KR102594832B1 - 양면 동시 측정 장치 - Google Patents

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KR102594832B1
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Abstract

높이 차이를 갖는 투광성 기재의 제1 면과 제2 면의 이미지를 동시에 획득하는 양면 동시 측정 장치가 개시되며, 상기 양면 동시 측정 장치는 상기 제1 면 및 상기 제2 면에 도달하도록 상기 투광성 기재에 광을 조사하는 조명부; 상기 제1 면에서 나온 제1 패스(path)의 광과 상기 제2 면에서 나온 제2 패스(path)의 광을 받아 처리하는 카메라; 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광이 통과하는 동안, 상기 제1 패스의 워킹 디스턴스(working distance)와 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스가 같아지도록, 상기 제1 패스와 상기 제2 패스를 재정의하는 투패스 레귤레이터를 포함하며, 상기 카메라는 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광을 동시에 받아 상기 제1 면의 이미지와 제2 면의 이미지를 동시에 획득한다.

Description

양면 동시 측정 장치{simultaneous measurement apparatus of two opposite sides}
본 발명은 투광성 기재의 평면 형상을 측정하는 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는, 높이 차이를 갖는 투광성 기재의 서로 반대되는 면인 제1 면과 제2 면의 이미지를 동시에 획득하여, 양면의 형상을 동시에 측정할 수 있는, 양면 동시 측정 장치에 관한 것이다.
웨이퍼, 글라스, 투광성 반도체 등과 같이 평한 형태를 갖는 다양한 투광성 기재가 다양한 분야에서 다양한 용도로 이용되고 있다.
평판형 투광성 기재의 검사 또는 정렬 등을 위해, 투광성 기재의 양면(특히, 양면의 패턴 또는 형상)을 측정하는 기술이 요구되고 있다. 투광성 기재의 양면을 측정하기 위해, 통상은 투광성 기재의 일면을 측정하고, 투광성 기재를 반전시켜 투광성 기재의 반대면을 측정하다.
다른 대안으로 도 1에 도시된 것과 같은 측정 장치가 투광성 기재의 양면을 차례로 측정하는데 이용된다.
도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 종래의 측정 장치는, 조명부(2)와, 조명부(2)에서 조사된 광을 투광성 기재(10)의 윗면(11)을 향해 반사하는 빔 분할기(3)와, 빔 분할기(3)에서 반사되어 투광성 기재(10)의 윗면(11)에 상을 형성한 후 빔 분할기(3)와 수광 렌즈(4)를 차례로 거친 광을 수광하여 투광성 기재(10)의 윗면(11) 이미지를 획득하는 카메라(5)를 포함한다.
종래 측정 장치를 이용하여 투광성 기재(10)의 아랫면(12)을 측정하기 위해서는, 조명부(2), 빔 분할기(3), 수광 렌즈(4) 및 카메라(5)를 포함하는 광학계(M)를, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이 아래로 하강시켜, 조명부(2)에서 조사된 후 빔 분할기(3)를 거친 광이 투광성 기재(10)의 아랫면(12)에 상을 맺게 하여야 한다. 그리고, 아랫면(12)에 상을 맺은 광은 빔 분할기(3)와 수광 렌즈(4)를 차례로 거쳐 카메라(5)로 수광되며, 이에 의해, 제2 면(12)의 형상에 대한 이미지를 획득하여 제2 면(12)을 측정할 수 있다.
그러나, 종래의 기술은 투광성 기재의 윗면 측정 후 아랫면을 측정하거나 또는 아랫면을 측정 후 윗면을 측정해야 하므로, 측정 작업이 번거롭고 측정 시간이 길다는 문제점이 있다. 또한, 광학계의 이동 및 그로 인한 진동 등으로 인해 측정 정확도가 떨어지는 한계가 있다. 예컨대, 윗면을 측정하고, 다음 아랫면을 측정하기 위해 광학계를 이동시키는 경우, 그 이동으로 인해, 약 0.1도만 틀어져도, 아랫면의 정확한 측정이 어려워질 수 있다.
공개특허 제10-2011-0087069호(공개일자 2011년 8월 2일)
본 발명은, 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 높이 차이를 갖는 투광성 기재의 서로 반대되는 면인 제1 면과 제2 면의 이미지를 동시에 획득하여, 양면의 형상을 동시에 측정할 수 있는, 양면 동시 측정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 따라 높이 차이를 갖는 투광성 기재의 제1 면과 제2 면의 이미지를 동시에 획득하는 양면 동시 측정 장치가 제공되며, 상기 양면 동시 측정 장치는 상기 제1 면 및 상기 제2 면에 도달하도록 상기 투광성 기재에 광을 조사하는 조명부; 상기 제1 면에서 나온 제1 패스(path)의 광과 상기 제2 면에서 나온 제2 패스(path)의 광을 받아 처리하는 카메라; 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광이 통과하는 동안, 상기 제1 패스의 워킹 디스턴스(working distance)와 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스가 같아지도록, 상기 제1 패스와 상기 제2 패스를 재정의하는 투패스 레귤레이터를 포함하며, 상기 카메라는 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광을 동시에 받아 상기 제1 면의 이미지와 제2 면의 이미지를 동시에 획득한다.
일 실시예에 따라, 상기 투패스 레귤레이터는, 상기 제1 면 또는 상기 제2 면으로부터 광 중 제1 편광의 광을 반사하고 제2 편광의 광을 투과시키는 편광판과, 상기 편광판에서 반사된 광을 다시 상기 편광판을 향해 반사하는 제1 미러와, 상기 편광판을 투과한 광을 다시 상기 편광판을 향해 반사하는 제2 미러와, 상기 편광판과 상기 제1 미러 사이에 배치된 제1 λ/4 파장판과, 상기 편광판과 상기 제2 미러 사이에 배치된 제2 λ/4 파장판을 포함하며, 상기 제1 λ/4 파장판은 상기 편광판에서 상기 제1 미러를 향할 때와 상기 제1 미러에서 상기 편광판으로 향할 때 광을 각각 45도씩 위상 변환시켜, 광을 상기 편광판을 투과하는 제2 편광으로 만들며, 상기 제2 λ/4 파장판은 광이 상기 편광판에서 상기 제2 미러를 향할 때와 상기 제2 미러에서 상기 편광판으로 향할 때 광을 각각 45도씩 위상 변환시켜, 광을 상기 편광판에 반사되는 제1 편광으로 만든다.
일 실시예에 따라, 상기 제1 패스의 워킹 디스턴스는 상기 제1 면으로부터 상기 편광판까지의 거리 A와, 상기 편광판과 상기 제1 미러 사이의 왕복 거리 2a와, 상기 편광판으로터 상기 카메라 측 수광렌즈까지의 거리 C의 합으로 정해지고, 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스는 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이의 높이 차 h와, 상기 제2면으로부터 상기 편광판까지의 거리 A와, 상기 편광판과 상기 제2 미러 사이의 왕복 거리 2b와, 상기 편광판으로부터 상기 카메라 측 수관렌즈까지의 구간 C의 합으로 정해지며, 상기 제1 패스와 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스가 실질적으로 같아지도록, 상기 h, 2a와 및 2b는 h ≒ ｜2a - 2b｜의 관계식으로 규정된다.
일 실시예에 따라, 상기 투패스 레귤레이터는 PBS(polarization beam splitter) 큐브를 포함하되, 상기 편광판은 상기 PBS 큐브의 서로 대각선 방향에 있는 모서리를 연결하도록 형성된 것이고, 상기 제1 미러와 상기 제2 미러는 상기 PBS 큐브의 서로 직교하는 두 면과 마주하게 형성되며, 상기 제1 미러와 상기 PBS 큐브 사이에는 제1 색필터가 개재되고, 상기 제2 미러와 상기 PBS 큐브 사이에는 제2 색필터가 개재된다.
일 실시예에 따라, 높이 차이가 다른 투광성 기재로의 교체에 대처하도록, 상기 제1 미러와 상기 제2 미러 중 적어도 하나는 상기 PBS 큐브의 해당면으로부터 거리가 조절될 수 있게 설치된다.
본 발명에 따른 양면 동시 측정 장치는 높이 차이를 갖는 투광성 기재의 서로 반대되는 면인 제1 면과 제2 면의 이미지를 동시에 획득하여, 양면의 형상을 동시에 측정할 수 있다는 이점이 있다.
도 1은 종래기술을 설명하기 위한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 양면 동시 측정 장치를 전반적으로 그리고 개념적으로 설명하기 위한 정면도이고,
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 양면 동시 측정 장치를 도시한 측면도이고,
도 4는 도 2 내지 도 3에 도시된 투패스 레귤레이터의 구성 및 작용을 설명하기 위한 도면이고,
도 5는 투광성 기재의 제1 면과 제2 면에 상을 형성한 후 카메라로 들어오는 제1 패스(path)의 광과 제2 패스(path)의 광의 워킹 디스턴스(working distance)를 구간별로 나누어 표시한 도면이고,
도 6의 (a) 및 (b)는 투패스 레귤레이터의 다른 예들을 나타낸 도면들이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 양면 동시 측정 장치를 나타낸 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의를 위해 과장되거나 단순화되어 나타날 수 있다.
또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들은 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 본 발명의 기술적 사상과 관계없는 부분의 설명은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 양면 동시 측정 장치는, 높이 차이를 갖는 투광성 기재(10)의 제1 면(11)과 제2 면(12)의 이미지를 동시에 획득하여, 그 제1 면(11)과 제2 면(12)의 표면 형상을 동시에 측정하기 위한 장치이다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 양면 동시 측정 장치는 조명부(100)와, 투패스 레귤레이터(200) 및 카메라(300) 등을 포함한다.
여기에서. 상기 투광성 기재(10)는 평판 형상을 가져, 서로 평행하고 일정 높이 차이를 갖는 제1 면(11)과 제 2면(12)을 포함하는 것일 수 있으며, 예컨대, 상기 투광성 기재(10)는 투광성 웨이퍼(wafer), 투광성 글라스(glass), 투광성 반도체 또는 투광성 플라스틱판 등일 수 있다. 상기 양면 동시 측정 장치는 투광성 기재(10)의 양면 검사, 투광성 기재(10)의 정렬 등을 위해 적용될 수 있다.
상기 조명부(100)는 투광성 기재(10)의 제1 면(11)에 상을 맺고, 다음 상기 제1 면(11)을 지나 제2 면(12)까지 도달하여 상을 맺을 수 있는 광을 조사하도록 구성된다. 상기 조명부(100)는 예컨대 엘이디 또는 엘디 등을 포함할 수 있다.
빔 분할기(110)가 제공될 수 있는데, 상기 빔 분할기(110)는 상기 조명부(100)에서 조사된 광 일부가 투광성 기재(10)의 제1 면(11) 및 제2 면(12)에 유도되도록 광 일부를 아래로 반사시킬 수 있다. 또한, 상기 빔 분할기(110)는 상기 투광성 기재(10)의 제1 면(11) 및 제2 면(12)에서 나온 광 일부를 상기 투패스 레귤레이터(200)를 향해 투과시킬 수 있다. 또한, 상기 투패스 레귤레이터(200)를 통과한 제1 패스의 광 및 제2 패스의 광을 카메라(300) 측으로 반사하는 광 반사부(120)가 제공된다.
상기 조명부(100)의 위치를 다른 위치, 예컨대, 투광성 기재(100)를 기준으로 상기 투패스 레귤레이터(200)의 반대측 위치에 배치한다면, 상기 빔 분할기(110)가 생략될 수 있을 것이다.
상기 카메라(300)는 투광성 기재(10)의 제1 면(11)에서 나온 제1 패스(path)의 광과 상기 제2 면(12)에서 나온 제2 패스(path)의 광을 받아 처리하도록 구성된다. 이하에서 설명되는 바와 같이, 제1 패스의 광과 제2 패스의 광이 제1 면(11)과 제2 면(12)의 높이 차이에도 불구하고, 상기 투패스 레귤레이터(200)에 의해 실질적으로 동일한 워킹 디스턴스(working distances)를 갖게 되므로, 상기 카메라(300)는 실질적으로 동일한 워킹 디스턴스의 제1 패스의 광과 제2 패스의 광을 거의 동시에 받아 제1 면(11)의 형상 또는 패턴 이미지와 상기 제2 면(12)의 형상 또는 패턴의 이미지를 동시에 획득하는 것이 가능하다.
상기 투패스 레귤레이터(200)는, 상기 투광성 기재(10)의 제1 면(11)에서 나온 제1 패스의 광과 상기 투광성 기재(10)의 제2 면(12)에서 나온 제2 패스의 광이 통과하는 동안, 제1 패스의 워킹 디스턴스(working distance)와 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스가 같아지도록, 상기 제1 패스와 상기 제2 패스를 재정의 하도록 구성된다.
또한, 상기 카메라(300)는, 워킹 디스턴스와 실질적으로 같아진, 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광을 동시에 받을 수 있으므로, 상기 제1 면의 이미지와 제2 면의 이미지를 동시에 획득할 수 있다.
본 실시예에서, 상기 투패스 레귤레이터(200)는 상기 투광성 기재(10)의 제1 면(11) 또는 제2 면(12)으로부터의 광 중 제1 편광의 광을 반사하고 제2 편광의 광을 투과시키는 편광판(210)과, 상기 편광판(210)에서 반사된 광을 다시 상기 편광판(210)을 향해 반사하는 제1 미러(230)와, 상기 편광판(210)을 투과한 광을 다시 상기 편광판(210)을 향해 반사하는 제2 미러(250)와, 상기 편광판(210)과 상기 제1 미러(230) 사이에 배치된 제1 λ/4 파장판(220)과, 상기 편광판(210)과 상기 제2 미러(250) 사이에 배치된 제2 λ/4 파장판(240)을 포함한다.
상기 제1 λ/4 파장판(220)은 상기 편광판(210)에서 상기 제1 미러(230)를 향할 때와 상기 제1 미러(230)에서 상기 편광판(210)으로 향할 때 광을 각각 45도씩 위상 변환시켜, 광을 상기 편광판(210)을 투과하는 제2 편광으로 만든다. 또한, 상기 제2 λ/4 파장판(240)은 광이 상기 편광판(210)에서 상기 제2 미러(250)를 향할 때와 상기 제2 미러(250)에서 상기 편광판(210)으로 향할 때 광을 각각 45도씩 위상 변환시켜, 광을 상기 편광판(210)에 반사되는 제1 편광으로 만든다.
상기 투패스 레귤레이터(200)는 상기 투광성 기재(10)의 제1 면(11)으로부터 상기 카메라(300)의 수광 렌즈(320)까지 도달하는 제1 패스의 광과 상기 투광성 기재(10)의 제2 면(12)으로부터 상기 카메라(300)의 수광 렌즈(320)까지 도달하는 제1 패스의 광을 아래와 같이 형성할 수 있다.
먼저, 상기 제1 패스의 워킹 디스턴스는 상기 제1 면(11)으로부터 상기 편광판(210)까지의 거리 A와, 상기 편광판(210)과 상기 제1 미러(230) 사이의 왕복 거리 2a와, 상기 편광판(210)으로부터 상기 카메라(30) 측 수광렌즈(320)까지의 거리 C의 합으로 정해진다. 본 실시예에서, 거리 C는 상기 편광판(210)에서 상기 광 반사부(120)에 이르는 거리 C1과 상기 광 반사부(120)에서 상기 카메라 측 수광렌즈(320)까지의 거리 C2의 합으로 정해질 수 있다.
또한, 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스는 상기 제1 면(11)과 상기 제2 면(12) 사이의 높이 차 h와, 상기 제2 면(12)으로부터 상기 편광판(210)까지의 거리 A와, 상기 편광판(210)과 상기 제2 미러(250) 사이의 왕복 거리 2b와, 상기 편광판(210)으로부터 상기 카메라(30) 측 수광렌즈(320)까지의 거리 C의 합으로 정해진다. 거리 C는 언급한 바와 같이 상기 편광판(210)에서 상기 광 반사부(120)에 이르는 거리 C1과 상기 광 반사부(120)에서 상기 카메라 측 수관렌즈(320)까지의 거리 C2의 합으로 정해질 수 있다.
따라서, 제1 패스의 워킹 디스턴스 WD1과 제2 패스의 워킹 디스턴스 WD2를 관계식으로 표현하면 다음과 같다.
WD1 = A + 2a + C(또는, C1+C2)
WD2 = A + 2b + C(또는, C1+ C2) + h
또한, 상기 h, 2a와 및 2b는 h ≒ ｜2a - 2b｜의 관계식으로 규정되도록, 상기 편광판(210)과 상기 제1 미러(230) 사이의 거리 a와 상기 편광판(210)과 상기 제2 미러(250) 사이의 거리 b가 정해진다. 따라서, 제1 패스의 워킹 디스턴스 WD1과 제2 패스의 워킹 디스턴스 WD2는 실질적으로 같게 되며, 이에 따라, 상기 카메라(30)는 상기 투광성 기재(10)의 제1 면(11)과 제2 면(12)의 이미지를 동시에 획득할 수 있다.
이때, 제1 이미지와 제2 이미지가 겹쳐져 보이므로. 제1 이미지와 제2 이미지를 구분하여 보기 위한 구성이 필요할 수 있다. 이를 위해, 상기 투패스 레귤레이터(200)는, 도 4에 잘 도시된 바와 같이, 상기 제1 패스의 광 중 제1 파장 범위의 광만을 통과시키는 제1 색 필터(270)와 제2 패스의 광 중 제2 파장 범위의 광만을 통과시키는 제2 색 필터(280)를 더 포함한다. 따라서, 제1 패스의 광에 구현되는 제1 면의 이미지와 제2 패스의 광에 의해 구현되는 이미지는 서로 다른 컬러로 보여질 수 있으며, 쉽게 구분할 수 있다. 컬러로 구분할 필요가 없는 적용에 있어서는, 상기 제1 색 필터(270)와 상기 제2 색 필터(280)가 생략될 수 있다.
한편, 상기 투패스 레귤레이터(200)는 PBS(polarization beam splitter) 큐브(201)를 이용하여 제작된 것일 수 있다. 상기 PBS 큐브(201)는 빗면에 편광물질층이 형성된 두개의 직각삼각기둥을 편광물질층이 접하도록 결합하여 제작될 수 있다. 이와 같이 제작된 PBS 큐브(201)는 상기 편광판(210)이 상기 PBS 큐브(201)의 서로 대각선 방향에 있는 모서리를 연결하는 경사면 형태로 형성된다.
또한 상기 제1 미러(230)와 상기 제2 미러(250)는 상기 PBS 큐브(201)의 서로 직교하는 두 면과 마주하게 형성된다. 상기 제1 미러(230)와 상기 PBS 큐브(201)의 일측면 사이에는 제1 색필터(270)와 상기 제1 λ/4 파장판(220)이 개재되고, 상기 제2 미러(250)와 상기 PBS 큐브(201)의 타측면 사이에는 제2 색필터(280)와 상기 제2 λ/4 파장판(240)이 개재될 수 있다.
도 6의 (a) 및 (b)는 투패스 레귤레이터 여러 다른 예들을 보여준다.
도 6의 (a)에 도시된 투패스 레귤레이터(200)는, 높이 차이가 다른 투광성 기재로의 교체에 대처하도록, 상기 제1 미러(230)가 상기 PBS 큐브(201)의 해당면으로부터 거리가 조절될 수 있게 설치되며, 도 6의 (b)에 도시된 투패스 레귤레이터(200)는, 높이 차이가 다른 투광성 기재로의 교체에 대처하도록, 상기 제2 미러(250)가 상기 PBS 큐브(201)의 해당면으로부터 거리가 조절될 수 있게 설치된다. 상기 제1 미러(230)와 상기 제2 미러(250)을 이동시키는 수단으로 액추에이터(291 또는 292)가 이용될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 양면 동시 측정 장치를 나타낸 측면도이다.
도 7을 참조하면, 본 실시예의 양면 동시 측정 장치는, 투광성 기재(10)의 아랫면인 제2 면(12)을 지나 윗면인 제1 면(11)에 도달하도록 상기 투광성 기재(10)의 하측에서 광을 조사하는 조명부(100)와, 상기 제1 면(11)에서 나온 제1 패스(path)의 광과 상기 제2 면(12)에서 나온 제2 패스(path)의 광을 받아 처리하는 카메라(300)와, 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광이 통과하는 동안, 상기 제1 패스의 워킹디스턴스(working distance)와 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스가 같아지도록, 상기 제1 패스와 상기 제2 패스를 재정의하는 투패스 레귤레이터(200)를 포함한다. 상기 카메라(300)는 수광렌즈(320)를 통해 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광을 동시에 받아 상기 제1 면(11)의 이미지와 제2 면(12)의 이미지를 동시에 획득한다. 조명부(100)의 위치 및 그와 직접 관련된 구성을 제외한 나머지 구성은 앞선 실시예의 구성과 실질적으로 같으며 따라서 중복을 피하기 위해 구체적인 설명은 생략한다.
10: 투광성 기재 11: 제1 면
12: 제2 면 100: 조명부
200: 투패스 레귤레이터 300: 카메라
210: 편광판 230: 제1 미러
250: 제2 미러 220: 제1 λ/4 파장판
240: 제2 λ/4 파장판

Claims (5)

  1. 높이 차이를 갖는 투광성 기재의 제1 면과 제2 면의 이미지를 동시에 획득하는 양면 동시 측정 장치로서,
    상기 제1 면 및 상기 제2 면에 도달하도록 상기 투광성 기재에 광을 조사하는 조명부;
    상기 제1 면에서 나온 제1 패스(path)의 광과 상기 제2 면에서 나온 제2 패스(path)의 광을 받아 처리하는 카메라;
    상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광이 통과하는 동안, 상기 제1 패스의 워킹 디스턴스(working distance)와 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스가 같아지도록, 상기 제1 패스와 상기 제2 패스를 재정의하는 투패스 레귤레이터를 포함하며,
    상기 카메라는 상기 제1 패스의 광과 상기 제2 패스의 광을 동시에 받아 상기 제1 면의 이미지와 제2 면의 이미지를 동시에 획득하며,
    상기 투패스 레귤레이터는,
    상기 제1 면 또는 상기 제2 면으로부터 광 중 제1 편광의 광을 반사하고 제2 편광의 광을 투과시키는 편광판과,
    상기 편광판에서 반사된 광을 다시 상기 편광판을 향해 반사하는 제1 미러와,
    상기 편광판을 투과한 광을 다시 상기 편광판을 향해 반사하는 제2 미러와,
    상기 편광판과 상기 제1 미러 사이에 배치된 제1 λ/4 파장판과,
    상기 편광판과 상기 제2 미러 사이에 배치된 제2 λ/4 파장판을 포함하며,
    상기 제1 λ/4 파장판은 상기 편광판에서 상기 제1 미러를 향할 때와 상기 제1 미러에서 상기 편광판으로 향할 때 광을 각각 45도씩 위상 변환시켜, 광을 상기 편광판을 투과하는 제2 편광으로 만들며,
    상기 제2 λ/4 파장판은 광이 상기 편광판에서 상기 제2 미러를 향할 때와 상기 제2 미러에서 상기 편광판으로 향할 때 광을 각각 45도씩 위상 변환시켜, 광을 상기 편광판에 반사되는 제1 편광으로 만드는 것을 특징으로 하는 양면 동시 측정 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 패스의 워킹 디스턴스는 상기 제1 면으로부터 상기 편광판까지의 거리 A와, 상기 편광판과 상기 제1 미러 사이의 왕복 거리 2a와, 상기 편광판으로부터 상기 카메라 측 수광렌즈까지의 거리 C의 합으로 정해지고,
    상기 제2 패스의 워킹 디스턴스는 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이의 높이 차 h와, 상기 제2면으로부터 상기 편광판까지의 거리 A와, 상기 편광판과 상기 제2 미러 사이의 왕복 거리 2b와, 상기 편광판으로부터 상기 카메라 측 수관렌즈까지의 구간 C의 합으로 정해지며,
    상기 제1 패스와 상기 제2 패스의 워킹 디스턴스가 실질적으로 같아지도록, 상기 h, 2a와 및 2b는 h ≒ ｜2a - 2b｜의 관계식으로 규정되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 측정 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 투패스 레귤레이터는 PBS(polarization beam splitter) 큐브를 포함하되,
    상기 편광판은 상기 PBS 큐브의 서로 대각선 방향에 있는 모서리를 연결하도록 형성된 것이고,
    상기 제1 미러와 상기 제2 미러는 상기 PBS 큐브의 서로 직교하는 두 면과 마주하게 형성되며,
    상기 제1 미러와 상기 PBS 큐브 사이에는 제1 색필터가 개재되고,
    상기 제2 미러와 상기 PBS 큐브 사이에는 제2 색필터가 개재된 것을 특징으로 하는 양면 동시 측정 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    높이 차이가 다른 투광성 기재로의 교체에 대처하도록,
    상기 제1 미러와 상기 제2 미러 중 적어도 하나는 상기 PBS 큐브의 해당면으로부터 거리가 조절될 수 있게 설치되는 것을 특징으로 하는 양면 동시 측정 장치.
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