KR102588354B1 - Optical phase array LiDAR having improved scan performance - Google Patents

Optical phase array LiDAR having improved scan performance Download PDF

Info

Publication number
KR102588354B1
KR102588354B1 KR1020210030142A KR20210030142A KR102588354B1 KR 102588354 B1 KR102588354 B1 KR 102588354B1 KR 1020210030142 A KR1020210030142 A KR 1020210030142A KR 20210030142 A KR20210030142 A KR 20210030142A KR 102588354 B1 KR102588354 B1 KR 102588354B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical phase
laser light
phase array
light
mems mirror
Prior art date
Application number
KR1020210030142A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20220126049A (en
Inventor
조승섭
이후상
황인엽
Original Assignee
한국알프스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국알프스 주식회사 filed Critical 한국알프스 주식회사
Priority to KR1020210030142A priority Critical patent/KR102588354B1/en
Publication of KR20220126049A publication Critical patent/KR20220126049A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102588354B1 publication Critical patent/KR102588354B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483—Details of pulse systems
    • G01S7/484—Transmitters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/483—Details of pulse systems
    • G01S7/486—Receivers
    • G01S7/4861—Circuits for detection, sampling, integration or read-out
    • G01S7/4863—Detector arrays, e.g. charge-transfer gates
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0911—Anamorphotic systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0916—Adapting the beam shape of a semiconductor light source such as a laser diode or an LED, e.g. for efficiently coupling into optical fibers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/095—Refractive optical elements
    • G02B27/0955—Lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
    • G02B3/04—Simple or compound lenses with non-spherical faces with continuous faces that are rotationally symmetrical but deviate from a true sphere, e.g. so called "aspheric" lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/08—Mirrors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A90/00—Technologies having an indirect contribution to adaptation to climate change
    • Y02A90/10—Information and communication technologies [ICT] supporting adaptation to climate change, e.g. for weather forecasting or climate simulation

Abstract

개시되는 발명은 광위상 배열 라이다에 관한 것으로서, 레이저 광을 발생하는 발광소자;와, 상기 발광소자에서 발생한 레이저 광을 입력받아 상기 레이저 광의 출사 각도를 조절하는 광위상 배열 소자;와, 상기 광위상 배열 소자에서 출사되는 레이저 광의 반사 각도를 조절하는 멤스 거울;과, 상기 멤스 거울에서 반사된 레이저 광이 통과하는 평면-오목 렌즈;와, 대상체에서 반사된 반사광을 수집하는 수광 렌즈;와, 상기 수광 렌즈에서 수집한 반사광을 전기신호로 변환하는 수광소자; 및 상기 발광소자 및 광위상 배열 소자의 구동과, 상기 멤스 거울의 각도 조절과, 상기 수광소자의 전기신호를 처리하는 제어부;를 포함한다.The disclosed invention relates to an optical phased array LIDAR, which includes a light-emitting device that generates laser light; an optical phased array device that receives laser light generated from the light-emitting device and adjusts an emission angle of the laser light; and, the light A MEMS mirror that adjusts the reflection angle of the laser light emitted from the phased array element; A plano-concave lens through which the laser light reflected from the MEMS mirror passes; A light receiving lens that collects the reflected light reflected from the object; A light receiving element that converts the reflected light collected by the light receiving lens into an electrical signal; and a control unit that drives the light emitting element and the optical phase array element, adjusts the angle of the MEMS mirror, and processes the electrical signal of the light receiving element.

Description

스캔 성능이 향상된 광위상 배열 라이다{Optical phase array LiDAR having improved scan performance}Optical phase array LiDAR having improved scan performance}

본 발명은 라이다에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 멤스 거울(MEMS Mirror)을 포함하는 광학계의 설게를 통해 광위상 배열 라이다가 스캔할 수 있는 각도를 증폭하는 광위상 배열 라이다에 관한 것이다.The present invention relates to LiDAR, and more specifically, to an optical phase array LiDAR that amplifies the angle at which the optical phase array LiDAR can be scanned through the design of an optical system including a MEMS mirror.

라이다는 레이저 펄스를 발사하고, 그 빛이 주위의 대상 물체에서 반사되어 돌아오는 것을 받아 물체까지의 거리 등을 측정함으로써 주변의 모습을 정밀하게 그려내는 장치이다. 라이다라는 명칭은 전파 대신에 빛을 쓰는 레이다를 뜻하는 것으로서, 라이다는 전통적인 레이다와 원리가 같으나 그 사용하는 전자기파의 파장이 다르므로 실제 이용 기술과 활용 범위는 다르다.Lidar is a device that accurately depicts the surroundings by firing a laser pulse, receiving the light reflected from surrounding objects, and measuring the distance to the object. The name LIDAR refers to a radar that uses light instead of radio waves. LiDAR has the same principle as traditional radar, but the wavelength of electromagnetic waves it uses is different, so the actual technology and scope of use are different.

라이다는 대상 물체까지의 거리 뿐 아니라 움직이는 속도와 방향, 온도, 주변의 대기 물질 분석 및 농도 측정 등에 쓰인다. 자외선, 가시광선, 근적외선 등을 사용하여 금속성인 아닌 바위나 구름, 빗방울, 에어로졸 등을 감지할 수 있어서 기상 관측에 이용되고, 지형을 정밀하게 그려내거나, 비행체의 착륙 유도나 자율 주행차의 주변 인식 장치로 사용되기도 한다, 또한, 최근 들어 라이다는 3차원 영상을 구현하기 위해 필요한 정보를 습득하는 센서의 핵심 기술로 등장하여 그 활용범위는 더욱 확장되고 있다.LIDAR is used to measure not only the distance to the target object, but also the speed and direction of movement, temperature, and analysis and concentration of surrounding atmospheric substances. Ultraviolet rays, visible rays, near-infrared rays, etc. can be used to detect non-metallic rocks, clouds, raindrops, aerosols, etc., and are used for weather observation, precise drawing of terrain, landing guidance for aircraft, and surrounding awareness for autonomous vehicles. It is also used as a device. Recently, LiDAR has emerged as a core sensor technology that acquires the information necessary to create 3D images, and its scope of use is further expanding.

라이다 스캐닝 방법은 레이저를 통해 광원을 출사하고, 대상에서 일부 반사된 빛을 인식하여 스캐닝 하는 방법이다. 넓은 범위를 스캔하기 위해서는 광원이 일정 각도로 출사 되어야 하는데, 일정 각도를 출사하기 위한 방법은 레이저가 자체적으로 각도를 변화하며 출사하는 방법과 멤스 거울(MEMS Mirror)과 같은 기구물을 이용해 각도를 변화시켜 출사하는 방법이 있다.The LiDAR scanning method is a method of emitting a light source through a laser and scanning by recognizing some of the light reflected from the target. In order to scan a wide range, the light source must emit at a certain angle. The method for emitting at a certain angle is to emit the laser while changing its angle, or to change the angle using devices such as a MEMS mirror. There is a way to enter the workforce.

그런데, 레이저를 자체적으로 회전하여 각도를 변화시키는 시스템은 구조가 복잡하고 레이저 다이오드를 다중으로 사용하여야 하므로 비용이 높아진다는 문제가 있다. 따라서, 이에 대한 대안으로서 레이저를 고정하고 멤스 거울을 이용하여 각도를 조절하는 시스템이 제안되었으나, 고정형 멤스 거울은 ±5° 이상의 각도와 1m 이상의 거리를 확보하기 어려운 단점이 있다. 각도의 변화량이 클수록 스캔 거리나 스캔 범위가 넓어지게 되므로, 라이다의 성능향상을 위해 기존 멤스 거울 방식의 라이다를 개선할 필요가 있다.However, the system that changes the angle by rotating the laser on its own has a complicated structure and requires the use of multiple laser diodes, which increases the cost. Accordingly, as an alternative to this, a system that fixes the laser and adjusts the angle using a MEMS mirror has been proposed, but the fixed MEMS mirror has the disadvantage of making it difficult to secure an angle of more than ±5° and a distance of more than 1 m. The larger the change in angle, the wider the scanning distance or scanning range, so there is a need to improve the existing MEMS mirror-type LIDAR to improve LIDAR performance.

미국공개특허 제2020-0343683호 (2020.10.29 공개)U.S. Patent Publication No. 2020-0343683 (published on October 29, 2020)

본 발명은 광위상 배열 소자와 멤스 거울, 그리고 레이저 광의 경로와 빔 사이드를 조절하는 광하계의 유기적인 설계를 통해 스캔 범위와 거리를 향상시키는 라이다 센서를 제공하는데 그 목적이 있다.The purpose of the present invention is to provide a LiDAR sensor that improves the scanning range and distance through the organic design of an optical phase array element, a MEMS mirror, and an optical system that controls the path and beam side of the laser light.

본 발명은 광위상 배열 라이다에 관한 것으로서, 레이저 광을 발생하는 발광소자;와, 상기 발광소자에서 발생한 레이저 광을 입력받아 상기 레이저 광의 출사 각도를 조절하는 광위상 배열 소자;와, 상기 광위상 배열 소자에서 출사되는 레이저 광의 반사 각도를 조절하는 멤스 거울;과, 상기 멤스 거울에서 반사된 레이저 광이 통과하는 평면-오목 렌즈;와, 대상체에서 반사된 반사광을 수집하는 수광 렌즈;와, 상기 수광 렌즈에서 수집한 반사광을 전기신호로 변환하는 수광소자; 및 상기 발광소자 및 광위상 배열 소자의 구동과, 상기 멤스 거울의 각도 조절과, 상기 수광소자의 전기신호를 처리하는 제어부;를 포함한다.The present invention relates to an optical phased array LIDAR, comprising: a light-emitting device that generates laser light; an optical phased array device that receives laser light generated from the light-emitting device and adjusts an emission angle of the laser light; and A MEMS mirror that adjusts the reflection angle of the laser light emitted from the array element; A plano-concave lens through which the laser light reflected from the MEMS mirror passes; A light receiving lens that collects the reflected light reflected from the object; And, The light receiving lens A light receiving element that converts the reflected light collected from the lens into an electrical signal; and a control unit that drives the light emitting element and the optical phase array element, adjusts the angle of the MEMS mirror, and processes the electrical signal of the light receiving element.

여기서, 상기 멤스 거울이 중립 위치일 때 레이저 광은 상기 평면-오목 렌즈의 중앙을 통과하여 광 경로에 변화가 없고, 상기 멤스 거울의 각도가 조정되어 상기 레이저 광이 상기 평면-오목 렌즈의 주변을 통과하면 광 경로가 발산하여 상기 레이저 광의 출사 각도가 증폭된다.Here, when the MEMS mirror is in a neutral position, the laser light passes through the center of the plano-concave lens and there is no change in the optical path, and the angle of the MEMS mirror is adjusted so that the laser light passes through the periphery of the plano-concave lens. As it passes, the optical path diverges and the exit angle of the laser light is amplified.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 평면-오목 렌즈는, 주변부에서 발생하는 수차를 보정하기 위한 비구면 렌즈인 것이 바람직할 수 있다.In one embodiment of the present invention, it may be preferable that the plano-concave lens is an aspherical lens for correcting aberration occurring in the peripheral area.

그리고, 상기 광위상 배열 소자와 멤스 거울 사이의 거리를 단축하도록, 상기 광위상 배열 소자에 대해 상기 멤스 거울의 반사면이 경사를 이룰 수 있다.Additionally, the reflective surface of the MEMS mirror may be inclined with respect to the optical phase array element to shorten the distance between the optical phase array element and the MEMS mirror.

그리고, 상기 멤스 거울과 평면-오목 렌즈 사이에 배치되는 평면-볼록 렌즈를 더 포함하고, 상기 평면-볼록 렌즈는 상기 멤스 거울에서 반사된 레이저 광의 빔 사이즈를 축소한다.And, it further includes a plano-convex lens disposed between the MEMS mirror and the plano-concave lens, and the plano-convex lens reduces the beam size of the laser light reflected from the MEMS mirror.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 평면-볼록 렌즈는, 상기 광위상 배열 소자에서 출사되는 레이저 광의 가우시안 빔 형태를 보정하기 위한, X축과 Y축의 곡률반경이 다른 애너모픽 렌즈일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the plano-convex lens may be an anamorphic lens with different curvature radii of the X and Y axes for correcting the Gaussian beam shape of the laser light emitted from the optical phase array element.

그리고, 상기 평면-오목 렌즈와 평면-볼록 렌즈는, 각 렌즈의 평면이 서로 마주보도록 배열될 수 있다.Additionally, the plane-concave lens and the plane-convex lens may be arranged so that the planes of each lens face each other.

그리고, 상기 발광소자는 레이저 다이오드이고, 상기 수광소자는 포토 다이오드일 수 있다.Additionally, the light-emitting device may be a laser diode, and the light-receiving device may be a photodiode.

상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 광위상 배열 라이다에 의하면, 광위상 배열 소자를 통해 1차적으로 레이저 광의 스캔 범위와 각도를 확장하고, 광위상 배열 소자가 허용하는 범위를 초과해서는 멤스 거울의 반사면을 조정하고 평면-오목 렌즈를 통해 레이저 광의 스캔 범위를 증폭할 수 있다. 따라서, 본 발명의 광위상 배열 라이다는 컴팩트한 사이즈에서도 라이다 센서의 스캔 거리와 각도를 크게 향상할 수 있다.According to the optical phased array LiDAR of the present invention having the above configuration, the scanning range and angle of the laser light is primarily expanded through the optical phased array element, and the MEMS mirror is The reflecting surface can be adjusted and the scanning range of the laser light can be amplified through a plano-concave lens. Therefore, the optical phased array LiDAR of the present invention can greatly improve the scanning distance and angle of the LiDAR sensor even in a compact size.

또한, 본 발명의 광위상 배열 라이다는 평면-볼록 렌즈를 통해 선행적으로 레이저 광의 빔 사이즈를 축소함으로써 라이다 센서의 해상도를 향상하게 된다.In addition, the optical phased array LiDAR of the present invention improves the resolution of the LiDAR sensor by proactively reducing the beam size of the laser light through a plano-convex lens.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 상세한 설명으로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the detailed description below.

도 1은 본 발명에 따른 광위상 배열 라이다의 전체적인 구성을 도시한 도면.
도 2는 도 1의 광위상 배열 라이다를 구성하는 출사부의 구성을 도시한 도면.
도 3은 도 2의 출사부에서 일어나는 레이저 광의 경로를 도시한 도면.
도 4는 광위상 배열 소자에서 출사하는 레이저 광의 형태를 보여주는 도면.
도 5는 도 2에 도시된 평면-볼록 렌즈에 의해 레이저 광의 빔 사이즈가 축소되는 효과를 도시한 도면.Figure 1 is a diagram showing the overall configuration of an optical phase array lidar according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing the configuration of an emitting unit constituting the optical phase array LIDAR of FIG. 1.
FIG. 3 is a diagram showing the path of laser light occurring in the emitter of FIG. 2.
Figure 4 is a diagram showing the form of laser light emitted from the optical phased array element.
FIG. 5 is a diagram showing the effect of reducing the beam size of laser light by the plano-convex lens shown in FIG. 2.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various different forms, and the present embodiments are merely intended to ensure that the disclosure of the present invention is complete and to provide common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다. 본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings that can be commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined. The terms used in this specification are for describing embodiments and are not intended to limit the invention. As used herein, singular forms also include plural forms, unless specifically stated otherwise in the context.

본 명세서에서 사용되는 "포함한다 (comprises)" 및/또는 "포함하는 (comprising)"은 언급된 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.As used herein, “comprises” and/or “comprising” refers to a referenced component, step, operation and/or element that includes one or more other components, steps, operations and/or elements. Does not exclude presence or addition.

도 1은 본 발명에 따른 광위상 배열 라이다(10)의 전체적인 구성을 도시한 도면이다. 첨부된 도면을 참조하면, 본 발명의 광위상 배열 라이다(10)는 크게 나누어 출사부(100)와 수광부(200), 그리고 제어부(300)를 포함한다.Figure 1 is a diagram showing the overall configuration of the optical phase array LIDAR 10 according to the present invention. Referring to the attached drawings, the optical phase array LIDAR 10 of the present invention broadly includes an emitter 100, a light receiver 200, and a control unit 300.

출사부(100)는 라이다 스캔을 위해, 광 경로가 조절된 레이저 광이 출사되는 일체의 구성요소를 포함한다. 출사부(100)는 레이저 광을 발생하는 발광소자(110), 예를 들어 레이저 다이오드를 구비하며, 발광소자(110)에서 발생한 레이저 광은 다음과 같은 방식으로서 광 경로가 조절 및 제어된다.The emitter 100 includes all components that emit laser light with an adjusted optical path for LiDAR scanning. The emitter 100 includes a light-emitting device 110 that generates laser light, for example, a laser diode. The optical path of the laser light generated by the light-emitting device 110 is adjusted and controlled in the following manner.

발광소자(110)에서 발생한 레이저 광은 광위상 배열 소자(120)로 입력된다. 광위상 배열 소자(120)는 전기적으로 빛의 방향을 조절할 수 있는 소자로서, 근래에 개발되는 실리콘 기반의 광위상 배열 소자는 크기는 작고 내구성이 높으며, 기존의 반도체 칩 생산설비를 이용할 수 있어 대량생산이 가능한다. 본 발명에서 광위상 배열 소자(120)는 발광소자(110)에서 발생한 레이저 광을 입력받아 그 출사 각도를 조절하며, 이를 통해 라이다 스캔의 범위와 각도가 1차적으로 제어된다.Laser light generated from the light emitting device 110 is input to the optical phased array device 120. The optical phased array element 120 is a device that can electrically control the direction of light. Recently developed silicon-based optical phased array elements are small in size, highly durable, and can be used in existing semiconductor chip production facilities, allowing them to be mass-produced. Production is possible. In the present invention, the optical phase array element 120 receives the laser light generated from the light emitting element 110 and adjusts its emission angle, and through this, the range and angle of the LiDAR scan are primarily controlled.

그리고, 광위상 배열 소자(120)에서 출사되는 레이저 광의 반사 각도는 멤스 거울(130)에 의해 다시 조절된다. 그리고, 멤스 거울(130)에서 반사된 레이저 광은 평면-오목 렌즈(140)를 통과하게 된다.And, the reflection angle of the laser light emitted from the optical phase array element 120 is adjusted again by the MEMS mirror 130. Then, the laser light reflected from the MEMS mirror 130 passes through the plane-concave lens 140.

도 2는 출사부(100)의 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 출사부(100)에서 일어나는 레이저 광의 경로를 도시한 도면이다. 전술한 바와 같이, 레이저 광은 광위상 배열 소자(120)를 거쳐 멤스 거울(130)에서 반사되고, 반사된 레이저 광은 평면-오목 렌즈(140)를 통과한다. FIG. 2 is a diagram showing the configuration of the emitter 100, and FIG. 3 is a diagram showing the path of laser light occurring in the emitter 100 of FIG. 2. As described above, the laser light is reflected from the MEMS mirror 130 through the optical phase array element 120, and the reflected laser light passes through the plano-concave lens 140.

이때, 멤스 거울(130)이 중립 위치일 때 레이저 광은 평면-오목 렌즈(140)의 중앙을 통과하게 되며, 평면-오목 렌즈(140)의 중앙에서는 굴절이 일어나지 않기 때문에 레이저 광의 경로에는 변화가 생기지 않는다. 즉, 광위상 배열 소자(120)에서 조절된 방향 그대로 레이저 광은 출사부(100)에서 대상체(400)를 향하게 된다.At this time, when the MEMS mirror 130 is in a neutral position, the laser light passes through the center of the plane-concave lens 140, and since refraction does not occur in the center of the plane-concave lens 140, there is no change in the path of the laser light. does not occur That is, the laser light is directed from the emitter 100 to the object 400 in the same direction as adjusted by the optical phase array element 120.

반면, 멤스 거울(130)의 각도가 중립 위치에서 벗어나게 되면, 멤스 거울(130)에서 반사된 레이저 광은 평면-오목 렌즈(140)의 중앙을 지나지 못하고 평면-오목 렌즈(140)의 주변을 통과하게 된다. 평면-오목 렌즈(140)는 발산형 렌즈이므로, 평면-오목 렌즈(140)의 주변을 통과하는 레이저 광의 각도는 최초 광위상 배열 소자(120)에서 조절된 방향보다 더 크게 출사 각도가 증폭된다. 다시 말해, 멤스 거울(130)의 각도를 조정함으로써, 레이저 광의 스캔 범위가 확장되는 것이다.On the other hand, when the angle of the MEMS mirror 130 deviates from the neutral position, the laser light reflected from the MEMS mirror 130 does not pass through the center of the plane-concave lens 140 but passes through the periphery of the plane-concave lens 140. I do it. Since the plane-concave lens 140 is a divergent lens, the angle of laser light passing through the periphery of the plane-concave lens 140 is amplified to a greater angle than the direction initially adjusted in the optical phase array element 120. In other words, by adjusting the angle of the MEMS mirror 130, the scanning range of the laser light is expanded.

멤스 거울(130)의 반사면 조정은 보통 광위상 배열 소자(120)에서 담당할 수 있는 스캔 범위를 초과하는 경우에 이루어질 수 있으며, 이와 같이 본 발명은 광위상 배열 소자(120)와 멤스 거울(130), 그리고 평면-오목 렌즈(140)의 유기적 조합을 통해 라이다 센서의 스캔 능력을 향상하게 된다.Adjustment of the reflection surface of the MEMS mirror 130 can be made when it exceeds the scan range that can be handled by the optical phase array element 120, and as such, the present invention provides the optical phase array element 120 and the MEMS mirror ( 130), and the organic combination of the planar-concave lens 140 improves the scanning ability of the LiDAR sensor.

그리고, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 평면-오목 렌즈(140)는, 렌즈의 주변부에서 발생하는 수차를 보정하기 위한 비구면 렌즈인 것이 바람직할 수 있다. 비구면 렌즈로 평면-오목 렌즈(140)를 설계하면, 평면-오목 렌즈(140)의 중앙에서 벗어날수록 굴절률이 커지기 때문에 레이저 광의 스캔 범위를 증폭하는데 유리하다.And, according to one embodiment of the present invention, the plano-concave lens 140 may preferably be an aspherical lens for correcting aberrations occurring in the peripheral portion of the lens. If the plano-concave lens 140 is designed as an aspherical lens, the refractive index increases as the distance from the center of the plano-concave lens 140 increases, which is advantageous in amplifying the scanning range of the laser light.

수광부(200)는 대상체(400)에서 반사된 레이저 광을 수집하고, 이를 전기신호로 변환하기 위한 구성이다. 수광부(200)는 디지털 광학기기에 일반적으로 구비되는 구성으로서, 대상체(400)에서 반사된 반사광을 집약하여 수집하는 수광 렌즈(210)와, 수광 렌즈(210)에서 수집한 반사광을 전기신호로 변환하는 수광소자(220)를 포함한다. 수광소자(220)에서 출력하는 전기신호를 처리함으로써 대상체(400)에 대한 정보를 얻어낼 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서, 수광소자(220)는 포토 다이오드일 수 있다.The light receiving unit 200 is configured to collect laser light reflected from the object 400 and convert it into an electrical signal. The light receiving unit 200 is a component commonly provided in digital optical devices, and includes a light receiving lens 210 that collects and collects reflected light reflected from the object 400, and converts the reflected light collected by the light receiving lens 210 into an electrical signal. It includes a light receiving element 220. Information about the object 400 can be obtained by processing the electrical signal output from the light receiving element 220. In one embodiment of the present invention, the light receiving element 220 may be a photo diode.

여기서, 광위상 배열 소자(120)와 멤스 거울(130) 사이의 거리를 단축하도록, 광위상 배열 소자(120)에 대해 멤스 거울(130)의 반사면이 경사를 이룰 수 있다. Here, the reflecting surface of the MEMS mirror 130 may be inclined with respect to the optical phase array element 120 to shorten the distance between the optical phase array element 120 and the MEMS mirror 130.

수광소자(220)의 전기신호를 이미지 처리할 때는 레이저 광의 빔 사이즈가 한 픽셀의 크기가 되므로, 라이다 센서의 각해상도를 높이기 위해서는 빔 사이즈를 가능한 최소화하는 것이 중요하다. 빔 사이즈의 최소화 측면에서 광위상 배열 소자(120)와 멤스 거울(130)은 최대한 근접하는 것이 유리하므로, 광학적 왜곡이 일어나지 않는 한도에서 멤스 거울(130)의 반사면에 대해 광위상 배열 소자(120)를 비스듬하게 배치함으로써 그 거리를 줄일 수 있다. 본 발명의 일 실시형태에서는, 이러한 목적으로 8° 각도로 멤스 거울(130)을 기울였다.When image processing the electrical signal of the light receiving element 220, the beam size of the laser light becomes the size of one pixel, so it is important to minimize the beam size as much as possible in order to increase the angular resolution of the LiDAR sensor. In terms of minimizing the beam size, it is advantageous for the optical phase array element 120 and the MEMS mirror 130 to be as close as possible, so the optical phase array element 120 is placed on the reflective surface of the MEMS mirror 130 to the extent that optical distortion does not occur. ) can be reduced by placing it at an angle. In one embodiment of the invention, the MEMS mirror 130 is tilted at an 8° angle for this purpose.

그리고, 제어부(300)는 발광소자(110) 및 광위상 배열 소자(120)의 구동과, 멤스 거울(130)의 각도 조절과, 수광소자(220)의 전기신호를 처리하는 역할을 한다. 제어부(300)는 마이크로프로세서를 포함할 수 있으며, 소자의 제어에 관한 구성은 공지된 기술이기에 여기서는 상세한 설명을 생략한다.Additionally, the control unit 300 serves to drive the light emitting device 110 and the optical phase array device 120, adjust the angle of the MEMS mirror 130, and process electrical signals from the light receiving device 220. The control unit 300 may include a microprocessor, and since the configuration for controlling the device is a known technology, detailed description will be omitted here.

한편, 전술한 바와 같이, 라이다 센서의 해상도를 높이기 위해서는 빔 사이즈의 크기를 작게하는 것이 유리한다. 본 발명은 이를 위해, 멤스 거울(130)의 반사면에 대해 광위상 배열 소자(120)를 비스듬하게 배치하는 것 외에, 멤스 거울(130)과 평면-오목 렌즈(140) 사이에 배치되는 평면-볼록 렌즈(150)를 더 포함할 수 있다. 평면-볼록 렌즈(150)는 수렴형 렌즈로서, 멤스 거울(130)에서 반사된 레이저 광의 빔 사이즈를 축소하게 된다.Meanwhile, as described above, in order to increase the resolution of the LiDAR sensor, it is advantageous to reduce the beam size. For this purpose, the present invention not only arranges the optical phase array element 120 at an angle with respect to the reflecting surface of the MEMS mirror 130, but also arranges the optical phase array element 120 between the MEMS mirror 130 and the plane-concave lens 140. It may further include a convex lens 150. The plano-convex lens 150 is a converging lens and reduces the beam size of the laser light reflected from the MEMS mirror 130.

여기서, 레이저 광의 출사 경로를 기준으로 할 때, 평면-볼록 렌즈(150)는 평면-오목 렌즈(140) 앞에 위치한다. 이는 발산형 렌즈인 평면-오목 렌즈(140)를 거쳐 출사 각도가 증폭된 레이저 광의 빔 사이즈를 조정하는 것은 어렵기도 하고 광학계의 크기를 키우기 때문에 좋지 못하기 때문이다.Here, based on the exit path of the laser light, the plano-convex lens 150 is located in front of the plano-concave lens 140. This is because it is difficult to adjust the beam size of the laser light whose exit angle is amplified through the plane-concave lens 140, which is a divergent lens, and is not good because it increases the size of the optical system.

그리고, 평면-오목 렌즈(140)와 평면-볼록 렌즈(150)는, 각 렌즈의 평면이 서로 마주보도록 배열됨으로써 광학계 정렬이 정확하면서 단순하도록 효과적으로 설계될 수 있다.In addition, the plano-concave lens 140 and the plano-convex lens 150 can be effectively designed so that the optical system alignment is accurate and simple by arranging the planes of each lens to face each other.

한편, 도 4는 광위상 배열 소자(120)에서 출사하는 레이저 광의 형태를 보여주는 도면이다. 도면에 나타나 바와 같이, 광위상 배열 소자(120)에서 나오는 광원의 형태는 수직과 수평방향의 발산도가 다른 가우시안 빔의 형태를 이루고 있다. 가우시안 빔의 형태는 라이다 신호를 왜곡하기 때문에 보정하는 것이 바람직하다. 이를 위해, 평면-볼록 렌즈(150)는, 광위상 배열 소자(120)에서 출사되는 레이저 광의 가우시안 빔 형태를 보정하기 위해, X축과 Y축의 곡률반경이 다른 애너모픽 렌즈로 설계되는 것이 바람직하다.Meanwhile, FIG. 4 is a diagram showing the form of laser light emitted from the optical phased array element 120. As shown in the figure, the light source coming from the optical phase array element 120 takes the form of a Gaussian beam with different divergence in the vertical and horizontal directions. It is desirable to correct the shape of the Gaussian beam because it distorts the LIDAR signal. To this end, the plano-convex lens 150 is preferably designed as an anamorphic lens with different curvature radii of the X and Y axes in order to correct the Gaussian beam shape of the laser light emitted from the optical phase array element 120.

도 5는 평면-볼록 렌즈(150)에 의해 레이저 광의 빔 사이즈가 축소되는 효과를 도시한 도면이다. 도 5의 (a)는 평면-볼록 렌즈(150) 없이, 평면-오목 렌즈(140)만 구비된 경우의 빔 사이를 보여주는데, 기준거리에서 수평방향으로 8㎝, 수직방향으로 1.5㎝의 빔 사이즈를 나타내고 있다. FIG. 5 is a diagram showing the effect of reducing the beam size of laser light by the plano-convex lens 150. Figure 5 (a) shows the beam between the beams when only the plano-concave lens 140 is provided without the plano-convex lens 150, and the beam size is 8 cm in the horizontal direction and 1.5 cm in the vertical direction at the reference distance. It represents.

이에 비해, 도 5의 (b)는 빔 사이즈를 줄이고 가우시안 형태를 보정하기 위한 애너모픽 렌즈 형태의 평면-볼록 렌즈(150)가 부가된 경우의 빔 사이즈를 도시하고 있다. 동일한 거리에서, 빔 사이즈는 수평방향으로 1.2㎝, 수직방향으로 1.0㎝의 크기를 나타내고 있다. In contrast, Figure 5(b) shows the beam size when an anamorphic lens type plano-convex lens 150 is added to reduce the beam size and correct the Gaussian shape. At the same distance, the beam size is 1.2 cm in the horizontal direction and 1.0 cm in the vertical direction.

따라서, 애너모픽 렌즈 형태의 평면-볼록 렌즈(150)를 구비함으로써 빔 사이즈의 크기가 크게 축소되면서 수평/수직방향의 불균일성이 현저히 개선되었으며, 이는 곧 본 발명의 광위상 배열 라이다(10)의 해상도가 향상되었음을 나타내는 것이다.Therefore, by providing the plano-convex lens 150 in the form of an anamorphic lens, the beam size is greatly reduced and the unevenness in the horizontal/vertical directions is significantly improved, which in turn increases the resolution of the optical phase array LIDAR 10 of the present invention. This indicates that has improved.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the attached drawings, those skilled in the art will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. You will be able to understand it. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.

10: 광위상 배열 라이다
100: 출사부 110: 발광소자
120: 광위상 배열 소자 130: 멤스 거울
140: 평면-오목 렌즈 150: 평면-볼록 렌즈
200: 수광부 210: 수광 렌즈
220: 수광소자 300: 제어부
400: 대상체10: Optical phased array lidar
100: emitting unit 110: light emitting device
120: Optical phase array element 130: MEMS mirror
140: Plano-concave lens 150: Plane-convex lens
200: light receiving unit 210: light receiving lens
220: light receiving element 300: control unit
400: object

Claims (8)

레이저 광을 발생하는 발광소자;
상기 발광소자에서 발생한 레이저 광을 입력받아 상기 레이저 광의 출사 각도를 조절하는 광위상 배열 소자;
상기 광위상 배열 소자에서 출사되는 레이저 광의 반사 각도를 조절하는 멤스 거울;
상기 멤스 거울에서 반사된 레이저 광이 통과하는 평면-오목 렌즈;
대상체에서 반사된 반사광을 수집하는 수광 렌즈;
상기 수광 렌즈에서 수집한 반사광을 전기신호로 변환하는 수광소자; 및
상기 발광소자 및 광위상 배열 소자의 구동과, 상기 멤스 거울의 각도 조절과, 상기 수광소자의 전기신호를 처리하는 제어부;를 포함하고,
상기 멤스 거울과 평면-오목 렌즈 사이에 배치되는 평면-볼록 렌즈를 더 포함하고,
상기 평면-볼록 렌즈는 상기 멤스 거울에서 반사된 레이저 광의 빔 사이즈를 축소하는 것을 특징으로 하는 광위상 배열 라이다.A light emitting device that generates laser light;
an optical phase array element that receives laser light generated from the light emitting element and adjusts an emission angle of the laser light;
a MEMS mirror that adjusts the reflection angle of the laser light emitted from the optical phase array element;
a plane-concave lens through which the laser light reflected from the MEMS mirror passes;
A light receiving lens that collects reflected light reflected from an object;
a light receiving element that converts the reflected light collected by the light receiving lens into an electrical signal; and
It includes a control unit that drives the light emitting element and the optical phase array element, adjusts the angle of the MEMS mirror, and processes the electrical signal of the light receiving element,
Further comprising a plano-convex lens disposed between the MEMS mirror and the plano-concave lens,
The plano-convex lens is an optical phase array LI characterized in that it reduces the beam size of the laser light reflected from the MEMS mirror. 제1항에 있어서,
상기 멤스 거울이 중립 위치일 때 레이저 광은 상기 평면-오목 렌즈의 중앙을 통과하여 광 경로에 변화가 없고,
상기 멤스 거울의 각도가 조정되어 상기 레이저 광이 상기 평면-오목 렌즈의 주변을 통과하면 광 경로가 발산하여 상기 레이저 광의 출사 각도가 증폭되는 것을 특징으로 하는 광위상 배열 라이다.According to paragraph 1,
When the MEMS mirror is in a neutral position, the laser light passes through the center of the plano-concave lens and there is no change in the optical path,
The optical phase array LIDAR is characterized in that the angle of the MEMS mirror is adjusted so that when the laser light passes around the plane-concave lens, the optical path diverges and the exit angle of the laser light is amplified. 제2항에 있어서,
상기 평면-오목 렌즈는, 주변부에서 발생하는 수차를 보정하기 위한 비구면 렌즈인 것을 특징으로 하는 광위상 배열 라이다.According to paragraph 2,
The plano-concave lens is an optical phase array LI characterized as an aspherical lens for correcting aberrations occurring in the peripheral area. 제1항에 있어서,
상기 광위상 배열 소자와 멤스 거울 사이의 거리를 단축하도록, 상기 광위상 배열 소자에 대해 상기 멤스 거울의 반사면이 경사를 이루는 것을 특징으로 하는 광위상 배열 라이다.According to paragraph 1,
The optical phase array LIDAR is characterized in that the reflective surface of the MEMS mirror is inclined with respect to the optical phase array element to shorten the distance between the optical phase array element and the MEMS mirror. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 평면-볼록 렌즈는,
상기 광위상 배열 소자에서 출사되는 레이저 광의 가우시안 빔 형태를 보정하기 위한, X축과 Y축의 곡률반경이 다른 애너모픽 렌즈인 것을 특징으로 하는 광위상 배열 라이다.According to paragraph 1,
The plano-convex lens is,
An optical phase array LIDAR characterized in that it is an anamorphic lens with different curvature radii on the X and Y axes for correcting the Gaussian beam shape of the laser light emitted from the optical phase array device. 제1항에 있어서,
상기 평면-오목 렌즈와 평면-볼록 렌즈는, 각 렌즈의 평면이 서로 마주보도록 배열되는 것을 특징으로 하는 광위상 배열 라이다.According to paragraph 1,
The plano-concave lens and the plano-convex lens are optical phase arrays, wherein the planes of each lens are arranged to face each other. 제1항에 있어서,
상기 발광소자는 레이저 다이오드이고,
상기 수광소자는 포토 다이오드인 것을 특징으로 하는 광위상 배열 라이다.
According to paragraph 1,
The light emitting device is a laser diode,
The light receiving element is an optical phase array LI, characterized in that it is a photo diode.
KR1020210030142A 2021-03-08 2021-03-08 Optical phase array LiDAR having improved scan performance KR102588354B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210030142A KR102588354B1 (en) 2021-03-08 2021-03-08 Optical phase array LiDAR having improved scan performance

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210030142A KR102588354B1 (en) 2021-03-08 2021-03-08 Optical phase array LiDAR having improved scan performance

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220126049A KR20220126049A (en) 2022-09-15
KR102588354B1 true KR102588354B1 (en) 2023-10-13

Family

ID=83281708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210030142A KR102588354B1 (en) 2021-03-08 2021-03-08 Optical phase array LiDAR having improved scan performance

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102588354B1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4151358B2 (en) * 2002-09-09 2008-09-17 日産自動車株式会社 Optical scanning device
US20150075067A1 (en) 2013-09-13 2015-03-19 Palo Alto Research Center Incorporated Unwanted plant removal system having a stabilization system
US20180003803A1 (en) 2016-06-29 2018-01-04 Apple Inc. Optical systems for remote sensing receivers
US20190162858A1 (en) 2017-11-30 2019-05-30 Cepton Technologies, Inc. Detector designs for improved resolution in lidar systems
US20190220677A1 (en) 2018-01-17 2019-07-18 GM Global Technology Operations LLC Structured light illumination system for object detection
US20210011128A1 (en) 2018-10-15 2021-01-14 Zvision Technologies Co., Ltd. Laser radar system

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102422783B1 (en) * 2015-08-03 2022-07-19 엘지이노텍 주식회사 Apparatus for light detection and ranging

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4151358B2 (en) * 2002-09-09 2008-09-17 日産自動車株式会社 Optical scanning device
US20150075067A1 (en) 2013-09-13 2015-03-19 Palo Alto Research Center Incorporated Unwanted plant removal system having a stabilization system
US20180003803A1 (en) 2016-06-29 2018-01-04 Apple Inc. Optical systems for remote sensing receivers
US20190162858A1 (en) 2017-11-30 2019-05-30 Cepton Technologies, Inc. Detector designs for improved resolution in lidar systems
US20190220677A1 (en) 2018-01-17 2019-07-18 GM Global Technology Operations LLC Structured light illumination system for object detection
US20210011128A1 (en) 2018-10-15 2021-01-14 Zvision Technologies Co., Ltd. Laser radar system

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220126049A (en) 2022-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10996322B2 (en) Lidar sensor
JP6935007B2 (en) Shared waveguides for lidar transmitters and receivers
JP7179938B2 (en) LIDAR with Transmit and Receive Paths Aligned to Each Other
US9086273B1 (en) Microrod compression of laser beam in combination with transmit lens
CN105607074B (en) A kind of beacon adaptive optics system based on pulse laser
CN108646232A (en) A kind of the correction system and laser radar range device of laser radar
KR101785254B1 (en) Omnidirectional LIDAR Apparatus
CN117872318A (en) Lidar receiver using waveguide and aperture
US11867808B2 (en) Waveguide diffusers for LIDARs
US11940263B2 (en) Detector for determining a position of at least one object
CN110312947B (en) Lidar sensor for detecting objects
KR102350621B1 (en) Lidar apparatus
JP7230443B2 (en) Distance measuring device and moving object
US20230418018A1 (en) Imaging-Based Transmitter for Free-Space Optical Communications
CN113015882A (en) Measuring head for determining the position of at least one object
KR102350613B1 (en) Irrotational omnidirectional lidar apparatus
CN110832347B (en) Focal zone optical element for high performance optical scanner
US4020340A (en) Precision automatic tracking system
KR102588354B1 (en) Optical phase array LiDAR having improved scan performance
KR100976338B1 (en) Bi-directional optical module using optical fiber and laser range finder using the same
AU2003300871A1 (en) Optical system
KR101911601B1 (en) Optical rangefinder
CN117751306A (en) Laser radar and terminal equipment
CN117751302A (en) Receiving optical system, laser radar system and terminal equipment
US11906358B2 (en) Receiver with a Hadamard mask for improving detection resolution during a scanning procedure of an optical sensing system

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right