KR102554367B1 - 기판 스트레칭 장치 - Google Patents

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KR102554367B1
KR102554367B1 KR1020150172098A KR20150172098A KR102554367B1 KR 102554367 B1 KR102554367 B1 KR 102554367B1 KR 1020150172098 A KR1020150172098 A KR 1020150172098A KR 20150172098 A KR20150172098 A KR 20150172098A KR 102554367 B1 KR102554367 B1 KR 102554367B1
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Abstract

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 단부의 하면을 지지하는 지지부와; 상기 기판의 상면의 수직방향으로 하향 이동하여 수직의 가압력을 제공하는 가압로드와, 상기 수직의 가압력을 전달받아 상기 수직의 가압력을 상기 기판에 대한 수직분력과 상기 기판의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해하는 가압단을 구비하는 가압부와; 상기 지지부에 형성되며, 상기 기판의 하면 단부가 슬라이딩되도록 상기 기판의 하면 단부를 지지하는 활주부를 포함하는, 기판 스트레칭 장치가 제공된다.

Description

기판 스트레칭 장치{APPARATUS FOR STRETCHING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 스트레칭 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 수직의 가압력으로 기판을 스트레칭하여 기판의 처짐을 최소활할 수 있는 기판 스트레칭 장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 소자로 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel, PDP), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 등 평판 표시 소자(Flat Panel Display)가 널리 이용되고 있다.
이러한 평판 표지 소자는 유리기판에 일정 패턴으로 금속박막이나 유기박막을 증착하는 증착공정 등의 일련의 공정을 진행하여 제조된다.
유리기판에 금속박막이나 유기박막을 증착하기 위해서는 유리기판의 증착면이 노출되도록 유리기판 단부를 지지하여야 하는데, 최근 평판 표지 소자가 대형화됨에 따라 유리기판이 대형화되어 유리기판의 중앙부에 큰 처짐이 발생하여 정밀한 공정을 수행하는데 문제점이 있다.
특히, 유기 발광 소자의 경우, 유리기판에 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등의 유기 박막을 증착하여야 하는데, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 유리기판 상에 증착된다.
진공열증착방법은 진공챔버 내에 유리기판의 증착면이 하향 노출되도록 유리기판을 상부에 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 유리기판에 정렬시킨 후, 유리기판의 증착면 하부에 배치된 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 유리기판의 증착면 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 이 과정에서 유리기판의 증착면이 하향 노출되도록 유리기판 단부를 지지하여야 하는데, 유리기판이 대형화됨에 따라 큰 처짐이 발생하여 쉐도우 마스크의 정렬과정에서 오차가 발생할 수 있고 이에 따라 증착의 정밀도가 떨어져 유기발광소자의 수율이 저하되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제2013-0076106호(2011.07.29)
본 발명은 수직의 가압력으로 기판을 스트레칭하여 기판의 처짐을 최소화할 수 있는 가압모듈 및 기판 스트레칭 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 단부의 하면을 지지하는 지지부와; 상기 기판의 상면의 수직방향으로 하향 이동하여 수직의 가압력을 제공하는 가압로드와, 상기 수직의 가압력을 전달받아 상기 수직의 가압력을 상기 기판에 대한 수직분력과 상기 기판의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해하는 가압단을 구비하는 가압부와; 상기 지지부에 형성되며, 상기 기판의 하면 단부가 슬라이딩되도록 상기 기판의 하면 단부를 지지하는 활주부를 포함하는, 기판 스트레칭 장치가 제공된다.
상기 활주부는, 테플론(Teflon) 재질의 코팅층을 포함할 수 있다.
상기 지지부의 상면에는 요홈이 형성되며, 상기 활주부는, 상기 요홈에 수용되어 상기 기판 하부의 단부를 지지하며 상기 기판의 슬라이딩 방향을 따라 이동하는 이동 플레이트를 포함할 수 있다.
상기 활주부는, 상기 이동 플레이트의 단부에 탄성력을 제공하도록 상기 요홈에 구비되는 탄성 스프링을 더 포함할 수 있다.
상기 요홈의 바닥면에 상기 기판의 인장 방향을 따라 구비되는 가이드 레일과; 상기 가이드 레일을 따라 슬라이딩되며, 상기 이동 플레이트가 결합되는 이동 블록을 포함할 수 있다.
상기 가압단은, 상기 가압로드의 일단에 결합되고, 상기 일단에서 상기 기판의 외측단부를 향하여 하향 경사를 이루는 경사부를 구비하는 가압편을 포함할 수 있다.
상기 가압단은, 가압바디와; 일단이 상기 가압바디의 일단에 힌지 결합되고 타단은 상기 기판의 상면에 접촉되며, 상기 기판의 외측 단부를 향하여 하향 경사를 이루는 틸팅바디와; 상기 가압바디와 상기 틸팅바디 사이에 개재되어 상기 틸팅바디를 탄성적으로 복원시키는 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 틸팅바디의 틸팅 범위를 한정하는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 가압바디와 상기 틸팅바디 중 어느 하나의 일단에서 연장되는 제1 힌지결합부와; 상기 가압바디와 상기 틸팅바디 중 나머지 하나의 일단에서 연장되며 상기 제1 힌지결합부에 대향하는 제2 힌지결합부와; 상기 제1 힌지결합부와 상기 제2 힌지결합부를 관통하는 힌지축을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 힌지결합부는 서로 이격되어 쌍으로 형성되고, 상기 제2 힌지결합부는, 상기 한 쌍의 상기 제1 힌지결합부 사이에 개재되며, 상기 탄성부재는, 상기 제2 힌지결합부와 상기 한 쌍의 제1 힌지결합부 사이에 각각 개재되며, 상기 힌지축이 삽입되는 한 쌍의 나선 형의 스프링을 더 포함할 수 있다.
상기 가압단의 하단에는 탄성패드가 결합될 수 있다.
상기 가압단의 하단은, 곡면으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 수직의 가압력으로 기판을 스트레칭하여 기판의 처짐을 최소화하고 이를 통해 공정의 정밀도를 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치를 간략히 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 일부를 확대한 부분 확대도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 일부를 확대한 부분 확대도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가압단을 간략히 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 기판 스트레칭 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치를 간략히 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 일부를 확대한 부분 확대도이다.
도 1 및 도 2에는 가압부(10), 지지부(12), 기판(14), 가압단(16), 가압편(18), 활주부(20), 경사부(22), 탄성패드(24), 가압로드(26), 가이드블록(28), 고정블록(30), 탄성 스프링(32, 42), 요홈(34), 이동 플레이트(36), 가이드 레일(38), 이동 블록(40), 탄성부재(48)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치는, 기판(14) 단부의 하면을 지지하는 지지부(12)와; 기판(14)의 상면의 수직방향으로 하향 이동하여 수직의 가압력을 제공하는 가압로드(26)와, 수직의 가압력을 전달받아 수직의 가압력을 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해하는 가압단(16)을 구비하는 가압부(10)와; 기판(14)의 하면 단부가 슬라이딩되도록 지지하며, 지지부(12)에 형성되는 활주부(20)를 포함하여, 수직의 가압력으로 기판(14)을 스트레칭하여 기판(14)의 처짐을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치를 간략히 도시한 도면으로서, 기판(14)의 서로 대향하는 양 단부가 지지부(12)에 의해 지지되고, 본 실시예에 따른 가압부(10)가 기판(14)의 서로 대향하는 양 단부의 상부에 배치된 상태에서, 가압부(10)가 기판(14)의 양 단부를 각각 가압하면 지지부(12)와 가압부(10)에 의해 기판(14)의 양 단부가 클램핑되고, 가압부(10)에 의해 기판(14)의 양 단부가 외측으로 밀리면서 기판(14)의 하면 단부가 활주부(20)를 따라 슬라이딩되어 기판(14)에 인장력을 가하게 된다. 이에 따라 기판(14)의 처짐을 최소화하여 공정의 정밀도를 높일 수 있다.
이하에서는 본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 각 구성에 대해서 자세히 살펴보기로 한다.
가압부(10)는 가압로드(26)와 가압단(16)을 포함한다. 가압로드(26)는 기판(14)의 양 단부의 상면의 수직방향으로 하향 이동하여 수직의 가압력을 후술할 가압단(16)에 제공한다. 가압로드(26)가 기판(14)의 상면을 향하여 하향 이동함에 따라 가압단(16)은 기판(14)의 단부를 외측으로 밀면서 기판(14)의 단부를 클램핑하여 기판(14)에 인장력을 가하게 된다.
가압단(16)은, 가압로드(26)로부터 수직의 가압력을 전달받아 수직의 가압력을 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해한다. 가압단(16)은 가압로드(26)의 일단에 결합될 수 있으며, 가압로드(26)가 기판(14) 상면의 수직방향으로 하향 이동함에 따라 가압로드(26)의 수직의 가압력을 전달받아 이를 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해한다.
도 2를 참조하면, 가압로드(26)에 의한 수직의 가압력은 가압단(16)의 형상 또는 구성에 따라 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해되는데, 수직분력은 기판(14)의 상면에 대하여 마찰력을 발생시키면서 기판(14)을 가압하고 이 상태에서 수평분력은 기판(14)의 외측 단부를 향하여 기판(14)을 밀게 된다.
도 2를 참조하여 가압단(16)에 의한 힘의 분해상태를 설명하기로 한다. 본 실시예에 따른 가압단(16)은 일단이 가압로드(26)의 일단에 결합되고, 일단에서 기판(14)의 외측 단부를 향하여 하향 경사를 이루는 경사부(22)를 구비한 가압편(18)을 포함한다. 가압편(18)의 일단은 가압로드(26)의 일단에 결합되어 있고, 타단은 기판(14)의 상면에 접하게 된다. 일단에서 연장된 경사부(22)는 기판(14)의 외측 단부를 향하여 하향 경사를 이루게 되며, 경사부(22)에 의해 가압로드(26)의 수직의 가압력이 기판(14)의 외측 단부를 향하여 경사의 힘으로 전환되고 이러한 경사의 힘이 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해된다. 기판(14)에 대한 수직분력은 기판(14)의 상면에 대하여 마찰력을 발생시키면서 기판(14)을 가압하여 기판(14)을 클램핑하고 이 상태에서 수평분력은 기판(14)의 외측 단부를 향하여 기판(14)을 밀게 된다. 이러한 수평분력이 기판(14)의 양 단부를 외측으로 밀면서 기판(14)에 인장력을 발생시키고, 가압편(18)의 수평분력에 의한 인장력으로 기판(14)의 처짐을 줄일 수 있다.
가압로드(26)는 기판(14)의 상면을 탄성적으로 가압하기 위해 탄성스프링(32)에 의해 지지될 수 있다. 가압로드(26)가 탄성력에 의해 기판(14) 단부의 상면을 균일하게 가압하기 위해, 가압로드(26)는 탄성스프링(32)에 의해 탄성지지되고, 가압단(16)은 가압로드(26)의 일단에 결합되어, 기판(14)의 상면을 가압한다.
한편, 탄성스프링(32)에 의해 탄성지지되는 가압로드(26)를 복수 개로 구성하고 복수 개의 가압로드(26) 일단에 가압단(16)을 결합함으로써, 기판(14)의 상면의 평탄도가 균일하지 않더라고 각 가압로드(26)의 탄성스프링(32)에 의해 기판(14) 상면에 균일한 가압력을 가할 수 있다.
또한, 가압부(10)는 가압로드(26)의 정밀한 직선이동을 가이드하기 위해, 가압로드(26)가 관통되며 가압로드(26)를 가이드하는 가이드블록(28)과, 가이드블록(28)의 상부에 결합되며 가압로드(26)의 타단이 관통하는 고정블록(30)과 가이드블록(28)의 상단과 고정블록(30) 사이에 개재되어 가압로드(26)를 탄성적으로 지지하는 탄성스프링(32)을 포함할 수 있다.
가압로드(26)가 기판(14)의 상면에 대해 수직으로 가압하기 위해, 가압로드(26)가 관통하는 가이드홀이 기판(14)에 대해 수직으로 형성되는 가이드블록(28) 및 가이드블록(28)을 관통한 가압로드(26)의 타단이 관통하는 고정블록(30)을 두어 가압로드(26)의 직선이동을 정밀하게 가이드하도록 하였다. 탄성스프링(32)은 가이드블록(28)을 관통한 가압로드(26)의 타단부에 삽입된 상태에서 가이드블록(28) 상단과 고정블록(30) 사이에 개재되어 가압로드(26)를 탄성적으로 지지한다.
가압단(16)의 형상 또는 구성은 상기 가압편(18)에 한정되지 않고, 가압로드(26)에 의한 수직의 가압력을 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해할 수 있는 것이면 모두 본 발명의 사상 내에 존재한다.
활주부(20)는 기판(14)의 하면 단부가 슬라이딩되도록 기판(14)의 하면 단부를 지지하며, 지지부(12)의 상부에 형성된다. 활주부(20)는, 기판(14)이 가압단(16)에 의해 양 단부가 밀리는 과정에서 기판(14)의 양 단부의 하면을 원활하게 슬라이딩시킴으로써 기판(14)이 스트레칭되도록 한다.
기판 스트레칭 시에 가압단(16)에 의해 분해되는 수직분력은 기판(14)의 하면 단부와 지지부(12)의 상면 사이에 마찰을 일으킬 수 있고, 이러한 마찰에 의해 기판(14)이 원활하게 밀리지 않는 경우가 발생할 수 있다. 본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치는 지지부(12)의 상면에 활주부(20)를 구비하여 가압단(16)에 의한 기판(14) 가압시 기판(14)의 양 단부의 하면이 원활하게 슬라이딩되도록 하여 기판(14)이 스트레칭되도록 한다.
본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 활주부(20)는 지지부(12)의 상면에는 요홈(34)이 형성되며, 활주부(20)는, 요홈(34)에 수용되어 기판(14) 하부의 단부를 지지하며 기판(14)의 슬라이딩 방향을 따라 이동하는 이동 플레이트(36)를 포함할 수 있다.
지지부(12)의 상면에는 일정 깊이로 요홈(34)이 형성될 수 있다. 요홈(34)에는 기판(14)의 슬라이딩 방향을 따라 이동하는 이동 플레이트(36)가 구비될 수 있다. 이동 플레이트(36)는 기판(14) 하부의 단부를 지지하며, 기판(14)의 양 단부가 밀리는 과정에서 기판(14)을 지지한 채로 기판(14)의 슬라이딩 방향을 따라 이동함으로써 기판(14)을 인장시켜 기판(14)의 처짐을 줄일 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치는, 요홈(34)에 구비되는 가이드 레일(38) 및 이동 블록(40)을 포함할 수 있다.
가이드 레일(38)은 요홈(34)의 바닥면에 기판(14)의 인장 방향을 따라 구비된다. 이동 블록(40)은 가이드 레일(38)을 따라 슬라이딩되도록 가이드 레일(38)에 결합된다. 이동 블록(40)의 상부에는 이동 플레이트(36)가 결합되며, 이동 블록(40)의 상부에는 기판(14)이 안착되어 기판(14)의 양 단부가 가압되면 기판(14)의 양 단부와 함께 인장 방향으로 슬라이딩된다.
활주부(20)는 요홈(34)에 구비되는 탄성 스프링(42)을 더 포함할 수 있다. 탄성 스프링(42)은 요홈(34)에 이동 플레이트(36)의 단부와 연결되도록 구비되어, 이동 플레이트(36)의 단부에 탄성력을 제공한다. 기판(14)의 증착 공정이 완료되면 기판(14)에 대한 가압부(10)의 가압이 해제되고 기판(14)이 진공챔버 외부로 인출되는데, 가압부(10)의 가압이 해제되면 탄성 스프링(42)의 탄성력에 의해 이동 플레이트(36)의 단부가 가압되어 원위치로 이동한다.
한편, 본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 가압단(16)의 하단에는 탄성패드(24)가 결합될 수 있다. 가압단(16)이 기판(14)을 가압할 때 기판(14)의 손상 및 미끄러지는 현상이 발생될 수 있다. 이에 따라, 가압단(16)의 하단에는 탄성패드(24)를 구비하여, 가압단(16)이 기판(14)을 가압할 때 기판(14)의 손상 및 가압단(16)의 하단이 기판(14)에 대해 미끄러지는 현상을 방지할 수 있다. 탄성패드(24)는 가압단(16)의 하단이 기판(14)과 접촉시 기판(14)의 손상을 최소화할 수 있고, 마찰력이 높은 부재로서, 우레탄, 고무 등의 고무재질의 소재가 사용될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 소재로 탄성패드(24)를 구비할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 가압부(10)의 가압단(16)의 하단은, 곡면으로 이루어질 수 있다. 가압단(16)의 하단은 기판(14)의 상면과 접촉되며, 가압력으로 기판(14)을 클램핑 및 스트레칭한다. 이때, 가압단(16)의 하단을 곡면으로 형성함으로써 가압로드(26)에서 전달되는 가압력에 의해 가압단(16)의 모서리가 기판(14)에 손상을 주는 것을 방지할 수 있다.
한편, 활주부(20)는 테플론(Teflon) 재질의 코팅층을 포함할 수 있다. 테플론은 마찰 계수가 매우 작고 내압 강도가 높은 재료로서, 테플론 재질의 코팅층이 지지부(12)의 상면에 형성될 수 있다. 테플론 재질의 코팅층은 기판(14)의 양 단부가 밀리는 과정에서 기판(14)의 양 단부의 하면이 슬라이딩되도록 하여, 기판(14)의 처짐을 줄일 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 일부를 확대한 부분 확대도이며, 도 3에는, 가압부(10), 지지부(12), 기판(14), 가압단(16), 가압편(18), 활주부(20), 경사부(22), 탄성패드(46), 가압로드(26), 가이드블록(28), 고정블록(30), 탄성 스프링(32, 42), 요홈(34), 이동 플레이트(36), 가이드 레일(38), 이동 블록(40), 틸팅바디(44), 탄성부재(48), 힌지축(50), 가압바디(52), 스토퍼(54), 제2 힌지결합부(56), 제1 힌지결합부(58)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치는 가압단(16)의 구성을 제외하고는 앞선 실시예와 동일하므로 동일한 구성에 관한 설명은 앞선 실시예의 설명에 갈음하기로 한다.
본 실시예에 따른 가압단(16)은, 가압바디(52)와; 일단이 가압바디(52)의 일단에 힌지 결합되고 타단은 기판(14)의 상면에 접촉되며, 기판(14)의 외측 단부를 향하여 하향 경사를 이루는 틸팅바디(44)와; 가압바디(52)와 틸팅바디(44) 사이에 개재되어 틸팅바디(44)를 탄성적으로 복원시키는 탄성부재(48)를 포함하여, 수직의 가압력으로 기판(14)을 스트레칭하여 기판(14)의 처짐을 최소화할 수 있다.
도 3을 참조하여, 기판 스트레칭 장치의 작동 과정을 살펴보면, 기판(14)의 서로 대향하는 양 단부가 지지부(12)에 의해 지지되고, 본 실시예에 다른 가압단(16)이 기판(14)의 서로 대향하는 양 단부의 상부에 배치된 상태에서, 가압단(16)이 기판(14)의 서로 대향하는 양 단부를 각각 가압하면 지지부(12)와 가압단(16)에 의해 기판(14)의 양 단부가 클램핑되고, 가압단(16)에 의해 기판(14)의 양 단부가 외측으로 밀리면서 기판(14)의 하면 단부가 활주부(20)를 따라 슬라이딩되어 기판(14)에 인장력을 가하게 된다. 이에 따라 기판(14)의 처짐을 최소화하여 공정의 정밀도를 높일 수 있다.
도 3을 참조하여 본 실시예에 따른 가압단(16)의 각 구성에 대해서 자세히 살펴 보기로 한다.
가압바디(52)는, 기판(14)의 양 단부의 상면의 수직방향으로 하향 이동하여 수직의 가압력을 후술할 틸팅바디(44)에 제공한다. 가압바디(52)가 기판(14)의 상면을 향하여 하향 이동함에 따라 틸팅바디(44)는 기판(14)의 단부를 클램핑하면서 기판(14)의 단부를 외측으로 밀어 기판(14)에 인장력을 가하게 된다.
틸팅바디(44)의 일단은 가압바디(52)의 일단에 힌지 결합되고, 타단은 기판(14)의 상면에 접촉된다. 가압바디(52)에 힌지 결합되는 틸팅바디(44)는 기판(14)의 외측 단부를 향하여 하향 경사를 이루게 된다.
틸팅바디(44)는 수직의 가압력을 가압바디(52)로부터 전달받아 수직의 가압력을 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해하여 기판(14)의 양단을 외측으로 밀어 기판(14)에 인장력을 가한다.
가압바디(52)에 의한 수직의 가압력은 틸팅바디(44)에 의해 기판(14)에 대한 수직분력과 기판(14)의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해되는데, 수직분력은 기판(14)의 상면에 대하여 마찰력을 발생시키면서 기판(14)을 가압하고 이 상태에서 수평분력은 기판(14)의 외측 단부를 향하여 기판(14)을 밀게 된다. 이러한 수평분력이 기판(14)의 양 단부를 외측으로 밀면서 기판(14)에 인장력을 발생시킨다. 틸팅바디(44)의 수평분력에 의한 인장력으로 기판(14)의 처짐을 줄일 수 있다.
도 4를 참조하면, 틸팅바디(44)의 일단과 가압바디(52)의 일단을 서로 힌지 결합시키기 위해, 가압바디(52)의 일단에는 제1 힌지결합부(58)가 연장되어 형성되며, 틸팅바디(44)의 일단에는 제1 힌지결합부(58)에 대향하는 제2 힌지결합부(56)가 연장되어 형성될 수 있다. 제1 힌지결합부(58)와 제2 힌지결합부(56)에 대해 힌지축(50)을 관통하여 배치함으로써 틸팅바디(44)의 일단과 가압바디(52)의 일단은 서로 힌지 결합될 수 있다.
본 실시예에서는, 틸팅바디(44)와 가압바디(52)의 안정적인 힌지 결합을 위하여, 도 4에 도시된 바와 같이, 틸팅바디(44)에 제1 힌지결합부(58)를 설 이격시켜 쌍으로 형성하고, 그 사이에 위치하는 제2 힌지결합부(56)를 가압바디(52)에 형성한 형태를 제시한다.
한편, 제1 힌지결합부(58)를 틸팅바디(44)의 일단에 형성하고, 제2 힌지결합부(56)를 가압바디(52)의 일단에 형성한 상태에서 힌지축(50)을 관통하여 힌지 결합하는 것도 가능하다.
탄성부재(48)는, 가압바디(52)와 틸팅바디(44) 사이에 개재되어 틸팅바디(44)를 탄성적으로 복원시킨다. 가압바디(52)의 하향이동에 따라 틸팅바디(44)가 기판(14)의 상면을 외측으로 밀게 되는데 탄성부재(48)의 탄성력에 저항하면서 틸팅바디(44)가 기판(14)의 상면을 밀게 된다. 그리고, 가압바디(52)의 상향이동에 따라 탄성부재(48)의 탄성력에 의해 틸팅바디(44)는 원위치로 복원하게 된다.
탄성부재(48)로는, 비틀림 스프링, 판 스프링 등 다양한 스프링이 사용될 수 있다.
본 실시예에서는 탄성부재(48)로서 나선 형으로 감긴 나선 형의 스프링을 쌍으로 구성한 형태를 제시한다. 도 4를 참조하면, 제1 힌지결합부(58)가 서로 이격되어 쌍으로 형성된 경우, 제2 힌지결합부(56)는, 한 쌍의 제1 힌지결합부(58) 사이에 개재되며, 이 경우, 탄성부재(48)로서, 제2 힌지결합부(56)와 한 쌍의 제1 힌지결합부(58) 사이에 각각 개재되며, 힌지축(50)이 삽입되는 한 쌍의 나선 형의 스프링을 사용할 수 있다.
본 실시예에 따른 가압단(16)은 틸팅바디(44)의 틸팅 범위를 한정하는 스토퍼(54)를 더 포함할 수 있다. 가압바디(52)의 하향이동에 따라 틸팅바디(44)가 기판(14)의 외측 방향으로 기판(14)을 밀기 위해서 틸팅바디(44)는 가압바디(52)에 대해 일정한 결사를 이루어야 하는데, 스토퍼(54)는 가압바디(52)에 대해 틸팅바디(44)가 일정한 경사를 이루도록 한다. 한편, 과도한 가압력이 가해지는 경우, 틸팅바디(44)는 기판(14)과의 마찰력의 허용범위를 넘어가 기판(14)의 상면에서 미끄러지는 현상이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해 가압바디(52)에 대해 틸팅바디(44)가 이루는 각도를 스토퍼(54)로 한정하여, 기판(14)의 상면에 접하는 틸팅바디(44)의 회전범위를 틸팅바디(44)의 하단이 마찰력을 유지할 수 있는 범위로 한정할 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 기판 스트레칭 장치의 가압단(16)의 틸팅바디(44)의 하단에는 탄성패드(46)가 결합될 수 있다. 틸팅바디(44)가 기판(14)을 가압할 때 기판(14)의 손상 및 미끄러지는 현상이 발생될 수 있다. 이에 따라, 가압단(16)의 틸팅바디(44)의 하단에는 탄성패드(24)를 구비하여, 틸팅바디(44)가 기판(14)을 가압할 때 기판(14)의 손상 및 틸팅바디(44)의 하단이 기판(14)에 대해 미끄러지는 현상을 방지할 수 있다. 탄성패드(24)는 틸팅바디(44)의 하단이 기판(14)과 접촉시 기판(14)의 손상을 최소화할 수 있고, 마찰력이 높은 부재로서, 우레탄, 고무 등의 고무재질의 소재가 사용될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 소재로 탄성패드(46)를 구비할 수 있다.
이상에서 설명한 기판 스트레칭 장치는 수직의 가압력으로 기판을 스트레칭하여 기판의 처짐을 최소화하고 이를 통해 공정의 정밀도를 높일 수 있다.
상기에는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
10: 가압부 12: 지지부
14: 기판 16: 가압단
18: 가압편 20: 활주부
22: 경사부 24, 46: 탄성패드
26: 가압로드 28: 가이드블록
30: 고정블록 32: 탄성 스프링
34: 요홈 36: 이동 플레이트
38: 가이드 레일 40: 이동 블록
42: 탄성 스프링 44: 틸팅바디
48: 탄성부재 50: 힌지축
52: 가압바디 54: 스토퍼
56: 제2 힌지결합부 58: 제1 힌지결합부

Claims (12)

  1. 기판 단부의 하면을 지지하는 지지부와;
    상기 기판의 상면의 수직방향으로 하향 이동하여 수직의 가압력을 제공하는 가압로드와, 상기 수직의 가압력을 전달받아 상기 수직의 가압력을 상기 기판에 대한 수직분력과 상기 기판의 외측 단부를 향하는 수평분력으로 분해하는 가압단을 구비하는 가압부와;
    상기 지지부에 형성되며, 상기 가압단에 의한 상기 기판 가압 시 상기 기판의 하면 단부가 외측으로 원활하게 슬라이딩되도록 상기 기판의 하면 단부를 지지하는 활주부를 포함하고,
    상기 지지부의 상면에는 요홈이 형성되며,
    상기 활주부는,
    상기 요홈에 수용되어 상기 기판 하부의 단부를 지지하며 상기 기판의 슬라이딩 방향을 따라 이동하는 이동 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 활주부는,
    테플론(Teflon) 재질의 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 활주부는,
    상기 이동 플레이트의 단부에 탄성력을 제공하도록 상기 요홈에 구비되는 탄성 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 요홈의 바닥면에 상기 기판의 인장 방향을 따라 구비되는 가이드 레일과;
    상기 가이드 레일을 따라 슬라이딩되며, 상기 이동 플레이트가 결합되는 이동 블록을 포함하는 것을 특징을 하는, 기판 스트레칭 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 가압단은,
    상기 가압로드의 일단에 결합되고, 상기 일단에서 상기 기판의 외측단부를 향하여 하향 경사를 이루는 경사부를 구비하는 가압편을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가압단은,
    가압바디와;
    일단이 상기 가압바디의 일단에 힌지 결합되고 타단은 상기 기판의 상면에 접촉되며, 상기 기판의 외측 단부를 향하여 하향 경사를 이루는 틸팅바디와;
    상기 가압바디와 상기 틸팅바디 사이에 개재되어 상기 틸팅바디를 탄성적으로 복원시키는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 틸팅바디의 틸팅 범위를 한정하는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 가압바디와 상기 틸팅바디 중 어느 하나의 일단에서 연장되는 제1 힌지결합부와;
    상기 가압바디와 상기 틸팅바디 중 나머지 하나의 일단에서 연장되며 상기 제1 힌지결합부에 대향하는 제2 힌지결합부와;
    상기 제1 힌지결합부와 상기 제2 힌지결합부를 관통하는 힌지축을 더 포함하는, 기판 스트레칭 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 힌지결합부는 서로 이격되어 쌍으로 형성되고, 상기 제2 힌지결합부는, 상기 한 쌍의 상기 제1 힌지결합부 사이에 개재되며,
    상기 탄성부재는,
    상기 제2 힌지결합부와 상기 한 쌍의 제1 힌지결합부 사이에 각각 개재되며, 상기 힌지축이 삽입되는 한 쌍의 나선 형의 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 가압단의 하단에는 탄성패드가 결합되는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 가압단의 하단은, 곡면으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 기판 스트레칭 장치.
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