KR102570110B1 - 원격 도핑 가스 공급 시스템의 가스 전송 적응 장치 - Google Patents

원격 도핑 가스 공급 시스템의 가스 전송 적응 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 원격 도핑 가스원과 로컬 가스 공급 금속 챔버 사이에 직렬 연결되는 원격 도핑 가스 공급 시스템의 가스 전송 적응 장치에 관한 것으로, 전기 절연 박스, 경질 절연 파이프 및 적어도 하나의 플렉시블 파이프를 포함하고; 상기 경질 절연 파이프는 로컬 가스 공급 금속 챔버의 고 전압원과 격리되도록 상기 전기 절연 박스 내에 고정되며, 상기 적어도 하나의 플렉시블 파이프는 상기 전기 절연 박스에 기밀하게 고정되고 또한 외부 진동 에너지를 흡수하기 위해 상기 경질 절연 파이프의 대응되는 일단과 연통된다.

Description

원격 도핑 가스 공급 시스템의 가스 전송 적응 장치{GAS TRANSMISSION ADAPTING DEVICE OF REMOTE DOPING GAS SUPPLY SYSTEM}
본 발명은 가스를 도핑하기 위한 가스 공급 시스템에 관한 것으로, 특히 원격 도핑 가스원과 로컬 가스 공급 금속 챔버 사이에 직렬 연결된 가스 전송 적응 장치에 관한 것이다.
현재 대부분의 이온 주입기에 적용되는 로컬 가스 공급 금속 챔버 내에는 상기 이온 주입기의 연결을 위한 많은 도핑 가스 실린더가 설치되어 있는데 이의 일정한 용량 제한으로 인해 실린더를 자주 교체해야 하므로 시간과 인력이 많이 소모된다.
따라서, 현재 용량이 제한된 로컬 가스의 공급 문제를 해결하기 위해 많은 제조사들은 원격 가스 공급 시스템을 개발하였으나, 로컬 가스 공급 금속 챔버가 고 전압 환경이기 때문에 상기 원격 가스 공급 시스템이 원격에서 상기 로컬 금속 챔버 내로 도핑 가스 전송시 이송관 내의 높은 전위차로 인해 도핑 가스가 해리되는 것을 엄격히 방지할 필요가 있다. 이 밖에, 지진과 같은 심한 흔들림으로 인해(파손되어) 이송관에서 독성 도핑 가스가 누출되는 문제점 역시 고려 대상이다.
전술한 원격 도핑 가스원의 가스 전송 장치 안전성을 고려하여, 본 발명의 주요 목적은 원격 도핑 가스원과 로컬 가스 공급 금속 챔버 사이에 직렬 연결된 가스 전송 적응 장치를 제안하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 주요 기술적 해결수단에 따른 상기 가스 전송 적응 장치는,
전기 절연 박스;
상기 전기 절연 박스 내에 수직으로 고정되고, 제1단 및 제2단을 구비하는 경질 절연 파이프; 및
일단이 상기 전기 절연 박스에 기밀하게 고정되어 상기 경질 절연 파이프의 제1단과 연통되는 제1 플렉시블 파이프를 포함한다.
상기 설명으로부터 본 발명의 가스 전송 적응 장치는 전기 절연 박스를 사용하고, 도핑 가스를 전송하기 위한 경질 절연 파이프는 상기 전기 절연 박스 내에 고정되므로 로컬 가스 공급 금속 챔버의 고 전압원과 격리될 수 있으며, 또한 상기 경질 절연 파이프의 제1단은 플렉시블 파이프와 연통되므로 장착 위치가 외부 진동의 영향을 받는 경우 상기 플렉시블 파이프를 통해 진동파를 흡수하여 진동으로 인한 파손 확률을 줄이고 안전성을 향상시킬 수 있음을 알 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 가스 전송 적응 장치가 로컬 가스 공급 금속 챔버 근처에 설치된 모식도이다.
도 2a는 본 발명에 따른 가스 전송 적응 장치의 사시도이다.
도 2b는 본 발명에 따른 가스 전송 적응 장치의 다른 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 가스 전송 적응 장치의 제1 실시예의 파이프 라인의 모식도이다.
도 4는 본 발명에 따른 가스 전송 적응 장치의 제2 실시예의 파이프 라인의 모식도이다.
도 5는 본 발명에 따른 가스 전송 적응 장치의 제3 실시예의 파이프 라인의 모식도이다.
도 6a는 본 발명에 따른 가스 공급 시스템에 사용되는 도핑 가스의 파센 곡선도이다.
도 6b는 본 발명에 따른 가스 공급 시스템에 사용되는 불활성 가스의 파센 곡선도이다.
본 발명은 이온 주입기의 원격 가스 공급 시스템에 대한 고 안전성 가스 전송 적응 장치를 제안하는 바, 아래 도면과 함께 다양한 실시예를 예로 들어 본 발명의 기술특징을 자세히 설명한다.
우선 도 1을 참조하면, 본 발명의 가스 전송 적응 장치(10)는 로컬 가스 공급 금속 챔버(20)의 근처에 설치되어 원격 도핑 가스를 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20) 내로 전송하고; 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20) 내에는 다양한 도핑 가스의 실린더(미도시)가 저장되어 도핑 가스를 근처의 이온 주입기(미도시)에 제공하며, 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20)는 고 전압원(약 수백 볼트 내지 80 킬로 볼트)의 고 전위단(+)에 전기적으로 연결되므로 이의 바닥면은 복수의 절연 애자(21)에 의해 바닥(30)에 고정되고, 상기 복수의 절연 애자(21)는 상기 고 전압원의 저 전위단(-)에 전기적으로 연결된다. 본 실시예에서, 상기 가스 전송 적응 장치(10)는 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20)와 바닥(30) 사이의 공간 내에 설치되고, 도 2a, 도 2b 및 도 3을 참조하면, 상기 가스 전송 적응 장치(10)는 전기 절연 박스(11), 경질 절연 파이프(12) 및 적어도 하나의 플렉시블 파이프(13)를 포함한다.
도 1, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 전기 절연 박스(11)는 수지(Epoxy), 세라믹계, PTFE, 폴리페닐계, 폴리옥시메틸렌, 페놀 플라스틱(베이클라이트), 액정 폴리머 등과 같은 전기 절연 재료로 제조된다. 또한, 상기 전기 절연 박스(11)는 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20)의 외측 또는 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20) 근처의 바닥(30)에 고정될 수 있고; 본 실시예에서, 상기 전기 절연 박스(11)는 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20) 아래의 바닥(30)에 고정되어 있으므로 상기 전기 절연 박스(11)의 최상면 및 바닥면에는 각각 상부 개구(111) 및 하부 개구(112)가 형성되며, 상기 전기 절연 박스(11)의 외측 플레이트(113)에는 요철 표면이 구비되어 떨어지는 먼지의 축적으로 인한 고압 방전을 방지할 수 있다. 이 밖에, 상기 전기 절연 박스(11)는 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버(20)의 바닥면에 고정될 수도 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 경질 절연 파이프(12)는 상기 전기 절연 박스(11) 내에 수직으로 고정되고, 상기 경질 절연 파이프(12)의 길이(d1)는 제1단(121)과 제2단(122)을 포함하며; 본 실시예에서, 상기 경질 절연 파이프(12)의 재질은 사파이어 유리, 세라믹 또는 가소화 재료이고; 상기 가소화 재료는 에틸렌계 중합체, 페닐에스터계 중합체, 티오에테르계 중합체 중 하나이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 플렉시블 파이프(13)의 일단은 상기 전기 절연 박스(11)에 기밀하게 설치되어 상기 경질 절연 파이프(12)의 제1단(121)과 연통되고, 상기 플렉시블 파이프(13)의 타단은 외부 도핑 가스 파이프에 연결될 수 있으며; 또한 상기 플렉시블 파이프(13)의 재질은 스테인리스 스틸 또는 다른 금속 플렉시블 파이프 등과 같은 금속 재료일 수 있다. 본 실시예에서, 상기 플렉시블 파이프(13)는 파이프 직경이 1/8 인치인 스테인리스 스틸 파이프를 사용하고, 상기 스테인리스 스틸 파이프는 소정의 간격으로 파이프를 에워싸고 스프링 형상으로 성형되며, 상기 스프링 형상의 스테인리스 스틸 파이프는 3차원 소자를 구성하여 3차원 방향이 변경될 경우 충분한 유연성을 제공할 수 있다. 따라서, 지진으로 인해 심한 흔들림이 발생할 경우, 상기 스프링 형상의 스테인리스 스틸 파이프는 완충을 위한 충분한 공간을 확실히 제공할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 플렉시블 파이프(13)는 상기 전기 절연 박스(11)의 바닥면에 기밀하게 설치되고, 일단은 공기 구동 밸브(131) 및 금속 파이프(132)를 통해 상기 경질 절연 파이프(12)의 제1단(121)과 연통되며, 상기 공기 구동 밸브(131)에 연결된 파이프(133)도 마찬가지로 상기 전기 절연 박스(11)에 기밀하게 고정되어 상기 공기 구동 밸브(131) 및 외부의 브레이크 고압 가스원(31)과 연결된다. 상기 공기 구동 밸브(131)는 상시 폐쇄형 공기 구동 밸브이므로 상기 브레이크 고압 가스원(31)에서 제공되는 가스는 상기 파이프(133)를 통해 상기 공기 구동 밸브(131)로 출력되어야만 상기 공기 구동 밸브(131)를 개방되도록 제어할 수 있다. 본 발명의 가스 공급 시스템과 함께 사용되는 상기 도핑 가스는 아르신, 포스핀, 삼불화붕소, 일산화탄소, 사불화게르마늄, 사불화규소, 인화불소, 삼불화질소, 사수화게르마늄, 또는 불소, 이산화탄소, 수소, 질소, 아르곤과 같은 보충 가스와 혼합될 수 있는 전술한 임의의 도핑 가스일 수 있다.
이 밖에, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 일단이 마찬가지로 상기 전기 절연 박스(11)에 기밀하게 설치되어 상기 경질 절연 파이프(12)의 제2단(122)과 연통되는 플렉시블 파이프(14)를 더 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 플렉시블 파이프(14)의 일단은 상기 전기 절연 박스(11)의 최상면에 기밀하게 설치되고, 상기 플렉시블 파이프(14)는 금속 파이프(142)를 통해 상기 경질 절연 파이프(12)의 제2단(122)에 연결된다. 플렉시블 파이프(13, 14)는 모두 금속 재질이고, 상기 경질 절연 파이프(12)에 설치된 제1단(121)의 전위는 저 전위이며, 상기 경질 절연 파이프(12)에 설치된 제2단(122)의 전위는 고 전위이다. 그러나 상기 플렉시블 파이프(13, 14)가 상기 전기 절연 박스(11)의 최상면과 바닥면에 별도로 설치되므로 상기 전기 절연 박스(11)가 전기적 격리 역할을 수행하여 고압 방전 문제가 존재하지 않는다.
다시 도 4를 참조하면, 상기 2개의 플렉시블 파이프(13, 14)는 상기 전기 절연 박스(11)의 외측 플레이트(113)에 기밀하게 설치되거나 또는 도 2a, 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 전기 절연 박스(11) 상부 개구(111)의 내벽면 및 하부 개구(112)의 내벽면에 각각 기밀하게 설치될 수도 있다. 본 실시예에서, 상기 플렉시블 파이프(14)는 공기 구동 밸브(141) 및 금속 파이프(142)를 통해 상기 경질 절연 파이프(12)의 제2단(122)에 연결될 수도 있고, 상기 공기 구동 밸브(141)의 파이프(143) 역시 마찬가지로 상기 전기 절연 박스(11)의 외측 플레이트(131)에 기밀하게 설치된 후 상기 브레이크 고압 가스원(31)에 연결될 수 있으며, 상기 브레이크 고압 가스원(31)는 파이프(143)를 통해 가스를 전송하여 상기 공기 구동 밸브(141)를 개방되도록 제어한다. 본 실시예에서 2개의 플렉시블 파이프(13, 14)는 상기 전기 절연 박스(11)의 외측 플레이트(113)에 설치되되, 양자의 간격이 가까워 전위가 상이한 2개의 플렉시블 파이프(13, 14) 사이에 전기 절연 재료를 추가할 수 있다. 즉 도 2a 및 도 2b의 상, 하부 개구(111, 112) 사이에 전기 절연 재료(40)가 설치된다. 이 밖에, 도 4에 도시된 바와 같이, 전기 절연 박스(11) 내에는 전기 절연 플레이트(41)가 수평 방향으로 추가로 설치될 수 있다.
또한, 상기 경질 절연 파이프(12)의 파열로 인해 도핑 가스가 상기 전기 절연 박스(11)에 누출되어 다시 공장 구역으로 누출되는 것을 방지하기 위해, 본 발명의 가스 전송 적응 장치는 일단이 상기 전기 절연 박스(11)에 기밀하게 고정된 불활성 가스 파이프(15)를 더 포함한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 불활성 가스 파이프(15)는 상기 전기 절연 박스(11)의 바닥면에 기밀하게 고정되거나, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 전기 절연 박스(11)의 외측 플레이트(113)에서 바닥면에 근접되는 위치에 기밀하게 고정될 수도 있으며, 상기 불활성 가스 파이프(15)의 타단은 외부의 불활성 가스(예를 들어, 질소(N2)와 같은 비활성 가스)에 연결되어 상기 불활성 가스를 상기 전기 절연 박스(11) 내로 이송한다. 이 밖에, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 전기 절연 박스(11)의 최상면은 다시 배출 파이프(16)에 기밀하게 연결되거나 또는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 전기 절연 박스(11)의 외측 플레이트(113)에서 최상면에 근접되는 위치는 배출 파이프(16)에 기밀하게 연결될 수 있다. 이는 상기 전기 절연 박스(11) 내의 불활성 가스 배출하여 상기 전기 절연 박스(11) 내에 순환되는 불활성 가스 흐름을 형성함으로써 상기 전기 절연 박스(11)의 청결을 유지하여 도핑 가스 누출을 방지하기 위한 안전 조치로서 작용한다.
이 밖에, 상기 배출 파이프(16)의 외부에 유독 가스 감지기(33)를 추가로 연결할 수 있다. 상기 유독 가스 감지기(33)는 상기 브레이크 고압 가스원(31)의 제어기(32)와 연결되고, 상기 제어기(32)는 상기 유독 가스 감지기(33)를 통해 상기 전기 절연 박스(11) 내에서 배출되는 불활성 가스에 일정한 농도의 도핑 가스가 포함되어 있음을 감지하며 이에 따라 상기 공기 구동 밸브(131, 141)로 공급되는 브레이크 고압 가스원(31)의 가스 공급을 차단할 수 있다. 이는 공기 구동 밸브(131, 141)을 개폐하고, 도핑 가스의 이송을 중지하여 도핑 가스의 계속적인 누출을 방지하기 위한 다른 안전 조치로서 작용한다.
도 5를 참조하면, 상기 전기 절연 박스(11)는 또한 펌핑 파이프(17)에 기밀하게 연결될 수 있고, 상기 펌핑 파이프(17)는 펌프(34)에 연결된다. 이는 상기 전기 절연 박스(11) 내의 압력을 음압으로 펌핑함으로써 음압이 진공에 근접하여 상기 전기 절연 박스(11)의 청결을 유지할 수 있도록 하는 도핑 가스의 누출을 방지하는 안전 조치로서 작용한다. 이 밖에, 상기 펌핑 파이프(17)는 상기 유독 가스 감지기(33)에 직렬 연결되어 공기 구동 밸브(131)의 개폐를 제어할 수 있다.
본 발명의 가스 전송 적응 장치(10)에 의해 전송되는 도핑 가스가 높은 전위차로 인해 해리되지 못하도록, 도 6a를 참조하면, 이는 도핑 가스(불화붕소)의 파센 곡선으로, 파센 곡선 함수는 V=f(pd)인데, 여기서 V는 두 전극 사이에 아크 또는 방전이 형성되는 해리 전압이며, p는 가스 압력이고, d는 전극 거리이다. 도 6의 곡선으로부터 이송되는 도핑 가스의 압력이 일정한 값인 것으로 가정하면, 상기 가스 압력에 의해 생성된 아크의 해리 전압은 두 전극 사이의 다른 거리에 의해 결정될 수 있으며, 본 발명의 두 전극은 상기 경질 절연 파이프(12)의 제1단(121) 및 제2단(122)에 각각 연결된 금속 파이프(132, 142)를 의미함을 알 수 있다. 따라서, 상기 경질 절연 파이프(12) 내의 도핑 가스가 고 전위로 인해 아크가 형성되어 해리되는 것을 방지하기 위해, 경질 절연 파이프(12)에 의해 이송되는 가스 압력이 일정한 값을 유지하는 전제하에 상기 경질 절연 파이프(12)의 길이(d1)를 결정하고 상기 길이와 가스 압력의 곱을 해리 가능한 전압에 대응되는 가스 압력과 전극 거리의 곱 범위를 벗어나도록 한다. 즉, 경질 절연 파이프(12)에 의해 이송되는 도핑 가스가 제1단(121)과 제2단(122)에 연결되는 금속 파이프(132, 142)의 높은 전위차에 의해 해리되지 않도록, 상기 경질 절연 파이프(12)의 길이(d1)와 상기 경질 절연 파이프에 의해 이송되는 도핑 가스의 가스 압력의 곱은 상기 경질 절연 파이프(12)의 제1단(121)과 상기 경질 절연 파이프(12)의 제2단(122) 사이의 최대 해리 전위차보다 크다.
이 밖에, 파센 법칙을 이용하여 경질 절연 파이프(12)에 의해 이송되는 도핑 가스의 가스 압력을 조정하여 가스 압력과 전극 거리의 곱이 더 높은 해리 전압에 대응되는 곱 범위에 해당되도록 한다. 즉, 상기 경질 절연 파이프(12)의 길이(d1)와 상기 경질 절연 파이프에 의해 이송되는 도핑 가스의 압력의 곱은 상기 경질 절연 파이프(12)의 제1단(121)과 상기 경질 절연 파이프(12)의 제2단(122)의 최대 해리 전위차보다 크다.
이 밖에, 상기 전기 절연 박스(11)가 상기 고 전위와 전기적으로 연결된 금속 챔버(20)의 바닥면에 위치하므로 상기 전기 절연 박스(11)에서 아크 방전이 발생될 가능성도 함께 고려된다. 즉, 상기 전기 절연 박스(11)의 길이(d2)와 상기 전기 절연 박스 내 가스 압력의 곱은 경질 절연 파이프(12)의 제1단(121)과 제2단(122) 사이의 해리 전위차보다 크다. 다시 말하면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 전기 절연 박스(11) 내의 불활성 가스(질소(N2))가 높은 전위차로 인해 해리되지 않도록, 상기 전기 절연 박스(11)의 길이(d2)와 상기 전기 절연 박스 내의 가스 압력의 곱은 해리 가능한 전압에 대응되는 가스 압력과 전극 거리의 곱 범위를 벗어난다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 가스 전송 적응 장치는 전기 절연 박스를 사용하고, 도핑 가스를 전송하기 위한 경질 절연 파이프는 상기 전기 절연 박스 내에 고정되므로 로컬 가스 공급 금속 챔버의 고 전압원과 격리될 수 있으며, 또한 상기 경질 절연 파이프의 제1단은 플렉시블 파이프와 연통되므로 장착 위치가 외부 진동의 영향을 받는 경우 상기 플렉시블 파이프를 통해 진동파를 흡수하여 진동으로 인한 파손 확률을 줄이고 안전성을 향상시킬 수 있다.
상기 설명은 본 발명의 실시예일 뿐 어떠한 형태로든 본 발명을 한정하지 않는다. 본 발명은 실시예에 의해 상기와 같이 개시되었으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 당업자라면 본 발명의 기술적 해결수단을 벗어나지 않는 범위 내에서 상술한 기술적 내용을 이용하여 균등하게 변경되는 등가 실시예로 다양하게 변경 또는 수정할 수 있으며, 본 발명의 기술적 해결수단의 내용을 벗어나지 않으면서 본 발명의 기술적 본질에 기반하여 상기 실시예에 대한 간단한 수정, 균등한 변경 및 수정은 모두 본 발명의 기술적 해결수단의 범위 내에 속한다.
10: 가스 전송 적응 장치 11: 전기 절연 박스 111: 상부 개구
112: 하부 개구 113: 외측 플레이트 12: 경질 절연 파이프
121: 제1단 122: 제2단 13: 플렉시블 파이프
131: 공기 구동 밸브 132: 금속 파이프 133: 파이프
14: 플렉시블 파이프 141: 공기 구동 밸브 142: 금속 파이프
143: 파이프 15: 불활성 가스 파이프 16: 배출 파이프
17: 펌핑 파이프 20: 로컬 가스 공급 금속 챔버
21: 절연 애자 30: 바닥
31: 브레이크 고압 가스원 32: 제어기 33: 유독 가스 감지기
34: 펌프 40: 전기 절연 재료 41: 전기 절연 플레이트

Claims (21)

  1. 이온 주입기용 가스 전송 적응 장치로서,
    로컬 가스 공급 금속 챔버, 전기 절연 박스, 경질 절연 파이프, 제1 플렉시블 파이프 및 제2 플렉시블 파이프를 포함하되,
    상기 로컬 가스 공급 금속 챔버는 고 전압원의 고 전위단부에 전기적으로 연결되고, 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버의 바닥면은 복수의 절연 애자에 의해 바닥에 고정되며, 상기 복수의 절연 애자는 상기 고 전압원의 저 전위단에 전기적으로 연결되고,
    상기 전기 절연 박스는 상기 바닥에 고정되는 한편 상기 로컬 가스 공급 금속 챔버의 바닥면 아래에 위치하며, 상기 전기 절연 박스의 길이와 상기 전기 절연 박스 내 가스 압력의 곱은 경질 절연 파이프의 제1단과 제2단 사이의 최대 해리 전위차보다 크고,
    상기 경질 절연 파이프는 상기 전기 절연 박스 내에 수직으로 고정되고, 제1단 및 제2단을 구비하며, 상기 경질 절연 파이프의 길이와 상기 경질 절연 파이프에 의해 이송되는 도핑 가스의 가스 압력의 곱은 상기 경질 절연 파이프의 제1단과 제2단 사이의 최대 해리 전위차보다 크고;
    제1 플렉시블 파이프는 일단이 상기 전기 절연 박스에 기밀하게 고정되어, 상기 전기 절연 박스 내에 설치된 제1 공기 구동 밸브 및 제1 금속 파이프를 통해 상기 경질 절연 파이프의 제1단에 연결되며;
    상기 제2 플렉시블 파이프는 일단이 상기 전기 절연 박스에 기밀하게 고정되어, 상기 전기 절연 박스 내에 설치된 제2 공기 구동 밸브 및 제2 금속 파이프를 통해 상기 경질 절연 파이프의 제2단에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스 전송 적응 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 플렉시블 파이프의 타단은 외부 도핑 가스 파이프와 연결되는 가스 전송 적응 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 공기 구동 밸브는 제1 파이프를 통해 브레이크 고압 가스원에 연결되는 가스 전송 적응 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 공기 구동 밸브는 제2 파이프를 통해 상기 브레이크 고압 가스원에 연결되는 가스 전송 적응 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 전기 절연 박스에 기밀하게 고정되어 불활성 가스에 연결되기 위한 불활성 가스 파이프를 더 포함하는 가스 전송 적응 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 전기 절연 박스에 기밀하게 고정되어 상기 전기 절연 박스 내의 가스를 배출하는 배출 파이프를 더 포함하는 가스 전송 적응 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 배출 파이프는 상기 불활성 가스 내에 포함된 도핑 가스의 농도를 감지하는 유독 가스 감지기에 연결되는 가스 전송 적응 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 유독 가스 감지기는 상기 브레이크 고압 가스원의 제어기에 전기적으로 연결되고, 상기 제어기는 상기 유독 가스 감지기의 감지 신호에 따라 상기 브레이크 고압 가스원을 개폐하는 가스 전송 적응 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 제1 플렉시블 파이프는 상기 전기 절연 박스의 바닥면에 기밀하게 고정되고; 상기 제2 플렉시블 파이프는 상기 전기 절연 박스의 최상면에 기밀하게 고정되는 가스 전송 적응 장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 제1 플렉시블 파이프는 상기 전기 절연 박스의 외측 플레이트에 기밀하게 고정되고; 및 상기 제2 플렉시블 파이프는 상기 전기 절연 박스의 상기 외측 플레이트에 기밀하게 고정되는 가스 전송 적응 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1 플렉시블 파이프와 제2 플렉시블 파이프 사이에는 전기 절연 재료가 설치되는 가스 전송 적응 장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 전기 절연 박스의 최상면에는 상부 개구가 형성되고, 바닥면에는 하부 개구가 형성되며; 상기 제1 플렉시블 파이프는 상기 하부 개구의 내벽면에 기밀하게 고정되고; 상기 제2 플렉시블 파이프는 상기 상부 개구의 내벽면에 기밀하게 고정되는 가스 전송 적응 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제1 플렉시블 파이프와 제2 플렉시블 파이프 사이에는 전기 절연 재료가 설치되고, 상기 전기 절연 박스 내에는 수평 방향으로 전기 절연 플레이트가 설치되는 가스 전송 적응 장치.
  17. 제1항에 있어서, 상기 경질 절연 파이프의 재질은 사파이어 유리, 세라믹 또는 가소화 재료이고; 상기 가소화 재료는 에틸렌계 중합체, 페닐에스터계 중합체 및 티오에테르계 중합체 중 하나인 가스 전송 적응 장치.
  18. 제1항에 있어서, 상기 제1 플렉시블 파이프와 제2 플렉시블 파이프의 재질은 스테인리스 스틸인 가스 전송 적응 장치.
  19. 제1항에 있어서, 상기 전기 절연 박스의 외측 플레이트에는 요철 표면이 구비되는 가스 전송 적응 장치.
  20. 제6항에 있어서, 상기 전기 절연 박스에 기밀하게 고정되고 펌프와 연결되어 상기 전기 절연 박스 내의 압력을 음압으로 펌핑하는 펌핑 파이프를 더 포함하는 가스 전송 적응 장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 펌핑 파이프는 상기 도핑 가스의 농도를 감지하는 유독 가스 감지기에 연결되는 가스 전송 적응 장치.
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