KR102592349B1

KR102592349B1 - Apparatus, method and program for outputting dual pulse

Info

Publication number: KR102592349B1
Application number: KR1020230029484A
Authority: KR
Inventors: 이태식; 박형근; 김동성
Original assignee: 이엔테크놀로지 주식회사
Priority date: 2023-03-06
Filing date: 2023-03-06
Publication date: 2023-10-20

Abstract

극성별로 아크를 검지하여 타겟 소스 이용률을 향상시키고 출력 비율 조정을 통해 효율적으로 운용이 가능한 듀얼 펄스 출력 장치, 방법 및 프로그램에 관한 것으로, 포지티브 극성의 타겟으로 제1 출력 신호를 인가하고, 네거티브 극성의 타겟으로 제2 출력 신호를 인가하는 출력 신호 생성부, 상기 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지하는 아크 검지부, 및 상기 아크 검지부의 검지 신호를 기반으로 상기 출력 신호 생성부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 아크 검지부의 검지 신호를 기반으로 아크 발생 극성을 판별하고, 상기 판별된 아크 발생 극성으로 인가되는 출력 신호를 차단하도록 상기 출력 신호 생성부를 제어하며, 상기 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스(loss)를 산출하고, 상기 산출한 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정하도록 상기 출력 신호 생성부를 제어하는 것을 특징으로 한다.It relates to a dual pulse output device, method, and program that detects arcs by polarity to improve target source utilization and can be operated efficiently by adjusting the output ratio. It applies a first output signal to a target of positive polarity and applies a first output signal to a target of negative polarity. An output signal generator for applying a second output signal to a target, an arc detection unit for detecting arc occurrence for each polarity based on the first output signal and the second output signal, and the output signal based on the detection signal of the arc detection unit. It includes a control unit that controls the generator, wherein the control unit determines the arc generation polarity based on the detection signal of the arc detection unit, and controls the output signal generation unit to block the output signal applied with the determined arc generation polarity, , Calculating an output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity, and controlling the output signal generator to adjust the output ratio for each polarity based on the calculated output loss.

Description

Dual pulse output device, method and program {APPARATUS, METHOD AND PROGRAM FOR OUTPUTTING DUAL PULSE}

본 개시는, 극성별로 아크를 검지하여 타겟 소스 이용률을 향상시키고 출력 비율 조정을 통해 효율적으로 운용이 가능한 듀얼 펄스 출력 장치, 방법 및 프로그램에 관한 것이다.The present disclosure relates to a dual pulse output device, method, and program that can detect arcs by polarity, improve target source utilization, and operate efficiently by adjusting the output ratio.

일반적으로, 듀얼 펄스 출력 장치는, 2개의 출력단을 가지는데, 하나의 출력단에서 출력한 전압을 포지티브(positive) 극성의 타겟으로 인가하고, 다른 하나의 출력단에서 출력한 전압을 네거티브(negative) 극성의 타겟으로 인가할 수 있다. Generally, a dual pulse output device has two output terminals. The voltage output from one output terminal is applied to a target of positive polarity, and the voltage output from the other output terminal is applied to the target of negative polarity. It can be approved as a target.

즉, 듀얼 펄스 출력 장치는, 2개의 출력단에서 5;5의 동일한 비율로 전압을 포지티브 극성의 타겟과 네거티브 극성의 타겟으로 각각 인가함으로써, 플라즈마를 발생시켜 피 코팅물에 목표 박막을 형성시킬 수 있다.In other words, the dual pulse output device generates plasma by applying voltage to the positive polarity target and the negative polarity target at the same ratio of 5:5 from the two output terminals, thereby forming a target thin film on the coated object. .

하지만, 이처럼 2개의 출력단에서 동일한 비율로 전압이 출력되는 경우, 각 타겟에서 아크 및 아크 차단 동작에 의해 플라즈마 공정을 수행할 때 방전에 불안정성이 발생하고, 타겟 간에도 총 방전량이 달라져서 각 타겟 물질의 소모량이 달라지고, 이에 따라 교체 시기가 서로 달라지는 문제들이 발생하였다.However, when voltage is output at the same rate from the two output terminals, instability occurs in discharge when performing a plasma process due to arc and arc blocking operations at each target, and the total discharge amount varies between targets, resulting in the consumption of each target material. This has changed, and as a result, problems have arisen with different replacement times.

일 예로, 챔버 내에서, 포지티브 극성의 타겟에만 아크가 다발적으로 발생하여 휴지기를 가질 경우, 포지티브 극성의 타겟 물질과 네거티브 극성의 타겟 물질간에 라이프타임 비율이 서로 달라지는 문제가 발생할 수 있다.For example, in a chamber, if arcs occur multiple times only in targets of positive polarity and have a rest period, a problem may occur in which the lifetime ratios differ between target materials of positive polarity and target materials of negative polarity.

따라서, 향후, 극성별로 아크를 검지하여 출력 비율 조정을 통해 극성별 타겟 물질의 라이프타임을 동일하게 유지하고 플라즈마 공정의 안정성을 증대시키며 소스 이용률 향상 및 효율적인 운용이 가능한 듀얼 펄스 출력 장치의 개발이 요구되고 있다.Therefore, in the future, there is a need for the development of a dual pulse output device that detects arcs by polarity and maintains the same lifetime of target materials for each polarity by adjusting the output ratio, increases the stability of the plasma process, improves source utilization, and enables efficient operation. It is becoming.

대한민국 등록특허 10-2410532호 (2022. 06. 14)Republic of Korea Patent No. 10-2410532 (2022. 06. 14)

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 개시의 일 목적은, 아크 발생 극성을 판별하여 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스를 산출하고, 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정함으로써, 극성별 타겟 물질의 라이프타임을 동일하게 유지하고 플라즈마 공정의 안정성을 증대시키며 소스 이용률 향상 및 효율적인 운용이 가능한 듀얼 펄스 출력 장치, 방법 및 프로그램을 제공하는 것이다.One purpose of the present disclosure to solve the problems described above is to determine the arc generation polarity, calculate the output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity, and adjust the output ratio for each polarity based on the output loss, thereby determining the polarity. It provides a dual pulse output device, method, and program that maintains the same lifetime of target materials, increases the stability of the plasma process, improves source utilization, and enables efficient operation.

본 개시가 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present disclosure are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 개시의 일 실시예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치는, 포지티브 극성의 타겟으로 제1 출력 신호를 인가하고, 네거티브 극성의 타겟으로 제2 출력 신호를 인가하는 출력 신호 생성부, 상기 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지하는 아크 검지부, 그리고 상기 아크 검지부의 검지 신호를 기반으로 상기 출력 신호 생성부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 아크 검지부의 검지 신호를 기반으로 아크 발생 극성을 판별하고, 상기 판별된 아크 발생 극성으로 인가되는 출력 신호를 차단하도록 상기 출력 신호 생성부를 제어하며, 상기 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스(loss)를 산출하고, 상기 산출한 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정하도록 상기 출력 신호 생성부를 제어하는 것을 특징으로 한다.A dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure for solving the above-described problem includes an output signal generator that applies a first output signal to a target of positive polarity and a second output signal to a target of negative polarity. , an arc detection unit that detects arc generation for each polarity based on the first output signal and the second output signal, and a control unit that controls the output signal generation unit based on the detection signal of the arc detection unit, the control unit, Determines the arc generation polarity based on the detection signal of the arc detection unit, controls the output signal generator to block the output signal applied to the determined arc generation polarity, and output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity ( loss) and controlling the output signal generator to adjust the output ratio for each polarity based on the calculated output loss.

실시 예에 있어서, 상기 아크 검지부는, 상기 출력 신호 생성부의 출력단과 부하(load) 사이에 위치하고, 상기 출력 신호 생성부의 출력단으로부터 상기 부하의 포지티브 극성 타겟으로 인가되는 제1 출력 신호를 기반으로 상기 포지티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지하고, 상기 출력 신호 생성부의 출력단으로부터 상기 부하의 네거티브 극성 타겟으로 인가되는 제2 출력 신호를 기반으로 상기 네거티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지하는 것을 특징으로 한다.In an embodiment, the arc detection unit is located between the output terminal of the output signal generator and a load, and the positive polarity target is applied based on the first output signal applied from the output terminal of the output signal generator to the positive polarity target of the load. It is characterized by detecting the occurrence of an arc in the polarity target and detecting the occurrence of an arc in the negative polarity target based on a second output signal applied from the output terminal of the output signal generator to the negative polarity target of the load.

실시 예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 아크 발생 극성을 판별할 때, 상기 아크 검지부로부터 포지티브 극성 검지 신호와 네거티브 극성 검지 신호를 포함하는 검지 신호가 입력되면 상기 포지티브 극성 검지 신호와 상기 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력 중단 여부를 확인하고, 상기 포지티브 극성 검지 신호의 펄스 입력과 상기 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력 중 적어도 어느 하나가 중단되면 상기 펄스 입력이 중단되는 극성 타겟에 아크가 발생하는 것으로 인지하는 것을 특징으로 한다.In an embodiment, when determining the arc occurrence polarity, when a detection signal including a positive polarity detection signal and a negative polarity detection signal is input from the arc detection unit, the control unit detects the positive polarity detection signal and the negative polarity detection signal. Check whether the pulse input is interrupted, and if at least one of the pulse input of the positive polarity detection signal and the pulse input of the negative polarity detection signal is interrupted, recognize that an arc occurs in the polarity target where the pulse input is interrupted. It is characterized by

실시 예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 출력 신호 차단을 제어할 때, 상기 아크 발생 극성이 판별되면 상기 출력 신호 생성부의 출력 스위치 회로를 제어하여 상기 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호를 소정 시간 동안 차단하는 것을 특징으로 한다.In an embodiment, when controlling the blocking of the output signal, if the arc generation polarity is determined, the control unit controls the output switch circuit of the output signal generator to block the output signal corresponding to the arc generation polarity for a predetermined time. It is characterized by:

실시 예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호를 차단하는 동안에, 아크가 발생하지 않는 다른 극성에 출력 신호 입력을 계속 유지하는 것을 특징으로 한다.In an embodiment, the control unit is characterized in that it continues to input an output signal to another polarity in which an arc does not occur while blocking the output signal corresponding to the polarity in which the arc occurs.

실시 예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 출력 로스(loss)를 산출할 때, 상기 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호가 차단되면 출력 신호 차단 횟수를 카운트하여 1을 증가시키고, 상기 출력 차단 시간에 상응하는 휴지기 시간(pause time)을 적용하며, 상기 출력 신호 차단 횟수와 상기 휴지기 시간을 기반으로 출력 로스를 산출하는 것을 특징으로 한다.In an embodiment, when calculating the output loss, the control unit counts the number of times the output signal is blocked when the output signal corresponding to the arc generation polarity is blocked and increases the number by 1, corresponding to the output blocking time. A pause time is applied, and output loss is calculated based on the number of times the output signal is blocked and the pause time.

실시 예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 극성별 출력 비율을 조정할 때, 포지티브 극성에 대한 포지티브 출력 로스와 네거티브 극성에 대한 네거티브 출력 로스가 각각 산출되면 상기 포지티브 출력 로스와 상기 네거티브 출력 로스간의 편차를 산출하고, 상기 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정하는 것을 특징으로 한다.In an embodiment, when adjusting the output ratio for each polarity, the control unit calculates a deviation between the positive output loss and the negative output loss when the positive output loss for the positive polarity and the negative output loss for the negative polarity are calculated respectively. And, the output ratio for each polarity is adjusted based on the calculated deviation.

본 개시의 일 실시예에 따른 듀얼 펄스 출력 방법은, 극성별 타겟으로 출력 신호를 제공하는 듀얼 펄스 출력 장치의 듀얼 펄스 출력 방법으로서, 상기 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지하는 단계, 상기 아크 발생을 검지한 신호를 기반으로 아크 발생 극성을 판별하는 단계, 상기 판별된 아크 발생 극성으로 인가되는 출력 신호를 차단하는 단계, 상기 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스(loss)를 산출하는 단계, 그리고 상기 산출한 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A dual pulse output method according to an embodiment of the present disclosure is a dual pulse output method of a dual pulse output device that provides output signals to targets for each polarity, comprising the steps of detecting arc generation for each polarity based on the output signal, Determining the arc generation polarity based on the signal for detecting arc generation, blocking the output signal applied to the determined arc generation polarity, calculating an output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity. and a step of adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated output loss.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 개시의 다른 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 방법을 제공하는 컴퓨터 프로그램은, 하드웨어인 컴퓨터와 결합되어 상술한 방법 중 어느 하나의 방법을 수행하기 위해 매체에 저장된다.A computer program that provides a dual pulse output method according to another embodiment of the present disclosure to solve the above-described problem is combined with a computer as hardware and stored in a medium to perform one of the above-described methods.

이 외에도, 본 개시를 구현하기 위한 다른 방법, 다른 장치 및 상기 방법을 실행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 기록하는 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체가 더 제공될 수 있다.In addition to this, another method for implementing the present disclosure, another device, and a computer-readable recording medium recording a computer program for executing the method may be further provided.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 듀얼 펄스 출력 장치는, 아크 발생 극성을 판별하여 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스를 산출하고, 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정함으로써, 극성별 타겟 물질의 라이프타임을 동일하게 유지하고 플라즈마 공정의 안정성을 증대시키며 소스 이용률 향상 및 효율적인 운용이 가능하다.According to an embodiment of the present disclosure, the dual pulse output device determines the arc generation polarity, calculates the output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity, and adjusts the output ratio for each polarity based on the output loss. It maintains the same lifetime of the target material, increases the stability of the plasma process, improves source utilization, and enables efficient operation.

또한, 본 개시는, 극성별 아크 발생을 구분하고, 출력 신호 차단 동작을 통해 플라즈마 공정의 효율성을 증대시킬 수 있다.In addition, the present disclosure can increase the efficiency of the plasma process by distinguishing arc generation by polarity and performing an output signal blocking operation.

또한, 본 개시는, 극성별 출력 로스 계산 및 해당 데이터 활용을 통해 플라즈마 박막 특성을 개선할 수 있다.In addition, the present disclosure can improve plasma thin film characteristics through calculating output loss for each polarity and utilizing the corresponding data.

또한, 본 개시는, 출력 비율 조정을 통해 극성별 타겟들간에 밸런스 조정이 가능하다.In addition, the present disclosure enables balance adjustment between targets for each polarity by adjusting the output ratio.

또한, 본 개시는, 서로 다른 전력량을 필요로 하는 극성별 타겟 물질에서도 플라즈마 공정을 개선할 수 있다.Additionally, the present disclosure can improve the plasma process even for target materials of different polarities that require different amounts of power.

본 개시의 효과들은 이상에서 언급된 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present disclosure are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned may be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

도 1은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치를 설명하기 위한 블록 구성도이다.
도 2는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치를 설명하기 위한 회로도이다.
도 3a 내지 도 3c는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 아크 검지부를 설명하기 위한 회로 및 신호 파형을 보여주는 도면이다.
도 4 및 도 5는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 아크 검지 회로와 아크 검지 회로의 출력단별 전압 파형을 보여주는 도면이다.
도 6은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 정상적인 출력 전압 및 전류 파형을 보여주는 도면이다.
도 7 및 도 8은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 아크 발생에 의한 출력 전압 및 전류 파형을 보여주는 도면이다.
도 9는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 출력 스위치 제어에 의한 전력 루프를 설명하기 위한 도면이다.
도 10 및 도 11은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 출력 스위치 제어에 의한 출력 전압 파형을 보여주는 도면이다.
도 12 및 도 13은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a block diagram for explaining a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.
Figure 2 is a circuit diagram for explaining a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.
3A to 3C are diagrams showing circuits and signal waveforms for explaining the arc detection unit of the dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.
4 and 5 are diagrams showing an arc detection circuit of a dual pulse output device and voltage waveforms for each output terminal of the arc detection circuit according to an embodiment of the present disclosure.
Figure 6 is a diagram showing normal output voltage and current waveforms of a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.
7 and 8 are diagrams showing output voltage and current waveforms due to arc generation of a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.
Figure 9 is a diagram for explaining a power loop by output switch control of a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.
10 and 11 are diagrams showing output voltage waveforms by output switch control of a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.
12 and 13 are flowcharts for explaining a dual pulse output method according to an embodiment of the present disclosure.

본 개시의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 개시는 이하에서 개시되는 실시예들에 제한되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 개시의 개시가 완전하도록 하고, 본 개시가 속하는 기술 분야의 통상의 기술자에게 본 개시의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 개시는 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.The advantages and features of the present disclosure and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present disclosure is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various different forms. The present embodiments are merely provided to ensure that the disclosure is complete and to provide a general understanding of the technical field to which the present disclosure pertains. It is provided to fully inform those skilled in the art of the scope of the present disclosure, and the present disclosure is defined only by the scope of the claims.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 개시를 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 구성요소들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 비록 "제1", "제2" 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 개시의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.The terminology used herein is for the purpose of describing embodiments and is not intended to limit the disclosure. As used herein, singular forms also include plural forms, unless specifically stated otherwise in the context. As used in the specification, “comprises” and/or “comprising” does not exclude the presence or addition of one or more other elements in addition to the mentioned elements. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification, and “and/or” includes each and every combination of one or more of the referenced elements. Although “first”, “second”, etc. are used to describe various components, these components are of course not limited by these terms. These terms are merely used to distinguish one component from another. Therefore, it goes without saying that the first component mentioned below may also be the second component within the technical spirit of the present disclosure.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 개시가 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings commonly understood by those skilled in the art to which this disclosure pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the attached drawings.

설명에 앞서 본 명세서에서 사용하는 용어의 의미를 간략히 설명한다. 그렇지만 용어의 설명은 본 명세서의 이해를 돕기 위한 것이므로, 명시적으로 본 개시를 한정하는 사항으로 기재하지 않은 경우에 본 개시의 기술적 사상을 한정하는 의미로 사용하는 것이 아님을 주의해야 한다.Prior to explanation, the meaning of terms used in this specification will be briefly explained. However, since the explanation of terms is intended to aid understanding of the present specification, it should be noted that if it is not explicitly described as limiting the present disclosure, it is not used in the sense of limiting the technical idea of the present disclosure.

도 1은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치를 설명하기 위한 블록 구성도이다.1 is a block diagram for explaining a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 개시의 듀얼 펄스 출력 장치는, 포지티브 극성의 타겟으로 제1 출력 신호를 인가하고 네거티브 극성의 타겟으로 제2 출력 신호를 인가하는 출력 신호 생성부(100), 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지하는 아크 검지부(200), 그리고 아크 검지부(200)의 검지 신호를 기반으로 출력 신호 생성부(100)를 제어하는 제어부(300)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1, the dual pulse output device of the present disclosure includes an output signal generator 100 that applies a first output signal to a target of positive polarity and a second output signal to a target of negative polarity, An arc detection unit 200 that detects arc generation for each polarity based on the first output signal and the second output signal, and a control unit 300 that controls the output signal generator 100 based on the detection signal of the arc detection unit 200. may include.

출력 신호 생성부(100)는, 입력되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 정류부, 직류 전원을 필터링하여 평활화하는 제1 필터부, 필터링된 직류 전원을 소정 전압으로 변환하는 DC/DC 컨버터부, 변환된 전압을 필터링하는 제2 필터부, 필터링된 전압을 소정 레벨로 고정시키는 클램프 회로부, 그리고 전압 출력을 스위칭하여 출력 신호의 펄스를 변조하는 듀얼 펄스 변조부를 포함할 수 있다.The output signal generator 100 includes a rectifier unit that converts the input AC power into DC power, a first filter unit that filters and smoothes the DC power, a DC/DC converter unit that converts the filtered DC power to a predetermined voltage, and a conversion unit. It may include a second filter unit that filters the filtered voltage, a clamp circuit unit that fixes the filtered voltage at a predetermined level, and a dual pulse modulator unit that modulates the pulse of the output signal by switching the voltage output.

일 예로, 듀얼 펄스 변조부는, 클램프 회로부에 일측이 연결되는 제1 스위치, 제1 스위치의 타측에 일측이 직렬로 연결되고 클램프 회로부에 타측이 연결되는 제3 스위치, 제1 스위치에 일측이 병렬로 연결되는 제4 스위치, 그리고 제4 스위치의 타측에 일측이 직렬로 연결되고 제3 스위치에 타측이 병렬로 연결되는 제2 스위치를 포함할 수 있는데, 이는 일 실시예로서, 이에 한정되지 않는다.As an example, the dual pulse modulator includes a first switch with one side connected to the clamp circuit, a third switch with one side connected in series to the other side of the first switch and the other side connected to the clamp circuit, and one side connected to the first switch in parallel. It may include a fourth switch connected, and a second switch where one side is connected in series to the other side of the fourth switch and the other side is connected in parallel to the third switch, but this is an example and is not limited thereto.

여기서, 아크 검지부(200)는, 제1 스위치와 제3 스위치 사이의 연결 라인에 제1 입력단이 연결되고, 제2 스위치와 제4 스위치 사이의 연결 라인에 제2 입력단이 연결되며, 제1 입력단과 제2 입력단으로 인가되는 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지할 수 있다.Here, the arc detection unit 200 has a first input terminal connected to the connection line between the first switch and the third switch, a second input terminal connected to the connection line between the second switch and the fourth switch, and a first input terminal. Arc generation for each polarity can be detected based on the first and second output signals applied to the and second input terminals.

그리고, 아크 검지부(200)는, 출력 신호 생성부(100)의 출력단과 부하(load) 사이에 위치하고, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 부하의 포지티브 극성 타겟으로 인가되는 제1 출력 신호를 기반으로 포지티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지하고, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 부하의 네거티브 극성 타겟으로 인가되는 제2 출력 신호를 기반으로 네거티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지할 수 있다.And, the arc detection unit 200 is located between the output terminal of the output signal generator 100 and the load, and receives the first output signal applied from the output terminal of the output signal generator 100 to the positive polarity target of the load. Based on this, the occurrence of an arc in a positive polarity target can be detected, and the occurrence of an arc in a negative polarity target can be detected based on the second output signal applied from the output terminal of the output signal generator 100 to the negative polarity target of the load.

여기서, 아크 검지부(200)는, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 센싱한 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 각각 안정화시키는 버퍼부, 버퍼부의 출력 신호를 소정 레벨로 증폭시키는 증폭부, 증폭부의 출력 신호를 반전시키는 반전 증폭부, 그리고 증폭부와 반전 증폭부의 출력 신호로부터 음(-) 신호만을 획득하여 극성별 검지 신호를 생성하는 검지 신호 생성부를 포함할 수 있는데, 이는 일 실시예로서, 이에 한정되지 않는다.Here, the arc detection unit 200 includes a buffer unit that stabilizes the first and second output signals sensed from the output terminal of the output signal generator 100, respectively, an amplification unit that amplifies the output signal of the buffer unit to a predetermined level, It may include an inverting amplifier that inverts the output signal of the amplifier, and a detection signal generator that obtains only negative (-) signals from the output signals of the amplifier and the inverting amplifier and generates a detection signal for each polarity, which is one embodiment. , but is not limited to this.

이어, 제어부(300)는, 아크 검지부(200)의 검지 신호를 기반으로 아크 발생 극성을 판별하고, 판별된 아크 발생 극성으로 인가되는 출력 신호를 차단하도록 출력 신호 생성부(100)를 제어하며, 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스(loss)를 산출하고, 산출한 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정하도록 출력 신호 생성부(100)를 제어할 수 있다.Next, the control unit 300 determines the arc generation polarity based on the detection signal of the arc detection unit 200, and controls the output signal generation unit 100 to block the output signal applied with the determined arc generation polarity, The output signal generator 100 may be controlled to calculate an output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity and adjust the output ratio for each polarity based on the calculated output loss.

여기서, 제어부(300)는, 아크 발생 극성을 판별할 때, 아크 검지부(200)로부터 포지티브 극성 검지 신호와 네거티브 극성 검지 신호를 포함하는 검지 신호가 입력되면 포지티브 극성 검지 신호와 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력 중단 여부를 확인하고, 포지티브 극성 검지 신호의 펄스 입력과 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력 중 적어도 어느 하나가 중단되면 펄스 입력이 중단되는 극성 타겟에 아크가 발생하는 것으로 인지할 수 있다.Here, when determining the arc generation polarity, the control unit 300 generates pulses of the positive polarity detection signal and the negative polarity detection signal when a detection signal including a positive polarity detection signal and a negative polarity detection signal is input from the arc detection unit 200. It is possible to check whether the input is interrupted, and when at least one of the pulse input of the positive polarity detection signal and the pulse input of the negative polarity detection signal is interrupted, it can be recognized that an arc occurs in the polarity target where the pulse input is interrupted.

일 예로, 제어부(300)는, 아크 발생 극성을 판별할 때, 포지티브 극성 검지 신호의 펄스 입력이 중단되면 포지티브 극성 타겟의 아크 발생으로 인지하고, 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력이 중단되면 네거티브 극성 타겟의 아크 발생으로 인지하며, 포지티브 극성 검지 신호의 펄스 입력과 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력이 모두 중단되면 포지티브 극성 타겟과 네거티브 극성 타겟의 아크 발생으로 인지할 수 있다.For example, when determining the polarity of arc occurrence, the control unit 300 recognizes that an arc occurs in a positive polarity target when the pulse input of the positive polarity detection signal is stopped, and when the pulse input of the negative polarity detection signal stops, the control unit 300 recognizes the arc as occurring in the negative polarity target. It is recognized as the occurrence of an arc, and when both the pulse input of the positive polarity detection signal and the pulse input of the negative polarity detection signal are stopped, it can be recognized as the occurrence of an arc between the positive polarity target and the negative polarity target.

이때, 제어부(300)는, 검지 신호의 펄스 입력이 중단되는 시점을 해당하는 구성 타겟의 아크 발생 시점으로 인지할 수 있다.At this time, the control unit 300 may recognize the point in time when the pulse input of the detection signal stops as the point in time at which the arc of the corresponding component target occurs.

그리고, 제어부(300)는, 출력 신호 차단을 제어할 때, 아크 발생 극성이 판별되면 출력 신호 생성부(100)의 출력 스위치 회로를 제어하여 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호를 소정 시간 동안 차단할 수 있다.In addition, when controlling the blocking of the output signal, the control unit 300 can control the output switch circuit of the output signal generator 100 to block the output signal corresponding to the arc generation polarity for a predetermined time when the arc generation polarity is determined. there is.

즉, 제어부(300)는, 출력 신호 생성부(100)의 듀얼 펄스 변조부에 포함되는 적어도 하나의 스위치를 제어하여 아크 발생 극성 타겟으로 인가되는 출력 신호를 차단할 수 있다.That is, the control unit 300 may control at least one switch included in the dual pulse modulator of the output signal generator 100 to block the output signal applied to the arc generation polarity target.

여기서, 제어부(300)는, 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호를 차단하는 동안에, 아크가 발생하지 않는 다른 극성에 출력 신호 입력을 계속 유지할 수 있다.Here, while blocking the output signal corresponding to the polarity in which the arc occurs, the control unit 300 may continue to input the output signal in the other polarity in which the arc does not occur.

일 예로, 제어부(300)는, 아크 발생 극성이 포지티브 극성으로 판별되면 출력 신호 생성부(100)의 출력 스위치 회로를 제어하여 아크가 발생하는 포지티브 극성 타겟으로 입력되는 제1 출력 신호만을 소정 시간 동안 차단하고, 아크가 발생하지 않는 네거티브 극성 타겟으로 입력되는 제2 출력 신호를 계속 유지할 수 있다.For example, when the arc generation polarity is determined to be positive polarity, the control unit 300 controls the output switch circuit of the output signal generator 100 to only provide the first output signal input to the positive polarity target where the arc occurs for a predetermined time. It is possible to block and maintain the second output signal input to the negative polarity target where no arc occurs.

다른 일 예로, 제어부(300)는, 아크 발생 극성이 네거티브 극성으로 판별되면 출력 신호 생성부의 출력 스위치 회로를 제어하여 아크가 발생하는 네거티브 극성 타겟으로 입력되는 제2 출력 신호만을 소정 시간 동안 차단하고, 아크가 발생하지 않는 포지티브 극성 타겟으로 입력되는 제1 출력 신호를 계속 유지할 수 있다.As another example, when the arc generation polarity is determined to be negative polarity, the control unit 300 controls the output switch circuit of the output signal generator to block only the second output signal input to the negative polarity target where the arc occurs for a predetermined time, The first output signal input to a positive polarity target in which no arc occurs can be maintained.

이어, 제어부(300)는, 출력 로스(loss)를 산출할 때, 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호가 차단되면 출력 신호 차단 횟수를 카운트하여 1을 증가시키고, 출력 차단 시간에 상응하는 휴지기 시간(pause time)을 적용하며, 출력 신호 차단 횟수와 휴지기 시간을 기반으로 출력 로스를 산출할 수 있다.Next, when calculating the output loss, the control unit 300 counts the number of times the output signal is blocked when the output signal corresponding to the arc generation polarity is blocked, increases the number by 1, and sets the idle time corresponding to the output blocking time ( pause time) is applied, and output loss can be calculated based on the number of output signal blocks and pause time.

여기서, 제어부(300)는, LOSS = CNT * TIME (여기서, LOSS는 극성별 출력 로스, CNT는 극성별 출력 신호 차단 횟수, TIME는 극성별 휴지기 시간임)으로 이루어지는 수식으로 출력 로스를 산출할 수 있다.Here, the control unit 300 can calculate the output loss using a formula consisting of LOSS = CNT * TIME (where LOSS is the output loss for each polarity, CNT is the number of output signal blocking times for each polarity, and TIME is the pause time for each polarity). there is.

다음, 제어부(300)는, 극성별 출력 비율을 조정할 때, 포지티브 극성에 대한 포지티브 출력 로스와 네거티브 극성에 대한 네거티브 출력 로스가 각각 산출되면 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스간의 편차를 산출하고, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.Next, when adjusting the output ratio for each polarity, the control unit 300 calculates the deviation between the positive output loss and the negative output loss when the positive output loss for the positive polarity and the negative output loss for the negative polarity are calculated, and the calculated The output ratio for each polarity can be adjusted based on the deviation.

일 예로, 제어부(300)는, 포지티브 출력 로스가 네거티브 출력 로스보다 더 클 때, 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스 사이의 편차가 기준값 이상이면 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 수 있다.For example, when the positive output loss is greater than the negative output loss, the control unit 300 may increase the positive output ratio and decrease the negative output ratio if the deviation between the positive output loss and the negative output loss is greater than a reference value.

다른 일 예로, 제어부(300)는, 포지티브 출력 로스가 네거티브 출력 로스보다 더 작을 때, 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스 사이의 편차가 기준값 이상이면 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 수 있다.As another example, when the positive output loss is smaller than the negative output loss, the control unit 300 may decrease the positive output ratio and increase the negative output ratio if the deviation between the positive output loss and the negative output loss is greater than a reference value. .

또한, 제어부(300)는, 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 때, 포지티브 출력 비율의 증가량과 네거티브 출력 비율의 감소량이 서로 동일하도록 조정하여 조정 전의 총 출력량과 조정 후의 총 출력량을 동일하게 유지할 수 있다.In addition, when increasing the positive output ratio and decreasing the negative output ratio, the control unit 300 adjusts the amount of increase in the positive output ratio and the amount of decrease in the negative output ratio to be equal, so that the total output amount before adjustment and the total output amount after adjustment are equal to each other. can be maintained.

또한, 제어부(300)는, 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 때, 포지티브 출력 비율의 감소량과 네거티브 출력 비율의 증가량이 서로 동일하도록 조정하여 조정 전의 총 출력량과 조정 후의 총 출력량을 동일하게 유지할 수 있다.In addition, when decreasing the positive output ratio and increasing the negative output ratio, the control unit 300 adjusts the amount of decrease in the positive output ratio and the amount of increase in the negative output ratio to be equal, so that the total output amount before adjustment and the total output amount after adjustment are equal to each other. can be maintained.

경우에 따라, 제어부(300)는, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 때, 포지티브 극성 타겟의 물질 특성과 네거티브 극성 타겟의 물질 특성을 추가적으로 고려하여 극성별 출력 비율을 조정할 수도 있다.In some cases, when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the control unit 300 may adjust the output ratio for each polarity by additionally considering the material properties of the positive polarity target and the material properties of the negative polarity target.

일 예로, 제어부(300)는, 플라즈마 공정 환경에서, 포지티브 극성 타겟의 물질 특성이 네거티브 극성 타겟의 물질 특성보다 더 강한 내성을 갖는 물질이면 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 수 있다.For example, in a plasma process environment, the control unit 300 may increase the positive output ratio and decrease the negative output ratio if the material characteristics of the positive polarity target are materials with stronger resistance than the material characteristics of the negative polarity target.

다른 일 예로, 제어부(300)는, 플라즈마 공정 환경에서, 네거티브 극성 타겟의 물질 특성이 포지티브 극성 타겟의 물질 특성보다 더 강한 내성을 갖는 물질이면 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 수 있다.As another example, in a plasma process environment, the control unit 300 may decrease the positive output ratio and increase the negative output ratio if the material characteristics of the negative polarity target are materials with stronger resistance than the material characteristics of the positive polarity target. .

여기서, 제어부(300)는, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 때, 산출한 편차를 1차 조건으로 고려하고, 포지티브 극성 타겟의 물질 특성과 네거티브 극성 타겟의 물질 특성을 2차 조건으로 고려하여 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.Here, when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the control unit 300 considers the calculated deviation as the first condition and sets the material properties of the positive polarity target and the material properties of the negative polarity target as the second condition. The output ratio for each polarity can be adjusted by taking this into account.

다른 경우로서, 제어부(300)는, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 때, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건을 추가적으로 고려하여 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.In another case, when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the control unit 300 may adjust the output ratio for each polarity by additionally considering plasma process conditions for thin film formation.

일 예로, 제어부(300)는, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건이 포지티브 극성 타겟의 전력량이 네거티브 극성 타겟의 전력량보다 더 큰 조건이면 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 수 있다.As an example, the control unit 300 may increase the positive output ratio and decrease the negative output ratio when the plasma process conditions for thin film formation are such that the power amount of the positive polarity target is greater than the power amount of the negative polarity target.

다른 일 예로, 제어부(300)는, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건이 포지티브 극성 타겟의 전력량이 네거티브 극성 타겟의 전력량보다 더 작은 조건이면 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 수 있다.As another example, the control unit 300 may decrease the positive output ratio and increase the negative output ratio when the plasma process condition for thin film formation is a condition where the power amount of the positive polarity target is smaller than the power amount of the negative polarity target.

여기서, 제어부(300)는, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 때, 산출한 편차를 1차 조건으로 고려하고, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건을 2차 조건으로 고려하여 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.Here, when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the control unit 300 considers the calculated deviation as the first condition and considers the plasma process conditions for thin film formation as the second condition to adjust the output for each polarity. The ratio can be adjusted.

또한, 제어부(300)는, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 때, 산출한 편차를 1차 조건으로 고려하고, 포지티브 극성 타겟의 물질 특성과 네거티브 극성 타겟의 물질 특성을 2차 조건으로 고려하며, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건을 3차 조건으로 고려하여 극성별 출력 비율을 조정할 수도 있다.In addition, when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the control unit 300 considers the calculated deviation as the first condition and sets the material characteristics of the positive polarity target and the material characteristics of the negative polarity target as secondary conditions. The output ratio for each polarity can also be adjusted by considering the plasma process conditions for thin film formation as a third-order condition.

이와 같이, 본 개시의 듀얼 펄스 출력 장치는, 아크 발생 극성을 판별하여 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스를 산출하고, 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정함으로써, 극성별 타겟 물질의 라이프타임을 동일하게 유지하고 플라즈마 공정의 안정성을 증대시키며 소스 이용률 향상 및 효율적인 운용이 가능하다.In this way, the dual pulse output device of the present disclosure determines the arc generation polarity, calculates the output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity, and adjusts the output ratio for each polarity based on the output loss to determine the target material for each polarity. It maintains the same lifetime, increases the stability of the plasma process, improves source utilization, and enables efficient operation.

도 2는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치를 설명하기 위한 회로도이고, 도 3a 내지 도 3c는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 아크 검지부를 설명하기 위한 회로 및 신호 파형을 보여주는 도면이다.2 is a circuit diagram for explaining a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure, and FIGS. 3A to 3C are circuit diagrams for explaining an arc detection unit of the dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure. and a diagram showing the signal waveform.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 개시의 듀얼 펄스 출력 장치는, 부하(400)의 포지티브 극성 타겟으로 제1 출력 신호를 인가하고 네거티브 극성 타겟으로 제2 출력 신호를 인가하는 출력 신호 생성부(100)와, 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지하는 아크 검지부(200)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2, the dual pulse output device of the present disclosure includes an output signal generator 100 that applies a first output signal to the positive polarity target of the load 400 and applies a second output signal to the negative polarity target. ) and an arc detection unit 200 that detects arc occurrence for each polarity based on the first output signal and the second output signal.

여기서, 출력 신호 생성부(100)는, 입력되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 정류부(110), 직류 전원을 필터링하여 평활화하는 제1 필터부(120), 필터링된 직류 전원을 소정 전압으로 변환하는 DC/DC 컨버터부(130), 변환된 전압을 필터링하는 제2 필터부(140), 필터링된 전압을 소정 레벨로 고정시키는 클램프 회로부(150), 그리고 전압 출력을 스위칭하여 출력 신호의 펄스를 변조하는 듀얼 펄스 변조부(160)를 포함할 수 있다.Here, the output signal generator 100 includes a rectifier 110 that converts the input AC power into DC power, a first filter unit 120 that filters and smoothes the DC power, and converts the filtered DC power into a predetermined voltage. A DC/DC converter unit 130 that filters the converted voltage, a second filter unit 140 that filters the converted voltage, a clamp circuit unit 150 that fixes the filtered voltage at a predetermined level, and a pulse of the output signal by switching the voltage output. It may include a dual pulse modulator 160 that modulates.

그리고, 출력 신호 생성부(100)의 듀얼 펄스 변조부(160)는, 클램프 회로부(150)에 일측이 연결되는 제1 스위치(161), 제1 스위치(161)의 타측에 일측이 직렬로 연결되고 클램프 회로부(150)에 타측이 연결되는 제3 스위치(163), 제1 스위치(161)에 일측이 병렬로 연결되는 제4 스위치(164), 그리고 제4 스위치(164)의 타측에 일측이 직렬로 연결되고 제3 스위치(163)에 타측이 병렬로 연결되는 제2 스위치(162)를 포함할 수 있다.In addition, the dual pulse modulator 160 of the output signal generator 100 has a first switch 161 on one side connected to the clamp circuit 150, and one side connected in series to the other side of the first switch 161. and a third switch 163 whose other side is connected to the clamp circuit unit 150, a fourth switch 164 whose one side is connected in parallel to the first switch 161, and one side of which is connected to the other side of the fourth switch 164. It may include a second switch 162 connected in series and the other side connected in parallel to the third switch 163.

여기서, 제1 스위치(161)는, 제3 스위치(163)에 직렬 연결되고 제4 스위치(164)에 병렬 연결되며, 제2 스위치(162)는, 제4 스위치(164)에 직렬 연결되고 제3 스위치(163)에 병렬 연결되며, 제3 스위치(163)는, 제1 스위치(161)에 직렬 연결되고 제2 스위치(162)에 병렬 연결되며, 제4 스위치(164)는, 제2 스위치(162)에 직렬 연결되고 제1 스위치(161)에 병렬 연결될 수 있다.Here, the first switch 161 is connected in series to the third switch 163 and in parallel to the fourth switch 164, and the second switch 162 is connected in series to the fourth switch 164 and the fourth switch 164. It is connected in parallel to 3 switches 163, the third switch 163 is connected in series to the first switch 161 and in parallel to the second switch 162, and the fourth switch 164 is connected to the second switch 162. It may be connected in series to (162) and in parallel to the first switch (161).

이때, 아크 검지부(200)는, 제1 스위치(161)와 제3 스위치(163) 사이의 연결 라인에 제1 입력단이 연결되고, 제2 스위치(162)와 제4 스위치(164) 사이의 연결 라인에 제2 입력단이 연결될 수 있다.At this time, the arc detection unit 200 has a first input terminal connected to the connection line between the first switch 161 and the third switch 163, and a connection line between the second switch 162 and the fourth switch 164. A second input terminal may be connected to the line.

그리고, 아크 검지부(200)는, 제1 입력단과 제2 입력단으로 인가되는 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지할 수 있다.Additionally, the arc detection unit 200 may detect arc occurrence for each polarity based on the first and second output signals applied to the first and second input terminals.

이어, 아크 검지부(200)는, 출력 신호 생성부(100)의 출력단인 듀얼 펄스 변조부(160)와 부하(load)(400) 사이에 위치할 수 있다.Next, the arc detection unit 200 may be located between the load 400 and the dual pulse modulator 160, which is the output terminal of the output signal generator 100.

여기서, 아크 검지부(200)는, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 부하(400)의 포지티브 극성 타겟으로 인가되는 제1 출력 신호를 기반으로 포지티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지하고, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 부하의 네거티브 극성 타겟으로 인가되는 제2 출력 신호를 기반으로 네거티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지할 수 있다.Here, the arc detection unit 200 detects the occurrence of an arc in the positive polarity target based on the first output signal applied from the output terminal of the output signal generating unit 100 to the positive polarity target of the load 400 and generates an output signal. Arc generation in the negative polarity target can be detected based on the second output signal applied from the output terminal of the unit 100 to the negative polarity target of the load.

도 3a에 도시된 바와 같이, 본 개시의 아크 검지부(200)는, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 센싱한 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 각각 안정화시키는 버퍼부(210), 버퍼부(210)의 출력 신호를 소정 레벨로 증폭시키는 증폭부(220), 증폭부(220)의 출력 신호를 반전시키는 반전 증폭부(230), 그리고 증폭부(220)와 반전 증폭부(230)의 출력 신호로부터 음(-) 신호만을 획득하여 극성별 검지 신호를 생성하는 검지 신호 생성부(240)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 3A, the arc detection unit 200 of the present disclosure includes a buffer unit 210 that stabilizes the first and second output signals sensed from the output terminal of the output signal generator 100, respectively, and a buffer An amplifier 220 that amplifies the output signal of the unit 210 to a predetermined level, an inverting amplifier 230 that inverts the output signal of the amplifier 220, and the amplifier 220 and the inverting amplifier 230. It may include a detection signal generator 240 that generates a detection signal for each polarity by obtaining only a negative (-) signal from the output signal.

여기서, 버퍼부(210)는, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 센싱한 제1 출력 신호를 안정화시키는 제1 버퍼(212)와, 출력 신호 생성부(100)의 출력단으로부터 센싱한 제2 출력 신호를 안정화시키는 제2 버퍼(214)를 포함할 수 있다.Here, the buffer unit 210 includes a first buffer 212 that stabilizes the first output signal sensed from the output terminal of the output signal generator 100, and a second buffer 212 that stabilizes the first output signal sensed from the output terminal of the output signal generator 100. It may include a second buffer 214 that stabilizes the output signal.

이때, 도 3b와 같이, 출력 신호 생성부(100)의 출력 신호(250) 중 포지티브 극성 타겟으로 인가되는 제1 출력 신호(252)가 제1 버퍼(212)로 입력되고, 네거티브 극성 타겟으로 인가되는 제2 출력 신호(254)가 제2 버퍼(214)로 입력될 수 있다.At this time, as shown in Figure 3b, the first output signal 252 applied to the positive polarity target among the output signals 250 of the output signal generator 100 is input to the first buffer 212 and applied to the negative polarity target. The second output signal 254 may be input to the second buffer 214.

제1 출력 신호(252)와 제2 출력 신호(254)는, 서로 교대로 제1 버퍼(212)와 제2 버퍼(214)로 입력될 수 있다.The first output signal 252 and the second output signal 254 may be alternately input to the first buffer 212 and the second buffer 214.

그리고, 증폭부(220)는, 제1 버퍼(212)로부터 출력되는 제1 출력 신호와 제2 버퍼(214)로부터 출력되는 제2 출력 신호를 소정 레벨로 증폭시키는 싱글 증폭기를 포함할 수 있다.Additionally, the amplifier 220 may include a single amplifier that amplifies the first output signal output from the first buffer 212 and the second output signal output from the second buffer 214 to a predetermined level.

여기서, 증폭부(220)는, 제1 버퍼(212)의 제1 출력 신호와 제2 버퍼(214)의 제2 출력 신호를 서로 동일한 레벨로 증폭시킬 수 있다.Here, the amplification unit 220 may amplify the first output signal of the first buffer 212 and the second output signal of the second buffer 214 to the same level.

다음, 검지 신호 생성부(240)는, 증폭부(220)의 출력 신호로부터 음(-) 신호만을 획득하여 포지티브 극성 타겟으로 인가되는 포지티브 극성 검지 신호(260)를 생성하는 제1 검지 신호 생성 회로(242)와, 반전 증폭부(230)의 출력 신호로부터 음(-) 신호만을 획득하여 네거티브 극성 타겟으로 인가되는 네거티브 극성 검지 신호(270)를 생성하는 제2 검지 신호 생성 회로(244)를 포함할 수 있다.Next, the detection signal generator 240 is a first detection signal generation circuit that obtains only the negative (-) signal from the output signal of the amplification unit 220 and generates a positive polarity detection signal 260 applied to the positive polarity target. (242) and a second detection signal generation circuit 244 that obtains only the negative (-) signal from the output signal of the inverting amplifier 230 and generates a negative polarity detection signal 270 applied to the negative polarity target. can do.

여기서, 도 3c와 같이, 포지티브 극성 검지 신호(260)는, 제1 시간 간격을 갖는 복수의 제1 펄스(262)들을 포함하고, 네거티브 극성 검지 신호(270)는, 제2 시간 간격을 갖는 복수의 제2 펄스(272)들을 포함할 수 있다.Here, as shown in FIG. 3C, the positive polarity detection signal 260 includes a plurality of first pulses 262 having a first time interval, and the negative polarity detection signal 270 includes a plurality of first pulses 262 having a second time interval. It may include second pulses 272.

이때, 제1 펄스(262)와 제2 펄스(272)는, 서로 다른 시간대로 교번되어 출력될 수 있다.At this time, the first pulse 262 and the second pulse 272 may be output alternately at different times.

일 예로, 포지티브 극성 검지 신호(260)의 제1 펄스(262)는, 네거티브 극성 검지 신호(270)의 제2 펄스(272)들 사이의 시간대에 출력되고, 네거티브 극성 검지 신호(270)의 제2 펄스(272)는, 포지티브 극성 검지 신호(260)의 제1 펄스(262)들 사이의 시간대에 출력될 수 있다.As an example, the first pulse 262 of the positive polarity detection signal 260 is output in the time period between the second pulses 272 of the negative polarity detection signal 270, and the first pulse 262 of the negative polarity detection signal 270 is output. Two pulses 272 may be output in the time period between the first pulses 262 of the positive polarity detection signal 260.

여기서, 포지티브 극성 검지 신호(260)의 제1 펄스(262)의 폭은, 네거티브 극성 검지 신호(270)의 제2 펄스(272)의 폭과 동일할 수 있다.Here, the width of the first pulse 262 of the positive polarity detection signal 260 may be the same as the width of the second pulse 272 of the negative polarity detection signal 270.

경우에 따라, 포지티브 극성 검지 신호(260)의 제1 펄스(262)의 폭은, 네거티브 극성 검지 신호(270)의 제2 펄스(272)의 폭과 다를 수도 있다.In some cases, the width of the first pulse 262 of the positive polarity detection signal 260 may be different from the width of the second pulse 272 of the negative polarity detection signal 270.

또한, 포지티브 극성 검지 신호(260)의 제1 펄스(262)들 사이의 제1 시간 간격은, 네거티브 극성 검지 신호(270)의 제2 펄스(272)들 사이의 제2 시간 간격과 동일할 수 있다.Additionally, the first time interval between the first pulses 262 of the positive polarity detection signal 260 may be equal to the second time interval between the second pulses 272 of the negative polarity detection signal 270. there is.

경우에 따라, 포지티브 극성 검지 신호(260)의 제1 펄스(262)들 사이의 제1 시간 간격은, 네거티브 극성 검지 신호(270)의 제2 펄스(272)들 사이의 제2 시간 간격과 다를 수도 있다.In some cases, the first time interval between the first pulses 262 of the positive polarity detection signal 260 may differ from the second time interval between the second pulses 272 of the negative polarity detection signal 270. It may be possible.

이와 같이, 본 개시는, 듀얼 마그네트론 출력 장치에서, 각 극성별로 구분된 아크 검지를 위한 회로를 이용하여 출력 전압에 대해 포지티브(Positive) 극성과 네거티브(Negative) 극성을 구분하여 검지하는 것이 가능하다.As such, in the present disclosure, in a dual magnetron output device, it is possible to detect the output voltage by distinguishing between positive and negative polarities by using a circuit for arc detection divided for each polarity.

도 4 및 도 5는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 아크 검지 회로와 아크 검지 회로의 출력단별 전압 파형을 보여주는 도면이다.4 and 5 are diagrams showing an arc detection circuit of a dual pulse output device and voltage waveforms for each output terminal of the arc detection circuit according to an embodiment of the present disclosure.

도 4는, 도 3에서 설명한 아크 검지 회로를 보여주는 도면이고, 도 5는, 도 4의 아크 검지 회로에서 VP1, V1, V2, V3, V4 출력단들에 대한 전압 파형을 보여주는 도면이다.FIG. 4 is a diagram showing the arc detection circuit described in FIG. 3, and FIG. 5 is a diagram showing voltage waveforms for output terminals VP1, V1, V2, V3, and V4 in the arc detection circuit of FIG. 4.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 아크 검지 회로의 버퍼부는, 출력 신호 생성부의 출력단 VP1으로부터 포지티브 극성 출력 신호와 네거티브 극성 출력 신호를 교대로 입력받아 포지티브 극성 출력 신호와 네거티브 극성 출력 신호를 안정화시킬 수 있다.As shown in Figures 4 and 5, the buffer unit of the arc detection circuit receives positive polarity output signals and negative polarity output signals alternately from the output terminal VP1 of the output signal generator and stabilizes the positive polarity output signals and negative polarity output signals. You can do it.

그리고, 아크 검지 회로의 증폭부는, 버퍼부의 출력 신호를 아크 검지 회로에 사용 가능한 소정 레벨로 증폭시키고, 증폭한 출력 신호를 V1 출력단을 통해 제1 검지 신호 생성 회로로 출력할 수 있다.Additionally, the amplification unit of the arc detection circuit may amplify the output signal of the buffer unit to a predetermined level usable in the arc detection circuit, and output the amplified output signal to the first detection signal generation circuit through the V1 output terminal.

이어, 아크 검지 회로의 반전 증폭부는, 증폭부의 출력 신호를 반전시키고, 반전시킨 출력 신호를 V2 출력단을 통해 제2 검지 신호 생성 회로로 출력할 수 있다.Next, the inverting amplifier of the arc detection circuit may invert the output signal of the amplifier and output the inverted output signal to the second detection signal generation circuit through the V2 output terminal.

다음, 아크 검지 회로의 제1 검지 신호 생성 회로는, 증폭부의 출력 신호로부터 음(-) 신호만을 획득하여 포지티브 극성 검지 신호를 생성하고, 생성한 출력 신호를 V3 출력단을 통해 포지티브 극성 타겟으로 출력할 수 있다.Next, the first detection signal generation circuit of the arc detection circuit generates a positive polarity detection signal by acquiring only the negative (-) signal from the output signal of the amplifier, and outputs the generated output signal to the positive polarity target through the V3 output terminal. You can.

그리고, 아크 검지 회로의 제2 검지 신호 생성 회로는, 반전 증폭부의 출력 신호로부터 음(-) 신호만을 획득하여 네거티브 극성 검지 신호를 생성하고, 생성한 출력 신호를 V4 출력단을 통해 네거티브 극성 타겟으로 출력할 수 있다.And, the second detection signal generation circuit of the arc detection circuit generates a negative polarity detection signal by acquiring only the negative (-) signal from the output signal of the inverting amplifier, and outputs the generated output signal to the negative polarity target through the V4 output terminal. can do.

도 6은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 정상적인 출력 전압 및 전류 파형을 보여주는 도면이고, 도 7 및 도 8은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 아크 발생에 의한 출력 전압 및 전류 파형을 보여주는 도면이다.FIG. 6 is a diagram showing normal output voltage and current waveforms of the dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure, and FIGS. 7 and 8 are diagrams showing arc generation of the dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure. This is a diagram showing the output voltage and current waveforms.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 개시는, 정상적인 부하 상태에서, 정상적인 출력 전압과 출력 전류를 제공할 수 있다.As shown in FIG. 6, the present disclosure can provide normal output voltage and output current under normal load conditions.

여기서, 본 개시의 듀얼 펄스 모듈레이터에서는, 스위치 동작을 통해 한 주기 내에 포지티브 출력과 네거티브 출력이 교번하여 출력될 수 있다.Here, in the dual pulse modulator of the present disclosure, positive output and negative output can be output alternately within one cycle through a switch operation.

하지만, 본 개시는, 아크 발생 등과 같이 비정상적인 부하 상태에서, 전원 장치 및 부하 보호를 위하여 출력 전압과 출력 전류의 제공을 차단하고 휴지기를 가질 수 있다.However, in the present disclosure, in an abnormal load state such as an arc occurrence, provision of output voltage and output current may be blocked and a rest period may be provided to protect the power device and the load.

일반적으로, 플라즈마 방전에서 출력 단이 단락되는 것을 아크라고 하는데, 이는 출력 전압의 하강 및 출력 전류의 상승으로 이어질 수 있다.In general, short-circuiting of the output terminal in plasma discharge is called arcing, which can lead to a decrease in output voltage and an increase in output current.

도 7에 도시된 바와 같이, 아크 발생 시에는, 출력을 차단하고 부하의 안정성을 위하여 휴지기를 가진 다음 재출력을 수행함으로써, 출력 전류의 상승으로부터 전원 장치 및 부하를 보호할 수 있다.As shown in FIG. 7, when an arc occurs, the power supply and the load can be protected from an increase in the output current by blocking the output, taking a rest period for the stability of the load, and then performing the output again.

하지만, 도 7과 같이, 출력을 차단할 때, 아크 발생 타겟을 구분하지 않고 모든 극성 타겟으로 출력되는 출력 전압 및 전류를 차단할 경우, 전체적인 플라즈마 공정에서 효율성이 저하되고 방전 유지에 대한 불안 요소를 가질 수 있다.However, as shown in Figure 7, when blocking the output, if the output voltage and current output to all polarity targets are blocked without distinguishing the arc generation target, the efficiency in the overall plasma process may decrease and there may be an element of instability in maintaining discharge. there is.

따라서, 본 개시는, 도 8에 도시된 바와 같이, 아크 발생 시, 아크 발생 극성을 판별하고, 판별된 아크 발생 극성으로 인가되는 출력만을 차단하고, 다른 극성으로 인가되는 출력을 계속 유지함으로써, 전체적인 플라즈마 공정에서 효율성이 상승되고 안정적인 방전 유지가 가능하다.Therefore, as shown in FIG. 8, the present disclosure determines the arc generation polarity when an arc occurs, blocks only the output applied with the determined arc generation polarity, and continues to maintain the output applied with the other polarity, thereby reducing the overall Efficiency is increased in the plasma process and stable discharge can be maintained.

즉, 도 8과 같이, 본 개시는, 아크 발생 극성이 포지티브 극성을 판별하면 포지티브 극성의 출력만을 차단하고 네거티브 극성의 출력을 계속 유지함으로써, 포지티브 극성의 출력이 휴지기를 가지는 동안이도 네거티브 극성의 출력을 계속 유지할 수 있다.That is, as shown in FIG. 8, in the present disclosure, when the arc generation polarity is determined to be positive, only the output of the positive polarity is blocked and the output of the negative polarity is maintained, so that the output of the negative polarity is maintained even while the output of the positive polarity has a rest period. Output can be maintained continuously.

이처럼, 본 개시는, 아크가 발생한 극성의 타겟을 구분 가능하고, 해당 극성의 출력만 차단하는 동작이 가능하다.In this way, the present disclosure is capable of distinguishing the target of the polarity in which the arc occurred and blocking only the output of the corresponding polarity.

이때, 아크가 발생하지 않은 극성의 출력은, 정상적으로 동작하고, 아크 발생 극성만 휴지기를 갖도록 동작할 수 있다.At this time, the output of the polarity in which the arc does not occur operates normally, and only the polarity in which the arc occurs can be operated to have a rest period.

따라서, 본 개시는, 극성별 아크 발생을 구분하고, 극성별로 출력 신호 차단 동작을 통해 플라즈마 공정의 효율성을 증대시킬 수 있다.Therefore, the present disclosure can increase the efficiency of the plasma process by distinguishing arc generation by polarity and blocking the output signal by polarity.

도 9는, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 출력 스위치 제어에 의한 전력 루프를 설명하기 위한 도면이다.Figure 9 is a diagram for explaining a power loop by output switch control of a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 개시는, 듀얼 펄스 변조부(160)의 스위치 동작을 제어하여 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.As shown in FIG. 9, in the present disclosure, the output ratio for each polarity can be adjusted by controlling the switch operation of the dual pulse modulator 160.

즉, 본 개시는, 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스(loss)를 산출하고, 산출한 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정하도록 듀얼 펄스 변조부(160)의 스위치 동작을 제어할 수 있다.That is, the present disclosure calculates an output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity and controls the switch operation of the dual pulse modulator 160 to adjust the output ratio for each polarity based on the calculated output loss. You can.

일 예로, 듀얼 펄스 변조부(160)는, 클램프 회로부에 일측이 연결되는 제1 스위치(161), 제1 스위치(161)의 타측에 일측이 직렬로 연결되고 클램프 회로부에 타측이 연결되는 제3 스위치(163), 제1 스위치(161)에 일측이 병렬로 연결되는 제4 스위치(164), 그리고 제4 스위치(164)의 타측에 일측이 직렬로 연결되고 제3 스위치(163)에 타측이 병렬로 연결되는 제2 스위치(162)를 포함할 수 있다.As an example, the dual pulse modulator 160 includes a first switch 161, one side of which is connected to the clamp circuit, a third side of which one side is connected in series to the other side of the first switch 161, and the other side is connected to the clamp circuit. Switch 163, a fourth switch 164 with one side connected in parallel to the first switch 161, and one side connected in series to the other side of the fourth switch 164 and the other side to the third switch 163. It may include a second switch 162 connected in parallel.

도 9와 같이, 제1 스위치(161)와 제2 스위치(162)만이 동작되면 포지티브 극성의 출력 신호가 부하(400)로 출력되고, 제3 스위치(163)와 제4 스위치(164)만이 동작되면 네거티브 극성의 출력 신호가 부하(400)로 출력될 수 있다.As shown in FIG. 9, when only the first switch 161 and the second switch 162 are operated, an output signal of positive polarity is output to the load 400, and only the third switch 163 and the fourth switch 164 are operated. When this happens, an output signal of negative polarity can be output to the load 400.

그리고, 제1 스위치(161), 제2 스위치(162), 제3 스위치(163), 제4 스위치(164)가 모두 동작되면 부하(400)에 전력 루프가 형성되지 않아서 출력이 0인 구간이 될 수 있다.And, when the first switch 161, the second switch 162, the third switch 163, and the fourth switch 164 are all operated, a power loop is not formed in the load 400, so there is a section where the output is 0. It can be.

이와 같이, 본 개시는, 아크 발생 극성을 판별하여 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스를 산출하고, 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정함으로써, 극성별 타겟들간에 밸런스 조정이 가능하다.In this way, the present disclosure determines the arc generation polarity, calculates the output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity, and adjusts the output ratio for each polarity based on the output loss, thereby enabling balance adjustment between targets for each polarity. .

도 10 및 도 11은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 장치의 출력 스위치 제어에 의한 출력 전압 파형을 보여주는 도면이다.10 and 11 are diagrams showing output voltage waveforms by output switch control of a dual pulse output device according to an embodiment of the present disclosure.

도 10에 도시된 바와 같이, 본 개시는, 듀얼 펄스 변조부의 스위치 동작 비율을 동일하게 고정하여 포지티브 극성 출력 구간과 네거티브 극성 출력 구간의 비율을 5:5로 동일하게 유지할 수 있다.As shown in FIG. 10, the present disclosure can maintain the ratio of the positive polarity output section and the negative polarity output section at 5:5 by fixing the switch operation ratio of the dual pulse modulator to the same.

또한, 도 11에 도시된 바와 같이, 본 개시는, 듀얼 펄스 변조부의 스위치 동작 비율을 다르게 가변하여 포지티브 극성 출력 구간과 네거티브 극성 출력 구간의 비율을 다르게 조정할 수도 있다.Additionally, as shown in FIG. 11, the present disclosure may vary the switch operation ratio of the dual pulse modulator to differently adjust the ratio of the positive polarity output section and the negative polarity output section.

여기서, 본 개시는, 포지티브 극성에 대한 포지티브 출력 로스와 네거티브 극성에 대한 네거티브 출력 로스가 각각 산출되면 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스간의 편차를 산출하고, 산출한 편차를 기반으로 스위치 동작 비율을 가변하여 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.Here, the present disclosure calculates the deviation between the positive output loss and the negative output loss when the positive output loss for the positive polarity and the negative output loss for the negative polarity are respectively calculated, and changes the switch operation ratio based on the calculated deviation. The output ratio for each polarity can be adjusted.

일 예로, 본 개시는, 포지티브 출력 로스가 네거티브 출력 로스보다 더 클 때, 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스 사이의 편차가 기준값 이상이면 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 수 있다.As an example, the present disclosure can increase the positive output ratio and decrease the negative output ratio when the positive output loss is greater than the negative output loss and the deviation between the positive output loss and the negative output loss is greater than a reference value.

다른 일 예로, 본 개시는, 포지티브 출력 로스가 네거티브 출력 로스보다 더 작을 때, 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스 사이의 편차가 기준값 이상이면 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 수도 있다.As another example, the present disclosure may reduce the positive output ratio and increase the negative output ratio when the positive output loss is smaller than the negative output loss and the deviation between the positive output loss and the negative output loss is greater than a reference value.

또한, 본 개시는, 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 때, 포지티브 출력 비율의 증가량과 네거티브 출력 비율의 감소량이 서로 동일하도록 조정하여 조정 전의 총 출력량과 조정 후의 총 출력량을 동일하게 유지할 수 있다.In addition, in the present disclosure, when increasing the positive output ratio and decreasing the negative output ratio, the amount of increase in the positive output ratio and the amount of decrease in the negative output ratio are adjusted to be equal to each other to maintain the total output amount before adjustment and the total output amount after adjustment. You can.

또한, 본 개시는, 도 10과 같이, 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 때, 포지티브 출력 비율의 감소량과 네거티브 출력 비율의 증가량이 서로 동일하도록 조정하여 조정 전의 총 출력량과 조정 후의 총 출력량을 동일하게 유지할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 10, in the present disclosure, when decreasing the positive output ratio and increasing the negative output ratio, the amount of reduction in the positive output ratio and the amount of increase in the negative output ratio are adjusted to be equal to each other, so that the total output amount before adjustment and the total amount after adjustment are equal to each other. The output amount can be kept the same.

경우에 따라, 본 개시는, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 때, 포지티브 극성 타겟의 물질 특성과 네거티브 극성 타겟의 물질 특성을 추가적으로 고려하여 극성별 출력 비율을 조정할 수도 있다.In some cases, when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the present disclosure may adjust the output ratio for each polarity by additionally considering the material properties of the positive polarity target and the material properties of the negative polarity target.

일 예로, 본 개시는, 플라즈마 공정 환경에서, 포지티브 극성 타겟의 물질 특성이 네거티브 극성 타겟의 물질 특성보다 더 강한 내성을 갖는 물질이면 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 수 있다.As an example, in the present disclosure, in a plasma process environment, if the material characteristics of the positive polarity target are materials with stronger resistance than the material characteristics of the negative polarity target, the positive output ratio can be increased and the negative output ratio can be reduced.

다른 일 예로, 본 개시는, 플라즈마 공정 환경에서, 네거티브 극성 타겟의 물질 특성이 포지티브 극성 타겟의 물질 특성보다 더 강한 내성을 갖는 물질이면 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 수도 있다.As another example, the present disclosure may reduce the positive output ratio and increase the negative output ratio if the material characteristics of the negative polarity target have stronger resistance than the material characteristics of the positive polarity target in a plasma process environment.

다른 경우로서, 본 개시는, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 때, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건을 추가적으로 고려하여 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.As another case, in the present disclosure, when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the output ratio for each polarity can be adjusted by additionally considering plasma process conditions for thin film formation.

일 예로, 본 개시는, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건이 포지티브 극성 타겟의 전력량이 네거티브 극성 타겟의 전력량보다 더 큰 조건이면 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시킬 수 있다.As an example, in the present disclosure, if the plasma process conditions for forming a thin film are such that the power amount of the positive polarity target is greater than the power amount of the negative polarity target, the positive output ratio can be increased and the negative output ratio can be reduced.

다른 일 예로, 본 개시는, 박막 형성을 위한 플라즈마 공정 조건이 포지티브 극성 타겟의 전력량이 네거티브 극성 타겟의 전력량보다 더 작은 조건이면 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 수 있다.As another example, the present disclosure may reduce the positive output ratio and increase the negative output ratio when the plasma process condition for thin film formation is a condition where the power amount of the positive polarity target is smaller than the power amount of the negative polarity target.

도 12 및 도 13은, 본 개시의 일 실시 예에 따른 듀얼 펄스 출력 방법을 설명하기 위한 순서도이다.12 and 13 are flowcharts for explaining a dual pulse output method according to an embodiment of the present disclosure.

도 12에 도시된 바와 같이, 본 개시는, 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지할 수 있다(S10).As shown in FIG. 12, the present disclosure can detect arc generation for each polarity based on the output signal (S10).

여기서, 본 개시는, 부하의 포지티브 극성 타겟으로 인가되는 제1 출력 신호를 기반으로 포지티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지하고, 부하의 네거티브 극성 타겟으로 인가되는 제2 출력 신호를 기반으로 네거티브 극성 타겟의 아크 발생을 검지할 수 있다.Here, the present disclosure detects the occurrence of an arc in a positive polarity target based on a first output signal applied to the positive polarity target of the load, and detects the occurrence of an arc in the negative polarity target based on the second output signal applied to the negative polarity target of the load. Arc occurrence can be detected.

이어, 본 개시는, 아크 발생을 검지한 신호를 기반으로 아크 발생 극성을 판별할 수 있다(S20).Next, in the present disclosure, the polarity of arc occurrence can be determined based on the signal that detects arc occurrence (S20).

여기서, 본 개시는, 포지티브 극성 검지 신호와 네거티브 극성 검지 신호를 포함하는 검지 신호가 입력되면 포지티브 극성 검지 신호와 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력 중단 여부를 확인하고, 포지티브 극성 검지 신호의 펄스 입력과 네거티브 극성 검지 신호의 펄스 입력 중 적어도 어느 하나가 중단되면 펄스 입력이 중단되는 극성 타겟에 아크가 발생하는 것으로 인지할 수 있다.Here, the present disclosure checks whether the pulse input of the positive polarity detection signal and the negative polarity detection signal is interrupted when a detection signal including a positive polarity detection signal and a negative polarity detection signal is input, and determines whether the pulse input of the positive polarity detection signal and the negative polarity detection signal are interrupted. When at least one of the pulse inputs of the polarity detection signal is interrupted, it can be recognized that an arc occurs in the polarity target where the pulse input is interrupted.

다음, 본 개시는, 판별된 아크 발생 극성으로 인가되는 출력 신호를 차단할 수 있다(S30).Next, the present disclosure can block the output signal applied with the determined arc generation polarity (S30).

여기서, 본 개시는, 아크 발생 극성이 판별되면 출력 스위치 회로를 제어하여 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호를 소정 시간 동안 차단할 수 있다.Here, in the present disclosure, when the arc generation polarity is determined, the output switch circuit can be controlled to block the output signal corresponding to the arc generation polarity for a predetermined time.

또한, 본 개시는, 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호를 차단하는 동안에, 아크가 발생하지 않는 다른 극성에 출력 신호 입력을 계속 유지할 수 있다.Additionally, the present disclosure can maintain input of an output signal to another polarity in which no arc occurs while blocking the output signal corresponding to the polarity in which the arc occurs.

그리고, 본 개시는, 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스(loss)를 산출할 수 있다(S40).In addition, the present disclosure can calculate the output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity (S40).

여기서, 본 개시는, 아크 발생 극성에 상응하는 출력 신호가 차단되면 출력 신호 차단 횟수를 카운트하여 1을 증가시키고, 출력 차단 시간에 상응하는 휴지기 시간(pause time)을 적용하며, 출력 신호 차단 횟수와 휴지기 시간을 기반으로 출력 로스를 산출할 수 있다.Here, in the present disclosure, when the output signal corresponding to the arc generation polarity is blocked, the number of output signal blocking is counted and increased by 1, a pause time corresponding to the output blocking time is applied, and the output signal blocking number and Output loss can be calculated based on idle time.

일 예로, 본 개시는, LOSS = CNT * TIME (여기서, LOSS는 극성별 출력 로스, CNT는 극성별 출력 신호 차단 횟수, TIME는 극성별 휴지기 시간임)으로 이루어지는 수식으로 출력 로스를 산출할 수 있다.As an example, in the present disclosure, the output loss can be calculated using a formula consisting of LOSS = CNT * TIME (where LOSS is the output loss for each polarity, CNT is the number of output signal blocking times for each polarity, and TIME is the pause time for each polarity). .

이어, 본 개시는, 산출한 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다(S50).Next, in the present disclosure, the output ratio for each polarity can be adjusted based on the calculated output loss (S50).

여기서, 본 개시는, 포지티브 극성에 대한 포지티브 출력 로스와 네거티브 극성에 대한 네거티브 출력 로스가 각각 산출되면 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스간의 편차를 산출하고, 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다.Here, the present disclosure calculates the deviation between the positive output loss and the negative output loss when the positive output loss for the positive polarity and the negative output loss for the negative polarity are respectively calculated, and adjusts the output ratio for each polarity based on the calculated deviation. You can.

일 예로, 본 개시는, 포지티브 출력 로스가 네거티브 출력 로스보다 더 클 때, 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스 사이의 편차가 기준값 이상이면 포지티브 출력 비율을 증가시키고 네거티브 출력 비율을 감소시키며, 포지티브 출력 로스가 네거티브 출력 로스보다 더 작을 때, 포지티브 출력 로스와 네거티브 출력 로스 사이의 편차가 기준값 이상이면 포지티브 출력 비율을 감소시키고 네거티브 출력 비율을 증가시킬 수 있다.As an example, the present disclosure increases the positive output ratio and decreases the negative output ratio when the positive output loss is greater than the negative output loss and the deviation between the positive output loss and the negative output loss is greater than the reference value, and the positive output loss is greater than the negative output loss. When it is smaller than the negative output loss, if the deviation between the positive output loss and the negative output loss is more than the reference value, the positive output ratio can be decreased and the negative output ratio can be increased.

이와 같이, 본 개시는, 출력 펄스 스위치 컨트롤을 통한 극성별 출력 비율 조정 기능을 수행하여, 아크로 인한 타겟 라이프의 밸런싱 조정에 국한된 것이 아니라, 듀얼 마그네트론 플라즈마 공정에서 임의적으로 적용하여 각 타겟에서의 출력 조정에 사용될 수 있다.In this way, the present disclosure performs an output ratio adjustment function for each polarity through output pulse switch control, and is not limited to balancing adjustment of target life due to arc, but is arbitrarily applied in a dual magnetron plasma process to adjust output at each target. can be used for

또한, 본 개시는, 해당 기능으로 극성별 다른 물질을 사용하거나 출력비율 조정을 통해 극성별 다른 전력량을 요구하는 공정에서 효과를 얻을 수 있다.Additionally, the present disclosure can be effective in processes that use different materials for each polarity or require different amounts of power for each polarity by adjusting the output ratio.

도 13은, 본 개시의 극성별 출력 비율 조정 과정을 좀 더 상세히 설명하기 위한 순서도이다.Figure 13 is a flow chart to explain in more detail the output ratio adjustment process for each polarity of the present disclosure.

도 13에 도시된 바와 같이, 본 개시는, 부하의 각 타겟으로 출력 신호가 출력되면(S110), 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지할 수 있다(S120).As shown in FIG. 13, in the present disclosure, when an output signal is output to each target of the load (S110), arc occurrence for each polarity can be detected based on the output signal (S120).

이어, 본 개시는, 검지 신호를 기반으로 아크 발생 극성을 판별할 수 있다(S130).Next, in the present disclosure, the arc generation polarity can be determined based on the detection signal (S130).

다음, 본 개시는, 판별된 아크 발생 극성이 포지티브 극성이면 포지티브 극성 타겟으로 인가되는 출력 신호를 차단할 수 있다(S140).Next, in the present disclosure, if the determined arc generation polarity is positive polarity, the output signal applied to the positive polarity target can be blocked (S140).

그리고, 본 개시는, 아크 발생 극성인 포지티브 극성에 상응하는 출력 신호가 차단되면 포지티브 출력 신호 차단 횟수를 카운트하여 1을 증가시킬 수 있다(S150).In addition, in the present disclosure, when the output signal corresponding to the positive polarity, which is the arc generation polarity, is blocked, the number of times the positive output signal is blocked can be counted and increased by 1 (S150).

이어, 본 개시는, 포지티브 출력 차단 시간에 상응하는 휴지기 시간(pause time)을 적용할 수 있다(S160).Next, the present disclosure may apply a pause time corresponding to the positive output blocking time (S160).

다음, 본 개시는, 출력 신호 차단 횟수와 휴지기 시간을 기반으로 출력 로스를 산출할 수 있다(S170).Next, in the present disclosure, output loss can be calculated based on the number of output signal interruptions and idle time (S170).

한편, 본 개시는, 판별된 아크 발생 극성이 네거티브 극성이면 네거티브 극성 타겟으로 인가되는 출력 신호를 차단할 수 있다(S200).Meanwhile, in the present disclosure, if the determined arc generation polarity is negative polarity, the output signal applied to the negative polarity target can be blocked (S200).

그리고, 본 개시는, 아크 발생 극성인 네거티브 극성에 상응하는 출력 신호가 차단되면 네거티브 출력 신호 차단 횟수를 카운트하여 1을 증가시킬 수 있다(S210).In addition, in the present disclosure, when the output signal corresponding to the negative polarity, which is the arc generation polarity, is blocked, the number of times the negative output signal is blocked can be counted and increased by 1 (S210).

이어, 본 개시는, 네거티브 출력 차단 시간에 상응하는 휴지기 시간(pause time)을 적용할 수 있다(S220).Next, the present disclosure may apply a pause time corresponding to the negative output blocking time (S220).

다음, 본 개시는, 출력 신호 차단 횟수와 휴지기 시간을 기반으로 출력 로스를 산출할 수 있다(S230).Next, in the present disclosure, output loss can be calculated based on the number of output signal interruptions and idle time (S230).

그리고, 본 개시는, 포지티브 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스와 네거티브 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스 사이의 편차를 산출하고(S180), 산출한 편차를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정할 수 있다(S190).In addition, the present disclosure calculates the deviation between the output loss corresponding to the resting period of positive polarity and the output loss corresponding to the resting period of negative polarity (S180), and adjusts the output ratio for each polarity based on the calculated deviation ( S190).

여기서, 본 개시는, 포지티브 출력 비율의 증가량과 네거티브 출력 비율의 감소량이 서로 동일하도록 조정하여 조정 전의 총 출력량과 조정 후의 총 출력량을 동일하게 유지할 수 있다.Here, in the present disclosure, the total output amount before adjustment and the total output amount after adjustment can be kept the same by adjusting the increase amount of the positive output ratio and the decrease amount of the negative output ratio to be equal to each other.

또한, 본 개시는, 포지티브 출력 비율의 감소량과 네거티브 출력 비율의 증가량이 서로 동일하도록 조정하여 조정 전의 총 출력량과 조정 후의 총 출력량을 동일하게 유지할 수도 있다.In addition, in the present disclosure, the amount of decrease in the positive output ratio and the amount of increase in the negative output rate can be adjusted to be equal to each other, so that the total output amount before adjustment and the total output amount after adjustment can be kept the same.

이와 같이, 본 개시는, 아크 발생 극성을 판별하여 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스를 산출하고, 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정함으로써, 극성별 타겟 물질의 라이프타임을 동일하게 유지하고 플라즈마 공정의 안정성을 증대시키며 소스 이용률 향상 및 효율적인 운용이 가능하다.In this way, the present disclosure determines the arc generation polarity, calculates the output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity, and adjusts the output ratio for each polarity based on the output loss, thereby maintaining the same lifetime of the target material for each polarity. It maintains and increases the stability of the plasma process, improves source utilization, and enables efficient operation.

이상에서 전술한 본 개시의 일 실시예에 따른 방법은, 하드웨어인 서버와 결합되어 실행되기 위해 프로그램(또는 어플리케이션)으로 구현되어 매체에 저장될 수 있다.The method according to an embodiment of the present disclosure described above may be implemented as a program (or application) and stored in a medium in order to be executed in combination with a server, which is hardware.

상기 전술한 프로그램은, 상기 컴퓨터가 프로그램을 읽어 들여 프로그램으로 구현된 상기 방법들을 실행시키기 위하여, 상기 컴퓨터의 프로세서(CPU)가 상기 컴퓨터의 장치 인터페이스를 통해 읽힐 수 있는 C, C++, JAVA, 기계어 등의 컴퓨터 언어로 코드화된 코드(Code)를 포함할 수 있다. 이러한 코드는 상기 방법들을 실행하는 필요한 기능들을 정의한 함수 등과 관련된 기능적인 코드(Functional Code)를 포함할 수 있고, 상기 기능들을 상기 컴퓨터의 프로세서가 소정의 절차대로 실행시키는데 필요한 실행 절차 관련 제어 코드를 포함할 수 있다. 또한, 이러한 코드는 상기 기능들을 상기 컴퓨터의 프로세서가 실행시키는데 필요한 추가 정보나 미디어가 상기 컴퓨터의 내부 또는 외부 메모리의 어느 위치(주소 번지)에서 참조되어야 하는지에 대한 메모리 참조관련 코드를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 컴퓨터의 프로세서가 상기 기능들을 실행시키기 위하여 원격(Remote)에 있는 어떠한 다른 컴퓨터나 서버 등과 통신이 필요한 경우, 코드는 상기 컴퓨터의 통신 모듈을 이용하여 원격에 있는 어떠한 다른 컴퓨터나 서버 등과 어떻게 통신해야 하는지, 통신 시 어떠한 정보나 미디어를 송수신해야 하는지 등에 대한 통신 관련 코드를 더 포함할 수 있다.The above-mentioned program is C, C++, JAVA, machine language, etc. that can be read by the processor (CPU) of the computer through the device interface of the computer in order for the computer to read the program and execute the methods implemented in the program. It may include code coded in a computer language. These codes may include functional codes related to functions that define the necessary functions for executing the methods, and include control codes related to execution procedures necessary for the computer's processor to execute the functions according to predetermined procedures. can do. In addition, these codes may further include memory reference-related codes that indicate at which location (address address) in the computer's internal or external memory additional information or media required for the computer's processor to execute the above functions should be referenced. there is. In addition, if the computer's processor needs to communicate with any other remote computer or server in order to execute the above functions, the code uses the computer's communication module to determine how to communicate with any other remote computer or server. It may further include communication-related codes regarding whether communication should be performed and what information or media should be transmitted and received during communication.

상기 저장되는 매체는, 레지스터, 캐쉬, 메모리 등과 같이 짧은 순간 동안 데이터를 저장하는 매체가 아니라 반영구적으로 데이터를 저장하며, 기기에 의해 판독(reading)이 가능한 매체를 의미한다. 구체적으로는, 상기 저장되는 매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피디스크, 광 데이터 저장장치 등이 있지만, 이에 제한되지 않는다. 즉, 상기 프로그램은 상기 컴퓨터가 접속할 수 있는 다양한 서버 상의 다양한 기록매체 또는 사용자의 상기 컴퓨터상의 다양한 기록매체에 저장될 수 있다. 또한, 상기 매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장될 수 있다.The storage medium refers to a medium that stores data semi-permanently and can be read by a device, rather than a medium that stores data for a short period of time, such as a register, cache, or memory. Specifically, examples of the storage medium include ROM, RAM, CD-ROM, magnetic tape, floppy disk, optical data storage device, etc., but are not limited thereto. That is, the program may be stored in various recording media on various servers that the computer can access or on various recording media on the user's computer. Additionally, the medium may be distributed to computer systems connected to a network, and computer-readable code may be stored in a distributed manner.

본 개시의 실시예와 관련하여 설명된 방법 또는 알고리즘의 단계들은 하드웨어로 직접 구현되거나, 하드웨어에 의해 실행되는 소프트웨어 모듈로 구현되거나, 또는 이들의 결합에 의해 구현될 수 있다. 소프트웨어 모듈은 RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory), EPROM(Erasable Programmable ROM), EEPROM(Electrically Erasable Programmable ROM), 플래시 메모리(Flash Memory), 하드 디스크, 착탈형 디스크, CD-ROM, 또는 본 개시가 속하는 기술 분야에서 잘 알려진 임의의 형태의 컴퓨터 판독가능 기록매체에 상주할 수도 있다.The steps of the method or algorithm described in connection with the embodiments of the present disclosure may be implemented directly in hardware, implemented as a software module executed by hardware, or a combination thereof. The software module may be RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), EPROM (Erasable Programmable ROM), EEPROM (Electrically Erasable Programmable ROM), Flash Memory, hard disk, removable disk, CD-ROM, or It may reside on any type of computer-readable recording medium well known in the art to which this disclosure pertains.

이상, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 개시의 실시예를 설명하였지만, 본 개시가 속하는 기술분야의 통상의 기술자는 본 개시가 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며, 제한적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Above, embodiments of the present disclosure have been described with reference to the attached drawings, but those skilled in the art will understand that the present disclosure can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. You will be able to understand it. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.

Claims

an output signal generator that applies a first output signal to a positive polarity target and a second output signal to a negative polarity target;
an arc detection unit that detects arc occurrence for each polarity based on the first and second output signals; and
A control unit that controls the output signal generator based on the detection signal of the arc detection unit,
The control unit,
Determines the arc generation polarity based on the detection signal of the arc detection unit, controls the output signal generator to block the output signal applied to the determined arc generation polarity, and output loss corresponding to the rest period of the arc generation polarity ( loss) and controlling the output signal generator to adjust the output ratio for each polarity based on the calculated output loss.

According to claim 1,
The arc detection unit,
Located between the output terminal of the output signal generator and the load,
Detecting the occurrence of an arc in the positive polarity target based on the first output signal applied from the output terminal of the output signal generator to the positive polarity target of the load,
A dual pulse output device characterized in that it detects arc generation in the negative polarity target based on a second output signal applied from the output terminal of the output signal generator to the negative polarity target of the load.

According to clause 2,
The arc detection unit,
a buffer unit that stabilizes the first and second output signals respectively sensed from the output terminal of the output signal generator;
an amplification unit that amplifies the output signal of the buffer unit to a predetermined level;
an inverting amplifier that inverts the output signal of the amplifier; and
A dual pulse output device comprising a detection signal generator that obtains only negative (-) signals from the output signals of the amplifier and the inverting amplifier and generates detection signals for each polarity.

According to clause 3,
The buffer unit,
a first buffer that stabilizes the first output signal sensed from the output terminal of the output signal generator; and
It includes a second buffer that stabilizes the second output signal sensed from the output terminal of the output signal generator,
The amplifier unit,
A dual pulse output device comprising a single amplifier that amplifies the first output signal output from the first buffer and the second output signal output from the second buffer to a predetermined level.

According to clause 3,
The detection signal generator,
a first detection signal generating circuit that acquires only negative (-) signals from the output signal of the amplifier and generates a positive polarity detection signal applied to a positive polarity target; and
A dual pulse output device comprising a second detection signal generating circuit that obtains only a negative (-) signal from the output signal of the inverting amplifier and generates a negative polarity detection signal applied to the negative polarity target.

According to claim 1,
The control unit,
When determining the arc occurrence polarity, if a detection signal including a positive polarity detection signal and a negative polarity detection signal is input from the arc detection unit, check whether the pulse input of the positive polarity detection signal and the negative polarity detection signal is interrupted, A dual pulse output device, characterized in that when at least one of the pulse input of the positive polarity detection signal and the pulse input of the negative polarity detection signal is interrupted, it is recognized that an arc occurs in the polarity target where the pulse input is interrupted.

According to claim 1,
The control unit,
When controlling the output signal blocking, when the arc generation polarity is determined, the output switch circuit of the output signal generator is controlled to block the output signal corresponding to the arc generation polarity for a predetermined time. .

According to clause 7,
The control unit,
A dual pulse output device characterized in that while blocking the output signal corresponding to the polarity in which the arc occurs, the output signal input to the other polarity in which the arc does not occur is maintained.

According to clause 7,
The control unit,
When the arc generation polarity is determined to be a positive polarity, the output switch circuit of the output signal generator is controlled to block only the first output signal input to the positive polarity target in which the arc occurs for a predetermined time, and the negative polarity target in which the arc does not occur. Continuing to maintain the second output signal input to
When the arc generation polarity is determined to be a negative polarity, the output switch circuit of the output signal generator is controlled to block only the second output signal input to the negative polarity target in which the arc occurs for a predetermined time, and the positive polarity target in which the arc does not occur. A dual pulse output device characterized in that it continues to maintain the first output signal input.

According to claim 1,
The control unit,
When calculating the output loss, if the output signal corresponding to the arc generation polarity is blocked, the number of times the output signal is blocked is counted and incremented by 1, and a pause time corresponding to the output blocking time is applied. , A dual pulse output device characterized in that output loss is calculated based on the number of output signal interruptions and the idle time.

According to claim 10,
The control unit,
A dual pulse output device characterized in that the output loss is calculated using a formula consisting of LOSS = CNT * TIME (where LOSS is the output loss for each polarity, CNT is the number of output signal blocks for each polarity, and TIME is the pause time for each polarity). .

According to claim 1,
The control unit,
When adjusting the output ratio for each polarity, if the positive output loss for the positive polarity and the negative output loss for the negative polarity are calculated, the deviation between the positive output loss and the negative output loss is calculated, and based on the calculated deviation, A dual pulse output device characterized by adjusting the output ratio for each polarity.

According to claim 12,
The control unit,
When the positive output loss is greater than the negative output loss, increasing the positive output ratio and decreasing the negative output ratio if the deviation between the positive output loss and the negative output loss is greater than a reference value,
When the positive output loss is smaller than the negative output loss, the dual pulse reduces the positive output ratio and increases the negative output ratio when the deviation between the positive output loss and the negative output loss is greater than a reference value. Output device.

According to claim 13,
The control unit,
When increasing the positive output ratio and decreasing the negative output ratio, adjust the amount of increase in the positive output ratio and the amount of decrease in the negative output ratio to be equal to each other, so that the total output amount before adjustment and the total output amount after adjustment are kept the same,
When decreasing the positive output ratio and increasing the negative output ratio, the amount of decrease in the positive output ratio and the amount of increase in the negative output ratio are adjusted to be equal to each other to keep the total output amount before adjustment and the total output amount after adjustment the same. Features a dual pulse output device.

According to claim 12,
The control unit,
When adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the output ratio for each polarity is adjusted by additionally considering the material characteristics of the positive polarity target and the material characteristics of the negative polarity target. A dual pulse output device.

According to claim 15,
The control unit,
In a plasma process environment, if the material characteristics of the positive polarity target are materials with stronger resistance than the material characteristics of the negative polarity target, the positive output ratio is increased and the negative output ratio is decreased,
In the plasma process environment, if the material characteristics of the negative polarity target are materials with stronger resistance than the material characteristics of the positive polarity target, the positive output ratio is reduced and the negative output ratio is increased. Device.

According to claim 12,
The control unit,
A dual pulse output device, characterized in that when adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated deviation, the output ratio for each polarity is adjusted by additionally considering plasma process conditions for thin film formation.

According to claim 17,
The control unit,
If the plasma process conditions for forming the thin film are such that the power amount of the positive polarity target is greater than the power amount of the negative polarity target, the positive output ratio is increased and the negative output ratio is decreased,
When the plasma process conditions for forming the thin film are such that the power amount of the positive polarity target is smaller than the power amount of the negative polarity target, the positive output ratio is reduced and the negative output ratio is increased. Dual pulse output device.

In the dual pulse output method of a dual pulse output device that provides an output signal to a target for each polarity,
Detecting arc occurrence for each polarity based on the output signal;
Determining the arc generation polarity based on the signal detecting the arc generation;
blocking the output signal applied with the determined arc generation polarity;
calculating an output loss corresponding to a rest period of the arc generation polarity; and
A dual pulse output method comprising the step of adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated output loss.

A computer program combined with a hardware computer and stored on a medium to perform a dual pulse output method that provides output signals to targets for each polarity, the dual pulse output method comprising:
Detecting arc occurrence for each polarity based on the output signal;
Determining the arc generation polarity based on the signal detecting the arc generation;
blocking the output signal applied with the determined arc generation polarity;
calculating an output loss corresponding to a rest period of the arc generation polarity; and
A computer program comprising adjusting the output ratio for each polarity based on the calculated output loss.