KR102615633B1 - 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템 - Google Patents

자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템에 관한 것으로서, 특히 대기측에서 진공측으로 동력을 전달하기 위한 회전축을 수용하는 하우징과, 상기 하우징의 내부공간에서 상기 회전축을 둘러싸는 한 쌍의 폴 피스(Pole Piece)와, 상기 폴 피스 사이에서 상기 회전축을 둘러싸는 영구자석과, 상기 영구자석의 자기력에 의해 상기 회전축과 폴 피스들 사이에서 구속되는 자성유체를 포함하는 자성유체 진공씰과; 상기 폴 피스 사이의 공간과 연통되도록 상기 하우징에 설치되어 대기측과 진공측의 압력변화를 감지하는 압력편차 감지센서와; 상기 압력편차 감지센서로부터 감지된 압력변화 상태를 전송받는 제어부;를 포함하여 구성되어, 압력편차가 어느 곳에서 발생했는지 실시간으로 정확하게 파악하여 신속하게 후속조치를 취할 수 있는 효과가 있다.

Description

자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템{Real-time pressure deviation detection system for magnetic fluid vacuum seals}
본 발명은 압력편차 감지시스템에 관한 것으로서, 특히, 자성유체 진공씰에서 자성유체의 누설 등으로 인해 자성유체 진공씰의 성능이 저하될 때 대기측과 진공측의 압력편차가 발생하는 것을 신속하게 감지할 수 있는 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템에 관한 것이다.
상대운동이 없는 정적인 두 면 사이의 공간은 오링, 가스켓 등을 이용하여 비교적 쉽게 밀봉할 수 있다. 그러나 회전축과 같이 상대운동이 발생하는 두 면 사이를 밀봉하는 것은 정적인 경우에 비해 고려해야 할 사항이 많고 어렵다.
지금까지는 미케니컬씰, 립씰 등을 이용하여 회전축을 밀봉하는 방법이 흔히 사용되었다. 이와 같은 밀봉 방법에서는 회전축과 씰 사이에 고체마찰이 발생하게 되어 마모에 의한 분진이 발생하는 문제가 있다.
자성유체 진공씰('마그네틱씰'이라고도 함)은 이와 같은 단점이 극복된 씰로서, 회전축과 하우징 사이의 틈새를 자석에 붙는 유체인 자성유체를 사용하여 씰링한다. 즉 영구자석을 이용하여 자성유체를 틈새의 원하는 위치에 붙잡아 두는 것이다.
이와 같은 원리의 자성유체 진공씰은 고체마찰이 발생되지 않으므로 분진이 발생하지 않고 수명도 길다. 이러한 이유로 자성유체 진공씰은 높은 청정도가 요구되는 반도체 공정용 진공챔버 등에 상당히 많은 수가 독립적으로 사용되고 있다.
자성유체 진공씰은 영구자석, 폴 피스(Pole Piece), 회전축, 자성유체 및 이들을 내부에 수용하는 하우징으로 구성되는 것이 일반적이다.
회전축에는 트렌치가 다수 형성되어 있으며, 영구자석의 N극으로부터 나온 자속은 트렌치의 이빨 부분과 폴 피스를 통해 영구자석의 S극으로 들어가면서 각 트렌치 이빨 끝부분과 폴 피스 사이에 자성유체가 구속 유지되도록 한다.
이러한 자성유체 진공씰은 앞서 기재한 대로 청정 환경이 요구되는 반도체 제조공정의 진공챔버 등에서 많이 사용되고 있는데, 온도, 하중, 충격, 진동 등과 같은 외부 환경요인에 의해 자성유체의 누설이 발생되면 대기측과 진공측의 압력편차가 발생하여 성능이 저하될 수 있다.
이러한 자성유체 진공씰의 성능 저하를 실시간으로 감지하면 고장난 자성유체 진공씰의 부품을 교체하거나 수리함으로써 신속한 대처가 가능한데, 아직까지는 자성유체 진공씰의 성능 저하를 실시간으로 감지하는 것이 쉽지 않다.
공개특허 10-2018-0110596
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 진공 유지를 위한 자성유체 진공씰에서 자성유체의 누설 등으로 진공씰의 성능이 저하되어 대기측과 진공측의 압력편차가 발생되는 것을 실시간으로 감지함으로써 후속 대처를 신속하게 할 수 있는 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템은 대기측에서 진공측으로 동력을 전달하기 위한 회전축을 수용하는 하우징과, 상기 하우징의 내부공간에서 상기 회전축을 둘러싸는 한 쌍의 폴 피스(Pole Piece)와, 상기 폴 피스 사이에서 상기 회전축을 둘러싸는 영구자석과, 상기 영구자석의 자기력에 의해 상기 회전축과 폴 피스들 사이에서 구속되는 자성유체를 포함하는 자성유체 진공씰과; 상기 폴 피스 사이의 공간과 연통되도록 상기 하우징에 설치되어 대기측과 진공측의 압력변화를 감지하는 압력편차 감지센서와; 상기 압력편차 감지센서로부터 감지된 압력변화 상태를 전송받는 제어부;를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 압력편차 감지센서가 감지한 압력변화가 일정 수준 이상이면 상기 제어부는 외부로 알람을 보낸다.
한편, 상기 압력편차 감지센서는 상기 자성유체 진공씰의 하우징에 설치되되 상기 폴 피스 사이의 공간과 연통되는 링 형태의 하부 접속관과; 상기 하부 접속관의 상단에 설치되고, 상기 폴 피스 사이의 압력이 떨어져 점차 진공상태로 변화될 때 폴 피스 사이의 공간 쪽으로 하강하여 처지는 금속재질의 다이아프램과; 상기 다이아프램의 상면 가장자리를 따라 설치되는 링 형태의 내부 접속관과; 상기 내부 접속관의 상면을 따라 설치되는 부도체링과; 상기 부도체링의 상면에 설치되는 음극단자링과; 일측 끝단이 상기 다이아프램의 중앙에 고정되고 타측 끝단이 양극단자로 구성되어, 상기 다이아프램이 폴 피스 사이의 공간쪽을 향해 처질 때 다이아프램을 따라 함께 하강하여 양극단자가 상기 음극단자링에 접촉되며, 상기 양극단자와 음극단자링의 접촉시 이 접촉신호를 상기 제어부로 전송하는 도전테이블과; 상기 하부접속관에 결합되어 상기 내부접속관, 부도체링, 음극단자링 및 도전테이블을 내부에 수용하는 덮개;를 포함하여 구성된다.
여기에서, 상기 다이아프램의 일측 끝단은 상기 다이아프램의 중앙부분을 관통한 후 다이아프램의 아래쪽에서 너트와 나선결합된다.
그리고, 상기 하부 접속관의 외주면 상측에는 상기 다이아프램의 두께와 동일한 깊이의 요홈이 형성되고, 상기 다이아프램은 가장자리가 하측으로 절곡되어 형성된 절곡부가 형성되어, 상기 절곡부가 요홈 내에 삽입 밀착된다.
또한, 상기 덮개의 내주면 하단과 상기 하부 접속관의 외주면은 나선결합된다.
또한, 상기 덮개는 하측부분과 상측부분의 내경 차이로 인하여 내주면에 단턱이 형성되고, 상기 단턱은 덮개와 하부 접속관을 나선결합했을 때 상기 내부 접속관의 가장자리를 상기 다이아프램의 상면쪽으로 가압한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템은 대기측과 진공측의 압력편차 발생시 이를 감지한 압력편차 감지센서로부터 신호를 제어부가 전송받으므로, 압력편차가 어느 곳에서 발생했는지 실시간으로 정확하게 파악하여 신속하게 후속조치를 취할 수 있는 이점이 있다.
또한, 압력변화에 민감하게 반응하는 다이아프램을 따라 도전테이블이 움직이고, 이 도전테이블의 양극단자와 음극단자링이 접촉되면 전기적 신호가 제어부에 전송되기 때문에 작업자가 다수의 압력편차 감지센서를 일일이 검사하지 않아도 고장난 자성유체 진공씰을 정확하게 알 수 있는 이점이 있다.
또한, 다이아프램의 가장자리에서 절곡된 절곡부가 하부 접속관의 요홈에 밀착되므로 기밀성이 향상되는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템을 보인 도.
도 2는 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 압력편차 감지센서를 보인 결합사시도.
도 3은 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 압력편차 감시센서를 보인 분해사시도.
도 4는 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 압력편차 감지센서를 보인 단면도.
도 5는 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 초기 안정상태(a)와 자성유체 누설시 상태(b)를 보인 도.
도 6은 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템에서 자성유체가 누설될 때의 감지과정을 간단히 설명한 블록도.
이하, 본 발명에 의한 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템을 보인 도이다.
그리고, 도 2는 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 압력편차 감지센서를 보인 결합사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 압력편차 감시센서를 보인 분해사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 압력편차 감지센서를 보인 단면도이다.
또한, 도 5는 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템의 초기 안정상태(a)와 자성유체 누설시 상태(b)를 보인 도이다.
또한, 도 6은 도 1에 도시된 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템에서 자성유체가 누설될 때의 감지과정을 간단히 설명한 블록도이다.
본 발명에 의한 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템은 자성유체 진공씰(100)과, 상기 자성유체 진공씰(100)에 설치되는 압력편차 감지센서(200)와, 상기 압력편차 감지센서(200)와 전기적으로 연결된 제어부(300)를 포함하여 구성된다.
상기 자성유체 진공씰(100)은 진공챔버에서 대기측의 동력을 진공측에 전달할 때 진공챔버의 진공상태를 유지하기 위하여 사용하는 것으로서, 대기측에서 진공측으로 동력을 전달하기 위한 회전축(110)을 수용하는 하우징(120)과, 상기 하우징(120) 내부에 설치되는 한 쌍의 폴 피스(Pole Piece,130)와, 상기 폴 피스(130) 사이에 설치되는 영구자석(140)과, 상기 회전축(110)과 폴 피스(130) 사이에서 구속되는 자성유체(150)를 포함하여 구성된다.
상기 회전축(110)은 대기측의 동력을 진공측에 전달하기 위해 하우징(120)을 관통한다. 이러한 회전축(110)의 외주면 중에서 폴 피스(130)에 둘러싸이는 부분에는 다수의 트렌치(trench,111)가 형성된다.
상기 하우징(120)은 회전축(110)을 수용하면서 진공챔버 측에 결합된다.
상기 폴 피스(130)는 하우징(120) 내에 2개가 설치되는데, 일정거리 이격된 상태로 회전축(110)을 둘러싼다.
상기 영구자석(140)은 폴 피스(130) 사이에서 회전축(110)을 둘러싼다.
상기 자성유체(150)는 회전축(110)의 트렌치(111) 이빨 부분에 발라져 있는 것으로서, 영구자석(140)의 자기력에 의해 회전축(110)과 폴 피스(130)들 사이에서 링 형태를 유지하며 구속된다.
자성유체 진공씰(100)이 위와 같이 구성되므로, 영구자석(140)의 N극으로부터 나온 자속(Magnetic flux)은 회전축(110)의 트렌치(111)의 이빨 부분과 폴 피스(130)를 통해 영구자석(140)의 S극으로 들어가면서 각 트렌치(111) 이빨 끝부분과 폴 피스(130) 사이에 자성유체(150)가 구속 유지되도록 한다.
상기 압력편차 감지센서(200)는 폴 피스(130) 사이의 공간과 연통되도록 하우징(120)에 설치되어 대기측과 진공측의 압력변화를 감지하는 것으로서, 하부 접속관(210)과, 상기 하부 접속관(210)의 상단에 설치되는 다이아프램(220)과, 상기 다이아프램(220)의 상면 가장자리를 따라 설치되는 링 형태의 내부 접속관(230)과, 상기 내부 접속관(230)의 상면을 따라 설치되는 부도체링(240)과, 상기 부도체링(240)의 상면에 설치되는 음극단자링(250)과, 상기 다이아프램(220)의 중앙에 고정되는 도전테이블(260)과, 상기 하부 접속관(210)에 결합되는 덮개(270)를 포함하여 구성된다.
상기 하부 접속관(210)은 일정한 직경을 갖는 링 형태로 형성되고, 자성유체 진공씰(100)의 하우징(120)에 설치되되 폴 피스(130) 사이의 공간과 연통되게 설치된다.
상기 다이아프램(220)은 박판의 금속, 그 중에서도 스테인레스로 제작하여 압력 변화에 따라 휨이 발생할 수 있도록 구성하였다. 이러한 다이아프램(220)은 두께가 얇은 원판 형태로 제작되어 폴 피스(130) 사이의 압력이 떨어져 점차 진공상태로 변화될 때 폴 피스(130) 사이의 공간 쪽으로 하강하여 처짐이 발생된다.
한편, 하부 접속관(210)의 외주면 상측에는 다이아프램(220)의 두께와 동일한 깊이의 요홈(210a)이 형성되고, 다이아프램(220)은 가장자리가 하측으로 절곡되어 형성된 절곡부(221)가 형성되어, 상기 절곡부(221)가 요홈(210a) 내에 삽입 밀착된다. 이 절곡부(221)와 요홈(210a)에는 본드를 도포하여 절곡부(221)가 요홈(210a) 내에 밀착될 수 있도록 한다.
상기 내부 접속관(230)은 링 형태로 구성되되 외경은 하부 접속관(210)과 동일하게 형성되지만 내경은 하부 접속관(210)보다 작게 형성된다. 이러한 내부 접속관(230)은 위쪽에서 아래쪽으로 다이아프램(220)을 가압한다. 따라서 다이아프램(220)의 가장자리는 하부 접속관(210)과 내부 접속관(230)에 의해 구속된다.
상기 부도체링(240)은 링 형태로 구성되되 외경은 내부 접속관(230)보다 작게 형성되지만 내경은 내부 접속관(230)과 동일하게 형성된다.
상기 음극단자링(250)은 도전성 있는 금속재질로 제작되되 부도체링(240)과 동일한 사이즈로 제작하여 부도체링(240)의 상면에 겹쳐지게 설치되고, 제어부()와 전기적으로 연결되며 (-)극성을 띠도록 설치된다.
상기 도전테이블(260)은 일측 끝단이 다이아프램(220)의 중앙에 고정되고, 타측 끝단이 (+)극성을 띠는 양극단자(263)로 구성된다. 따라서 다이아프램(220)이 폴 피스(130) 사이의 공간쪽을 향해 처질 때 도전테이블(260)은 함께 하강하여 양극단자(263)가 음극단자링(250)과 접촉된다. 이렇게 양극단자(263)와 음극단자링(250)이 접촉할 때 이 접촉신호가 제어부(300)로 전송된다.
좀 더 자세히 설명하면, 도전테이블(260)은 중간봉(261)과, 상기 중간봉(261)의 하단에 일체로 구비되는 볼트부(262)와, 상기 중간봉(261)의 상단에 일체로 구비되는 양극단자(263)로 구성된다.
상기 중간봉(261)은 저면이 다이아프램(220)의 중앙 상면에 접촉되고, 상기 볼트부(262)는 다이아프램(220)의 일측 끝단 즉 중간봉(261)의 하단에 형성되어 다이아프램(220)의 중앙부분을 관통한다. 이렇게 다이아프램(220)을 관통한 볼트부(262)는 다이아프램(220)의 아래쪽에서 너트(264)와 나선결합한다.
상기 양극단자(263)는 중간봉(261)의 상면에서 사방으로 확장된 원형판 형태로 형성되는 것으로서 제어부()와 전기적으로 연결되며 (+)극성을 띤다. 따라서 양극단자(263)가 음극단자링(250)이 접촉하면 전기 신호가 발생되고 이 전기신호는 제어부(300)로 전송된다.
상기 덮개(270)는 하부 접속관(210)에 결합되어 내부접속관(230), 부도체링(240), 음극단자링(250) 및 도전테이블(260)을 내부에 수용한다. 부연하면, 덮개(270)의 내주면 하단과 하부 접속관(210)의 외주면은 나선결합되어 강하게 결속된다.
이러한 덮개(270)는 하측부분 내경이 상측부분의 내경보다 크게 형성되어 이 하측부분과 상측부분의 내경 차이로 인하여 내주면에 단턱(271)이 형성된다.
상기 단턱(271)은 덮개(270)와 하부 접속관(210)을 나선결합했을 때 내부 접속관(230)의 가장자리를 다이아프램(220)의 상면쪽으로 가압한다. 따라서, 하부 접속관(210), 다이아프램(220), 내부 접속관(230) 및 덮개(270) 간의 결속력은 더 강해진다.
상기 제어부(300)는 압력편차 감지센서(200)로부터 감지된 압력변화 상태를 전송받는다. 이러한 제어부(300)는 압력편차 감지센서(200)가 감지한 압력변화가 일정 수준 이상일 때 외부로 알람을 보낸다.
자성유체 진공씰(100)은 진공분위기에서의 작업이 필요한 설비에 하나만 설치되는 것이 아니고 적게는 수개에서 많게는 수십/수백개까지 설치될 수 있는데, 이러한 다수의 자성유체 진공씰(100)에는 각각 압력편차 감지센서(200)가 설치된다. 그리고, 제어부(300)는 각각의 압력편차 감지센서(200)와 전기적으로 연결되어 있어서 어느 압력편차 감지센서(200)에서 신호가 오는지를 파악할 수 있다.
따라서, 설비 시스템에서 특정 압력편차 감지센서(200)가 측정한 대기측과 진공측의 압력편차가 일정수준을 넘으면 그때 발생된 신호가 제어부(300)로 전송되고, 제어부(300)는 어느 압력편차 감지센서(200)에서 신호가 전송되었는지를 파악하여 부저나 점멸등 및 문자 전달과 같은 다양한 방법으로 사람들에게 알려줄 수 있도록 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템에 대해 도 5와 도 6을 참조하여 간단히 설명하면 다음과 같다.
폴 피스(130) 사이의 공간(R)에 연통되도록 압력편차 감지센서(200)가 설치된 초기 안정 상태에서는, 영구자석(140)의 자기력에 의해 자성유체(150)가 회전축(110)의 트렌치(111) 끝부분과 폴 피스(130) 사이에서 링 형태를 유지함으로써 기밀 성능을 유지하여 대기측과 진공측 사이의 압력 편차가 발생되지 않도록 한다.
이 상태를 유지하다가 점차 온도, 하중 등 가혹 환경에서 부하를 받게 되면 자성유체(150)가 손상을 받아 누설된다.
자성유체(150)가 누설되면 기밀 유지 성능이 저하되어 대기압 상태이던 압력편차 감지센서(200)가 설치된 폴 피스(130) 사이의 공간(R)이 점차 진공상태로 변화하게 되면서 압력편차가 발생된다.
이렇게 폴 피스(130) 사이의 공간(R)이 점차 진공상태로 변화되면 다이아프램(220)이 그 공간쪽으로 처지게 되고, 압력편차가 더 심해지면 다이아프램(220)의 처짐도 더 심해져서 도전테이블(260)의 양극단자(263)는 다이아프램(220)을 따라 이동하다가 음극단자링(250)에 접촉된다.
양극단자(263)가 음극단자링(250)에 접촉되면 전기신호가 발생되고, 이 전기신호가 제어부(300)로 전송되며 제어부(300)는 알람을 방출한다. 따라서 작업자들은 다수의 압력편차 감지센서(200) 중에서 어떤 압력편차 감지센서(200)가 설치된 부분에서 자성유체(150) 누설이 발생되었는지를 신속하게 파악할 수 있고, 이에 따라 후속조치를 취할 수 있다.
100: 자성유체 진공씰 110: 회전축
111: 트렌치 120: 하우징
130: 폴 피스 140: 영구자석
150: 자성유체 200: 압력편차 감지센서
210: 하부 접속관 210a: 요홈
220: 다이아프램 221: 절곡부
230: 내부 접속관 240: 부도체링
250: 음극단자링 260: 도전테이블
261: 중간봉 262: 볼트부
263: 양극단자 264: 너트
270: 덮개 271: 던턱
300: 제어부

Claims (7)

  1. 대기측에서 진공측으로 동력을 전달하기 위한 회전축(110)을 수용하는 하우징(120)과, 상기 하우징(120)의 내부공간에서 상기 회전축(110)을 둘러싸는 한 쌍의 폴 피스(Pole Piece,130)와, 상기 폴 피스(130) 사이에서 상기 회전축(110)을 둘러싸는 영구자석(140)과, 상기 영구자석(140)의 자기력에 의해 상기 회전축(110)과 폴 피스(130)들 사이에서 구속되는 자성유체(150)를 포함하는 자성유체 진공씰(100)과; 상기 폴 피스(130) 사이의 공간과 연통되도록 상기 하우징(120)에 설치되어 대기측과 진공측의 압력변화를 감지하는 압력편차 감지센서(200)와; 상기 압력편차 감지센서(200)로부터 감지된 압력변화 상태를 전송받아 압력편차 감지센서(200)가 감지한 압력변화가 일정 수준 이상일 때 외부로 알람을 보내는 제어부(300);를 포함하여 구성되며,
    상기 압력편차 감지센서(200)는 상기 자성유체 진공씰(100)의 하우징(120)에 설치되되 상기 폴 피스(130) 사이의 공간과 연통되는 링 형태의 하부 접속관(210)과; 상기 하부 접속관(210)의 상단에 설치되고, 상기 폴 피스(130) 사이의 압력이 떨어져 점차 진공상태로 변화될 때 폴 피스(130) 사이의 공간 쪽으로 하강하여 처지는 금속재질의 다이아프램(220)과; 상기 다이아프램(220)의 상면 가장자리를 따라 설치되는 링 형태의 내부 접속관(230)과; 상기 내부 접속관(230)의 상면을 따라 설치되는 부도체링(240)과; 상기 부도체링(240)의 상면에 설치되는 음극단자링(250)과; 일측 끝단이 상기 다이아프램(220)의 중앙에 고정되고 타측 끝단이 양극단자(263)로 구성되어, 상기 다이아프램(220)이 폴 피스(130) 사이의 공간쪽을 향해 처질 때 다이아프램(220)을 따라 함께 하강하여 양극단자(263)가 상기 음극단자링(250)에 접촉되며, 상기 양극단자(263)와 음극단자링(250)의 접촉시 이 접촉신호를 상기 제어부(300)로 전송하는 도전테이블(260)과; 상기 하부 접속관(210)에 결합되어 상기 내부 접속관(230), 부도체링(240), 음극단자링(250) 및 도전테이블(260)을 내부에 수용하는 덮개(270);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 다이아프램(220)의 일측 끝단은 상기 다이아프램(220)의 중앙부분을 관통한 후 다이아프램(220)의 아래쪽에서 너트(264)와 나선결합되는 것을 특징으로 하는 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부 접속관(210)의 외주면 상측에는 상기 다이아프램(220)의 두께와 동일한 깊이의 요홈(210a)이 형성되고, 상기 다이아프램(220)은 가장자리가 하측으로 절곡되어 형성된 절곡부(221)가 형성되어,
    상기 절곡부(221)가 요홈(210a) 내에 삽입 밀착되는 것을 특징을 하는 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 덮개(270)의 내주면 하단과 상기 하부 접속관(210)의 외주면은 나선결합되는 것을 특징으로 하는 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 덮개(270)는 하측부분과 상측부분의 내경 차이로 인하여 내주면에 단턱(271)이 형성되고,
    상기 단턱(271)은 덮개(270)와 하부 접속관(210)을 나선결합했을 때 상기 내부 접속관(230)의 가장자리를 상기 다이아프램(220)의 상면쪽으로 가압하는 것을 특징으로 하는 자성유체 진공씰의 실시간 압력편차 감지시스템.
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