KR102571668B1 - Rotary feedthrough sealing unit with built-in multi-stage insulated multi-lip seal - Google Patents

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Abstract

본 발명은 부압 또는 고압 설비에 설치된 모터 축에 로터리 피드스루 실링 유니트의 회전축을 연결하면서 형성된 간극을 따라 내부에서 외부로, 또는 외부에서 내부로 유출입하려는 가스나 오일, 공기와 같은 유체를 차단하기 위해 회전축의 외경부와 미끄럼마찰 접촉운동을 하면서 밀봉작용을 하는 구조의 단열형 멀티립 시일을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트에 관한 것이다.
진공증착설비에 장착된 로터리 피드스루 실링 유니트의 우측 끝단부에 성형된 반시계방향의 나선형 립 선단부와, 중간부에 성형된 동심원축의 멀티립 선단부는 나선형 립 선단부, 그리고 좌측 끝단부에 성형된 또 다른 나선형 립 선단부는 우측에서 유입된 유체나 이물질이 최종적으로 진공증착설비에 유입되는 것을 반시계방향으로 밀어내기 위해 나선형 립과 멀티립 시일을 다단계 형태로 구비한 로터리 피드스루 실링 유니트이다.
또한, 고압의 교반기나 압력용기, 건조장치 등에 장착된 로터리 피드스루 실링 유니트의 좌측 끝단부에 성형된 시계 방향의 나선형 립 선단부는 내부에서 누설되는 유체를 못나오게 밀어내고, 우측 끝단부에 성형된 동심원축의 멀티립 선단부는 나선형 멀티립 선단부를 통과한 유체의 외부누설 또는 외부 유체의 유입을 각각 차단하기 위한 나선형 립과 멀티립 시일을 다단계 형태로 구비한 로터리 피드스루 실링 유니트에 관한 것이다.
또한, 로터리 피드스루 실링 유니트에 유입되는 외부의 열에 의해 나선형 립 선단부와 동심원축의 멀티립 선단부의 강도를 떨어뜨림으로 인해 밀봉력 약화와 내구수명이 줄어드는 문제를 해소하기 위해 립 선단부와 접촉하는 회전축의 외경부에는 수많은 마이크로 딤플이 구비된 저마찰 단열튜브, 또는 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅을 입힌 단열튜브를 삽입하고, 하우징의 내측면과 강재 보강테 사이에 단열재를 각각 설치한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트에 관한 것이다.The present invention is to block fluids such as gas, oil, and air from the inside to the outside or from the outside to the inside along a gap formed while connecting the rotary shaft of the rotary feed-through sealing unit to the shaft of a motor installed in a negative pressure or high-pressure facility. The present invention relates to a rotary feed-through sealing unit incorporating an adiabatic multi-lip seal having a structure in which a sealing action is performed while performing sliding frictional contact with an outer diameter portion of a rotating shaft.
The counterclockwise spiral lip tip formed on the right end of the rotary feed-through sealing unit mounted on the vacuum deposition equipment, and the concentric multi-rib tip formed on the middle part formed on the spiral lip tip, and another molded on the left end. Another spiral lip front end is a rotary feed-through sealing unit equipped with a spiral lip and a multi-lip seal in a multi-stage form in order to counterclockwise push the fluid or foreign matter introduced from the right into the vacuum deposition equipment.
In addition, the clockwise spiral lip tip molded on the left end of the rotary feed-through sealing unit mounted on a high-pressure stirrer, pressure vessel, or drying device pushes out the fluid leaking from the inside, and molded on the right end The multi-lip front end of the concentric axis relates to a rotary feed-through sealing unit having a spiral lip and a multi-lip seal in a multi-stage form for respectively blocking external leakage of fluid or inflow of external fluid passing through the spiral multi-rib front end.
In addition, in order to solve the problem of weakening the sealing force and reducing durability due to the decrease in strength of the tip of the spiral lip and the tip of the multi-lip of the concentric shaft due to the external heat flowing into the rotary feed-through sealing unit, the rotation shaft in contact with the tip of the lip A rotary feed structure in which a low-friction insulation tube equipped with numerous micro-dimples or an insulation tube coated with a thick film coating using a low-friction material is inserted into the outer diameter portion, and an insulation material is installed between the inner surface of the housing and the steel reinforcing frame, respectively. It relates to a through ceiling unit.

Description

다단계 단열 멀티립 시일 내장형 로터리 피드스루 실링 유니트{ROTARY FEEDTHROUGH SEALING UNIT WITH BUILT-IN MULTI-STAGE INSULATED MULTI-LIP SEAL}Multi-stage insulated multi-lip seal built-in rotary feed-through sealing unit

본 발명은 회전하는 진공증착설비의 진공도를 안정적으로 확보하거나, 또는 고압의 교반기, 압력용기, 건조장치 등에서 유체의 누설을 차단하기 위해 사용하는 로터리 피드스루 실링 유니트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 부압 또는 고압 설비에 설치된 모터 축에 로터리 피드스루 실링 유니트의 회전축을 연결하면서 형성된 간극을 따라 내부에서 외부로, 또는 외부에서 내부로 유출입하려는 가스나 오일, 공기와 같은 유체를 차단하기 위해 회전축의 외경부와 미끄럼마찰 접촉운동을 하면서 밀봉작용을 하는 구조의 단열형 멀티립 시일을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트에 관한 것이다.The present invention relates to a rotary feed-through sealing unit used to stably secure the degree of vacuum of a rotating vacuum deposition facility or to block fluid leakage in a high-pressure stirrer, pressure vessel, drying device, etc., and more particularly, to a negative pressure Or, along the gap formed by connecting the rotation shaft of the rotary feed-through sealing unit to the motor shaft installed in the high-pressure facility, the outer diameter of the rotation shaft to block fluids such as gas, oil, or air from entering or exiting from the inside to the outside or from the outside to the inside. It relates to a rotary feed-through sealing unit incorporating an adiabatic multi-lip seal having a structure that performs a sealing action while performing a sliding frictional contact motion with a rotary feed-through sealing unit.

진공증착설비에 장착된 로터리 피드스루 실링 유니트의 우측 끝단부에 성형된 반시계방향의 나선형 립 선단부와, 중간부에 성형된 동심원축의 멀티립 선단부는 나선형 립 선단부, 그리고 좌측 끝단부에 성형된 또 다른 나선형 립 선단부는 우측에서 유입된 유체나 이물질이 최종적으로 진공증착설비에 유입되는 것을 반시계방향으로 밀어내기 위해 나선형 립과 멀티립 시일을 다단계 형태로 구비한 로터리 피드스루 실링 유니트이다.The counterclockwise spiral lip tip formed on the right end of the rotary feed-through sealing unit mounted on the vacuum deposition equipment, and the concentric multi-rib tip formed on the middle part formed on the spiral lip tip, and another molded on the left end. Another spiral lip front end is a rotary feed-through sealing unit equipped with a spiral lip and a multi-lip seal in a multi-stage form in order to counterclockwise push the fluid or foreign matter introduced from the right into the vacuum deposition equipment.

또한, 고압의 교반기나 압력용기, 건조장치 등에 장착된 로터리 피드스루 실링 유니트의 좌측 끝단부에 성형된 시계 방향의 나선형 립 선단부는 내부에서 누설되는 유체를 못나오게 밀어내고, 우측 끝단부에 성형된 동심원축의 멀티립 선단부는 나선형 멀티립 선단부를 통과한 유체의 외부누설 또는 외부 유체의 유입을 각각 차단하기 위한 나선형 립과 멀티립 시일을 다단계 형태로 구비한 로터리 피드스루 실링 유니트에 관한 것이다.In addition, the clockwise spiral lip tip molded on the left end of the rotary feed-through sealing unit mounted on a high-pressure stirrer, pressure vessel, or drying device pushes out the fluid leaking from the inside, and molded on the right end The multi-lip front end of the concentric axis relates to a rotary feed-through sealing unit having a spiral lip and a multi-lip seal in a multi-stage form for respectively blocking external leakage of fluid or inflow of external fluid passing through the spiral multi-rib front end.

또한, 로터리 피드스루 실링 유니트에 유입되는 외부의 열원에 의해 나선형 립 선단부와 동심원축의 멀티립 선단부의 강도를 떨어뜨림으로 인해 밀봉력 약화와 내구수명이 줄어드는 문제를 해소하기 위해 립 선단부와 접촉하는 회전축의 외경부에는 수많은 마이크로 딤플이 구비된 저마찰 단열튜브, 또는 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅을 입힌 단열튜브를 삽입하고, 하우징의 내측면과 강재 보강테 사이에 단열재를 각각 설치한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트에 관한 것이다.In addition, in order to solve the problem of weakening the sealing force and reducing durability due to the deterioration of the strength of the tip of the spiral lip and the tip of the multi-lip of the concentric shaft by the external heat source flowing into the rotary feed-through sealing unit, the rotary shaft in contact with the tip of the lip A low-friction insulation tube equipped with numerous micro-dimples or an insulation tube coated with a thick film coating using a low-friction material is inserted into the outer diameter of the rotor, and an insulation material is installed between the inner surface of the housing and the steel reinforcing frame. It relates to a feed-through sealing unit.

로터리 피드스루 실링 유니트를 설치한 부압의 진공증착설비와, 고압의 교반기나 압력용기 같은 기계장치는 회전축의 간극을 통해 외부에서 유입되는 유체, 또는 내부에서 외부로 누설하는 유체를 완벽하게 차단하기 위해 고가의 자성유체시일을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트가 150℃ 이상에서 작동할 경우는 온도상승에 따른 영구자석의 자력선 및 자성유체의 점성 약화로 냉각장치를 별도로 설치해도 자성유체시일의 밀봉성이 떨어지고,Negative pressure vacuum deposition equipment equipped with rotary feed-through sealing unit and mechanical devices such as high-pressure stirrer or pressure vessel are used to completely block fluid flowing in from the outside or leaking from the inside to the outside through the gap of the rotating shaft. When the rotary feed-through sealing unit with the built-in expensive magnetic fluid seal is operated at 150℃ or higher, the magnetic fluid seal of the permanent magnet and the magnetic fluid viscosity weaken due to the temperature rise, so even if a cooling device is installed separately, the magnetic fluid seal cannot be sealed. falling,

또한, 모터 축의 동력하중을 지지하는 한 쌍의 볼베어링에서 발생한 유분과 마모입자, 특히 자성유체에서 증발된 유분이 진공장비로 유입되어 증착표면을 오염시키는 불량문제와, 줄어드는 윤활유와 자성유체로 윤활성과 밀봉성이 저하되는 문제와, 냉각장치에 의한 적정온도 관리의 어려움, 초기 구입비용이 증가하는 문제점이 제기되고,In addition, oil and wear particles generated from a pair of ball bearings that support the power load of the motor shaft, especially oil evaporated from magnetic fluid, flow into vacuum equipment and contaminate the deposition surface. The problem of deterioration in sealing performance, difficulty in managing the proper temperature by the cooling device, and the problem of increasing the initial purchase cost are raised.

또한, 접촉식의 실링 유니트에서 립 선단부와 회전축 사이의 미끄럼 마찰부에 유입되는 외부의 열원과 자체 마찰열로 립 선단부의 강도저하에 따른 밀봉력 감소와 손상의 위험성이 높아지고, 더욱이 밀봉력을 높이기 위해 초기 접촉면압을 높이면 립 선단부의 마모증가로 인한 손상문제와 내구수명 감소, 마찰력 증가로 동력손실이 발생하는 문제점이 있다.In addition, in the contact type sealing unit, the external heat source and self-friction heat flowing into the sliding friction part between the lip tip and the rotating shaft increase the risk of damage and decrease in sealing force due to the decrease in strength of the lip tip, and further increase the sealing force. If the initial contact surface pressure is increased, there are problems of damage due to increased wear of the tip of the lip, reduced durability, and power loss due to increased friction.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 그 목적은 기존의 자성유체시일 또는 접촉식 시일을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트가 150℃ 이상에서 냉각장치 없이 작동할 수 있도록 단열재를 사용하고, 저마찰 특성을 갖는 단열재의 표면에 마이크로 딤플 또는 저마찰 소재를 사용한 후막코팅을 입혀 립 선단부와 회전축 사이의 마찰력을 낮춰 내구수명을 높이면서 동력손실을 줄이고,Accordingly, the present invention has been devised to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its purpose is to enable a rotary feed-through sealing unit incorporating a conventional magnetic fluid seal or contact seal to operate at 150° C. or higher without a cooling device. To reduce power loss,

고온에서 회전운동을 하는 볼베어링은 증발 유분과 마모입자, 그리고 자성유체시일은 자성유체의 증발로 인한 자력선 약화 및 밀봉작용 저하 문제를 다단계의 나선형 립 선단부와 멀티립 선단부를 일체형으로 성형하여 내부유체의 외부유출, 또는 외부유체의 내부유입을 차단하는 밀봉성을 높여주고,Ball bearings rotating at high temperatures solve the problem of evaporating oil and wear particles, and magnetic fluid seals weakening magnetic force and deteriorating sealing action due to evaporation of magnetic fluid. It enhances the sealing ability to block external leakage or internal inflow of external fluid,

고온에서 자성유체시일의 밀봉성능을 유지하기 위해 설치하는 냉각장치 없이도 작동 가능한 다단계의 접촉식 립 타입 시일장치로 유지비용을 줄이고, 초기 구입비용을 줄인 단열형의 멀티립 시일을 내장한 피드스루 실링 유니트를 제공하는데 있다.Feed-through sealing with a built-in insulation type multi-lip seal that reduces maintenance cost and initial purchase cost as a multi-step contact type lip type sealing device that can operate without a cooling device installed to maintain the sealing performance of the magnetic fluid seal at high temperatures unit is provided.

이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 150℃ 이상의 고온에서 냉각장치 없이 작동할 수 있도록 하우징의 내경부에는 단열재, 그리고 회전축의 외경부에는 저마찰성과 단열을 담보할 수 있도록 외경면에 마이크로 딤플을 형성한 단열재, 또는 저마찰 소재로 후막코팅을 입힌 단열재를 사용하여 립 선단부로 유입되어 강도저하, 밀봉력 약화, 고마찰력, 이물질 유입에 따른 증착불량의 문제를 모두 해소하고,In order to achieve the object of the present invention, a heat insulating material is applied to the inner diameter of the housing so that it can operate at a high temperature of 150 ° C or higher without a cooling device, and micro-dimples are applied to the outer diameter of the rotating shaft to ensure low friction and heat insulation. By using the formed insulation material or the insulation material coated with thick film coating with low friction material, it flows into the tip of the lip and solves all the problems of reduced strength, weakened sealing power, high friction, and poor deposition due to the inflow of foreign substances,

또한, 고온작동에 따라 발생하는 볼베어링의 유분과 마모입자, 자성유체가 증발하면서 발생하는 자력선 강도 및 밀봉력의 약화와, 자성유체에 혼입된 이물질 유입에 의한 증착불량 문제는 나선형 립 선단부와 멀티립 선단부를 다단계의 일체형으로 성형한 실링구조와, 단열재로 립 선단부에 유입되는 외부열원을 차단하고,In addition, the weakening of the magnetic force line strength and sealing force caused by the evaporation of oil, wear particles, and magnetic fluid of the ball bearing caused by high-temperature operation, and the problem of deposition failure due to the inflow of foreign substances mixed in the magnetic fluid are caused by the tip of the spiral lip and the multi-lip Block the external heat source flowing into the tip of the lip with a sealing structure in which the tip is molded in a multi-stage integral form and an insulation material,

고온에서 냉각장치 없이도 작동 가능한 다단계 접촉식의 립 타입 실링장치로 밀봉성은 높이고, 유지비용과 초기 구입비용을 줄여주고,It is a multi-step contact type lip type sealing device that can operate at high temperatures without a cooling device. It improves sealing performance, reduces maintenance cost and initial purchase cost,

또한, 로터리 피드스루 실링 유니트에 유입되는 열원에 의해 나선형 립 선단부와 동심원축의 멀티립 선단부의 강도저하에 따른 밀봉력 약화와 내구수명 단축문제를 해소하기 위해 립 선단부와 접촉하는 회전축의 외경부에는 수많은 마이크로 딤플이 구비된 저마찰 단열튜브, 또는 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅을 입힌 단열튜브를 삽입하고, 하우징의 내측면과 강재 보강테 사이에는 단열재를 설치한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트를 제공하는데 있다.In addition, in order to solve the problem of weakening the sealing force and shortening the durability due to the decrease in strength of the tip of the spiral lip and the tip of the multi-lip of the concentric shaft due to the heat source flowing into the rotary feed-through sealing unit, a number of Provides a rotary feed-through sealing unit with a structure in which a low-friction insulation tube equipped with micro-dimples or a insulation tube coated with a thick film coating using a low-friction material is inserted, and an insulation material is installed between the inner surface of the housing and the steel reinforcing frame. are doing

이상에서 설명한 것처럼 본 발명의 멀티립 내장형 로터리 피드스루 실링 유니트는 150℃ 이상에서 고온에서 냉각장치 없이도 정상 작동할 수 있도록 하우징의 내경부에는 단열재, 그리고 회전축의 외경부에는 저마찰성과 단열성을 담보할 수 있도록 마이크로 딤플을 외경면에 구비한 단열튜브, 또는 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅한 단열튜브로 립 선단부에 유입되는 열을 차단함으로써 립 선단부의 강도저하, 밀봉력 약화, 고마찰력, 이물질 유입에 따른 증착불량 문제를 해소할 수 있고,As described above, the multi-lip built-in rotary feed-through sealing unit of the present invention has an insulating material on the inner diameter of the housing and low friction and heat insulation on the outer diameter of the rotating shaft so that it can operate normally at high temperatures above 150 ° C without a cooling device. Heat inflow to the tip of the lip is blocked with an insulation tube equipped with micro-dimples on the outer diameter surface or an insulation tube coated with a thick film using a low-friction material to reduce strength at the tip of the lip, weaken sealing force, high friction, and inflow of foreign substances. It is possible to solve the deposition defect problem according to

또한, 고온에 의해 자성유체가 증발하면서 발생하는 자력선 강도 및 밀봉력 약화와, 자성유체에 혼입된 이물질 유입에 의한 증착불량 문제와, 볼베어링의 증발유분과 마모입자 문제는 나선형 립 선단부와 멀티립 선단부를 다단계의 일체형으로 성형한 실링구조와 단열재로 밀봉성은 높이고, 증착 불량품을 줄이는 효과가 있고,In addition, the weakening of magnetic force line strength and sealing force caused by evaporation of magnetic fluid due to high temperature, the problem of deposition defect due to the inflow of foreign substances mixed in magnetic fluid, and the problem of evaporated oil and wear particles of ball bearings are caused by spiral lip tip and multi-lip tip It has the effect of improving the sealing property and reducing the deposition defect products with the sealing structure and the insulating material molded in a multi-stage integral type,

또한, 로터리 피드스루 실링 유니트에 유입되는 열에 의해 나선형 립 선단부와 동심원축의 멀티립 선단부의 강도저하에 따른 밀봉력 약화와 내구수명 단축문제는 립 선단부와 접촉하는 회전축의 외경부에는 수많은 마이크로 딤플이 구비된 저마찰 단열튜브, 또는 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅을 입힌 단열튜브를 삽입하고, 하우징의 내측면과 강재 보강테 사이에는 단열재를 각각 설치한 구조로 냉각장치 없이도 밀봉성과 저마찰성의 확보, 단열에 의한 냉각효과로 고온작동이 가능하여 유지비용과 초기 구입비용을 줄이는 효과가 있다.In addition, the problem of weakening sealing force and shortening durability due to the decrease in strength of the tip of the spiral lip and the tip of the concentric multi-lip due to the heat flowing into the rotary feed-through sealing unit is that the outer diameter of the rotary shaft in contact with the tip of the lip is provided with numerous micro-dimples. Low-friction insulation tube or insulation tube coated with thick film coating using low-friction material is inserted, and insulation materials are installed between the inner surface of the housing and the steel reinforcing frame to ensure sealing and low friction without a cooling device. It is possible to operate at high temperature due to the cooling effect of insulation, which has the effect of reducing maintenance cost and initial purchase cost.

도 1은 종래의 자성유체시일을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트 사시도.
도 2는 본 발명의 멀티립을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트 사시도.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예를 나타낸 멀티립을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트 사시도.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예를 나타낸 멀티립을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트 사시도.
도 5는 본 발명의 제3 실시 예를 나타낸 멀티립을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트 사시도.1 is a perspective view of a rotary feed-through sealing unit incorporating a conventional magnetic fluid seal;
Figure 2 is a perspective view of a rotary feed-through sealing unit incorporating a multi-lip of the present invention.
3 is a perspective view of a rotary feed-through sealing unit with a built-in multi-lip showing a first embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a rotary feed-through sealing unit with a built-in multi-lip showing a second embodiment of the present invention.
5 is a perspective view of a rotary feed-through sealing unit with a built-in multi-lip showing a third embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 구성을 실시 예에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the configuration of the present invention will be described in detail according to embodiments.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 로터리 피드스루 실링 유니트(100)는 진공증착설비(10)의 중심축(11)에 자성유체시일(12)을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트(100)의 회전축(13)을 키(14)로 체결하고, 상기 회전축(13)은 모터(15)로부터 동력을 공급받아 상기 중심축(11)에 연결된 원통형 평판에 올린 웨이퍼(16)와 같은 부품의 표면에 오염 부유물질이 없는 진공상태에서 증착작업을 하고,As shown in FIG. 1, the conventional rotary feed-through sealing unit 100 has a magnetic fluid seal 12 embedded in the central axis 11 of the vacuum deposition equipment 10, and the rotating shaft of the rotary feed-through sealing unit 100 (13) is fastened with the key 14, and the rotating shaft 13 receives power from the motor 15 and contaminates the surface of a part such as a wafer 16 placed on a cylindrical flat plate connected to the central shaft 11. Evaporation is performed in a vacuum without suspended solids,

상기 진공증착설비(10)에는 클린하고 높은 진공도를 유지하기 위해 하우징(17)의 내경부와 자성체로 제작된 회전축(13) 사이의 공간에는 중공형의 영구자석(18)을 조립하고, 상기 영구자석(18)의 좌우측에는 중공형의 자성체 폴피스(19,19')를 각각 조립하고, 상기 폴피스(19,19')와 회전축(13) 사이의 공간에 채워진 자성유체(20,20')가 폐회로 형상의 자력을 받아 자성유체(20,20')에 혼입된 자성체 입자들이 하나의 체인처럼 서로 연결되면서 밀봉하는 구조이고,In the vacuum deposition facility 10, a hollow permanent magnet 18 is assembled in the space between the inner diameter of the housing 17 and the rotating shaft 13 made of a magnetic material to maintain a clean and high vacuum, and the permanent magnet 18 is assembled. On the left and right sides of the magnet 18, hollow magnetic pole pieces 19 and 19' are assembled, respectively, and the magnetic fluid 20 and 20' filled in the space between the pole pieces 19 and 19' and the rotating shaft 13 ) is a structure in which the magnetic particles mixed in the magnetic fluid (20, 20') are connected to each other like a chain and sealed by receiving the magnetic force of the closed circuit shape,

또한, 모터(15)에서 전달되는 회전동력을 지지하기 위해 상기 폴피스(19,19')의 외측방향을 따라 비자성체의 튜브(21,21')와 볼베어링(22,22')을 연달아 조립하고,In addition, in order to support the rotational power transmitted from the motor 15, non-magnetic tubes 21 and 21' and ball bearings 22 and 22' are successively assembled along the outer direction of the pole pieces 19 and 19'. do,

또한, 진공증착설비(10)의 하단부에 형성된 플랜지(23)와 로터리 피드스루 실링 유니트(100)의 끝단부에 형성된 플랜지(23')에는 오링(24)를 사이에 두고 볼트(25)로 체결하여 외부의 이물질 및 공기의 유입을 차단하고, 상기 자성유체(20,20')와 상기 볼베어링(22,22')에 공급된 윤활유나 그리스는 내부의 마찰열 및 외부에서 전달된 열에 의해 증발된 유분, 공기 등이 유입되는 것을 차단하여 오염원 없이 깨끗한 진공도를 유지하기 위해 자성유체시일을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트(100)에 관한 것이다.In addition, the flange 23 formed at the lower end of the vacuum deposition equipment 10 and the flange 23' formed at the end of the rotary feed-through sealing unit 100 are fastened with bolts 25 with an O-ring 24 interposed therebetween. to block the inflow of foreign matter and air from the outside, and the lubricating oil or grease supplied to the magnetic fluid (20, 20') and the ball bearing (22, 22') evaporated by internal frictional heat and heat transferred from the outside The present invention relates to a rotary feed-through sealing unit 100 having a built-in magnetic fluid seal to maintain a clean vacuum without a source of contamination by blocking inflow of air, etc.

도 2는 본 발명에 의해 도 1에서 보여준 진공증착설비(10)의 중심축(11)에는 단열형 멀티립 시일(30)을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트(100')의 회전축(13)을 연결하여 모터(15)로부터 전달된 회전동력을 지지할 수 있도록 하우징(17)의 내경부와 회전축(13) 사이의 중간부에 조립된 튜브(21")의 좌우측면에는 한 쌍의 볼베어링(22,22')을 조립하고, FIG. 2 shows that the rotary shaft 13 of the rotary feed-through sealing unit 100' having an adiabatic multi-lip seal 30 built into the central axis 11 of the vacuum deposition equipment 10 shown in FIG. 1 according to the present invention A pair of ball bearings (22 , 22 ') is assembled,

상기 하우징(17)의 내경부와 회전축(13), 그리고 상기 볼베어링(22)의 좌측면에 형성된 구석 공간(31)에는 상기 단열형 멀티립 시일(30)의 외측면을 형성하는 ㄱ형상의 단열재(32)를 거꾸로 끼워 맞춰 외부에서 전도되는 열을 차단하고, 상기 단열재(32)의 내측면에는 ㄹ형상의 강재 보강테(33)를 일체형으로 접합시켜 탄성 유연성을 확보하고, 상기 강재 보강테(33)의 최하단 내경부와 좌우측면을 고무소재(34)로 감싸도록 인서트 성형하고, 상기 고무소재(34)의 내경부 우측 끝단에는 반시계방향의 나선형 립(35)을 일체형으로 성형하여 외부에서 유입하려는 이물질이나 유체를 밀어내어 밀봉하고, 상기 나선형 립(35)의 좌측 연장선에는 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 성형하여 나선형 립(35)을 통과한 유체의 좌측 유입을 차단하고, 상기 멀티립(36")의 좌측 연장선에는 또 다른 나선형 립(35')을 성형하여 멀티립(36,36',36")을 통과한 유체의 좌측 유입을 못하도록 반시계방향으로 밀어내는 다단계 밀봉구조의 립 선단부가 일체형으로 형성되고,The inner diameter of the housing 17, the rotating shaft 13, and the corner space 31 formed on the left side of the ball bearing 22 form the outer surface of the insulating multi-lip seal 30 A-shaped insulating material (32) is fitted upside down to block heat conducted from the outside, and the L-shaped steel reinforcing frame 33 is integrally bonded to the inner surface of the insulator 32 to secure elastic flexibility, and the steel reinforcing frame ( 33) is inserted molded to surround the lowermost inner diameter and left and right sides with a rubber material 34, and a counterclockwise spiral lip 35 is integrally molded at the right end of the inner diameter of the rubber material 34 to Foreign matter or fluid to be introduced is pushed out and sealed, and a plurality of concentric multi-lips (36, 36', 36") are molded on the left extension of the spiral lip 35, respectively, so that the fluid passing through the spiral lip 35 The left inflow is blocked, and another spiral lip 35' is formed on the left extension of the multi-lip 36" to prevent the left inflow of the fluid passing through the multi-lip 36, 36', 36" counterclockwise The tip of the lip of the multi-stage sealing structure that pushes in the direction is integrally formed,

또한, 상기 회전축(13)의 외경부 일단에 돌출되게 형성된 원형턱(37)의 우측에는 볼베어링(22), 좌측에는 외경면에 수많은 마이크로 딤플(38)을 구비한 저마찰 단열소재로 성형된 단열튜브(39)를 삽입하여 회전축(13)을 통해 전도된 열 유입을 차단함으로써 나선형 립(35,35')과 멀티립(36,36',36") 선단부의 강도저하 및 밀봉내구성 저하를 방지하고,In addition, a ball bearing 22 is formed on the right side of the circular jaw 37 formed to protrude from one end of the outer diameter of the rotary shaft 13, and a heat insulation molded of a low friction insulating material having numerous micro-dimples 38 on the outer diameter surface on the left side. By inserting the tube 39 to block the inflow of heat conducted through the rotating shaft 13, the strength and sealing durability of the tips of the spiral lips (35, 35') and multi-lips (36, 36', 36") are prevented. do,

또한, 로터리 피드스루 실링 유니트(100')의 좌측 끝단부에 형성된 플랜지(23')의 외측면에 형성된 오링홈(40)에는 복수개의 립 선단부를 구비한 멀티립 링(41)을 삽입하여 진공증착설비(10)와 체결할 때 높은 밀봉내구 안전성을 확보하고,In addition, a multi-lip ring 41 having a plurality of lip tips is inserted into the O-ring groove 40 formed on the outer surface of the flange 23' formed at the left end of the rotary feed-through sealing unit 100' to vacuum When fastening with the deposition equipment 10, high sealing durability safety is ensured,

상기 로터리 피드스루 실링 유니트(100')의 좌우측에 걸리는 진공도 압력차가 높을수록, 특히 증착온도가 높아질수록 볼베어링(22,22')에 공급된 윤활유나 그리스의 증발에 의한 유분입자, 외부의 이물질이나 유체의 유입, 또는 내부유체의 외부 누설을 완벽하게 차단하기 위해 반시계방향의 다단계 단열형 멀티립 시일(30)을 내장한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트(100')에 관한 것이다.As the difference in vacuum level and pressure applied to the left and right sides of the rotary feed-through sealing unit 100' increases, especially as the deposition temperature increases, oil particles caused by evaporation of lubricating oil or grease supplied to the ball bearings 22 and 22', external foreign substances, It relates to a rotary feed-through sealing unit (100') having a built-in structure with a counterclockwise multi-stage insulating multi-lip seal (30) in order to completely block the inflow of fluid or the leakage of internal fluid to the outside.

도 3은 본 발명의 제1실시 예를 예시한 미끄럼마찰 저항력을 줄이고 립 선단부의 방향을 반대로 바꾼 사시도로서, 여기서 도 2와 다른 구조적 특징을 보면 도 3은 도 2에서 단열재(32)의 내측면에는 ㄹ형상의 강재 보강테(33) 대신에 ㄹ형상의 강재 보강테(33')를 거꾸로 접합시켜 탄성 유연성을 확보하고, 상기 강재 보강테(33')의 최하단 내경부와 좌우측면을 고무소재(34')로 감싸도록 인서트 성형하고, 상기 고무소재(34')의 내경부 좌측 끝단에는 시계방향의 나선형 립(35')을 일체형으로 성형하여 좌측에서 유입하려는 이물질이나 유체를 밀어내어 밀봉하고, 상기 나선형 립(35')의 우측 연장선에는 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 성형하여 나선형 립(35')을 통과한 유체의 좌측 유입을 못하도록 시계방향으로 밀봉하는 다단계 밀봉구조의 립 선단부를 일체형으로 형성되고,Figure 3 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention in which the sliding friction resistance is reduced and the direction of the tip of the lip is reversed. Instead of the L-shaped steel reinforcing frame 33, the L-shaped steel reinforcing frame 33' is inverted to secure elastic flexibility, and the lowermost inner diameter and left and right sides of the steel reinforcing frame 33' are made of rubber (34'), and at the left end of the inner diameter of the rubber material (34'), a clockwise spiral lip (35') is integrally molded to push foreign substances or fluids to flow in from the left side and seal it , A plurality of concentric multi-lips 36, 36', 36" are molded on the right extension line of the spiral lip 35', respectively, and sealed clockwise to prevent the left inflow of fluid passing through the spiral lip 35' The lip tip of the multi-step sealing structure to be integrally formed,

또한, 도 2에서 미끄럼 마찰력을 줄이기 위해 외경면에 수많은 마이크로 딤플(38)을 구비한 단열튜브(39) 대신에 외경부에 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅(43)을 입힌 단열튜브(39')를 삽입하여 회전축(13)을 통해 전도되는 열 유입을 차단함으로써 나선형 립(35')과 멀티립(36,36',36") 선단부에서 발생하는 미끄럼마찰 저항력의 감소 및 마모발생의 차단, 그리고 강도 및 밀봉내구성 저하를 방지하기 위해 시계방향의 다단계 단열형 멀티립 시일(30')을 내장한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트(100")에 관한 것이다.In addition, in order to reduce the sliding friction force in FIG. 2, instead of the heat insulating tube 39 having numerous micro-dimples 38 on the outer diameter surface, a low-friction material is used on the outer diameter of the heat insulating tube 39 ' ) is inserted to block the inflow of heat conducted through the rotating shaft 13, thereby reducing the sliding friction resistance generated at the tip of the spiral lip 35' and the multi-ribs 36, 36', 36" and blocking the occurrence of wear, And it relates to a rotary feed-through sealing unit (100") having a structure incorporating a clockwise multi-stage heat insulating multi-lip seal (30') in order to prevent deterioration in strength and sealing durability.

도 4는 본 발명의 제2실시 예를 예시한 단열재와 강재 보강테를 하나의 탄성 단열재로 대체하고, 미끄럼마찰 저항력을 줄이는 방식과 고무소재를 탄성 단열재에 인서트 성형방식을 바꾼 사시도로서, 여기서 도 2와 다른 구조적 특징을 보면 도 4에서는 도 2의 단열재(32)의 단열기능과 강재 보강테(33)의 강도기능은 볼베어링(22)의 좌측면에 형성된 구석 공간(31)에 ㄷ형상의 탄성 단열재(44)를 끼워 맞춰 대체하고, 상기 탄성 단열재(44)의 최하단 내경부에 형성된 다수개의 열장이음 홈(45)에 고무소재(34")로 인서트 성형하고, 상기 고무소재(34")의 내경부 우측 끝단에는 우측방향을 향한 립 선단부의 내경부가 우측에서 좌측으로 이동하면서 줄어들도록 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 성형하여 미끄럼마찰 접촉면압은 반대로 증가되는 구조에 의해 밀봉성은 높아지고, 상기 멀티립(36")의 좌측 연장선에는 좌측방향을 향한 립 시일(46)을 성형하여 좌측에서 유입하는 이물질이나 유체를 차단하고,Figure 4 is a perspective view of a second embodiment of the present invention in which the heat insulating material and the steel reinforcing frame are replaced with one elastic heat insulating material, and the sliding friction resistance is reduced and the rubber material is inserted into the elastic heat insulating material. Looking at structural features different from 2, in FIG. 4, the insulation function of the insulation material 32 of FIG. 2 and the strength function of the steel reinforcing frame 33 are C-shaped elasticity in the corner space 31 formed on the left side of the ball bearing 22 The insulator 44 is fitted and replaced, and a plurality of dovetail grooves 45 formed in the lowermost inner diameter of the elastic insulator 44 are insert-molded with a rubber material 34", and the rubber material 34" At the right end of the inner diameter, a plurality of concentric multi-lips (36, 36', 36") are molded so that the inner diameter of the tip of the lip facing the right direction decreases as it moves from the right to the left, so that the sliding frictional contact surface pressure is increased on the contrary. Thus, the sealing property is increased, and a lip seal 46 facing the left direction is formed on the left extension of the multi-lip 36 "to block foreign substances or fluids flowing in from the left side,

또한, 도 2에서는 미끄럼 마찰력을 줄이기 위해 외경면에 수많은 마이크로 딤플(38)을 구비한 단열튜브(39) 대신에 외경부에 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅(43)을 입힌 단열튜브(39')를 삽입하여 회전축(13)을 통해 전도되는 열 유입을 차단함으로써 멀티립(36,36',36")과 립 시일(46)의 선단부에서 발생하는 미끄럼마찰 저항력의 감소 및 마모발생의 차단, 그리고 강도 및 밀봉내구성 저하를 방지하기 위해 반시계방향의 다단계 단열형 멀티립 시일(30")을 내장한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트(100")에 관한 것이다.In addition, in FIG. 2, instead of the heat insulating tube 39 having numerous micro-dimples 38 on the outer diameter surface to reduce sliding friction, the outer diameter of the heat insulating tube 39' coated with a thick film coating 43 using a low-friction material. ) is inserted to block the inflow of heat conducted through the rotating shaft 13, thereby reducing the sliding friction resistance generated at the front end of the multi-lips (36, 36', 36 ") and the lip seal 46 and blocking the occurrence of wear, And it relates to a rotary feed-through sealing unit (100") having a structure incorporating a counterclockwise multi-stage heat insulating multi-lip seal (30") in order to prevent deterioration in strength and sealing durability.

도 5는 본 발명의 제3실시 예를 예시한 단열재와 강재 보강테 및 립 선단부의 고무소재를 하나의 탄성 단열밀봉재로 성형하여 대체하고, 립 선단부의 미끄럼마찰 저항력를 줄이고 탄성변형 거동성을 높이기 위해 인서트 성형으로 바꾼 사시도로서, 여기서 도 2와 다른 구조적 특징을 보면 도 5에서는 도 2의 단열재(32)의 단열기능과 강재 보강테(33)의 강도기능, 나선형 립(35,35')과 멀티립(36,36',36") 선단부에 의한 밀봉기능은 볼베어링(22)의 좌측면에 형성된 구석 공간(31)에 ㄷ형상의 립 선단부를 일체형으로 성형한 탄성 단열밀봉재(47)를 끼워 맞춰 대체하고, 상기 탄성 단열밀봉재(47)에서 밀봉기능을 담당하는 립 선단부의 내경부 우측 끝단에는 반시계방향의 나선형 립(35)을 일체형으로 성형하여 외부에서 유입하려는 이물질이나 유체를 밀어내어 밀봉하고, 상기 나선형 립(35)의 좌측 연장선에는 립 선단부의 내경부가 우측에서 좌측으로 이동하면서 줄어들도록 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 성형한 구조이므로 미끄럼마찰 접촉면압은 반대로 증가되어 밀봉성을 점차로 높일 수 있어 상기 나선형 립(35)을 통과한 유체의 좌측 유입을 차단하고, 상기 멀티립(36")의 좌측 연장선에는 또 다른 나선형 립(35')을 성형하여 멀티립(36,36',36")을 통과한 유체의 좌측 유입을 못하도록 반시계방향으로 밀어내는 다단계 밀봉구조의 립 선단부가 일체형으로 형성되고,5 is a third embodiment of the present invention, in order to replace the heat insulating material, the steel reinforcing frame, and the rubber material at the tip of the lip by molding into one elastic insulation sealant, reducing the sliding friction resistance of the tip of the lip and increasing the elastic deformation behavior As a perspective view changed to insert molding, here, looking at the structural features different from those of FIG. 2, in FIG. 5, the insulation function of the insulation material 32 of FIG. 2, the strength function of the steel reinforcement frame 33, the spiral ribs 35 and 35' and The sealing function by the tip of the lip (36, 36', 36") fits the elastic heat insulating sealing material 47 integrally molded with the tip of the c-shaped lip in the corner space 31 formed on the left side of the ball bearing 22. Instead, a counterclockwise spiral lip 35 is integrally molded at the right end of the inner diameter of the tip of the lip responsible for the sealing function in the elastic heat insulating sealant 47 to push foreign substances or fluids to flow in from the outside to seal , Since the left extension of the spiral lip 35 has a structure in which a plurality of concentric multi-ribs 36, 36', 36 "are respectively molded so that the inner diameter of the tip of the lip decreases while moving from right to left, the sliding friction contact surface pressure is On the contrary, it is increased so that the sealing property can be gradually increased to block the left inflow of the fluid passing through the spiral lip 35, and another spiral lip 35' is formed on the left extension of the multi-lip 36" to seal the multi-lip 35". The tip of the lip of the multi-stage sealing structure that pushes in the counterclockwise direction to prevent the left inflow of the fluid passing through the lip (36, 36', 36 ") is integrally formed,

또한, 도 2에서는 미끄럼 마찰력을 줄이기 위해 외경면에 수많은 마이크로 딤플(38)을 구비한 단열튜브(39) 대신에 외경부에 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅(43')을 입힌 단열 고탄성튜브(48)를 삽입하여 회전축(13)을 통해 전도되는 열 유입 차단과 상기 나선형 립(35,35')과 멀티립(36,36',36") 선단부의 탄성변형 거동성을 보강하여 미끄럼마찰 저항력의 감소 및 마모발생의 차단, 그리고 강도 및 밀봉내구성 저하를 방지하기 위해 반시계방향의 다단계 단열형 멀티립 시일(30"')을 내장한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트(100"')에 관한 것이다.In addition, in FIG. 2, instead of the insulating tube 39 having numerous micro-dimples 38 on the outer diameter surface to reduce sliding friction, a low-friction material is used on the outer diameter of the insulating high-elasticity tube coated with a thick film coating 43' ( 48) is inserted to block heat conduction through the rotating shaft 13 and to reinforce the elastic deformation behavior of the tips of the spiral ribs 35, 35' and multi-ribs 36, 36', 36" to resist sliding friction. Relates to a rotary feed-through sealing unit (100"') having a built-in multi-stage insulating multi-lip seal (30"') in a counterclockwise direction in order to reduce the occurrence of abrasion and prevent deterioration in strength and sealing durability will be.

이상에서 설명한 본 발명은 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 즉, 본 발명은 기재된 특허청구 범위의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 가능하다.The present invention described above is not limited to the configuration and operation as shown and described. That is, the present invention is capable of various changes and modifications within the spirit and scope of the claimed claims.

10 : 진공증착설비 11 : 중심축
12 : 자성유체시일 13 : 회전축
14 : 키 15 : 모터
16 : 웨이퍼 17 : 하우징
18 : 영구자석 19,19' : 폴피스
20,20’: 자성유체 21,21',21" : 튜브
22,22' : 볼베어링 23,23' : 플랜지
24,24' : 오링 25 : 볼트
26 : 히팅패드 30,30',30",30"' : 단열형 멀티립 시일
31 : 구석 공간 32 : 단열재
33,33' : 강재 보강테 34,34',34" : 고무소재
35,35' : 나선형 립 36,36',36" : 멀티립
37 : 원형턱 38 : 마이크로 딤플
39,39' : 단열튜브 40 : 오링홈
41 : 멀티립 링 42,42' : 패킹
43,43' : 후막코팅 44 : 탄성 단열재
45 : 열장이음 홈 46 : 립 시일
47 : 탄성 단열밀봉재 48 : 단열 고탄성튜브
100,100',100",100"' : 로터리 피드스루 실링 유니트10: vacuum deposition facility 11: central axis
12: magnetic fluid seal 13: rotation shaft
14: key 15: motor
16: wafer 17: housing
18: permanent magnet 19,19': pole piece
20,20': Ferrofluid 21,21',21": Tube
22,22': ball bearing 23,23': flange
24,24': O-ring 25: Bolt
26: Heating pad 30,30',30",30"': Insulated multi-lip seal
31: corner space 32: insulation
33,33': steel reinforcing frame 34,34',34": rubber material
35,35' : Spiral lip 36,36',36" : Multi lip
37: circular jaw 38: micro dimple
39,39 ': insulation tube 40: O-ring home
41: multi-lip ring 42,42': packing
43,43': thick film coating 44: elastic insulation
45: dovetail groove 46: lip seal
47: elastic insulation sealing material 48: insulation high elasticity tube
100,100',100",100"' : Rotary feed-through sealing unit

Claims (4)

하우징(17)의 내경부와 회전축(13), 그리고 볼베어링(22)의 좌측면에 형성된 구석 공간(31)에는 축방향으로 반을 절단한 단열형 멀티립 시일(30)을 후방에서 전방으로 투영하여 보여준 ㄱ형상의 절단면을 전방에서 보면 거꾸로 끼워 맞춘 형상으로 보이는 ㄱ형상의 단열재(32)는 외부에서 전도되는 열을 차단하고, 상기 단열재(32)의 내경면에는 축방향으로 반을 절단한 상기 단열형 멀티립 시일(30)의 상단부를 전방에서 후방으로 투영하여 보여준 ㄹ형상의 절단면을 갖는 강재 보강테(33)의 최외주면을 일체형으로 접합하고,
또한, 상기 강재 보강테(33)의 최하단 내경부와 좌우측면에는 고무소재(34)에 의해 감싸도록 인서트 성형하고, 상기 고무소재(34)의 내경부 우측 끝단에 일체형으로 성형한 반시계방향 나선형 립(35)의 좌측 연장선에는 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 형성하고, 상기 멀티립(36")의 좌측 연장선에 일체형으로 성형한 또 다른 나선형 립(35')에 의해 우측에서 유입하는 이물질이나 유체를 반시계방향으로 밀어내는 다단계 밀봉구조가 형성되고,
또한, 상기 회전축(13)의 외경부 일단에 돌출되게 형성된 원형턱(37)의 좌측에는 외경면에 저마찰 단열소재로 성형된 단열튜브(39)를 삽입하여 나선형 립(35,35')과 멀티립(36,36',36")의 선단부에 회전축(13)을 통해 전도된 열 유입을 차단하고,
또한, 로터리 피드스루 실링 유니트(100')의 좌측 끝단부에 형성된 플랜지(23')의 외측면에 형성된 오링홈(40)에는 복수개의 립 선단부를 구비한 멀티립 링(41)이 삽입된 구조를 포함하여 반시계방향으로 형성한 것을 특징으로 하는 반시계방향의 다단계 단열형 멀티립 시일(30)을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트.In the inner diameter of the housing 17, the rotational shaft 13, and the corner space 31 formed on the left side of the ball bearing 22, an adiabatic multi-lip seal 30 cut in half in the axial direction is projected from the rear to the front. The a-shaped insulator 32, which looks like an upside-down fit when viewed from the front, blocks heat conducted from the outside, and the inner diameter surface of the insulator 32 cuts in half in the axial direction. The outermost circumferential surface of the steel reinforcing frame 33 having the L-shaped cut surface shown by projecting the upper end of the insulating multi-lip seal 30 from the front to the rear is integrally joined,
In addition, the inner diameter of the lowermost end of the steel reinforcing frame 33 and the left and right sides are insert-molded so as to be wrapped with a rubber material 34, and a counterclockwise spiral molded integrally with the right end of the inner diameter of the rubber material 34. A plurality of concentric multi-lips 36, 36', 36" are formed on the left extension of the lip 35, and another spiral lip 35' integrally molded on the left extension of the multi-lip 36" ) forms a multi-stage sealing structure that pushes foreign substances or fluids flowing in from the right side in a counterclockwise direction,
In addition, on the left side of the circular jaw 37 formed to protrude from one end of the outer diameter of the rotary shaft 13, an insulation tube 39 formed of a low-friction insulation material is inserted into the outer diameter surface to form a spiral lip 35, 35' and Block the inflow of heat conducted through the rotating shaft 13 to the front end of the multi-lips 36, 36', 36",
In addition, the O-ring groove 40 formed on the outer surface of the flange 23' formed at the left end of the rotary feed-through sealing unit 100' has a structure in which a multi-lip ring 41 having a plurality of lip tips is inserted Rotary feed-through sealing unit with a built-in counterclockwise multi-stage heat insulating multi-lip seal 30, characterized in that formed in the counterclockwise direction, including. 하우징(17)의 내경부와 회전축(13), 그리고 볼베어링(22)의 좌측면에 형성된 구석 공간(31)에는 축방향으로 반을 절단한 단열형 멀티립 시일(30')을 후방에서 전방으로 투영하여 보여준 ㄱ형상의 절단면을 전방에서 보면 거꾸로 끼워 맞춘 형상으로 보이는 ㄱ형상의 단열재(32)는 외부에서 전도되는 열을 차단하고, 상기 단열재(32)의 내경면에는 축방향으로 반을 절단한 상기 단열형 멀티립 시일(30')의 상단부를 후방에서 전방으로 투영하여 보여준 ㄹ형상의 절단면을 갖는 강재 보강테(33')를 전방에서 보면 거꾸로 끼워 맞춘 형상으로 보이는 ㄹ형상의 강재 보강테(33')의 최외주면을 일체형으로 접합시킨 구조물의 최하단 내경부와 좌우측면에는 고무소재(34')에 의해 감싸도록 인서트 성형하고, 상기 고무소재(34')의 내경부 좌측 끝단에 일체형으로 성형한 시계방향의 나선형 립(35')의 우측 연장선에는 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 성형하여 좌측에서 유입한 유체나 이물질을 시계방향으로 밀어내는 다단계 밀봉구조가 형성되고,
또한, 회전축(13)의 외경부에 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅(43)을 입힌 단열튜브(39')를 삽입하여 상기 나선형 립(35')과 멀티립(36,36',36") 선단부에서 발생하는 마찰 저항력을 줄이면서 마모발생을 억제하고, 동시에 상기 회전축(13)을 통해 전도되는 열 유입을 차단하여 립 선단부의 강도 및 밀봉내구성 저하를 방지하기 위해 시계방향의 다단계 단열형 멀티립 시일(30')을 내장한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트.In the inner diameter of the housing 17, the rotary shaft 13, and the corner space 31 formed on the left side of the ball bearing 22, an adiabatic multi-lip seal 30' cut in half in the axial direction is placed from the rear to the front. When the A-shaped cut surface shown by projection is viewed from the front, the A-shaped insulator 32, which looks like an upside-down fit, blocks heat conducted from the outside, and the inner diameter surface of the insulator 32 is cut in half in the axial direction When viewed from the front, the steel reinforcing frame 33 'having a d-shaped cut surface shown by projecting the upper end of the insulated multi-lip seal 30' from the rear to the front looks like an upside-down fitted steel reinforcing frame ( 33') is insert-molded so as to be wrapped by a rubber material 34' at the lowermost inner diameter and left and right sides of the structure in which the outermost circumferential surface of the structure is integrally joined, and integrally molded at the left end of the inner diameter of the rubber material 34'. On the right extension of one clockwise spiral lip 35', a multi-stage sealing structure is formed by molding a plurality of concentric multi-lips 36, 36', 36", respectively, to push fluid or foreign matter introduced from the left side clockwise. formed,
In addition, an insulating tube 39' coated with a thick film coating 43 using a low-friction material is inserted into the outer diameter of the rotary shaft 13, so that the spiral lip 35' and the multi-lips 36, 36', and 36 " ) In order to reduce the frictional resistance generated at the front end and suppress the occurrence of wear, and at the same time to block the inflow of heat conducted through the rotating shaft 13 to prevent deterioration in strength and sealing durability of the front end of the lip, a clockwise multi-step adiabatic multi A rotary feed-through sealing unit with a built-in lip seal (30'). 청구항 1에 있어서,
상기 구석 공간(31)에는 축방향으로 반을 절단한 단열형 멀티립 시일(30")의 상단부를 전방에서 후방으로 투영하여 보여준 ㄷ형상의 절단면을 갖는 ㄷ형상의 탄성 단열재(44)를 끼워 맞추고, 상기 탄성 단열재(44)의 최하단 내경부에 형성된 다수개의 열장이음 홈(45)에 인서트 성형한 고무소재(34")의 내경부 우측 끝단에는 우측방향을 향한 립 선단부의 내경부가 우측에서 좌측으로 이동하면서 줄어들도록 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 성형하여 접촉면압을 반대로 높여주고, 상기 멀티립(36")의 좌측 연장선에는 좌측방향을 향한 립 시일(46)을 성형하여 좌측에서 유입하는 이물질이나 유체를 차단하는 다단계 밀봉구조가 형성되고,
또한, 회전축(13)의 외경부 일단에 돌출되게 형성된 원형턱(37)의 좌측 외경부에는 저마찰 소재를 사용하여 후막코팅(43)을 입힌 단열튜브(39')를 삽입하여 멀티립(36,36',36")과 립 시일(46)의 선단부에서 발생하는 마찰 저항력을 줄이면서 마모발생을 억제하고, 동시에 상기 회전축(13)을 통해 전도되는 열 유입을 차단하여 립 선단부의 강도 및 밀봉내구성 저하를 방지하기 위해 반시계방향의 다단계 단열형 멀티립 시일(30")을 내장한 구조의 로터리 피드스루 실링 유니트.The method of claim 1,
In the corner space 31, a c-shaped elastic insulator 44 having a c-shaped cut surface shown by projecting the upper end of the insulating multi-lip seal 30 "cut in half in the axial direction from the front to the rear is fitted, , At the right end of the inner diameter of the rubber material 34 ", which is insert-molded into the plurality of dovetail grooves 45 formed in the inner diameter of the lowermost end of the elastic insulating material 44, the inner diameter of the tip of the lip facing the right direction is from right to left A plurality of concentric multi-lips (36, 36', 36") are respectively molded to decrease while moving to increase the contact surface pressure, and the left extension of the multi-lips (36") is a lip seal 46 facing the left direction A multi-step sealing structure is formed to block foreign substances or fluids flowing in from the left side by molding,
In addition, a heat insulating tube 39' coated with a thick film coating 43 using a low-friction material is inserted into the left outer diameter of the circular jaw 37 formed to protrude from one end of the outer diameter of the rotary shaft 13, and the multi-lip 36 , 36 ', 36 ") and the lip seal 46, reduce the frictional resistance generated at the front end, suppress the occurrence of wear, and at the same time block the heat conduction through the rotation shaft 13 to block the strength and sealing of the front end of the lip A rotary feed-through sealing unit with a built-in multi-stage insulation type multi-lip seal (30") in a counterclockwise direction to prevent durability degradation. 청구항 1에 있어서,
하우징(17)의 내경부와 회전축(13), 그리고 볼베어링(22)의 좌측면에 형성된 구석 공간(31)에는 축방향으로 반을 절단한 단열형 멀티립 시일(30"')의 상단부를 전방에서 후방으로 투영하여 보여준 ㄷ형상의 절단면을 갖는 ㄷ형상의 탄성 단열밀봉재(47)를 끼워 맞추고, 상기 탄성 단열밀봉재(47)의 하단 내경부 우측 끝단에 일체형으로 성형한 나선형 립(35)의 좌측 연장선에는 립 선단부의 내경부가 우측에서 좌측으로 이동하면서 줄어들도록 동심원축의 멀티립(36,36',36") 다수 개를 각각 형성하고, 상기 멀티립(36")의 좌측 연장선에는 또 다른 나선형 립(35')을 성형하여 우측에서 유체나 이물질 유입을 못하도록 반시계방향으로 밀어내는 다단계 밀봉구조의 립 선단부가 형성되고,
또한, 회전축(13)의 외경부 일단에 돌출되게 형성된 원형턱(37)의 좌측 외경부에는 저마찰 소재로 후막코팅(43')을 입힌 단열 고탄성튜브(48)를 삽입하여 상기 나선형 립(35,35')과 멀티립(36,36',36") 선단부의 탄성변형 거동성을 보강한 구조를 포함하여 반시계방향으로 형성한 것을 특징으로 하는 다단계 단열형 멀티립 시일(30"')을 내장한 로터리 피드스루 실링 유니트.The method of claim 1,
In the inner diameter of the housing 17, the rotary shaft 13, and the corner space 31 formed on the left side of the ball bearing 22, the upper end of the adiabatic multi-lip seal 30"' cut in half in the axial direction is forwarded. The left side of the spiral lip 35 integrally molded to the right end of the lower inner diameter of the elastic heat insulating sealant 47 by fitting the c-shaped elastic heat insulating sealant 47 having a c-shaped cut surface shown by projecting it backward in A plurality of concentric multi-lips (36, 36', 36") are formed on the extension line so that the inner diameter of the lip tip decreases as it moves from right to left, and another spiral lip is formed on the left extension line of the multi-lip (36") (35') is formed to form a lip tip of a multi-stage sealing structure that pushes in a counterclockwise direction to prevent fluid or foreign substances from entering from the right side,
In addition, an insulating high elasticity tube 48 coated with a thick film coating 43 'of a low-friction material is inserted into the left outer diameter of the circular jaw 37 formed to protrude from one end of the outer diameter of the rotary shaft 13, so that the spiral lip 35 , 35') and multi-lips (36, 36', 36"), including a structure that reinforces the elastic deformation behavior of the front end, multi-stage insulating multi-lip seal (30"') characterized in that it is formed in a counterclockwise direction Rotary feed-through sealing unit with built-in
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