KR102584518B1 - 정전척 유닛 및 그것을 이용한 박막 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부와, 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부를 본체에 구비한 정전척 유닛을 개시한다.

Description

정전척 유닛 및 그것을 이용한 박막 증착 장치 {Electrostatic chuck unit and thin film depositing apparatus using the same}
본 발명의 실시예들은 증착원의 증기를 발생시켜서 마스크를 통해 기판에 박막을 형성하는 박막 증착 장치에 관한 것으로, 특히 마스크와 기판을 밀착시켜서 지지하는 정전척 유닛이 개선된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 애노드와 캐소드에 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 화상을 구현할 수 있는 디스플레이 장치로서, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조이다. 그러나, 상기한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에 상기 두 전극 사이의 중간층으로서 상기 발광층과 함께 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층, 및 정공 주입층 등을 선택적으로 추가하여 이용하고 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들과 중간층은 여러 가지 방법으로 형성할 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착이다. 이 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조할 때에는, 형성하고자 하는 박막 패턴과 동일한 패턴홀을 가지는 마스크를 기판 위에 정렬하고, 그 마스크의 패턴홀을 통해 기판에 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.
이때 정전척 유닛을 이용하여 마스크와 기판을 밀착시켜서 견고하게 지지한다. 즉, 기판을 사이에 두고 마스크와 반대편에 위치한 정전척 유닛이 그 기판과 마스크를 정전력으로 끌어당김으로써 증착이 진행되는 동안 마스크와 기판이 서로 견고하게 밀착되도록 하는 것이다.
그런데, 마스크에서 상기 패턴홀들이 형성된 영역인 셀의 말단부에서는 주변과의 단차 때문에 인력이 아닌 척력이 함께 발생하는 특성이 있어서 상대적으로 밀착력이 떨어지는 문제가 있다. 이렇게 되면, 기판과 마스크 사이에 틈새가 벌어져서 원하는 위치에 정확한 증착이 이루어지지 않게 되므로 결국 제품의 불량으로 이어질 가능성이 크다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 셀의 말단부에서 밀착력이 떨어지는 문제를 효율적으로 해소할 수 있도록 개선된 정전척 유닛 및 그것을 채용한 박막 증착 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예는 기판과 마스크를 정전력으로 끌어당기는 정전척 본체와, 상기 정전력을 발생시키도록 상기 정전척 본체에 구비된 다수의 배선들을 포함하며, 상기 배선들은 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부와, 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부를 포함하는 정전척 유닛을 제공한다.
상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 배선들 간의 간격이 더 조밀할 수 있다.
상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 폭이 더 넓을 수 있다.
상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 두께가 더 굵을 수 있다.
상기 정전척 본체의 상기 기판과 상기 마스크에 마주하는 면에 복수의 가압돌기가 구비될 수 있다.
상기 가압돌기는 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 구비될 수 있다.
상기 가압돌기는 상기 제1배선부에 및 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 각각 구비되며, 상기 제1배선부에 대응하는 위치에 비해 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 더 조밀하게 분포될 수 있다.
상기 정전척 본체에 냉각기가 더 구비될 수 있다.
상기 마스크를 자기력으로 당기기 위한 마그넷이 더 구비될 수 있다.
상기 마스크에는 다수의 패턴홀들이 분포되고 말단부에 단차가 있는 셀이 구비되며, 상기 제2배선부는 상기 마스크의 단차가 있는 부위에 대응하도록 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 챔버와, 상기 챔버 내에서 증착 대상체인 기판에 증착원을 공급하는 증착소스유닛과, 증착을 위한 다수의 패턴홀이 형성된 셀을 가진 마스크와, 상기 마스크가 상기 기판에 밀착되게 지지하는 정전척 유닛을 구비하며, 상기 정전척 유닛은, 기판과 마스크를 정전력으로 끌어당기는 정전척 본체와, 상기 정전력을 발생시키도록 상기 정전척 본체에 구비된 다수의 배선들을 포함하고, 상기 배선들은 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부와, 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다.
상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 배선들 간의 간격이 더 조밀할 수 있다.
상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 폭이 더 넓을 수 있다.
상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 두께가 더 굵을 수 있다.
상기 정전척 본체의 상기 기판과 상기 마스크에 마주하는 면에 복수의 가압돌기가 구비될 수 있다.
상기 가압돌기는 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 구비될 수 있다.
상기 가압돌기는 상기 제1배선부에 및 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 각각 구비되며, 상기 제1배선부에 대응하는 위치에 비해 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 더 조밀하게 분포될 수 있다.
상기 정전척 본체에 냉각기가 더 구비될 수 있다.
상기 마스크를 자기력으로 당기기 위한 마그넷이 더 구비될 수 있다.
상기 셀의 말단부에는 단차가 있으며, 상기 제2배선부는 상기 마스크의 단차가 있는 부위에 대응하도록 배치될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 따른 정전척 유닛 및 박막 증착 장치에 의하면 기판과 마스크 간의 밀착력이 떨어지는 셀의 말단부에 대해 정전력을 보강해줄 수 있게 되므로, 부분적인 밀착력 약화에 의한 증착 불량을 효과적으로 방지할 수 있게 되어 결국 제품의 성능과 신뢰도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척 유닛이 구비된 박막 증착 장치의 개략적인 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체의 사시도이다.
도 3은 도 3의 Ⅲ-Ⅲ선을 절단한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 정전척 유닛의 평면도이다.
도 5는 다른 실시예에 따른 정전척 유닛을 도시한 평면도이다.
도 6 내지 도 10은 또 다른 실시예에 따른 정전척 유닛을 도시한 단면도이다.
도 11은 도 1에 도시된 기판의 일 예로서 유기 발광 표시 장치의 구조를 예시한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 정전척 유닛(100)이 구비된 박막 증착 장치를 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 박막 증착 장치는 챔버(400)내에서 증착원을 분사하는 증착소스유닛(300)과, 증착 대상체인 기판(10)의 한쪽 면에 밀착되는 마스크(210)와, 그 반대쪽 면에 배치되어 기판(10)과 마스크(210)가 밀착되도록 정전력으로 끌어당기는 정전척 유닛(100) 등을 구비하고 있다.
따라서, 챔버(400) 내에서 증착소스유닛(300)이 증착원을 분사하면 해당 증착원이 마스크(210)에 형성된 패턴홀(211a:도 2 참조)를 통과하여 기판(10)에 증착되면서 소정 패턴의 박막이 형성된다.
이때, 정전척 유닛(100)의 전원(120)으로부터 정전척 본체(110)의 배선들(111,112:도 4참조)에 전기가 공급되면서 정전력이 발생하게 되고, 그 정전력의 작용에 의해 마스크(210)와 기판(10)이 견고히 밀착된다.
한편, 상기 마스크(210)는 가장자리부가 프레임(220)에 의해 지지된 마스크 프레임 조립체(200)의 형태로 사용되며, 도 2에 도시된 바와 같은 구조로 이루어져 있다.
도 2와 같이 중앙에 개구(221)가 형성된 프레임(220)이 있고, 그 프레임(220)에 스틱형의 마스크(210) 다수개가 지지되어 있다. 각 마스크(210)는 양단이 프레임(220)에 고정되며, 양단 사이에 있는 여러 셀(211)은 상기 개구(221) 영역에 배치된다. 상기 각 셀(211)은 상기한 패턴홀(211a)의 다수개 분포된 영역으로 이 셀(211)의 패턴홀(211a)을 증착원이 통과하면서 기판(10)에 박막을 형성하게 된다. 마스크(210)는 통상 금속 재질로 이루어진다.
여기서, 각 마스크(210)의 양단에 가까운 셀(211)의 말단부(A1)(A2)에는 두께가 급격히 변하는 단차가 존재한다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 이 말단부(A1)(A2)에는 두께가 크게 변하는 단차(210a)가 형성되어 있는데, 이 단차(210a)가 있는 부위에서는 정전력 작용 시 척력이 함께 발생하는 특성이 있어서 상대적으로 다른 부위에 비해 밀착력이 떨어지는 문제가 있다.
따라서, 이를 보완하기 위해 본 실시예에서는 정전척 본체(110) 내의 배선들(111,112; 도 4 참조)을 차등 배치하는데, 그 자세한 구조는 뒤에서 설명하기로 하고, 그 전에 먼저 본 실시예의 박막 증장 장치로 증착이 이루어지는 기판(10)의 예로서 도 11을 참조하여 유기 발광 표시 장치의 구조를 간략히 설명하기로 한다.
도 11과 같이, 상기 유기 발광 표시 장치는 박막트랜지스터(TFT)와 유기발광소자(EL)를 구비하고 있다.
먼저 박막트랜지스터(TFT)를 살펴보면, 상기 기판(10) 상의 버퍼층(10a) 상부에 활성층(14)이 형성되어 있고, 이 활성층(14)은 N형 또는 P형 불순물이 고농도로 도핑된 소스 및 드레인 영역을 갖는다. 이 활성층(14)을 산화물 반도체로 형성할 수도 있다. 예를 들어, 산화물 반도체는 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn) 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge)과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면 산화물 반도체 활성층(114)은 G-I-Z-O[(In2O3)a(Ga2O3)b(ZnO)c](a, b, c는 각각 a≥0, b≥0, c＞0의 조건을 만족시키는 실수)을 포함할 수 있다. 활성층(14)의 상부에는 게이트 절연막(10b)을 개재하여 게이트 전극(15)이 형성되어 있다. 게이트 전극(15)은 게이트하부층(15a)과 게이트상부층(15b)의 두 층으로 형성되어 있다.
상기 게이트 전극(15)의 상부에는 소스 전극(16)과 드레인 전극(17)이 형성되어 있다. 게이트 전극(15)과 소스 전극(16) 및 드레인전극(17) 사이에는 층간 절연막(10c)이 구비되어 있고, 소스 전극(16) 및 드레인전극(17)과 유기발광소자(EL)의 화소전극(11) 사이에는 패시베이션막(10d)이 개재되어 있다.
상기 화소전극(11)의 상부에는 화소정의막(10e)이 형성되어 있고, 이 화소정의막(10e)에 개구부를 형성하여 화소전극(11)을 노출시킨 후, 그 위에 발광층(12)을 증착으로 형성한다.
상기 유기발광소자(EL)는 전류의 흐름에 따라 적, 녹, 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하는 것으로, 박막트랜지스터(TFT)의 드레인 전극(17)에 연결된 화소전극(11)과, 그 화소전극(11)에 대면하는 대향전극(13), 및 이 두 전극(11)(13)의 사이에 배치되어 발광하는 상기 발광층(12) 등으로 구성된다.
참고로 이 발광층(12)과 인접하여 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 적층될 수도 있다.
이러한 기판(10) 상의 다양한 박막들을 상기 박막 증착 장치에서 증착을 통해 형성할 수 있다.
그런데, 이때 전술한 대로 마스크(210)의 단차 때문에 기판(10)과 부분적으로 밀착력이 떨어지는 부위가 있으면 증착 불량이 생길 수 있으므로, 이를 보완하기 위해 본 실시예의 정전척 유닛(100)은 도 4와 같은 배선들(111,112; 도 4 참조)의 차등 배치 구조를 제공한다.
즉, 단차(210a)가 없는 마스크(210)의 중앙부에 대응하는 위치에는 배선들 간의 간격이 상대적으로 넓은 제1배선부(111)를 형성하고, 단차(210a)가 있는 상기 셀(211)의 말단부(A1)(A2)에 대응하는 위치에는 배선들 간의 간격이 상대적으로 조밀한 제2배선부(112)를 형성한다. 배선 간격이 조밀하다는 것은 같은 면적 안에 더 많은 배선들이 배치되어 있다는 뜻이 되며, 따라서 전원(120)과 연결 시 간격이 넓은 부위에 비해 더 큰 정전력을 발생시킬 수 있게 된다.
정리하면, 단차(210a) 때문에 상대적으로 밀착력이 약할 수 있는 셀(211) 말단부(A1)(A2)에 대응하는 위치에 조밀한 배선 간격의 제2배선부(112)를 마련하고 다른 부위에 대해서는 배선 간격이 넓은 제1배선부(111)를 마련해서, 마스크(210) 구조에 의한 밀착력 차이를 정전력의 차등 작용으로 보상해주는 것이다.
이렇게 되면, 부분적인 밀착력 약화에 의한 증착 불량을 효과적으로 방지할 수 있게 되어 결국 제품의 성능과 신뢰도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다. 그리고, 제2배선부(112)를 단차(210a)가 있는 말단부(A1)(A2) 보다 더 넓은 영역에 걸쳐서 형성하고 있는데, 이것은 셀(211)의 규격이 조금 달라져서 말단부(A1)(A2)의 위치가 약간 변하더라도 충분히 커버할 수 있도록 사용 가능 범위를 넓히는데 유효하다. 또한, 이 구조에 더하여 전원(120)에서 제1배선부(111)와 제2배선부(112)에 공급하는 전기량도 차등 제어해서 정전력 차이를 더 크고 정밀하게 조정할 수도 있다.
그러므로, 상기한 구조의 정전척 유닛(100)을 사용하여 박막 증착을 진행하면 기판(10)과 마스크(210)가 전체적으로 견고하게 밀착된 상태에서 안정적인 증착을 수행할 수 있게 된다.
이하에는 전술한 실시예와 같은 기술적 사상 안에서 구성 요소들의 변형 또는 추가로 구현할 수 있는 변형예들을 예시한다.
먼저 도 5는, 도 4의 구조와 마찬가지로 정전척 본체(110)에 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부(111)와 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부(112a)를 설치한다. 다만, 도 4에서는 배선들 간의 간격을 더 조밀하게 하여 정전력을 높였다면, 여기서는 제2배선부(112a)의 폭(W)을 제1배선부(111) 보다 넓게 하여 정전력을 증가시킨 것이다.
따라서, 본 구조는 단차(210a) 때문에 상대적으로 밀착력이 약할 수 있는 셀(211) 말단부(A1)(A2)에 대응하는 위치에 광폭 배선의 제2배선부(112a)를 마련해서, 마스크(210) 구조에 의한 밀착력 차이를 정전력의 차등 작용으로 보상해준다.
도 6은 제2배선부(112b)의 굵기(T)를 제1배선부(111) 보다 굵게 하여 정전력을 증가시킨 것이다.
따라서, 셀(211) 말단부(A1)(A2)에 대응하는 위치에 굵은 배선의 제2배선부(112b)를 마련해서, 마스크(210) 구조에 의한 밀착력 차이를 정전력의 차등 작용으로 보상해준다.
도 7은 도 4 내지 도 6에서 설명한 차등 배선 구조들에 더해서, 정전척 본체(110)의 기판(10) 대향면에 가압돌기(113)를 더 형성할 수 있음을 보인 것이다. 이 가압돌기(113)는 기판(10)에 대한 물리적인 압력을 가해서 밀착력을 더 높여주는 것으로, 본 실시예에서는 제2배선부(112)(112a)(112b)가 있는 말단부(A1)(A2) 영역에만 가압돌기(113)가 있는 구조를 예시한다.
도 8은 도 7에서 예시한 가압돌기(113)가 정전척 본체(110) 전면에 형성된 구조를 예시한 것이다. 대신, 제1배선부(111)가 있는 중앙 영역에는 듬성듬성하게 가압돌기(113)를 배치하고, 제2배선부(112)(112a)(112b)가 있는 말단부(A1)(A2) 영역에는 가압돌기(113)를 촘촘하게 배치해서 밀착력 저하를 가압돌기(113)의 차등 배치로도 보완해주는 것이다.
도 9는 전술한 정전력 차등 구조를 가지면서, 동시에 정전척 본체(110)에 냉각기(130)가 구비될 수도 있음을 예시한 것이다. 증착이 진행되는 챔버(400) 안은 고온의 분위기이므로 냉매관(131)과 냉매펌프(132)를 설치해서 냉매를 순환시키면 고온에 의한 변형의 위험도 방지할 수 있게 된다.
도 10은 전술한 정전력 차등 구조를 가지면서, 동시에 마그넷 유닛(140)을 더 구비하는 구조를 예시한 것이다. 즉, 요크플레이트(142)와 마그넷(141)을 포함한 마그넷 유닛(140)을 정전척 본체(110)의 제1배선부(111) 영역 위에 부가해서, 정전력 뿐 아니라 자기력에 의해서도 기판(10)과 마스크(210)를 밀착시키는 것이다. 특히 대형 기판(10)과 마스크(210)를 장착해서 증착할 때에는 자중에 의해 기판(10)과 마스크(210)의 중앙이 처지는 현상이 발생할 수도 있으므로 마그넷(141)의 자기력으로 금속 재질의 마스크(210)를 끌어당겨서 처짐을 방지한다.
그러므로, 이와 같은 다양한 변형이 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예들에 따른 정전척 유닛 및 박막 증착 장치에 의하면 기판과 마스크 간의 밀착력이 떨어지는 셀의 말단부에 대해 정전력을 보강해줄 수 있게 되므로, 부분적인 밀착력 약화에 의한 증착 불량을 효과적으로 방지할 수 있게 되어 결국 제품의 성능과 신뢰도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 정전척 유닛 110: 정전척 본체
111: 제1배선부 112,112a,112b: 제2배선부
113: 가압돌기 120: 전원
130: 냉각기 140: 마그넷 유닛
200: 마스크 프레임 조립체 210: 마스크
300: 증착소스유닛 400: 챔버

Claims (20)

  1. 기판과 마스크를 정전력으로 끌어당기는 정전척 본체와,
    상기 정전력을 발생시키도록 상기 정전척 본체에 구비된 다수의 배선들을 포함하며,
    상기 배선들은 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부와, 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부를 포함하며,
    상기 마스크에는 다수의 패턴홀들이 분포되고, 말단부에 단차가 있는 셀이 구비되며,
    상기 제2배선부는 상기 마스크의 단차가 있는 부위에 대응하도록 배치된 정전척 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 배선들 간의 간격이 더 조밀한 정전척 유닛.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 폭이 더 넓은 정전척 유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 두께가 더 굵은 정전척 유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 정전척 본체의 상기 기판과 상기 마스크에 마주하는 면에 복수의 가압돌기가 구비된 정전척 유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 가압돌기는 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 구비된 정전척 유닛.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 가압돌기는 상기 제1배선부에 및 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 각각 구비되며, 상기 제1배선부에 대응하는 위치에 비해 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 더 조밀하게 분포된 정전척 유닛.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 정전척 본체에 냉각기가 더 구비된 정전척 유닛.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 마스크를 자기력으로 당기기 위한 마그넷이 더 구비된 정전척 유닛.
  10. 삭제
  11. 챔버와, 상기 챔버 내에서 증착 대상체인 기판에 증착원을 공급하는 증착소스유닛과, 증착을 위한 다수의 패턴홀이 형성된 셀을 가진 마스크와, 상기 마스크가 상기 기판에 밀착되게 지지하는 정전척 유닛을 구비하며,
    상기 정전척 유닛은, 기판과 마스크를 정전력으로 끌어당기는 정전척 본체와, 상기 정전력을 발생시키도록 상기 정전척 본체에 구비된 다수의 배선들을 포함하고,
    상기 배선들은 상대적으로 약한 정전력을 발생시키는 제1배선부와, 상대적으로 강한 정전력을 발생시키는 제2배선부를 포함하며,
    상기 셀의 말단부에는 단차가 있으며,
    상기 제2배선부는 상기 마스크의 단차가 있는 부위에 대응하도록 배치된 박막 증착 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 배선들 간의 간격이 더 조밀한 박막 증착 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 폭이 더 넓은 박막 증착 장치.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 제1배선부에 비해 상기 제2배선부는 각 배선들의 두께가 더 굵은 박막 증착 장치.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 정전척 본체의 상기 기판과 상기 마스크에 마주하는 면에 복수의 가압돌기가 구비된 박막 증착 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 가압돌기는 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 구비된 박막 증착 장치.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 가압돌기는 상기 제1배선부에 및 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 각각 구비되며, 상기 제1배선부에 대응하는 위치에 비해 상기 제2배선부에 대응하는 위치에 더 조밀하게 분포된 박막 증착 장치.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 정전척 본체에 냉각기가 더 구비된 박막 증착 장치.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 마스크를 자기력으로 당기기 위한 마그넷이 더 구비된 박막 증착 장치.
  20. 삭제
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