. It may be configured to replenish the strengthening solution in the strengthening chamber 101 from a solution (not shown). This will be explained together with FIGS. 7 to 11.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다. 도 8 내지 도 11은 도 7의 글라스 화학 강화 방법을 순서대로 나타낸 모식도들이다.Figure 7 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention. Figures 8 to 11 are schematic diagrams sequentially showing the glass chemical strengthening method of Figure 7.

우선 도 7을 더 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 열처리 챔버(401)에서 글라스를 예열하는 단계(S100), 예열된 글라스를 강화 챔버(101)에서 화학 강화하는 단계(S200) 및 강화된 글라스를 열처리 챔버(401)에서 서냉하는 단계(S300)를 포함하되, 화학 강화 단계(S200) 전에, 구체적으로 강화 챔버(101)에 글라스가 인입되는 단계(S150) 전에 강화 용액의 보충 단계(S401)가 수행되는 점이 도 3의 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법과 상이한 점이다. 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 도 5 등의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(11)를 이용하여 수행될 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.First, referring further to FIG. 7, the method of chemical strengthening of glass according to this embodiment includes the steps of preheating the glass in the heat treatment chamber 401 (S100) and chemically strengthening the preheated glass in the strengthening chamber 101 (S200). ) and a step of slowly cooling the strengthened glass in the heat treatment chamber 401 (S300), but before the chemical strengthening step (S200), specifically, before the step of introducing the glass into the strengthening chamber 101 (S150), the strengthening solution The point in which the supplementary step (S401) is performed is different from the method for chemical strengthening of glass according to the embodiment of FIG. 3. The method of chemically strengthening glass according to this embodiment can be performed using the glass chemical strengthening furnace 11 according to the embodiment of FIG. 5, etc., but of course, the present invention is not limited thereto.

도 8을 더 참조하면, 열처리 챔버(401) 내에 글라스가 실장된 글라스 로더(300)를 인입하고, 글라스의 예열을 수행한다(S100). 챔버 도어(150)는 열처리 챔버(401) 및 강화 챔버(101)를 각각 폐쇄하고, 각각의 내부 공간이 밀폐된 상태에서 글라스의 예열을 수행할 수 있다. 본 단계에서, 즉 후술할 화학 강화 단계(S200) 전에 강화 챔버(101) 내의 강화 용액의 잔량은 충분하지 않은 상태일 수 있다. Referring further to FIG. 8, the glass loader 300 on which glass is mounted is introduced into the heat treatment chamber 401, and preheating of the glass is performed (S100). The chamber door 150 closes the heat treatment chamber 401 and the strengthening chamber 101, and preheating of the glass can be performed with each internal space sealed. In this step, that is, before the chemical strengthening step (S200) to be described later, the remaining amount of strengthening solution in the strengthening chamber 101 may be insufficient.

이어서 도 9를 더 참조하면, 강화 챔버(101)에 강화 용액을 보충한다(S401). 예시적인 실시예에서, 강화 용액을 보충하는 단계(S401)는 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량을 측정 내지는 판단하는 단계(S411) 및 강화 용액(SS)의 잔량이 부족한 것으로 판단되는 경우, 리필 챔버(200)를 이용하여 강화 챔버(101)에 강화 용액을 보충하는 단계(S431)를 포함할 수 있다. Next, with further reference to FIG. 9, the strengthening solution is replenished in the strengthening chamber 101 (S401). In an exemplary embodiment, the step of replenishing the strengthening solution (S401) includes measuring or determining the remaining amount of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 (S411) and determining that the remaining amount of the strengthening solution (SS) is insufficient. If so, a step (S431) of replenishing the strengthening solution in the strengthening chamber 101 using the refill chamber 200 may be included.

본 실시예에 따른 강화 용액을 보충하는 단계(S431)에서, 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량이 소정의 기준에 미달할 경우, 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)이 미리 정해진 만큼 유로부(250)를 따라 강화 챔버(101)에 보충될 수 있다.In the step of replenishing the strengthening solution according to this embodiment (S431), when the remaining amount of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 does not meet the predetermined standard, the refilling strengthening solution (SS1) in the refill chamber 200 This predetermined amount can be replenished into the reinforcement chamber 101 along the flow path portion 250.

본 실시예에서, 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량을 측정하는 방법은 특별히 제한되지 않으며, 강화 용액(SS)의 부피, 무게 등의 정보에 기초하여 판단할 수 있다. In this embodiment, the method of measuring the remaining amount of strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 is not particularly limited, and can be determined based on information such as the volume and weight of the strengthening solution (SS).

강화 용액을 보충하는 단계(S401)는 예열 단계(S100)가 충분히 이루어진 후, 즉 예열 단계(S100)의 종료 후에 수행되거나, 또는 예열 단계(S100)와 적어도 부분적으로 동시에 수행되거나, 또는 예열 단계(S100) 개시 전에 수행될 수 있다.The step of replenishing the reinforcing solution (S401) is performed after the preheating step (S100) is sufficiently completed, that is, after the end of the preheating step (S100), or is performed at least partially simultaneously with the preheating step (S100), or the preheating step (S100) S100) may be performed before commencement.

또, 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)이 강화 챔버(101) 내에 보충되는 경우, 보충된 강화 용액(SS)을 소정의 온도 이상으로 가열하는 단계(S130)가 더 수행될 수 있다. 상기 소정의 온도는 후술할 화학 강화 공정의 온도일 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, when the refill strengthening solution (SS1) in the refill chamber 200 is replenished in the strengthening chamber 101, a step (S130) of heating the replenished strengthening solution (SS) to a predetermined temperature or higher may be further performed. . The predetermined temperature may be the temperature of a chemical strengthening process to be described later, but the present invention is not limited thereto.

이어서 도 10을 참조하면, 전술한 것과 같이 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량을 측정하고(S411), 강화 용액의 잔량이 소정 기준 이상 또는 초과인 경우, 또는 강화 용액의 잔량이 소정 기준 미만 또는 이하로 판단되어 강화 용액의 보충이 수행된 경우(S431), 비로소 열처리 챔버(401)에서 글라스 로더(300)를 인출하고 강화 챔버(101)에 글라스 로더(300)를 인입할 수 있다(S150).Next, referring to FIG. 10, as described above, the remaining amount of strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 is measured (S411), and if the remaining amount of strengthening solution is greater than or exceeds a predetermined standard, or the remaining amount of strengthening solution is When it is determined that the temperature is below or below the predetermined standard and replenishment of the strengthening solution is performed (S431), the glass loader 300 can be withdrawn from the heat treatment chamber 401 and the glass loader 300 can be introduced into the strengthening chamber 101. There is (S150).

이를 위해 챔버 도어(150)는 도어 가이드(151)를 따라 이동하여 열처리 챔버(401)와 강화 챔버(101)는 유체 연통되고, 승강 유닛(500)의 승강 로드(530)가 제3 방향(Z)으로 연장되며 로딩 고리(550)와 글라스 로더(300)는 강화 챔버(101)에 인입될 수 있다.To this end, the chamber door 150 moves along the door guide 151 so that the heat treatment chamber 401 and the strengthening chamber 101 are in fluid communication, and the lifting rod 530 of the lifting unit 500 moves in the third direction (Z). ) and the loading ring 550 and the glass loader 300 can be introduced into the strengthening chamber 101.

그리고 글라스 로더(300)에 적재된 글라스는 강화 용액(SS)에 침지되어 화학 강화될 수 있다(S200). 글라스 로더(300)는 강화 챔버(101)의 센터 칼럼(113)에 삽입되어 제3 방향(Z)으로 위치가 고정될 수 있다. 본 단계에서 실리케이트 함유 글라스의 나트륨 이온은 강화 용액(SS)의 칼륨 이온과 치환되어 화학 강화될 수 있다. 이에 따라 강화 용액(SS)에는 나트륨 이온이 용출되어 칼륨 이온의 농도가 감소하고, 나트륨 이온의 농도가 증가할 수 있다.And the glass loaded on the glass loader 300 may be chemically strengthened by being immersed in a strengthening solution (SS) (S200). The glass loader 300 may be inserted into the center column 113 of the strengthening chamber 101 and its position may be fixed in the third direction (Z). In this step, the sodium ions of the silicate-containing glass can be chemically strengthened by being replaced with the potassium ions of the strengthening solution (SS). Accordingly, sodium ions may be eluted into the strengthened solution (SS), thereby reducing the concentration of potassium ions and increasing the concentration of sodium ions.

이어서 도 11을 더 참조하면, 화학 강화가 완료된 글라스가 적재된 글라스 로더(300)는 열처리 챔버(401)에 인입되어 서냉될 수 있다(S300). 본 단계에서 챔버 도어(150)는 열처리 챔버(401) 및 강화 챔버(101)를 각각 폐쇄하고, 각각의 내부 공간이 밀폐된 상태에서 글라스의 서냉을 수행할 수 있다.Next, referring further to FIG. 11, the glass loader 300 loaded with chemically strengthened glass may be introduced into the heat treatment chamber 401 and slowly cooled (S300). In this step, the chamber door 150 closes the heat treatment chamber 401 and the strengthening chamber 101, and slow cooling of the glass can be performed with each internal space sealed.

본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 예열 단계(S100), 화학 강화 단계(S200) 및 서냉 단계(S300)를 포함하여 이루어진 공정 단위 중에, 글라스를 화학 강화하는 단계(S200) 전에 강화 용액(SS)을 보충 및 관리하는 단계(S401)가 수행될 수 있다. The method of chemically strengthening glass according to this embodiment includes a preheating step (S100), a chemical strengthening step (S200), and a slow cooling step (S300). Among the process units, before the step of chemically strengthening the glass (S200), the strengthening solution ( A step (S401) of replenishing and managing SS) may be performed.

특히 본 실시예에서 사용되는 글라스 화학 강화로(11)와 같이 강화 챔버(101)와 열처리 챔버(401)가 제3 방향(Z)으로 중첩 배치된 경우, 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 이온 농도 및 잔량 관리를 위해 강화 용액(SS)을 교체하기 위해서는 강화 챔버(101)와 열처리 챔버(401)를 분리하는 등의 매우 번거로운 작업이 필요하고, 그 시간 동안 공정 로스가 발생하며 이는 글라스 화학 강화 공정의 비용 상승에 반영될 수 있다. In particular, when the strengthening chamber 101 and the heat treatment chamber 401 are arranged overlapping in the third direction (Z), as in the glass chemical strengthening furnace 11 used in this embodiment, the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 ) In order to replace the strengthening solution (SS) to manage the ion concentration and remaining amount, very cumbersome work such as separating the strengthening chamber 101 and the heat treatment chamber 401 is required, and process loss occurs during that time, which causes This may be reflected in the increased cost of the glass chemical strengthening process.

그러나 본 실시예와 같이 상기 공정 단위가 반복 수행되는 공정 시스템의 흐름 중, 강화 용액(SS)의 관리가 용이한 단계에서 강화 용액(SS)의 잔량 등을 측정하고 이를 기초로 강화 용액(SS)을 보충함으로써 위와 같은 문제를 완화할 수 있으며, 글라스의 화학 강화 공정을 자동화할 수 있는 장점이 있다.However, in the flow of the process system in which the process unit is repeatedly performed, as in the present embodiment, the remaining amount of the reinforcement solution (SS) is measured at a stage where management of the reinforcement solution (SS) is easy, and based on this, the reinforcement solution (SS) is measured. The above problems can be alleviated by supplementing, and there is an advantage of automating the chemical strengthening process of glass.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.Figure 12 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention.

도 12를 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 글라스를 예열하는 단계(S100), 예열된 글라스를 화학 강화하는 단계(S200), 강화된 글라스를 서냉하는 단계(S300) 및 글라스의 화학 강화 전에, 강화 용액을 보충하는 단계(S402)를 포함하되, 리필 강화 용액이 미리 정해진 만큼 강화 챔버에 보충되는 것이 아니라, 강화 챔버 내의 강화 용액의 잔량이 소정의 기준 잔량 이상인지 여부를 지속적으로 반복 측정하고(S412), 강화 챔버 내의 강화 용액이 기준 잔량을 초과, 또는 이상이 될 때까지 강화 용액의 보충이 수행(S432)되는 점이 도 7의 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법과 상이한 점이다.Referring to FIG. 12, the method of chemically strengthening glass according to this embodiment includes preheating the glass (S100), chemically strengthening the preheated glass (S200), slowly cooling the strengthened glass (S300), and Before chemical strengthening, it includes a step of replenishing the strengthening solution (S402), but rather than refilling the strengthening solution by a predetermined amount, the strengthening solution is continuously checked whether the remaining amount of the strengthening solution in the strengthening chamber is more than a predetermined standard remaining amount. It is different from the chemical strengthening method of glass according to the embodiment of FIG. 7 in that the measurement is repeated (S412), and the strengthening solution is replenished until the strengthening solution in the strengthening chamber exceeds or exceeds the standard remaining amount (S432). point.

도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다. 도 14 내지 도 17은 도 13의 글라스 화학 강화 방법을 순서대로 나타낸 모식도들이다.Figure 13 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention. Figures 14 to 17 are schematic diagrams sequentially showing the glass chemical strengthening method of Figure 13.

우선 도 13을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 열처리 챔버에서 글라스를 예열하는 단계(S100), 예열된 글라스를 강화 챔버에서 화학 강화하는 단계(S200) 및 강화된 글라스를 열처리 챔버에서 서냉하는 단계(S300)를 포함하되, 화학 강화 단계(S200) 후에, 구체적으로 강화 챔버에서 글라스가 인출되는 단계(S250) 후에 강화 용액의 보충 단계(S403)가 수행되는 점이 도 12의 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법과 상이한 점이다.First, referring to FIG. 13, the method of chemical strengthening of glass according to this embodiment includes preheating the glass in a heat treatment chamber (S100), chemically strengthening the preheated glass in the strengthening chamber (S200), and heat treating the strengthened glass. 12 includes the step of slow cooling in the chamber (S300), and the step of replenishing the strengthening solution (S403) is performed after the chemical strengthening step (S200), specifically, after the step of withdrawing the glass from the strengthening chamber (S250). This is different from the chemical strengthening method of glass according to the example.

도 14를 더 참조하면, 열처리 챔버(411) 내에 글라스가 실장된 글라스 로더(300)를 인입하고, 글라스의 예열을 수행한다(S100). 챔버 도어(150)는 열처리 챔버(411) 및 강화 챔버(101)를 각각 폐쇄하고, 각각의 내부 공간이 밀폐된 상태에서 글라스의 예열을 수행할 수 있다. 본 단계에서, 즉 후술할 화학 강화 단계(S200) 전에 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량은 충분한 상태일 수 있다.Referring further to FIG. 14, the glass loader 300 on which the glass is mounted is introduced into the heat treatment chamber 411, and preheating of the glass is performed (S100). The chamber door 150 closes the heat treatment chamber 411 and the strengthening chamber 101, and preheating of the glass can be performed with each internal space sealed. In this step, that is, before the chemical strengthening step (S200) to be described later, the remaining amount of strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 may be sufficient.

이어서 도 15를 더 참조하면, 열처리 챔버(411)에서 글라스 로더(300)를 인출하고 강화 챔버(101)에 글라스 로더(300)를 인입한다. 이를 위해 챔버 도어(150)는 도어 가이드(151)를 따라 이동하여 열처리 챔버(411)와 강화 챔버(101)는 유체 연통되고, 승강 유닛(500)의 승강 로드(530)가 제3 방향(Z)으로 연장되며 로딩 고리(550)와 글라스 로더(300)는 강화 챔버(101)에 인입될 수 있다.Next, with further reference to FIG. 15 , the glass loader 300 is withdrawn from the heat treatment chamber 411 and introduced into the strengthening chamber 101 . To this end, the chamber door 150 moves along the door guide 151 so that the heat treatment chamber 411 and the strengthening chamber 101 are in fluid communication, and the lifting rod 530 of the lifting unit 500 moves in the third direction (Z). ) and the loading ring 550 and the glass loader 300 can be introduced into the strengthening chamber 101.

그리고 글라스 로더(300)에 적재된 글라스는 강화 용액(SS)에 침지되어 화학 강화될 수 있다(S200). 본 단계에서 실리케이트 함유 글라스의 나트륨 이온은 강화 용액(SS)의 칼륨 이온과 치환되어 화학 강화될 수 있다. 이에 따라 강화 용액(SS)에는 나트륨 이온이 용출되어 칼륨 이온의 농도가 감소하고, 나트륨 이온의 농도가 증가할 수 있다.And the glass loaded on the glass loader 300 may be chemically strengthened by being immersed in a strengthening solution (SS) (S200). In this step, the sodium ions of the silicate-containing glass can be chemically strengthened by being replaced with the potassium ions of the strengthening solution (SS). Accordingly, sodium ions may be eluted into the strengthened solution (SS), thereby reducing the concentration of potassium ions and increasing the concentration of sodium ions.

이어서 도 16을 더 참조하면, 화학 강화가 완료된 글라스가 적재된 글라스 로더(300)는 열처리 챔버(411)에 인입되어 서냉될 수 있다(S300). 본 단계에서 챔버 도어(150)는 열처리 챔버(411) 및 강화 챔버(101)를 각각 폐쇄하고, 각각의 내부 공간이 밀폐된 상태에서 글라스의 서냉을 수행할 수 있다.Next, referring further to FIG. 16, the glass loader 300 loaded with chemically strengthened glass may be introduced into the heat treatment chamber 411 and slowly cooled (S300). In this step, the chamber door 150 closes the heat treatment chamber 411 and the strengthening chamber 101, and slow cooling of the glass can be performed with each internal space sealed.

본 단계에서, 글라스 및/또는 글라스 로더(300) 등의 표면에 잔여하는 강화 용액(SS) 등으로 인해 강화 챔버(101) 내부의 강화 용액(SS)의 잔량은 감소하고, 다음 공정 단위에서 화학 강화 공정을 수행하기에는 강화 용액의 잔량이 충분하지 않은 상태일 수 있다.In this step, the remaining amount of reinforcement solution (SS) inside the reinforcement chamber 101 decreases due to the reinforcement solution (SS) remaining on the surface of the glass and/or the glass loader 300, etc., and the chemical reaction in the next process unit is reduced. The remaining amount of strengthening solution may be insufficient to perform the strengthening process.

이어서 도 17을 더 참조하면, 강화 챔버(101)에 강화 용액을 보충한다(S403). 예시적인 실시예에서, 강화 용액을 보충하는 단계(S403)는 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량을 측정 내지는 판단하는 단계(S413) 및 강화 용액이 기준 잔량을 초과하거나, 또는 이상이 될 때까지 강화 용액을 보충하는 단계(S433)를 포함할 수 있다. 강화 용액의 보충은 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)이 유로부(250)를 따라 강화 챔버(101)에 보충되는 방식으로 수행될 수 있다.Next, with further reference to FIG. 17, the strengthening solution is replenished in the strengthening chamber 101 (S403). In an exemplary embodiment, the step of replenishing the strengthening solution (S403) includes measuring or determining the remaining amount of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 (S413) and whether the strengthening solution exceeds the reference residual amount or is greater than or equal to. It may include a step (S433) of replenishing the strengthening solution until . Replenishment of the reinforcement solution may be performed in a manner in which the refill reinforcement solution SS1 within the refill chamber 200 is replenished into the reinforcement chamber 101 along the flow path portion 250 .

강화 용액을 보충하는 단계(S403)는 서냉 단계(S300)의 개시 전에 수행되거나, 또는 서냉 단계(S300)와 적어도 부분적으로 동시에 수행되거나, 또는 서냉 단계(S300)가 충분히 이루어진 후, 즉 서냉 단계(S300)의 종료 후에 수행될 수 있다.The step of replenishing the strengthening solution (S403) is performed before the start of the slow cooling step (S300), or is performed at least partially simultaneously with the slow cooling step (S300), or after the slow cooling step (S300) is sufficiently accomplished, that is, the slow cooling step ( It can be performed after the end of S300).

또, 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)이 강화 챔버(101) 내에 보충되는 경우, 보충된 강화 용액(SS)을 소정의 온도 이상으로 가열하는 단계(S270)가 더 수행될 수 있다. 상기 소정의 온도는 다음 공정 단위에서 수행될 화학 강화 공정의 온도일 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, when the refill strengthening solution (SS1) in the refill chamber 200 is replenished in the strengthening chamber 101, a step (S270) of heating the replenished strengthening solution (SS) to a predetermined temperature or higher may be further performed. . The predetermined temperature may be the temperature of a chemical strengthening process to be performed in the next process unit, but the present invention is not limited thereto.

본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 글라스의 화학 강화가 수행되고 글라스 로더(300)가 강화 챔버(101)로부터 인출된 직후 곧바로 개시될 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 예열 단계(S100), 화학 강화 단계(S200) 및 서냉 단계(S300)를 포함하여 이루어진 공정 단위 중에, 글라스를 화학 강화하는 단계(S200) 후에 강화 용액(SS)을 보충 및 관리하는 단계(S403)가 수행될 수 있다. 이를 통해 글라스의 화학 강화로를 이용하여 반복되는 공정 단위에서, 다음 공정 단위의 화학 강화 단계 전에 강화 용액을 보충할 수 있는 효과가 있다.The method of chemical strengthening of glass according to this embodiment may be started immediately after chemical strengthening of glass is performed and the glass loader 300 is withdrawn from the strengthening chamber 101. That is, the method of chemical strengthening of glass according to this embodiment includes strengthening after the step of chemically strengthening the glass (S200) during the process unit including the preheating step (S100), the chemical strengthening step (S200), and the slow cooling step (S300). A step (S403) of replenishing and managing the solution (SS) may be performed. This has the effect of replenishing the strengthening solution before the chemical strengthening step of the next process unit in a process unit that is repeated using a chemical strengthening furnace for glass.

도면으로 표현하지 않았으나, 다른 실시예에서 글라스의 화학 강화 방법은 글라스를 화학 강화하는 단계(S200) 후에, 도 7 등의 실시예와 같이 미리 정해진 양만큼 리필 챔버(200)로부터 리필 강화 용액(SS1)이 보충되는 식으로 이루어질 수도 있다. 또 다른 실시예에서, 본 실시예는 도 12의 실시예에 따른 방법과 조합되어 화학 강화 단계(S200) 후 뿐 아니라 화학 강화 단계(S200) 전에도 강화 용액을 보충하는 단계가 수행될 수 있다.Although not shown in the drawings, in another embodiment, a method of chemical strengthening of glass involves, after the step of chemically strengthening the glass (S200), refilling the strengthening solution (SS1) from the refill chamber 200 in a predetermined amount as in the embodiment of FIG. 7. ) may be supplemented. In another embodiment, this embodiment may be combined with the method according to the embodiment of FIG. 12 to perform the step of replenishing the strengthening solution not only after the chemical strengthening step (S200) but also before the chemical strengthening step (S200).

도 18은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(12)의 측단면도이다.Figure 18 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 12 according to another embodiment of the present invention.

도 18을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(12)는 강화 챔버(101) 내에 배치된 레벨 센서(602)를 더 포함하는 점이 도 5 등의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(11)와 상이한 점이다.Referring to FIG. 18, the glass chemical strengthening furnace 12 according to the present embodiment further includes a level sensor 602 disposed in the strengthening chamber 101, which is similar to the glass chemical strengthening furnace according to the embodiment of FIG. 5, etc. This is different from 11).

레벨 센서(602)는 초음파식(ultrasonic) 레벨 센서, 정전용량식(capacitive) 레벨 센서, 진동식(vibrating) 레벨 센서 및/또는 플로팅(floating) 레벨 센서 등을 포함할 수 있다. 레벨 센서(602)는 강화 용액(SS)의 수면 보다 높은 레벨에 위치할 수 있다.The level sensor 602 may include an ultrasonic level sensor, a capacitive level sensor, a vibrating level sensor, and/or a floating level sensor. The level sensor 602 may be located at a level higher than the water surface of the strengthening solution (SS).

레벨 센서(602)는 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 수면 높이를 측정할 수 있고, 이를 통해 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량을 측정 내지는 계산할 수 있다. The level sensor 602 can measure the height of the water surface of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101, and through this, the remaining amount of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 can be measured or calculated.

즉, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(12)를 이용하여 글라스의 화학 강화를 수행할 경우, 강화 용액을 보충하는 단계는, 레벨 센서(602)를 이용하여 측정된 강화 용액(SS)의 수면 높이를 기초로 보충이 필요한 강화 용액의 양을 계산하는 단계를 포함하고, 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)의 잔량을 측정하는 단계, 및 강화 챔버(101)에 보충이 필요한 강화 용액의 양만큼 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)을 강화 챔버(101)에 보충하는 단계를 더 포함할 수 있다.That is, when performing chemical strengthening of glass using the glass chemical strengthening furnace 12 according to the present embodiment, the step of replenishing the strengthening solution includes the strengthening solution (SS) measured using the level sensor 602. Comprising the step of calculating the amount of reinforcement solution that needs to be replenished based on the water level, measuring the remaining amount of refill reinforcement solution (SS1) in the refill chamber (200), and the reinforcement that needs to be replenished in the reinforcement chamber (101) The step of replenishing the reinforcement chamber 101 with the refill reinforcement solution (SS1) in the refill chamber 200 by the amount of the solution may be further included.

도 19는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(13)의 측단면도이다.Figure 19 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 13 according to another embodiment of the present invention.

도 19를 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(13)는 강화 챔버(101) 내에 배치된 제1 레벨 센서(603a) 뿐 아니라 리필 챔버(200) 내에 배치된 제2 레벨 센서(603b)를 더 포함하는 점이 도 18의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(12)와 상이한 점이다. 제1 레벨 센서(603a)는 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 수면 높이를 측정할 수 있고, 이를 통해 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 잔량을 측정 내지는 계산할 수 있음은 전술한 바와 같다.Referring to FIG. 19, the glass chemical strengthening furnace 13 according to this embodiment includes not only a first level sensor 603a disposed in the strengthening chamber 101 but also a second level sensor 603b disposed in the refill chamber 200. ) is different from the glass chemical strengthening furnace 12 according to the embodiment of FIG. 18 in that it further includes. The first level sensor 603a can measure the water level of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101, and through this, the remaining amount of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 can be measured or calculated. Same as described above.

제2 레벨 센서(603b)는 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)의 수면 높이를 측정할 수 있고, 이를 통해 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)의 잔량을 측정 내지는 계산할 수 있다.The second level sensor 603b can measure the water level of the refill enhancement solution (SS1) in the refill chamber 200, and through this, measure or calculate the remaining amount of the refill enhancement solution (SS1) in the refill chamber 200. there is.

몇몇 실시예에서, 제2 레벨 센서(603b)는 리필 챔버(200)에서 강화 챔버(101)로 흐르는 리필 강화 용액(SS1)의 역류를 감지하거나, 또는 리필 챔버(200) 내 리필 강화 용액(SS1)의 오버 플로우를 감지하는 기능을 수행할 수도 있다.In some embodiments, the second level sensor 603b detects the backflow of the refill reinforcement solution (SS1) flowing from the refill chamber 200 to the reinforcement chamber 101, or the refill reinforcement solution (SS1) in the refill chamber 200. ) can also perform the function of detecting overflow.

즉, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(13)를 이용하여 글라스의 화학 강화를 수행할 경우, 강화 용액을 보충하는 단계는, 제1 레벨 센서(603a)를 이용하여 측정된 강화 용액(SS)의 수면 높이를 기초로 보충이 필요한 강화 용액의 양을 계산하는 단계를 포함하고, 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)의 잔량을 제2 레벨 센서(603b)를 이용하여 측정하는 단계, 및 강화 챔버(101)에 보충이 필요한 강화 용액의 양만큼 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)을 강화 챔버(101)에 보충하는 단계를 더 포함할 수 있다.That is, when performing chemical strengthening of glass using the glass chemical strengthening furnace 13 according to this embodiment, the step of replenishing the strengthening solution includes the strengthening solution (SS) measured using the first level sensor 603a. ), calculating the amount of reinforcement solution that needs to be replenished based on the water level of the water, and measuring the remaining amount of the refill reinforcement solution (SS1) in the refill chamber 200 using the second level sensor (603b). , and may further include the step of replenishing the reinforcement chamber 101 with the refill reinforcement solution (SS1) in the refill chamber 200 by the amount of reinforcement solution that needs to be replenished in the reinforcement chamber 101.

특히 리필 챔버(200)에서 강화 챔버(101)로 보충되는 강화 용액의 양은 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)의 잔량 변화를 통해 계산되거나, 제어될 수 있다.In particular, the amount of reinforcement solution replenished from the refill chamber 200 to the reinforcement chamber 101 may be calculated or controlled through a change in the remaining amount of the refill reinforcement solution SS1 in the refill chamber 200.

도 20은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(14)의 측단면도이다.Figure 20 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 14 according to another embodiment of the present invention.

도 20을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(14)는 강화 챔버(101) 내에 배치된 레벨 센서(602)를 포함하되, 유로부(250)에 설치된 밸브 및/또는 유량계(604)를 더 포함하는 점이 도 18의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(12)와 상이한 점이다.Referring to FIG. 20, the glass chemical strengthening furnace 14 according to this embodiment includes a level sensor 602 disposed in the strengthening chamber 101, and a valve and/or flow meter 604 installed in the flow path portion 250. ) is different from the glass chemical strengthening furnace 12 according to the embodiment of FIG. 18 in that it further includes.

즉, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(14)를 이용하여 글라스의 화학 강화를 수행할 경우, 강화 용액을 보충하는 단계는, 레벨 센서(602)를 이용하여 측정된 강화 용액(SS)의 수면 높이를 기초로 보충이 필요한 강화 용액의 양을 계산하는 단계를 포함하고, 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)의 잔량을 측정하는 단계, 및 강화 챔버(101)에 보충이 필요한 강화 용액의 양만큼 리필 챔버(200) 내의 리필 강화 용액(SS1)을 강화 챔버(101)에 보충하는 단계를 더 포함할 수 있다.That is, when performing chemical strengthening of glass using the glass chemical strengthening furnace 14 according to the present embodiment, the step of replenishing the strengthening solution includes the strengthening solution (SS) measured using the level sensor 602. Comprising the step of calculating the amount of reinforcement solution that needs to be replenished based on the water level, measuring the remaining amount of refill reinforcement solution (SS1) in the refill chamber (200), and the reinforcement that needs to be replenished in the reinforcement chamber (101) The step of replenishing the reinforcement chamber 101 with the refill reinforcement solution (SS1) in the refill chamber 200 by the amount of the solution may be further included.

특히 리필 챔버(200)에서 강화 챔버(101)로 보충되는 강화 용액의 양은 유로부(250)를 따라 흐르는 리필 강화 용액(SS1)의 유량, 유속 등을 기초로 계산되거나, 제어될 수 있다.In particular, the amount of reinforcement solution replenished from the refill chamber 200 to the reinforcement chamber 101 may be calculated or controlled based on the flow rate and flow rate of the refill reinforcement solution SS1 flowing along the flow path portion 250.

도 21은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(15)의 측단면도이다. 도 22는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도로서, 도 21의 글라스 화학 강화로(15)를 이용하여 수행되는 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.Figure 21 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 15 according to another embodiment of the present invention. FIG. 22 is a flowchart showing a method of chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention, which is performed using the glass chemical strengthening furnace 15 of FIG. 21.

우선 도 21을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(15)의 강화 챔버(105)는 강화 챔버 본체(155) 및 제2 유로부(170)를 포함하는 점이 도 5 등의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(11)와 상이한 점이다.First, referring to FIG. 21, the strengthening chamber 105 of the glass chemical strengthening furnace 15 according to the present embodiment includes a strengthening chamber body 155 and a second flow path portion 170, which is similar to the embodiment of FIG. 5. This is different from the glass chemical strengthening method according to (11).

전술한 것과 같이 제1 유로부(250)는 리필 챔버(200)와 강화 챔버(105)를 연결하는 유로를 제공할 수 있다. 리필 챔버(200)에는 강화 용액(SS)과 동일한 조성을 갖는 리필 강화 용액이 아니라, 강화 용액(SS)의 이온 균일도를 높일 수 있는 강화 용액 조성물(SS2)이 수용된 상태일 수 있다.As described above, the first flow path portion 250 may provide a flow path connecting the refill chamber 200 and the reinforcement chamber 105. The refill chamber 200 may contain a strengthening solution composition (SS2) that can increase the ion uniformity of the strengthening solution (SS), rather than a refill strengthening solution having the same composition as the strengthening solution (SS).

제2 유로부(170)는 강화 챔버 본체(155)의 외측에 배치되되, 강화 챔버 본체(155)의 내부 공간과 유체 연통되며 강화 챔버(105) 내부의 강화 용액(SS)의 우회 유로 내지는 강화 용액(SS)을 순환 유동시키는 유로를 제공할 수 있다. 강화 챔버 본체(155)의 내부 공간은 글라스의 화학 강화가 실질적으로 이루어지는 강화 챔버(105) 내부 공간을 의미하고, 제2 유로부(170)의 내부 공간은 글라스의 화학 강화에 기여하지 못하는 공간을 의미할 수 있다.The second flow path portion 170 is disposed on the outside of the strengthening chamber main body 155, is in fluid communication with the internal space of the strengthening chamber main body 155, and is a bypass passage or strengthening channel for the strengthening solution (SS) inside the strengthening chamber 105. A flow path through which the solution (SS) circulates may be provided. The internal space of the strengthening chamber body 155 refers to the internal space of the strengthening chamber 105 where chemical strengthening of the glass is substantially performed, and the internal space of the second flow path portion 170 refers to a space that does not contribute to chemical strengthening of the glass. It can mean.

또, 제2 유로부(170)는 이온 센서(701)가 설치된 센서부(171), 강화 챔버 본체(155)에서 센서부(171)로 흐르는 경로를 제공하는 제1 부분(172)(또는 제2-1 유로부) 및 센서부(171)에서 강화 챔버 본체(155)로 흐르는 경로를 제공하는 제2 부분(173)(또는 제2-2 유로부)를 포함할 수 있다. 즉, 강화 챔버 본체(155) 내의 강화 용액(SS)은 제1 부분(172), 센서부(171) 및 제2 부분(173)을 따라 순차적으로 흐르며 강화 챔버 본체(155)로 다시 순환 유입될 수 있다.In addition, the second flow path portion 170 is a sensor portion 171 on which the ion sensor 701 is installed, and a first portion 172 (or 2-1 flow path) and a second part 173 (or 2-2 flow path) providing a flow path from the sensor unit 171 to the reinforcement chamber main body 155. That is, the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber main body 155 flows sequentially along the first part 172, the sensor unit 171, and the second part 173 and is circulated back into the strengthening chamber main body 155. You can.

제2 부분(173)은 강화 챔버 본체(155)와 연결되되, 복수개일 수 있다. 도면으로 표현하지 않았으나, 제2 부분(173)들은 모두 센서부(171)와 유체 연통되어 강화 용액(SS)이 순환되는 유로를 제공할 수 있다. 복수의 제2 부분(173)들은 대략 일정한 거리를 두고 규칙적으로 배열 내지는 배치되며, 이를 통해 강화 챔버 본체(155)로 유입되는 강화 용액(SS)의 유로를 다변화하고, 강화 챔버 본체(155) 내부의 강화 용액(SS)의 농도 균일성을 높일 수 있다.The second part 173 is connected to the reinforcement chamber main body 155, and may be plural. Although not shown in the drawing, all of the second parts 173 are in fluid communication with the sensor unit 171 to provide a flow path through which the strengthening solution SS is circulated. The plurality of second parts 173 are arranged or disposed regularly at approximately a constant distance, and thereby diversify the flow path of the strengthening solution (SS) flowing into the strengthening chamber main body 155, and the inside of the strengthening chamber main body 155 The concentration uniformity of the strengthening solution (SS) can be increased.

몇몇 실시예에서, 강화 챔버 본체(155) 내에는 기포 발생부(미도시)가 배치될 수 있다. 기포 발생부는 강화 챔버(105) 외부의 가스 탱크 등과 연결되며, 가스 탱크로부터 공급된 가스, 예를 들어 불활성 가스를 배출하여 기포를 형성할 수 있다. 이를 통해 강화 챔버 본체(155) 내부의 강화 용액(SS)의 혼합을 유도하고, 강화 용액(SS)의 농도 균일성을 높일 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(15)는 펌프를 이용한 강화 용액(SS)의 순환 구조 및 기포 발생부(미도시) 중 하나 이상을 구비하여 강화 용액(SS)의 혼합을 수행할 수 있다.In some embodiments, a bubble generator (not shown) may be disposed within the reinforcement chamber body 155. The bubble generator is connected to a gas tank outside the strengthening chamber 105, and can form bubbles by discharging gas supplied from the gas tank, for example, an inert gas. Through this, mixing of the strengthening solution (SS) inside the strengthening chamber main body 155 can be induced and the concentration uniformity of the strengthening solution (SS) can be increased. That is, the glass chemical strengthening furnace 15 according to the present embodiment is provided with at least one of a circulation structure of the strengthening solution (SS) using a pump and a bubble generating unit (not shown) to perform mixing of the strengthening solution (SS). You can.

이온 센서(701)는 제2 유로부(170)를 따라 흐르는 강화 용액(SS)의 나트륨 이온 또는 칼륨 이온의 농도를 측정하는 센서일 수 있다. 전술한 것과 같이 글라스의 화학 강화 공정이 반복됨에 따라 강화 용액(SS) 내의 칼륨 이온의 농도는 감소하고, 반면 나트륨 이온의 농도는 증가하며 강화 용액(SS) 내 이온 농도의 불균일을 야기할 수 있다. 따라서 이온 센서(701)는 측정 시점에서의 강화 용액(SS) 내 이온 농도를 측정하여 이를 기초로 강화 용액(SS)의 보충을 수행할 수 있다. 예를 들어, 이온 센서(701)의 측정 결과 나트륨 이온의 농도가 소정의 기준 이상으로 높거나, 또는 칼륨 이온의 농도가 소정의 기준 이하로 낮을 경우 강화 용액(SS)의 보충을 수행할 수 있다.The ion sensor 701 may be a sensor that measures the concentration of sodium ions or potassium ions in the strengthening solution (SS) flowing along the second flow path portion 170. As described above, as the chemical strengthening process of glass is repeated, the concentration of potassium ions in the strengthening solution (SS) decreases, while the concentration of sodium ions increases, which may cause non-uniformity in the ion concentration in the strengthening solution (SS). . Therefore, the ion sensor 701 can measure the ion concentration in the reinforcement solution (SS) at the measurement point and replenish the reinforcement solution (SS) based on this. For example, when the concentration of sodium ions is higher than a predetermined standard or the concentration of potassium ions is lower than a predetermined standard as a result of measurement by the ion sensor 701, the strengthening solution (SS) can be replenished. .

몇몇 실시예에서, 글라스 화학 강화로(15)는 제1 부분(172)에 설치된 냉각 부재(702) 및/또는 제2 부분(173)에 설치된 가열 부재(703)를 더 포함할 수 있다. 글라스의 화학 강화 공정이 수행되는 동안 강화 용액(SS)은 약 300℃ 이상, 또는 약 350℃ 이상, 또는 약 400℃ 이상, 또는 약 450℃ 이상, 또는 약 500℃ 이상으로 가열된 상태일 수 있다. In some embodiments, the glass chemical strengthening furnace 15 may further include a cooling member 702 installed in the first portion 172 and/or a heating member 703 installed in the second portion 173. While the chemical strengthening process of the glass is performed, the strengthening solution (SS) may be heated to about 300°C or higher, or about 350°C or higher, or about 400°C or higher, or about 450°C or higher, or about 500°C or higher. .

따라서 보다 정밀한 이온 농도를 측정하기 위해 강화 챔버 본체(155)에서 센서부(171)에 이르는 유로에 위치하는 제1 부분(172)의 냉각 부재(702)를 이용하여 강화 용액(SS)을 부분적으로 소정 온도 이하로 냉각하고 이온 센서(701)를 이용하여 이온 농도를 측정할 수 있다. 상기 냉각을 위한 소정의 온도는 약 150℃ 이하, 또는 약 130℃ 이하, 또는 약 110℃ 이하, 또는 약 100℃ 이하, 또는 약 80℃ 이하일 수 있다. Therefore, in order to measure the ion concentration more precisely, the strengthening solution (SS) is partially cooled using the cooling member 702 of the first part 172 located in the passage from the strengthening chamber body 155 to the sensor unit 171. After cooling to a predetermined temperature or lower, the ion concentration can be measured using the ion sensor 701. The predetermined temperature for cooling may be about 150°C or less, or about 130°C or less, or about 110°C or less, or about 100°C or less, or about 80°C or less.

또, 냉각된 강화 용액(SS)을 제2 부분(173)을 통해 다시 강화 챔버 본체(155)로 유입시키기 전에 제2 부분(173)의 가열 부재(703)를 이용하여 강화 용액(SS)을 소정의 온도 이상으로 가열함으로써 강화 용액(SS)의 온도 불균일성이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기 가열 온도는 화학 강화 공정의 온도와 실질적으로 동일하거나, 또는 그 이상일 수 있다.In addition, before introducing the cooled strengthening solution (SS) into the strengthening chamber body 155 through the second part 173, the strengthening solution (SS) is heated using the heating member 703 of the second part 173. By heating above a predetermined temperature, temperature non-uniformity of the strengthening solution (SS) can be prevented. The heating temperature may be substantially the same as or higher than the temperature of the chemical strengthening process.

이어서 도 22를 더 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 열처리 챔버(411)에서 글라스를 예열하는 단계(S100), 예열된 글라스를 강화 챔버(101)에서 화학 강화하는 단계(S200) 및 강화된 글라스를 열처리 챔버(411)에서 서냉하는 단계(S300)를 포함하되, 화학 강화 단계(S200) 전에, 구체적으로 강화 챔버(101)에 글라스가 인입되는 단계(S150) 전에 강화 용액 조성물의 보충 단계(S404)가 수행되는 점이 도 12의 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법과 상이한 점이다. 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 도 21의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(15)를 이용하여 수행될 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되지 않음은 물론이다.Next, with further reference to FIG. 22, the method of chemically strengthening glass according to this embodiment includes the steps of preheating the glass in the heat treatment chamber 411 (S100) and chemically strengthening the preheated glass in the strengthening chamber 101 (S200). ) and a step of slowly cooling the strengthened glass in the heat treatment chamber 411 (S300), but before the chemical strengthening step (S200), specifically before the step of introducing the glass into the strengthening chamber 101 (S150), the strengthening solution composition This is different from the chemical strengthening method of glass according to the embodiment of FIG. 12 in that the supplementary step (S404) is performed. The method of chemically strengthening glass according to this embodiment may be performed using the glass chemical strengthening furnace 15 according to the embodiment of FIG. 21, but of course, the present invention is not limited thereto.

우선 열처리 챔버(411) 내에 글라스가 실장된 글라스 로더를 인입하고, 글라스의 예열을 수행한다(S100). 챔버 도어(150)는 열처리 챔버(411) 및 강화 챔버(101)를 각각 폐쇄하고, 각각의 내부 공간이 밀폐된 상태에서 글라스의 예열을 수행할 수 있다. 본 단계에서, 즉 후술할 화학 강화 단계(S200) 전에 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 이온 농도는 부적당한 상태일 수 있다. 예를 들어, 강화 용액(SS) 내 나트륨 이온의 농도가 상대적으로 높거나, 또는 소정의 기준 이상으로 높고, 칼륨 이온의 농도가 상대적으로 낮거나, 또는 소정의 기준 이하로 낮은 상태일 수 있다.First, the glass loader on which the glass is mounted is introduced into the heat treatment chamber 411, and preheating of the glass is performed (S100). The chamber door 150 closes the heat treatment chamber 411 and the strengthening chamber 101, and preheating of the glass can be performed with each internal space sealed. In this step, that is, before the chemical strengthening step (S200) to be described later, the ion concentration of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 may be inadequate. For example, the concentration of sodium ions in the strengthening solution (SS) may be relatively high or higher than a predetermined standard, and the concentration of potassium ions may be relatively low or lower than a predetermined standard.

이어서 강화 챔버(101)에 강화 용액 조성물(SS2)을 보충한다(S404). 예시적인 실시예에서, 강화 용액 조성물(SS2)을 보충하는 단계(S404)는 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS) 내의 특정 이온 농도를 측정 내지는 판단하는 단계(S414) 및 강화 용액(SS)의 이온 조성이 부적당하다고 판단되는 경우, 예컨대 나트륨 이온의 농도가 기준 농도에 비해 높은 것으로 판단되는 경우 리필 챔버(200)를 이용하여 강화 용액 조성물(SS2)을 보충하는 단계(S434)를 포함할 수 있다.Subsequently, the strengthening solution composition (SS2) is replenished in the strengthening chamber 101 (S404). In an exemplary embodiment, the step of replenishing the strengthening solution composition (SS2) (S404) includes measuring or determining a specific ion concentration in the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 (S414) and the step of replenishing the strengthening solution (SS) If the ionic composition is determined to be inadequate, for example, if the concentration of sodium ions is determined to be higher than the standard concentration, a step (S434) of replenishing the reinforcement solution composition (SS2) using the refill chamber 200 may be included. there is.

도 22는 나트륨 이온과 그 기준 농도를 기준으로 이온 농도 측정 단계(S414)를 수행하고 있으나, 다른 실시예에서 칼륨 이온과 그 기준 농도를 이온 농도 측정 단계(S414)를 수행할 수도 있다. 예를 들어, 칼륨 이온이 기준 농도에 미달하거나, 이하인지를 측정할 수 있다.In Figure 22, the ion concentration measurement step (S414) is performed based on sodium ions and their reference concentration, but in another embodiment, the ion concentration measurement step (S414) may be performed using potassium ions and their reference concentration. For example, it can be measured whether potassium ions are below or below the standard concentration.

한편, 전술한 강화 용액(SS) 내의 특정 이온의 농도를 측정하는 단계(S414)는 강화 챔버 본체(155)에서 이온 센서(701)로 강화 용액(SS)이 흐르는 경로, 즉 제1 부분(172) 내의 강화 용액을 부분적으로 소정의 온도 이하로 냉각하는 단계, 센서부(171)에서 이온 센서(701)를 이용하여 나트륨 이온(또는 칼륨 이온)의 농도를 측정하는 단계, 및 이온 센서(701)에서 강화 챔버 본체(155)로 강화 용액(SS)이 흐르는 경로, 즉 제2 부분(173) 내의 강화 용액을 부분적으로 소정의 온도 이상으로 가열하는 단계를 포함할 수 있다.Meanwhile, the step (S414) of measuring the concentration of a specific ion in the strengthening solution (SS) described above is the path through which the strengthening solution (SS) flows from the strengthening chamber body 155 to the ion sensor 701, that is, the first part 172 ) partially cooling the strengthening solution to below a predetermined temperature, measuring the concentration of sodium ions (or potassium ions) using the ion sensor 701 in the sensor unit 171, and the ion sensor 701. It may include partially heating the strengthening solution in the path through which the strengthening solution (SS) flows from the strengthening chamber main body 155, that is, in the second part 173, to a predetermined temperature or higher.

전술한 것과 같이 강화 챔버 본체(155) 내의 강화 용액(SS)은 고온 상태이기 때문에 정밀한 이온 농도의 측정이 어려울 수 있다. 따라서 별도의 제2 유로부(170)를 구비하고, 제2 유로부(170)의 특정 위치에서 냉각된 강화 용액을 대상으로 이온 농도 측정을 수행하여 그 정밀성을 향상시킬 수 있다.As described above, since the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber body 155 is at a high temperature, it may be difficult to precisely measure the ion concentration. Therefore, the accuracy can be improved by providing a separate second flow path portion 170 and measuring the ion concentration on the cooled reinforced solution at a specific position of the second flow path portion 170.

강화 용액 조성물(SS2)을 보충하는 단계(S404)는 예열 단계(S100)가 충분히 이루어진 후, 즉 예열 단계(S100)의 종료 후에 수행되거나, 또는 예열 단계(S100)와 적어도 부분적으로 동시에 수행되거나, 또는 예열 단계(S100) 개시 전에 수행될 수 있다. The step (S404) of replenishing the strengthening solution composition (SS2) is performed after the preheating step (S100) has sufficiently occurred, that is, after the end of the preheating step (S100), or is performed at least partially simultaneously with the preheating step (S100), Alternatively, it may be performed before the start of the preheating step (S100).

또, 리필 챔버(200) 내의 강화 용액 조성물(SS2)이 강화 챔버(101) 내에 보충되는 경우, 조성이 보완된 강화 용액(SS)을 소정의 온도 이상으로 가열하는 단계(S130)가 더 수행될 수 있다. 상기 소정의 온도는 후술할 화학 강화 공정의 온도일 수 있으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, when the reinforcement solution composition (SS2) in the refill chamber 200 is replenished in the reinforcement chamber 101, a step (S130) of heating the reinforcement solution (SS) with the supplemented composition to a predetermined temperature or higher may be further performed. You can. The predetermined temperature may be the temperature of a chemical strengthening process to be described later, but the present invention is not limited thereto.

이어서, 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS)의 이온 농도를 측정하고(S414), 나트륨 이온 또는 칼륨 이온의 농도가 정상 범위 내인 경우, 또는 이온 농도가 정상 범위 밖이어서 강화 용액 조성물(SS2)의 보충이 수행된 경우(S434), 비로소 열처리 챔버(411)에서 글라스 로더를 인출하고 강화 챔버(101)에 글라스 로더를 인입할 수 있다(S150). 그리고 글라스 로더에 적재된 글라스는 강화 용액(SS)에 침지되어 화학 강화될 수 있다(S200). Next, the ion concentration of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 is measured (S414), and if the concentration of sodium ions or potassium ions is within the normal range, or the ion concentration is outside the normal range, the strengthening solution composition (SS2) When replenishment has been performed (S434), the glass loader can be withdrawn from the heat treatment chamber 411 and introduced into the strengthening chamber 101 (S150). And the glass loaded on the glass loader can be chemically strengthened by being immersed in a strengthening solution (SS) (S200).

보충되는 강화 용액 조성물(SS2)은 강화 용액(SS) 내에서 소진된 칼륨 이온을 포함하는 화학 물질 내지는 첨가제일 수 있다. 예를 들어, 강화 용액 조성물(SS2)은 탄산칼륨(K2CO3), 인산삼칼륨(K3PO4), 인산수소이칼륨(K2HPO4) 또는 인산이수소칼륨(KH2PO4) 등을 포함할 수 있다. 탄산칼륨 또는 인산칼륨 등의 강화 용액 조성물(SS2)은 분말상 또는 수용액상으로 제공될 수 있다. 이 경우 강화 용액 조성물(SS2)은 강화 용액(SS)에 용해되어 칼륨 이온을 보충할 수 있다. The supplemented strengthening solution composition (SS2) may be a chemical substance or an additive containing potassium ions exhausted in the strengthening solution (SS). For example, the strengthening solution composition (SS2) may include potassium carbonate (K 2 CO 3 ), tripotassium phosphate (K 3 PO 4 ), dipotassium hydrogen phosphate (K 2 HPO 4 ) or potassium dihydrogen phosphate (KH 2 PO 4 ). It may include etc. The reinforcing solution composition (SS2) such as potassium carbonate or potassium phosphate may be provided in powder form or aqueous solution form. In this case, the strengthening solution composition (SS2) can be dissolved in the strengthening solution (SS) to supplement potassium ions.

다른 실시예에서, 강화 용액 조성물(SS2)은 강화 용액(SS) 내에 축적되는 나트륨 이온과 반응하여 석출물 등을 생성하는 물질일 수 있다. 예를 들어, 강화 용액 조성물(SS2)은 염소염 또는 아세트산염 등을 포함할 수 있다. 이 경우 강화 용액 조성물(SS2)은 강화 용액(SS)의 나트륨 이온을 감소시킬 수 있다.In another embodiment, the strengthening solution composition (SS2) may be a material that reacts with sodium ions accumulated in the strengthening solution (SS) to produce precipitates. For example, the strengthening solution composition (SS2) may include chlorine salt or acetate. In this case, the strengthening solution composition (SS2) can reduce the sodium ions of the strengthening solution (SS).

또 다른 실시예에서, 전술한 것과 같이 강화 용액(SS)에 칼륨 이온을 제공하거나, 강화 용액(SS)으로부터 나트륨 이온을 제거하는 강화 용액 조성물(SS2)은 기체 형태로 제공되어 강화 용액(SS)에 용해될 수도 있다.In another embodiment, the strengthening solution composition (SS2), which provides potassium ions to the strengthening solution (SS) or removes sodium ions from the strengthening solution (SS) as described above, is provided in gaseous form to form a strengthening solution (SS). It may be dissolved in

또 다른 실시예에서, 상기 강화 용액 조성물(SS2)은 강화 용액(SS) 내 칼륨 이온과 글라스의 나트륨 이온의 치환 효율을 높이거나, 이온 교환 시간을 단축시키는 촉매제 기능을 하는 첨가제일 수 있다. 상기 첨가제는 낮은 이온 농도에서도 글라스의 화학 강화 반응, 즉 이온 치환 반응을 향상시킬 수 있다. 상기 첨가제는 아연 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 첨가제는 산화 아연(ZnO) 분말을 포함할 수 있다. 또, 상기 아연 산화물은 카드뮴(Cd) 원소 및/또는 수은(Hg) 원소를 더 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 상기 첨가제는 수산화칼슘, 산화칼슘 및/또는 산화티타늄, 이들의 분말 또는 이들의 슬러리를 더 포함할 수도 있다.In another embodiment, the strengthening solution composition (SS2) may be an additive that functions as a catalyst to increase the substitution efficiency of potassium ions in the strengthening solution (SS) and sodium ions of glass or to shorten the ion exchange time. The additive can improve the chemical strengthening reaction of glass, that is, the ion substitution reaction, even at low ion concentrations. The additive may include zinc oxide. For example, the additive may include zinc oxide (ZnO) powder. Additionally, the zinc oxide may further include cadmium (Cd) and/or mercury (Hg). In some embodiments, the additive may further include calcium hydroxide, calcium oxide and/or titanium oxide, powders thereof, or slurries thereof.

이어서 화학 강화가 완료된 글라스가 적재된 글라스 로더는 열처리 챔버(411)에 인입되어 서냉될 수 있다(S300). 본 단계에서 챔버 도어(150)는 열처리 챔버(411) 및 강화 챔버(101)를 각각 폐쇄하고, 각각의 내부 공간이 밀폐된 상태에서 글라스의 서냉을 수행할 수 있다.Subsequently, the glass loader loaded with chemically strengthened glass may be introduced into the heat treatment chamber 411 and slowly cooled (S300). In this step, the chamber door 150 closes the heat treatment chamber 411 and the strengthening chamber 101, and slow cooling of the glass can be performed with each internal space sealed.

본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 예열 단계(S100), 화학 강화 단계(S200) 및 서냉 단계(S300)를 포함하여 이루어진 공정 단위 중에, 글라스를 화학 강화하는 단계(S200) 전에 강화 용액 조성물(SS2)을 보충 및 관리하는 단계(S404)가 수행될 수 있다. 다만 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 전술한 도 13의 실시예와 같이 글라스를 화학 강화하는 단계(S200) 후에 강화 용액 조성물(SS2)을 보충 및 관리하는 단계가 수행되거나, 또는 화학 강화 단계(S200)의 전 및 후에 모두 강화 용액 조성물을 보충하는 단계가 수행될 수도 있다.The method of chemically strengthening glass according to this embodiment includes a preheating step (S100), a chemical strengthening step (S200), and a slow cooling step (S300). Among the process units, the strengthening solution composition is used before the chemical strengthening step (S200) of the glass. A step (S404) of replenishing and managing (SS2) may be performed. However, the present invention is not limited to this, and the step of replenishing and managing the strengthening solution composition (SS2) is performed after the step of chemically strengthening the glass (S200), as in the above-described embodiment of FIG. 13, or the chemical strengthening step ( The step of replenishing the strengthening solution composition may be performed both before and after S200).

도 23은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법을 나타낸 순서도이다.Figure 23 is a flowchart showing a method for chemically strengthening glass according to another embodiment of the present invention.

도 23을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법은 강화 용액 조성물을 보충하는 단계(S405)가 화학 강화 단계(S200)의 전 또는 후에 수행되지 않고, 글라스의 예열 단계(S100), 화학 강화 단계(S200) 및 서냉 단계(S300)와 독립적으로 수행되는 점이 도 22의 실시예에 따른 글라스의 화학 강화 방법과 상이한 점이다.Referring to FIG. 23, in the method of chemical strengthening of glass according to this embodiment, the step of replenishing the strengthening solution composition (S405) is not performed before or after the chemical strengthening step (S200), and the preheating step of the glass (S100) It is different from the chemical strengthening method of glass according to the embodiment of FIG. 22 in that it is performed independently of the chemical strengthening step (S200) and the slow cooling step (S300).

강화 용액 조성물을 보충하는 단계(S405)는 강화 챔버 내의 강화 용액 내의 특정 이온 농도를 측정 내지는 판단하는 단계(S415) 및 강화 용액의 이온 조성이 부적당하다고 판단되는 경우 리필 챔버를 이용하여 강화 용액 조성물을 보충하는 단계(S435)를 포함함은 전술한 바와 같다.The step of replenishing the strengthening solution composition (S405) is a step of measuring or determining a specific ion concentration in the strengthening solution in the strengthening chamber (S415), and if the ion composition of the strengthening solution is determined to be inadequate, the strengthening solution composition is refilled using a refill chamber. Including the replenishment step (S435) is the same as described above.

본 실시예에 따른 글라스의 제조 방법은 강화 용액의 이온 농도를 측정하고(S415) 이온 농도를 균일하게 보충하는 단계(S435)가 예열 단계(S100), 강화 단계(S200) 및 서냉 단계(S300)와 무관하게 진행될 수 있다. 이에 따라 강화 용액 조성물을 보충하는 단계(S405)는 예열 단계(S100)와 적어도 부분적으로 동시에 수행되거나, 또는 화학 강화 단계(S200)와 적어도 부분적으로 동시에 수행되거나, 또는 서냉 단계(S300)와 적어도 부분적으로 동시에 수행되거나, 또는 이들 단계들의 사이, 또는 전과 후에 수행될 수 있다.The method of manufacturing glass according to this embodiment includes measuring the ion concentration of the strengthening solution (S415) and uniformly replenishing the ion concentration (S435), followed by a preheating step (S100), a strengthening step (S200), and a slow cooling step (S300). It can proceed regardless. Accordingly, the step of replenishing the strengthening solution composition (S405) is performed at least partially simultaneously with the preheating step (S100), or at least partially simultaneously with the chemical strengthening step (S200), or at least partially with the slow cooling step (S300). It may be performed simultaneously, or between these steps, or before and after them.

특히 강화 용액 조성물의 보충(S405)이 화학 강화 단계(S200)와 동시에 수행되는 경우, 화학 강화 공정이 수행됨에도 불구하고 강화 용액을 관리할 수 있어 강화 용액의 보충 등에 소요되는 시간을 최소화할 수 있다. 뿐만 아니라 전술한 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(15)와 같이 제2 유로부를 구성할 경우, 강화 챔버 내의 강화 용액을 순환시킬 수 있어 강화 챔버 내 이온 농도의 균일성을 더욱 높일 수 있다.In particular, when the replenishment of the strengthening solution composition (S405) is performed simultaneously with the chemical strengthening step (S200), the strengthening solution can be managed even though the chemical strengthening process is performed, thereby minimizing the time required for replenishing the strengthening solution. . In addition, when the second flow path part is configured as in the glass chemical strengthening furnace 15 according to the above-described embodiment, the strengthening solution in the strengthening chamber can be circulated, thereby further increasing the uniformity of the ion concentration in the strengthening chamber.

도 24는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(16)의 측단면도이다.Figure 24 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 16 according to another embodiment of the present invention.

도 24를 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(16)는 강화 챔버(101)와 리필 챔버(200) 및 강화 챔버(101)와 리필 챔버(202)를 연결하는 유로를 제공하는 유로부(256)를 포함하되, 강화 챔버(101)의 측벽을 관통하여 삽입된 유로부(256)는 강화 용액(SS)의 수면 보다 낮은 레벨에 위치하는 점이 도 18의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(12)와 상이한 점이다.Referring to FIG. 24, the glass chemical strengthening furnace 16 according to this embodiment is a flow path that connects the strengthening chamber 101 and the refill chamber 200 and the strengthening chamber 101 and the refill chamber 202. Glass chemical strengthening according to the embodiment of FIG. 18 includes a portion 256, and the passage portion 256 inserted through the side wall of the strengthening chamber 101 is located at a lower level than the water surface of the strengthening solution (SS). This is different from Ro (12).

도 25는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(17)의 측단면도이다.Figure 25 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 17 according to another embodiment of the present invention.

도 25를 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(17)는 강화 챔버(101)와 리필 챔버(200) 및 강화 챔버(101)와 리필 챔버(202)를 연결하는 유로를 제공하는 유로부(257)를 포함하되, 강화 챔버(101)의 측벽을 관통하여 삽입된 유로부(257)는 강화 챔버(101)의 바닥면에 인접하여 위치하는 점이 도 24의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(16)와 상이한 점이다.Referring to FIG. 25, the glass chemical strengthening furnace 17 according to this embodiment is a flow path that connects the strengthening chamber 101 and the refill chamber 200 and the strengthening chamber 101 and the refill chamber 202. Glass chemical strengthening according to the embodiment of FIG. 24 includes a portion 257, and the passage portion 257 inserted through the side wall of the strengthening chamber 101 is located adjacent to the bottom surface of the strengthening chamber 101. This is different from Ro (16).

예를 들어, 글라스 화학 강화로(17)는 칼륨 이온의 성분을 포함한 강화 용액 조성물을 리필 챔버로부터 강화 챔버로 첨가하는 경우, 이온 치환 대상인 나트륨 이온보다 상대적으로 칼륨 이온이 무겁기 때문에 도 6에 도시된 바와 같이 강화 챔버의 상단부에서 강화 용액 조성물을 보충할 수 있다. 하지만, 글라스 화학 강화로(17)는 나트륨 이온의 성분을 포함한 강화 용액 조성물을 리필 챔버로부터 강화 챔버로 참가하는 경우, 이온 치환 대상인 칼륨 이온보다 상대적으로 나트륨 이온이 가볍기 때문에 도 25에 도시한 바와 같이 강화 챔버의 하단부에서 강화 용액 조성물을 보충할 수 있다.For example, when the glass chemical strengthening furnace 17 adds a strengthening solution composition containing a component of potassium ions from the refill chamber to the strengthening chamber, the potassium ion is relatively heavier than the sodium ion, which is the object of ion replacement, as shown in FIG. 6. As shown, the strengthening solution composition can be replenished at the upper part of the strengthening chamber. However, when the glass chemical strengthening furnace 17 enters the strengthening solution composition containing sodium ions from the refill chamber to the strengthening chamber, sodium ions are relatively lighter than potassium ions, which are the target of ion replacement, as shown in FIG. 25. The strengthening solution composition can be replenished at the bottom of the strengthening chamber.

다른 예를 들어, 글라스 화학 강화로(17)는 칼륨 이온과 나트륨 이온 간의 이온 치환의 비율 또는 속도 등을 증가시킬 수 있는 촉매 기능을 갖는 강화 용액 조성물을 리필 챔버로부터 강화 챔버로 첨가하는 경우, 도 24에 도시된 바와 같이 강화 챔버의 중단부에서 강화 용액 조성물을 보충할 수도 있다.For another example, the glass chemical strengthening furnace 17 adds a strengthening solution composition having a catalytic function capable of increasing the rate or speed of ion substitution between potassium ions and sodium ions from the refill chamber to the strengthening chamber. The strengthening solution composition may be replenished at the middle portion of the strengthening chamber as shown in 24.

하지만, 상술한 실시예들은 강화 용액 조성물의 첨가 위치를 설명하기 위해 예시적으로 설명된 것으로, 글라스 화학 강화로(17)는 강화 용액 조성물의 성분이나 종류에 상관없이 강화 챔버의 상단, 중단, 및 하단 또는 다른 다양한 위치에서 강화 용액 조성물을 주입할 수 있다.However, the above-described embodiments are illustrative to explain the addition location of the strengthening solution composition, and the glass chemical strengthening furnace 17 is located at the top, middle, and The reinforcing solution composition can be injected from the bottom or various other locations.

도 26은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(18)의 측단면도이다.Figure 26 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 18 according to another embodiment of the present invention.

도 26을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(18)는 강화 챔버(101) 내에 복수의 제1 레벨 센서(608a)를 포함하는 점이 도 19의 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(13)와 상이한 점이다. 복수의 제1 레벨 센서(608a)들은 서로 상이한 레벨(즉, 높이)에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 26, the glass chemical strengthening furnace 18 according to the present embodiment includes a plurality of first level sensors 608a in the strengthening chamber 101. The glass chemical strengthening furnace according to the embodiment of FIG. 19 ( This is different from 13). A plurality of first level sensors 608a may be disposed at different levels (ie, heights).

예시적인 실시예에서, 복수의 제1 레벨 센서(608a)들 중 적어도 일부는 강화 용액(SS)의 수위 보다 높은 레벨에 위치하고, 적어도 일부는 대략 강화 용액(SS)의 기준 수위에 상응하는 레벨에 위치할 수 있다. 또, 적어도 일부는 강화 용액(SS)에 침지되도록, 즉 강화 용액(SS)의 기준 수위 보다 낮은 레벨에 위치할 수 있다.In an exemplary embodiment, at least some of the plurality of first level sensors 608a are located at a level higher than the water level of the strengthening solution SS, and at least some of the plurality of first level sensors 608a are located at a level approximately corresponding to the reference water level of the strengthening solution SS. can be located In addition, at least a portion may be immersed in the strengthening solution (SS), that is, located at a level lower than the reference water level of the strengthening solution (SS).

마찬가지로 복수의 제2 레벨 센서(608b)들이 리필 챔버(200) 내에 배치될 수 있다. 제2 레벨 센서(608b)는 리필 강화 용액(SS1)의 수위 보다 높은 레벨, 대략 상응하는 레벨 및 리필 강화 용액(SS1)의 수위 보다 낮은 레벨에 모두 위치할 수 있다.Likewise, a plurality of second level sensors 608b may be disposed within the refill chamber 200. The second level sensor 608b may be located both at a level higher than the water level of the refill strengthening solution SS1, at an approximately corresponding level, and at a level lower than the water level of the refill strengthening solution SS1.

도 27은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(19)의 측단면도이다.Figure 27 is a side cross-sectional view of a glass chemical strengthening furnace 19 according to another embodiment of the present invention.

도 27을 참조하면, 본 실시예에 따른 글라스 화학 강화로(19)는 강화 챔버(101) 내의 특정 위치에서의 강화 용액(SS) 내 나트륨 이온의 농도를 측정하는 하나 이상의 나트륨 이온 센서(719) 및 칼륨 이온의 농도를 측정하는 하나 이상의 칼륨 센서(729)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 27, the glass chemical strengthening furnace 19 according to this embodiment includes one or more sodium ion sensors 719 that measure the concentration of sodium ions in the strengthening solution (SS) at a specific location in the strengthening chamber 101. And it may further include one or more potassium sensors 729 that measure the concentration of potassium ions.

나트륨 이온은 상대적으로 가벼운 무게를 가지기 때문에 강화 공정이 반복 수행되는 동안, 또는 강화 챔버(101)의 휴지기 동안 강화 용액(SS)의 상단에서의 농도가 증가할 수 있다. 반면 칼륨 이온은 상대적으로 무거운 무게를 가지기 때문에 강화 공정이 반복 수행되는 동안, 또는 강화 챔버(101)의 휴지기 동안 강화 용액(SS)의 하단에서의 농도가 증가할 수 있다. 따라서 강화 챔버(101) 내의 강화 용액(SS) 내 각 이온 농도를 측정하도록 구성된 이온 센서들(719, 729)을 구비하여 강화 챔버(101)의 강화 용액(SS)의 이온 농도를 측정하고, 이를 기초로 리필 챔버(200)로부터 강화 용액 조성(SS1)을 보충하도록 구성될 수 있다.Since sodium ions have a relatively light weight, their concentration at the top of the strengthening solution (SS) may increase while the strengthening process is repeatedly performed or during the rest period of the strengthening chamber 101. On the other hand, since potassium ions have a relatively heavy weight, the concentration at the bottom of the strengthening solution (SS) may increase while the strengthening process is repeatedly performed or during the rest period of the strengthening chamber 101. Therefore, ion sensors 719 and 729 configured to measure the concentration of each ion in the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101 are provided to measure the ion concentration of the strengthening solution (SS) in the strengthening chamber 101, and It may be configured to replenish the reinforcement solution composition (SS1) from the refill chamber 200 on the basis.

다른 실시예에서, 글라스 화학 강화로는 강화 챔버(101)의 제3 방향(Z) 대략 중앙에 위치한 이온 센서를 포함하여, 상기 이온 센서는 나트륨 이온 및/또는 칼륨 이온의 농도를 측정하도록 구성될 수도 있다.In another embodiment, the glass chemical strengthening comprises an ion sensor positioned approximately in the third direction (Z) of the strengthening chamber 101, wherein the ion sensor is configured to measure the concentration of sodium ions and/or potassium ions. It may be possible.

이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. Although the description has been made above with a focus on embodiments of the present invention, this is merely an example and does not limit the present invention, and those skilled in the art will be able to understand the present invention without departing from the essential characteristics of the embodiments of the present invention. It will be apparent that various modifications and applications not exemplified above are possible.

따라서 본 발명의 범위는 이상에서 예시된 기술 사상의 변경물, 균등물 내지는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Therefore, the scope of the present invention should be understood to include changes, equivalents, or substitutes of the technical ideas exemplified above. For example, each component specifically shown in the embodiments of the present invention can be modified and implemented. And these variations and differences in application should be construed as being included in the scope of the present invention as defined in the appended claims.

10: 글라스 화학 강화로
100: 강화 챔버
150: 챔버 도어
200: 리필 챔버
250: 유로부
300: 글라스 로더
10: Glass chemical strengthening furnace
100: Reinforcement chamber
150: Chamber door
200: Refill chamber
250: Eurobu
300: Glass loader

Claims (23)

글라스 강화 챔버 내에 수용된 강화 용액의 나트륨 이온 및 칼륨 이온 중 적어도 하나의 농도를 측정하는 단계; 및
측정값에 기초하여 상기 강화 챔버 내에 보충 조성물을 공급하는 단계를 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
measuring the concentration of at least one of sodium ions and potassium ions in a strengthening solution contained in a glass strengthening chamber; and
A method of chemically strengthening glass comprising supplying a supplemental composition into the strengthening chamber based on the measurements.
제1항에 있어서,
상기 측정하는 단계는 나트륨 이온의 농도를 측정하는 것을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The measuring step includes measuring the concentration of sodium ions.
제1항에 있어서,
상기 측정하는 단계는 나트륨 이온 및 칼륨 이온 농도를 각각 측정하고,
상기 강화 챔버 내에서,
상기 나트륨 이온 농도 측정은, 상기 칼륨 이온 농도 측정 보다 중력 방향 상측에서 수행되는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The measuring step measures sodium ion and potassium ion concentrations, respectively,
Within the strengthening chamber,
A method of chemical strengthening of glass in which the measurement of the sodium ion concentration is performed from an upper side in the direction of gravity than the measurement of the potassium ion concentration.
제1항에 있어서,
상기 이온 농도의 측정은 나트륨 이온의 농도를 측정하는 것을 포함하고,
측정된 나트륨 이온의 농도가 정상 범위 보다 큰 경우,
칼륨을 포함하는 상기 조성물을 공급하여 강화 용액 중의 나트륨 이온 농도를 감소시키는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The measurement of the ion concentration includes measuring the concentration of sodium ions,
If the measured concentration of sodium ions is greater than the normal range,
A method for chemical strengthening of glass, wherein the concentration of sodium ions in the strengthening solution is reduced by supplying the composition containing potassium.
제1항에 있어서,
상기 이온 농도의 측정은 칼륨 이온의 농도를 측정하는 것을 포함하고,
측정된 칼륨 이온의 농도가 정상 범위 보다 작은 경우,
칼륨을 포함하는 상기 조성물을 공급하여 강화 용액 중의 나트륨 이온 농도를 감소시키는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The measurement of the ion concentration includes measuring the concentration of potassium ions,
If the measured concentration of potassium ions is less than the normal range,
A method for chemical strengthening of glass, wherein the composition containing potassium is supplied to reduce the concentration of sodium ions in the strengthening solution.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 조성물은, 탄산칼륨, 인산삼칼륨, 인산수소이칼륨 및 인산이수소칼륨 중 하나 이상을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to clause 4 or 5,
The composition is a method of chemically strengthening glass containing one or more of potassium carbonate, tripotassium phosphate, dipotassium hydrogen phosphate, and potassium dihydrogen phosphate.
제1항에 있어서,
상기 강화 챔버는,
글라스의 화학 강화가 이루어지는 강화 챔버 본체, 및
상기 강화 챔버 본체의 외측에서, 상기 강화 챔버 본체에 수용되는 강화 용액을 우회시키는 유로부를 포함하고,
상기 이온 농도의 측정은 유로부 경로 중의 이온 센서를 이용하며,
상기 이온 농도를 측정하는 단계는, 유로부를 따라 흐르는 강화 용액을 부분적으로 냉각한 다음 상기 이온 센서를 이용해 이온 농도를 측정하고, 다시 강화 용액을 부분적으로 가열하는 것을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The reinforcement chamber is,
A strengthening chamber body in which chemical strengthening of the glass takes place, and
Outside the strengthening chamber body, it includes a flow path portion that diverts the strengthening solution accommodated in the strengthening chamber body,
The ion concentration is measured using an ion sensor in the flow path,
The step of measuring the ion concentration includes partially cooling the strengthening solution flowing along the flow path, then measuring the ion concentration using the ion sensor, and partially heating the strengthening solution again.
제7항에 있어서,
상기 냉각은,
상기 강화 챔버 본체에서 상기 이온 센서로 흐르는 경로를 제공하는 유로부에서, 100℃ 이하의 온도로 냉각하는 것을 포함하고,
상기 이온 센서를 이용한 나트륨 이온 또는 칼륨 이온의 농도 측정은 냉각된 강화 용액을 대상으로 수행하는 글라스의 화학 강화 방법.
In clause 7,
The cooling is,
In the flow path portion that provides a flow path from the strengthening chamber body to the ion sensor, cooling to a temperature of 100° C. or lower,
A method of chemical strengthening of glass in which the concentration of sodium ions or potassium ions using the ion sensor is measured using a cooled strengthening solution.
제8항에 있어서,
상기 가열은,
상기 이온 센서에서 상기 강화 챔버 본체로 흐르는 경로를 제공하는 유로부에서, 300℃ 이상의 온도로 가열하는 것을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to clause 8,
The heating is
A method of chemically strengthening glass, comprising heating to a temperature of 300°C or higher in a flow path that provides a flow path from the ion sensor to the strengthening chamber body.
제1항에 있어서,
상기 조성물은 분말상 질산칼륨 또는 분말상 탄산칼륨을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The composition is a method of chemically strengthening glass comprising powdered potassium nitrate or powdered potassium carbonate.
제1항에 있어서,
상기 조성물은, 나트륨 이온과 반응하여 석출물을 형성하는 첨가제를 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The composition is a method of chemically strengthening glass including an additive that reacts with sodium ions to form precipitates.
제1항에 있어서,
상기 조성물은 아연산화물을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
The composition is a method of chemically strengthening glass containing zinc oxide.
제1항에 있어서,
열처리 챔버에서 글라스를 예열하는 단계;
예열된 글라스를 상기 강화 챔버에 인입하여 화학 강화하는 단계; 및
강화된 글라스를 상기 강화 챔버에서 인출하여 서냉하는 단계를 더 포함하되,
상기 예열 단계, 강화 단계, 서냉 단계, 및 이온 농도를 측정하고 측정값에 기초하여 조성물을 공급하는 단계를 포함하는 일련의 공정들은 하나의 단위 공정을 정의하고,
상기 이온 농도의 측정은, 상기 글라스가 강화 챔버에 인입되기 전에, 글라스가 예열되는 동안 수행되는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
Preheating the glass in a heat treatment chamber;
Chemically strengthening the preheated glass by introducing it into the strengthening chamber; and
Further comprising the step of withdrawing the strengthened glass from the strengthening chamber and cooling it slowly,
A series of processes including the preheating step, strengthening step, slow cooling step, and measuring ion concentration and supplying the composition based on the measured value define one unit process,
A method of chemical strengthening of glass in which the measurement of the ion concentration is performed while the glass is preheated before the glass is introduced into the strengthening chamber.
제12항에 있어서,
상기 조성물은 수산화칼슘, 산화칼슘 및 산화티타늄 중 하나 이상을 더 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to clause 12,
The method of chemically strengthening glass, wherein the composition further includes one or more of calcium hydroxide, calcium oxide, and titanium oxide.
제1항에 있어서,
열처리 챔버에서 글라스를 예열하는 단계;
예열된 글라스를 상기 강화 챔버에 인입하여 화학 강화하는 단계; 및
강화된 글라스를 상기 강화 챔버에서 인출하여 서냉하는 단계를 더 포함하되,
상기 예열 단계, 강화 단계, 서냉 단계, 및 이온 농도를 측정하고 측정값에 기초하여 조성물을 공급하는 단계를 포함하는 일련의 공정들은 하나의 단위 공정을 정의하고,
상기 이온 농도의 측정은, 상기 글라스가 강화 챔버에서 인출된 후에, 글라스가 서냉되는 동안 수행되는 글라스의 화학 강화 방법.
According to paragraph 1,
Preheating the glass in a heat treatment chamber;
Chemically strengthening the preheated glass by introducing it into the strengthening chamber; and
Further comprising the step of withdrawing the strengthened glass from the strengthening chamber and cooling it slowly,
A series of processes including the preheating step, strengthening step, slow cooling step, and measuring ion concentration and supplying the composition based on the measured value define one unit process,
The method of chemically strengthening glass, wherein the measurement of the ion concentration is performed while the glass is slowly cooled after the glass is withdrawn from the strengthening chamber.
글라스 강화 용액이 수용되는 공간을 제공하는 강화 챔버;
상기 강화 챔버에 보충 조성물을 공급하도록 구성된 리필 챔버; 및
상기 강화 챔버와 상기 리필 챔버를 연결하는 제1 유로부를 포함하되,
상기 강화 챔버는 그 내부의 강화 용액 중의 나트륨 이온 및 칼륨 이온 중 적어도 하나의 이온 농도를 측정하는 이온 센서를 포함하는 글라스 화학 강화로.
a strengthening chamber that provides a space to accommodate the glass strengthening solution;
a refill chamber configured to supply supplemental composition to the enrichment chamber; and
Includes a first flow path connecting the reinforcement chamber and the refill chamber,
A glass chemical strengthening furnace wherein the strengthening chamber includes an ion sensor that measures the concentration of at least one of sodium ions and potassium ions in a strengthening solution therein.
제16항에 있어서,
상기 이온 센서는 나트륨 이온 센서 및 칼륨 이온 센서를 포함하고,
상기 나트륨 이온 센서는, 상기 칼륨 이온 센서 보다 중력 방향 상측에 배치되는 글라스 화학 강화로.
According to clause 16,
The ion sensor includes a sodium ion sensor and a potassium ion sensor,
The sodium ion sensor is a chemically strengthened glass disposed above the potassium ion sensor in the direction of gravity.
제16항에 있어서,
상기 강화 챔버는,
강화 챔버 본체, 및
상기 강화 챔버 본체의 외측에서, 상기 강화 챔버 본체에 수용되는 강화 용액을 우회시키는 제2 유로부를 더 포함하고,
상기 제2 유로부는,
상기 이온 센서가 설치된 센서부,
상기 강화 챔버 본체에서 상기 센서부로 흐르는 경로를 제공하는 제1 부분, 및
상기 센서부에서 상기 강화 챔버 본체로 흐르는 경로를 제공하는 제2 부분을 포함하는 글라스 화학 강화로.
According to clause 16,
The reinforcement chamber is,
a reinforced chamber body, and
Outside the strengthening chamber body, it further includes a second flow path that diverts the strengthening solution accommodated in the strengthening chamber body,
The second flow path portion,
A sensor unit where the ion sensor is installed,
A first part providing a flow path from the reinforcement chamber body to the sensor unit, and
A glass chemical strengthening furnace comprising a second portion providing a flow path from the sensor portion to the strengthening chamber body.
제18항에 있어서,
상기 이온 센서는 강화 용액의 나트륨 이온 또는 칼륨 이온의 농도를 측정하는 센서이고,
상기 제1 부분에 설치되어 상기 제1 부분을 흐르는 강화 용액을 냉각시키는 냉각 부재; 및
상기 제2 부분에 설치되어 상기 제2 부분을 흐르는 강화 용액을 가열하는 가열 부재를 더 포함하는 글라스 화학 강화로.
According to clause 18,
The ion sensor is a sensor that measures the concentration of sodium ions or potassium ions in the strengthening solution,
a cooling member installed in the first portion to cool the strengthening solution flowing through the first portion; and
A glass chemical strengthening furnace further comprising a heating member installed in the second part to heat the strengthening solution flowing through the second part.
제16항에 있어서,
상기 이온 센서는 나트륨 이온의 농도를 측정하고,
측정된 나트륨 이온 농도가 정상 범위 보다 큰 경우,
상기 제1 유로부를 통해 보충 조성물을 공급하여 강화 용액 중의 나트륨 이온 농도를 감소시키도록 구성된 글라스 화학 강화로.
According to clause 16,
The ion sensor measures the concentration of sodium ions,
If the measured sodium ion concentration is greater than the normal range,
A glass chemical strengthening furnace configured to reduce the sodium ion concentration in the strengthening solution by supplying a supplemental composition through the first flow passage.
제16항에 있어서,
상기 이온 센서는 칼륨 이온의 농도를 측정하고,
측정된 칼륨 이온의 농도가 정상 범위 보다 작은 경우,
상기 제1 유로부를 통해 보충 조성물을 공급하여 강화 용액 중의 칼륨 이온 농도를 증가시키도록 구성된 글라스 화학 강화로.
According to clause 16,
The ion sensor measures the concentration of potassium ions,
If the measured concentration of potassium ions is less than the normal range,
A glass chemical strengthening furnace configured to increase the potassium ion concentration in the strengthening solution by supplying a supplemental composition through the first flow passage.
제11항에 있어서,
상기 첨가제는 염소염을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to clause 11,
The additive is a method of chemically strengthening glass containing a chlorine salt.
제11항에 있어서,
상기 첨가제는 아세트산염을 포함하는 글라스의 화학 강화 방법.
According to clause 11,
The additive is a method of chemically strengthening glass containing acetate.
KR1020200115059A 2020-09-09 2020-09-09 Method for glass chemical strengthening with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace therefor KR102625136B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200115059A KR102625136B1 (en) 2020-09-09 2020-09-09 Method for glass chemical strengthening with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200115059A KR102625136B1 (en) 2020-09-09 2020-09-09 Method for glass chemical strengthening with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace therefor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220033099A KR20220033099A (en) 2022-03-16
KR102625136B1 true KR102625136B1 (en) 2024-01-15

Family

ID=80937907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200115059A KR102625136B1 (en) 2020-09-09 2020-09-09 Method for glass chemical strengthening with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace therefor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102625136B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100708314B1 (en) * 2005-11-04 2007-04-17 세메스 주식회사 Unit and method for treating a nozzle, and apparatus for treating a substrate with the unit

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100468055B1 (en) * 1997-11-26 2005-04-08 삼성코닝 주식회사 Strengthening Method of Display Glass
KR101143303B1 (en) 2011-11-15 2012-05-14 주식회사 도우인시스 Chemical furnace apparatus for uniform tempered glass
KR20190059059A (en) * 2017-11-22 2019-05-30 손범수 Manufacturing Apparatus of Chemical Reinforcement Glass using Space integral type
KR102180011B1 (en) * 2018-12-21 2020-11-18 세메스 주식회사 Apparatus for supplying chemical and method for chemical Concentration control

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100708314B1 (en) * 2005-11-04 2007-04-17 세메스 주식회사 Unit and method for treating a nozzle, and apparatus for treating a substrate with the unit

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220033099A (en) 2022-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101505266B1 (en) Chemical liquid preparation method of preparing a chemical liquid for substrate processing, chemical liquid preparation unit preparing a chemical liquid for substrate processing, and substrate processing system
TWI625766B (en) Electroplating apparatus and process for wafer level packaging
TW201842977A (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP2949385B2 (en) Automatic developing machine for silver halide photographic materials
JPWO2006126518A1 (en) Copper plating method and apparatus for gravure cylinder
KR102625136B1 (en) Method for glass chemical strengthening with improved management of strengthening solution and glass chemical strengthening furnace therefor
US9139911B2 (en) Fabrication methods for chemical compound thin films
TW201604333A (en) Methods and apparatuses for electroplating nickel using sulfur-free nickel anodes
CN104233451A (en) TSV bath evaluation using field versus feature contrast
US20160145152A1 (en) Strengthened glass, glass-ceramic and ceramic articles and methods of making the same through pressurized ion exchange
JP4700536B2 (en) A liquid processing apparatus, a processing liquid supply method of the liquid processing apparatus, and a processing liquid supply program.
TWI641038B (en) Polishing liquid supply system
WO2000068468A1 (en) Copper replenishment technique for precision copper plating system
CN109314057A (en) Substrate board treatment, liquid charging stock replenishment system, the manufacturing method of semiconductor device, program
KR102649000B1 (en) Glass chemical strengthening apparatus using flow of strengthening solution and method for strengthening glass
TWI333702B (en)
JP2013178225A (en) Method and apparatus for transmuting nuclides
TWI449677B (en) Process for producing flat glass and float bath apparatus
KR20220012111A (en) Chemical strengthening furnace blocking inflow of fume gas into warm up chamber and method for strengthening ultra thin glass using the same
CN101622696A (en) Substrate cleaning apparatus
JP2007224321A (en) Plating method and apparatus for cylinder
KR102619490B1 (en) Glass chemical strengthening furnace with improved temperature change inside chamber by slinding door and method for strengthening glass
KR102337608B1 (en) Substrate processing method and substrate processing apparatus
KR102630337B1 (en) Chemical strengthening furnace blocking inflow of fume gas into heating chamber including sub-door and method for strengthening ultra thin glass using the same
US20230307265A1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant