KR102563974B1 - Open-and-close unit of foup for load port module - Google Patents

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KR102563974B1 KR1020220176557A KR20220176557A KR102563974B1 KR 102563974 B1 KR102563974 B1 KR 102563974B1 KR 1020220176557 A KR1020220176557 A KR 1020220176557A KR 20220176557 A KR20220176557 A KR 20220176557A KR 102563974 B1 KR102563974 B1 KR 102563974B1
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김경원
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Abstract

반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치에 대한 발명이 개시된다. 개시된 반반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치는: 프레임의 타측에서 개구부에 대응되게 구비되는 개폐유닛으로써, 개구부에 대응되게 위치하도록 상기 프레임의 타측에 위치 이동 가능하게 안내되고 프레임 측 또는 개구부 측으로 개방되는 내부공간을 갖는 덮개, 덮개의 개방측에 구비되어 덮개와 함께 개구부에 대응되게 이동하는 커버, 덮개의 내부공간에 구비되어 개구부에 위치한 커버를 덮개에 물리적으로 결속하거나 결속해제하는 결속부, 및 결속부에 의한 결속이 해제된 후 커버를 프레임의 축 방향으로 이동하거나 또는 결속부에 의해 결속된 상태의 커버와 덮개를 프레임의 축 방향으로 이동 안내하는 개폐이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The invention of an open/close device of a PUP of an LPM for semiconductors is disclosed. The disclosed opening/closing device of an LPM for semiconductors is: an opening/closing unit provided to correspond to an opening on the other side of a frame, guided movably to the other side of the frame so as to correspond to the opening and opening toward the frame or opening A cover having an inner space, a cover provided on the open side of the cover and moving along with the cover to correspond to the opening, a binding unit provided in the inner space of the cover and physically binding or releasing the cover located in the opening to the cover, and It is characterized in that it includes an opening/closing moving unit for moving the cover in the axial direction of the frame after the coupling unit is released, or moving and guiding the cover and the cover in a state of being bound by the coupling unit in the axial direction of the frame.

Figure R1020220176557
Figure R1020220176557

Description

반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치{OPEN-AND-CLOSE UNIT OF FOUP FOR LOAD PORT MODULE}Opening and closing device of FOUP of LPM for semiconductor {OPEN-AND-CLOSE UNIT OF FOUP FOR LOAD PORT MODULE}

본 발명은 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 엘피엠(LPM)의 풉(FOUP)을 스테이지에 정위치 안착 후, 풉의 백도어를 프레임 측의 커버와 물리적으로 결합하기 위한 적어도 한 쌍의 래치를 각각의 실린더의 작동에 의해 회전되도록 함에 따라 래치의 작동 신뢰성이 확보되고, 프레임 측 덮개와 커버 중 적어도 어느 하나를 엘엠(LM) 가이드로써 프레임에 축 방향으로 왕복 이동 안내함에 따라 엘엠 가이드 작동에 의해 기존 볼스크류 대비 파티클(particle)의 발생이 현저히 감소하며, 엘엠 가이드의 작동시 소음과 진동을 최대한 줄일 수 있도록 하는 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to an opening and closing device for a FOUP of an LPM for semiconductors, and more particularly, after the FOUP of the LPM is seated on a stage, the back door of the FOUP is physically combined with the cover on the frame side As the at least one pair of latches for the rotation are rotated by the operation of each cylinder, the operation reliability of the latch is secured, and at least one of the frame-side cover and the cover is LM guide to reciprocate in the axial direction to the frame According to the guidance, the generation of particles is significantly reduced compared to the existing ball screw by the operation of the LM guide, and it relates to an opening and closing device of an LPM PUP for semiconductors that minimizes noise and vibration during the operation of the LM guide.

반도체 웨이퍼는 증착 공정, 노광 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등을 거치며 가공된다. 즉, 반도체는 웨이퍼에 다양한 처리 공정이 실시되며 제조된다.A semiconductor wafer is processed through a deposition process, an exposure process, an etching process, and a cleaning process. That is, semiconductors are manufactured by performing various processing processes on wafers.

최근에는 반도체 제조는 처리 공정의 효율성을 높이면서도, 반도체 제조의 수율을 높일 수 있는 방법들로 진행된다. 일례로, 웨이퍼에 미세한 회로를 패터닝 하여 고집적화 반도체를 생산하고 있다.Recently, semiconductor manufacturing is progressed by methods capable of increasing the yield of semiconductor manufacturing while increasing the efficiency of the processing process. For example, high-integration semiconductors are produced by patterning fine circuits on wafers.

그런데, 미세한 회로의 패터닝 됨에 따라, 분자상 오염물질에 의한 회로 간 단락 발생이 쉽게 일어나고 있다. 이러한 회로의 단락 현상은 반도체 수율을 감소시키는 문제로 대두 되고 있다. 이에, 반도체의 수율을 최대화하기 위한, 각 공정에서 클린도를 높이는 장치의 연구 개발이 활발하게 진행되고 있다.However, as fine circuits are patterned, short circuits between circuits due to molecular contaminants are easily occurring. Such a short-circuit phenomenon has emerged as a problem of reducing semiconductor yield. Accordingly, in order to maximize the yield of semiconductors, research and development of devices that increase the degree of cleanliness in each process are being actively conducted.

일례로, 로드포트모듈(LPM;Load Port Module)과 이송챔버(Transfer Module)를 연결하는 이에프이엠(EFEM: Equipment Front End Module) 내부를 질소로 충전한 후, 로드포트모듈(LPM)에 안착된 풉(FOUP;Front Opening Unified Pod)을 자연스럽게 질소 분위기로 조성하는 장치 등이 개발된 바 있다.For example, after filling the inside of the EFEM (Equipment Front End Module) connecting the Load Port Module (LPM) and the Transfer Chamber with nitrogen, the load port module (LPM) is seated A device that naturally creates a nitrogen atmosphere in a FOUP (Front Opening Unified Pod) has been developed.

관련기술로는 대한민국 공개특허공보 제10-2017-0054427호(공개일자: 2017.05.17.)가 제안된 바 있다.As a related technology, Korean Patent Publication No. 10-2017-0054427 (published date: 2017.05.17.) has been proposed.

상기한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 널리 알려진 종래기술을 의미하는 것은 아니다.The above technical configuration is a background art for helping understanding of the present invention, and does not mean the prior art widely known in the technical field to which the present invention belongs.

기존 엘피엠(LPM)은 하나의 실린더에 적어도 한 쌍의 래치를 링크 연결하여 하나의 실린더로써 복수 개의 래치를 동시에 회전 작동함에 따라 커버를 덮개에 고정하는데, 래치의 회전 작동 불량이 발생되는 문제점이 있다.In the existing LPM, at least one pair of latches are linked to one cylinder, and a plurality of latches are simultaneously rotated and operated as one cylinder to fix the cover to the cover. there is.

그리고, 기존 엘피엠은 커버 또는 커버와 덮개를 프레임의 축 방향으로 상하 이동하기 위해 볼스크류를 적용하는데, 볼스크류를 따라 축 방향 이동되는 너트에 의해, 파티클(particle)과 소음이 비교적 많이 발생되는 문제점이 있다.And, in the existing LPM, a ball screw is applied to move the cover or the cover and the cover up and down in the axial direction of the frame. The nut moving in the axial direction along the ball screw generates relatively large amounts of particles and noise. There is a problem.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve this.

본 발명은 상기와 같은 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 엘피엠(LPM)의 풉(FOUP)을 스테이지에 정위치 안착 후, 풉의 백도어를 프레임 측의 커버와 물리적으로 결합하기 위한 적어도 한 쌍의 래치를 각각의 실린더의 작동에 의해 회전되도록 함에 따라 래치의 작동 신뢰성을 확보하고자 하는 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to improve the above problems, and after seating the FOUP of the LPM on the stage in place, at least one pair for physically coupling the back door of the FOUP with the cover on the frame side An object of the present invention is to provide an opening/closing device for a PUP of an LPM for semiconductors, which is intended to secure the operation reliability of the latches as the latches are rotated by the operation of each cylinder.

본 발명은 프레임 측 덮개와 커버 중 적어도 어느 하나를 엘엠(LM) 가이드로써 프레임에 축 방향으로 왕복 이동 안내함에 따라 엘엠 가이드 작동에 의해 기존 볼스크류 대비 파티클(particle)의 발생이 현저히 감소 유도하고, 엘엠 가이드의 작동시 소음과 진동을 최대한 줄이고자 하는 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.According to the present invention, by guiding at least one of the frame-side cover and the cover in the axial direction to and from the frame as an LM guide, the LM guide operates to significantly reduce the generation of particles compared to the conventional ball screw, The purpose is to provide an opening and closing device for a semiconductor LPM PUP to reduce noise and vibration as much as possible during the operation of the LM guide.

본 발명에 따른 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치는: 프레임의 타측에서 개구부에 대응되게 구비되는 개폐유닛을 포함한다.An opening and closing device of an LPM for semiconductor according to the present invention includes: an opening and closing unit provided to correspond to an opening on the other side of a frame.

상기 개폐유닛은, 상기 개구부에 대응되게 위치하도록 상기 프레임의 타측에 위치 이동 가능하게 안내되고, 상기 프레임 측 또는 상기 개구부 측으로 개방되는 내부공간을 갖는 덮개; 상기 덮개의 개방측에 구비되어, 상기 덮개와 함께 상기 개구부에 대응되게 이동하는 커버; 상기 덮개의 상기 내부공간에 구비되어, 상기 개구부에 위치한 상기 커버를 상기 덮개에 물리적으로 결속하거나 결속해제하는 결속부; 및 상기 결속부에 의한 결속이 해제된 후 상기 커버를 상기 프레임의 축 방향으로 이동하거나, 또는 상기 결속부에 의해 결속된 상태의 상기 커버와 상기 덮개를 상기 프레임의 축 방향으로 이동 안내하는 개폐이동부를 포함한다.The opening/closing unit may include a cover that is movably guided to the other side of the frame so as to correspond to the opening and has an inner space open to the frame or the opening; a cover provided on an open side of the cover and moving along with the cover to correspond to the opening; a binding unit provided in the inner space of the cover to physically bind or release the cover located in the opening to or from the cover; and opening/closing movement of moving the cover in the axial direction of the frame after the binding by the binding part is released, or moving and guiding the cover and the cover in a state of being bound by the binding part in the axial direction of the frame. includes wealth

상기 결속부는, 상기 커버에 복수 개 통공 형성되는 연통홀; 상기 연통홀 각각의 내측에 위치하는 래치; 상기 래치를 원주 방향을 따라 양방향으로 회동 조작 안내하는 액추에이터; 및 상기 래치에 일대일 대응되도록, 상기 풉의 개폐측을 막고 있는 백도어에 함몰 형성되어 대응되는 상기 래치가 수용 후 회전되며 상기 백도어를 결속되도록 하는 걸림구를 포함한다.The binding unit may include a plurality of communication holes formed in the cover; latches located inside each of the communication holes; an actuator for guiding the latch to rotate in both directions along a circumferential direction; and a locking member recessed into the backdoor blocking the opening and closing side of the FOUP so as to correspond to the latch one-to-one, and the corresponding latch is rotated after being received to bind the backdoor.

상기 액추에이터는, 상기 커버에 고정되고, 대응되는 상기 래치를 일측으로 돌출되게 구비한 서포트; 상기 서포트의 편심 위치에, 축 방향을 따라 일측이 힌지 연결되는 회전작동자; 축 방향을 따라 상기 회전작동자의 타측이 힌지 연결되어, 직선 전후진 이동됨에 따라, 상기 회전작동자를 통해 대응되는 상기 래치를 일방향 또는 타방향으로 회전되도록 안내하는 직선이동작동자; 및 상기 직선이동작동자를 직선 전후진 이동하도록 작동되고, 상기 덮개 또는 상기 커버에 고정되는 실린더를 포함한다.The actuator may include a support fixed to the cover and having a corresponding latch protruding to one side; A rotary actuator whose one side is hinged along an axial direction at an eccentric position of the support; A linear movement actuator for guiding the corresponding latch to be rotated in one direction or the other direction through the rotary actuator as the other side of the rotary actuator is hingedly connected along the axial direction and moved forward and backward in a straight line; and a cylinder fixed to the cover or the cover, which is operated to linearly move the linear moving operator forward and backward.

상기 액추에이터는, 상기 직선이동작동자에 구비되는 검침핀; 상기 덮개 또는 상기 커버에 고정되는 검침브라켓; 및 상기 검침브라켓에 대향하도록 구비되어, 접근하는 상기 검침핀을 검출시 상기 실린더의 작동 정지 신호를 발생함으로써, 대응되는 상기 래치의 회전량을 제어하는 검침센서를 포함한다.The actuator may include a meter reading pin provided to the linear movement actuator; a meter reading bracket fixed to the cover or the cover; and an inspection sensor provided to face the meter reading bracket and generating a signal to stop the operation of the cylinder when detecting the approaching meter reading pin, thereby controlling a corresponding amount of rotation of the latch.

상기 액추에이터는 상기 래치에 일대일 대응되게 구비되는 것을 특징으로 한다.The actuator is characterized in that it is provided in a one-to-one correspondence with the latch.

상기 개폐이동부는, 상기 프레임의 일측에 축 방향을 따라 구비되고, 나란한 한 쌍으로 이루어지는 가이드레일; 한 쌍의 상기 가이드레일에 양측이 지지되어, 상기 결속부의 신호에 의해 상기 가이드레일을 따라 설정 이동거리만큼 이동되는 가이드블록; 한 쌍의 상기 가이드레일 사이에 해당되는 상기 프레임에 통공 형성된 슬롯홀; 상기 가이드블록에 고정 연결되고, 상기 슬롯홀을 통해 상기 프레임의 타측으로 돌출되는 조인트브라켓; 및 축 방향을 따라 일측이 상기 덮개와 상기 커버 중 적어도 어느 하나에 고정되고, 타측이 상기 조인트브라켓에 고정 연결됨에 따라, 상기 덮개와 상기 커버 중 적어도 어느 하나를 상기 가이드블록에 연동 안내하는 수직빔을 포함한다.The opening and closing moving unit is provided along the axial direction on one side of the frame, consisting of a pair of side-by-side guide rails; Guide blocks supported on both sides of the pair of guide rails and moved by a set moving distance along the guide rails in response to a signal from the binding unit; a through-hole formed in the frame corresponding to a pair of guide rails; a joint bracket fixedly connected to the guide block and protruding to the other side of the frame through the slot hole; And as one side is fixed to at least one of the cover and the cover and the other side is fixedly connected to the joint bracket along the axial direction, a vertical beam interlockingly guides at least one of the cover and the cover to the guide block. includes

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치는 종래 기술과 달리 엘피엠(LPM)의 풉(FOUP)을 스테이지에 정위치 안착 후, 풉의 백도어를 프레임 측의 커버와 물리적으로 결합하기 위한 적어도 한 쌍의 래치를 각각의 실린더의 작동에 의해 회전되도록 함에 따라 래치의 작동 신뢰성을 확보할 수 있다.As described above, the opening and closing device of the FOUP of the LPM for semiconductors according to the present invention, unlike the prior art, after seating the FOUP of the LPM on the stage, As at least one pair of latches for physically engaging with each other are rotated by the operation of each cylinder, reliability of latch operation can be secured.

본 발명은 프레임 측 덮개와 커버 중 적어도 어느 하나를 엘엠(LM) 가이드로써 프레임에 축 방향으로 왕복 이동 안내함에 따라 엘엠 가이드 작동에 의해 기존 볼스크류 대비 파티클(particle)의 발생이 현저히 감소 유도할 수 있고, 엘엠 가이드의 작동시 소음과 진동을 최대한 줄일 수 있다.According to the present invention, by guiding at least one of the frame-side cover and the cover in the axial direction to the frame as an LM guide, the generation of particles can be significantly reduced compared to the conventional ball screw by the operation of the LM guide. noise and vibration can be reduced as much as possible during the operation of the LM guide.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 내부 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 배면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 요부 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐유닛의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐유닛의 요부 확대 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐유닛의 래치가 풉과 결속되는 상태를 보인 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐이동부를 보인 요부 확대 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐이동부의 작동 상태를 보인 요부 측면도이다.1 is a perspective view of an LPM according to an embodiment of the present invention.
2 is an internal configuration diagram of an LPM according to an embodiment of the present invention.
3 is a rear configuration diagram of an LPM according to an embodiment of the present invention.
4 is a front view of a main part of an LPM according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view of an open/close unit according to an embodiment of the present invention.
6 is an enlarged exploded perspective view of a main part of an opening and closing unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view showing a state in which a latch of an opening/closing unit according to an embodiment of the present invention is engaged with a pull.
8 is an enlarged perspective view of a main part showing an opening and closing moving part according to an embodiment of the present invention.
9 is a side view showing an operating state of an opening and closing moving unit according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치의 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of an opening and closing device of a PUP of an LPM for semiconductors according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of lines or the size of components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description. In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of a user or operator. Therefore, definitions of these terms will have to be made based on the content throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 사시도이다.1 is a perspective view of an LPM according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 내부 구성도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 배면 구성도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엘피엠(LPM)의 요부 정면도이다.2 is an internal configuration diagram of an LPM according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a rear configuration diagram of the LPM according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram of the LPM according to an embodiment of the present invention. It is a front view of the main part of the LPM according to one embodiment.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐유닛의 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐유닛의 요부 확대 분해 사시도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐유닛의 래치가 풉과 결속되는 상태를 보인 단면도이다.5 is an exploded perspective view of an open/close unit according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is an enlarged exploded perspective view of main parts of the open/close unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an open and close view according to an embodiment of the present invention. This is a cross-sectional view showing the state in which the latch of the unit is engaged with the pull.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐이동부를 보인 요부 확대 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 개폐이동부의 작동 상태를 보인 요부 측면도이다.8 is an enlarged perspective view of a main part showing an opening and closing movable part according to an embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a side view of a main part showing an operating state of the opening and closing movable part according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치는 풉(130)의 고정장치 또는 개폐장치로써 개폐유닛(200)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 to 9 , the opening/closing device of the FOUP of the LPM for semiconductor according to an embodiment of the present invention includes an opening/closing unit 200 as a fixing device or an opening/closing device of the FOUP 130 .

특히, 엘피엠(LPM;Load Port Module,100)은 반도체 웨이퍼 처리장치 중 풉(FOUP;Front Opening Unified Pod,130)에 건조유체를 공급하기 위해(공급하기 전에), 풉(130)을 스테이지(120)에 안착한 채 풉(130)의 내부를 밀폐하며 견고하게 고정하는 설비이다.In particular, the LPM (Load Port Module, 100) is a stage (before supplying) the FOUP (130) to supply (before supplying) a drying fluid to the FOUP (Front Opening Unified Pod, 130) of the semiconductor wafer processing apparatus. 120) while sealing the inside of the foo 130 and firmly fixing it.

이때, 풉(130)은 내부에 웨이퍼를 적층하여 보관함에 따라, 풉(130) 내부로 공급된 건조유체는 웨이퍼의 표면에 묻은 물기를 흡수하여 제거하는 역할을 한다.At this time, as the foo 130 stacks and stores wafers therein, the drying fluid supplied into the foo 130 serves to absorb and remove moisture from the surface of the wafer.

개폐유닛(200)은 풉(130)의 내부에 건조유체를 공급하는 등 필요에 따라 내부를 밀폐 처리한 상태로 스테이지(120)에 안착된 풉(130)을 프레임(110)에 고정하는 역할을 한다.The opening/closing unit 200 serves to fix the FOUP 130 seated on the stage 120 to the frame 110 while sealing the inside of the FOUP 130 as necessary, such as supplying a drying fluid to the inside of the FOUP 130. do.

상세히, 엘피엠(100)은 프레임(110), 스테이지(120), 풉(130) 및 개폐유닛(200)을 포함한다.In detail, the LPM 100 includes a frame 110, a stage 120, a pull 130, and an open/close unit 200.

프레임(110)은 엘피엠(100)의 뼈대를 형성하는 것으로서, 다양하게 형성될 수 있으며, 다양한 재질로 적용될 수 있다.The frame 110 forms the skeleton of the LPM 100, and can be formed in various ways and can be applied with various materials.

이때, 프레임(110)은 설정위치에서 일측과 타측으로 개방되는 개구부(112)를 형성한다.At this time, the frame 110 forms an opening 112 open to one side and the other side at the set position.

그리고, 풉(130)은 타측을 개폐 가능하게 구비하여 내부에 웨이퍼를 수납 또는 내부의 웨이퍼를 인출 허용하고, 개방된 타측을 백도어(132)로써 개폐 가능하게 구비한다.Further, the foo 130 has the other side openable and openable to accommodate wafers therein or take out wafers therein, and has the open other side openable and openable as the back door 132 .

특히, 풉(130)이 프레임(110)의 일측에 구비되는 스테이지(120)에 안착 후 개구부(112) 측으로 이동하면서, 백도어(132) 또는 풉(130)의 타측(개방측) 가장자리가 개구부(112)의 내측면을 따라 접하도록 개구부(112)에 삽입된다. 이때, 개구부(112)는 내면 전체 두께 대비 일부에 백도어(132) 또는 풉(130)의 가장자리가 접하도록 안내할 수 있다.In particular, while the foo 130 is seated on the stage 120 provided on one side of the frame 110 and moves toward the opening 112, the other side (opening side) edge of the back door 132 or the foo 130 opens the opening ( 112 is inserted into the opening 112 so as to come into contact along the inner surface. At this time, the opening 112 may be guided so that the edge of the back door 132 or the FOUP 130 is in contact with a part of the total thickness of the inner surface.

아울러, 개폐유닛(200)은 프레임(110)의 타측에서 개구부(112)를 밀폐한 채 풉(130)의 개방측을 막은 상태의 백도어(132)를 고정하는 역할을 한다.In addition, the opening/closing unit 200 serves to fix the back door 132 in a state in which the open side of the FOUP 130 is blocked while the opening 112 is sealed at the other side of the frame 110 .

여기서, 개폐유닛(200)은 덮개(210), 커버(220), 결속부(230), 흡입고정부(240) 및 개폐이동부(290)를 포함한다.Here, the opening/closing unit 200 includes a cover 210, a cover 220, a coupling part 230, a suction fixing part 240, and an opening/closing moving part 290.

덮개(210)는 개구부(112)에 대응되게 위치하도록 프레임(110)의 타측에 구비되고, 프레임(110)을 따라 상하 이동(위치 이동) 가능하게 안내된다. 그리고, 덮개(210)는 프레임(110) 측 또는 개구부(112) 측으로 개방되는 내부공간(212)을 갖는다. 이때, 덮개(210)는 개구부(112)의 평면적보다 소정 큰 평면적으로 이루어져 개구부(112) 가장자리에 해당되는 프레임(110)의 타측에 대응되게 위치한다. 물론, 덮개(210)는 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.The cover 210 is provided on the other side of the frame 110 so as to correspond to the opening 112 and is guided along the frame 110 so as to be vertically movable (positional movement). And, the cover 210 has an inner space 212 that is open to the frame 110 side or the opening 112 side. At this time, the cover 210 is made up of a planar area larger than the planar area of the opening 112 and positioned to correspond to the other side of the frame 110 corresponding to the edge of the opening 112 . Of course, the cover 210 can be applied in various shapes and materials.

커버(220)는 덮개(210)의 개방측에 구비되어, 덮개(210)가 개구부(112)에 대응되게 위치할 경우, 개구부(112)의 내측면을 따라 접한다. 특히, 개구부(112)는, 백도어(132) 또는 풉(130)의 가장자리와 마찬가지로, 내면 전체 두께 대비 일부에 커버(220)의 가장자리가 접하도록 안내할 수 있다.The cover 220 is provided on the open side of the cover 210, and when the cover 210 is positioned to correspond to the opening 112, it comes into contact with the inner surface of the opening 112. In particular, the opening 112, like the edge of the back door 132 or the FOUP 130, may guide the edge of the cover 220 to come into contact with a portion of the total thickness of the inner surface.

결속부(230)는 덮개(210)의 내부공간(212)에 구비되어, 개구부(112)의 내측에 위치한 커버(220)를 덮개(210)에 물리적으로 결속하거나 결속해제하는 역할을 한다.The coupling part 230 is provided in the inner space 212 of the cover 210 and serves to physically bind or release the cover 220 located inside the opening 112 to the cover 210 .

예로서, 결속부(230)는 연통홀(232), 래치(234), 액추에이터(236) 및 걸림구(238)를 포함할 수 있다.For example, the coupling part 230 may include a communication hole 232 , a latch 234 , an actuator 236 , and a locking member 238 .

연통홀(232)은 커버(220)에 복수 개 통공 형성된다. 편의상, 연통홀(232)은 커버(220)에 양측으로 개방되는 2개로 이루어지는 것으로 도시한다. 이때, 커버(220)는 연통홀(232)의 직경과 개수 및 배치 위치를 한정하지 않는다.A plurality of communication holes 232 are formed in the cover 220 . For convenience, the communication hole 232 is shown as consisting of two open to both sides of the cover 220 . At this time, the cover 220 does not limit the diameter, number, and arrangement position of the communication hole 232 .

래치(234)는 연통홀(232) 각각의 내측에 위치하고, 원주 방향으로 회전 가능하게 구비된다. 래치(234)은 다양한 형상으로 적용 가능하다.The latches 234 are located inside each of the communication holes 232 and are rotatably provided in the circumferential direction. The latch 234 can be applied in various shapes.

액추에이터(236)는 덮개(210)의 내부공간(212)에 위치하고, 덮개(210)의 내측면 또는 커버(220)의 타측면에 결합 고정된 채 래치(234)를 원주 방향을 따라 양방향으로 회동 조작 안내한다. 이때, 액추에이터(236)는 다양하게 적용 가능하고, 래치(234)는 다양한 형상으로 적용 가능하다.The actuator 236 is located in the inner space 212 of the cover 210, rotates the latch 234 in both directions along the circumferential direction while being coupled and fixed to the inner surface of the cover 210 or the other side of the cover 220 operation guide. At this time, the actuator 236 can be applied in various ways, and the latch 234 can be applied in various shapes.

걸림구(238)는, 커버(220)와 백도어(132)를 개구부(112)에 위치한 상태에서, 래치(234)에 일대일 대응되도록 백도어(132)에 함몰 형성된다. 이때, 풉(130) 또는 커버(220)가 개구부(112) 측으로 이동시, 걸림구(238)는 대응되는 래치(234)를 수용 후 해당 래치(234)를 원주 방향으로 회전 허용하도록 형성된다. 아울러, 걸림구(238)는 래치(234)를 수용 후, 래치(234)의 회전으로 래치(234)가 걸려 임의적으로 이탈되는 것이 방지되도록 형성된다.The hook 238 is recessed into the back door 132 so as to correspond one to one to the latch 234 while the cover 220 and the back door 132 are positioned in the opening 112 . At this time, when the pull 130 or the cover 220 is moved toward the opening 112, the locking member 238 accommodates the corresponding latch 234 and then allows the corresponding latch 234 to rotate in the circumferential direction. In addition, the hook 238 is formed to prevent the latch 234 from being caught and arbitrarily separated by rotation of the latch 234 after receiving the latch 234 .

특히, 액추에이터(236)는 서포트(201), 회전작동자(202), 직선이동작동자(203), 실린더(204), 검침핀(205), 검침브라켓(206) 및 검침센서(207)를 포함한다.In particular, the actuator 236 includes a support 201, a rotary actuator 202, a linear movement actuator 203, a cylinder 204, an inspection pin 205, an inspection bracket 206, and an inspection sensor 207. include

서포트(201)는 덮개(210)를 향하는 커버(220)의 일측면 또는 타측면에 고정되어 외부 노출이 방지되고, 대응되는 래치(234)를 일측으로 돌출되게 구비한다. 그래서, 서포트(201)는 대략 중앙에 홀을 통공한다. 그래서, 래치(234)는 서포트(201)의 전측으로 돌출된 채 서포트(201)에 위치 고정된 상태로 양방향 회전 가능하게 된다. 물론, 서포트(201)는 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.The support 201 is fixed to one side or the other side of the cover 220 facing the cover 210 to prevent external exposure, and has a corresponding latch 234 protruding to one side. So, the support 201 has a through hole approximately in the center. Thus, the latch 234 is rotatable in both directions while being fixed to the support 201 while protruding toward the front side of the support 201 . Of course, the support 201 can be applied in various shapes and materials.

회전작동자(202)는 서포트(201)의 편심 위치에서, 축 방향을 따라 일측이 서포트(201)에 힌지 연결된다. 회전작동자(202)는 다양한 형상으로 적용 가능하나, 편의상 바(bar) 타입인 것으로 도시한다.In the eccentric position of the support 201, one side of the rotary operator 202 is hingedly connected to the support 201 along the axial direction. The rotary actuator 202 may be applied in various shapes, but is shown as a bar type for convenience.

그리고, 직선이동작동자(203)는 축 방향을 따라 회전작동자(202)의 타측이 힌지 연결되어 직선 전후진 이동됨에 따라, 회전작동자(202)를 통해 대응되는 래치(234)를 일방향 또는 타방향으로 회전되도록 안내한다.In addition, as the linear movement operator 203 is hingedly connected to the other side of the rotation operator 202 along the axial direction and moves linearly forward and backward, the corresponding latch 234 through the rotation operator 202 is moved in one direction or Guide it to rotate in the other direction.

즉, 회전작동자(202)는 축 방향을 따라 일측이 대응되는 래치(234)에 힌지 연결되고, 축 방향을 따라 타측이 대응되는 직선이동작동자(203)에 힌지 또는 고정 연결된다.That is, the rotation actuator 202 is hingedly connected to the latch 234 corresponding to one side along the axial direction, and hinged or fixedly connected to the linear movement actuator 203 corresponding to the other side along the axial direction.

그래서, 직선이동작동자(203)가 전진 이동시, 회전작동자(202)는 일방향으로 회전되고, 이에 연동되어 래치(234)는 일방향으로 회전된다.Thus, when the linear movement operator 203 moves forward, the rotation operator 202 is rotated in one direction, and the latch 234 is rotated in one direction interlocked therewith.

그리고, 직선이동작동자(203)가 후진 이동시, 회전작동자(202)는 타방향으로 회전되고, 이에 연동되어 래치(234)는 타방향으로 회전된다.Further, when the linear movement operator 203 moves backward, the rotation operator 202 is rotated in another direction, and the latch 234 is rotated in the other direction in conjunction therewith.

또한, 실린더(204)는 직선이동작동자(203)를 직접적으로 직선 전후진 이동하도록 작동되고, 덮개(210) 또는 커버(220))에 고정된다. 이때, 실린더(204)는 공압, 유압 또는 전기력에 의해 전후진 작동되는 것으로 한다.In addition, the cylinder 204 is operated to directly linearly move the linear moving operator 203 back and forth, and is fixed to the cover 210 or the cover 220. At this time, the cylinder 204 is assumed to be operated forward and backward by pneumatic, hydraulic or electric power.

아울러, 래치(234)의 회전량이 제어되어야 한다.In addition, the amount of rotation of the latch 234 should be controlled.

이를 위해, 검침핀(205), 검침브라켓(206) 및 검침센서(207)가 구비된다.To this end, an inspection pin 205, an inspection bracket 206, and an inspection sensor 207 are provided.

검침핀(205)은 직선이동작동자(203)에 구비된다. 특히, 검침핀(205)은 축 방향으로 직선이동작동자(203)의 대략 중앙 부위에서 측방향으로 연장 형성된다. 이때, 검침핀(205)은 직선이동작동자(203)에 일체 또는 분리 가능하게 결합될 수 있고, 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.The meter reading pin 205 is provided in the linear movement operator 203. In particular, the meter reading pin 205 extends in a lateral direction from an approximate central portion of the linear movement actuator 203 in the axial direction. At this time, the meter reading pin 205 may be integrally or detachably coupled to the linear movement actuator 203, and may be applied in various shapes and materials.

그리고, 검침브라켓(206)은 덮개(210) 또는 커버(220)에 고정된다. 이때, 검침브라켓(206)은 다양한 형상 및 다양한 재질로 적용 가능하다.And, the meter reading bracket 206 is fixed to the cover 210 or the cover 220. At this time, the meter reading bracket 206 can be applied in various shapes and materials.

아울러, 검침센서(207)는 직선이동작동자(203)의 이동 방향으로 검침브라켓(206)에 대향하도록 구비되어, 접근하는 검침핀(205)을 검출시 실린더(204)의 작동 정지 신호를 발생함으로써, 대응되는 래치(234)의 회전량을 제어한다.In addition, the meter reading sensor 207 is provided to face the meter reading bracket 206 in the moving direction of the linear movement operator 203, and generates an operation stop signal of the cylinder 204 when detecting an approaching meter reading pin 205. By doing so, the rotation amount of the corresponding latch 234 is controlled.

특히, 액추에이터(236)는 래치(234)에 일대일 대응되게 구비됨으로써, 각 래치(234)는 안정적으로 설정 회전각도만큼 왕복 회전됨에 따라, 래치(234)의 회전 작동 신뢰성이 확보된다. 즉, 액추에이터(236)를 구성하는 서포트(201), 회전작동자(202), 직선이동작동자(203), 실린더(204), 검침핀(205), 검침브라켓(206) 및 검침센서(207)는 복수 개의 래치(234)에 각각 대응되게 구비된다. 그리고, 각 래치(234)는 대응되는 액추에이터(236)에 의해 동시에 작동한다. 아울러, 검침핀(205)은 직선 왕복 이동되면서 대향하는 한 쌍의 검침센서(207) 측에 번갈아 접근한다.In particular, since the actuators 236 are provided in a one-to-one correspondence with the latches 234, each latch 234 stably reciprocates by a set rotation angle, thereby ensuring reliability of rotational operation of the latches 234. That is, the support 201 constituting the actuator 236, the rotary actuator 202, the linear motion actuator 203, the cylinder 204, the meter reading pin 205, the meter reading bracket 206, and the meter reading sensor 207 ) is provided to correspond to each of the plurality of latches 234. Then, each latch 234 is simultaneously operated by a corresponding actuator 236 . In addition, the meter reading pins 205 alternately approach the opposite pair of meter reading sensors 207 while linearly reciprocating.

한편, 흡입고정부(240)는 결속부(230)에 의해 덮개(210)가 커버(220)를 결속한 상태에서, 프레임(110)의 일측에 위치한 풉(130)의 백도어(132)를 흡착하여 고정하도록 덮개(210) 또는 커버(220)에 구비된다.On the other hand, the suction fixing part 240 adsorbs the back door 132 of the pull 130 located on one side of the frame 110 in a state where the cover 210 binds the cover 220 by the coupling part 230 It is provided on the cover 210 or the cover 220 so as to be fixed.

특히, 흡입고정부(240)는 커버(220)에 하나 이상 통공되는 설치홀부(250), 및 덮개(210)에 구비되고 설치홀부(250)를 통해 백도어(132)에 흡착되는 패드(280)를 포함한다. 설치홀부(250)는 흡입고정부(240)를 구성하는 한정구성 중 일부를 커버(220)의 일측으로 돌출 안내한다.In particular, the suction fixing part 240 includes one or more installation holes 250 through the cover 220, and a pad 280 provided in the cover 210 and adsorbed to the back door 132 through the installation holes 250. includes The installation hole 250 protrudes and guides a part of the limited configuration constituting the suction fixing part 240 to one side of the cover 220 .

이때, 커버(220)는 설치홀부(250)의 크기, 형상 및 배치 위치를 한정하지 않는다.At this time, the cover 220 does not limit the size, shape and placement position of the installation hole 250 .

한편, 개폐이동부(290)는 결속부(230)에 의한 결속이 해제된 후 커버(220)를 프레임(110)의 축 방향으로 이동하거나, 또는 결속부(230)에 의해 결속된 상태의 커버(220)와 덮개(210)를 프레임(110)의 축 방향으로 이동 안내하는 역할을 한다.On the other hand, the opening and closing moving unit 290 moves the cover 220 in the axial direction of the frame 110 after the binding by the coupling unit 230 is released, or the cover in a state of being bound by the coupling unit 230 ( 220) and the cover 210 serve to guide movement in the axial direction of the frame 110.

상세히, 개폐이동부(290)는 가이드레일(291), 가이드블록(292), 슬롯홀(293), 조인트브라켓(294), 수직빔(295) 및 개폐구동부(298)를 포함한다.In detail, the opening and closing moving unit 290 includes a guide rail 291, a guide block 292, a slot hole 293, a joint bracket 294, a vertical beam 295, and an opening and closing driving unit 298.

가이드레일(291)은 프레임(110)의 일측에 축 방향을 따라 구비되고, 나란한 한 쌍으로 이루어진다. 이때, 가이드레일(291)은 다양한 형상으로 변형 가능하다.The guide rail 291 is provided along the axial direction on one side of the frame 110, and is made of a pair in parallel. At this time, the guide rail 291 can be deformed into various shapes.

그리고, 가이드블록(292)은 한 쌍의 가이드레일(291)에 양측이 지지되어, 결속부(230) 특히 검침센서(207)의 신호에 의해 가이드레일(291)을 따라 설정 이동거리만큼 이동될 수 있다. In addition, the guide block 292 is supported on both sides by a pair of guide rails 291, and is moved by a set moving distance along the guide rail 291 by a signal from the binding unit 230, particularly the meter reading sensor 207. can

즉, 검침센서(207)가 검침핀(205)을 감지시, 커버(220)는 덮개(210)와 로킹된 상태이거나 또는 로킹 해제된 상태가 된다.That is, when the meter reading sensor 207 detects the meter reading pin 205, the cover 220 is locked with the cover 210 or unlocked.

검침센서(207)가 검침핀(205)을 감지 후, 가이드블록(292)은 가이드레일(291)을 따라 설정 거리만큼 이동하도록 제어된다.After the meter reading sensor 207 detects the meter reading pin 205, the guide block 292 is controlled to move along the guide rail 291 by a set distance.

물론, 가이드블록(292)은 다양한 형상으로 변형 가능하고, 다양한 방식으로 대응되는 가이드레일(291)에 연결될 수 있다.Of course, the guide block 292 can be deformed into various shapes and can be connected to the corresponding guide rail 291 in various ways.

슬롯홀(293)은 한 쌍의 가이드레일(291) 사이에 해당되는 프레임(110)에 통공 형성된다.The slot hole 293 is through-hole formed in the frame 110 between the pair of guide rails 291 .

이때, 가이드블록(292)은 내구성 또는 강성이 큰 가이드브라켓(296)을 일체 또는 분리 가능하게 구비할 수 있다. 가이드브라켓(296)은 슬롯홀(293)에 삽입된 상태로 슬롯홀(293)을 따라 이동된다. 특히, 가이드브라켓(296)의 양측면이 대응되는 슬롯홀(293)의 마주하는 내측면에 접한 채 이동됨에 따라, 가이드블록(292)은 안정적으로 직선 왕복 이동될 수 있다. 가이드브라켓(296)은 다양한 형상으로 변형 가능하다.At this time, the guide block 292 may be integrally or detachably provided with a guide bracket 296 having high durability or rigidity. The guide bracket 296 moves along the slot hole 293 while being inserted into the slot hole 293 . In particular, as both side surfaces of the guide bracket 296 are moved while being in contact with the inner surface facing the corresponding slot hole 293, the guide block 292 can be stably reciprocated in a straight line. The guide bracket 296 is deformable into various shapes.

또한, 슬롯홀(293)은 장축 방향으로 양쪽 가장자리에 리미트센서(도시하지 않음)를 구비할 수 있다. 어느 하나가 리미트센서를 감지할 경우, 가이드블록(292)의 이동이 정지된다. 이로써, 가이드브라켓(296)의 장축 방향으로 양쪽 내측면에 부딪힘에 따른 프레임(110)의 파손이 방지된다. In addition, the slot hole 293 may be provided with limit sensors (not shown) at both edges in the long axis direction. When either one detects the limit sensor, the movement of the guide block 292 is stopped. As a result, damage to the frame 110 due to collision with both inner surfaces in the direction of the long axis of the guide bracket 296 is prevented.

그리고, 조인트브라켓(294)은 가이드블록(292) 또는 가이드브라켓(296)에 고정 연결되고, 슬롯홀(293)을 통해 프레임(110)의 타측으로 돌출될 수 있다.Also, the joint bracket 294 may be fixedly connected to the guide block 292 or the guide bracket 296 and protrude to the other side of the frame 110 through the slot hole 293 .

이때, 가이드레일(291)과 가이드블록(292)은, 프레임(110)의 일측(전측) 내부에 구비됨에 따라, 파티클 등의 비산이 방지된다. At this time, as the guide rail 291 and the guide block 292 are provided inside one side (front side) of the frame 110, scattering of particles and the like is prevented.

아울러, 수직빔(295)은 축 방향을 따라 일측이 덮개(210)와 커버(220) 중 적어도 어느 하나에 고정되고, 타측이 조인트브라켓(294)에 고정 연결됨에 따라, 덮개(210)와 커버(220) 중 적어도 어느 하나를 가이드블록(292)에 연동 안내한다.In addition, as one side of the vertical beam 295 is fixed to at least one of the cover 210 and the cover 220 along the axial direction, and the other side is fixedly connected to the joint bracket 294, the cover 210 and the cover At least one of (220) is interlocked and guided to the guide block (292).

따라서, 덮개(210)와 커버(220)는 프레임(110)의 타측(후측)에 배치됨에 따라, 수직빔(295)은 조인트브라켓(294)을 통해 가이드블록(292)에 연결된다.Therefore, as the cover 210 and the cover 220 are disposed on the other side (rear side) of the frame 110, the vertical beam 295 is connected to the guide block 292 through the joint bracket 294.

수직빔(295)은 다양한 형상으로 변형 가능하다.The vertical beam 295 can be deformed into various shapes.

또한, 개폐구동부(298)는 가이드블록(292)이 가이드레일(291)을 따라 안정적으로 왕복 이동되도록 동력을 제공하는 역할을 한다.In addition, the opening and closing driving unit 298 serves to provide power so that the guide block 292 stably reciprocates along the guide rail 291.

예로서, 개폐구동부(298)는 프레임(110)에 회전 가능하게 구비되는 한 쌍의 풀리(298a), 한 쌍의 풀리(198a) 중 적어도 어느 하나의 풀리(198a)에 회전력을 전달하는 모터(298b), 및 한 쌍의 풀리(298a)에 감겨 무한 회전 가능하게 되고 가이드블록(292)을 연결 고정함으로써 가이드블록(292)의 직선 왕복 이동을 안내하는 벨트(298c)를 포함할 수 있다.For example, the opening and closing driving unit 298 is a pair of pulleys 298a rotatably provided in the frame 110 and a motor for transmitting rotational force to at least one pulley 198a of the pair of pulleys 198a ( 298b), and a belt 298c that is infinitely rotatable by being wound around a pair of pulleys 298a and guiding linear reciprocating movement of the guide block 292 by connecting and fixing the guide block 292.

물론, 가이드레일(291)과 가이드블록(292)은 LM가이드로 적용할 수 있다.Of course, the guide rail 291 and the guide block 292 can be applied as an LM guide.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but this is only exemplary, and those skilled in the art can make various modifications and equivalent other embodiments. will understand Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the claims below.

100: 엘피엠 110: 프레임
112: 개구부 120: 스테이지
130: 풉(FOUP) 132: 백도어
200: 개폐유닛 204: 실린더
210: 덮개 212: 내부공간
220: 커버 230: 결속부
232: 연통홀 234: 래치
236: 액추에이터 238: 걸림구
240: 흡입고정부 250: 설치홀부
290: 개폐이동부 291: 가이드레일
292: 가이드블록 293: 슬롯홀
294: 조인트브라켓 295: 수직빔
298: 개폐구동부100: LPM 110: Frame
112: opening 120: stage
130: FOUP 132: Backdoor
200: open/close unit 204: cylinder
210: cover 212: inner space
220: cover 230: coupling part
232: communication hole 234: latch
236: actuator 238: hook
240: suction fixing part 250: installation hole part
290: opening and closing moving part 291: guide rail
292: guide block 293: slot hole
294: joint bracket 295: vertical beam
298: opening and closing drive unit

Claims (5)

프레임의 타측에서 개구부에 대응되게 구비되는 개폐유닛을 포함하고,
상기 개폐유닛은, 상기 개구부에 대응되게 위치하도록 상기 프레임의 타측에 위치 이동 가능하게 안내되고, 상기 프레임 측 또는 상기 개구부 측으로 개방되는 내부공간을 갖는 덮개; 상기 덮개의 개방측에 구비되어, 상기 덮개와 함께 상기 개구부에 대응되게 이동하는 커버; 상기 덮개의 상기 내부공간에 구비되어, 상기 개구부에 위치한 상기 커버를 상기 덮개에 물리적으로 결속하거나 결속해제하는 결속부; 및 상기 결속부에 의한 결속이 해제된 후 상기 커버를 상기 프레임의 축 방향으로 이동하거나, 또는 상기 결속부에 의해 결속된 상태의 상기 커버와 상기 덮개를 상기 프레임의 축 방향으로 이동 안내하는 개폐이동부를 포함하며,
상기 결속부는, 상기 커버에 복수 개 통공 형성되는 연통홀; 상기 연통홀 각각의 내측에 위치하는 래치; 상기 래치 각각에 연결되어, 상기 래치를 동시에 원주 방향을 따라 양방향으로 회동 조작 안내하는 액추에이터; 및 상기 래치에 일대일 대응되도록, 풉의 개폐측을 막고 있는 백도어에 함몰 형성되어 대응되는 상기 래치가 수용 후 회전되며 상기 백도어를 결속되도록 하는 걸림구를 포함하고,
상기 액추에이터는, 상기 커버에 고정되고, 대응되는 상기 래치를 일측으로 돌출되게 구비한 서포트; 상기 서포트에, 축 방향을 따라 일측이 힌지 연결되는 회전작동자; 축 방향을 따라 상기 회전작동자의 타측이 힌지 연결되고, 상기 회전작동자를 통해 대응되는 상기 래치를 일방향 또는 타방향으로 회전되도록 안내하는 직선이동작동자; 및 상기 덮개 또는 상기 커버에 고정되는 실린더를 포함하며,
상기 액추에이터는, 상기 직선이동작동자에 구비되는 검침핀; 상기 덮개 또는 상기 커버에 고정되는 검침브라켓; 및 상기 검침브라켓에 대향하도록 구비되어, 접근하는 상기 검침핀을 검출시 상기 실린더의 작동 정지 신호를 발생함으로써, 대응되는 상기 래치의 회전량을 제어하는 검침센서를 포함하고,
상기 회전작동자는 상기 서포트의 편심 위치에 힌지 연결되며, 상기 직선이동작동자는 상기 실린더의 전후진 작동에 의해 상기 검침핀과 함께 직선 왕복 이동되고, 상기 검침핀은 직선 왕복 이동되면서 대향하는 한 쌍의 상기 검침센서 측에 번갈아 접근하는 것을 특징으로 하는 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치.
Including an opening and closing unit provided to correspond to the opening on the other side of the frame,
The opening/closing unit may include a cover that is movably guided to the other side of the frame so as to correspond to the opening and has an inner space open to the frame or the opening; a cover provided on an open side of the cover and moving along with the cover to correspond to the opening; a binding unit provided in the inner space of the cover to physically bind or release the cover located in the opening to or from the cover; and opening/closing movement of moving the cover in the axial direction of the frame after the binding by the binding part is released, or moving and guiding the cover and the cover in a state of being bound by the binding part in the axial direction of the frame. including wealth,
The binding unit may include a plurality of communication holes formed in the cover; latches located inside each of the communication holes; actuators connected to each of the latches and guiding the latches in both directions along a circumferential direction at the same time; And a locking member recessed into the back door blocking the opening and closing side of the foop so that the latch corresponds to the latch one-to-one, and the corresponding latch is rotated after being received to bind the back door,
The actuator may include a support fixed to the cover and having a corresponding latch protruding to one side; A rotary actuator whose one side is hingedly connected to the support in the axial direction; A linear movement actuator that is hinged to the other side of the rotary actuator along the axial direction and guides the corresponding latch through the rotary actuator to rotate in one direction or another direction; And a cylinder fixed to the cover or the cover,
The actuator may include a meter reading pin provided to the linear movement actuator; a meter reading bracket fixed to the cover or the cover; and an inspection sensor provided to face the meter reading bracket and generating a signal to stop the operation of the cylinder when detecting the approaching meter reading pin, thereby controlling a corresponding amount of rotation of the latch;
The rotary actuator is hingedly connected to the eccentric position of the support, and the linear moving actuator is linearly reciprocated along with the inspection pin by the forward and backward operation of the cylinder, and the inspection pin is linearly reciprocated while facing a pair of opposite An opening and closing device of a PUP of an LPM for semiconductors, characterized in that it alternately approaches the meter reading sensor side.
 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 액추에이터는 상기 래치에 일대일 대응되게 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치.
According to claim 1,
The actuator is provided in a one-to-one correspondence with the latch.
 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 개폐이동부는,
상기 프레임의 일측에 축 방향을 따라 구비되고, 나란한 한 쌍으로 이루어지는 가이드레일;
한 쌍의 상기 가이드레일에 양측이 지지되어, 상기 결속부의 신호에 의해 상기 가이드레일을 따라 설정 이동거리만큼 이동되는 가이드블록;
한 쌍의 상기 가이드레일 사이에 해당되는 상기 프레임에 통공 형성된 슬롯홀;
상기 가이드블록에 고정 연결되고, 상기 슬롯홀을 통해 상기 프레임의 타측으로 돌출되는 조인트브라켓; 및
축 방향을 따라 일측이 상기 덮개와 상기 커버 중 적어도 어느 하나에 고정되고, 타측이 상기 조인트브라켓에 고정 연결됨에 따라, 상기 덮개와 상기 커버 중 적어도 어느 하나를 상기 가이드블록에 연동 안내하는 수직빔을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체용 엘피엠의 풉의 개폐장치.The method of claim 1 or 4, wherein the opening and closing moving unit,
Guide rails provided along the axial direction on one side of the frame and made of a pair in parallel;
Guide blocks supported on both sides of the pair of guide rails and moved by a set moving distance along the guide rails in response to a signal from the binding unit;
a through-hole formed in the frame corresponding to a pair of guide rails;
a joint bracket fixedly connected to the guide block and protruding to the other side of the frame through the slot hole; and
As one side is fixed to at least one of the cover and the cover along the axial direction, and the other side is fixedly connected to the joint bracket, a vertical beam for interlockingly guiding at least one of the cover and the cover to the guide block Opening and closing device of PUP of LPM for semiconductors, characterized in that it comprises.
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