KR102564878B1 - Method for manufacturing flexible circuit board and flexible circuit board manufactured by the method - Google Patents

Method for manufacturing flexible circuit board and flexible circuit board manufactured by the method Download PDF

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Abstract

저전류를 사용하는 터치 압력 센서 등에 적용하기 위해 무전해도금을 통해 회로패턴을 형성하여 기판의 두께를 최소화하도록 한 연성인쇄회로기판 제조 방법을 제시한다. 제시된 연성인쇄회로기판 제조 방법은 연성의 베이스 기재를 준비하는 단계, 베이스 기재의 양면에 시드층을 형성하는 단계, 베이스 기재의 양면에 형성된 시드층의 일부를 식각하여 박막 패턴을 형성하는 단계 및 베이스 기재 양면의 박막 패턴에 무전해 도금층을 형성하여 박막 회로 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.In order to be applied to a touch pressure sensor using low current, a method for manufacturing a flexible printed circuit board to minimize the thickness of the board by forming a circuit pattern through electroless plating is proposed. The proposed flexible printed circuit board manufacturing method includes preparing a flexible base substrate, forming seed layers on both sides of the base substrate, etching a portion of the seed layer formed on both sides of the base substrate to form a thin film pattern, and base substrate. and forming a thin film circuit pattern by forming an electroless plating layer on the thin film pattern on both sides of the substrate.

Description

연성인쇄회로기판 제조 방법 및 이에 의해 제조된 연성인쇄회로기판{METHOD FOR MANUFACTURING FLEXIBLE CIRCUIT BOARD AND FLEXIBLE CIRCUIT BOARD MANUFACTURED BY THE METHOD}Flexible printed circuit board manufacturing method and flexible printed circuit board manufactured thereby

본 발명은 연성인쇄회로기판 제조 방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 터치 압력 센서(또는 포스 터치 센서) 등과 같이 저전류를 사용하는 회로로 사용되는 연성인쇄회로기판을 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a flexible printed circuit board, and more particularly, to a method for manufacturing a flexible printed circuit board used as a circuit using low current, such as a touch pressure sensor (or force touch sensor).

일반적으로, 연성인쇄회로기판은 얇은 절연 필름에 회로패턴을 형성하여 유연하게 구부러질 수 있는 기판이다.In general, a flexible printed circuit board is a board that can be flexibly bent by forming a circuit pattern on a thin insulating film.

연성인쇄회로기판은 휴대용 전자기기 및 장착 사용 시 굴곡 및 유연성을 요구하는 자동화 기기 또는 디스플레이 제품 등에 많이 사용되고 있다.Flexible printed circuit boards are widely used in portable electronic devices and automation devices or display products that require bending and flexibility when used.

특히, 연성인쇄회로기판은 근래에 들어 수요가 폭발적으로 증가하는 스마트폰 등과 같은 휴대 단말에 많이 사용되고 있다. 예를 들어, 연성인쇄회로기판은 휴대 단말의 근거리 무선통신(NFC; Near Field Communication) 안테나, 디지타이저, 터치 압력 센서(또는 포스 터치 센서) 등에 사용되고 있다.In particular, flexible printed circuit boards are widely used in mobile terminals such as smartphones, for which demand has exploded in recent years. For example, the flexible printed circuit board is used for a near field communication (NFC) antenna of a portable terminal, a digitizer, a touch pressure sensor (or force touch sensor), and the like.

터치 압력 센서는 터치 압력을 감지하여 터치 압력에 따라 설치된 프로그램 또는 애플리케이션을 구분하여 실행하기 위해 사용된다.The touch pressure sensor detects touch pressure and is used to classify and execute an installed program or application according to the touch pressure.

이때, 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판은 시인성 확보 및 터치 스크린 패널의 박막화를 위해 안테나, 디지타이저 등에 사용되는 연성인쇄회로기판에 비해 상대적으로 얇은 두께가 요구되고 있다.At this time, the flexible printed circuit board for the touch pressure sensor is required to have a relatively thin thickness compared to the flexible printed circuit board used for antennas, digitizers, etc. in order to secure visibility and thin the touch screen panel.

한국공개특허 제10-2014-0158617호(명칭: 연성인쇄회로기판과 그 제조 방법)Korean Patent Publication No. 10-2014-0158617 (Name: Flexible printed circuit board and its manufacturing method)

본 발명은 상술한 사정을 감안하여 제안된 것으로, 저전류를 사용하는 터치 압력 센서 등에 적용하기 위해 무전해도금을 통해 회로패턴을 형성하여 기판의 두께를 최소화하도록 한 연성인쇄회로기판 제조 방법 및 이에 의해 제조된 연성인쇄회로기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been proposed in view of the above circumstances, and a method for manufacturing a flexible printed circuit board to minimize the thickness of the board by forming a circuit pattern through electroless plating for application to a touch pressure sensor using low current, and thereby It is an object of the present invention to provide a flexible printed circuit board manufactured by

또한, 본 발명은 제조 공정을 단순화하여 제조비용을 절감하도록 한 연성인쇄회로기판 제조 방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.In addition, another object of the present invention is to provide a flexible printed circuit board manufacturing method to reduce manufacturing cost by simplifying the manufacturing process.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로기판 제조 방법은 연성의 베이스 기재를 준비하는 단계, 베이스 기재의 양면에 시드층을 형성하는 단계, 베이스 기재의 양면에 형성된 시드층의 일부를 식각하여 박막 패턴을 형성하는 단계 및 베이스 기재 양면의 박막 패턴에 무전해 도금층을 형성하여 박막 회로 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes preparing a flexible base material, forming seed layers on both sides of the base material, and seed layers formed on both sides of the base material. Forming a thin film pattern by etching a part of the base substrate and forming a thin film circuit pattern by forming an electroless plating layer on the thin film pattern on both sides of the base substrate.

베이스 기재를 준비하는 단계는 베이스 기재를 관통하는 비아홀을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Preparing the base substrate may include forming a via hole penetrating the base substrate.

시드층을 형성하는 단계는 비아홀의 내벽에도 시드층이 형성되도록 할 수 있다.In the step of forming the seed layer, the seed layer may also be formed on the inner wall of the via hole.

시드층을 형성하는 단계는 베이스 기재의 양면에 제1박막 시드층을 증착하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 제1박막 시드층은 니켈 및 구리를 포함하는 합금으로 형성될 수 있다.Forming the seed layer may include depositing a first thin film seed layer on both sides of the base substrate. In this case, the first thin film seed layer may be formed of an alloy including nickel and copper.

시드층을 형성하는 단계는 제1박막 시드층 상에 제2박막 시드층을 증착하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 제2박막 시드층은 구리로 형성될 수 있다.Forming the seed layer may further include depositing a second thin film seed layer on the first thin film seed layer. In this case, the second thin film seed layer may be formed of copper.

박막 패턴을 형성하는 단계는 시드층 상에 박막 패턴에 대응하는 형상이 형성된 마스크를 배치하는 단계 및 마스크를 통해 노출된 시드층의 일부를 식각하여 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Forming the thin film pattern may include disposing a mask having a shape corresponding to the thin film pattern on the seed layer and etching a portion of the seed layer exposed through the mask to form the thin film pattern.

박막 회로 패턴을 형성하는 단계는 박막 패턴의 상면 및 둘레에 무전해 도금층을 형성할 수 있다.In the forming of the thin film circuit pattern, an electroless plating layer may be formed on the top surface and around the thin film pattern.

박막 회로 패턴을 형성하는 단계는 시드층으로부터 형성된 박막 패턴에 구리를 직접 무전해도금하여 무전해 도금층을 형성할 수 있다.In the forming of the thin film circuit pattern, an electroless plating layer may be formed by directly electroless plating copper on the thin film pattern formed from the seed layer.

박막 회로 패턴이 형성된 베이스 기재에 보호 코팅층을 형성하는 단계, 박막 회로 패턴을 외부 회로와 연결하기 위한 단자부를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include forming a protective coating layer on the base substrate on which the thin film circuit pattern is formed and forming a terminal unit for connecting the thin film circuit pattern to an external circuit.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로기판 제조 방법에 의해 제조된 연성인쇄회로기판은 상술한 연성인쇄회로기판 제조 방법에 의해 제조된 연성인쇄회로기판으로서, 연성의 베이스 기재, 베이스 기재 양면에 형성된 박막 패턴 및 박막 패턴의 상면 및 둘레에 직접 형성된 무전해 도금층을 포함한다.In order to achieve the above object, the flexible printed circuit board manufactured by the flexible printed circuit board manufacturing method according to the embodiment of the present invention is a flexible printed circuit board manufactured by the above-described flexible printed circuit board manufacturing method, and includes a flexible base. It includes a substrate, a thin film pattern formed on both sides of the base substrate, and an electroless plating layer formed directly on the upper surface and circumference of the thin film pattern.

본 발명에 의하면, 연성인쇄회로기판 제조 방법 및 이에 의해 제조된 연성인쇄회로기판은 시드층을 이용하여 박막 패턴을 형성하고, 무전해도금을 통해 무전해 도금층을 형성함으로써, 시드층에 포토레지스트층을 형성한 후 식각을 통해 회로 패턴을 형성하는 종래기술에 비해 상대적으로 얇은 두께의 박막 회로 패턴을 형성하여 연성인쇄회로기판의 두께를 최소화할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, a flexible printed circuit board manufacturing method and a flexible printed circuit board manufactured thereby form a thin film pattern using a seed layer, and form an electroless plating layer through electroless plating, thereby forming a photoresist layer on the seed layer. After forming, there is an effect of minimizing the thickness of the flexible printed circuit board by forming a thin film circuit pattern with a relatively thin thickness compared to the prior art of forming a circuit pattern through etching.

또한, 연성인쇄회로기판 제조 방법 및 이에 의해 제조된 연성인쇄회로기판은 무전해도금시 전처리, 촉매, 니켈 도금 등을 수행하지 않고, 박막 패턴에 구리를 직접 도금함으로써, 전처리, 촉매, 니켈 도금 등을 수행하는 종래의 무전해도금에 비해 상대적으로 얇은 두께의 박막 회로 패턴을 형성하여 연성인쇄회로기판의 두께를 최소화할 수 있는 효과가 있다.In addition, the flexible printed circuit board manufacturing method and the flexible printed circuit board manufactured by the method do not perform pretreatment, catalyst, nickel plating, etc. during electroless plating, and copper is directly plated on the thin film pattern, such as pretreatment, catalyst, nickel plating, etc. There is an effect of minimizing the thickness of the flexible printed circuit board by forming a thin film circuit pattern of relatively thin thickness compared to the conventional electroless plating to perform.

또한, 연성인쇄회로기판 제조 방법 및 이에 의해 제조된 연성인쇄회로기판은 무전해도금시 전처리, 촉매, 니켈 도금 등을 수행하지 않고, 박막 패턴에 구리를 직접 도금함으로써, 제조공정을 단순화하여 제조원가를 절감하고, 생산성을 향상시켜 경제성을 확보함으로써 연성인쇄회로기판의 상품성을 향상시키는 효과가 있다.In addition, the flexible printed circuit board manufacturing method and the flexible printed circuit board manufactured by the method reduce manufacturing cost by simplifying the manufacturing process by directly plating copper on the thin film pattern without performing pretreatment, catalyst, nickel plating, etc. during electroless plating. There is an effect of improving the marketability of flexible printed circuit boards by reducing and improving productivity to secure economic feasibility.

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로기판 제조 방법을 설명하기 위한 도면.
도 3 및 도 4는 도 1의 시드층 형성 단계를 설명하기 위한 도면.
도 5 및 도 6은 도 1의 박막 패턴 형성 단계를 설명하기 위한 도면.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로 기판 제조 방법의 변형 예를 설명하기 위한 도면.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로 기판 제조 방법의 다른 변형 예를 설명하기 위한 도면.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로 기판 제조 방법에 의해 제조된 연성인쇄회로기판의 적용 예를 설명하기 위한 도면.
1 and 2 are views for explaining a method of manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 are views for explaining the seed layer forming step of FIG. 1;
5 and 6 are views for explaining the thin film pattern forming step of FIG. 1;
7 and 8 are views for explaining a modified example of a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
9 is a view for explaining another modified example of a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
10 is a view for explaining an application example of a flexible printed circuit board manufactured by a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the most preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings in order to explain in detail to the extent that those skilled in the art can easily practice the technical idea of the present invention. . First, in adding reference numerals to components of each drawing, it should be noted that the same components have the same numerals as much as possible even if they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.

도 1 및 도 2를 참고하면, 연성인쇄회로기판 제조 방법은 베이스 기재(100)를 준비하는 단계(S100), 베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200), 시드층(200)을 가공하여 박막 패턴(300)을 형성하는 단계(S300) 및 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)를 포함한다. 이하에서는, 연성인쇄회로기판 제조 방법을 용이하게 설명하기 위해 베이스 기재(100)의 양면에 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 베이스 기재(100)의 일면에만 박막 회로 패턴(500)을 형성할 수도 있다.1 and 2, the flexible printed circuit board manufacturing method includes preparing a base substrate 100 (S100), forming a seed layer 200 on the base substrate 100 (S200), seed layer Process (200) to form the thin film pattern 300 (S300) and form the thin film circuit pattern 500 (S400). Hereinafter, in order to easily explain the flexible printed circuit board manufacturing method, the formation of the thin film circuit pattern 500 on both sides of the base substrate 100 has been described as an example, but it is not limited thereto and only on one side of the base substrate 100. The thin film circuit pattern 500 may be formed.

베이스 기재(100)를 준비하는 단계(S100)는 베이스 기재(100)를 관통하는 하나 이상의 비아홀(120)을 형성한다. 즉, 베이스 기재(100)를 준비하는 단계(S100)에서는 베이스 기재(100)에 펀칭(Punching)을 통해, 베이스 기재(100)의 일면에 형성되는 박막 회로 패턴(500)과 다른 일면에 형성되는 박막 회로 패턴(500)을 연결하기 위한 하나 이상의 비아홀(120)을 형성한다.In the step of preparing the base substrate 100 ( S100 ), one or more via holes 120 penetrating the base substrate 100 are formed. That is, in the step of preparing the base substrate 100 (S100), the thin film circuit pattern 500 formed on one side of the base substrate 100 and the other side formed on the other side of the base substrate 100 through punching One or more via holes 120 for connecting the thin film circuit patterns 500 are formed.

이때, 베이스 기재(100)는 연성을 갖는 절연 필름으로 구성된다. 베이스 기재(100)는 연성인쇄회로기판의 형상을 유지하기 위해 제공되는 매우 얇고 플렉시블(flexible)한 특성을 갖는 투명 또는 반투명의 절연필름으로 구성된다.At this time, the base substrate 100 is composed of an insulating film having flexibility. The base substrate 100 is composed of a transparent or translucent insulating film having a very thin and flexible property to maintain the shape of the flexible printed circuit board.

일례로, 베이스 기재(100)는 PET 필름, PI 필름 등의 절연 필름으로 구성될 수 있다. 여기서, PI필름은 두께가 얇고 유연하며 내열성, 내곡성이 우수하며 치수변경이 적고 열에 강하므로 열을 이용하는 타발된 금속박을 전사하는 경우 절연필름으로 적합하며, PET 필름은 가격이 상대적으로 PI필름보다 저렴한 장점이 있다.For example, the base substrate 100 may be composed of an insulating film such as a PET film or a PI film. Here, the PI film is thin and flexible, has excellent heat resistance and bending resistance, has little dimensional change and is resistant to heat, so it is suitable as an insulating film when transferring punched metal foil using heat, and PET film is relatively cheaper than PI film. It has the advantage of being cheap.

베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)는 증착 공정을 통해 베이스 기재(100)의 양면에 박막의 시드층(200)을 형성한다. 즉, 베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)는 증착 공정을 통해 베이스 기재(100)의 양면에 박막의 시드층(200)을 형성한다. 이때, 베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)는 베이스 기재(100)에 형성된 비아홀(120)의 내벽에도 박막의 시드층(200)을 형성한다.Forming the seed layer 200 on the base substrate 100 ( S200 ) forms thin seed layers 200 on both sides of the base substrate 100 through a deposition process. That is, in the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 ( S200 ), thin seed layers 200 are formed on both sides of the base substrate 100 through a deposition process. At this time, in the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200), the thin seed layer 200 is also formed on the inner wall of the via hole 120 formed on the base substrate 100.

베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)는 증착 공정을 수행하는 챔버가 하나로 구성되는 경우, 1차 증착 공정을 통해 베이스 기재(100)의 일면에 박막의 시드층(200)을 형성하고, 베이스 기재(100)를 뒤집은 후 2차 증착 공정을 통해 베이스 기재(100)의 다른 일면에 박막의 시드층(200)을 형성한다. 이때, 비아홀(120)은 1차 증착 공정 및 2차 증착 공정 중에 적어도 하나의 공정을 통해 내벽에 박막의 시드층(200)이 형성된다.In the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200), when the chamber for performing the deposition process is composed of one, a thin seed layer ( 200), and after turning the base substrate 100 over, a thin seed layer 200 is formed on the other side of the base substrate 100 through a secondary deposition process. At this time, the thin seed layer 200 is formed on the inner wall of the via hole 120 through at least one of the first deposition process and the second deposition process.

베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)는 증착 공정을 수행하는 챔버가 두 개로 구성되는 경우 챔버에서 베이스 기재(100)의 일면에 박막의 시드층(200)을 형성한 후 다른 챔버에서 베이스 기재(100)의 다른 일면에 박막의 시드층(200)을 형성할 수도 있다.Forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200) is to form a thin seed layer 200 on one surface of the base substrate 100 in the chamber when two chambers are used to perform the deposition process. After that, the thin seed layer 200 may be formed on the other side of the base substrate 100 in another chamber.

베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)에서는 진공 중에서 금속 기재를 가열하여 증발시키고, 증발된 금속 분자들이 증기 온도보다 낮은 온도의 베이스 기재(100) 표면에 응축되어 박막을 형성하는 진공 증착 방식으로 박막의 시드층(200)을 형성한다. 일례로, 베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)에서는 진공 증착 방식인 스퍼터링(Sputtering) 공정을 통해 베이스 기재(100)에 박막의 시드층(200)을 형성할 수 있다.In the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200), the metal substrate is heated and evaporated in a vacuum, and the evaporated metal molecules are condensed on the surface of the base substrate 100 at a temperature lower than the vapor temperature to form a thin film. The seed layer 200 of a thin film is formed by a vacuum deposition method to form a. For example, in the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200), the thin seed layer 200 may be formed on the base substrate 100 through a sputtering process, which is a vacuum deposition method. there is.

베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)를 통해 형성된 박막의 시드층(200)은 진공증착으로 베이스 기재(100)에 형성되어 베이스 기재(100)와의 접착력이 강하고, 베이스 기재(100)의 휨 변형에도 베이스 기재(100)와 분리되지 않고 견고하게 베이스 기재(100)에 부착된 상태로 유지될 수 있다. The seed layer 200 of the thin film formed through the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200) is formed on the base substrate 100 by vacuum deposition and has strong adhesive strength with the base substrate 100, Even when the base substrate 100 is bent, it can remain firmly attached to the base substrate 100 without being separated from the base substrate 100 .

베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)를 통해 형성된 박막의 시드층(200)은 대략 10nm 내지 35nm 정도의 두께를 갖도록 형성되며, 박막의 시드층(200)은 구리, 은, 금, 니켈, 크롬, 텅스텐, 몰리브덴, 알루미늄 중 하나 이거나, 구리, 은, 금, 니켈, 크롬, 텅스텐, 몰리브덴, 알루미늄 중 적어도 하나가 혼합된 합금으로 형성될 수 있으며, 후술할 무전해 도금층(400)과의 접착력이 우수한 금속으로 형성된다.The seed layer 200 of the thin film formed through the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200) is formed to have a thickness of about 10 nm to 35 nm, and the seed layer 200 of the thin film is copper. , It may be formed of one of silver, gold, nickel, chromium, tungsten, molybdenum, and aluminum, or an alloy in which at least one of copper, silver, gold, nickel, chromium, tungsten, molybdenum, and aluminum is mixed, which will be described later. It is formed of a metal having excellent adhesion to the plating layer 400 .

한편, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스 기재(100)에 시드층(200)을 형성하는 단계(S200)는 제1박막 시드층(220)을 형성하는 단계(S220) 및 제2박막 시드층(240)을 형성하는 단계(S240)를 포함할 수도 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 3 and 4 , the step of forming the seed layer 200 on the base substrate 100 (S200) is the step of forming the first thin film seed layer 220 (S220) and the second A step of forming a thin seed layer 240 (S240) may be included.

제1박막 시드층(220)을 형성하는 단계(S220)는 진공증착(예를 들면, 스퍼터링 공정)을 통해 베이스 기재(100)의 양면에 제1박막 시드층(220)을 형성한다. 이때, 제1박막 시드층(220)을 형성하는 단계(S220)에서는 베이스 기재(100)와의 접착력(결합력)을 높이기 위해서 진공 증착을 통해 니켈(Ni) 및 구리(Cu)를 포함하는 합금으로 제1박막 시드층(220)을 형성할 수 있다.In the step of forming the first thin film seed layer 220 (S220), the first thin film seed layer 220 is formed on both sides of the base substrate 100 through vacuum deposition (eg, a sputtering process). At this time, in the step of forming the first thin film seed layer 220 (S220), it is made of an alloy containing nickel (Ni) and copper (Cu) through vacuum deposition in order to increase the adhesive strength (bonding strength) with the base substrate 100. A one-thin film seed layer 220 may be formed.

제2박막 시드층(240)을 형성하는 단계(S240)는 진공증착(예를 들면, 스퍼터링 공정)을 통해 제1박막 시드층(220) 상에 제2박막 시드층(240)을 형성한다. 이때, 제2박막 시드층(240)을 형성하는 단계(S240)에서는 후술한 무전해 도금층(400)과의 접착력이 우수한 구리(Copper)를 제1박막 시드층(220)에 진공증착하여 제2박막 시드층(240)을 형성한다. 즉, 제2박막 시드층(240)을 형성하는 단계(S240)에서는 후술할 무전해 도금층(400)의 형성을 용이하게 하기 위해서 진공 증착을 통해 제1박막 시드층(220)의 일면에 구리(Cu)로 제2박막 시드층(240)을 형성한다.In the step of forming the second thin film seed layer 240 ( S240 ), the second thin film seed layer 240 is formed on the first thin film seed layer 220 through vacuum deposition (eg, a sputtering process). At this time, in the step of forming the second thin film seed layer 240 (S240), copper having excellent adhesion to the electroless plating layer 400 described later is vacuum-deposited on the first thin film seed layer 220 to form the second thin film seed layer 220. A thin seed layer 240 is formed. That is, in the step of forming the second thin film seed layer 240 (S240), copper ( A second thin film seed layer 240 is formed of Cu).

박막 패턴(300)을 형성하는 단계(S300)는 S200 단계에서 형성된 시드층(200)의 일부를 식각하여 박막 패턴(300)을 형성한다. 이때, 박막 패턴(300)을 형성하는 단계(S300)는 대략 30nm 정도의 두께를 갖는 박막 패턴(300)을 형성한다. 여기서, 박막 패턴(300)은 시드층(200)을 식각하여 형성되므로 시드층(200)과 동일한 재질로 도면에 표시한다.Forming the thin film pattern 300 (S300) forms the thin film pattern 300 by etching a portion of the seed layer 200 formed in step S200. At this time, in the step of forming the thin film pattern 300 (S300), the thin film pattern 300 having a thickness of about 30 nm is formed. Here, since the thin film pattern 300 is formed by etching the seed layer 200, it is indicated in the drawing with the same material as the seed layer 200.

이를 위해, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 박막 패턴(300)을 형성하는 단계(S300)는 마스킹 단계(S320) 및 식각 단계(S340)를 포함할 수 있다.To this end, as shown in FIGS. 5 and 6 , forming the thin film pattern 300 ( S300 ) may include a masking step ( S320 ) and an etching step ( S340 ).

마스킹 단계(S320)는 박막 패턴(300)을 형성하기 위한 마스크(600)를 시드층(200)에 배치한다. 즉, 마스킹 단계(S320)는 박막 패턴(300) 형상에 대응되는 형상이 형성된 마스크(600)를 시드층(200)이 형성된 베이스 기재(100)의 양면에 배치한다.In the masking step ( S320 ), a mask 600 for forming the thin film pattern 300 is disposed on the seed layer 200 . That is, in the masking step (S320), a mask 600 having a shape corresponding to the shape of the thin film pattern 300 is disposed on both sides of the base substrate 100 on which the seed layer 200 is formed.

이때, 마스크(600)는 감광막을 적층한 도포제로서 각종 전기 도금액이나 부식액에 견딜 수 있는 물질로 구성된 드라이 필름(Dry-Film Resists)을 사용할 수 있다. 마스크(600)는 시드층(200)에서 식각될 부분이 노출되도록 하기 위해 식각 홈(620)이 형성된다.At this time, the mask 600 is a coating material in which photoresist films are stacked, and dry-film resists made of materials that can withstand various electroplating solutions or corrosive solutions can be used. In the mask 600 , an etching groove 620 is formed to expose a portion to be etched in the seed layer 200 .

여기서, 마스킹 단계(S320)는 베이스 기재(100)의 양면에 형성된 시드층(200)을 동시에 처리하는 것으로 설명하였으나 한 면씩 각각 마스킹할 수도 있으며, 포토리소그래피(photolithography) 공정을 통해 수행될 수 있다.Here, the masking step (S320) has been described as simultaneously processing the seed layer 200 formed on both sides of the base substrate 100, but each side may be masked individually, or may be performed through a photolithography process.

식각 단계(S340)는 마스크(600)를 시드층(200) 상에 배치한 상태에서 에칭액을 분사하여 박막 패턴(300)을 제외한 시드층(200)의 일부를 식각한다. 즉, 식각 단계(S340)는 마스크(500)에 의해 노출된 시드층(200)의 일부(즉, 시드층(200)에서 박막 패턴(300) 형상을 제외한 영역)를 식각하여 박막 패턴(300)을 형성한다.In the etching step ( S340 ), a portion of the seed layer 200 excluding the thin film pattern 300 is etched by spraying an etchant while the mask 600 is disposed on the seed layer 200 . That is, in the etching step (S340), a portion of the seed layer 200 exposed by the mask 500 (ie, a region excluding the shape of the thin film pattern 300 in the seed layer 200) is etched to form the thin film pattern 300. form

여기서, 식각 단계(S340)에서는 시드층(200) 만을 이용하여 박막 패턴(300)을 형성하기 때문에, 시드층(200)에 포토레지스트층을 형성한 후 박막 패턴(300)을 형성하는 종래 기술에 비해 식각(Etching) 속도를 늦춰야 한다. 즉, 식각 단계(S340)에서는 식각 대상인 층(즉, 시드층(200))의 두께가 종래에 비해 상대적으로 얇기 때문에 식각 속도를 상대적으로 늦추는 것이 바람직하다.Here, since the thin film pattern 300 is formed using only the seed layer 200 in the etching step (S340), the prior art of forming the thin film pattern 300 after forming a photoresist layer on the seed layer 200 Etching should be slowed down compared to That is, in the etching step (S340), since the thickness of the layer to be etched (ie, the seed layer 200) is relatively thin compared to the prior art, it is preferable to relatively slow down the etching rate.

따라서, 식각 단계(S340)에서는 에칭액을 희석(dilution)하거나, 에칭액에 첨가되는 첨가제의 양 조절 또는 변경을 통해 식각 속도를 상대적으로 늦추는 것이 바람직하다.Therefore, in the etching step (S340), it is preferable to relatively slow down the etching rate by diluting the etchant or adjusting or changing the amount of additives added to the etchant.

박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)는 무전해도금을 통해 박막 패턴(300)의 표면에 구리(Cu) 재질의 무전해 도금층(400)을 도금하여 박막 회로 패턴(500)을 형성한다.In the step of forming the thin film circuit pattern 500 (S400), an electroless plating layer 400 made of copper (Cu) is plated on the surface of the thin film pattern 300 through electroless plating to form the thin film circuit pattern 500. do.

박막 패턴(300)을 형성하는 단계(S300)에서는 시드층(200)을 식각하여 박막 형태의 패턴을 형성하기 때문에 박막 패턴(300)의 전도성이 낮은 특성을 갖는다.In the step of forming the thin film pattern 300 (S300), since the thin film pattern is formed by etching the seed layer 200, the thin film pattern 300 has low conductivity.

이에, 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)에서는 박막 패턴(300)의 전도성을 높이기 위해서, 무전해도금을 통해 박막 패턴(300) 상에 무전해 도금층(400)을 형성하여 박막 패턴(300)의 두께를 증가시킨다.Accordingly, in the step of forming the thin film circuit pattern 500 (S400), in order to increase the conductivity of the thin film pattern 300, the electroless plating layer 400 is formed on the thin film pattern 300 through electroless plating to form the thin film pattern 300. Increase the thickness of (300).

여기서, 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)에서는 박막 패턴(300)에 대략 1㎛ 내지 2㎛ 정도의 두께를 갖는 무전해 도금층(400)을 형성한다. 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)에서는 무전해도금을 통해 박막 패턴(300)의 표면(즉, 박막 패턴(300)의 상면 및 둘레)에 무전해 도금층(400)을 형성한다. 이때, 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)에서는 박막 패턴(300)에 구리를 직접 무전해도금하여 무전해 도금층(400)을 형성할 수 있다.Here, in the step of forming the thin film circuit pattern 500 (S400), the electroless plating layer 400 having a thickness of approximately 1 μm to 2 μm is formed on the thin film pattern 300. In the step of forming the thin film circuit pattern 500 (S400), the electroless plating layer 400 is formed on the surface of the thin film pattern 300 (ie, the upper surface and the circumference of the thin film pattern 300) through electroless plating. At this time, in the step of forming the thin film circuit pattern 500 (S400), the electroless plating layer 400 may be formed by directly electroless plating copper on the thin film pattern 300.

또한, 박막 패턴(300)을 형성하는 단계(S300)에서는 박막 형태의 패턴을 형성하기 때문에 박막 패턴(300)들이 상호 이격되는 섬(island) 현상이 발생할 수 있다.Also, in the step of forming the thin film pattern 300 (S300), since the thin film pattern is formed, an island phenomenon in which the thin film patterns 300 are spaced apart from each other may occur.

이에, 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)에서는 무전해도금을 통해 박막 패턴(300)에 무전해 도금층(400)을 형성하여, 섬 현상이 발생한 경우에도 무전해 도금층(400)을 형성할 수 있도록 한다.Therefore, in the step of forming the thin film circuit pattern 500 (S400), the electroless plating layer 400 is formed on the thin film pattern 300 through electroless plating, so that the electroless plating layer 400 is formed even when the island phenomenon occurs. allow it to form.

무전해도금은 전해도금에 비해 비용이 저렴하지만, 전해도금에 비해 무전해 도금층(400)을 두껍게 형성하지 못하고, 도금 시간이 상대적으로 긴 단점이 있다.Electroless plating is cheaper than electrolytic plating, but has disadvantages in that the electroless plating layer 400 cannot be formed thicker than electrolytic plating and the plating time is relatively long.

하지만, 무전해도금은 박막의 무전해 도금층(400)을 형성하는 경우 전해도금과 도금 시간이 동등해지기 때문에, 무전해도금을 통해 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)에서는 무전해도금을 통해 박막 패턴(300)에 무전해 도금층(400)을 형성한다.However, electroless plating is equivalent to electrolytic plating and plating time when forming a thin electroless plating layer 400, so in the step of forming the thin film circuit pattern 500 through electroless plating (S400), electroless plating An electroless plating layer 400 is formed on the thin film pattern 300 through gold.

이때, 무전해도금을 통해 박막 회로 패턴(500)을 형성하는 단계(S400)는 일반적으로 사용되는 무전해도금의 전처리, 촉매, 니켈 도금 등의 처리를 수행하지 않고, 박막 패턴(300)에 직접 무전해도금을 수행하여 무전해 도금층(400)을 형성한다. 여기서, 무전해 도금층(400)은 구리로 형성될 수 있다.At this time, the step of forming the thin film circuit pattern 500 through electroless plating (S400) is performed directly on the thin film pattern 300 without performing a generally used electroless plating pretreatment, catalyst, nickel plating, or the like. Electroless plating is performed to form the electroless plating layer 400 . Here, the electroless plating layer 400 may be formed of copper.

한편, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 연성인쇄회로기판 제조 방법은 박막 회로 패턴(500)을 커버하는 보호 코팅층(700)을 형성하는 단계(S500)를 더 포함할 수도 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 7 and 8 , the method of manufacturing a flexible printed circuit board may further include forming a protective coating layer 700 covering the thin film circuit pattern 500 (S500).

보호 코팅층(700)을 형성하는 단계(S500)에서는 액상의 코팅액을 베이스 기재(100)에 도포한 후 경화시켜 박막 회로 패턴(500)을 커버하여 보호하는 보호 코팅층(700)을 형성한다.In the step of forming the protective coating layer 700 (S500), a liquid coating solution is applied to the base substrate 100 and cured to form the protective coating layer 700 that covers and protects the thin film circuit pattern 500.

이때, 보호 코팅층(700)은 베이스 기재(100)와 동일한 계열의 코팅액을 이용하여 합성수지 코팅층으로 형성되어 베이스 기재(100)와의 부착력이 우수하고, 베이스 기재(100)와 더 견고하게 일체화되는 것이 바람직하다. 베이스 기재(100)는 PI필름이고, 보호 코팅층(700)은 PI 코팅층 또는 PAI 코팅층인 것을 일 예로 한다. At this time, it is preferable that the protective coating layer 700 is formed of a synthetic resin coating layer using the same type of coating liquid as the base substrate 100 to have excellent adhesion to the base substrate 100 and to be more firmly integrated with the base substrate 100. do. For example, the base substrate 100 is a PI film, and the protective coating layer 700 is a PI coating layer or a PAI coating layer.

한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 연성인쇄회로기판 제조 방법은 단자부를 형성하는 단계(S600)를 더 포함할 수도 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 9 , the method of manufacturing the flexible printed circuit board may further include forming a terminal part (S600).

단자부를 형성하는 단계(S600)는 보호 코팅층(700)의 일부를 제거한 후 해당 영역에 구리 등의 도전성 재질을 도금하여 단자부를 형성한다.In the step of forming the terminal unit (S600), a portion of the protective coating layer 700 is removed, and then a conductive material such as copper is plated on the corresponding region to form the terminal unit.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로기판 제조 방법에 의해 제조된 연성인쇄회로기판이 적용된 터치 압력 감지 센서(800)를 도시한다.10 shows a touch pressure sensor 800 to which a flexible printed circuit board manufactured by a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention is applied.

터치 압력 감지 센서(800)는 터치 압력을 감지하여 터치 압력에 따라 설치된 프로그램 또는 애플리케이션을 구분하여 실행하도록 하기 위한 센서이다.The touch pressure sensor 800 is a sensor for detecting touch pressure and distinguishing and executing an installed program or application according to the touch pressure.

터치 압력 감지 센서(800)는 터치 스크린 패널에서 LCD 등과 같은 디스플레이 패널의 전면에 배치되어 터치를 감지하는 터치 센서와 별개로 후면에 배치되어 터치 압력을 감지한다.The touch pressure sensor 800 is disposed on the rear side of the touch screen panel separately from the touch sensor disposed on the front side of the display panel such as an LCD to detect a touch and detects the touch pressure.

이를 위해, 터치 압력 감지 센서(800)는 탄성 멤브레인 부재(820), 탄성 멤브레인 부재(820) 상면에 배치되는 제1전극 부재(840), 탄성 멤브레인 부재(820)의 하면에 배치되는 제2전극 부재(860)를 포함한다.To this end, the touch pressure sensor 800 includes an elastic membrane member 820, a first electrode member 840 disposed on an upper surface of the elastic membrane member 820, and a second electrode disposed on a lower surface of the elastic membrane member 820. member 860.

이때, 제1전극 부재(840) 및 제2전극 부재(860)는 터치 압력을 감지하는 기재로, 본 발명의 실시예에 따른 연성인쇄회로기판 제조 방법으로 제조된 연성인쇄회로기판으로 구성될 수 있다. 여기서, 도 10에서는 베이스 부재(100)의 일면에만 박막 회로 패턴(500)이 형성한 연성인쇄회로기판을 예로 도시한다.At this time, the first electrode member 840 and the second electrode member 860 are substrates that sense touch pressure and may be composed of a flexible printed circuit board manufactured by the method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention. there is. Here, in FIG. 10, a flexible printed circuit board in which the thin film circuit pattern 500 is formed only on one surface of the base member 100 is shown as an example.

상술한 바와 같이, 연성인쇄회로기판 제조 방법 및 이에 의해 제조된 연성인쇄회로기판은 시드층을 이용하여 박막 패턴을 형성하고, 무전해도금을 통해 무전해 도금층을 형성함으로써, 시드층에 포토레지스트층을 형성한 후 식각을 통해 회로 패턴을 형성하는 종래기술에 비해 상대적으로 얇은 두께의 박막 회로 패턴을 형성하여 연성인쇄회로기판의 두께를 최소화할 수 있는 효과가 있다.As described above, the flexible printed circuit board manufacturing method and the flexible printed circuit board manufactured thereby form a thin film pattern using a seed layer and form an electroless plating layer through electroless plating, thereby forming a photoresist layer on the seed layer. After forming, there is an effect of minimizing the thickness of the flexible printed circuit board by forming a thin film circuit pattern with a relatively thin thickness compared to the prior art of forming a circuit pattern through etching.

또한, 연성인쇄회로기판 제조 방법은 무전해도금시 전처리, 촉매, 니켈 도금 등을 수행하지 않고, 박막 패턴에 구리를 직접 도금함으로써, 전처리, 촉매, 니켈 도금 등을 수행하는 종래의 무전해도금에 비해 상대적으로 얇은 두께의 박막 회로 패턴을 형성하여 연성인쇄회로기판의 두께를 최소화할 수 있는 효과가 있다.In addition, the flexible printed circuit board manufacturing method is based on the conventional electroless plating in which pretreatment, catalyst, nickel plating, etc. are performed by directly plating copper on a thin film pattern without performing pretreatment, catalyst, nickel plating, etc. during electroless plating. There is an effect of minimizing the thickness of the flexible printed circuit board by forming a thin film circuit pattern having a relatively thin thickness compared to the present invention.

또한, 연성인쇄회로기판 제조 방법은 무전해도금시 전처리, 촉매, 니켈 도금 등을 수행하지 않고, 박막 패턴에 구리를 직접 도금함으로써, 제조공정을 단순화하여 제조원가를 절감하고, 생산성을 향상시켜 경제성을 확보함으로써 연성인쇄회로기판의 상품성을 향상시키는 효과가 있다.In addition, the flexible printed circuit board manufacturing method does not perform pretreatment, catalyst, nickel plating, etc. during electroless plating, and copper is directly plated on the thin film pattern, thereby simplifying the manufacturing process to reduce manufacturing cost and improving productivity to increase economic feasibility. By securing it, there is an effect of improving the marketability of the flexible printed circuit board.

이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 설명하였으나, 다양한 형태로 변형이 가능하며, 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 본 발명의 특허청구범위를 벗어남이 없이 다양한 변형예 및 수정예를 실시할 수 있을 것으로 이해된다.Although the preferred embodiment according to the present invention has been described above, it can be modified in various forms, and those skilled in the art can make various modifications and variations without departing from the scope of the claims of the present invention. It is understood that this can be done.

100: 베이스 기재 120: 비아홀
200: 시드층 220: 제1박막 시드층
240: 제2박막 시드층 300: 박막 패턴
400: 무전해 도금층 500: 박막 회로 패턴
600: 마스크 620: 식각 홈
700: 보호 코팅층 800: 터치 압력 감지 센서
820: 탄성 멤브레인 부재 840: 제1전극 부재
860: 제2전극 부재
100: base material 120: via hole
200: seed layer 220: first thin film seed layer
240: second thin film seed layer 300: thin film pattern
400: electroless plating layer 500: thin film circuit pattern
600: mask 620: etching groove
700: protective coating layer 800: touch pressure sensor
820: elastic membrane member 840: first electrode member
860: second electrode member

Claims (13)

하나 이상의 비아홀이 형성된 연성의 베이스 기재를 준비하는 단계;
상기 베이스 기재의 양면 전체 및 상기 비아홀의 내벽에 10nm 내지 35nm의 두께를 갖는 시드층을 형성하는 단계;
상기 베이스 기재의 양면 전체에 형성된 상기 시드층의 일부를 식각하여 박막 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 시드층의 일부가 식각되어 형성된 상기 박막 패턴의 상면 및 둘레를 덮도록 1㎛ 내지 2㎛의 두께를 갖는 무전해 도금층을 형성하여 박막 회로 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법으로서,
상기 연성인쇄회로기판은 탄성 멤브레인 부재의 상부 및 하부에 적층되어 터치 압력 센서를 구성하는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법.
Preparing a flexible base substrate having one or more via holes formed thereon;
forming a seed layer having a thickness of 10 nm to 35 nm on both surfaces of the base substrate and on inner walls of the via hole;
Forming a thin film pattern by etching a portion of the seed layer formed on the entire surface of both surfaces of the base substrate; and
Forming a thin film circuit pattern by forming an electroless plating layer having a thickness of 1 μm to 2 μm to cover an upper surface and a circumference of the thin film pattern formed by etching a portion of the seed layer; As a method for manufacturing a circuit board,
The flexible printed circuit board is laminated on the upper and lower portions of the elastic membrane member to form a touch pressure sensor.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 시드층을 형성하는 단계는,
상기 베이스 기재의 양면 전체 및 상기 비아홀의 내벽에 제1박막 시드층을 증착하는 단계; 및
상기 제1박막 시드층 상에 제2박막 시드층을 증착하는 단계를 포함하는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법.
According to claim 1,
Forming the seed layer,
depositing a first thin seed layer on both surfaces of the base substrate and on the inner wall of the via hole; and
Method for manufacturing a flexible printed circuit board for a touch pressure sensor comprising the step of depositing a second thin film seed layer on the first thin film seed layer.
제4항에 있어서,
상기 제1박막 시드층은 니켈 및 구리를 포함하는 합금으로 형성되고,
상기 제2박막 시드층은 구리로 형성되는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법.
According to claim 4,
The first thin film seed layer is formed of an alloy containing nickel and copper,
The second thin film seed layer is a method of manufacturing a flexible printed circuit board for a touch pressure sensor formed of copper.
제1항에 있어서,
상기 박막 패턴을 형성하는 단계는,
상기 시드층 상에 박막 패턴에 대응하는 형상이 형성된 마스크를 배치하는 단계; 및
상기 마스크를 통해 노출된 상기 시드층의 일부를 식각하여 박막 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법.
According to claim 1,
Forming the thin film pattern,
disposing a mask having a shape corresponding to the thin film pattern on the seed layer; and
Forming a thin film pattern by etching a portion of the seed layer exposed through the mask.
제1항에 있어서,
상기 박막 회로 패턴을 형성하는 단계는,
상기 박막 패턴의 상면 및 둘레에 구리를 직접 무전해도금하여 무전해 도금층을 형성하는 것을 특징으로 하는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법.
According to claim 1,
Forming the thin film circuit pattern,
A method for manufacturing a flexible printed circuit board for a touch pressure sensor, characterized in that forming an electroless plating layer by directly electroless plating copper on the upper surface and circumference of the thin film pattern.
제1항에 있어서,
상기 박막 회로 패턴이 형성된 상기 베이스 기재에 보호 코팅층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법.
According to claim 1,
The method of manufacturing a flexible printed circuit board for a touch pressure sensor, further comprising forming a protective coating layer on the base substrate on which the thin film circuit pattern is formed.
제1항에 있어서,
상기 박막 회로 패턴을 외부 회로와 연결하기 위한 단자부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 압력 센서용 연성인쇄회로기판 제조 방법.
According to claim 1,
The method of manufacturing a flexible printed circuit board for a touch pressure sensor, further comprising forming a terminal unit for connecting the thin film circuit pattern to an external circuit.
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