KR102619576B1 - Probe contact - Google Patents

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Abstract

제1단자와 제2단자 사이를 전기적으로 연결하는 프로브 컨택트가 개시된다. 프로브 컨택트는 상기 제1단자에 접촉하는 제1본체와 상기 제1본체의 축선방향에 가로로 돌출된 제1걸림부를 갖는 고정플런저, 일단이 상기 제2단자에 접촉하고 타단이 상기 고정플런저와 전기적으로 접촉되는 제2본체와 상기 제2본체의 축선방향에 가로로 돌출된 제2걸림부를 가지며, 축선방향을 따라 상호 평행하게 상대 슬라이딩 가능하도록 배치되는 복수의 가동플런저, 및 상기 제1걸림부와 상기 제2걸림부 사이에 개재되는 스프링을 포함한다. 검사 시에, 상기 복수의 가동플런저 중 가압되는 가동플런저만 상기 고정플런저에 대해 슬라이딩 된다..A probe contact electrically connecting a first terminal and a second terminal is disclosed. The probe contact is a fixed plunger having a first body in contact with the first terminal and a first locking portion protruding horizontally in the axial direction of the first body, one end of which is in contact with the second terminal and the other end electrically connected to the fixed plunger. A plurality of movable plungers having a second body in contact with a second body and a second locking portion protruding transversely in the axial direction of the second body and arranged to be relatively sliding in parallel with each other along the axial direction, and the first locking portion and It includes a spring interposed between the second locking parts. During inspection, among the plurality of movable plungers, only the movable plunger that is pressurized slides relative to the fixed plunger.

Description

프로브 콘텍트{PROBE CONTACT}Probe Contact {PROBE CONTACT}

본 발명은 검사대상의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브 컨택트에 관한 것이다.The present invention relates to a probe contact for testing the electrical characteristics of an inspection object.

프로브 컨택트는 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위해 검사회로기판의 제1단자와 피검사체의 제2단자를 서로 전기적으로 연결할 수 있다.The probe contact may electrically connect the first terminal of the test circuit board and the second terminal of the test object to each other to test the electrical characteristics of the test object.

제1플런저, 제1플런저의 양면에 슬라이딩 이동 가능하게 마련된 제2플런저와 제3플런저, 제1플런저와 제2플런저 사이에 마련된 소구경의 제1스프링, 및 제1스프링을 수용하고 제1플런저와 제3플런저 사이에 마련된 대구경의 제2스프링으로 구성된 프로브 컨택트가 특허문헌 1에 개시된 바 있다.A first plunger, a second plunger and a third plunger provided to be slidingly movable on both sides of the first plunger, a first spring of a small diameter provided between the first plunger and the second plunger, and a first spring that is accommodated and the first plunger A probe contact consisting of a large-diameter second spring provided between and a third plunger has been disclosed in Patent Document 1.

[특허문헌1] 일본특허 제5629611호[Patent Document 1] Japanese Patent No. 5629611

특허문헌 1에 개시된 프로브 컨택트는 제2플런저와 제3플런저가 각각 제1스프링과 제2스프링에 의해 독립적으로 동작할 수 있어 검사단자의 형상 변화에 적응적으로 대응할 수 있는 장점이 있지만, 구조가 복잡하여 제조 비용이 증가하는 단점이 있다. 특히, 이러한 구조의 프로브 컨택트는 파인 피치의 단자들을 가진 피검사체에 적용하기 위해 소형으로 제작하기가 매우 어려운 문제가 있다.The probe contact disclosed in Patent Document 1 has the advantage of being able to adaptively respond to changes in the shape of the test terminal because the second plunger and the third plunger can operate independently by the first spring and the second spring, respectively, but the structure It has the disadvantage of being complicated and increasing manufacturing costs. In particular, the probe contact of this structure has the problem of being very difficult to manufacture in a small size in order to apply it to an inspection object with fine pitch terminals.

본 발명의 목적은 구조가 간단하고 소형화가 가능한 프로브 컨택트를 제공하는 데에 있다. The purpose of the present invention is to provide a probe contact that has a simple structure and can be miniaturized.

본 발명의 다양한 실시예에 따른 프로브 컨택트가 제공된다. 프로브컨택트는 제1단자와 제2단자 사이를 전기적으로 연결한다. 프로브 컨택트는 상기 제1단자에 접촉하는 제1본체와 상기 제1본체의 축선방향에 가로로 돌출된 제1걸림부를 갖는 고정플런저, 일단이 상기 제2단자에 접촉하고 타단이 상기 고정플런저와 전기적으로 접촉되는 제2본체와 상기 제2본체의 축선방향에 가로로 돌출된 제2걸림부를 가지며, 축선방향을 따라 상호 평행하게 상대 슬라이딩 가능하도록 배치되는 복수의 가동플런저, 상기 제1걸림부와 상기 제2걸림부 사이에 개재되는 스프링을 포함한다. 상기 제2걸림부는 검사 시에 상기 스프링의 중심에 대해 불균형한 힘이 상기 스프링의 단부에 전달되도록 형성되어 있다.Probe contacts according to various embodiments of the present invention are provided. The probe contact electrically connects the first terminal and the second terminal. The probe contact is a fixed plunger having a first body in contact with the first terminal and a first locking portion protruding horizontally in the axial direction of the first body, one end of which is in contact with the second terminal and the other end electrically connected to the fixed plunger. A plurality of movable plungers having a second body in contact with a second body and a second locking portion protruding horizontally in the axial direction of the second body, the first locking portion and the It includes a spring interposed between the second locking parts. The second locking portion is formed so that a force unbalanced with respect to the center of the spring is transmitted to the end of the spring during inspection.

상기 스프링은 검사 시에 좌굴 변형될 수 있다.The spring may buckle and deform during inspection.

상기 제2본체는 판상이며, 상기 제2걸림부는 상기 제2본체의 일측면으로부터 폭방향으로 돌출되는 걸림턱을 포함할 수 있다.The second body has a plate shape, and the second locking portion may include a locking protrusion that protrudes in the width direction from one side of the second body.

상기 가동플런저들의 걸림턱들은 상기 스프링의 중심축에 대해 대칭 위치에 각각 마련될 수 있다.The locking protrusions of the movable plungers may each be provided in symmetrical positions with respect to the central axis of the spring.

상기 가동플런저들의 제2걸림부들은 상호 반대방향으로 돌출할 수 있다.The second locking portions of the movable plungers may protrude in opposite directions.

상기 제2본체는 판상이며, 상기 제2걸림부는 상기 제2본체의 양측면으로부터 폭 방향으로 돌출되는 한 쌍의 걸림턱을 포함하며, 상기 한 쌍의 걸림턱은 상기 축선 방향으로 서로 단차지게 형성될 수 있다.The second body is plate-shaped, and the second locking portion includes a pair of locking protrusions that protrude in the width direction from both sides of the second main body, and the pair of locking protrusions are formed to be stepped from each other in the axis direction. You can.

상기 제2본체는 판상이며, 상기 제2걸림부는 상기 제2본체의 일면으로부터 두께 방향으로 돌출될 수 있다.The second body has a plate shape, and the second engaging portion may protrude from one surface of the second body in the thickness direction.

상기 제2걸림부는 하향 경사진 경사면을 포함할 수 있다.The second locking portion may include a downwardly sloping slope.

상기 고정플런저의 제1본체는 상기 복수의 가동플런저들이 맞물리는 가이드레일을 포함하며, 상기 가동플런저들의 제2본체는 상기 가이드레일에 삽입되고 상기 축선방향을 따라 파여진 가이드홈을 포함할 수 있다. The first body of the fixed plunger includes a guide rail with which the plurality of movable plungers engage, and the second body of the movable plungers is inserted into the guide rail and may include a guide groove dug along the axis direction. .

상기 가이드레일은 양측면에서 축선방향을 따라 연장하고 두께 방향으로 돌출하는 가이드벽을 포함할 수 있다.The guide rail may include guide walls extending along the axis on both sides and protruding in the thickness direction.

본 발명의 프로브 컨텍트는 하나의 스프링 구조에서 검사단자에 접촉하는 한 쌍의 플런저가 독립적으로 동작하도록 함으로써 검사단자의 변화에 적응적으로 대응하면서도 구조가 간단하여 제조비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 소형화가 가능하다.The probe contact of the present invention has a single spring structure that allows a pair of plungers in contact with the test terminal to operate independently, thereby adaptively responding to changes in the test terminal and having a simple structure, which not only reduces manufacturing costs but also miniaturizes. is possible.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 컨택트를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 프로브 컨택트를 분해하여 나타낸 도면이다.
도 3은 프로브 컨택트의 측면도이다.
도 4는 도 2의 A-A선 및 B-B선을 따라 절취한 단면도이다.
도 5는 도 4에서 제1 및 제2가동플런저가 독립적으로 슬라이딩 동작하는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 4에서 동시에 제1 및 제2가동플런저가 슬라이딩 동작하는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 7은 BGA타입의 제2단자에 대한 제1 및 제2가동플런저의 접촉 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 패드 타입의 제2단자에 대한 제1 및 제2가동플런저의 접촉 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 가동플런저를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 복수의 가동플런저를 나타내는 도면이다.
도 11은 도 10의 가동플런저가 적용된 프로브 컨택트를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 복수의 가동플런저를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 복수의 가동플런저를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 발명의 제6실시예에 따른 복수의 가동플런저를 나타내는 도면이다.1 is a perspective view showing a probe contact according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded view showing the probe contact of FIG. 1.
Figure 3 is a side view of the probe contact.
Figure 4 is a cross-sectional view taken along lines AA and BB of Figure 2.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state in which the first and second movable plungers in FIG. 4 are independently sliding.
Figure 6 is a cross-sectional view showing a state in which the first and second movable plungers are simultaneously sliding in Figure 4.
Figure 7 is a diagram showing the contact state of the first and second movable plungers with respect to the second terminal of the BGA type.
Figure 8 is a diagram showing the contact state of the first and second movable plungers with respect to the second terminal of the pad type.
Figure 9 is a diagram showing a movable plunger according to a second embodiment of the present invention.
Figure 10 is a diagram showing a plurality of movable plungers according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a diagram showing a probe contact to which the movable plunger of FIG. 10 is applied.
Figure 12 is a diagram showing a plurality of movable plungers according to a fourth embodiment of the present invention.
Figure 13 is a diagram showing a plurality of movable plungers according to the fifth embodiment of the present invention.
Figure 14 is a diagram showing a plurality of movable plungers according to the sixth embodiment of the present invention.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 컨택트(1)를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 프로브 컨택트(1)를 분해하여 나타낸 도면이고, 도 3은 프로브 컨택트(1)의 측면도이고, 도 4는 도 2의 A-A선 및 B-B선을 따라 절취한 단면도이고, 도 5는 도 4에서 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)가 독립적으로 슬라이딩 동작하는 상태를 나타내는 단면도이고, 도 6은 도 4에서 동시에 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)가 슬라이딩 동작하는 상태를 나타내는 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing the probe contact 1 according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded view of the probe contact 1 of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of the probe contact 1. , FIG. 4 is a cross-sectional view taken along lines A-A and B-B of FIG. 2, and FIG. 5 shows a state in which the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 independently slide in FIG. 4. This is a cross-sectional view, and FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 are simultaneously sliding in FIG. 4.

프로브 컨택트(1)는 예를 들면 검사회로기판(2)의 제1단자(21)와 피검사체(3), 예를 들면 반도체의 제2단자(31) 사이를 전기적으로 연결할 수 있다.The probe contact 1 may electrically connect, for example, the first terminal 21 of the inspection circuit board 2 and the second terminal 31 of the object to be inspected 3, for example, the semiconductor.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 프로브 컨택트(1)는 일단이 검사회로(2)의 제1단자(21)에 접촉하는 고정플런저(11), 일단이 피검사체(3)의 제2단자(31)에 접촉하는 복수의 가동플런저(12) 및 고정플런저(11)와 가동플런저(12) 사이에 마련되어 탄성력을 제공하는 스프링(13)을 포함할 수 있다.Referring to Figures 1 to 6, the probe contact 1 is a fixed plunger 11 with one end in contact with the first terminal 21 of the inspection circuit 2, and one end with the second terminal of the object 3 ( It may include a plurality of movable plungers 12 in contact with 31) and a spring 13 provided between the fixed plunger 11 and the movable plunger 12 to provide elastic force.

고정플런저(11)는 제1본체(111) 및 제1본체(111)의 축선 방향에 가로 방향으로 돌출하는 한 쌍의 제1걸림부(112)를 포함할 수 있다.The fixed plunger 11 may include a first body 111 and a pair of first locking portions 112 that protrude in the horizontal direction in the axis direction of the first body 111.

고정플런저(11)는 도전성 재질로서 MEMS(microelectromechanical systems) 또는 금형으로 제작될 수 있다.The fixed plunger 11 is a conductive material and can be manufactured using MEMS (microelectromechanical systems) or a mold.

제1본체(111)는 제1단자(21)에 접촉하도록 일단에 마련된 고정접촉부(113) 및 타단에 마련된 제1결합부(114)를 포함할 수 있다. The first body 111 may include a fixed contact portion 113 provided at one end to contact the first terminal 21 and a first coupling portion 114 provided at the other end.

제1결합부(114)는 가동플런저(12)의 가이드홈(1241)에 삽입되는 가이드레일(1141) 및 이 가이드레일(1141)의 양측벽에 돌출하는 가이드벽(1142)를 포함할 수 있다.The first coupling portion 114 may include a guide rail 1141 inserted into the guide groove 1241 of the movable plunger 12 and guide walls 1142 protruding from both sides of the guide rail 1141. .

가이드레일(1141)은 판상으로 가동플런저(12)의 가이드홈(1241)의 폭과 동일 또는 더 큰 두께를 가질 수 있다. 가이드레일(1141)은 양면에 폭 방향으로 파여진 체결홈(1141a)이 마련되어 있다. 체결홈(1141a)은 가동플런저(12)의 레일지지부(1241)에 마련된 체결돌기(1241a)에 맞물릴 수 있다.The guide rail 1141 is plate-shaped and may have a thickness equal to or greater than the width of the guide groove 1241 of the movable plunger 12. The guide rail 1141 is provided with fastening grooves 1141a dug in the width direction on both sides. The fastening groove 1141a may engage with the fastening protrusion 1241a provided on the rail support 1241 of the movable plunger 12.

가이드벽(1142)은 가이드레일(1141)에 끼워진 가동플런저(12)가 슬라이딩 이동 시에 폭 방향으로 이탈하는 것을 방지할 뿐만 아니라 가동플런저(12)의 슬라이딩 이동을 가이드할 수 있다.The guide wall 1142 not only prevents the movable plunger 12 mounted on the guide rail 1141 from deviating in the width direction when sliding, but also guides the sliding movement of the movable plunger 12.

제1본체(111)는 길이 방향을 따라 고정접촉부(113) 및 제1결합부(114) 사이에 형성된 개구부(115)를 포함할 수 있다. The first body 111 may include an opening 115 formed between the fixed contact part 113 and the first coupling part 114 along the longitudinal direction.

개구부(115)는 도 2에 나타낸 바와 같이 제1본체(111)를 두께 방향으로 관통할 수 있다. 가이드레일(1141)에 접한 개구부(115)의 내벽(116)에는 후술하는 가동플런저(12)의 제2결합부(124)에 마련된 한 쌍의 후크(1244)가 걸림 결합될 수 있다. 개구부(115)는 가동플런저(12)의 슬라이딩 시에 한 쌍의 후크(1244)가 이동할 수 있는 공간을 제공할 수 있다.As shown in FIG. 2, the opening 115 may penetrate the first body 111 in the thickness direction. A pair of hooks 1244 provided on the second coupling portion 124 of the movable plunger 12, which will be described later, may be engaged with the inner wall 116 of the opening 115 adjacent to the guide rail 1141. The opening 115 may provide a space in which the pair of hooks 1244 can move when the movable plunger 12 slides.

변형 실시예로서, 개구부(115)는 제1본체(111)의 양면에 소정 깊이로 파여진 리세스 형태를 가질 수 있다.As a modified example, the opening 115 may have a recess shape dug to a predetermined depth on both sides of the first body 111.

한 쌍의 제1걸림부(112)는 제1본체(111)의 양측면에서 축선방향에 대해 가로로 돌출할 수 있다. The pair of first locking parts 112 may protrude horizontally in the axial direction from both sides of the first main body 111.

고정플런저(11)는 제1걸림부(112)에서 타단부까지의 부분이 스프링(13)내에 삽입될 수있다.The portion of the fixed plunger 11 from the first locking portion 112 to the other end may be inserted into the spring 13.

복수의 가동플런저(12)는 서로 면접촉하도록 겹쳐지는 제1가동플런저(12-1)와 제2가동플런저(12-2)를 포함할 수 있다. 가동플런저(12)는 3개 이상으로 이루어질 수도 있다.The plurality of movable plungers 12 may include a first movable plunger 12-1 and a second movable plunger 12-2 that overlap each other so as to make surface contact with each other. The movable plunger 12 may be composed of three or more.

복수의 가동플런저(12)는 각각 제2본체(121) 및 제2본체(121)의 축선 방향에 가로 방향으로 돌출하는 한 쌍의 제2걸림부(122)를 포함할 수 있다.Each of the plurality of movable plungers 12 may include a second body 121 and a pair of second locking portions 122 that protrude in the horizontal direction in the axis direction of the second body 121.

복수의 가동플런저(12)는 각각 도전성 재질로서 MEMS(microelectromechanical systems) 또는 금형으로 제작될 수 있다.Each of the plurality of movable plungers 12 is made of a conductive material and may be manufactured using MEMS (microelectromechanical systems) or a mold.

제2본체(121)는 제2단자(31)에 접촉하도록 일단에 마련된 가동접촉부(123) 및 타단에 마련된 제2결합부(124)를 포함할 수 있다. The second body 121 may include a movable contact portion 123 provided at one end to contact the second terminal 31 and a second coupling portion 124 provided at the other end.

제2결합부(124)는 고정플런저(11)의 제1결합부(114)에 90도 교차 결합될 수 있다. The second coupling portion 124 may be cross-coupled by 90 degrees with the first coupling portion 114 of the fixed plunger 11.

제2결합부(124)는 제2본체(121)의 타단부를 향해 길이방향을 따라 파여진 가이드홈(1241)을 포함할 수 있다. The second coupling portion 124 may include a guide groove 1241 dug along the longitudinal direction toward the other end of the second body 121.

제2결합부(124)는 가이드홈(1241)에 의해 분리된 한 쌍의 레일지지부(1242)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 레일지지부(1242)는 각각 고정플런저(11)의 가이드레일(1141)의 양면에 접촉하여 전기적으로 연결시킬 수 있다.The second coupling portion 124 may include a pair of rail supports 1242 separated by a guide groove 1241. The pair of rail supports 1242 can be electrically connected by contacting both sides of the guide rail 1141 of the fixed plunger 11, respectively.

한 쌍의 레일지지부(1242)는 각각 자유단부에 한 쌍의 후크(1244)를 포함할 수 있다.Each pair of rail supports 1242 may include a pair of hooks 1244 at their free ends.

한 쌍의 후크(1244)는 각각 서로를 향해 돌출하며, 고정플런저(11)의 개구부(115)의 내벽(116)에 걸릴 수 있다. 한 쌍의 후크(1244)는 슬라이딩 시에 상호 맞물려 결합되는 고정플런저(11)와 복수의 가동플런저(12)가 분리되는 것을 방지할 수 있다. A pair of hooks 1244 each protrude toward each other and can be caught on the inner wall 116 of the opening 115 of the fixed plunger 11. The pair of hooks 1244 can prevent the fixed plunger 11 and the plurality of movable plungers 12, which are engaged with each other during sliding, from being separated.

한 쌍의 후크(1244)는 가이드홈(1241)의 내부를 향해 돌출할 수 있다. 한 쌍의 후크(1244)는 가이드홈(1241)의 폭이 작을수록 돌출 길이에 제한이 있기 때문에 제작 시의 자연 곡률(R)에 의해 개구부(115)의 내벽에 대한 확실한 걸림을 보장할 수 없다. 따라서, 한 쌍의 레일지지부(1242)와 한 쌍의 후크(1244) 사이에는 자연 R(곡률)을 줄이기 위해 한 쌍의 레일지지부(1242)의 폭 방향으로 확장된 확장홈(1246)을 포함할 수 있다.A pair of hooks 1244 may protrude toward the inside of the guide groove 1241. Since the protruding length of the pair of hooks 1244 is limited as the width of the guide groove 1241 becomes smaller, it cannot be guaranteed to be securely caught on the inner wall of the opening 115 due to the natural curvature (R) during manufacturing. . Therefore, between the pair of rail supports 1242 and the pair of hooks 1244, an expansion groove 1246 extending in the width direction of the pair of rail supports 1242 will be included to reduce the natural R (curvature). You can.

가이드홈(1241)의 폭은 고정플런저(11)의 가이드레일(1141)의 두께와 같거나 더 클 수 있다.The width of the guide groove 1241 may be equal to or larger than the thickness of the guide rail 1141 of the fixed plunger 11.

한 쌍의 제2걸림부(122)는 제2본체(121)의 양측면에서 축선방향에 대해 가로로 돌출할 수 있다. 한 쌍의 제2걸림부(122)는 스프링(13)의 타단을 지지하며, 스프링(13)의 일단을 지지하는 고정플런저(11)의 제1걸림부(112)와 함께 스프링(13)을 구속할 수 있다.The pair of second locking parts 122 may protrude horizontally in the axial direction from both sides of the second main body 121. A pair of second locking portions 122 support the other end of the spring 13, and together with the first locking portion 112 of the fixed plunger 11 that supports one end of the spring 13, It can be imprisoned.

제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)는 제2걸림부(122)에서 타단까지의 부분이 스프링(13) 내에 삽입될 수 있다.The first and second movable plungers 12-1 and 12-2 may be inserted into the spring 13 at a portion from the second locking portion 122 to the other end.

제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)는 각각 서로 독립적으로 슬라이딩 동작할 수 있다. 즉, 제2단자(31)가 제1가동플런저(12-1)만을 가압하는 경우, 제2가동플런저(12-2)는 슬라이딩 동작하지 않을 수 있다. 반대로, 제2단자(31)가 제2가동플런저(12-2)만을 가압하는 경우, 제1가동플런저(12-1)는 슬라이딩 동작하지 않을 수 있다. 또한, 제2단자(31)가 제1 및 제2가동플런저(12-1, 12-2) 모두를 가압하는 경우, 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)는 모두 슬라이딩 동작할 수 있다.The first and second movable plungers 12-1 and 12-2 can each slide independently from each other. That is, when the second terminal 31 presses only the first movable plunger 12-1, the second movable plunger 12-2 may not perform a sliding operation. Conversely, when the second terminal 31 presses only the second movable plunger 12-2, the first movable plunger 12-1 may not perform a sliding operation. Additionally, when the second terminal 31 pressurizes both the first and second movable plungers 12-1 and 12-2, both the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 slide. It can work.

제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)가 서로 독립적으로 슬라이딩 동작하기 위한 구조는 나중에 상세하게 설명한다.The structure for the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 to slide independently of each other will be described in detail later.

스프링(13)은 서로 교차 결합되는 고정플런저(11)와 복수의 가동플런저(12) 사이, 즉 제1걸림부(112)와 제2걸림부(122) 사이에 개재되어 탄성력을 제공할 수 있다. 검사 시에, 고정플런저(11) 또는 복수의 가동플런저(12)는 제1단자(21) 또는 제2단자(31)가 가압함에 따라 슬라이딩 이동되며, 이때 제1걸림부(112) 또는 제2걸림부(122)가 스프링(13)을 압축할 수 있다.The spring 13 is interposed between the fixed plunger 11 and the plurality of movable plungers 12 that are cross-coupled with each other, that is, between the first engaging portion 112 and the second engaging portion 122 to provide elastic force. . During inspection, the fixed plunger 11 or the plurality of movable plungers 12 slides as the first terminal 21 or the second terminal 31 presses, and at this time, the first locking portion 112 or the second terminal 31 is pressed. The locking portion 122 may compress the spring 13.

스프링(13)은 한정되지 않는 1~10gf의 범위 내에서 탄성력을 제공할 수 있다. The spring 13 can provide elastic force within a non-limiting range of 1 to 10 gf.

한 쌍의 제1걸림부(112)와 한 쌍의 제2걸림부(122)는 각각 스프링(13)의 양단을 지지하여 스프링(13)을 구속할 수 있다. The pair of first locking portions 112 and the pair of second locking portions 122 may respectively support both ends of the spring 13 to restrain the spring 13.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 복수의 가동플런저(12)가 독립적으로 슬라이딩하는 구조와 동작을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the structure and operation of the plurality of movable plungers 12 sliding independently will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5.

도 4를 참조하면, 가이드레일(1141)은 양면에 함몰된 체결홈(1141a)이 마련되고, 가이드레일(1141)에 결합되는 레일지지부(1242)는 체결홈(1141a)에 수용되는 체결돌기(1241a)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 4, the guide rail 1141 is provided with recessed fastening grooves 1141a on both sides, and the rail support 1242 coupled to the guide rail 1141 has a fastening protrusion (1141a) accommodated in the fastening groove 1141a. 1241a) may be included.

체결홈(1141a) 및 체결돌기(1241a)는 상호 맞물린 상태에서 검사 시에 제2단자(31)에 의해 가압되는 힘에 의해 용이하게 이탈되고 스프링(13)의 힘에 의해 복원되어 다시 체결될 수 있도록 완만한 경사를 갖도록 형성될 수 있다.The fastening groove 1141a and the fastening protrusion 1241a can be easily separated by the force applied by the second terminal 31 during inspection in a mutually engaged state, and restored by the force of the spring 13 and fastened again. It can be formed to have a gentle slope.

도 5를 참조하면, 제2단자(31)가 제1가동플런저(12-1)만을 가압하는 경우, 제2가동플런저(12-2)는 슬라이딩 동작하지 않을 수 있다. 즉, 압력이 가해지지 않는 제2가동플런저(12-2)는 체결홈(1141a) 및 체결돌기(1241a)의 맞물림에 의해 하중에 대항할 수 있다. 만일, 제2가동플런저(12-2)만을 가압하는 경우, 제1가동플런저(12-1)는 슬라이딩 동작하지 않을 수 있다.Referring to FIG. 5, when the second terminal 31 presses only the first movable plunger 12-1, the second movable plunger 12-2 may not perform a sliding operation. That is, the second movable plunger 12-2 to which no pressure is applied can resist the load by engaging the fastening groove 1141a and the fastening protrusion 1241a. If only the second movable plunger 12-2 is pressed, the first movable plunger 12-1 may not perform a sliding operation.

도 6을 참조하면, 제2단자(31)가 제1 및 제2가동플런저(12-1, 12-2) 모두를 가압하는 경우, 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)는 모두 슬라이딩 동작할 수 있다.Referring to FIG. 6, when the second terminal 31 pressurizes both the first and second movable plungers 12-1 and 12-2, the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 ) can all perform sliding operations.

도 7 및 도 8은 각각 BGA타입 및 패드 타입의 제2단자(31)에 대한 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)의 접촉 상태를 나타내는 도면이다.7 and 8 are diagrams showing the contact state of the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 with respect to the second terminal 31 of the BGA type and pad type, respectively.

도 7을 참조하면, BGA타입의 제2단자(31)는 평면이 아닌 반구 형상으로 제2단자(31)가 하강하면서 먼저 제1가동플런저(12-1)가 접촉할 수 있다. 이후, 제2단자(31)가 추가 하강하면 제2가동플런저(12-2) 또한 접촉할 수 있다.Referring to FIG. 7, the BGA type second terminal 31 has a hemispherical shape rather than a flat surface, and as the second terminal 31 descends, the first movable plunger 12-1 may first contact it. Afterwards, when the second terminal 31 further descends, the second movable plunger 12-2 may also come into contact.

도 8을 참조하면, 패드타입의 제2단자(31)는 주변의 비단자부(32)와 동일 평면 상에 마련될 수 있다. 이때, 제2단자(31)가 하강하면서 제1가동플런저(12-1)가 비단자부(32)에 접촉하고, 제2가동플런저(12-2)가 제2단자(31)에 접촉할 수 있다.Referring to FIG. 8, the pad-type second terminal 31 may be provided on the same plane as the surrounding non-terminal portion 32. At this time, as the second terminal 31 descends, the first movable plunger 12-1 may contact the non-terminal portion 32, and the second movable plunger 12-2 may contact the second terminal 31. there is.

종래 기술에 따른 프로브 컨택트는 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)가 묶여서 동시에 동작하기 때문에, 제2가동플런저(12-2)는 팁 부분이 패드타입의 제2단자(31)를 가압하지 않고 제1가동플런저(12-1)만 가압 접촉한다. 그 결과 검사의 신뢰성은 낮아질 수 있다. 또한, 종래 기술에 따른 프로브 컨택트는 가동플런저들의 독립적인 슬라이딩을 위해 서로 독립된 별도의 2개 스프링이 요구되기 때문에 제조가 어렵고 비용이 높아질 수 있다.Since the probe contact according to the prior art operates simultaneously by binding the first and second movable plungers (12-1, 12-2), the tip of the second movable plunger (12-2) is connected to a pad-type second terminal ( 31) is not pressed and only the first movable plunger (12-1) is pressed and contacted. As a result, the reliability of the test may be lowered. In addition, the probe contact according to the prior art may be difficult to manufacture and expensive because it requires two separate springs that are independent of each other for independent sliding of the movable plungers.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 가동플런저(42)를 나타내는 도면이다.Figure 9 is a diagram showing the movable plunger 42 according to the second embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 복수의 가동플런저(42)는 서로 면접촉하도록 겹쳐지는 제1가동플런저(42-1)와 제2가동플런저(42-2)를 포함할 수 있다. 복수의 가동플런저(42)는 3개 이상으로 이루어질 수도 있다. 제1실시예에 따른 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)와 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 9, the plurality of movable plungers 42 may include a first movable plunger 42-1 and a second movable plunger 42-2 that overlap so as to make surface contact with each other. The plurality of movable plungers 42 may be comprised of three or more. Description of the same structure as the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 according to the first embodiment will be omitted.

제1가동플런저(42-1)는 제2본체(421)의 축선 방향에 가로방향으로 일 판면에서 돌출하는 제2걸림부(422)를 포함할 수 있다.The first movable plunger 42-1 may include a second locking portion 422 that protrudes from one plate surface in a direction transverse to the axis of the second body 421.

제2가동플런저(42-2)는 제2본체(421)의 축선 방향에 가로방향으로 일 판면에서 돌출하는 제3걸림부(423)를 포함할 수 있다.The second movable plunger 42-2 may include a third locking portion 423 that protrudes from one plate surface in a direction transverse to the axis of the second body 421.

제2 및 제3걸림부(422,423)는 서로 반대 방향으로 돌출할 수 있다.The second and third locking portions 422 and 423 may protrude in opposite directions.

제2 및 제3걸림부(422,423)는 제2본체(421)의 축선 방향으로 연장하는 가이드홈(4241)이 마련될 수 있다. 제2 및 제3걸림부(422,423)는 각각 제1가동플런저(42-1)와 제2가동플런저(42-2)의 개별 또는 동시에 슬라이딩 이동할 때 서로 반대 방향에 위치한 스프링(13)의 두 포인트(P1과 P2)를 가압할 수 있다.The second and third locking portions 422 and 423 may be provided with a guide groove 4241 extending in the axis direction of the second body 421. The second and third locking portions 422 and 423 are two points of the spring 13 located in opposite directions when the first movable plunger 42-1 and the second movable plunger 42-2 respectively or simultaneously slide. (P1 and P2) can be pressurized.

따라서, 검사 시에 제2단자(도 7의 31)가 제1가동플런저(42-1)만 가압하는 경우, 제2걸림부(422)는 스프링(13)의 길이방향 중심에 대해 불균형한 힘을 스프링(13)의 단부(P1)에 가할 수 있다. 그 결과, 스프링(13)은 제2걸림부(422)에 지지된 부분(P1)이 우선적으로 눌려짐으로써 스프링(13)의 중심축에 대해 좌굴 변형될 수 있다. 따라서, 제1가동플런저(42-1)는 가압되어 슬라이딩되고, 제2가동플런저(42-2)는 가압되지 않아 슬라이딩 되지 않을 수 있다. Therefore, when the second terminal (31 in FIG. 7) presses only the first movable plunger 42-1 during inspection, the second locking portion 422 exerts an unbalanced force with respect to the longitudinal center of the spring 13. Can be applied to the end (P1) of the spring (13). As a result, the spring 13 may be buckled and deformed about the central axis of the spring 13 by preferentially pressing the portion P1 supported by the second locking portion 422. Accordingly, the first movable plunger 42-1 may be pressed and slide, and the second movable plunger 42-2 may not be pressed and may not slide.

이와 같이, 스프링(13)의 길이방향 중심에 대해 불균형한 힘을 스프링(13)의 단부에 가하도록 하는 것은 제1실시예에 따른 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)의 구조, 즉 체결홈(1141a) 및 체결돌기(1241a)의 맞물림 구조와 별도로 적용될 수도 있고, 혼용하여 적용될 수도 있다. In this way, the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 according to the first embodiment apply an unbalanced force to the end of the spring 13 with respect to the longitudinal center of the spring 13. It may be applied separately from the structure, that is, the engagement structure of the fastening groove 1141a and the fastening protrusion 1241a, or may be applied in combination.

도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 복수의 가동플런저(52)를 나타내는 도면이고, 도 11은 도 10의 가동플런저(52)가 적용된 프로브 컨택트(1)를 나타내는 도면이다.FIG. 10 is a view showing a plurality of movable plungers 52 according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a view showing the probe contact 1 to which the movable plunger 52 of FIG. 10 is applied.

도 10 및 11을 참조하면, 복수의 가동플런저(52)는 서로 면접촉하도록 겹쳐지는 제1가동플런저(52-1)와 제2가동플런저(52-2)를 포함할 수 있다. 가동플런저(52)는 3개 이상으로 이루어질 수도 있다. 제1실시예에 따른 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)와 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.Referring to Figures 10 and 11, the plurality of movable plungers 52 may include a first movable plunger 52-1 and a second movable plunger 52-2 that overlap each other so as to make surface contact. The movable plunger 52 may be composed of three or more. Description of the same structure as the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 according to the first embodiment will be omitted.

제1가동플런저(52-1)는 제2본체(521)의 축선 방향에 가로의 제1방향의 일측면에서 돌출하는 제2걸림부(522)를 포함할 수 있다.The first movable plunger 52-1 may include a second locking portion 522 protruding from one side in a first direction horizontal to the axis of the second body 521.

제2가동플런저(52-2)는 제2본체(521)의 축선 방향에 가로의 제2방향, 즉 제1방향에 반대 방향의 일측면에서 돌출하는 제3걸림부(523)를 포함할 수 있다.The second movable plunger 52-2 may include a third locking portion 523 protruding from one side in a second direction transverse to the axis direction of the second body 521, that is, in the direction opposite to the first direction. there is.

제2걸림부(522)와 제3걸림부(523)는 스프링(13)의 길이방향 중심에 대해 서로 대칭 위치에 마련될 수 있다. 제2 및 제3걸림부(522,523)는 각각 제1가동플런저(52-1)와 제2가동플런저(52-2)의 개별 또는 동시에 슬라이딩 이동할 때 서로 반대 방향에 위치한 스프링(13)의 두 포인트(P1과 P2)를 가압할 수 있다.The second locking portion 522 and the third locking portion 523 may be provided at symmetrical positions with respect to the longitudinal center of the spring 13. The second and third locking portions 522 and 523 are two points of the spring 13 located in opposite directions when the first movable plunger 52-1 and the second movable plunger 52-2 respectively or simultaneously slide. (P1 and P2) can be pressurized.

이와 같이, 제1가동플런저(52-1)와 제2가동플런저(52-2)는 검사 시에 서로 반대 방향으로 돌출하는 제2 및 제3걸림부(522,523)에 의해 스프링(13)의 길이방향 중심에 대해 불균형한 힘을 스프링(13)의 단부에 가함으로써 스프링(13)을 좌굴 변형시킬 수 있다. In this way, the first movable plunger 52-1 and the second movable plunger 52-2 are adjusted to the length of the spring 13 by the second and third locking parts 522 and 523 that protrude in opposite directions during inspection. The spring 13 can be buckled and deformed by applying a force unbalanced with respect to the direction center to the end of the spring 13.

도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 복수의 가동플런저(62)를 나타내는 도면이다.Figure 12 is a diagram showing a plurality of movable plungers 62 according to the fourth embodiment of the present invention.

도 12를 참조하면, 복수의 가동플런저(62)는 서로 면접촉하도록 겹쳐지는 제1가동플런저(62-1)와 제2가동플런저(62-2)를 포함할 수 있다. 복수의 가동플런저(62)는 3개 이상으로 이루어질 수도 있다. 제1실시예에 따른 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)와 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 12, the plurality of movable plungers 62 may include a first movable plunger 62-1 and a second movable plunger 62-2 that overlap each other so as to make surface contact. The plurality of movable plungers 62 may be comprised of three or more. Description of the same structure as the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 according to the first embodiment will be omitted.

제1가동플런저(62-1)는 제2본체(621)의 축선 방향에 가로방향으로 양측면에서 돌출하는 한 쌍의 제2걸림부(622-1,622-2)를 포함할 수 있다.The first movable plunger 62-1 may include a pair of second locking portions 622-1 and 622-2 that protrude from both sides in a transverse direction in the axis direction of the second body 621.

제2가동플런저(62-2)는 제2본체(621)의 축선 방향에 가로방향으로 양측면에서 돌출하는 한 쌍의 제3걸림부(623-1,623-2)를 포함할 수 있다.The second movable plunger 62-2 may include a pair of third locking portions 623-1 and 623-2 that protrude from both sides in a transverse direction along the axis of the second body 621.

한 쌍의 제2걸림부(622-1,622-2)는 서로 반대 방향으로 돌출하며, 제2본체(621)의 축선에 대해 단차를 가질 수 있다.The pair of second locking portions 622-1 and 622-2 protrude in opposite directions and may have a step with respect to the axis of the second body 621.

한 쌍의 제3걸림부(623-1,623-2)는 서로 반대 방향으로 돌출하면, 제2본체(621)의 축선에 대해 단차를 가질 수 있다.When the pair of third locking portions 623-1 and 623-2 protrude in opposite directions, they may have a step with respect to the axis of the second body 621.

또한, 서로 인접한, 제2걸림부(622-1)와 제3걸림부(623-1), 그리고 제2걸림부(622-2)와 제3걸림부(623-2)는 제2본체(621)의 축선에 대해 단차를 가질 수 있다. 즉, 제2걸림부(622-1)와 제3걸림부(623-2)는 각각 서로 반대 방향에서 스프링(13)의 단부에 접촉할 수 있다. 또한, 제2걸림부(622-2)와 제3걸림부(623-1)는 각각 서로 반대 방향에서 스프링(13)의 단부에 이격된 상태일 수 있다.In addition, the second locking part 622-1 and the third locking part 623-1, and the second locking part 622-2 and the third locking part 623-2, which are adjacent to each other, are connected to the second main body ( 621) can have a step about the axis. That is, the second locking portion 622-1 and the third locking portion 623-2 may each contact the end of the spring 13 in opposite directions. Additionally, the second locking portion 622-2 and the third locking portion 623-1 may be spaced apart from the end of the spring 13 in opposite directions.

따라서, 검사 시에 제2단자(31)가 제1가동플런저(62-1)만 가압하는 경우, 제2걸림부(622-1)는 스프링(13)의 중심에 대해 불균형한 힘을 스프링(13)의 단부에 가할 수 있다. 그 결과, 스프링(13)은 제2걸림부(622-1)에 지지된 부분이 우선적으로 눌려지고 그 반대 방향은 들어 올려짐으로써 스프링(13)의 중심축에 대해 좌굴 변형될 수 있다. 따라서, 제1가동플런저(62-1)는 가압되어 슬라이딩되고, 제2가동플런저(62-2)는 가압되지 않아 슬라이딩 되지 않을 수 있다.Therefore, when the second terminal 31 presses only the first movable plunger 62-1 during inspection, the second locking portion 622-1 exerts an unbalanced force with respect to the center of the spring 13 to the spring ( It can be applied to the end of 13). As a result, the spring 13 may be buckled and deformed about the central axis of the spring 13 by preferentially pressing the portion supported by the second locking portion 622-1 and lifting the opposite direction. Accordingly, the first movable plunger 62-1 may be pressed and slide, and the second movable plunger 62-2 may not be pressed and may not slide.

도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 복수의 가동플런저(72)를 나타내는 도면이다.Figure 13 is a diagram showing a plurality of movable plungers 72 according to the fifth embodiment of the present invention.

도 13을 참조하면, 복수의 가동플런저(72)는 서로 면접촉하도록 겹쳐지는 제1가동플런저(72-1)와 제2가동플런저(72-2)를 포함할 수 있다. 복수의 가동플런저(72)는 3개 이상으로 이루어질 수도 있다. 제1실시예에 따른 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)와 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 13, the plurality of movable plungers 72 may include a first movable plunger 72-1 and a second movable plunger 72-2 that overlap so as to make surface contact with each other. The plurality of movable plungers 72 may be comprised of three or more. Description of the same structure as the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 according to the first embodiment will be omitted.

제1가동플런저(72-1)는 제2본체(721)의 일단부에 제2단자(31)에 접촉하는 제1접촉단부(722)를 포함할 수 있다. The first movable plunger 72-1 may include a first contact end 722 at one end of the second body 721 that contacts the second terminal 31.

제1접촉단부(722)는 제2본체(721)의 폭방향 일측면에 마련된 제1팁(7221), 제2본체(721)의 폭방향 타측면에 마련된 제2팁(7222) 및 제1팁(7221)과 제2팁(7222)의 사이에 마련된 제1중간팁(7223)을 포함할 수 있다. 제1접촉단부(722)는 폭방향으로 분할되고 제1팁(7221), 제2팁(7222) 및 제1중간팁(7223)보다 낮은 위치에서 하향 경사진 경사면을 가진 제1경사부를 포함한다. The first contact end 722 includes a first tip 7221 provided on one side in the width direction of the second body 721, a second tip 7222 provided on the other side in the width direction of the second body 721, and a first tip 7222 provided on the other side in the width direction of the second body 721. It may include a first intermediate tip 7223 provided between the tip 7221 and the second tip 7222. The first contact end 722 is divided in the width direction and includes a first inclined portion having a downwardly inclined inclined surface at a lower position than the first tip 7221, the second tip 7222, and the first intermediate tip 7223. .

제1접촉단부(722)는 제1팁(7221), 제2팁(7222) 및 제1중간팁(7223)에 의해 W자 형상을 가진다.The first contact end 722 has a W-shape formed by the first tip 7221, the second tip 7222, and the first middle tip 7223.

제2가동플런저(72-2)는 제2본체(721)의 일단부에 제2단자(31)에 접촉하는 제2접촉단부(723)를 포함할 수 있다.The second movable plunger 72-2 may include a second contact end 723 at one end of the second body 721 that contacts the second terminal 31.

제2접촉단부(723)는 제2본체(721)의 폭방향 타측면에 마련된 제3팁(7231), 제2본체(721)의 폭방향 타측면에 마련된 제4팁(7232) 및 제3팁(7231)과 제4팁(7232)의 사이에 마련된 제2중간팁(7233)을 포함할 수 있다. 제2접촉단부(723)는 제2본체(721)의 폭방향 일측면에 마련된 제3팁(7231), 제2본체(721)의 폭방향 타측면에 마련된 제4팁(7232) 및 제3팁(7231)과 제4팁(7232)의 사이에 마련된 제2중간팁(7233)을 포함할 수 있다. 제2접촉단부(723)는 폭방향으로 분할되고 제3팁(7231), 제4팁(7232) 및 제2중간팁(7233)보다 낮은 위치에서 하향 경사진 경사면을 가진 제2경사부를 포함한다. 따라서, 제1가동플런저(72-1)와 제2가동플런저(72-2)는 제1접촉단부(722)의 제1경사부와 제2접촉단부(723)의 제2경사부가 서로를 향하도록 서로 중첩된다. 이때, 제1접촉단부(722)의 제1경사부와 제2접촉단부(723)의 제2경사부는 X자 형상을 이룬다.The second contact end 723 includes a third tip 7231 provided on the other side in the width direction of the second body 721, a fourth tip 7232 provided on the other side in the width direction of the second body 721, and a third tip 7232 provided on the other side in the width direction of the second body 721. It may include a second intermediate tip 7233 provided between the tip 7231 and the fourth tip 7232. The second contact end 723 includes a third tip 7231 provided on one side of the second body 721 in the width direction, a fourth tip 7232 provided on the other side of the second body 721 in the width direction, and a third tip 7232 provided on the other side of the second body 721 in the width direction. It may include a second intermediate tip 7233 provided between the tip 7231 and the fourth tip 7232. The second contact end 723 is divided in the width direction and includes a second inclined portion having a downwardly inclined inclined surface at a lower position than the third tip 7231, the fourth tip 7232, and the second intermediate tip 7233. . Accordingly, the first movable plunger (72-1) and the second movable plunger (72-2) have the first inclined portion of the first contact end 722 and the second inclined portion of the second contact end 723 facing each other. overlap each other so that At this time, the first inclined portion of the first contact end 722 and the second inclined portion of the second contact end 723 form an X shape.

제2접촉단부(723)는 제3팁(7231), 제4팁(7232) 및 제2중간팁(7233)에 의해 W자 형상을 가진다. The second contact end 723 has a W-shape formed by the third tip 7231, the fourth tip 7232, and the second middle tip 7233.

이상과 같이, 복수의 가동플런저(72)는 6개의 접촉점을 가지므로써 검사 신뢰성을 높일 수 있을 뿐만 아니라 제2단자(31)를 V홈 내에 수용하여 검사함으로써 경질의 제2단자(31)를 검사할 수 있다. As described above, the plurality of movable plungers 72 have six contact points, which not only improves inspection reliability, but also allows inspection of the hard second terminal 31 by accommodating the second terminal 31 in the V groove for inspection. can do.

도 14는 본 발명의 제6실시예에 따른 복수의 가동플런저(82)를 나타내는 도면이다.Figure 14 is a diagram showing a plurality of movable plungers 82 according to the sixth embodiment of the present invention.

도 14를 참조하면, 복수의 가동플런저(82)는 서로 면접촉하도록 겹쳐지는 제1가동플런저(82-1)와 제2가동플런저(82-2)를 포함할 수 있다. 복수의 가동플런저(82)는 3개 이상으로 이루어질 수도 있다. 제1실시예에 따른 제1 및 제2가동플런저(12-1,12-2)와 동일한 구조에 대한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 14, the plurality of movable plungers 82 may include a first movable plunger 82-1 and a second movable plunger 82-2 that overlap so as to make surface contact with each other. The plurality of movable plungers 82 may be comprised of three or more. Description of the same structure as the first and second movable plungers 12-1 and 12-2 according to the first embodiment will be omitted.

제1가동플런저(82-1)는 제2본체(821)의 일단부에 제2단자(31)에 접촉하는 제1접촉단부(822)를 포함할 수 있다. The first movable plunger 82-1 may include a first contact end 822 at one end of the second body 821 that contacts the second terminal 31.

제1접촉단부(822)는 제2본체(821)의 폭방향의 일측면에 마련된 제1팁(8221), 및 제1팁(8221)보다 낮은 위치에서 제2본체(821)의 폭방향의 일측면에 마련된 제2팁(8222)을 포함할 수 있다. The first contact end 822 includes a first tip 8221 provided on one side of the second body 821 in the width direction, and a position lower than the first tip 8221 in the width direction of the second body 821. It may include a second tip 8222 provided on one side.

제1접촉단부(822)는 제1팁(8221)에서 타측면을 향해 하향 경사진 경사면을 가진 제1경사부와 제2팁(8222)에서 타측면을 향해 하향 경사진 경사면을 가진 제2경사부를 포함한다. 제1경사부와 제2경사부는 제2본체(821)의 축선 방향으로 단차를 가질 수 있다.The first contact end 822 has a first inclined portion having an inclined surface inclined downward from the first tip 8221 toward the other side and a second inclined portion having an inclined surface inclined downward from the second tip 8222 toward the other side. Includes wealth. The first inclined portion and the second inclined portion may have a step in the axis direction of the second body 821.

제2가동플런저(82-2)는 제2본체(821)의 일단부에 제2단자(31)에 접촉하는 제2접촉단부(823)를 포함할 수 있다. The second movable plunger 82-2 may include a second contact end 823 at one end of the second body 821 that contacts the second terminal 31.

제2접촉단부(823)는 제2본체(821)의 폭방향의 타측면에 마련된 제3팁(8231), 및 제3팁(8231)보다 낮은 위치에서 제2본체(821)의 폭방향의 일측면에 마련된 제4팁(8232)을 포함할 수 있다. The second contact end 823 has a third tip 8231 provided on the other side in the width direction of the second body 821, and a position lower than the third tip 8231 in the width direction of the second body 821. It may include a fourth tip 8232 provided on one side.

제2접촉단부(823)는 제3팁(8231)에서 일측면을 향해 하향 경사진 경사면을 가진 제3경사부와 제4팁(8232)에서 일측면을 향해 하향 경사진 경사면을 가진 제4경사부를 포함한다. 제3경사부와 제4경사부는 제2본체(821)의 축선 방향으로 단차를 가질 수 있다. 따라서, 제1가동플런저(82-1)와 제2가동플런저(82-2)는 제1접촉단부(822)의 제2경사부와 제2접촉단부(823)의 제4경사부가 서로를 향하도록 중첩된다. 이때, 제1접촉단부(822)의 제2경사부와 제2접촉단부(823)의 제4경사부는 X자 형상을 이룬다.The second contact end 823 is a third inclined portion having a downward inclined surface toward one side from the third tip 8231 and a fourth inclined portion having a downward inclined toward one side from the fourth tip 8232. Includes wealth. The third inclined portion and the fourth inclined portion may have a step in the axis direction of the second body 821. Accordingly, the first movable plunger (82-1) and the second movable plunger (82-2) have the second inclined portion of the first contact end 822 and the fourth inclined portion of the second contact end 823 facing each other. overlapped so that At this time, the second inclined portion of the first contact end 822 and the fourth inclined portion of the second contact end 823 form an X shape.

이상과 같이, 복수의 가동플런저(82)는 상호 축선 방향으로 단차 및 경사를 가진 제1 및 제2팁(8221,8222), 그리고 제3 및 제4팁(8231,8232)에 의해 검사 시에 발생하는 이물질, 예를 들면 주석(Sn)을 경사 또는 단차 부분으로 밀어낼 수 있다.As described above, the plurality of movable plungers 82 are inspected by the first and second tips 8221 and 8222 and the third and fourth tips 8231 and 8232, which have steps and inclinations in the mutual axis direction. Foreign matter, such as tin (Sn), can be pushed out to an inclined or stepped area.

앞서 설명한 명세서에서, 본 발명 및 그 장점들이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 아래의 청구항에서 설명하는 바와 같은 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변경이 가능함은 이 기술 분야에서 보통의 기술을 가진 자에게 명백할 것이다. 이에 따라, 명세서와 도면은 한정 보다는 본 발명의 예시로서 간주되어야 한다. 모든 이러한 가능한 수정들은 본 발명의 범위 내에서 이루어져야 한다.In the foregoing specification, the invention and its advantages have been described with reference to specific embodiments. However, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes may be made without departing from the scope of the present invention as set forth in the claims below. Accordingly, the specification and drawings are to be regarded as illustrative rather than limiting. All such possible modifications must be made within the scope of the present invention.

1: 컨택트 프로브
11: 고정플런저
111: 제1본체
112: 제1걸림부
113: 고정접촉부
114: 제1결합부
1141: 가이드레일
1141a: 지지홈
1141b: 지지돌기
1142: 가이드벽
115: 개구부
12: 가동플런저
12-1,42-1,52-1,62-1,72-1,82-1: 제1가동플런저
12-2,42-2,52-2,62-2,72-2,82-2: 제2가동플런저
121: 가동접촉부
122: 제2걸림부
123: 가동접촉부
124: 제2결합부
1241: 가이드홈
1242: 제1레일지지부
1243: 제2레일지지부
1244: 제1후크
1245: 제2후크
1246: 제1걸림턱
1247: 제2걸림턱
13: 스프링1: Contact probe
11: Fixed plunger
111: first body
112: first engaging portion
113: fixed contact part
114: first coupling portion
1141: Guide rail
1141a: Support groove
1141b: Support protrusion
1142: Guide wall
115: opening
12: Movable plunger
12-1,42-1,52-1,62-1,72-1,82-1: 1st movable plunger
12-2,42-2,52-2,62-2,72-2,82-2: 2nd movable plunger
121: Movable contact part
122: Second engaging portion
123: Movable contact part
124: second coupling portion
1241: Guide Home
1242: First rail support
1243: Second rail support
1244: 1st hook
1245: Second hook
1246: 1st locking jaw
1247: Second locking jaw
13: spring

Claims (12)

제1단자와 제2단자 사이를 전기적으로 연결하는 프로브 컨택트에 있어서,
일단이 상기 제1단자에 접촉하는 제1본체와 상기 제1본체의 축선방향에 가로로 돌출된 제1걸림부를 갖는 고정플런저;
일단이 상기 제2단자에 접촉하고 타단이 상기 고정플런저와 전기적으로 접촉되는 제2본체와 상기 제2본체의 축선방향에 가로로 돌출된 제2걸림부를 가지며, 축선방향을 따라 상호 독립적으로 상대 슬라이딩 가능하도록 배치되는 복수의 가동플런저;
상기 제1걸림부와 상기 제2걸림부 사이에 개재되는 스프링을 포함하며,
상기 복수의 가동플런저는 서로 면접촉하도록 겹쳐지는 제1가동플런저와 제2가동플런저를 포함하며,
상기 제1가동플런저와 상기 제2가동플런저는 각각 상기 제2단자에 접촉하는 제1접촉단부와 제2접촉단부를 포함하며,
상기 제1접촉단부는 상기 제2본체의 폭방향 일측면에서 타측면을 따라 마련된 복수의 제1팁과 상기 복수의 제1팁보다 낮은 위치에서 상기 일측면에서 타측면으로 하향 경사진 경사면을 가진 제1경사부를 포함하며,
상기 제2접촉단부는 상기 제2본체의 폭방향 타측면에서 일측면을 따라 마련된 복수의 제2팁과 상기 복수의 제2팁보다 낮은 위치에서 상기 타측면에서 일측면으로 하향 경사진 경사면을 가진 제2경사부를 포함하며,
상기 제1가동플런저와 상기 제2가동플런저는 상기 제1경사부와 상기 제2경사부가 서로를 향하도록 중첩되는 프로브 컨택트.In the probe contact electrically connecting between the first terminal and the second terminal,
a fixed plunger having a first body, one end of which contacts the first terminal, and a first locking portion protruding horizontally in an axial direction of the first body;
It has a second main body, one end of which is in contact with the second terminal and the other end of which is in electrical contact with the fixed plunger, and a second locking part that protrudes horizontally in the axial direction of the second main body, and relatively slides independently of each other along the axial direction. A plurality of movable plungers arranged to enable;
It includes a spring interposed between the first engaging portion and the second engaging portion,
The plurality of movable plungers include a first movable plunger and a second movable plunger that overlap each other to surface contact,
The first movable plunger and the second movable plunger each include a first contact end and a second contact end that contact the second terminal,
The first contact end has a plurality of first tips provided along the other side from one side in the width direction of the second body and an inclined surface that slopes downward from the one side to the other side at a position lower than the plurality of first tips. Includes the first slope,
The second contact end has a plurality of second tips provided along one side on the other side in the width direction of the second body and an inclined surface inclined downward from the other side to one side at a position lower than the plurality of second tips. Includes the second slope,
The first movable plunger and the second movable plunger are probe contacts in which the first inclined portion and the second inclined portion overlap with each other. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 복수의 가동플런저는 각각 타단이 상기 고정플런저의 타단에 상대 슬라이딩 가능하게 결합되는 제1결합부를 포함하며,
상기 고정플런저는 타단에 상기 제1결합부에 결합되는 제2결합부를 포함하며,
상기 제1결합부와 상기 제2결합부 중 어느 하나는 상호 결합되는 면에 적어도 하나의 지지돌기를 포함하며,
상기 제1결합부와 상기 제2결합부 중 다른 하나는 상기 적어도 하나의 돌기를 분리 가능하게 수용하는 지지홈을 포함하는 프로브 컨택트. According to paragraph 1,
The plurality of movable plungers each include a first coupling portion whose other end is coupled to the other end of the fixed plunger in a relative sliding manner,
The fixed plunger includes a second coupling portion at the other end coupled to the first coupling portion,
One of the first coupling portion and the second coupling portion includes at least one support protrusion on a surface that is coupled to each other,
The other of the first coupling portion and the second coupling portion includes a support groove that removably accommodates the at least one protrusion. 제1항에 있어서,
상기 제2걸림부는 검사 시에 상기 스프링의 길이방향 중심에 대해 불균형한 힘을 상기 스프링의 단부에 가하여 상기 스프링을 좌굴 변형시키는 프로브 컨택트.According to paragraph 1,
A probe contact in which the second locking portion buckles and deforms the spring by applying an unbalanced force to the end of the spring with respect to the longitudinal center of the spring during inspection. 제1항에 있어서,
상기 제2본체는 판상이며,
상기 제2걸림부는 상기 제2본체의 일측면으로부터 폭방향으로 돌출되는 프로브 컨택트.According to paragraph 1,
The second body is plate-shaped,
The second locking portion is a probe contact that protrudes in the width direction from one side of the second body. 제 5항에 있어서,
상기 가동플런저들의 제2걸림부들은 상기 스프링의 길이방향 중심에 대해 상호 대칭 위치에 마련되는 프로브 컨택트.According to clause 5,
A probe contact in which the second locking portions of the movable plungers are provided at positions symmetrical to each other with respect to the longitudinal center of the spring. 제1항에 있어서,
상기 가동플런저들의 제2걸림부들은 서로 반대방향으로 돌출하는 프로브 컨택트.According to paragraph 1,
The second locking portions of the movable plungers are probe contacts that protrude in opposite directions. 제1항에 있어서,
상기 제2본체는 판상이며,
상기 제2걸림부는 상기 제2본체의 양측면으로부터 폭 방향으로 돌출되는 한 쌍의 걸림부를 포함하며,
상기 한 쌍의 걸림부는 상기 축선 방향으로 서로 단차지게 형성되는 프로브 컨택트.According to paragraph 1,
The second body is plate-shaped,
The second locking portion includes a pair of locking portions protruding in the width direction from both sides of the second body,
A probe contact in which the pair of engaging portions are formed to be stepped from each other in the axis direction. 제1항에 있어서,
상기 제2본체는 판상이며,
상기 제2걸림부는 상기 제2본체의 일면으로부터 두께 방향으로 돌출되는 프로브 컨택트.According to paragraph 1,
The second body is plate-shaped,
The second engaging portion is a probe contact that protrudes from one surface of the second body in the thickness direction. 제9항에 있어서,
상기 제2걸림부는 상기 스프링의 단부에 접촉하는 경사진 면을 포함하는 프로브 컨택트.According to clause 9,
The second engaging portion is a probe contact including an inclined surface contacting an end of the spring. 제1항에 있어서,
상기 고정플런저의 제1본체는 상기 복수의 가동플런저들이 맞물리는 가이드레일을 포함하며,
상기 가동플런저들의 제2본체는 상기 가이드레일에 삽입되고 상기 축선방향을 따라 파여진 가이드홈을 포함하는 프로브 컨택트. According to paragraph 1,
The first body of the fixed plunger includes a guide rail on which the plurality of movable plungers are engaged,
A probe contact in which the second body of the movable plungers is inserted into the guide rail and includes a guide groove dug along the axis direction. 제11항에 있어서,
상기 가이드레일은 양측면에서 축선방향을 따라 연장하고 두께 방향으로 돌출하는 가이드벽을 포함하는 프로브 컨택트.According to clause 11,
The guide rail is a probe contact including a guide wall extending along the axis on both sides and protruding in the thickness direction.
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