KR102526921B1 - Apparatus for supporting a substrate - Google Patents

Apparatus for supporting a substrate Download PDF

Info

Publication number
KR102526921B1
KR102526921B1 KR1020180080107A KR20180080107A KR102526921B1 KR 102526921 B1 KR102526921 B1 KR 102526921B1 KR 1020180080107 A KR1020180080107 A KR 1020180080107A KR 20180080107 A KR20180080107 A KR 20180080107A KR 102526921 B1 KR102526921 B1 KR 102526921B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
head
clamp
block
substrate
base
Prior art date
Application number
KR1020180080107A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190141552A (en
Inventor
김영두
임현규
Original Assignee
한국알박(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국알박(주) filed Critical 한국알박(주)
Publication of KR20190141552A publication Critical patent/KR20190141552A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102526921B1 publication Critical patent/KR102526921B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68735—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by edge profile or support profile

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및 상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함할 수 있다.A substrate support device according to an embodiment includes a base connected to a lower side of a tray having an opening; a clamp including a clamp body rotatably connected to the base and a clamp head provided on an upper side of the clamp body and capable of supporting a substrate; and a block disposed on the tray along the opening and reducing an opening area of the opening.

Description

기판 지지 장치{APPARATUS FOR SUPPORTING A SUBSTRATE}Substrate support device {APPARATUS FOR SUPPORTING A SUBSTRATE}

아래의 설명은 기판 지지 장치에 관한 것이다.The description below relates to a substrate support device.

기판 지지 장치는 트레이와, 트레이에 대해 회전 운동하여 기판의 상면을 가압하는 클램프를 포함할 수 있다. 클램프는 트레이에 구비되어 있는 개구부를 따라 왕복 운동할 수 있다. 개구부 및 클램프 사이에는 이격 공간이 생길 수 있고, 상기 이격 공간으로 성막 물질이 침투할 수 있다. 상기 이격 공간으로 침투한 성막 물질은 기판 지지 장치뿐만 아니라 스퍼터링 장치의 다른 구성 요소들을 오염시킬 수 있다.The substrate support device may include a tray and a clamp that rotates relative to the tray to press the upper surface of the substrate. The clamp may reciprocate along the opening provided in the tray. A separation space may be formed between the opening and the clamp, and a film forming material may penetrate into the separation space. The deposition material penetrating into the separation space may contaminate not only the substrate support device but also other components of the sputtering device.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.The above background art is possessed or acquired by the inventor in the process of deriving the present invention, and cannot necessarily be said to be known art disclosed to the general public prior to filing the present invention.

일 실시 예의 목적은, 충분한 회전 각도를 가지면서도, 클램프 및 트레이 사이의 이격 공간을 막을 수 있는 기판 지지 장치를 제공하는 것이다.An object of one embodiment is to provide a substrate support device capable of closing a separation space between a clamp and a tray while having a sufficient rotation angle.

일 실시 예들에서 해결하려는 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The tasks to be solved in one embodiment are not limited to the tasks mentioned above, and other tasks not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및 상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함할 수 있다.A substrate support device according to an embodiment includes a base connected to a lower side of a tray having an opening; a clamp including a clamp body rotatably connected to the base and a clamp head provided on an upper side of the clamp body and capable of supporting a substrate; and a block disposed on the tray along the opening and reducing an opening area of the opening.

상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 개구부를 완전히 커버할 수 있다.In a state in which the clamp head supports the substrate, the clamp head may completely cover the opening based on a direction in which the tray is viewed vertically from a top surface.

상기 블록은, 상기 트레이 및 클램프 헤드 사이에 배치될 수 있다.The block may be disposed between the tray and the clamp head.

상기 블록의 후방 단부는, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 가질 수 있다.The rear end of the block may have a shape in which the height decreases toward the rear.

상기 블록의 후방 단부는 상방 및 후방으로 볼록한 형상을 가질 수 있다.The rear end of the block may have an upward and backward convex shape.

상기 블록은, 상기 클램프 바디의 후면과 마주하는 블록 베이스; 상기 블록 베이스의 일측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 좌측면과 마주하는 제 1 블록 연장부; 및 상기 블록 베이스의 타측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 우측면과 마주하는 제 2 블록 연장부를 포함할 수 있다.The block may include a block base facing the rear surface of the clamp body; a first block extension part extending from one side of the block base and facing the left side of the clamp body; and a second block extension part extending from the other side of the block base and facing the right side of the clamp body.

상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태를 기준으로, 상기 블록 베이스는 하부로부터 상부로 갈수록 상기 클램프 바디로부터 이격된 거리가 증가하는 형상을 포함할 수 있다.Based on a state in which the clamp head supports the substrate, the block base may include a shape in which a distance away from the clamp body increases from a lower portion to an upper portion.

상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 블록 베이스를 커버할 수 있다.In a state in which the clamp head supports the substrate, the clamp head may cover the block base based on a direction in which the tray is viewed vertically from a top surface.

상기 클램프 헤드는, 상기 클램프 바디에 탈착 가능하게 연결되고, 기판을 지지 가능한 헤드 베이스; 및 상기 헤드 베이스로부터 후방으로 연장 형성되는 헤드 연장부를 포함할 수 있다.The clamp head may include a head base detachably connected to the clamp body and capable of supporting a substrate; And it may include a head extension formed to extend from the head base to the rear.

상기 헤드 연장부로부터 하방으로 돌출 형성되는 헤드 돌출부를 포함할 수 있다.A head protrusion protruding downward from the head extension may be included.

상기 헤드 돌출부는 후단으로 갈수록 돌출 높이가 감소하는 형상을 가질 수 있다.The head protrusion may have a shape in which the height of the protrusion decreases toward the rear end.

상기 헤드 연장부는 상기 헤드 베이스에 탈착 가능하게 연결될 수 있다.The head extension part may be detachably connected to the head base.

상기 트레이 상에 배치되고, 상기 기판의 하면을 지지하는 기판 안착부; 및 상기 기판 안착부로부터 상기 블록을 향한 방향으로 진행하여, 상기 클램프 헤드를 상기 클램프 바디에 체결시키는 체결 부재를 더 포함할 수 있다.a substrate seating unit disposed on the tray and supporting a lower surface of the substrate; and a fastening member advancing in a direction from the substrate seating portion toward the block to fasten the clamp head to the clamp body.

상기 기판 안착부는 상기 체결 부재를 통과시킬 수 있는 통과 홀을 포함할 수 있다.The substrate mounting portion may include a passage hole through which the fastening member may pass.

일 실시 예에 따른 기판 지지 장치는, 개구부를 구비하는 트레이; 상기 트레이의 하측에 연결되는 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 연결되고, 상기 개구부 내에서 왕복 운동 가능한 클램프; 및 상기 트레이 상에 배치되고, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향으로 기준으로 상기 개구부의 적어도 일부를 커버하는 블록을 포함할 수 있다.A substrate support device according to an embodiment includes a tray having an opening; a base connected to the lower side of the tray; a clamp rotatably connected to the base and reciprocating in the opening; and a block disposed on the tray and covering at least a portion of the opening based on a direction in which the tray is viewed vertically from a top surface.

일 실시 예에 따르면, 블록은 클램프 및 트레이의 사이 공간을 일부 커버하여, 성막 물질이 클램프 및 트레이 사이로 침투하는 것을 방지할 수 있다.According to an embodiment, the block partially covers a space between the clamp and the tray to prevent penetration of film-forming material between the clamp and the tray.

일 실시 예에 따르면, 클램프 헤드가 기판을 지지하는 상태에서, 클램프 헤드는 트레이의 개구부의 일부를 커버하고, 블록은 개구부의 나머지 전부를 커버함으로써, 스퍼터링이 진행되는 동안 트레이의 개구부는 완전히 커버될 수 있다.According to an embodiment, in a state in which the clamp head supports the substrate, the clamp head covers a portion of the opening of the tray and the block covers the entire remaining opening of the tray, so that the opening of the tray is completely covered while sputtering is in progress. can

일 실시 예에 따르면, 블록은 클램프 및 트레이 사이 공간을 커버하면서도, 후방으로 갈수록 낮아지는 높이를 가지므로, 클램프의 회전 각도를 제한하지 않을 수 있다. According to one embodiment, since the block covers the space between the clamp and the tray and has a height that decreases toward the rear, the rotation angle of the clamp may not be limited.

일 실시예에 따른 기판 캐리어 및 그 제어방법의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Effects of the substrate carrier and its control method according to an embodiment are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 분해 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 평면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다.
도 5는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판으로부터 멀어지는 방향으로 회전한 상태를 도시한다.
도 6은 일 실시 예에 따른 클램프 헤드의 분해 사시도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다.The following drawings attached to this specification illustrate a preferred embodiment of the present invention, and together with the detailed description of the present invention serve to further understand the technical idea of the present invention, the present invention is limited to those described in the drawings. It should not be construed as limiting.
1 is a perspective view of a substrate support device according to an embodiment.
2 is an exploded perspective view of a substrate support device according to an embodiment.
3 is a plan view of a substrate support device according to an embodiment.
4 is a cross-sectional view of a substrate supporting device according to an embodiment, showing a state in which a clamp supports a substrate.
5 is a cross-sectional view of a substrate support device according to an embodiment, showing a state in which the clamp is rotated in a direction away from the substrate.
6 is an exploded perspective view of a clamp head according to an embodiment.
7 is a perspective view of a substrate support device according to an embodiment.
8 is a cross-sectional view of a substrate supporting apparatus according to an embodiment, showing a state in which a clamp supports a substrate.

본 특허출원은 2018년 6월 14일자 출원된 특허출원 제10-2018-0068255호를 기초로 우선권을 주장한 것이고, 해당 출원의 전체 내용이 본 특허출원에 참조로서 포함된다.This patent application claims priority based on Patent Application No. 10-2018-0068255 filed on June 14, 2018, and the entire contents of the application are incorporated herein by reference.

이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. Hereinafter, embodiments will be described in detail through exemplary drawings. In adding reference numerals to components of each drawing, it should be noted that the same components have the same numerals as much as possible even if they are displayed on different drawings. In addition, in describing the embodiment, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function hinders understanding of the embodiment, the detailed description will be omitted.

또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. In addition, in describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, order, or order of the corresponding component is not limited by the term. When an element is described as being “connected,” “coupled to,” or “connected” to another element, that element may be directly connected or connected to the other element, but there may be another element between the elements. It should be understood that may be "connected", "coupled" or "connected".

어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다. Components included in one embodiment and components having common functions will be described using the same names in other embodiments. Unless stated to the contrary, descriptions described in one embodiment may be applied to other embodiments, and detailed descriptions will be omitted to the extent of overlap.

도 1은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 분해 사시도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 평면도이다. 도 4는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다. 도 5는 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판으로부터 멀어지는 방향으로 회전한 상태를 도시한다.1 is a perspective view of a substrate supporting device according to an exemplary embodiment, FIG. 2 is an exploded perspective view of the substrate supporting device according to an exemplary embodiment, and FIG. 3 is a plan view of the substrate supporting device according to an exemplary embodiment. 4 is a cross-sectional view of a substrate supporting device according to an embodiment, showing a state in which a clamp supports a substrate. 5 is a cross-sectional view of a substrate support device according to an embodiment, showing a state in which the clamp is rotated in a direction away from the substrate.

도 3에서 설명의 편의를 위해 헤드 연장부(1122)는 생략되었음을 밝혀 둔다.For convenience of description in FIG. 3 , the head extension 1122 is omitted.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 기판 지지 장치는 기판(S)을 지지할 수 있다. 기판 지지 장치는 트레이(T), 베이스(10), 클램프(11), 블록(12), 체결 부재(13), 고정 부재(14) 및 기판 안착부(19)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 to 5 , the substrate support device may support a substrate S. The substrate support device may include a tray T, a base 10, a clamp 11, a block 12, a fastening member 13, a fixing member 14, and a substrate mounting portion 19.

이하, "후방"이라고 함은 기판 안착부(19)로부터 블록(12)을 향한 방향을 의미하고, "하방"이라고 함은 클램프 헤드(112)로부터 베이스(10)를 향한 방향을 의미한다(도 1 참조).Hereinafter, "rearward" means a direction from the board seating portion 19 toward the block 12, and "downward" means a direction from the clamp head 112 toward the base 10 (Fig. 1).

트레이(T)는 기판(S)을 감싸는 형상을 가질 수 있다. 트레이(T)는 개구부(H1)를 포함할 수 있다. 개구부(H1)는 예를 들어 사각형 형상의 홀일 수 있다. 개구부(H1)는 트레이(T)의 길이 방향을 따라 복수 개가 구비될 수 있다.The tray (T) may have a shape surrounding the substrate (S). The tray T may include an opening H1. The opening H1 may be, for example, a square-shaped hole. A plurality of openings H1 may be provided along the longitudinal direction of the tray T.

베이스(10)는 트레이(T)의 하측에 연결될 수 있다. 베이스(10)는 예를 들어, 트레이(T)에 나사 결합될 수 있다. 베이스(10)는 트레이(T)에 일체로 형성될 수 있음을 밝혀 둔다.Base 10 may be connected to the lower side of the tray (T). The base 10 may be screwed to the tray T, for example. It should be noted that the base 10 may be formed integrally with the tray T.

클램프(11)는 베이스(10)에 회전 가능하게 연결되고, 기판(S)을 지지할 수 있다. 클램프(11)는 트레이(T)의 개구부(H1)를 통과할 수 있다. 또한, 클램프(11)는 블록(12)의 개구부(H2)를 통과할 수 있다. 클램프(11)는 블록(12)의 개구부(H2)를 따라 왕복 회동 운동할 수 있다. 클램프(11)는 클램프 바디(111) 및 클램프 헤드(112)를 포함할 수 있다.The clamp 11 is rotatably connected to the base 10 and may support the substrate S. The clamp 11 may pass through the opening H1 of the tray T. Also, the clamp 11 may pass through the opening H2 of the block 12 . The clamp 11 may reciprocate and rotate along the opening H2 of the block 12 . The clamp 11 may include a clamp body 111 and a clamp head 112 .

클램프 바디(111)는 베이스(10)에 고정된 축(A1)에 연결되어, 베이스(10)에 대해 회전할 수 있다. 클램프 바디(111)는 모터 또는 유압 실린더 등에 의해 동력을 전달받아 축(A1)을 중심으로 회전할 수 있다. 클램프 바디(111)는 클램프 헤드(112)의 체결 방향을 안내하기 위한 가이드를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 가이드는 전방으로 개구된 "ㄷ"자 형상을 가질 수 있다. 클램프 바디(111)는 바디 체결 홀(111a)을 포함할 수 있다. 바디 체결 홀(111a)은 후술하는 체결 부재(13)의 적어도 일부의 외면에 나사 결합 가능하다.The clamp body 111 is connected to the shaft A1 fixed to the base 10 and can rotate with respect to the base 10 . The clamp body 111 may rotate about the axis A1 by receiving power from a motor or a hydraulic cylinder. The clamp body 111 may include a guide for guiding the fastening direction of the clamp head 112 . For example, the guide may have a "c" shape opened in the front. The clamp body 111 may include a body fastening hole 111a. The body fastening hole 111a can be screwed to at least a portion of the outer surface of the fastening member 13 to be described later.

클램프 헤드(112)는 클램프 바디(111)에 연결될 수 있다. 클램프 헤드(112)는 클램프 바디(111)의 상측에 구비될 수 있다. 클램프 헤드(112)는 내마모성, 초내열성, 내약품성 및 가공성 등이 뛰어난 재료로 형성될 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(112)는 베스펠(Vespel)을 포함할 수 있다. 클램프 헤드(112)는 헤드 베이스(1121), 헤드 연장부(1122) 및 헤드 돌출부(1123)를 포함할 수 있다.The clamp head 112 may be connected to the clamp body 111 . The clamp head 112 may be provided on the upper side of the clamp body 111 . The clamp head 112 may be formed of a material having excellent wear resistance, super heat resistance, chemical resistance, processability, and the like. For example, the clamp head 112 may include a Vespel. The clamp head 112 may include a head base 1121 , a head extension 1122 and a head protrusion 1123 .

헤드 베이스(1121)는 클램프 바디(111)의 일면에 부착될 수 있다. 예를 들어, 헤드 베이스(1121)는 클램프 바디(111)의 가이드를 따라 슬라이딩 가능하다. 헤드 베이스(1121)는 예를 들어 클램프 바디(111)의 전면에 부착될 수 있다. 헤드 베이스(1121)는 기판 가압부(1121a), 헤드 체결 홀(1121b) 및 헤드 체결 홈(1121c)을 포함할 수 있다. 기판 가압부(1121a)는 안착부(19)에 안착된 기판(S)의 상면을 가압하여, 기판(S)이 안착부(19)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 헤드 체결 홀(1121b)은 후술하는 체결 부재(13)의 적어도 일부의 외면에 나사 결합 가능하다. 헤드 체결 홈(1121c)은 체결 부재(13)의 헤드를 지지하여, 체결 부재(13)가 과도하게 삽입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 헤드 체결 홈(1121c)은 체결 부재(13)가 헤드 베이스(1121)로부터 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다. 헤드 베이스(1121)는 타겟(미도시)으로부터 스퍼터링된 성막 물질이 개구부(H1)로 진입하는 것을 일부 차단할 수 있다.The head base 1121 may be attached to one surface of the clamp body 111 . For example, the head base 1121 can slide along the guide of the clamp body 111 . The head base 1121 may be attached to the front of the clamp body 111, for example. The head base 1121 may include a substrate pressing portion 1121a, a head fastening hole 1121b, and a head fastening groove 1121c. The substrate pressing unit 1121a presses the upper surface of the substrate S seated on the seating unit 19 to prevent the substrate S from being separated from the seating unit 19 . The head fastening hole 1121b may be screwed to at least a portion of the outer surface of the fastening member 13 to be described later. The head fastening groove 1121c supports the head of the fastening member 13 and prevents the fastening member 13 from being excessively inserted. In addition, the head fastening groove 1121c may prevent the fastening member 13 from protruding outward from the head base 1121 . The head base 1121 may partially block the deposition material sputtered from the target (not shown) from entering the opening H1.

헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)로부터 후방으로 연장될 수 있다. 헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)에 탈착 가능하다. 예를 들어, 헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)에 나사 결합될 수 있다. 한편, 헤드 연장부(1122)가 헤드 베이스(1121)에 일체로 형성될 수도 있음을 밝혀 둔다. 헤드 연장부(1122)는 타겟(미도시)으로부터 스퍼터링된 성막 물질이 개구부(H1)로 진입하는 것을 일부 차단할 수 있다. 헤드 연장부(1122)는 복수 개의 길이 방향 홈(1122a)을 포함할 수 있다. 복수 개의 길이 방향 홈(1122a)은 헤드 연장부(1122) 상에 도달한 성막 물질을 수용할 수 있다. 복수 개의 길이 방향 홈(1122a)은 성막 물질이 기판(S)을 향해 진행하는 것을 방지할 수 있다.The head extension 1122 may extend backward from the head base 1121 . The head extension 1122 is detachable from the head base 1121 . For example, the head extension 1122 may be screwed to the head base 1121 . Meanwhile, it should be noted that the head extension 1122 may be integrally formed with the head base 1121. The head extension 1122 may partially block the deposition material sputtered from the target (not shown) from entering the opening H1. The head extension 1122 may include a plurality of longitudinal grooves 1122a. The plurality of longitudinal grooves 1122a may accommodate deposition material reaching the head extension 1122 . The plurality of longitudinal grooves 1122a may prevent the deposition material from advancing toward the substrate S.

헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122)로부터 하방으로 돌출 형성될 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122)의 하면으로부터 블록(12)을 향해 돌출 형성될 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122)와 일체로 형성될 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 헤드 연장부(1122) 및 블록(12) 사이의 간격을 줄일 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 성막 물질이 헤드 연장부(1122)의 하면과 블록(12)의 상면 사이로 진입하는 것을 일부 차단할 수 있다.The head protrusion 1123 may protrude downward from the head extension 1122 . The head protrusion 1123 may protrude from the lower surface of the head extension 1122 toward the block 12 . The head protrusion 1123 may be integrally formed with the head extension 1122 . The head protrusion 1123 may reduce a gap between the head extension 1122 and the block 12 . The head protrusion 1123 may partially block entry of the deposition material between the lower surface of the head extension 1122 and the upper surface of the block 12 .

헤드 돌출부(1123)는 클램프 헤드(112)가 트레이(T)에 간섭되지 않으면서도, 충분한 회전 각도를 구현할 수 있게 하는 형상을 가질 수 있다. 헤드 돌출부(1123)는 후단으로 갈수록 돌출 높이가 감소하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 헤드 돌출부(1123)는 후방 단부에 비스듬한 경사면 가질 수 있다. 헤드 돌출부(1123)의 경사면은 클램프(11)가 기판 안착부(19)로부터 멀어지는 방향으로 회전된 상태를 기준으로(도 5 참조), 트레이(T)를 마주할 수 있다.The head protrusion 1123 may have a shape that allows the clamp head 112 to achieve a sufficient rotational angle without interfering with the tray T. The head protrusion 1123 may have a shape in which the height of the protrusion decreases toward the rear end. For example, the head protrusion 1123 may have an obliquely inclined surface at its rear end. The inclined surface of the head protrusion 1123 may face the tray T based on a state in which the clamp 11 is rotated in a direction away from the substrate seating portion 19 (see FIG. 5 ).

블록(12)은 개구부(H1)를 따라 트레이(T)에 배치되고, 개구부(H1)의 개구 면적을 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 블록(12)은 트레이(T)의 개구부(H1)를 일부 커버하여 개구부(H1)의 개구 면적을 일부 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 트레이(T)의 개구부(H1)의 면적은 블록(12)의 개구부(H2)에 의해 제한될 수 있다. 블록(12)의 개구부(H2)란 블록(12)의 내측 공간을 의미한다. 다시 말하면, 트레이(T)의 개구된 영역의 넓이는 원래의 트레이(T)의 개구부(H1)와 블록(12)의 개구부(H2)의 중복 영역으로 결정될 수 있다. 블록(12)은 복수 개의 고정 부재(14)에 의해 트레이(T)에 고정될 수 있다. 블록(12)은 트레이(T) 및 클램프 헤드(112) 사이에 배치될 수 있다. 블록(12)은 트레이(T) 및 클램프 헤드(112) 사이로 진입하는 성막 물질의 적어도 일부를 차단할 수 있다. 블록(12)은 블록 베이스(121), 제 1 블록 연장부(122) 및 제 2 블록 연장부(123)를 포함할 수 있다.The blocks 12 are disposed on the tray T along the opening H1 and can reduce the opening area of the opening H1. For example, the block 12 may partially cover the opening H1 of the tray T to partially reduce the opening area of the opening H1. For example, the area of the opening H1 of the tray T may be limited by the opening H2 of the block 12 . The opening H2 of the block 12 means an inner space of the block 12 . In other words, the width of the open area of the tray T may be determined as the overlapping area of the original opening H1 of the tray T and the opening H2 of the block 12 . The block 12 may be fixed to the tray T by a plurality of fixing members 14 . The block 12 may be disposed between the tray T and the clamp head 112 . The block 12 may block at least a portion of the deposition material entering between the tray T and the clamp head 112 . The block 12 may include a block base 121 , a first block extension 122 and a second block extension 123 .

블록 베이스(121)는 클램프 바디(111)의 후면과 마주할 수 있다. 블록 베이스(121)는 클램프 헤드(112)가 회전 운동 하는 동안, 클램프 헤드(112)의 하측에 구비될 수 있다. 블록 베이스(121)는 클램프 헤드(112)가 충분한 회전 경로를 확보할 수 있도록, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 가질 수 있다. 블록 베이스(121)의 후방 단부(121a)는 상방 및 후방으로 볼록한 형상을 가질 수 있다. 이와 같은 형상으로 인해, 블록 베이스(121)는 클램프 헤드(112)의 회전 경로를 충분히 확보하면서도, 클램프 헤드(112)에 근접할 수 있다.The block base 121 may face the rear surface of the clamp body 111 . The block base 121 may be provided below the clamp head 112 while the clamp head 112 rotates. The block base 121 may have a shape in which the height decreases toward the rear so that the clamp head 112 can secure a sufficient rotational path. The rear end 121a of the block base 121 may have an upward and backward convex shape. Due to this shape, the block base 121 can be close to the clamp head 112 while sufficiently securing the rotation path of the clamp head 112 .

블록 베이스(121)는, 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지하는 상태를 기준으로(도 4 참조), 하부로부터 상부로 갈수록 클램프 바디(111)로부터 이격된 거리가 증가하는 형상을 포함할 수 있다(D2>D1). 다시 말하면, 블록 베이스(121)는 경사면을 포함할 수 있다. 블록 베이스(121)의 경사면은 클램프 바디(111)와 마주할 수 있다. 이러한 블록 베이스(121)의 형상으로 인해, 클램프(11)가 기판 안착부(19)로부터 멀어지는 방향으로 회전된 상태를 기준으로(도 5 참조), 블록 베이스(121) 및 클램프 바디(111) 사이 간격은 좁아질 수 있다.The block base 121 includes a shape in which the distance away from the clamp body 111 increases from the bottom to the top based on the state in which the clamp head 112 supports the substrate S (see FIG. 4). It can (D2>D1). In other words, the block base 121 may include an inclined surface. An inclined surface of the block base 121 may face the clamp body 111 . Due to the shape of the block base 121, the clamp 11 is placed between the block base 121 and the clamp body 111 based on a state in which the clamp 11 is rotated in a direction away from the substrate seating portion 19 (see FIG. 5). The gap can be narrowed.

블록 베이스(121)는, 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지하는 상태에서, 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지하는 상태를 기준으로(도 4 참조), 클램프 헤드(112)에 의해 커버될 수 있다. 이 경우, 스퍼터링이 진행되는 동안, 블록 베이스(121)에 도달하는 성막 물질의 양이 감소할 수 있다.The block base 121, in the state in which the clamp head 112 supports the substrate S, based on the state in which the clamp head 112 supports the substrate S (see FIG. 4), the clamp head 112 ) can be covered by In this case, while sputtering is in progress, the amount of the film formation material reaching the block base 121 may decrease.

제 1 블록 연장부(122)는 블록 베이스(121)의 일측으로부터 연장 형성되고, 클램프 바디(111)의 좌측면과 마주할 수 있다. 제 1 블록 연장부(122)는 클램프 바디(111)의 좌측면으로부터 트레이(T)까지 이격된 공간으로 성막 물질이 침투하는 것을 감소시킬 수 있다.The first block extension part 122 extends from one side of the block base 121 and may face the left side of the clamp body 111 . The first block extension 122 may reduce penetration of a film forming material into a space spaced from the left side of the clamp body 111 to the tray T.

제 2 블록 연장부(123)는 블록 베이스(121)의 타측으로부터 연장 형성되고, 클램프 바디(111)의 우측면과 마주할 수 있다. 제 2 블록 연장부(123)는 제 1 블록 연장부(122)와 나란할 수 있다. 제 2 블록 연장부(123)는 클램프 바디(111)의 우측면으로부터 트레이(T)까지 이격된 공간으로 성막 물질이 침투하는 것을 감소시킬 수 있다.The second block extension 123 extends from the other side of the block base 121 and may face the right side of the clamp body 111 . The second block extension 123 may be parallel to the first block extension 122 . The second block extension 123 may reduce penetration of a film forming material into a space spaced from the right side of the clamp body 111 to the tray T.

체결 부재(13)는 기판 안착부(19)로부터 블록(12)을 향한 방향으로 진행하여, 클램프 헤드(112)를 클램프 바디(111)에 체결시킬 수 있다. 체결 부재(13)는 클램프(11)의 후면이 아닌 전면에 체결되므로, 블록(12)에 간섭되지 않을 수 있다. 사용자는 블록(12)을 트레이(T) 상에 고정시킨 상태로, 클램프 헤드(112)를 클램프 바디(111)에 탈부착할 수 있다.The fastening member 13 may move in a direction from the substrate seating portion 19 toward the block 12 to fasten the clamp head 112 to the clamp body 111 . Since the fastening member 13 is fastened to the front surface of the clamp 11, not the rear surface, it may not interfere with the block 12. The user may attach and detach the clamp head 112 from the clamp body 111 while the block 12 is fixed on the tray T.

고정 부재(14)는 블록(12)을 트레이(T)에 고정시킬 수 있다. 예를 들어, 고정 부재(14)는 블록(12)의 제 1 블록 연장부(122) 및 제 2 블록 연장부(123)를 고정시킬 수 있다.The fixing member 14 may fix the block 12 to the tray T. For example, the fixing member 14 may fix the first block extension 122 and the second block extension 123 of the block 12 .

기판 안착부(19)는 트레이(T) 상에 배치되고, 기판(S)의 하면을 지지할 수 있다. 기판(S)은 기판 안착부(19) 및 클램프 헤드(112)에 의해 샌드위치될 수 있다. 기판 안착부(19)는 체결 부재(13)를 통과시킬 수 있는 통과 홀(19a)을 포함할 수 있다. 통과 홀(19a)은 전후 방향으로 관통 형성될 수 있다. 클램프 헤드(112)가 기판(S)을 지지한 상태를 기준으로, 통과 홀(19a)은 바디 체결 홀(111a) 및 헤드 체결 홀(1121b)에 연통될 수 있다. 체결 부재(13)는 통과 홀(19a)을 통과한 뒤, 바디 체결 홀(111a) 및 헤드 체결 홀(1121b)에 체결될 수 있다. 이와 같은 구조를 통해, 클램프(11), 블록(12) 및 기판 안착부(19)를 컴팩트하게 구성할 수 있다.The substrate seating portion 19 is disposed on the tray T and may support the lower surface of the substrate S. The substrate S may be sandwiched by the substrate seating portion 19 and the clamp head 112 . The substrate mounting portion 19 may include a passage hole 19a through which the fastening member 13 may pass. The through hole 19a may be formed through the front and rear directions. Based on the state in which the clamp head 112 supports the substrate S, the passage hole 19a may communicate with the body fastening hole 111a and the head fastening hole 1121b. After passing through the passage hole 19a, the fastening member 13 may be fastened to the body fastening hole 111a and the head fastening hole 1121b. Through such a structure, the clamp 11, the block 12, and the substrate mounting portion 19 can be configured compactly.

도 6은 일 실시 예에 따른 클램프 헤드의 분해 사시도이다.6 is an exploded perspective view of a clamp head according to an embodiment.

도 6을 참조하면, 클램프 헤드(112)는 내마모성, 초내열성, 내약품성 및 가공성 등이 뛰어난 재료로 형성될 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(112)는 베스펠(Vespel)을 포함할 수 있다. 클램프 헤드(112)는 헤드 베이스(1121), 헤드 연장부(1122), 헤드 돌출부(1123) 및 조립 부재(1129)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the clamp head 112 may be formed of a material having excellent wear resistance, super heat resistance, chemical resistance, processability, and the like. For example, the clamp head 112 may include a Vespel. The clamp head 112 may include a head base 1121 , a head extension 1122 , a head protrusion 1123 and an assembly member 1129 .

헤드 베이스(1121)는 기판 가압부(1121a), 헤드 체결 홀(1121b), 헤드 체결 홈(1121c) 및 헤드 조립 홈(1121d)을 포함할 수 있다.The head base 1121 may include a substrate pressing portion 1121a, a head fastening hole 1121b, a head fastening groove 1121c, and a head assembly groove 1121d.

헤드 조립 홈(1121d)은 헤드 베이스(1121)의 후면으로부터 함몰 형성될 수 있다. 다시 말하면, 헤드 조립 홈(1121d)은 기판 가압부(1121a)의 반대편에 형성될 수 있다. 헤드 조립 홈(1121d)은 조립 부재(1129)의 적어도 일부를 수용할 수 있다. 예를 들어, 헤드 조립 홈(1121d)은 조립 부재(1129)에 맞물리는 나사 형상을 구비할 수 있다. 헤드 조립 홈(1121d)은 복수 개가 구비될 수 있고, 복수 개의 헤드 조립 홈(1121d)은 헤드 베이스(1121)의 폭 방향으로 이격 형성될 수 있다.The head assembly groove 1121d may be recessed from the rear surface of the head base 1121 . In other words, the head assembly groove 1121d may be formed on the opposite side of the substrate pressing part 1121a. The head assembly groove 1121d may accommodate at least a portion of the assembly member 1129 . For example, the head assembly groove 1121d may have a screw shape engaged with the assembly member 1129 . A plurality of head assembly grooves 1121d may be provided, and the plurality of head assembly grooves 1121d may be spaced apart from each other in the width direction of the head base 1121 .

헤드 연장부(1122)는 헤드 베이스(1121)에 탈착 가능하게 연결될 수 있다. 헤드 연장부(1122)는 복수 개의 길이 방향 홈(1122a) 및 헤드 조립 홀(1122b)을 포함할 수 있다.The head extension 1122 may be detachably connected to the head base 1121 . The head extension 1122 may include a plurality of longitudinal grooves 1122a and a head assembly hole 1122b.

헤드 조립 홀(1122b)은 전후 방향으로 헤드 연장부(1122)를 관통 형성될 수 있다. 헤드 조립 홀(1122b)은 조립 부재(1129)의 적어도 일부를 수용할 수 있다. 예를 들어, 헤드 조립 홀(1122b)은 조립 부재(1129)에 맞물리는 나사 형상을 구비할 수 있다. 헤드 조립 홀(1122b)은 복수 개가 구비될 수 있고, 복수 개의 헤드 조립 홀(1122b)은 헤드 연장부(1122)의 폭 방향으로 이격 형성될 수 있다.The head assembly hole 1122b may be formed through the head extension part 1122 in the front-rear direction. The head assembly hole 1122b may accommodate at least a portion of the assembly member 1129 . For example, the head assembly hole 1122b may have a screw shape engaged with the assembly member 1129 . A plurality of head assembly holes 1122b may be provided, and the plurality of head assembly holes 1122b may be spaced apart from each other in the width direction of the head extension part 1122 .

조립 부재(1129)는 헤드 조립 홀(1122b) 및 헤드 조립 홈(1121b)에 수용되는 방식으로, 헤드 연장부(1122)를 헤드 베이스(1121)에 결합시킬 수 있다. 예를 들어, 조립 부재(1129)는 헤드 조립 홀(1122b) 및 헤드 조립 홈(1121b)에 나사 결합될 수 있다.The assembly member 1129 may couple the head extension part 1122 to the head base 1121 in such a way that it is accommodated in the head assembly hole 1122b and the head assembly groove 1121b. For example, the assembly member 1129 may be screwed into the head assembly hole 1122b and the head assembly groove 1121b.

클램프 헤드(112)는 서로 탈착 가능한 헤드 베이스(1121) 및 헤드 연장부(1122)를 포함하므로, 제작 비용이 감소될 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(112)는 대략 "ㄱ"자 형상을 가질 수 있다. "ㄱ"자 형상을 일체로 제작할 경우, 낭비되는 재료의 양이 많아질 수 있다. 그러나, 클램프 헤드(112)는 대략 직육면체 형상을 갖는 별개의 구성인 헤드 베이스(1121) 및 헤드 연장부(1122)를 포함하므로, 낭비되는 재료의 양을 감소시킬 수 있고, 제작 비용을 아낄 수 있다.Since the clamp head 112 includes a head base 1121 and a head extension 1122 that are detachable from each other, manufacturing costs can be reduced. For example, the clamp head 112 may have a substantially "L" shape. When the "L" shape is integrally manufactured, the amount of wasted material may increase. However, since the clamp head 112 includes a head base 1121 and a head extension 1122, which are separate components having a substantially rectangular parallelepiped shape, the amount of wasted material can be reduced and manufacturing costs can be saved. .

도 7은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다. 도 8은 일 실시 예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이고, 클램프가 기판을 지지하는 상태를 도시한다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 기판 지지 장치는 베이스(20), 클램프(21), 블록(22), 체결 부재(23) 및 기판 안착부(29)를 포함할 수 있다.7 is a perspective view of a substrate support device according to an embodiment. 8 is a cross-sectional view of a substrate supporting apparatus according to an embodiment, showing a state in which a clamp supports a substrate. Referring to FIGS. 7 and 8 , the substrate support device may include a base 20 , a clamp 21 , a block 22 , a fastening member 23 and a substrate mounting portion 29 .

클램프(21)는 트레이(T)의 개구부를 따라 배치될 수 있다. 클램프(21)는 적어도 일부가 개구부 내에 삽입되는 형상을 가질 수 있다. 클램프(21)는 클램프 바디(211) 및 클램프 헤드(212)를 포함할 수 있다.The clamp 21 may be disposed along the opening of the tray (T). The clamp 21 may have a shape in which at least a part is inserted into the opening. The clamp 21 may include a clamp body 211 and a clamp head 212 .

클램프 헤드(212)는 블록(22)의 적어도 일부를 감싸는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 클램프 헤드(212)는 좌측 테두리부 및 우측 테두리부로부터 하방으로 돌출 형성되는 형상을 가질 수 있다.The clamp head 212 may have a shape surrounding at least a portion of the block 22 . For example, the clamp head 212 may have a shape protruding downward from the left and right rims.

이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.As described above, although the embodiments have been described with limited drawings, those skilled in the art can make various modifications and variations from the above description. For example, the described techniques may be performed in an order different from the described method, and/or components of the described structure, device, etc. may be combined or combined in a different form from the described method, or other components or equivalents may be used. Appropriate results can be achieved even if substituted or substituted by

Claims (15)

개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스;
상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및
상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함하고,
상기 블록의 후방 단부는, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 갖는 기판 지지 장치.A base connected to the lower side of the tray having an opening;
a clamp including a clamp body rotatably connected to the base and a clamp head provided on an upper side of the clamp body and capable of supporting a substrate; and
a block disposed on the tray along the opening and reducing an opening area of the opening;
The rear end of the block has a shape in which the height decreases toward the rear. 제 1 항에 있어서,
상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 개구부를 완전히 커버하는 기판 지지 장치.According to claim 1,
In a state in which the clamp head supports the substrate, the clamp head completely covers the opening based on a direction in which the tray is viewed vertically from a top surface. 제 1 항에 있어서,
상기 블록은, 상기 트레이 및 클램프 헤드 사이에 배치되는 기판 지지 장치.According to claim 1,
The block is disposed between the tray and the clamp head. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 블록의 후방 단부는 상방 및 후방으로 볼록한 형상을 갖는 기판 지지 장치.According to claim 1,
The back end of the block has an upward and backward convex shape. 개구부를 구비하는 트레이 하측에 연결되는 베이스;
상기 베이스에 회전 가능하게 연결되는 클램프 바디와, 상기 클램프 바디의 상측에 구비되고 기판을 지지 가능한 클램프 헤드를 포함하는 클램프; 및
상기 개구부를 따라 상기 트레이에 배치되고, 상기 개구부의 개구 면적을 감소시키는 블록을 포함하고,
상기 블록은,
상기 클램프 바디의 후면과 마주하는 블록 베이스;
상기 블록 베이스의 일측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 좌측면과 마주하는 제 1 블록 연장부; 및
상기 블록 베이스의 타측으로부터 연장 형성되고, 상기 클램프 바디의 우측면과 마주하는 제 2 블록 연장부를 포함하는 기판 지지 장치.A base connected to the lower side of the tray having an opening;
a clamp including a clamp body rotatably connected to the base and a clamp head provided on an upper side of the clamp body and capable of supporting a substrate; and
a block disposed on the tray along the opening and reducing an opening area of the opening;
The block is
a block base facing the rear surface of the clamp body;
a first block extension part extending from one side of the block base and facing the left side of the clamp body; and
A substrate support device comprising a second block extension extending from the other side of the block base and facing the right side of the clamp body. 제 6 항에 있어서,
상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태를 기준으로, 상기 블록 베이스는 하부로부터 상부로 갈수록 상기 클램프 바디로부터 이격된 거리가 증가하는 형상을 포함하는 기판 지지 장치.According to claim 6,
Based on a state in which the clamp head supports the substrate, the block base has a shape in which a distance away from the clamp body increases from a lower portion to an upper portion. 제 6 항에 있어서,
상기 클램프 헤드가 상기 기판을 지지하는 상태에서, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향을 기준으로, 상기 클램프 헤드는 상기 블록 베이스를 커버하는 기판 지지 장치.According to claim 6,
In a state in which the clamp head supports the substrate, the clamp head covers the block base based on a direction in which the tray is viewed vertically from a top surface. 제 1 항에 있어서,
상기 클램프 헤드는,
상기 클램프 바디에 탈착 가능하게 연결되고, 기판을 지지 가능한 헤드 베이스; 및
상기 헤드 베이스로부터 후방으로 연장 형성되는 헤드 연장부를 포함하는 기판 지지 장치.According to claim 1,
The clamp head,
a head base detachably connected to the clamp body and capable of supporting a substrate; and
A substrate support device including a head extension part extending backward from the head base. 제 9 항에 있어서,
상기 헤드 연장부로부터 하방으로 돌출 형성되는 헤드 돌출부를 포함하는 기판 지지 장치.According to claim 9,
A substrate support device comprising a head protrusion protruding downward from the head extension. 제 10 항에 있어서,
상기 헤드 돌출부는 후단으로 갈수록 돌출 높이가 감소하는 형상을 갖는 기판 지지 장치.According to claim 10,
The head protrusion has a shape in which the protrusion height decreases toward the rear end. 제 9 항에 있어서,
상기 헤드 연장부는 상기 헤드 베이스에 탈착 가능하게 연결되는 기판 지지 장치.According to claim 9,
The head extension is detachably connected to the head base. 제 1 항에 있어서,
상기 트레이 상에 배치되고, 상기 기판의 하면을 지지하는 기판 안착부; 및
상기 기판 안착부로부터 상기 블록을 향한 방향으로 진행하여, 상기 클램프 헤드를 상기 클램프 바디에 체결시키는 체결 부재를 더 포함하는 기판 지지 장치.According to claim 1,
a substrate seating unit disposed on the tray and supporting a lower surface of the substrate; and
A substrate support device further comprising a fastening member that advances in a direction from the substrate seating portion toward the block and fastens the clamp head to the clamp body. 제 13 항에 있어서,
상기 기판 안착부는 상기 체결 부재를 통과시킬 수 있는 통과 홀을 포함하는 기판 지지 장치.According to claim 13,
The substrate holding unit includes a passage hole through which the fastening member can pass. 개구부를 구비하는 트레이;
상기 트레이의 하측에 연결되는 베이스;
상기 베이스에 회전 가능하게 연결되고, 상기 개구부 내에서 왕복 운동 가능한 클램프; 및
상기 트레이 상에 배치되고, 상기 트레이를 상면에서 수직으로 바라보는 방향으로 기준으로 상기 개구부의 적어도 일부를 커버하는 블록을 포함하고,
상기 블록의 후방 단부는, 후방으로 갈수록 높이가 낮아지는 형상을 갖는 기판 지지 장치.a tray having an opening;
a base connected to the lower side of the tray;
a clamp rotatably connected to the base and reciprocating in the opening; and
A block disposed on the tray and covering at least a portion of the opening based on a direction in which the tray is viewed vertically from a top surface,
The rear end of the block has a shape in which the height decreases toward the rear.
KR1020180080107A 2018-06-14 2018-07-10 Apparatus for supporting a substrate KR102526921B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20180068255 2018-06-14
KR1020180068255 2018-06-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190141552A KR20190141552A (en) 2019-12-24
KR102526921B1 true KR102526921B1 (en) 2023-05-02

Family

ID=69006261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180080107A KR102526921B1 (en) 2018-06-14 2018-07-10 Apparatus for supporting a substrate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102526921B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101117583B1 (en) 2011-06-28 2012-02-24 (주)거성 An magnetic apparatus for clamping a glass substrate of lcd to transmission-frame
KR101133945B1 (en) * 2011-11-24 2012-04-13 (주)거성 An apparatus for clamping a glass substrate of lcd to transmission-frame
KR101210296B1 (en) * 2012-08-07 2012-12-11 (주)거성 Apparatus for clamping a glass used for flat display panel to a transport frame

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090072432A (en) * 2007-12-28 2009-07-02 삼성전자주식회사 A substrate supporting module and a deposition apparatus having the same

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101117583B1 (en) 2011-06-28 2012-02-24 (주)거성 An magnetic apparatus for clamping a glass substrate of lcd to transmission-frame
KR101133945B1 (en) * 2011-11-24 2012-04-13 (주)거성 An apparatus for clamping a glass substrate of lcd to transmission-frame
KR101210296B1 (en) * 2012-08-07 2012-12-11 (주)거성 Apparatus for clamping a glass used for flat display panel to a transport frame

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190141552A (en) 2019-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2680565C2 (en) Box with lower and upper parts
USD906039S1 (en) Plate covers
KR102526921B1 (en) Apparatus for supporting a substrate
EA019729B1 (en) Door glass bowl for a frontload washer
PT91059A (en) CLOSING ASSEMBLY WITH COVER OR GRILL FOR OPENINGS ON THE SOIL
US20150251309A1 (en) Display Structure for Tool Box
DK3075477T3 (en) Milling tool and cutting element for use in a milling tool
US20040185975A1 (en) Chain-poking device for derailleurs
US20090096185A1 (en) bike stem with angle adjustable
USD866491S1 (en) Chemical vapor deposition wafer carrier with thermal cover
JP4351417B2 (en) Fixing plates for fixing furniture fasteners, eg hinge arms of furniture hinges
US20200017176A1 (en) Fixer for marine light
JP4479489B2 (en) Component fixing device and component pressing member
US20150251308A1 (en) Display Structure for Tool Box
US7093747B1 (en) Mail box cover access and insert for masonry mail boxes
KR100457207B1 (en) Bar and shelf jointing apparatus
JP4818687B2 (en) Buddhist ware
FR2671624A1 (en) PROXIMITY DETECTOR WITH HEADABLE HEAD.
USD985938S1 (en) Makeup organizer with attachable holders
FR3052950A1 (en) APPARATUS FOR REPRODUCTION OR TREATMENT OF INTERCHANGEABLE INTERCHANGEABLE SOUNDS
JP3689811B2 (en) Split lever rod holder
JPS59655Y2 (en) lighting equipment
KR101030674B1 (en) Top-screen of table
JPS5848447Y2 (en) cable clamp device
RU2021123823A (en) WIRE CLAMP AND TOOL FOR CUTTING AND SPLITTING THE WIRE

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant